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De la physique lindustrie

Christophe HRAIL





















Ce document a entirement t ralis avec
des moyens purement informatiques.

En particulier aucune page ou document
n'ont t imprims pendant sa phase
de cration et de mises en pages.

C. Hrail Janvier 2013
IUT GEII - vry






Roselyne,
Pour sa patience




























































Prface
I l existeunemultitudedelivressur les capteurscouvrant lesaspects allant detrs
gnralistestrspointus. Dautrepart, on peut lesscinder en deux grandesfamilles:
- Approchephysiquedesphnomnesmisen jeu,
- Approchetechnologiqueet leur utilisation danslemondeindustriel.

Tropraressont ceux qui regroupent cesdeux approchesou alorsilsneseproccupent
quedunepartiedesgrandeursphysiques.
Cest ceconstat qui ma incitet motiv rdiger cedocument afin deprsenter
lensembledesgrandeursphysiquesmesurablespar descapteurs, en dveloppant la
foislesphnomnesphysiquesmisen jeu et lestechnologiesemployes.

I l est intressant denoter quetoutesles grandeursphysiquesnesont pasforcment
mesurables par un capteur, par exempleletemps ou lachaleur. Dans cecas-l, on
mesureleur consquence, commelavariation detempraturepour lachaleur.

Cedocument reprsenteplusd'un an derechercheset derdaction et il seveut treune
synthselapluscompltepossible. I l ademandlaconsultation denviron 250livres,
50 thses, 300 brevets, 500 articles, 2000 documents constructeurs et 500 notes
dapplications.
Cependant, l'volution rapideet constantedela recherche, des technologies et des
matriaux font qu'il nepeut trequ'uneimageun instant donndecequi sefait.

Chaquechapitreprsentera unegrandeur physiquemesurable. Pour chacunedeces
grandeurs les principes physiques employs ainsi queles techniques et technologies
associes seront dtaills avec au minimumun exempleindustriel illustratif et ses
principalescaractristiques.

Touslesprincipesphysiqueset touteslestechnologiesneseront passystmatiquement
dtaills causedeleur complexitet du niveau levdeconnaissancescientifique
ncessaire leur comprhension. I ls seront cependant cits dans les tableaux de
synthselafin dechaquechapitre.

J 'esprequevousaurez autant deplaisir consulter et utiliser cedocument quej'ai
eu leraliser.

Nhsitez pas me faire part de vos remarques, suggestions et critiques
c.herail@iut.univ-evry.fr

ChristopheHrail
Agrg de Gnie lectrique
Docteur en Physique


NOTATIONS, CONSTANTESET CONVERSIONS
=
0
.
r
=permittivit (isolant)

0
=
9
1
.10
36.

8,84.10
-12
F/m(air)
r =permittivit relative >1
F constante de Faraday =96 485 Cmol
-1
=
0
.
r
=permabilit (magntique)

0
=4..10
-7
H/m (air)

r
=permabilit relative >1
=rsistivit (conducteur) 17.10
-9
/m 300K pour le cuivre

ou T =temprature (C, K)
R =constante universelle des gaz parfaits 8,314462 Jmol
-1
K
-1


ppm=partie par million =
6
1
10
=10
-6

1 =1 minute =1/60 (angle)
1 =1 seconde =1/60 (angle)

Induction magntique : Tesla (T)
Induction magntique : Gauss =10
-4
T
Champ magntique : A.m
-1
.
Champ magntique en Oersted : 1 A.m
-1
=4. pi.10
-3
Oe
Flux magntique : 1T.m
2
=1 wb

1 Mach 330m/s

1 lb (livre) 0.4536 kg

1 Pa (Pascal) =1 N/m
2

1 bar =10
5
Pa
1 atm=101 325 Pa =1013,25 mbar =760 mmHg 0C (pression atmosphrique)
1 mmHg(mmde mercure) =1 Torr 133,3 Pa
1 PSI 68,95 mbar et 1 bar 14,5 PSI


3
Poids molculaire
1 ppm= mg/m
22,4
(Gaz)
1 ppp =1mg/l (eau)
1 %LEL (Level Explosive Limit) =10 000 ppm (Gaz)


CHAPITRES

Capteurs de temprature 1
Capteurs magntiques 15
Capteurs de courant 34
Capteurs donde lectromagntique 47
Capteurs optiques 68
Capteurs de position et de dplacement 81
Capteurs de proximit 122
Capteurs et dtecteurs de niveau 137
Capteurs de vitesse dun solide 151
Capteurs de vitesse dun fluide 165
Capteurs de dbit dun fluide 179
Capteurs de dformation 197
Capteurs de force 205
Capteurs de couple 221
Capteurs de pression 233
Capteurs de pression acoustique 242
Capteurs dacclration et de choc 254
Capteurs de vibrations 271
Capteurs de radiations et de rayonnements nuclaires 277
Capteurs chimiques 295
Capteurs chimiques en phase aqueuse 299
Capteurs chimiques en phase gazeuse 319
Capteurs dhumidit 367
Dtecteurs de fume, de flamme et dincendie 389
Capteurs de vide 403
Capteurs biologiques 421
Bibliographie 439
i


SOMMAIRE

I Capteurs de temprature 1
Thermomtrie par rsistance 1
Thermomtrie par thermocouple 3
Thermomtrie par semi-conducteur 7
Thermopile 8
Thermomtrie quartz 9
Thermomtrie onde de surface 10
Rsonance quadripolaire nuclaire (RQN) 11
Pyromtrie ou Thermomtrie Infrarouge 11
Tableau comparatif 13
Applications 14

II Capteurs magntiques 15
Champ magntique : origines, valeurs, capteurs 15
Mthodes de mesure 15
bobine 16
Fluxgate 17
Micro-fluxgate 20
effet Hall 22
effet magntorsistif 25
Superconducting QuantumInterference Device (SQUID) 28
Tableaux comparatifs 31
Applications 33

III Capteurs de courant 34
Rsistance shunt 34
bobine sur tore magntique 35
bobine de Rogowski 36
effet Hall 39
effet magntorsistif 42
Fluxgate 43
Tableau comparatif 45
Applications 46

IV Capteurs donde lectromagntique 47
Principe 47
Paramtres dune antenne dans lespace 47
Antennes boucles 49
Diple lmentaire 51
Antenne Marconi 54
Diple repli Antenne trombone 54
Antennes Yagi 55
ii


Paraboles 58
Antennes Patch 62
Antennes GSM 63
Tableaux comparatifs 67
Applications 67

V Capteurs optiques 68
semi-conducteur 68
Photorsistance 68
Photodiode 69
Phototransistor 71
Camra CCD 72
vide : photomultiplicateur 75
Tableaux comparatifs 78
Applications 79

VI Capteurs de position et dplacement 81
Potentiomtre 81
Inductif rluctance variable 82
Inductif courant de Foucault (Eddy-Current) 84
Transformateur diffrentiel linaire (LVDT) 87
Resolver (RVDT) 90
Inductosyn linaire 91
Inductosyn angulaire 93
effet Hall 94
Capacitif 96
Optique 99
Codeur optique absolu linaire 99
Codeur optique absolu angulaire 100
Codeur optique incrmental linaire 101
Codeur optique incrmental angulaire 102
Magntorsistif double 105
Codeur magntorsistif incrmental linaire 107
Codeur magntorsistif incrmental angulaire 108
ultrasons 109
Tlmtre laser 110
Par mesure du temps de vol 110
Par dphasage 111
Par triangularisation 112
Par modulation linaire de frquence 113
Tableaux comparatifs capteur linaire 117
Tableaux comparatifs capteur angulaire 119
Applications capteur linaire 120
Applications capteur angulaire 121
Iii


VII Capteurs de proximit 122
Interrupteur action mcanique 122
Interrupteur lame souple (ILS) Reed switch 123
Inductif courant de Foucault (Eddy-Current) 124
effet Hall 128
Magnto rsistif 129
Capacitif 129
ultrasons 131
Optique 131
Tableau comparatif 134
Applications 135

VIII Capteurs et dtecteurs de niveau 137
Capteur conductif 137
Capteur capacitif 139
Capteur ultrasons 140
Capteur hyperfrquence 141
Capteur absorption gamma (Radiomtrique) 142
Dtecteur de niveau magntique 143
Dtecteur de niveau conductif 145
Dtecteur de niveau ultrasons 146
Dtecteur de niveau optique 147
Dtecteur de niveau absorption gamma 148
Tableau comparatif 149
Applications 150

IX Capteurs de vitesse dun solide 151
Vitesse linaire 151
Effet Doppler 151
Radar hyperfrquence 152
Radar laser 153
Doppler laser 154
Sonde Pitot 154
Vitesse angulaire 156
Gnratrice courant continu 156
Gnratrice courant alternatif 157
reluctance variable (VRS) 158
effet Hall et magntorsitif 160
Doppler laser 161
Fourche optique 162
Codeur incrmental optique 162
Tableau comparatif 163
Applications 164

Iv


X Capteurs de vitesse dun fluide 165
Anmomtre coupelles 165
Anmomtre hlices 166
Anmomtre fil chaud 167
Anmomtre ultrasons 170
Vlocimtrie Doppler ultrasons 172
Vlocimtre laser Doppler 173
Sonde Pitot 174
Tableau comparatif 177
Applications 178

XI Capteurs de dbit dun fluide 179
Dbits volumique et massique 179
turbine 179
tourbillons (effet vortex) 181
Sonde Pitot 182
lectromagntique 182
Ultrasonique temps de transit 184
Ultrasonique Doppler 186
masse thermique insertion 187
masse thermique capillarit 189
acclration de Coriolis 191
Tableau comparatif 194
Applications 195

XII Capteurs de dformation 197
Jauge rsistive 200
Extensomtre corde vibrante 200
Extensomtre capacitif 203
Tableau comparatif 204
Applications 204

XIII Capteurs de force 205
Rsistance FSR 205
Jauge rsistive 208
Anneau dynamomtrique 209
Dynamomtre de pesage 210
Cellule de charge 210
Inductif (LVDT +ressort) 211
Jauge capacitive 212
Pizolectrique 213
Historique et matriaux 213
Principe physique 215
Modle lectrique et conditionneur 216
v


Tableau comparatif 218
Applications 220

XIV Capteurs de couple 221
Principe fondamental 221
Jauge rsistive 222
bagues 223
Sans bague 224
Mesure de dphasage par roues dentes 226
Mesure de dphasage par disques optiques 227
transformateur diffrentiel 228
arbre magntique 229
Tableau comparatif 230
Applications 231

XV Capteurs de pression 233
Dfinition et diffrents types de pression 233
Membranes ou diaphragmes 234
jauges 234
diaphragme capacitif 234
Pizolectrique 237
reluctance variable 238
LVDT 239
Tableau comparatif 240
Applications 241

XVI Capteurs de pression acoustique 242
Appareil vocal Production de sons 243
Microphone lectrodynamique 243
Microphone ruban 244
Microphone condensateur 245
Microphone lectret 246
Microphone magntique (guitare et basse) 247
Microphone pizolectrique 249
Hydrophone 249
Directivit 250
Tableau comparatif 252
Applications 253
Utilisations 253

XVII Capteurs dacclration et de choc 254
Principe de la mesure en dplacement linaire 254
Principe de la mesure en angulaire (pendule) 256
jauge 256
vi


Pizolectrique 257
Capacitif 257
Optique 260
Fibre optique rseau de Bragg(FBG) 261
Asservi (force balance) 262
3 axes 264
Gyroscope 266
Tableau comparatif 269
Applications 270

XVIII Capteurs de vibrations 271
Gnralits : dfinition, mesures et influence du capteur 271
Exemples de capteurs utiliss et de grandeurs mesures 273
Exemple de relev 274
Exemples industriels 274
Sismomtre 275

XIX Capteurs de radiations et de rayonnements nuclaires 277
Radiation et radioactivit 277
Particules 277
Modes de production 278
Loi de dsintgration (demi-vie) 279
Units objectives 281
Units subjectives 281
Quelques chiffres 281
Gnralits sur les dtecteurs 282
Dtecteur ionisation 283
Principe 284
Zones de fonctionnement 285
Dtecteur scintillations 289
Principe 289
Rcupration des photons 290
Dtecteur semi-conducteur 292
Tableau comparatif 294
Applications 294

XX Capteurs chimiques 295
Gnralits 295
Classification 295
Principe gnral 295
Principe de base dun capteur 296
Capteurs lectrochimiques 297
Arbre des mthodes de mesure 298

vii


XXI Capteurs chimiques en phase aqueuse 299
Potentiomtrie 299
Principe 299
Type de membranes 300
Ions dtects 301
Potentiomtrie miniature (ISFET) 302
Mesure de pH par potentiomtrie 303
Notion de pH 303
Loi de Nernst 304
Sonde pH lectrochimique 305
Sonde pH ISFET 308
Fibre optique 310
Conductivit 310
Principe 310
Type de cellules 311
Choix de la cellule 312
Conductimtre 313
Ampromtrie 314
Principe 314
Cellule de Clark 315
Type dions mesurs 316
Chambre dinjection 316
Tableau comparatif 318
Applications 318

XXII Capteurs chimiques en phase gazeuse 319
Gnralits 319
Ampromtrie lectrolyte liquide 322
lectrolyte solide 323
Potentiomtrie ou pile 323
Ampromtrie 324
GasFET 325
Catalytique 326
Catharomtrique 329

MOX(Metal Oxyde) 331
onde de surface (SAW) 337
Microbalance (QCM) 342
Capacitif 344
Optique 346
Fibre optique 346
Dtecteur infrarouge 349


viii


Photoionisation 352
Paramagntique 355
Principe 355
Magntodynamique 356
Synthse 360
Tableau comparatif 364
Applications 366

XXIII Capteurs dhumidit 367
Dfinitions 367
variation dimpdance 370
Rsistif 370
Capacitif 372
conductivit thermique 375
condensation 376
oxyde mtallique 378
Hygromtre lectrolytique 379
Psychromtre 381
Synthse 385
Tableau comparatif 387
Applications 388

XXIV Dtecteurs de fume, de flamme et dincendie 389
ionisation 389
Photolectrique diffusion 391
Photolectrique absorption 392
Dtecteur de flamme 394
Dtecteur thermo vlocimtrique 399
Critres de choix 400
Tableau comparatif 401
Applications 402

XXV Capteurs de vide 403
Le vide 406
Jauge Pirani 407
Jauge capacitive 409
Jauge thermocouple 410
Jauge pizorsistive 412
Jauge ionisation Penning(cathode froide) 413
Jauge ionisation BayardAlpert (cathode chaude) 416
Tableau comparatif 419
Applications 420


ix



XXVI Capteurs biologiques 421
Gnralits 421
Bio rcepteurs 422
Dfinition et rle 422
Catalyse (Mtabolique) 423
Affinit 425
Matire vivante 426
Hybridation 426
Classification 427
Transducteurs 428
Association Bio rcepteurs Transducteurs 429
Exemples de capteurs 433
Capteur de taux de glucose 433
Capteurs dADN 435
Domaines et applications 437


Bibliographie 439

Ouvrages gnraux 439

Ouvrages spcifiques : domaines physiques 441
Multi domaines 441
Thermique 441
Magntique 442
Onde lectromagntique 443
Optique 443
Optolectronique 444
Pizolectricit 445
Mcanique 445
Vitesse dun solide 446
Vitesse dun fluide 446
Dbit 446
Dformation 446
Force et couple 447
Pression 447
Voixhumaine et lectroacoustique 448
Acclration et chocs 448
Vibration 448
Radiation et rayonnement 449
Chimie 450
Humidit 450
Vide 451
Biologie et mdecine 451
Nanotechnologie 452


x



Ouvrages spcifiques : grandeurs mesures 455
Multi grandeurs 455
Composants 456
MEMS 456
Temprature 457
Magntique 458
Courant 458
Antenne 459
Optolectronique 460
Pizolectrique 460
Position et dplacement 461
Proximit 461
Vitesse dun solide 461
Vitesse dun fluide 462
Dbit 462
Dformation 463
Force 463
Couple 463
Pression 464
Microphone 464
Acclration et chocs 465
Vibration 465
Radiation et rayonnement 465
Chimique 466
Chimique en phase aqueuse 466
Chimique en phase gazeuse 467
Humidit 468
Vide 468
Biolologique 469


















xi


1

I) CAPTEURSDE TEMPRATURE

1) Thermomtrie par rsistance

RT =R0.F(T)

o F caractrise le matriau et vaut 1 pour T =T0.

- Mtaux :
n
k
i 0
k=0
F(T) = A.(T - T )


Ex Pt100 :

Pour T <0 C, R(T) =R
0
[1 +A.T +B.T
2
+C.T
3
(T - 100)]

Pour T > 0 C, R(T) =R
0
[1 +A.T +B.T
2
]

R0 =100O, T0 =0C, A =3.9083.10
-3
, B =- 5.775.10
-7
, C =- 4,183.10
-12
(SI)


- Thermistance CTP : F(T) =R
0
.[1 +A.(T T
0
) +B.(T - T
0
)
2
]

Ex KTY-81 : R0 =1000O, T0 =25C, A =7.874.10
-1
, B =1.874.10
-5
(SI)

- Thermistance CTN :
| |
|
\ .
| |
|
\ .
0
-b 1 1
.
T T
0
T
F(T) = .e
T


Ex K164/100 : R0 =100O, T0 =300K, b =0, | =2000K



Pt100 (Prosensor) KTY-81 (Philips) K164 (Siemens)




2



Comparaison

Type Pt100 KTY-81 K164/100
Gamme (C) [-200, 400] [-55, 150] [-60, 180]
S 300K (O/K) 0,4 7,9 -0,34

Sensibilits


3

2) Thermomtrie par thermocouple

Dcouvert par hasard par Thomas Seebeck en 1821.


Effet Seebeck

U =S
AB
.(T T
0
) =(S
A
S
B
).(T T
0
)



Tableau coefficient de Seebeck (V/K)
A
I >0 Mtal A
Mtal B
Mtal A
Mtal B
V U >0
T
T
0
T
T
0

Exemple



Exemple de fabrication
Nickel - Chrome
Nickel - Aluminium
625 C
C 25
+
-
12,2mV


4



Tableau rcapitulatif des thermocouples standards




Type S
(V/K)
B 8
E 60
J 51
K 40
N 38
R 12
S 11
T 40

Tableau sensibilit thermocouple 300K Exemple industriel (Gefran)



5



Caractristiques thermocouples



Table thermocouple type K (V)


7

3) Thermomtrie par semi-conducteurs

a) En tension








b) En courant








v
d
I
1
I
2
V
cc
Q
1
Q
2
R
Q
1
Q
2
Q
4
Q
31 Q
32 Q
3n
IT
I I
R
,
+
_
H H
19
10 3
1
V =k .I.B = .I.B
q.n.e
q =1,6.10
n =concentration des porteurs 10 cm (Si)
e =paisseur

~

V
EB1
=V
EB2
I
CQ1 =I
CQ2 I
T
=2.I

VBE3 +R.I =VBE4 +R.I

T T
S S
I/n I
V . Ln +R.I =V . Ln +R'.I
I I
| | | |

| |
\ . \ .


T
T T
V 2.k
I =2. . Ln(n) = .Ln(n).T I
R - R' q.(R- R')
=


Exemple : AD590 (Analog Devices)

n =8, R =358O , R =0O

I
T
=10
-6
. T

Gamme =[-55, 150] C
S=1A/K


8

4) Thermopile

Dispositif thermolectrique qui se compose de thermocouples raccords en
srie. Il dtecte la temprature dun objet en absorbant le rayonnement
infrarouge (IR) qui met de surface de lobjet
Trs utilis dans les applications de mesures de temprature sans contact et de
systmes de surveillance de la temprature.


4 4
T 0
U .S .(T - T )
c =missivit IR de lobjet
ST =sensibilit de la thermopile












Constitution Exemple industriel (Meas-Spec)

Gammes = [ -100, 1000] C en indirect
[-40, 125] C en contact direct
U =qq mV 25C
S=qq V/K
Mtal A
Mtal B
V U >0
T
T
0
Thermocouple
Mtal A
Mtal B
V U >0
T
T
0
Thermopile
Absorbeur
Rayonnement
thermique


9

5) Thermomtrie quartz

La frquence de rsonance dun quartz dpend de la temprature et sa coupe :

On peut obtenir du quartz qui suit la loi suivante :

f(T) =f(T
0
).[1 +o.(T T
0
) +|.(T T
0
)
2
]

Ex : T
0
=25C, f(T
0
) =262,144kHz, o =34,5.10
-6
C
-1
, | =18.10
-9
C
-2


Courbe de rponse en temprature du quartz (ppm)


10


Principe de la mesure
Gamme =[-80, 250] C
S =qq kHz/C
Prcision =0,02C

6) Thermomtrie onde de surface (SAW)

Rsonateur par onde de surface dont la frquence de rsonance varie avec la
temprature.


Gamme =[-50, 200] C
S =1kHz/C

Intrt : - Consomme trs peu dnergie
- Utilis en Wi-fi

Oscillateur Quartz
f
osc C T
n Frquencemtre


11

7) Rsonance quadripolaire nuclaire (RQN)

Rsonance magntique nuclaire (RMN) avec champ lectrique :

Les noyaux atomiques soumis un champ lectromagntique absorbent
l'nergie puis la restituent (phnomne de relaxation). Cette nergie restitue
correspond une frquence bien prcise :

E=h.f o h =6,63.10
-34
J.s =constante de Planck

La temprature modifie cette frquence.

Exemple : Cristal de chlorate de potassium

Gamme =[90, 400] K
S =5kHz/K
Prcision = 10
-3

8) Pyromtrie ou Thermomtrie Infrarouge

a) Principe
Utilise une conversion luminance dun corps
4
. .T
L =

en temprature
lintrieur dune cellule de mesure, temprature mesure au moyen dun
thermocouple, dune thermistance ou dun bolomtre.



Appel parfois thermomtre laser quand un laser est intgr pour aider la
vise.

Gamme =[-100, 5000] C
Prcision =1C
Intrt : mesure distance, sans contact


12


b) Exemples industriels

- Portable (Electronic Measuring Instruments)



- Fixe (Optron)



14

10) Applications



Mthode Applications & Domaines
Rsistance Pt Rgulation chauffage
Rsistance CTP Thermostat
Rsistance CTN Oscillateur sinus
Thermocouple Four
Semi-conducteur Automobile - Mdical
Thermopile Milieu hostile et dangereux
Quartz Laboratoire
SAW Tlmesure
RQN Laboratoire
Pyromtre Milieu hostile et dangereux













15

II) CAPTEURSMAGNTIQUES

1) Champ magntique : origines, valeurs, capteurs

2) Mthodes de mesure

a) Organigramme



16

b) Diffrence entre la mesure de champ et de flux magntique







3) bobine

a) Principe

Le champ magntique est converti au moyen dune bobine en tension.



e

Ne fonctionne pas pour des champs en rgime continu !!!
H
0 r
dH
e(t) =- . .n.S. .cos( )
dt
n =nombre de spire
S=surface d'une spire
=angle entre le champ H et la perpendiculaire
la surface




17

b) En pratique

Afin damliorer la sensibilit, la bobine peut tre ralise autour dun
support magntique de type ferrite :




c) Exemple industriel (Brockhaus)










4) Fluxgate

a) Principe

Le capteur fluxgate le plus simple se compose dun noyau fait dun matriau
magntique doux, le plus souvent un alliage ferromagntique, et dau moins
deux bobinages : un dexcitation et un de dtection.

Le principe de fonctionnement du capteur fluxgate est relativement simple et
exploite la fois le phnomne de saturation et la symtrie de la courbe
daimantation du noyau magntique.




Gamme =[0,1T, 100T]

S=10mV/T

c =0,1%


18

Il est fond sur la modulation temporelle de la permabilit dun matriau
magntique.






b) Chronogrammes



H
0
~ k
g
.(t
1
t
2
)





det
n dH
V = . .g(H)
S dt
g(H) est la fonction flux gating
(vanne de flux)



19

c) Conditionneur

d) Mode diffrentiel

Pour amliorer la linarit le capteur, on utilise une structure
diffrentielle :

e) Diffrents types



20

f) Exemples industriels

- 1 Axes (Autonix)




- 3 axes (Wuntronic)





5) Micro fluxgate

Cest un fluxgate intgr sur du silicium.

a) Coupe


Gamme =[1nT, 100T]

S=3,3mV/T

c =1%
Gamme =[10G, 1G]

S=4V/G

c =0,1%


21


b) Vue de dessus






c) Exemple industriel : circuit intgr CMOS(CEA/LETI)












Gamme =[50nT, 60T]

S=3760V/T

c =5nT


22

6) effet Hall (1855 1938)

a) Principe de leffet Hall

- Phnomne de Hall




- Principe de fonctionnement






H H
Rem : V =k .B.cos( ) avec angle antre le champ B et la surface


Fonctionne aussi bien avec des champs continus ou variables.

~
H H H
19
10 3
I I.B
V =k .B = .B =R .
q.n.e e
q =1,6.10 C
n =concentration des porteurs 10 cm (Si)
e =paisseur





23

b) Exemples industriels

- Capteur seul (Honeywell)



- Capteur linaris (F.W. BELL)






- Capteur linaris et programmable (Micnonas)

Synoptique gnral

Gamme =[10G, 10kG]

S=60mV/kG

c =1%
Gamme =[0, 50mT]

S=58mV/mT

c =0,5%


24





Synoptique du traitement numrique



Gamme =[0, 150mT]

S
Prog
=0,1V/mT 10V/mT

c =0,1%


25

7) effet magntorsistif
a) Principe dune magntorsistance

La rsistance dpend du champ magntique.
Elle est utilise en gnral avec un aimant ou un matriau magntique.


Il en existe 5 grandes familles :
- AMR =Anisotropic magntorsistance
- GMR =Giant magntorsistance
- TMR =Tunnel magntorsistance
- CMR =Colossal magntorsistance
- EMR =Extraordinary magntorsistance

Exemple pour une GMR


26

b) Capteur en pont

Quatre magntorsistances sont montes en pont de Wheatstone :


Principe


Caractristique et linarisation




27

c) Exemples industriels

- 1 axe AMR (Advanced MicroSensors)




- 2 axes GMR (Philips)

Le circuit intgr est constitu de 2 ponts : un par axe. Permet la
mesure dun champ planaire.




Gamme =[0, 6G]

S=1mV/V/G

c =0,5%

Gamme =[0, 0,2kA/m]

S=16mV/V/kA/m

c =1%



28

8) SQUID (Superconducting QuantumInterference Device)

a) Supraconductivit

La supraconductivit (ou supraconduction) est un phnomne caractris par
l'absence de rsistance lectrique et l'expulsion du champ magntique (effet
Meissner) l'intrieur de certains matriaux dits supraconducteurs.
La supraconductivit conventionnelle se manifeste des tempratures trs
basses, proches du zro absolu (-273,15 C).
Dans les supraconducteurs conventionnels, des interactions complexes se
produisent entre les atomes et les lectrons libres et conduisent
l'apparition de paires lies d'lectrons, appeles paires de Cooper.
Il existe des matriaux supraconducteurs non conventionnels qui
prsentent des proprits supraconductrices des tempratures bien plus
leves que les supraconducteurs conventionnels, jusqu' des tempratures
de l'ordre de 133 K, soit -140 C.

b) Effet Josephson

Il se manifeste par l'apparition d'un courant entre deux matriaux
supraconducteurs spars par une couche faite d'un matriau isolant ou
mtallique non-supraconducteur en dessous dune temprature critique TC
(qq K).

c) Jonction Josephson

Principe Caractristique

Un courant I
C
existe alors que V =0 !!!



29

d) SQUID

Le squid est le dtecteur de champ magntique le plus sensible qui existe.
Il convertit le flux en tension en combinant deux phnomnes physiques :

- la quantification de flux dans un anneau supraconducteur

u ~
34
15
0 19
h 6,63.10
=flux quantum = = 2.10 weber
2.q 2.1,6.10

- leffet Josephson.

Il existe deux types de squid :

- le squid DC =le plus prcis

- le squid RF =le plus courant

- SQUID DC

R
1
~ R
2
=R, L
1
~ L
2
=L, C
1
~ C
2
=C

Principe et modle lectrique

La boucle est place dans une enceinte trs basses tempratures.

Deux jonctions Josephson sont places en 1 et 2.

o u =0

On injecte I qui se divise en 2, I
1
=I
2
=I/2 avec V =0 tant quon na pas
attend le courant critique IC des jonctions soit Ilim =2.IC.


30

o u 0

Il se cre un courant dcrantage (screening current) I

qui va aller vers


le bas dans la jonction 1 et vers le haut pour la 2 :

I1 =I/2 +I

I
2
=I/2 - I






Une tension V = 0 apparat ds que I
1
>I
C
. Si on inverse le sens du
champ, I

change aussi de sens donc pour I


2
=I/2 +I

>I
C
. On montre
que :

R
V = .
L
A Au


- SQUID RF

Il se compose aussi d'une boucle, mais d'une seule jonction Josephson.

0
V =- R. sin(2. . )

u
u








V
I
I



32



Tableau comparatif


33

10) Applications




Mthode Domaines & Applications
C
a
p
t
e
u
r

d
e

c
h
a
m
p

Hall
capteurs de position, champs
forts
Rsistance AMR
Capteurs de courant,
boussoles
Rsistance GMR Ttes de lecture, boussoles
Rsistance TMR Ttes de lecture, mmoires
Rsistance CMR - EMR Ttes de lecture, boussoles
Magnto-diode (MBD) Mmoires
Magnto-optique Imagerie
Magnto-transistor
(MBT)
Mmoires
Rsonance magnto-
nuclaire (RMN)
Rfrence de champ, IRM,
archologie

C
a
p
t
e
u
r

d
e

f
l
u
x

Bobine Antennes, IRM haut champ
Fluxgate Magntomtrie terrestre
SQUID bas Tc MEG, IRM trs bas champ
SQUID haut Tc Imagerie
Capteurs mixtes MCG, MEG, IRM
Magnto atomique MCG, MEG, IRM
Pompe optique Gophysique

IRM : Imagerie par rsonance magntique
MCG =Magntocardiographie
MEG =Magntoencphalographie





34

III) CAPTEURSDE COURANT

1) Rsistance shunt

a) Principe




b) Exemples industriels

- Ultra prcision (Labs)



- Trs fort courant (Imesys)




i
v =R.i
R
s
I
max
=10A

V =100mV Imax

fc =500Hz

c =0,005%
Imax =6000A

V =60mV Imax

f
c
=60Hz

c =1%


35


- HF (Newtons4th)




2) bobine sur tore magntique

a) Principe



b) Exemples industriels



(Datatronic)


1 2
2 1
2
1 2
2
n I
=
n I
I
n =1 I =
n

I
max
=2,5A

V =100mV Imax

f
c
=1MHz

c =0,1%
I
max
=25A

2
1
n 1
=
n 1000


f=1Hz 40kHz

c =0,3%


36



(TRENCH)

3) bobine de Rogowski (1881 1947)

a) Principe


b) lectronique de conditionnement

Pour rcuprer le courant, il suffit d'intgrer :


m 0
di
U = .n.A.
dt
n =nombredespires
A =Surfacedu la bobine


I
max
=10kA

2
1
n 1
=
n 100000


f =50 ou 60Hz

c =0,15%


37

c) Limites utilisation




d) Exemple industriel (Rocoil)






I
max
=100A

S=13mV/A

f =40Hz 5kHz

c =0,35%


38

e) Technologie PRIME

(LEM)

- Principe




La position spatiale des bobines a t tudie afin de rendre la mesure
robuste. On entend par l que, pour tout conducteur plac lintrieur du
capteur, la mesure est indpendante de la position du conducteur et que
linfluence dun conducteur plac lextrieur du capteur est ngligeable.

- Exemple industriel




I
max
=10A

S=1V/A

f =1Hz 10kHz

c <1%


39

4) effet Hall


Le champ magntique mis par le courant est rcupr au moyen d'un tore
magntique dans lequel est place une cellule de Hall pour le transformer en
tension.

a) Capteur en boucle ouverte



Avantage : petite taille

b) Capteur en boucle ferme

Le principe est de crer un champ HS grce au courant Is de manire
compenser le champ Hm cr par Im. Le champ mesur par la cellule de
Hall est donc nulle. Cest lerreur de lasservissement :



Avantage : prcision


40

c) Capteur de type ETA

On soustrait la tension de Hall correspondant au champ H
m
une tension
produite par le courant rcupr par la bobine du tore.



Avantage : fonctionne avec une seule tension dalim, faible.


d) Capteur de type Closed Loop C

Utilise une double compensation (double boucle)



Avantage : trs grande linarit et prcision.



41

e) Exemples industriels

- Boucle ouverte (Honeywell)



- Boucle ferme (Honeywell)




- ETA (LEM)




I
max
=900A

S=45mV/A

f =DC 50kHz

c =1%
Imax =950A

S=2,3mV/A pour 1 tour

f =DC 100kHz

c =0,2%
I
max
=100A

S=25mV/A

f =DC 100kHz

c <1%


42

- Closed Loop C Type (LEM)




5) effet magntorsistif

a) Principe

Principe du capteur



Synoptique


I
max
=50A

S=100mV/A

f =DC 50kHz

c <0,1%


43


b) Exemple industriel (Sensitec)




Imax =150A

S=16,7mV/A

f

=DC 400kHz

c =0,8%



6) fluxgate

a) Principe du capteur

Il reprend le principe du capteur effet Hall dans lequel la cellule de Hall est
remplace par un fluxgate.

Cest un transformateur de courant qui fonctionne aussi en DC !






44


b) Diffrents types



c) Conditionneur


d) Exemple industriel (PREMO)

I
max
=700A

S=100mA/A

f =DC 100kHz

c <0,01%


46

8) Applications



Mthode Domaines & Applications
Shunt Moteur lectrique
Bobine tore Courant secteur, diffrentiel
Bobine Rogowski Haute temprature
Hall BO Dtecteur de dfaut de terre
Hall BF Asservissement de courant
Hall ETA Onduleur
Hall C type Haute tension
Magntorsistance Circuit imprim et intgr
Fluxgate standard Panneau solaire
Fluxgate 2 noyaux Voiture lectrique
Fluxgate 3 noyaux Asservissement de courant
Fluxgate 2 noyaux
sans transformateur
Hacheur
















47

IV) CAPTEURSDONDESLECTROMAGNTIQUES

1) Principe

l ectr i que l ectr omagnti que
Ener gi e Ener gi e



2) Paramtres dune antenne dans lespace (vide)

a) Impdance


L C
R
r
R
p
Chaleur Onde





b) Bande passante

Intervalle de frquence pour lequel la puissance est suprieure
max
P
2

soit -3dB en tension (ou courant).


c) Polarisation

Orientation du champ E

dans la direction du rayonnement maximum. Il


existe :

- Polarisation horizontale
- Polarisation verticale
- Polarisation circulaire
- Polarisation elliptique
- Polarisation croise




Rr =rsistance de rayonnement Puissance
lectromagntique

Rp =rsistance de perte Perte lectrique

Coefficient defficacit =
r
r p
R
R +R



48

d) Gain
antenne
sourceisotopique
rayonne
rayonne
P
G =
P


Source isotopique =antenne sans perte idale rayonnant uniformment dans
toutes les directions.
Un diple lmentaire (/2) est souvent pris comme source rfrence.

e) Diagramme de rayonnement

Cest la mesure, une distance donne et constante, de la puissance
rayonne.
On obtient donc une image 3D.






49

En pratique on normalise en divisant par la puissance rayonne maximale
mesure et lon trace 2 diagrammes de rayonnement en coordonnes
polaires :

- Dans le plan horizontal
- Dans le plan vertical




3) Antennes boucles

a) Petite boucle (Magnetic Loop)





Accorde au moyen dun condensateur variable



H
i



50




Exemples


On peut augmenter la sensibilit en faisant plusieurs tours (spires) et en
utilisant un noyau magntique (ferrite rod). Le matriau magntique permet
de concentrer le champ magntique sur les spires.




Exemple : Antenne de rcepteur PO-GO







51

b) Grande boucle


4) Diple lmentaire

a) Principe


b) Impdance

Z=R
r
+jX
a


En thorie :

L =/2 Z=73O

Do cble TV dimpdance caractristique de 75O
e
d
L


Longueur de la boucle ~

Polarisation donne par le plan
ralis par le fil

En thorie :

d 0

e 0

Problmes mcaniques !!!!


52



Influence du diamtre du brin

Influence du sol


53

c) Bande passante

Augmente quand d/ augmente

d) Polarisation

Le champ lectrique est parallle lantenne dans sa longueur.

e) Gain

0 dB par dfinition

f) Diagramme de rayonnement


Diple thorique

Influence du diamtre du brin




54

5) Antenne Marconi (fouet)



On peut allonger (raccourcir) artificiellement lantenne en rajoutant en srie une
inductance (un condensateur).

Application lantenne pour voiture :

f
porteuse moyenne FM
=100Mhz
moyen
=3m brin de longueur 0,75m

Pour recevoir le PO et GO une self est mise en srie.


6) Diple repli - Antenne trombone


/4
Conducteur plan
degrandes dimensions
par rapport
Brin image

Bidirectionnelle comme le diple

Antenne ruban FM avec ligne filaire 300O : forme un T.



55

7) Antennes Yagi

Le gain est augment au moyen de directeurs et rflecteurs.


Directeurs : pour concentrer le champ vers llment capteur (diple ou
trombone)




Rflecteur : pour rendre lantenne unidirectionnelle et renvoyer le champ
vers llment capteur.




Ralisation pratique de rflecteurs au moyen de grilles mtalliques :


Sens de propagation
Sens de propagation


56










Pour Bande FM

G =12dB







Pour Bande UHF




G =12 dB







G =18dB








G =24dB


57








Wi-Fi






58



GSM 3G


8) Paraboles

a) foyer primaire ou centr




Soit | =diamtre de la parabole
Il faut | >10.
2
G 3.

| |
~
|
\ .


A.N. : en UHF fmin =470MHz soit
|
max
=6,4m!!!!

Antenne trs directive

Application : Radar & Astronomie


59


b) Cassegrain








Rmetteur TV











60

c) foyer dcal (offset antenna)









TV satellite


61

d) Grgorien (Gregory antenna)















La plus utilise en rception TV Satellite.



62

9) Antennes Patch

Antenne circuit imprim microstrip




TV TNT



Wi-Fi




63

10) Antenne GSM



Spare



Moule dans le coque


64








65


11) Autres antennes

- Rhombique ou losange : 10 200Mhz

- Rideau ou colinaire : trs directive

- Hlicodale : VHF

- Log-priodique et spirale quidistante

- Quad : Wi-Fi, TNT, ISM

- Cornet : Bande S

- Didre : >1,2GHz

- Tout un monde inventer






66



Mont Aigual (Lozre & Gard)





67

12) Tableau comparatif




13) Applications


Mthode Domaines & Applications
Boucle Dtecteur de mtaux
Diple Mesure
Marconi Automobile
Trombone Radio FM
Yagi TV VHF & UHF
Parabole TV satellite, Astrophysique
Patch GPS, Wi-Fi, UHF- TNT
GSM Tlphone portable
Mthode
Gain
(dB)
Impdance
()
Frquence
(Hz)
+/ -
Boucle [0 , 10] [0, 2000] [100k , 3G]
Insensible au
champ
lectrique
Diple 0 75 [50M , 10G]
Antenne de
rfrence
Marconi 0 75 [50M , 10G] Plus courte
Trombone 0 300 [50M , 10G] Solidit
Yagi [3 , 30] 50 [50M , 10G]
Gain / Prise au
vent
Parabole [5, 70] [10, 100] [1, 100] G
Gain / Prise au
vent
Patch
6 21 pour 1
16 cellules
[100, 350] [0.1, 10] G Miniature
GSM [2, 5] 50 900, 1800, 2600 M Courte / Gain


68

V) CAPTEURSOPTIQUES

1) semi-conducteur

a) Photorsistance

- Principe

Les photons vont modifier rsistivit du matriau et donc la rsistance du
composant.

Principe Symbole

- Caractristiques

R k.E avec [0.5, 1]

~ e

Courbe R =f(E)



69


Spectres de rponse

- Exemple industriel (Silonex)



b) Photodiode

- Principe

Les photons librent des lectrons dans une jonction polarise en inverse.

Du fait que la taille dun lectron est infiniment plus petite que celle de
latome, la probabilit quun photon heurte un lectron et lui transmette
son nergie est statistiquement extrmement faible Courant cre lui-
mme trs faible.
R =10kO pour E =10Lx

tr =50ms

c =5%


70



Interaction Photon - lectron



Constitution Symbole

Il existe un courant dobscurit (Dark Current) qui correspond au courant
inverse dune diode standard.

- Exemple industriel (Hamamatsu)










71



c) Phototransistor

- Principe

Le courant de base du transistor provient dune photodiode.
Le photocourant est ainsi amplifi du facteur | du transistor.
La grandeur de commande du transistor devient lclairement.
Le phototransistor sutilise comme un transistor bipolaire classique, aussi
bien en rgime linaire quen commutation.

- Exemple industriel (Optek)








72

d) Camra CCD (image)

- Principe

Elle est constitue dune matrice l x p de nano-capteurs optiques o
l =nombre de lignes et p =nombre de pixels par ligne.


Les informations sont lues grce deux registres dcalage analogique,
colonne par colonne.




73

Pour obtenir une image en couleur, il faut 3 camras CCD munies chacune
dun filtre rouge ou vert ou bleu.


Filtre colonne Filtre de Bayer Filtre de Rockwell






- Exemples industriels


o Linaire (Fairchild)




p =2048 pixels

S=10V/photon

Vitesse =80Mpixel/s


74


o Matrice (Kodak)












l x p =6576 x 4384 pixels

S =22V/photon

Vitesse =40Mpixel/s


75

2) vide : Photomultiplicateur

a) Principe



Les photons incidents traversent une photocathode, constitue d'une fentre
de verre, quartz ou borosilicate, sur l'intrieur de laquelle est appose une
fine couche de mtal ou de semi-conducteur.

Lorsqu'un photon atteint le semi-conducteur, il excite un lectron de la bande
de valence, qui est alors diffus vers la surface du semi-conducteur du fait de
la diffrence de potentiel avec l'extrieur.

Si l'nergie de l'lectron est suprieure au niveau nergtique du vide
l'intrieur du PM, alors il est ject du semi-conducteur, et appel
photolectron . La probabilit pour un photon incident de produire un
photolectron est dfinie comme l'efficacit quantique, et dpend entre
autres des matriaux utiliss pour la fentre et le semi-conducteur, ainsi que
de la longueur d'onde du photon incident.

Les photolectrons quittent la photocathode et sont ensuite focaliss par un
jeu d'lectrodes vers un lectro multiplicateur, constitu d'une srie de
dynodes dont le but est de transformer le photolectron initial en un paquet
d'lectrons suffisant pour constituer un courant lctrique mesurable.



76

Chaque dynode tant maintenue une valeur de potentiel plus importante
que la prcdente, la diffrence de potentiel entre la dynode et la dynode
suivante acclre les lectrons ainsi mis, qui acquirent suffisamment
d'nergie pour gnrer un certain nombre d'lectrons secondaires sur la
dynode suivante.
Il se produit donc, de dynode en dynode, un effet d'avalanche.
La position et la forme des dynodes sont optimises de sorte que le temps de
transit des lectrons soit minimis.
Une anode collecte les lectrons secondaires mis par la dernire dynode
partir desquels elle gnre un courant lectrique, recueilli en sortie du
photomultiplicateur.


Influence du nombre de dynodes

b) Exemple industriel

- Tube seul (Hamamatsu)



=750nm

S=20A/Lm

t
r
=200ps


77

- Vision nocturne (ITT Defense)







E
min
=1mLx 500m

S=1600A/Lm

tr =1ms



79

4) Applications



Mthode Domaines & Applications
Photorsistance Aquarium(Jour - Nuit)
Photodiode Luxmtre
Photodiode
avalanche
Fibre optique communication
Phototransistor Opto coupleur
CCD linaire Lecteur code-barres
CCD matrice Photo / Camra
Photomultiplicateur Vision nocturne - Astrophysique






80


















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81

VI) CAPTEURSDE POSITION ET DPLACEMENT

1) Potentiomtres

La tension issue du montage potentiomtrique est l'image linaire du
dplacement rectiligne (translation) ou dplacement angulaire (rotation).

a) Linaire : dplacement rectiligne

Potentiomtre 10kO (APLS) Potentiomtre 1000O (TME)

Al =5mm, c
nl
=2% Al =500mm, c
nl
=0,05%



b) Rotatif : dplacement angulaire

Potentiomtre 10kO - | =30mm( MCB) Potentiomtre 500O - | =11cm(CELESCO)

A = 350, c
nl
=1% A = 180, c
nl
=0,15%


82

2) Inductif rluctance variable


a) Simple


2
0 0
0
0 0
2. .N . S L
S= -
x l
N =nb de spires, S =section du noyau, l =longueur moyenne du noyau
A
~
A

Avantage : mesure sans contact

Ncessite un conditionneur (oscillateur)


83

b) Diffrentiel












c) Exemple industriel (Epsilon)







x
max
=9mm

S=500H/mm

c
nl
=0,1%




84

3) Inductif courant de Foucault (1819 1868)

Appel aussi Eddy current.

a) Principe

La cible mtallique modifie le champ magntique d'une bobine en absorbant
de l'nergie par courant de Foucault, ce qui entrane une variation de
l'amplitude du signal. On rcupre cette variation qui limage de la distance
ou du dplacement.



Principe courant de Foucault




Influence de la distance sur le signal




85

b) Conditionneurs

Par dmodulation



Par mesure de phase


86


Exemple de signal rcupr
c) Exemple dutilisations



- vibration,
- dplacement,
- distance,
- dformation,

d) Exemple industriel (Epsilon)


| =20mm,

xmax =4mm

S>50mV/m

c =20nm



87

4) Transformateur diffrentiel linaire (LVDT)

Cest un transformateur dont le circuit magntique se dplace.

a) Principe et constitution


Court Long


Coupe



Cblage


88

b) Signaux




s
p p S 1 2 p
max p
L x
R << .L u (t) =u (t)- u (t)= . .U.sin( .t)
x L
e e



89

c) Conditionneur

On rcupre une tension signe proportionnelle la position centrale au
moyen dune dtection synchrone (voir cours Modulation dAmplitude).



lectronique de conditionnement


d) Exemple industriel (Solartron Metrology)












| =9,5mm

xmax =6mm

S=80mV/V/mm

c
nl
=15m



90

5) Resolver (RVDT)

a) Principe

Coupes (2 ples)

b) Schma lectrique quivalent

c) Position rotor-stator




91

sin m cos m
u (t) =U.sin( .t).sin(p. ) et u (t) =U.sin( .t).cos(p. )
p =nb paires de ples
e 0 e 0

Une dtection synchrone permet de rcuprer une tension proportionnelle
u
m
.

d) Exemple industriel (Moog)


6) Inductosyn linaire

a) Principe


| =19mm

umax =60

S=61mV/

c =0,2



92


b) Schma lectrique


sin cos
p p
2. .x 2. .x
u (t) =U.sin( .t).sin( ) et u (t) =U.sin( .t).cos( )
x x
t t
e e

Une dtection synchrone permet de rcuprer une tension proportionnelle
x.
Remarque : le couplage entre la rgle et le curseur tant trs faible (pas de
matriau magntique comme dans le resolver) il faut amplifier fortement U
sin

et U
cos.

c) Exemple industriel (SME)


xmax =3m

S =2,5V/m

c =1m



93

7) Inductosyn angulaire

a) Principe et coupe

b) Calcul
m
sin
p
m
cos
p
p
sin m cos m
2. .
u (t) =U.sin( .t).sin( )
2. .
u (t) =U.sin( .t).cos( )
2.
Or = , p [2, 2048]
p
u (t) =U.sin( .t).sin(p. ) et u (t) =U.sin( .t).cos(p. )
t 0
e
0
t 0
e
0
t
0
e 0 e 0
e



Une dtection synchrone permet de rcuprer une tension proportionnelle
um.

Ici aussi, le couplage est faible et donc Usin et Ucos doivent tre amplifis.


Intrt des inductosyns : fonctionne dans des environnements svres




94

c) Exemple industriel (CTI)



8) effet Hall

a) Principe de la mesure dun angle

Un aimant est entran en rotation. En fonction de langle de rotation la
tension de Hall varie.


| =40mm

umax =180

S =2mV/

c =0,5 =0,14m


95

b) Exemple capteur seul (BAUMER)



c) Capteur circuit intgr (AMS)

- Principe

- Synoptique


| =87mm, u e[20, 360]
S=1.5mV/
c =0,025%





96

9) Capacitifs


Il s'agit de condensateurs plans ou de condensateurs cylindriques o :

- l'une des armatures subit le dplacement

- La nature de l'isolant change entranant une variation de la permittivit

=>variation de la capacit

a) Simple


Plan :
.A
C=
D
c



b) Double (diffrentiel)


Plan

A
2
et A
3
fixes, A
1
mobile

Ncessite un conditionneur




Cylindrique :
2
1
2. . .L
C=
r
Ln( )
r
t c



Cylindrique


97

c) Sonde capacitive

- Principe de base



- Utilit dun anneau de garde



Sans : lignes de champ dvies



Avec : lignes de champ uniforme
.A
C=
D
c



98


Coupe et modle lectrique

d) Exemples dapplications industrielles





99

e) Exemple industriel (E2J)






10) Optique

Bass sur des ensembles metteurs-rcepteurs optiques fonctionnants en
transmission (paires de LED +Phototransistor)

a) Codeur absolu linaire

- Principe



o Exemple industriel (Heidenhain)



| =14mm, D
max
=2mm
S=10fF/m
c =1,5nm

x
max
=4240mm

c =1m



100

b) Codeur absolu angulaire

- Principe


- Exemple : 12 bits code Gray






Disque




Binaire naturel Gray


Codes




101

- Exemple industriel (Fagor)


c) Codeur incrmental linaire

- Principe

- Exemple de rgles (Heidenhain)


| =90mm,

u
max
=180

Nb bits =19

c =2,5 =7m



102

- Exemple industriel (Heidenhain)








d) Codeur incrmental angulaire

- Disque












x
max
=3040mm

c =3m



103

- Chronogrammes






- lectronique de dcodage

Les codeurs incrmentaux linaire ou angulaire ncessitent une
lectronique de comptage et une position de rfrence.

Le sens de dplacement ou de rotation est donn par la position du front
montant de B par rapport celui de A.



104





- Exemple industriel (Fagor)





Compteur
D
Clk
Q
n
vers controleur ou CNA A
B
Clk
Up/Down
Reset
Sens derotation
INDX (Top Zro)
0
1
| =200mm

u
max
=180

Nb impulsion par tours =360 000

c =2 =5,5m



105

11) Magntorsistif

Il est utilis en gnral avec un aimant ou un matriau magntique.

a) Double (Chen Yang)

- Principe



Modle lectrique

Les rsistances R
1-2
et R
2-3
varient en sens inverse.

Lutilisation de 2 rsistances permet de linariser la rponse du capteur en
faisant R
1-2
R
2-3
.

- Conditionneur





106

- volution des rsistances en fonction de la distance (l =10mm)





107

b) Codeur incrmental linaire

- Principe

On utilise une barre avec aimantation alterne et on dispose 2 capteurs
comme pour un codeur linaire incrmental optique mais les signaux
rcuprs sont quasi sinusodaux.






- Signaux




108

- Exemple industriel (ASM)




c) Codeur incrmental angulaire

- Principe dune roue magntique



- Exemple industriel (ASM)



x
max
=50m

Distance entre 2 ples =1mm

c =80m/m


| =30mm

umax =180

Nb impulsion par tours =102400

c
nl
=0,1%



109

12) ultrasons

a) Principe

Bas sur la mesure du temps daller-retour dune onde ultrasonore se
propageant dans lair et se rflchissant sur une cible.




b) Exemple industriel (Hexamite)




v. T.cos( )
d =
2
u A

f
0
=40kHz 5kHz

S=10mV/Pa


110

c) Influence de la temprature

La vitesse du son dans lair dpend de la temprature :

v =331,4. 1+ m/s avec en C
273
u
u

Pour des tempratures au voisinage de 0C la loi de dpendance devient
quasi linaire :

v 331,4.(1+0,607. ) m/s avec en C u u ~



111

d) Compensation de la temprature

Il peut donc tre ncessaire de corriger linfluence de la temprature pour
annuler lerreur due cette grandeur dinfluence.


Synoptique avec

Remarque : la vitesse du son dpend aussi de laltitude et du taux dhumidit !!!

13) Tlmtre laser

a) Par mesure du temps de vol

Mme principe que la mesure par ultrason, on calcule la distance partir de la
mesure du temps de vol (aller ou retour) t parcouru par le rayon laser soit
v.
d =
2
.

Intrt : la vitesse de la lumire dans lair est indpendante de la
temprature, pression, humidit,


E
R
Electronique
de
Traitement
Conditionneur
+
CAN
Capteur u
C


112


b) Par dphasage

On utilise une technique de modulation damplitude de la source dmission


La puissance lumineuse dmission vaut : PE =P0.[1 + m.sin(2..fm.t)] o fm est
la frquence modulante.

Le signal revient au rcepteur au bout dun temps t =z/c.

La puissance reue vaut donc PR =a.P0.[1 + m.sin(2..fm.(t 2.t)] o a est
lattnuation du signal lumineux.

P
R
=a.P
0
.[1 + m.sin(2..f
m
.t - 4..f
m
. z/c)]

On voit donc apparatre un dphasage = 4..fm. Z/c. Le bloc de traitement
calcule directement et en dduit :


m
c
z =( +2. .n).
4. .f
t
t


Si dpasse 2. il y a ambigut.

D'autre part, on utilise souvent plusieurs frquences avec un algorithme de
recherche automatique






113

c) Par triangularisation




b
z =f. 1 +
.sin( ) o |
(
(



d) Par modulation linaire de frquence (FMCW)

On utilise une technique de modulation de frquence (signal triangulaire) afin
damliorer la prcision.



Principe





114

e) Comparaison des mthodes


f) Exemples industriels

- Capteur laser par triangularisation (Keyence)

o 1D


d =8mm

c =0,2m


115


o 2D




- Tlmtre laser par temps de vol

o Golf (Nikon)






d e [5, 500] m

c =0,2m
d =80mm

c =0,1m


116




o Militaire (Newcon)




d e [60, 25 000] m

c =5m



118





















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120

15) Applications


a) Linaire


Mthode Domaines & Applications
Potentiomtre Petit asservissement
Rluctance variable Environnement poussire, eau, fume
Courant de Foucault Environnement poussire, eau, fume
LVDT Asservissement de haute prcision
Inductosyn Machine outil
Capacitif Mesure dpaisseur (CD, DVD, filmplastique, )
Sonde capacitive Chane de fabrication
Optique absolu Asservissement de position
Optique incrmental Asservissement de position
Magntorsistance Petit asservissement
Rgle magntique Machine outil
Ultrason Tlmtre - Robotique
Laser Control de pice
Tlmtre laser Tlmtrie longue distance




121

b) Angulaire


Mthode Domaines & Applications
Potentiomtre Petit asservissement
Resolver RVDT Volet avion
Inductosyn Antenne radar
Effet Hall Petit asservissement - CI
Capacitif Petit asservissement
Optique absolu Asservissement de position
Optique incrmental Asservissement de position
Bague magntique Machine outil
Gyroscope iPhone




122

VII) CAPTEURSDE PROXIMIT

1) Interrupteurs

a) Interrupteur action mcanique

Utilis en dtection de fin de course, bute, came, cible.

Existe en version simple, inverseuse, double, multi ples

Nombre de manuvre >1 000 000



Rectiligne Angulaire



Diverses sortes



123

b) Interrupteur lame souple (ILS) Reed switch

- Principe

Interrupteur command par un champ magntique (aimant)


- Deux modes de commande




- Exemples Industriels




Ampoule (Celduc)





Complet (Fargo)




d
dtection max
=10mm 5mT

R
on
<0,1O

Imax =3A

t
r
=0,5ms
d
dtection max
=5mm 3mT

R
on
<0,05O

Imax =0,5A

t
r
=0,1ms


124

- Circuits de protection



Existe en version inverseur et en version SHF ( 7GHz)

2) Inductif courant de Foucault (Eddy-Current)

a) Principe

La cible mtallique modifie le champ magntique d'une bobine en
absorbant de l'nergie par courant de Foucault, ce qui entrane une
variation de l'amplitude du signal. On dtecte donc cette variation
damplitude au moyen dun comparateur.




b) Coupe du capteur




125

c) Fonctionnement


d) Porte




126

e) Influence du type de cible






f) Exemple industriel (BR Braun)



u =20mm

ddtection max =10mm

t
r
=1,5ms



127

g) Exemples dapplications industrielles

- dplacement,
- vibration,
- alignement,
- tri,




128

3) effet Hall

a) Synoptique du capteur complet



b) Modes dutilisation



c) Exemples dapplications industrielles









129

d) Exemple industriel (Chen Yang)




4) Magnto rsistif

a) Principe

Mme principe que pour les capteurs de position et dplacement
magntorsistance, mais le signal de sortie est envoy un comparateur -
trigger comme pour les capteurs courant de Foucault ou capacitif.

b) Exemple industriel (IFM)




5) Capacitif

a) Principe

u =18mm

ddtection max =5mm 0,8mT

f
swicth max
=5kHz

d
dtection max
=20mm 200Gauss

Sortie open collector

I
max
=200mA

fswitch max =50kHz


130

b) Exemples dapplications industrielles




c) Exemple industriel (EGE)









u =30mm

ddtection max =25mm=Sn

fswicth max =10Hz





Influence de la cible




131

6) Ultrasons

a) Principe

Mme principe que pour les capteurs de position et dplacement ultrason
mais le signal de sortie est envoy un comparateur trigger.



b) Exemple industriel (Truck)



) Optique

a) Principe et synoptique gnral

Bas sur lenvoi et la rception de la lumire





f
0sc
=224kHz

ddtection max =3m

tr =45ms




132

b) Diffrents types

- Type barrage (barrire)






- Type proximit (rflexion directe)





- Type rflex
















133

c) Exemples industriels
- LED (Frago)


- Laser rouge (RICO)






d
dtection max
=1m

f
swicth max
=400Hz













d
dtection max
=25m

f
swicth max
=1kHz



135


9) Applications


Mthode Domaines & Applications
Interrupteur Fin de course machine-outil
Interrupteur ILS Commande isole
Courant de Foucault Dtection de pice mtallique, centrage
Effet Hall Prsence de pices, scurit
Magntorsistif Industrie chimique
Capacitif Industrie alimentaire
Ultrason Prsence objet, alarme
Optique Scurit, dtection dintrus




136


















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137

VIII) CAPTEURSET DTECTEURSDE NIVEAU

1) Capteur conductif

a) Principe de mesure en continu

On mesure la rsistance du liquide au moyen dlectrode mtallique. Cette
technique fonctionne pour des liquides ayant une conductivit suprieure
5S/cm.









138

b) Exemples industriels

- Un niveau (Hauser)



- Multiniveau (Nivelco)






hmax =1m

S
max
=10O/cm(eau)

c =1%














h
min
=50cm

h
max
=150cm

S
max
=10O/cm(eau)

c =0,5%



139

2) Capteur capacitif

a) Principe


b) Exemple industriel (Airindex)

D
d
liquide
(cl
)
gaz
(cg
)
h
g
h
l

hmax =5m

S
max
=1pF/cm (eau)

c =1%

0 r1 1 r2 2
2. . .( .h + .h )
C =
D
Ln
d

(
(




140

3) Capteur ultrasons

a) Principe

Mme principe que pour la mesure de distance, la cible est la surface du
liquide.





A
max
v. t
h =L -
2

Deux possibilits de mesure


b) Exemple industriel (Gems)


h
max
=1,25m

S
max
=30mV/cm(eau)

c =0,5mm






141

4) Capteur hyperfrquence (Radar puls)

a) Principe

Mme principe quen ultrason, mais avec une onde lectromagntique
hyperfrquence (GHz).



A
max
c. t
h =L -
2

b) Exemple industriel (Vega)





h
max
=35m

S
max
=100V/mm(eau)

c =2mm




142

5) Capteur absorption gamma (Radiomtrique)

a) Principe

On mesure le signal transmis travers le matriau, son attnuation est
fonction de la hauteur. On utilise du Cobalt 60 ou du Csium137 !!!

b) Exemple industriel (Thermo Scientific)


metteur


Dtecteur
hmax =5m

S
max
=10mV/m (eau)

c =1%


143

6) Dtecteur de niveau magntique

a) Principe

Un aimant est insr dans un flotteur.
Lorsque le liquide soulve le flotteur, laimant dclenche linterrupteur ILS.




b) Exemple industriel : simple niveau (Gems)





P
max
=300PSI =21Bar

c =5mm


144

c) Exemple industriel : multi niveaux (Gems)




Exemple dutilisation
H
max
=4m

1 6 dtecteurs

c =1mm


145

7) Dtecteur de niveau conductif

a) Principe


b) Exemple industriel (ACSContsys)


P
max
=10Bar

c =1mm



146

8) Dtecteur de niveau ultrasons

a) Principe

Lmetteur envoie un signal au rcepteur. En labsence de liquide le signal
reu est trs attnu (air).

En prsence de liquide le signal reu devient plus important.

Ce changement damplitude est dtect au moyen dun trigger.







b) Exemples industriels (Gems)






Pmax =5Bar

c =1mm



147

9) Dtecteur de niveau optique

a) Principe

Lmetteur envoie un signal vers un prisme qui le rflchit vers un rcepteur.
En prsence dun liquide, la quantit de lumire rflchit change, et le
rcepteur la dtecte.


b) Exemples industriels
- Simple (Sensor Technics)



- Avec fibre optique (Baumer)

P
max
=160Bar

c =1mm


148

10) Dtecteur de niveau absorption gamma (Radiomtrique)
Mme principe que pour la mesure de niveau sauf que lon met le dtecteur
vertical.




150

13) Applications



Mthode Domaines & Applications
Conductif Puits
Capacitif Silo
Ultrason Cuve de fioul
Hyperfrquence Industrie alimentaire
Absorption gamma Ptrochimie
Dtecteur
magntique
Cuve huile
Dtecteur
conductif
Protection pompe contre
fonctionnement vide
Dtecteur ultrasons Trop plein
Dtecteur optique Tube avec liquide dangereux
Dtecteur gamma Ptrochimie







151

IX) CAPTEURSDE VITESSE DUN SOLIDE

1) Vitesse linaire

Remarque gnrale : pour mesurer une vitesse de dplacement linaire sur une
distance suprieure quelques mtres on transforme cette vitesse de
dplacement en vitesse de rotation au moyen dune roue.

a) Leffet Doppler (1842 - son) Fizeau (1848 lumire)

Le phnomne est connu par tous : le son du pimpon des pompiers change
quand leur camion se dplace.


Soit :

- v =vitesse de dplacement,

- c =vitesse de propagation de londe mise
(330m/s pour du son, 3.10
8
pour une onde lectromagntique)

- f
s
=frquence de la source dmission mise

On montre que la frquence reue f
r
vaut :

s
r
f
f =
v
1
c



152



Illustration du phnomne Doppler

b) Radar hyperfrquence










V =0 f
r
=f
s








V <0 f
r
>f
s







V >0 fr <fs


f " =f - 2.v/ o =c/f
d'o v =(f " - f). / 2



153



En pratique les radars sont bi-frquences :

f
1
pour mesurer la vitesse

f
2
=f
1
+Af en phase avec f
1
pour mesure la distance d :

.c
d = avec =dphasage de l'onde rflchie
4. . f


A



c) Radar laser

- Principe

Mme principe que celui hyperfrquence mais on utilise un signal
lumineux infra-rouge




154

- Exemples : Contrle routier



Radar hyperfrquence (Morpho) Jumelles laser (Jenoptik)


d) Doppler laser

- Principe




155

- quations de fonctionnement



- Synoptique de lappareillage





156

- Exemple industriel (Elovis)

Conditionneur Capteur

e) Sonde Pitot

Voir chapitre X-7


2) Vitesse angulaire

a) Gnratrice courant continu

- Principe

Utilisation dun moteur courant continu (DC) en gnratrice.

G G
U =k .O

- Exemple industriel (Moog)



v
max
=1500m/mn

Porte =12cm

c =0,1%

Omax =35 000 tr/mn

S=0,32mV/tr/mn

c =1%



157

b) Gnratrice courant alternatif synchrone ou asynchrone

- Principe

Une tension sinusodale est applique en v
r
. On rcupre aux bornes de la
bobine en quadrature une tension en phase et dont lamplitude est
proportionnelle la vitesse de rotation.





- Exemple industriel (Radio Energie)




O
r
v
r
Reference
Coil
Quadrature
Coil
Rotor
v
q
V
q
=K
g
.O
r

O
max
=10 000 tr/mn

S=8mV/tr/mn

c =0,2%



158

c) rluctance variable (VRS)

- Principe

Constitu d'un aimant permanent plac l'intrieur d'une bobine.

Lorsque l'on prsente une pice mtallique devant l'aimant, le champ
magntique varie (car on modifie la rluctance du circuit magntique) ce
qui a pour effet de crer un courant induit dans la bobine :

Pice mtal prsente courant 0
Pice mtal absente courant =0

La frquence du signal rcupr est donc proportionnelle la vitesse de
rotation


Exemple : ABS





1 - Cible lectrique.
2 - Botier.
3 - Aimant permanent.
4 - Douille.
5 - Tige polaire.
6 - Bobinage.
7 - Fixation.
8 - Cible.


159

- Exemples industriels

o Pour moteur de voiture (Bosh)

Existe en version bipolaire : on soustrait les signaux issus des deux ples.


o Kit pour moteur lectrique (Omega)


Capteur Ensemble mont










d
max
=5mm

fmax =200Hz




Roue aimante

O
max
=3500tr/mn





160

d) effet Hall et magntorsistif

- Aimantation externe

o Principe

Des aimants dont disposs sur un disque de manire alterne dans
le domaine de la polarit. Un capteur de champ magntique (Effet
Hall ou magntorsistif) mesure cette alternance et dlivre un signal
dont la frquence vaut est l'image de la vitesse de rotation.



Rpartition des aimants Piste magntique sur un roulement


o Exemple industriel (Speed Sensor)

- aimant intgr

o Principe

Un aimant est intgr au capteur. Lalternance des dents et des
creux de la cible mtallique fait varier le champ magntique
l'intrieur du capteur.



d
max
=10mm

fmax =20000Hz



161

Cette variation de champ magntique est mesure par un lment
sensible (Effet Hall ou magntorsistif)


o Exemple industriel (Rheintacho)



Capteur Cible


e) Doppler laser

Mme principe que pour la mesure de vitesse linaire.



Exemple industriel (SKF)
A : Cible mtallique

B : lment sensible

C : Aimant permanent

D : Capteur aimant intgr


d
max
=15mm

f
max
=50000Hz

d
max
=15mm

O
max
=100 000 tr/mn

c =0,01%



162

f) Optique

- Fourche optique avec un disque

o Principe

Un disque mtallique avec trous ou un disque plastique transparent
avec alternance de zones transparentes et opaques est insr entre
lmetteur et le rcepteur de la fourche optique.

On rcupe ainsi une frquence proportionnelle la vitesse de
rotation et au nombre de trous.

o Exemple industriel (Optel Thevon)


- Codeur incrmental

o Principe

On utilise soit la sortie index soit une des deux sorties phase du
codeur.
On rcupre aussi une frquence proportionnelle la vitesse de
rotation.

o Exemple industriel (Celesco)




f
max
=100 kHz

c =0,001%


Omax =8 000 tr/mn

c =0,01%



164

4) Applications







Mthode Domaines & Applications
L
i
n

a
i
r
e

Radar hyperfrquence Scurit routire
Radar laser Scurit routire
Doppler laser Train de laminage
Sonde Pitot Avion - Bateau
A
n
g
u
l
a
i
r
e

Gnratrice CC Petit asservissement
Gnratrice AC Petit asservissement
reluctance variable Automobile
effet Hall Automobile
Magntolectrique Automobile
aimant intgr Automobile
Doppler laser Vitesse arbre moteur
Optique Asservissement de prcision

Gyroscopique pizo iPhone


165

X) CAPTEURSDE VITESSE DUN FLUIDE

1) Anmomtre coupelles

a) Principe

On transforme la vitesse du fluide en vitesse de rotation dun axe que lon
mesure par les techniques de mesure de vitesse angulaire dun solide.



F(N) dpend de :

- proprits arodynamiques de lanmomtre
- frottements
- dimension et matriaux utiliss
- nombre de coupelles

En pratique il faut effectuer un talonnage en soufflerie.

b) Exemple industriel (Littoclime)


( ) V 2. .F N .R.N =


N =Nb de tours par seconde

R =rayon moyen du bras

F(N) =fonction dtalonnage

V
max
=50m/s

S=0,5mA/m/s

Fluide =air

c =1%



166

2) Anmomtre hlices

a) Principe

Mme principe quun anmomtre coupelles : le fluide fait tourner une
hlice dont on mesure la vitesse de rotation au moyen dun capteur de
vitesse angulaire.
h rot
h vent max
rot vent
2.
V=vitesse des hlices =r. = .r.V , en rd/s et V en m/s
60
et
V = .V avec =59%, limite de Betz
d'o
30.
V = .V
. r

O O


Ici aussi, un talonnage en soufflerie est ncessaire.

b) Exemples industriels

- Sur mat (Young)



- Portable (Kestrel)

Vmax =35m/s

S=57mV/m/s

Fluide =air

c =2%

Vmax =60m/s

Fluide =air

c =0,2%



167

3) Anmomtre fil chaud

a) Principe

Lanmomtre fil chaud fonctionne sur le principe du refroidissement dun
fil chauff par un courant lectrique (effet Joule).
La mesure de la puissance thermique transfre donne une mesure indirecte
de la vitesse de lcoulement du fluide.

- Sonde


Constitution



Simple, double et triple sonde



Film


168

- quations de fonctionnement




Il existe quantit de modlisations (Bruun, Kramer, King, ) que lon peut
rsumer par :

u 0 0 e 0 0
e
f
f
N =a +b . R , a et b =cste
V.
R =nombre de Reynolds =
v
=diamtre du fil et v =viscosit cinmatique du fluide




Or Rw ~ R0.[1 +A.(Tw Tf)] (voir chapitre I.1)



2
w f f
0 0
w 0 0 0 f
R .I . . . .
Il vient alors : =a +b. V, avec a = .a et b = .b .
R - R A.R A.R v
l l


w w w 0
D'autre part R .I =U U = R .(R - R ).(a +b. V)


Il existe aussi des anmomtres cylindre chaud (bidirectionnel) et
boule chaude (omnidirectionnel).

.

2
w f w f u
w
f
w f
u
R .I = . .(T - T).N
R =rsistance du fil
I =courant continu dans le fil
=longueur fil >> =diamtre du fil
=conductivit thermique du fluide
T , T =tempratures du fil et du fluide
N =
l
l
nombre de Nusselt, dpendant de la vitesse V



169

b) Conditionneur

On mesure les fluctuations de I au moyen dun pont de Wheatstone asservi
qui permet de travailler temprature de fil constante et donc R
W

constante aussi.


Schma

Courbe
Ncessite un talonnage





170

c) Exemple industriel (Dantec)



4) Anmomtre ultrasons

a) Principe

Deux transducteurs ultrasonores sont alternativement metteurs et
rcepteurs d'un train d'ondes ultrasonores.
Les temps de transit aller-retour T
1
et T
2
sont mesurs et on en dduit, par
diffrence, la vitesse du vent le long de l'axe form par les deux
transducteurs.
L'intrt de ce type d'anmomtre est de ne pas avoir de pices en
mouvement et de pouvoir mesurer un vent turbulent.
Possibilit de mesurer le vent dans 1, 2 et 3 axes.

b) quations de fonctionnement

1
2
1 2
L
T =
C - V
L
T =
C +V
C =vitesse du son
L 1 1
V = -
2 T T
| |

|
\ .


Vmax =100m/s

R
w
=6O

Fluide =gaz ou liquide

c =1%



171

c) Exemples industriels

- 1 axe ( SkyPower)



- 3 axes ( GILL Instrument)



V
max
=65m/s

Fluide =air

c =0.15%


V
max
=45m/s

Fluide =air

c =0.5%



172

5) Vlocimtre Doppler ultrasons

a) Principe

On utilise le principe de leffet Doppler (voir capteurs de vitesse dun solide).






b) Synoptique dun appareil (Signal Processing)









D
e
e
D
C . f
V =
2.f .cos( )
C =vitesse de l'onde ultrasonore
f =frquence signal mis
f =frquence Doppler




173

6) Vlocimtre laser Doppler

a) Principe

Mme principe que pour le vlocimtre ultrasonore, mais avec une onde
lumineuse.



b) Synoptique dun appareil

c) Exemple dune sonde (Dantec Dynamics)



D
D
f .
V =
2.sin( )
2
=longueur d'onde du laser
f =frquence Doppler



V
max
=100m/s

Fluide =Liquide

c =0.1%



174


7) Sonde Pitot

a) Principe

Elle utilise le principe de Bernoulli (1700 - 1782) :

Dans un gaz si on respecte certaines hypothses la pression totale Pt reste
constante


Cette pression totale qui reprsente l'nergie totale contenue dans le fluide
en mouvement est la somme de deux pressions distinctes :

la pression statique PS =la pression au sens commun du concept, la
pression atmosphrique autour de l'objet.

la pression dynamique P
D
=par exemple la pression du vent sur votre
main place perpendiculairement la vitesse. Elle est due au fait que
l'air en mouvement contient une nergie cintique et toute
tentative d'arrt par un obstacle (le tube de Pitot s'appelle aussi sonde
de pression d'arrt) augmente la pression des particules d'air qui sont
arrtes ou simplement ralenties.


Une rapide mise en quation montre que cette pression dynamique P
D
issue
directement de la variation d'nergie cintique vaut : P
D
= V/2 o est la
masse volumique du fluide (1kg/l pour de leau er 1,3 kg/m
3
pour de lair
dans les basses couches atmosphriques).

Puisque la somme pression statique +pression dynamique appele pression
totale P
T
reste constante, on crit :

P
T
=P
S
+P
D
= Ps + .V/2 (quation de Bernoulli simplifie)

T S
2.(P - P )
D'o V =







175


Principe avec un capteur de pression relative type manomtre tube

Pour faire un capteur de Pitot, on remplace le manomtre par un capteur de
pression relatif (voir capteurs de pression).
La formule nest valable que pour V <0,4Mach =480km/h


Deux capteurs de pression absolue mesurent P
t
et P
s
, un calculateur en
dduit le nombre de Mach M, vitesse.




p =P
D


176

b) Exemples industriels

- Capteur industriel (Texys)



- Avion (Tales)




Vmax =288km/h

Fluide =air

c =0.25%


V
max
=900km/h

Fluide =air

c =0.5%



178

9) Applications



Mthode Liquide / Gaz Domaines & Applications
Anmomtre coupelle L & G olienne
Anmomtre hlice L & G Station mto portable
Anmomtre fil chaud L & G Turbine
Anmomtre ultrason L & G Air conditionn
Vlocimtre ultrason
Doppler
L Mdical
Vlocimtre laser Doppler L Laboratoire
Sonde Pitot L & G Avionique Formule 1




179

XI) CAPTEURSDE DBIT DUN FLUIDE

1) Gnralits

a) Dbit volumique

QV =S.V

S=surface de section de la conduite en m

V =vitesse moyenne du fluide en m/s

b) Dbit massique

Qm =. QV

=masse volumique (1000kg/m
3
pour leau)


2) turbine

a) Principe

Le fluide entrane une turbine (hlice ou pales) mtallique. Un capteur
magntique (reluctance variable, Foucault, ) rcupre la frquence de
rotation.





f =K
T
.Q

KT = coefficient qui dpend
ralisation du dbitmtre (forme
des pales, diamtre du rotor et du
corps).



180

b) Exemple industriel

- Petit diamtre (RM&C)




- Gros diamtre (Spirax)





| =17mm

Fluide =liquide

Q
max
=6,5L/mn

K
T
=12,5.10
3
Hz/L/mn

c =0,5%

| =40cm

Fluide =liquide & gaz

Q
max
=3000m
3
/h

K
T
=0,42 Hz/L/mn

c =1%



181

3) tourbillons (effet vortex)

a) Principe

Un obstacle est plac dans le conduit de manire former un tourbillon
(vortex ou cheminement de tourbillons selon Karman (1881 1963)).

Lorsqu'un fluide passe sur un corps perturbateur plac dans le tube de
mesure, des tourbillons se forment alternativement sur chaque ct de cet
lment perturbateur.



La frquence de dtachement des tourbillons, alternativement de chaque
ct de l'lment perturbateur, est directement proportionnelle la vitesse
d'coulement, donc au dbit volumique. Les variations de pression gnres
par ces tourbillons sont dtectes par un capteur capacitif ou
pizolectrique.



b) Exemple industriel

- Petit diamtre (RM&C)



v
f =K .Q

| =8mm

Fluide =liquide

Q
max
=15L/mn

K
V
=133Hz/L/mn

c =2%



182

- Gros diamtre (Bopp & Rheuter)




4) Sonde Pitot

Une sonde Pitot permet de mesurer la vitesse d'un fluide et donc dans dduire
le dbit si l'on connat la section du tuyau.


5) lectromagntique

a) Principe

Le dbitmtre lectromagntique fonctionne suivant le principe de Faraday.

Quand un liquide conducteur scoule perpendiculairement travers un
champ magntique, une diffrence de potentiel lectrique est cre au sein
du liquide.
Cette diffrence de potentiel, capte laide de deux lectrodes permet, par
le calcul, den dduire la vitesse puis le dbit du fluide.

| =30cm

Fluide =gaz

Q
max
=20000m
3
/h

K
V
=0,1Hz/L/mn

c =1%



183



Une charge lectrique (lectron, anion, cation), qui se dplace dans un
champ magntique, subit une force (force de Laplace) qui tend faire
dvier cette charge de sa trajectoire initiale :

F=q.vB

q =charge de la particule,
v =vecteur vitesse U =D.B.V
B =vecteur champ magntique


b) Exemples industriels

- Petit diamtre (Redwood)






| =5cm

Fluide =liquide

Q
max
=60L/mn

c =0,25%



184

- Pour pipeline (ABB)





6) Ultrasonique temps de transit

a) Principe

- En transmission

Bas sur la mesure des temps daller-retour dune onde ultrasonore.
Les capteurs A et B sont alternativement metteurs puis rcepteurs.


| =2,5m

Fluide =liquide

Qmax =140.10
3
m
3
/h

c =0,2%



185


AB BA
2 2 2
2
AB BA
L 1 1
On en dduit V = . -
2.cos( ) t t
d
Or cos( ) = o d est la distance horizontale entre les 2 capteurs
L
Et L =d + , =diamtre du tube
d 1 1
V = . 1 + . -
2 d t t
On

| |
|
\ .
| |
| |
| |
|
| |
|
\ .
\ .
\ .
2
2 2
u
AB BA AB BA
.
sait que Q =V.S= .V
4
.d. 1 1 1 1
Q = . 1 + . - =K . -
8 d t t t t


| |
| | | | | |
|
| | |
|
\ .
\ . \ .
\ .


Une lectronique mesure les temps t
AB
et t
BA
. Le diamtre et la distance
inter capteurs permettent de calculer Q.

- n rflexion

Les capteurs sont du mme ct, londe se rflchit sur la paroi du tube,
elle parcourt donc une distance double.

b) Exemples industriels

- En transmission (Siemens)


| =60cm

Fluide =liquide

Qmax =1300m
3
/h

c =0,5%



186

- En rflexion (Emerson)



7) Ultrasonique Doppler

a) Principe



La diffrence de frquence (Doppler shift) est donne par :

t
t
f.C
V =
2.f .cos( )
f =frquence d'mission
C =vitesse de l'onde ultrasonore

A


Il est donc ncessaire de connatre C qui varie avec le fluide et sa
temprature.

Le capteur est fourni avec un tableau permettant ltalonnage de
l'lectronique.
| =1m

Fluide =gaz

Qmax =2.10
4
m
3
/h

c =0,1%



187

b) Exemple industriel (Dynasonics)



8) masse thermique

a) insertion

- Principe

On chauffe localement le fluide. On mesure la temprature locale et en
aval.

On montre que : Qm ~ K.AT avec K dpendant du fluide.


Fluide =liquide

Vmax =12 m/s

c =2%



188

- Sonde complte



- lectronique de mesure







189

b) capillarit

- Principe

Le dbit massique (Q
m
) dun liquide est fonction de sa chaleur spcifique
(Cp) ainsi que de la diffrence de temprature (T) mesure aux bornes
du capteur :

AT =k.C
p
. Q
m

Un tube de mesure comprend deux sondes de temprature places lune
en amont (T1) et lautre en aval (T2) dun lment chauffant qui amne le
fluide une temprature fixe par le fabricant (souvent une trentaine de
degrs au-dessus de la temprature ambiante).
Lorsque le dbit est nul, T2 =T1. Lorsque le dbit augmente, T1 dcrot
avec le dbit de manire linaire (pour les dbits faibles) et T2 augmente
linairement tant que le dbit est limit.



- Sonde complte

On drive une partie du liquide dans le tube de mesure.




190

Soit Qm le dbit massique en entre (et en sortie), QT le dbit massique dans le
capteur et Q
L
dans llment laminaire, on a :

Q
m
=Q
L
+Q
T
=Q
T
. (1+Q
L/
Q
T
) =k. Q
T
.

Q
L/
Q
T
est directement proportion au rapport des diamtres (connus).
On en dduit :

m
p
T
K. P.
C
P =puissance de chauffage
A
u =


Le capteur est fourni avec un tableau pour les diffrents liquides et gaz
permettant ltalonnage de l'lectronique.

c) Exemples industriels

- insertion (Kobold)



| =20cm

Fluide =gaz

Q
max
=9200 m
3
/h

c =0,5%



191

- capillarit (Bronkhorst)





9) acclration de Coriolis (1793-1843)

a) Force de Coriolis

Lorsqu'un objet est soumis la fois une rotation et une translation, il subit
une acclration dite de Coriolis : aC = 2vT o est le vecteur de rotation
et v
T
le vecteur vitesse de translation.



Cet objet subit donc une force perpendiculaire dite de Coriolis :

FC =m.aC = 2.m..vT

| =10cm

Fluide =gaz

Qmax =5000 m
3
/h

c =0,2%



192

b) Principe du dbitmtre

Le dbitmtre de Coriolis utilise comme dtecteur un tube sans obstacle que
l'on fait vibrer sa frquence de rsonance au moyen d'un bobinage plac
mi-parcours du capteur.

Lorsque des particules de fluide se dplacent dans le tube, elles vont
provoquer des forces de Coriolis qui agissent en sens oppos sur les deux
moitis du tube : dans la premire moiti du tube le fluide freine l'oscillation
tandis qu'il l'acclre dans la seconde moiti en restituant l'nergie qu'il a
acquise dans la premire moiti.

Schma du capteur

Forces de Coriolis en jeu

Il en rsulte une distorsion du tube, ce qui se traduit par un retard de phase
entre l'entre et la sortie que l'on va mesurer l'aide de capteurs inductifs.



193


Vibration et dformation

Ce dcalage temporel entre les deux signaux oscillatoires est directement li
l'angle de torsion, proportionnel la force de Coriolis et donc au dbit
massique.

c) Exemple industriel (Heinrichs)


| =25cm

Fluide =gaz

Q
max
=6000 kg/h

c =0,15%



195

11) Applications


Mthode Liquide / Gaz Domaines & Applications
turbine L & G Barrage
tourbillons L & G Ptrochimie
Tube de Pitot L & G Hydraulique
lectromagntique L Ptrochimie - Alimentaire
Ultrasonique temps de
transit
L & G Ptrochimie - Dbit rivire
Ultrasonique Doppler L Liquide avec bulle - mdical
masse thermique L & G Gazoduc
Coriolis L & G Alimentaire







196


















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197

XII) CAPTEURSDE DFORMATION

1) Jauge rsistive

a) Principe

La rsistance d'un fil constitu d'un mtal ou d'un semi-conducteur
(pizorsistivit, C.S. Smith-1954) varie avec l'allongement et le
rtrcissement.
La jauge est constitue de fil formant un serpentin :

g
R
=k . dans le domaine lastique
R
l
l


Alliage
Composition k
g
Coefficient
temprature ( C
-1
)
Manganin 84%Cu, 12%Mn, 4%Ni 0.47 6.10
-6
Monel 67%Ni, 33%Cu 1.9 10
-3

Armour D / Alchrome 70%Fe, 20%Cr, 10%Al 2 450.10
-6

Karma / Chromel R 74%Ni, 20%Cr, 3%Al, 3%Fe 2 10.10
-6

Constantan / Copel 45%Ni, 55%Cu 2.1 6.10
-6

Nichrome V /Tophet 80%Ni, 20%Cr 2.5 220.10
-6

Isoelastic / linvar 55.5%Fe, 36%Ni, 8%Cr, 0.5%Mn 3.6 260.10
-6

Platine-Tungstne 92%Pt, 8%W 4.1 700.10
-6

Platine-Iridium 95%Pt, 5%Ir 5.1 700.10
-6

Platine 100%Pt 6.1 700.10
-6

Semi-conducteur Si [50 , 200] -0.7


Valeurs normalises
R() 60 120 350 500 1000


198

b) Constitution


c) Diffrentes formes et axes de dformation




C, D =1 axe A =1 axe

G =concentrique B =1 axe 45

E =3 axes 120, existe aussi en 45 et 60

F, H =2 axes perpendiculaires


A

C

E
D



G
H


B






F


199

d) Montage en opposition

Permets de linariser le pont de Wheatstone (Poly 1, C-I-3).
Une rsistance augmente, lautre diminue de la mme quantit.


En doublant le nombre de jauges, on compense l'influence de la temprature.



e) Exemples industriels (Vishay & HBM)




200




2) Extensomtre corde vibrante

a) Principe

Utilise le principe dune corde de guitare dont la frquence de rsonance (note)
dpend de la tension mcanique applique et ses caractristiques mcaniques
(diamtre, matriaux). La variation de la frquence de vibration permet den
dduire la dformation.

osc
1 E L
F = . . , L =longueur au repos, E =module de Young, =masse volumique
2.L L



La corde est excite par E2 et la frquence est mesure au moyen de E1.



201

b) Schma dun systme complet



c) Utilisation

Utilis en Gnie Civil :

Barrages

centrales nuclaires

ponts et viaducs

grands difices

revtements de tunnel

pieux et caissons


202

Exemples industriels



Utilisation sur chantier


Utilisation dans la rfection dun tunnel

Pose capteur

Geokon

S =1Hz/10m

=2,5.10
-3



203

3) Extensomtre capacitif

Constitu dun condensateur diffrentiel capacitif et utilisable jusqu 1000.

Utilise un pont capacitif pour le conditionneur.



Instron






S=1V/mm

=0,1%



205

XIII) CAPTEURSDE FORCE

1) Rsistance FSR

a) Principe

La rsistance varie en fonction de leffort appliqu.
Ne ncessite pas de corps dpreuve.











b) Constitution


206


Capteur simple

Matrice



207

c) Exemples industriels (Interlink Electronics)






Multiples formes

F
max
=25lb

S=10/lb

=1%

t
r
<5s


208

2) Jauge rsistive

Ncessite un corps dpreuve.

a) Jauges colles (XII-1)

On colle directement la jauge sur la pice o lon veut mesurer la force
applique. La force est transforme en variation de longueur.



209

Permets de mesurer des forces suivant plusieurs axes grce l'utilisation de
jauges multiples :



Futek


b) Anneau dynamomtrique



HBM




Fmax =140kN

=36mm

=1%

F
Xmax
=F
Y max
=250lb

F
Zmax
=500lb

S
X
=S
Y
=1,5mV/V

SZ =0,75mV/V

=0,25%




210

c) Dynamomtre de pesage



MSI

d) Cellule de charge

Constitu de 4 jauges montes en pont. La force est applique par-dessus.
La sensibilit dpend de la tension dalimentation du pont.



Futek
F
max
=10kN

S =1,5mV/V

=22mm

=0,1%



Fmax =250t

L =50cm & 1,3m
entre anneaux

=0,1%




211

3) Inductif (LVDT +ressort)

a) Principe

La force est transforme en dplacement.



b) Exemples de ralisations (Schaevitz Sensor)

Anneau Amortisseur

c) Exemple industriel

Meas
x =k.F
Fmax =100N

S=20m/N

=10mm

=0,2%



212

4) Jauge capacitive

La force applique fait varier la distance entre les armatures dun condensateur
plan ou la longueur commune des armatures dun condensateur cylindrique.

a) Condensateur plan


Exemple de ralisation

b) Condensateur cylindrique

F
e
Au repos En charge
S


213

c) 2 axes


d) Exemple industriel




5) Pizolectrique

a) Historique et matriaux

Une force applique sur un matriau pizolectrique cre une tension
lectrique en gnral suivant un axe perpendiculaire.

Ce principe fut dcouvert par Pierre et Jacques Curie en 1880 sur la
tourmaline, pierre prcieuse de multiples couleurs forme de silicate.


Pierres de tourmaline
Fmax =10 klb

S=1mV/lb

=12,5mm

=0,15%



214

Par la suite, cette proprit a t trouve sur le quartz (SiO2) qui a lavantage
dtre trs rpandu dans la nature.


Cristal de quartz
Quartz naturel

Depuis plusieurs dizaines dannes de nombreux autres matriaux ont t
dcouverts :

Oxydes ferrolectriques : titanate de plomb PbTiO
3
, titanate de
baryum BaTiO
3
, niobate de potassium KNbO
3
, niobate de lithium
LiNbO
3
, le tantalate de lithiumLiTaO
3
, PZN-PT et PMN-PT.



Cristaux homotypiques du quartz : orthophosphate de gallium
(GaPO
4
), berlinite (AlPO
4
), Langasite, Langanite et Langataite.

Cramiques : PZT et Non PZT composites.





215

Semi-conducteurs : nitrure d'aluminium(AlN) et oxyde de zinc (ZnO).

Polymres ferrolectriques: polyvinylidene difluoride ou PVDF
(C
2
H
2
F
2
)
n
.


Sel : sel de Rochelle (KH2PO4).

b) Principe physique

Avant soumettre le matriau une certaine contrainte extrieure, les centres
de gravit des charges positives et ngatives de chaque molcule concident.
Par consquent, les effets externes des charges ngatives et positives sont
rciproquement annuls donc une molcule lectriquement neutre apparat
(A).
Lorsque l'on exerce une force sur le matriau, sa structure rticulaire interne
peut tre dforme, provoquant la sparation des centres de gravit positifs
et ngatifs de la molcule et la cration d'un petit diple (B).
Les ples en regard l'intrieur du matriau sont mutuellement annuls et une
distribution dune charge lie apparat sur les surfaces verticales du matriau
(C). Le matriau devient donc polaris.

A B C


216

Cette polarisation engendre une ddp qui utilise pour transformer l'nergie
mcanique en nergie lectrique (D).

D

Le calcul de cette ddp est trs complexe, faisant appel la notion de tenseur.
On peut donner une formule approche :

V =Sv.F. D/S

S
v
=sensibilit en tension, dpend du matriau
F =force applique
D =paisseur du matriau
S=surface dappui


c) Modle lectrique et conditionneur










217


d) Exemples industriels


Klister




HBM







F
max
=10kN

S=1,6pC/N

=12,6mm

=1%

F
max
=5MN

S=0,1pC/N

=19cm

=0,5%



219





221

XIV) CAPTEURSDE COUPLE

1) Principe fondamental

Couple =Force x rayon C =M =F.r


C =F.cos().r

En pratique on mesure la consquence du couple sur un axe de longueur L, en
gnral cylindrique, par langle de torsion quil engendre.


4
32.L.C
= o G est le module de rigidit
.d .G










Illustration de la notion de couple


222

2) Jauge rsistive

a) Principe

On mesure la contrainte la surface de laxe.

Contraintes la surface de laxe

Jauges de mesure

En pratique on ralise un pont de Wheatstone 4 capteurs








223

b) bagues

Il faut pouvoir rcuprer le signal issu du pont alors que laxe est en rotation
do lutilisation de bagues colleteurs (Slip ring).

Divers corps dpreuve



Exemple de ralisation



224

c) Sans bague

Deux techniques permettent de saffranchir de ces bagues :

Transformateur tournant


Schma lectrique


Schma mcanique

Transmission HF - Tlmesure




225

d) Exemples industriels

bagues (Interface)



transformateur tournant (PCB Piezotronics)



transmission FM (Kistler)




C
max
=500N.m

S=10mV/N.m

=48mm

=0,25%

max
=500tr/mn

Cmax =11kN.m

S=450mV/kN.m

=16cm

=0,05%

max
=6 000tr/mn

C
max
=1000N.m

S=5mV/N.m

=25mm

=0,5%

max =10 000tr/mn




226

3) Mesure de dphasage par roues dentes

a) Principe

Deux roues dentes (Toothed wheels) munies dun capteur magntique
(Pickups). sont montes chaque extrmit de larbre



Aprs mise en forme, on rcupre deux signaux carrs dphass. Ce
dphasage est directement proportionnel au couple et la distance entre les
deux roues.
Ce dphase est transform en tension grce un comparateur de phase, avec
une OU exclusive par exemple.

b) Exemple industriel (Scaime)







C
max
=500N.m

S=10mV/N.m

=84mm

=0,25%

max =4 000tr/mn



227

4) Mesure de dphasage par disques optiques

a) Principe

Il est identique la mesure par roues dentes. On remplace les roues par des
marquages ou des disques munis de capteurs optiques, par exemple, des
codeurs incrmentaux (voir VI-10).

b) Exemple industriel (HBM)



C
max
=80kN.m

S=50mV/kN.m

=326mm

=0,05%

max =3 000tr/mn




228

5) transformateur diffrentiel

a) Principe

Les bobines primaires sont alimentes en rgime sinusodal.
Larbre est rattach de part et dautre deux cloches en vis--vis dotes de
deux fentres rectangulaires.
Au centre du capteur, ces deux cylindres se chevauchent et deux bobines
fixes (traverses par un courant alternatif) les encerclent, quelques
millimtres de distance.
Lorsque larbre est au repos, les fentres des deux cylindres ne concident
pas, aucun champ magntique ne peut les traverser (effet de blindage).
Lorsqu'un couple est appliqu, les deux cylindres traduisent la dformation
qu'ils subissent en tournant en sens contraire l'un de l'autre, de telle sorte
que les fentres commencent se chevauche, laissant passer le flux
magntique.
Les bobines secondaires transforment ce flux en tension.

b) Exemple industriel (Magtrol)


Cmax =20N.m

S=0,5V/N.m

=60mm

=0,1%

max
=50 000tr/mn



229

6) arbre magntis

a) Principe

Utilise l'effet magntostrictif inverse ou effet magntomcanique, c'est--
dire la modification de la susceptibilit magntique en prsence de
contraintes mcaniques dans le matriau (embedded magnetic domain).
Le principe repose sur le comportement de certains matriaux (dits
ferromagntiques) lorsquils sont aimants. En prsence dun champ
extrieur, les moments magntiques atomiques de ces matriaux sorientent
tous dans le mme sens. Le champ magntique rsultant est alors renforc.
Si lon atteint une certaine limite de magntisation, le matriau est dit
satur et son aimantation est rmanente. Si larbre est ferromagntique, il
conserve donc son aimantation mme en labsence dun champ magntique
extrieur. Cette orientation de ses moments magntiques varie en fonction
des contraintes mcaniques auxquelles est soumis larbre.
En mesurant la variation de champ magntique au moyen dun capteur
magntique, on accde alors aux contraintes, et donc ainsi au couple
appliqu l'arbre.

b) Exemple industriel (Fast technology)

Cmax =500N.m

S=5mV/N.m

=50mm

=0,8%

max
=100 000tr/mn



231

8) Applications

























Mthode Domaines & Applications
Jauge rsistive colle
Dynamomtre, arbre de transmission de vhicule &
bateau
Jauge rsistive colle
transformateur
tournant
Essai de freinage
Jauge rsistive colle
transmission HF
Formule 1
Roue dente Couplemtre
Disque optique Banc de calibration et de test
Transformateur
diffrentiel
Rotor hlicoptre
Arbre magntis Machines outils


232


















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233

XV) CAPTEURSDE PRESSION

1) Dfinition et diffrents types de pression

F
P = o S est la surface sur laquelle la force F est applique
S


Pression absolue =pression par rapport au vide parfait.
Exemple : pression atmosphrique

Pression diffrentielle =diffrence de pression entre 2 points de mesure
Exemple : pression par rapport une rfrence

Jauge de pression =pression mesure par rapport la pression ambiante
Exemple : pression sanguine





234

Pression hydrostatique =pression exerce au-dessous de la surface d'un
liquide par le liquide situ au-dessus, quand le fluide est au repos.
l'intrieur d'une colonne de fluide se cre une pression due au poids de
la masse de fluide sur la surface considre.

2
P = .g.h o =masse volumique, g 9,8 m/s et h =hauteur du liquide ~

Pression hydrodynamique : elle rsulte de la vitesse du fluide en
mouvement. Un fluide qui se dplace cre une pression supplmentaire :

2
1
P = . .v o v =vitesse du fluide
2



2) Membranes ou diaphragmes

La pression est transforme en force ou dplacement grce la surface dune
membrane lastique.

a) Mtalliques

Mesure possible sur des pressions importantes (jusqu' plusieurs milliers
de bars)
Cellule entirement soude, aucun joint en contact
Tenue limite au vide pouss, li la prsence de l'huile de transmission
qui a tendance dgazer pression ou temprature leve
Temprature dutilisation limite (100 125C selon les versions), au-
dessus on utilise des sparateurs ou on loigne le transmetteur

b) Cramiques

Tenue au vide absolu, car il sagit dune cellule sche, aucun liquide de
remplissage.
Bonne tenue chimique, la cramique (AL2O3) dune puret de 99,9%a une
tenue chimique quivalente des mtaux nobles tels que tantale ou le
titane
Robustesse labrasion lie au matriau cramique et lpaisseur de la
membrane,
Tenue aux surpressions (rapport de 40)
Temprature de processus jusqu 150C
Cellule ouverte, viter sur les fluides froids (< 5C), risque de
condensation dans les ambiances chaudes et trs humides



235

3) jauges

a) Principe

Utilisation de jauge rsistive ou pizorsistive colle sur la membrane qui
transforme la pression en force :


b) Exemple industriel (Honeywell)

4) diaphragme capacitif

a) Principe

La pression engendre une dformation de la membrane qui entrane une
variation de la capacit :

Principe
P
max
=300 psi

S=0,3mV/psi

c =0,25%


236


Constitution



Diffrentiel (linaris)

b) Exemple industriel (Sensata)



P
max
=750 psi

S =6mV/psi

c =0,6%


237

5) Pizolectrique

a) Principe

La pression exerce une force sur le quartz qui restitue une variation de charge
lectrique.





b) Exemple industriel (Vibro-Meter)











P
max
=350 bar

S=200pC/bar

c =1%


238

6) reluctance variable

a) Principe

La pression engendre une dformation du diaphragme, ce qui entrane une
variation de l'entrefer et donc de l'inductance :


Principe de base

Conditionneur

Absolu Diffrentiel
g0 =entrefer p =0
g1 =entrefer de L1 p 0
g2 =entrefer de L2 p 0

0 2 1
1 1 2
E g - g
=
E 2.(g +g )



239

b) Exemple industriel (Tavis Corporation)



7) LVDT

a) Principe

La pression engendre une dformation du diaphragme qui pousse le noyau
dun LVDT (force) :


b) Exemple industriel (Impress)

P
max
=3500 bar

S =100V/V/bar

c =0,5%
P
max
=10 bar

S =100V/V/bar

c =0,5%


242

XVI) CAPTEURSDE PRESSION ACOUSTIQUE

1) Appareil vocal Production de sons

L'appareil vocal ou appareil de la phonation dsigne l'ensemble des organes qui
permettent l'homme d'mettre des sons. Il nexiste pas en tant quorgane, il
nexiste que sous la forme dune entit fonctionnelle
L'appareil phonatoire est constitu de trois parties :

l'appareil respiratoire (soufflerie)
le larynx et les cordes vocales (vibrateur)
les cavits de rsonance (rsonateurs et modulateur)

Enfin, les articulateurs (langue, lvres, mchoire et dents) transforment le son en
voix parle et chante.

Pour mettre un son, il faut :

prendre de lair laide des poumons
faire vibrer les cordes vocales
amplifier le volume dans les rsonateurs

Les cordes vocales sont deux muscles qui se resserrent ou s'cartent plusieurs
centaines de fois par seconde, ce qui donne la frquence de la vibration mise.
Les rsonateurs sont la bouche, fosses nasales et tout lintrieur du crne.


Le son qui sort par la bouche est une vibration sous forme donde de pression.



243

2) Microphone lectrodynamique

a) Principe

Londe de pression fait vibrer une membrane solidaire dune bobine mobile.
Cette dernire sous l'effet des variations de pression acoustique oscille dans
un champ magntique annulaire produit par un aimant permanent.

La bobine coupe les lignes de force du champ magntique. En raison des
oscillations priodiques de la membrane, et donc de la bobine dans le champ,
il y a induction dun courant lectrique dans la bobine mobile, courant qui
peut tre rendu utilisable par une amplification approprie.



Principe



Constitution


244

b) Exemple industriel (Shure)




3) Microphone ruban

a) Principe

De la famille des microphones lectrodynamiques, la bobine est remplace
par un ruban en aluminiumservant la fois de membrane et de bobine.
Le ruban fix ses 2 extrmits est plac dans un champ magntique
permanent. Il peut osciller sous la pression acoustique ce qui fait apparatre
une tension ses extrmits.

Principe et constitution

b) Exemple industriel (Royer)





S=75dBV
(0 dBV =1 mV/bar @ 1 kHz)

B P =[50, 15k] Hz

Z=300O

S=10mV/Pa

B P =[30, 15k] Hz

Z=200O


245

4) Microphone condensateur (lectrostatique)

a) Principe

la diffrence du micro dynamique, le microphone lectrostatique ne met
pas en jeu un dispositif mobile solidaire dune bobine.

La membrane est un disque extrmement lger faite de mtal (Titanium) ou
bien de Mylar ou de polyester rendu conducteur par un saupoudrage de
mtal ou une diffusion de vapeur de mtal sur sa surface. Cette membrane
est flottante et constitue lune des armatures dun condensateur.

Les variations de pression provoque par l'onde sonore font varier la distance
entre les deux armatures et, donc la capacit. Cet effet est exploit dans un
circuit lectrique de manire rcuprer un signal dont les variations sont
limage de celles de la pression acoustique.



Principe et constitution

b) Exemple industriel (Brel & Kjr)



S =1,4mV/Pa

BP =[4, 100k] Hz

C=6,1pF


246

5) Microphone lectret

a) Principe

Les microphones lectret sont apparus bien aprs les microphones
lectrodynamiques et lectrostatiques.

Le principe reprend celui du microphone lectrostatique ceci prs que la
tension de polarisation disparat, car la membrane porte une charge
lectrostatique permanente, c'est cet lment que l'on appelle lectret.

Un pramplificateur FET ou MOSinsr dans le corps du micro fonctionne
avec une pile ou bien utilise lalimentation fantme.

Principe et constitution

b) Exemples industriels

- Botier (CUI Inc)

- MEMS


S=6,3mV/Pa

B P =[20, 20k] Hz

Z=10O


247

6) Microphone magntique (Guitare & basse)

a) Principe

Un micro de guitare est compos dun ou plusieurs aimants, entour
dune bobine de cuivre. Le principe de fonctionnement est bas sur la loi
de Lenz-Faraday. Chaque aimant engendre un champ magntique
principal qui aimante partiellement les cordes. En vibrant, les cordes font
lgrement varier le champ magntique principal, ce qui induit en rponse
lapparition dune force lectromotrice dans la bobine qui soppose la
variation de champ magntique.

La vibration de la corde une frquence f et une amplitude donnes
induit une variation de champ magntique avec la mme frquence et une
amplitude proportionnelle crant une tension variable de frquence f et
d'amplitude proportionnelle.

En toute rigueur, le rle du micro consiste traduire les vitesses acquises
par les cordes et non leurs dplacements.

Il existe de nombreux types de microphones, dont chacun a un
fonctionnement et une couleur de son particulier. Les principaux sont :

Microphone simple bobinage : fut le tout premier, laimant (en
Alnico ou en alliage de type cramique) est entour de plusieurs
milliers de tours dun fil de cuivre trs fin et vernis formant le
bobinage. Ces microphones ont le dfaut dtre sensibles aux
interfrences (champs lectromagntiques ambiants produits par
exemple par les clairages au non, les transformateurs, etc ).

Microphone double bobinage (humbuckers) : Cr dans les
annes 1950 pour pallier ce problme, association de deux
microphones simple bobinage cbl invers (mode diffrentiel).


248


Principe et constitution

Exemple pour une guitare 6 cordes

b) Exemples industriels

Fender

Gibson
S=120mV

Z=7,2kO




S=340mV

Z=9kO




249

7) Microphone pizolectrique

a) Principe

Le capteur pizo-lectrique fonctionne lui de faon trs diffrente.
Il ne capte pas les vibrations acoustiques de l'air, mais celles qui sont
vhicules sa surface de contact. Il est constitu d'une lamelle de quartz
(voir chapitre XIII) qui, sujette une variation de pression due aux vibrations
du diaphragme, va fournir un courant lectrique alternatif proportionnel en
amplitude et en frquence la vibration acoustique capte.

Principe et constitution

b) Exemple industriel (Endevco)



8) Hydrophone

Lhydrophone est un capteur capable de dtecter les signaux acoustiques en
milieu fluide (comparable la fonction dun microphone en milieu arien).
Les hydrophones utilisent donc uniquement leffet direct de la pizo-lectricit.
Les deux caractristiques principales sont :


ITC

S =2.2nC/Pa

BP =[1, 10k] Hz

C=5,2nF
S =10nV/Pa

BP =[10, 100k] Hz

Profondeur max =900m




250

9) Directivit



Omnidirectionnel

Cardiode

Hyper cardiode

Bi directionnel

Sub cardiode

Directionnel


251




Synthse


254

XVII) CAPTEURSDACCLRATION ET DE CHOC

1) Principe de la mesure en dplacement linaire

a) Principe de base

2
2
d x dx
forces =m. =m. +a. +k.x
dt dt



La rponse du systme donne :

i
r
F =m. =k.x en rgime tabli
1 m
f = . , frquence de rsonance
2. k



b) Force inertielle F
i
transforme en contrainte

Utilis dans les acclromtres jauge et pizolectrique.

- Par cisaillement




255

- Par compression


- Par flexion







Cisaillement Compression Flexion
Avantage
- Peu sensible la
temprature
- Faible importance
du support
- Fort rapport masse
sensibilit
- Robustesse
- Avantage technologie
- Meilleur rapport
masse sensibilit

Inconvni
ent
- Faible rapport
masse sensibilit
- Peu sensible la
temprature
- Forte importance du
support
- Fragile
- Moyennement
sensible la
temprature



256

c) Force inertielle Fi transforme en dplacement

Utilis dans les acclromtres capacitif et optique

2) Principe de la mesure en angulaire (Pendule)


x
y
F =T.sin( ) =m.
et
F =T.cos( ) - m.g=0
tan( ) =
g


La mesure de langle donne lacclration. Le fait que u intervienne sous forme
de tangente ne permet pas une mesure directe facile.

Cette technique de mesure est associe un asservissement de position
angulaire, voir 8.

3) jauges

a) Principe

Utilisation de jauges rsistive ou pizorsistive.

En botier MEMS



257

b) Exemple industriel (Endevco)



4) Pizolectrique

a) Principe


b) Exemple industriel (Measurement)


5) Capacitif

a) Principe

La force inertielle fait bouger les armatures de condensateurs :


Principe

max
=2000g

S =0,25mV/g

c =2%

max
=50g

S =100mV/g

c =1%



258


Coupe

MEMS

lectronique MEMS


259

b) Exemples industriels

- En botier (ASC)


- MEMS (CETS)


- CI (AnalogDevices)


ADLX22035

max
=200g

S=20mV/g

c =0,5%
max=10g

S=250mV/g

c =0,2%

max
=18g

S=100mV/g

c =1,5%


260

- Inclinomtre 2 axes (Sensorex)

6) Optique

a) Principe

Bas sur la rflexion de la lumire.


b) Exemple industriel (Phone-Or)



max
=10g

S=100mV/g

c =1,5%

max
=15

S=30mV/

c =0,5%


261

7) Fibre optique rseau de Bragg(FBG)

a) Rseau de Bragg

Il s'agit d'une structure dans laquelle alternent des couches de deux
matriaux d'indices de rfraction diffrents, ce qui provoque une variation
priodique de l'indice de rfraction effectif dans le guide.
Cest un filtre slectif optique que ne renvoie quune longueur donde
proportionnelle lcartement A des disques du rseau :



b) Principe de lacclromtre

Une masse subissant l'acclration va comprimer ou tendre la fibre, ce qui
va modifier la distance A et, donc changer la longueur d'onde rflchie.

Principe

Structure du capteur


262


Courbe

c) Exemple industriel (Micron Optics)

8) Asservi (Force balance)

a) Principe

L'acclromtre force d'asservissement produit une sortie proportionnelle
la force requise pour maintenir la masse dans une position d'quilibre :

max
=40g

S=10pm/g

c =1,5%


263


Lacclromtre asservi peut prendre l'une des deux gomtries de base
(linaire et pendulaire).


La gomtrie pendule est la plus largement utilise dans les modles
commerciaux. Jusqu' rcemment, le mcanisme d'asservissement a t
principalement fond sur des principes magntiques : courant travers les
bobines.


La masse pendulaire dveloppe un couple proportionnel au produit de la
masse sismique et l'acclration applique. Le dplacement de la masse est
dtect par les capteurs de position, capteurs capacitifs gnralement, qui
envoient un signal d'erreur au systme d'asservissement.
Le signal d'erreur pilote l'amplificateur d'asservissement pour fournir en sortie
un courant de rtroaction au moteur de couple, qui dveloppe ainsi un couple
rsistant gal en amplitude au couple d'acclration engendr par la masse
pendulaire.



Principe de lasservissement


264

b) Exemple industriel (Sensorex)






9) 3 Axes

Dans le mme botier 3 acclromtres, jauge, pizolectrique ou capacitif,
mesurant les 3 acclrations suivant les directions dun repre orthonorm.









max=0,05g

S=100mV/g

c =0,02%


265

a) Exemple industriel jauges (Endevco)



b) Exemple industriel pizolectrique (Meggitt)



c) Exemples industriels capacitifs


- Botier (Silicon Designs)





max
=1500g

S =0,15mV/g

c =2%

max
=2000g

S =2,8pC/g

c =1%

max
=200g

S =20mV/g

c =2%


266

- CI et MEMS (Freescale)





Synoptique

10) Gyroscope

a) Diffrence fondamentale

La diffrence entre un gyroscope et un acclromtre est que le premier peut
mesurer une rotation, lautre pas.
Un acclromtre 3 axes possde la capacit valuer l'orientation d'une
plate-forme stationnaire par rapport un rfrentiel.
Si le rfrentiel se retrouve tre en chute libre, l'acclration sera vue
comme nulle, car l'acclration nest pas diffrente de l'acclration due
l'attraction gravitationnelle de la Terre. Donc, un acclromtre seul ne peut
pas tre utilis pour maintenir un avion, hlicoptre dans une orientation
particulire.
Un gyroscope d'autre part a la capacit de mesurer la vitesse de rotation
autour d'un axe particulier.
Une autre faon d'identifier la diffrence entre un gyroscope et un
acclromtre est de comprendre qu'un gyroscope permet de mesurer ou de
maintenir l'orientation, en utilisant les principes de moment angulaire, tandis
qu'un acclromtre mesure des vibrations.

max
=1,5g

S=800mV/g

c =1%


267

Une dernire diffrence concerne le fait quun gyroscope donne une
indication de la vitesse angulaire, tandis quun acclromtre mesure
l'acclration linaire.
Un gyroscope peut tre utilis pour la navigation, sur les drones et les
hlicoptres radiocommands.
De plus en drivant on peut rcuprer lacclration angulaire.

b) Principe

Schma mcanique
c) Exemples industriels

- Botier (Texsense)





v
max
=150/s

S=1,3mV//s

c =0,5/s


268


- MEMS (Epson)





- CI (AnalogDevices)

v
max
=60/s

S=25mV//s

c =0,5/s
vmax=300/s

S=6mV//s

c =0,1/s


270

12) Applications


Mthode Domaines& Applications
Jauge Mesure de chocs, crash-tests
Pizolectrique Industrie, mesures en haute temprature
Capacitif Inclinomtre. Automobile, aronautique.
Optique Mesure de vibration. PDA, jeu vido
Fibre optique Milieu explosif, gnie civil
Servo Mesure de vibration. Sismique, Gnie civil
3 axes Jeu, PDA, iPhone,
Gyroscope Radiocommande, centrale inertielle, iPhone


271

XVIII) CAPTEURSDE VIBRATIONS

1) Gnralits

a) Dfinition
Une vibration est un mouvement oscillant d'une particule ou dun corps
autour d'un point de rfrence fixe.
Elle peut tre harmonique simple (sinusodale) ou complexe (non sinusodal)
et se produit dans divers modes, tels que les modes de flexion ou de
translation voire dans plusieurs modes la fois.

Production dune vibration
b) Mesures

On peut donc mesurer 3 grandeurs /:

0
0 0 0
2
0 0
Dplacement : d(t) =D.sin( .t)
dd(t)
Vitesse : v(t) = =D. .cos( .t) =V.cos( .t)
dt
dv(t)
Acclration : (t) = =-D. .sin( .t) = .sin( .t)
dt


I

Le choix de la grandeur mesure se fera en fonction de nombreux critres
comme la frquence, la masse.

Grandeur
mesure
Domaine
Dplacement
Phnomnes lents (basses frquences) [2100 Hz] :
balourd, dsalignement, instabilits de paliers ...
Vitesse
Moyennes frquences [1 000 Hz] :
Balourd, lignage, instabilits de paliers, cavitation, passage
d'aube, engrnement, etc.
Acclration
Phnomnes trs rapides (hautes frquences) [20 000 Hz] :
engrenages, roulements, passages dailettes, cavitation

Critres de choix


272

Les vibrations peuvent causer des dommages aux structures et aux machines,
ce qui entrane un mauvais fonctionnement, une usure excessive, voire la
rupture (destruction).
Elles peuvent aussi avoir des effets nfastes sur les humains comme le mal
des transports, dommages sur les muscles et les nerfs, etc.

En pratique on relve le spectre :

Exemple de relevs vibratoires

c) Influence du capteur

En gnral, plus la masse du capteur de vibrations est grande, plus grande
est sa sensibilit.
Malheureusement, l'addition de la masse du capteur m
C
la masse m de la
structure vibrante modifie la frquence de rsonance f
0
du systme vibrant :

m 0
C
m
f =f .
m +m




273

2) Exemples de capteurs utiliss et de grandeurs mesures

Capteur
Grandeur
mesure
+ -
Potentiomtre D statique
Simple
Cot
Dure de vie
Faible gamme de
frquences et dynamique
Sonde courant
de Foucault
D relatif
Faible impdance de
sortie
Surface vibrante
conductrice
Faible dynamique
Sonde capacitive D relatif
Grande sensibilit
Grande gamme de
frquences
Surface vibrante
conductrice
Faible dynamique
Bobine mobile V
Simple
Cot
Trs faible gamme de
frquences et dynamique
Sensible aux champs
magntiques
Laser Doppler V relative
Pas de prparation de la
surface
Pas de masse rajoute
Possibilit de scruter
plusieurs centaines ou
milliers de points en des
temps trs rduits
Prix
Plage de mesure
Acclromtre
pizorsistif
A
Large gamme de mesure,
frquence et dynamique
Sensible aux champs
magntiques
Fragile aux chocs
Acclromtre
pizolectrique
A absolue
Grande gamme de
mesure, frquence et
dynamique
Dure de vie
Extrmement compact et
d'un grand rapport
qualit-prix.
Ne passe pas le DC
Conditionneur
Acclromtre
pizo MEMS
A absolue
Faible impdance de
sortie
Ne passe pas le DC
Dynamique un peu faible
Limit en temprature

Toutes les autres techniques de mesures de distance, vitesse et acclration
peuvent tre utilises.



274

3) Exemple de relev


f(Hz)

4) Exemples industriels

Vitesse (bobines mobiles) Acclration (Pizo



S=4mV/m/s

f =[4,5 , 2k] Hz

c =3%

Sensonics



S=4mV/m/s

f =[4,5 , 2k] Hz

c =3%

VibraSens


275

5) Sismomtre

Un sismomtre est un appareil capable de dtecter de trs petits mouvements
du sol et de les enregistrer en suivant une base de temps trs prcise (GPS).

Il fonctionne sur le mme principe qu'un oscillateur masse d'inertie amortie et
est constitu le plus souvent d'une masse et d'un bti li au sol.

Un mouvement du sol va entraner un mouvement du bti, puis un mouvement
relatif entre la masse et le bti qui porte galement le systme
d'enregistrements. C'est ce mouvement relatif qui est amplifi par un systme
mcanique, optique ou lectronique, puis enregistr.

Pour obtenir une bonne restitution de l'amplitude et du contenu spectral du
signal d'origine, un sismomtre doit avoir une rponse quasi linaire.

Les enregistrements du mouvement de la masse en fonction du temps
s'appellent le sismogramme.

Un sismomtre contient trois sismomtres qui mesurent chacun dans une des
directions des trois composantes orthogonales.



Sercel



276

















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277

XIX) CAPTEURSDE RADIATIONSET RAYONNEMENTSNUCLAIRES

1) Radiation et radioactivit

a) Dfinition

La radioactivit est le phnomne par lequel un noyau instable, dans ltat
fondamental ou dans un tat lgrement excit, met spontanment une
particule ou un rayonnement :


- Particules o

Ce sont des fragments de noyaux dhlium constitus de 2 protons et de
2 neutrons jects par ceux-ci en raison de leur instabilit.
Ces rayonnements ont des nergies de quelques MeV, toujours bien
dfinies, valeur typiques de lnergie de liaison dans les noyaux.
Ils ont 2 charges lectriques et un pouvoir de pntration faible dans la
matire. Ils sont absorbs par 3 cmdair ou par une feuille de papier.
On comprend donc quils sont souvent difficiles dtecter.

- Rayons |

Il s'agit cette fois d'lectrons, particules 1800 fois plus lgers que les
protons ou les neutrons. Ces rayons sont dus la transformation
lintrieur du noyau de protons en neutrons ou de neutrons en protons.
Leurs nergies se rpartissent en un spectre continu et leur pouvoir de
pntration est plus grand. Il faut une paisseur de 1 cm daluminium
pour les absorber.
On distingue la radioactivit |
-
(lectron) et la radioactivit |
+
(positron
ou antiparticule de llectron)

- Rayons

Ce sont des rayonnements lectromagntiques comme la lumire ou les
rayons X. Leur nergie est de lordre du MeV, soit 100 000 fois celle dun
photon.
Leur pouvoir de pntration est trs grand. Il faut 5 cmde plomb ou 1 m
de bton pour les arrter.


278

- Neutrons

Les neutrons sont trs pntrants. Ils interagissent plus ou moins avec les
noyaux selon la substance traverse, provoquant dautres ractions
nuclaires et mais aussi par des chocs avec des noyaux lgers (noyaux
dHydrogne, par exemple) ou par des chocs avec des noyaux lourds.
Ils ont en effet l'avantage d'tre neutres, et donc de ne pas subir la
rpulsion du noyau lors de leur approche.

b) Modes de production

- La fusion : deux nuclides lgers de faible nergie de liaison qui
peuvent donner un nuclide plus lourd et possdant une plus grande
nergie de liaison (bombe H, le soleil, )

- La fission : un noyau trs lourd bombard par un projectile (neutron
trs souvent) est bris en deux morceaux plus lgers et plus stables
(bombe A, centrales nuclaires, )


279

c) Lois de dsintgration (demi-vie)

Soit N(t) le nombre datomes actifs (nuclides) au temps t :

N(t) =N(0).e
-.t
, =constante radioactive (1,35.10
-11
pour du radium 226)



On dfinit :

- Activit =
-.t -.t
d(N(t))
A(t)= =.N(t) = .N(0).e = A(0).e
dt


- Temps moyen (de vie) =
A(t) 1
t .dt =
N(0)

}
0
=

- Priode (demi-vie) =temps au bout duquel N ou A ont perdu la moiti
de leur valeur =

Ln(2)
T = = .Ln(2) =0,639. .


280


Particules o


Rayons |


Rayons

281

d) Units

- Objectives

Becquerel (Bq) =1 dsintgration par seconde

Curie (Ci) =3,7.10
10
dsintgration/sec =37GBq

Remarque : 1 Curie correspond peu prs lactivit dun gramme de
radium(
226
Ra) t =0.

- Subjectives

Dose absorbe ou dpose (D) : nergie reue par unit de masse
de la cible, en joules par kilogramme =grays (Gy), L'ancienne unit
tait le rad (1 Gy =100 rad).
On dfinit galement un dbit de dose, c'est--dire l'nergie
absorbe par kilogramme et par unit de temps, mesure en grays
par seconde (Gy/s).

Dose quivalente (H) : pour laquelle chaque rayonnement doit tre
pondr pour tenir compte de sa nocivit respective (dommages
biologiques), unit =sievert (Sv).
Lorsque le rad tait utilis comme unit de dose absorbe, l'unit
de dose quivalente tait le rem=10mSv, acronyme de rntgen
equivalent man .

Dose efficace (E) : somme pondre des doses quivalentes H aux
organes et tissus irradis. Elle rend compte du risque d'apparition
de cancers. L'unit utilise est galement le sievert.

e) Quelques chiffres

- dose individuelle due la radioactivit naturelle (tellurique et
cosmique) : 1 5 mSv.an
- limite rglementaire pour le personnel des centrales nuclaires : 50 mSv.a
- limite rglementaire pour la population : 5 mSv.an
- dose reue lors dune radiographie pulmonaire : 20 Sv
- dose entranant la mort dans les heures qui suivent: 100 Sv.

282



Dose (Sv) Effets sur lhumain
1000 Mort dans les minutes qui suivent
100 Mort dans les heures qui suivent
10 Mort dans les mois qui suivent
7 90%de mortalit dans les mois qui suivent
6
Troubles sanguins et digestifs graves, diarrhes et vomissements,
risques de perforations intestinales
4 2,5
Nauses, vomissements, vertiges ds la fin de lirradiation,
modification de la formule sanguine, risques mortels levs en cas
dinfection
2 10%de mortalit dans les mois qui suivent
1,5 1
Troubles digestifs lgers, pilation partielle, fatigabilit persistante
(plusieurs fois), augmentation significative des cas de cancer,
strilit permanente chez la femme, strilit pendant 2 trois ans
chez homme
partir de
0,05
Modification de la formule sanguine


2) Gnralits sur les dtecteurs

On peut classer par familles :

a) Type dinteraction

- Dtecteur dionisation

- Dtecteur dexcitation

b) Milieu utilis

- Dtecteur gaz

- Dtecteur liquide

- Dtecteur solide


283

c) Information produite

- Compteur et activimtre (nombre ou dbit dinteractions)

- Spectromtre (mesure de la distribution dnergie)

- Dosimtre (mesure de lnergie dpose)

3) Dtection ionisation

a) Principe

Ces dtecteurs dtectent le passage dune particule charge en mesurant la
charge totale des lectrons et les ions produits dans lionisation du milieu
par la particule.
Le milieu peut tre de gaz, liquide ou solide, chacun ayant ses avantages et
ses applications.
Pour rcuprer les lectrons et les ions avant quils ne se recombinent en
atomes, il faut la prsence dun champ lectrique qui les spare et les fait
driver vers les lectrodes respectives.


284


Ces charges (lectrons et ions) en drive induisent un courant.
Le nombre moyen de paires dlectron-ion produit dans un passage dune
particule charge est donn par la formule de Bethe-Bloch :

i
1 dE
N = . .d
W dx

o d est lpaisseur du dtecteur, x =longueur du chemin et W lnergie
moyenne pour crer une paire dlectron-ion. Dans les gaz W ~ 35 eV.

b) Zones de fonctionnement

Les charges dtectes par lamplificateur dpendent de plusieurs facteurs
techniques, avant tout de la haute tension du champ lectrique.


285

- Zone I (zone de recombinaison, V <100V) : quand le champ lectrique
(ou tension) entre les lectrodes est trop faible, les lectrons et les
ions peuvent se recombiner en atomes tout de suite aprs quils sont
produits. Seule une petite fraction des charges d'ionisation est
dtecte.

- Zone II (rgion ou chambre dionisation, 100 <V <200V) : une fois que
la tension est assez grande pour empcher les recombinaisons, les
charges dionisation drivent presque intgralement vers les
lectrodes.
On obtient un signal qui reflte la charge totale dionisation.

- Zone III (rgion proportionnelle, 200 <V <300V) : Apparition autour
du fil d'un processus interne d'amplification M (10
2
10
6
), d aux
ionisations par chocs produits par les lectrons fournis par les
ionisations (avalanche de Townsend).
Lamplitude de limpulsion est proportionnelle au nombre de paires
dions produites par le passage de la particule dtecte, cest le mode
de fonctionnement des compteurs proportionnels.
Les dtecteurs oprant dans la rgion proportionnelle sont gaz.
Lavantage des chambres proportionnelles est quelles nexigent pas
dlectroniques damplification low noise.

- Zone IV (rgion davalanche de Townsend, 300 <V <500V) : dautres
phnomnes plus complexes entrent en jeu, la proportionnalit
devient limite. Le comportement du milieu tend ne plus dpendre
de la particule dtecte

- Zone V (rgion Geiger-Mller, 500 <V <1000V) : pour une tension
suprieure VG (seuil Geiger) la dcharge lectrique se propage sur
tout le fil.
Les nergies d'lectrons d'ionisation primaires augmentent
rapidement et ils excitent ou ionisent tout de suite d'autres atomes.
Une avalanche dlectrons libres se produit. De plus, un grand
nombre de photons sont produits dans le processus par dsexcitation
datomes. Ces photons initient aussi des avalanches d'ionisation par
effet photolectrique tout du long du fil d'anode o le champ
lectrique est le plus fort. Ces avalanches se dveloppent trs
rapidement et la dcharge produite est audible. Cest le principe du
compteur Geiger.
286

La dcharge ne sinterrompt que lorsque la charge despace forme
par la gaine dions positifs autour de lanode diminue suffisamment le
champ lectrique autour de celle-ci pour que le processus de la
multiplication ne puisse plus continuer. Pendant ce temps le
dtecteur nest plus sensible toute ionisation primaire, jusqu ce
que les ions aient migr suffisamment loin de lanode. Cest lorigine
du temps mort dans le compteur de Geiger.
Dans une dcharge, le courant danode est satur. Lamplitude du
signal est donc indpendante des charges primaires. On ne peut pas
utiliser les compteurs Geiger pour mesurer lnergie, mais on peut les
utiliser pour mesurer le taux de radiation des particules, mme de
faibles nergies. Le taux maximal est limit par le temps mort.

- Zone VI (rgion de dcharge) :
Augmenter le champ au-del de la rgion Geiger (>1000V) entrane
une dcharge continue, le passage de la particule saccompagne de
lapparition dtincelles Un dtecteur nest plus utilisable sil se trouve
dans cette rgion.














287

c) Exemples industriels

- chambre dionisation (Camberra)




- Proportionnel (EMS)








D=[0,01, 1000] mGy/h

S =4,8.10
-12
A/mGy/h

c =7%
H=[10n, 1] Sv/h

E =[30k, 1,3M] eV

c =5%
288


- Compteur Geiger (LND Inc)





Courbe de rponse dun tube Geiger



D =[10
-4
, 10] mGy/h

S(
60
CO) =90 pulse/mn/Rem/h

Temp mort =90s

c =0,06%
289

4) Dtecteur scintillations

a) Principe

Dans un scintillateur, les lectrons primaires produits par l'ionisation
entranent la formation de photons, souvent dans le domaine du visible.

Certains milieux transparents mettent une petite quantit de lumire en
dsexcitation aprs avoir t excits par une particule charge
(fluorescence). Ces photons peuvent tre dtects par un dispositif
photosensible si le milieu est transparent dans le domaine de longueur
donde correspondant au moins certains de ces photons. Il existe divers
milieux qui satisfont cette condition de transparence :

- Scintillateurs organiques (plastique, liquide, cristal)

- Les scintillateurs inorganiques (cristal) : NaI(Tl), CsF2, BGO,
Le plus connu est l'iodure de sodium NaI, dop au thalium Th.

Dans un cristal, les niveaux d'nergie sont rpartis dans une bande de valence
et dans une bande de conduction, en gnral vide de tout lectron. Dans un
cristal ionis, ces deux bandes sont trs loignes d'un point de vue
nergtique et sont spares par une bande dite interdite (cristal non
conducteur).

Le passage d'une particule ionisante va porter plusieurs lectrons dans la
bande de conduction; ceux-ci rejoignent alors la bande de valence en
mettant des photons visibles. Le nombre de photons mis est
proportionnel l'nergie dpose par la particule ionisante.

290


Il existe galement des scintillateurs gaz (Xe, Ar, Ne), l'mission des
photons se fait plutt dans l'ultraviolet.

b) Rcupration des photons

On utilise un photomultiplicateur, voir chapitre V-2.

c) Systme complet


Principe

291



Courbe de rponse


d) Exemple industriel (Ortec)






E =[80k, 1,2M] eV

S(
135
Cs) =900 pulse/mn/R/h

292

5) Dtecteur semi-conducteur

a) Principe

Dans une jonction PN polarise en inverse existe une zone dpeuple de
porteurs de charge qui va se comporter comme une chambre d'ionisation.
Au lieu d'exciter ou ioniser le milieu, une particule charge traversant un
semi-conducteur cre des paires d'lectrons-trous quasi libres. Il faut
seulement peu prs 3 eV pour en crer une centaine de paires (compar
30 eV en gaz pour une ionisation).


Les charges ainsi cres peuvent tre dtectes en appliquant un champ
lectrique, comme dans dautres types de dtecteurs dionisation.
Sous leffet dun rayonnement ionisant les porteurs librs vont crer une
impulsion dont lamplitude sera proportionnelle lnergie perdue par la
particule ionisante dans le dtecteur avec une excellente linarit et un
temps de rponse de lordre de la nanoseconde.


293

La technologie utilise a pour but de minimiser l'paisseur de semi-
conducteur traverser avant d'atteindre la zone utile et d'augmenter au
contraire la largeur de la zone de dpltion l'interface, ce qui sera obtenu
via un matriau peu dop et une tension inverse leve.

b) Exemples industriels

- Eurorad





- Camra (Mdecine nuclaire)


E =[60k, 1,5M] eV

S(
135
Cs) =300 pulse/s/Rad/h

295

XX) CAPTEURSCHIMIQUES

1) Gnralits

la diffrence des grandeurs physiques (P, T, F, etc.), les grandeurs chimiques
(concentration, activit, composition, vitesse de raction, pH, potentiel
doxydorduction, etc ) subissent beaucoup plus linfluence dautres
paramtres du milieu (effet de matrice).

2) Classification

3) Principe gnral

Un transducteur chimique (ou biochimique, physicochimique) permet la
traduction de la concentration d'une espce chimique en une grandeur
physique.
Ce dispositif est constitu dune partie de reconnaissance (dtecteur) couple
un systme de transduction, qui transforme le processus de reconnaissance en
un signal lectrique.

Synoptique dun capteur chimique
296


Analogie

4) Principe de base dun capteur

On se rfrera au chapitre XXVI-1 & 2 pour plus de dtails.

Les processus de reconnaissance sont de deux types :

Les systmes daffinit, dans lesquels il y a interaction spcifique entre
le spcimen X dtecter et le site de reconnaissance S
a
, do formation
du complexe XS
a
:

X+S
a
XS
a

La formation de ce complexe entrane la modification d'un paramtre
physique de la partie de reconnaissance (masse, charge lectrique,
proprits optiques, ...) qui peut tre facilement transforme en signal
lectrique. Les techniques reposant sur ce principe sont par exemple,
les capteurs lectrochimiques (lectrodes spcifiques ISE ou transistors
ISFET).

Les systmes catalytiques sont reprsents par les ractions :

X+S
c
XS
c
S
c
+P

o Sc est le site de reconnaissance catalytique et P le produit de la
raction catalytique.
Le site de reconnaissance catalytique permet la transformation de
lespce X en produit P, le site catalytique tant la fin totalement
rgnr. Parmi ces techniques, on peut citer loxydation dans lair de
gaz combustibles sur la surface dun oxyde semi-conducteur (oxyde
dtain) ou dun mtal noble (platine, palladium).
297

5) Capteurs lectrochimiques

On mesure un signal lectrique gnr entre les bornes de deux lectrodes, d
la raction d'oxydorduction de l'espce dtecter.
Selon le paramtre mesur, il sagit de capteurs voltamtriques ou volt
ampremtriques (variation de tension et de courant), ampromtriques
(variation de courant), potentiomtriques (variation de tension) ou
conductimtriques (variation de conductivit).

Cette famille de capteurs recouvre plusieurs techniques :

les lectrodes enzymatiques

les oxydes haute temprature (sondes zircones)

Les capteurs conductivit de surface

les piles combustible

etc

Le dispositif le plus simple est constitu par une cellule lectrochimique.
Elle comprend une membrane semi-permable jouant un rle de barrire de
diffusion, un lectrolyte et deux lectrodes entre lesquelles est applique une
diffrence de potentiel. Llectrolyte peut tre liquide, gel ou solide.


Exemple : KCL =lectrolyte, membrane pour oxygne

L'absorption du compos dtecter donne lieu une raction lectrochimique
spcifique, ce qui induit une force lectromotrice lie au transfert de charge
entre ce compos et la cellule de mesure.

298

6) Arbre des mthodes de mesure



299

XXI) CAPTEURSCHIMIQUESEN PHASE AQUEUSE

1) Potentiomtrie

Le terme de potentiomtrie ou potentiomtrique se rapporte potentiel !!!

a) Principe

Il constitue lessentiel des capteurs lectrodes slectives
(ISE =Ion Selective Electrode) qui utilisent la proprit des matriaux qui les
constituent pouvoir changer des lments chimiques (ioniques ou
molculaires) avec le milieu analys.
On mesure courant nul la diffrence de potentiel qui apparat entre l'ISE et
un point (lectrode) de rfrence :


Principe de la mesure potentiomtrique


Cela permet den dduire la concentration en ion X, a
X
=a(X) en mg/L ou en
mol/L, parfois exprime en chelle log:

pX=- log(aX)


Le dveloppement complet de la mthode est dtaill au paragraphe 3.


300

b) Classification des ISE

- Un mtal recouvert dun de ses sels peu solubles, lensemble
plongeant dans un lectrolyte contenant lanion correspondant au sel

- Un mtal plong dans une solution dun de ses sels

- Une lectrode de mtal inaltrable (Pt par exemple) plongeant dans
une solution de sels dun lment possdant deux nombres
doxydation diffrents

c) Types de membranes

- Membranes en verre (vitreuses)

Membranes en verre oxyde (silicate ou chalcognure). Le silicate a une
bonne slectivit les ions H
+
, Na
+
et Ag
+
, le chalcognure pour les ions
mtalliques double chargs comme Pb
2+
et Cd
2+
.

Elles ont une excellente rsistance chimique et peuvent travailler dans
des milieux trs agressifs comme l'lectrode de pH.

- Membranes inorganiques cristallines

Membranes mono ou polycristallines. Elles ont une bonne slectivit
parce que seuls les ions qui peuvent rentrer dans la structure
cristalline interfrent avec l'lectrode.

Fonctionnent la fois pour des cations et des anions de la substance
formant la membrane comme le fluorure de lanthane (LaF
3
) pour du F
-


- Membranes polymres

Membranes en polymres organiques (PVC, polysiloxanes,
polyurthanes, ). L'utilisation de polymres spcifiques permet la
ralisation d'lectrodes slectives pour des dizaines dions diffrents,
la fois simple ou multi atomes. Elles sont les plus rpandues pour les
anions. Toutefois, ces lectrodes ont une faible dure de vie
physicochimique.

Un exemple est la valinomycine utilise pour K+.

301

d) Principaux ions dtects

Cations : Br
-
, Cl
-
, Cl04
-
, CN
-
, F
-
, NO3
-
, S
2-

Anions : Ag
+
, Ca
2+
, Cd
2+
, Cu
2+
, K
+
, Li
+
, Na
+
, NH
4
+
, Pb
2+


e) Exemples et applications

Domaine Ions Utilisation
Agriculture Cl
-
, CN
-
, F
-
, I
-
, NO
3
-
, Ca
2+
, K
+
, NH
4
+
Sols, engrais
Alimentation Ca
2+
Produits laitiers et bire
Alimentation Cl
-
Teneur en sel
Alimentation F
-
Eau potable et boissons
Alimentation K
+
Jus de fruits et vin
Alimentation NO
2
-
, NO
3
-

Conservateur viande,
bote de conserve
Environnement F
-
, Ba
2+
, Ca
2+
Dtergent
Environnement Cl
-
, F
-
, NO
3
-
Explosif
Environnement Cl
-
, S
2-
Pte et recyclage papier
Environnement Cl
-
, CN
-
, F
-
, NO
3
-
, S
2-
Pollution eau
Industrie Cl
-
, F
-
, S
2-

Bains de dcapage et
danodisation
Mdical Cl
,
Ca
2+
, K
+
Analyse fluides corporels
Mdical F
-
Dentaire et autopsie


f) Exemple industriel (Nico2000)


a
Ca
2+
e [0,5.10
-3
, 4000] mg/L

S=30mV/pCa

c =0,3%
302

2) Potentiomtrie miniature (ISFET)

a) Principe

LISFET, appel aussi ChemFET, a t invent par Bergveld en 1970, est un
dispositif semi-conducteurs qui combine une membrane chimiquement
sensible et un transistor MOS. La membrane joue le rle de filtre et ne laisse
passer que les ions X.
Grce sa petite taille, on obtient une rponse rapide et robuste.



Pour un MOSen zone ohmique, on a I
D
=K.[V
DS
.(V
GS
-V
TH
) -
2
1
. V
2
DS
]
Les ions qui traversent la membrane vont modifier la tension de seuil :

VTH(ISFET) =VTH(MOS) - VTH(X)

V
TH(MOS)
=seuil du transistor MOSseul

TH(X) X
R.T
V =E + .Ln(a )
n.F


E =constante chimique
F =constante de Faraday =96 485 Cmol
-1
R =constante universelle des gaz parfaits =8,314472 Jmol
-1
K
-1

T =temprature absolue, en Kelvin
n =charge de lion
a
X
=concentration en ions X
303

b) Membranes

- Nitrure de silicium(Si3N4)
- Oxyde daluminium(Al
2
O
3
).
- Oxyde de tantale (Ta
2
O
5
).
- Oxyde dtain (SnO
2
).
- Oxyde de tungstne amorphe (WO3).
- Oxyde de zirconium [ZrO
2
].
- Siliciumamorphe hydrogn Si:H.
- Carbone structure diamant (DLC).
- Oxynitrure de silicium (SiOxNy).

c) Exemple industriel




3) Mesure de pH par potentiomtrie

a) Notion sur le pH

- Dfinition

pH =- log(a
H+
) o a
H+
=a(H
+
) est lactivit au sens concentration des ions
hydrogne H
+
.

Malheureusement, cette formule ne permet pas de calculer ou de
mesurer directement le pH, car elle dpend de l'activit de H
+

dpendante elle-mme de l'influence du solvant, de la nature de l'ion, de
sa vigueur, de la temprature, etc ...
a
K
-
e [40.10
-4
, 40] mg/L

S=58mV/pK

c =0,1%
304




- Loi de Nernst

s X
(E - E ).F
pH(X) =pH(S) +
R.T.Ln(10)


pH(X) =pH de la solution inconnue
pH(S) =pH tabul de la solution de rfrence S
E
X
=femde la cellule avec la solution inconnue X
E
S
=fem de la cellule avec la solution de rfrence S la place de la
solution X
F =constante de Faraday =96 485 Cmol
-1
R =constante universelle des gaz parfaits =8,314472 Jmol
-1
K
-1

T =temprature absolue, en Kelvin

Il suffit donc de mesurer la diffrence de potentiel E =E
S
- E
X
entre une
lectrode sensible l'activit des ions hydrogne et une lectrode de
rfrence, comme une lectrode au calomel ou une lectrode de
chlorure d'argent. Trs souvent, l'lectrode de verre est combine avec
l'lectrode de rfrence et un capteur de temprature en un seul corps.
L'lectrode de verre peut tre dcrite ( 95 99,9%de prcision) par
l'quation de Nernst.






305

- chelle des pH



b) Sonde pH lectrochimique

- Principe

Un potentiel lectrique se dveloppe quand un liquide est mis en contact
avec un autre, mais une membrane est ncessaire pour maintenir ces
liquides spars.

L'lectrode sensible au pH se compose dune membrane de verre mince
dont l'extrieur est en contact avec la solution tester. La surface
intrieure de la membrane de verre est expose une concentration
constante d'ions hydrogne (0,1 mole de HCl) et un fil d'argent revtu de
chlorure d'argent est immerg dans la solution de HCl.
306

Cette lectrode est appele lectrode Ag/AgCl. Elle transporte le courant
travers la raction de demi-cellule. Le potentiel entre l'lectrode et la
solution dpend, de la concentration en ions chlorure, mais comme elle
est constante, le potentiel d'lectrode est galement constant.

L'lectrode de rfrence doit satisfaire aux exigences de base suivantes :

Le potentiel dvelopp devrait tre indpendant de H
+


Le potentiel dvelopp devrait tre indpendant de la
temprature

Le potentiel dvelopp ne devrait pas changer avec le temps.

Considrant toutes ces exigences, deux types d'lectrodes de rfrence,
sont couramment utiliss :

Calomel ou Kalomel (Hg2Cl2)

argent - chlorure d'argent.



Exemple de ralisation

Parfois, la rfrence et llectrode de mesure sont loges dans le mme
tube. Ce type d'lectrode est connu sous le nom dlectrode combine
(sonde). L'lectrode de rfrence utilise dans ce cas est en
argent/chlorure d'argent.
307



Sonde combine : principe & constitution

- Exemple industriel (WTW)


S=59mV/pH

t
r
=10s

c =0,1%

308

c) Sonde pH ISFET

Le matriau de la membrane est choisi pour ne laisser passer que les ions H
+
.

- Courbes

- Compensation lectronique en temprature

Bloc a =capteur, bloc b =mesure de la temprature, bloc c =soustracteur
309



Influence de la compensation en temprature


310

- Exemple industriel (Jumo)



d) Fibre optique

Voir chapitre XXII-11-b

4) Conductivit

a) Principe


Cellule plonge dans un milieu aqueux

La conductance d'un corps (inverse de sa rsistance) obit l'quation
suivante:

.S
G =
d


G =conductance (S)
o : conductivit (S.m
-1
)
S=surface des lectrodes (m
2
)
d =distance entre les deux lectrodes (m)
k =d/S=constante de la cellule (m
-1
)
S=50mV/pH

t
r
=0,2s

c =0,1%
311

Soit A =conductivit molaire =o/aX o aX est la concentration molaire en
ions (mg/L ou mol/L).

F. Kohlrausch en 1874 montra que
0 X
= - K. a A A avec :

A
0
=conductivit molaire pour une dilution infinie (a
X
=0)
K =constante dpendant de la solution aqueuse

Il suffit donc de mesurer R =1/G =V/I pour en dduire a
x
.
Cette mesure ne s'effectue pas en courant continu, car les lectrodes se
polariseraient comme en potentiomtrie et cela fausserait les rsultats : on
utilise donc un courant alternatif (50Hz quelque 10kHz).
Pour avoir de bons rsultats, il faut adapter la frquence la solution
analyser : plus la conductivit est leve, plus la frquence doit l'tre aussi.
Pour des solutions conductivit faible, on choisit une surface grande par
rapport la distance inter-lectrodes et l'inverse pour des conductivits
leves. Il existe beaucoup de capteurs diffrents, mais cette diffrence
repose quasi uniquement sur leur gomtrie, leur choix est donc orient en
fonction du milieu mesurer.

b) Types de cellules

- 2 ples

On applique un courant alternatif entre les deux plaques et on mesure le
potentiel qui en rsulte. Lobjectif est de mesurer la rsistance de la
solution (Rsol). Malheureusement, cette mesure va tre fausse, car une
rsistance (Rel) due la polarisation de llectrode et leffet de champ
interfre et, de ce fait, on va mesurer R =Rsol +2.Rel.

- 4 ples

Dans une cellule 4 ples, un courant est impos aux deux anneaux
externes (1 et 4) de faon crer une diffrence de potentiel constante
entre les anneaux internes (2 et 3). Comme le potentiel va tre mesur
en prsence dun courant ngligeable, les deux lectrodes ne sont pas
polarises. La conductivit est directement proportionnelle au courant
impos.

Les cellules doivent tre talonnes
312


Elles intgrent souvent un capteur de temprature, type Pt100.

c) Exemples de conductivit de solutions

Type de solution Conductivit (S/cm)
Eau pure 0,055
Eau dionise 1
Eau de pluie 50
Eau potable 500
Eau de rejet industrielle 5.10
3
Eau de mer 50.10
3
NaCl 1 mol/l 85.10
3

HCl 1 mol/l 332.10
3


d) Utilisations et choix de la cellule

313

e) Conductimtre

fr = 94 Hz pour les gammes 4,000S et 40,00S
fr =46,9 kHz pour les gammes 400,0mSet 2,000S

Principe de la mesure de la conductivit

f) Exemple industriel

- 2 ples (ABB)



- 4 ples (Radiometer Analytical)



o e [10 , 20000] S

K =0,1

c =0,5%
o e [10
-2
, 1000] S

K =1

c =0,2%
314

5) Ampromtrie

a) Principe

On mesure I =f(aX) en fixant le potentiel V, mthode qui dcoule de la
polarographie.




L'intensit est fonction de la tension impose mais aussi des espces
charges prsentes dans la solution. La dtermination de la concentration
d'un lment est possible aprs un talonnage si l'on connat les autres
lments prsents dans la solution et leur participation l'lectrolyse.
L'intensit traversant la solution est alors proportionnelle la concentration
dudit lment :

I =n.F.m0.S.aX =K.ax

m0 =coefficient de transfert de la solution

F =constante de Faraday =96 485 Cmol
-1


Gnralement les courants mesurs varient entre le picoampre et le
microampre, ils dpendent de la tension applique, de la solution, de la
temprature et des lectrodes ainsi que de leur tat de surface.

315



Exemple de mesure
b) Cellule de Clark



L'ampromtrie est trs utilise pour la mesure de l'oxygne dissous dans
l'eau.
Un potentiel de 650mV est impos entre la cathode de platine et lanode
d'argent recouverte de chlorure d'argent : il y a rduction l'anode de
l'oxygne dissous, ainsi le courant est directement proportionnel la
quantit d'oxygne rduit :

O
2
+2H
+
+2e
-

__________
>H
2
O
2



316

c) Type dions mesurs



d) Chambre dinjection

Permet une mesure en flux continu

Principe
317




Exemple
e) Exemples industriels

- Ion Chore (BAMO Mesures)





- Ion Oxygne (Endress & Hauser)




A
Cl
- e [0,01 , 100] mg/L

K =30 A/mg/L

c =0,05%
ACl- e [0,02 , 60] mg/L

K =5 A/mg/L

c =0,5%
319

XXII) CAPTEURSCHIMIQUESEN PHASE GAZEUSE

1) Gnralits

a) Choix de la mthode




320

b) Principe commun


CI =Interface chimique
TI =transducteur

Principe gnral




Diffrents modes de transduction


322

2) Ampromtrie lectrolyte liquide

a) Principe

Reprend le principe dtaill au paragraphe XXI-5.

Types dlectrolyte : Pt, Au

Types de gaz mesurs : H
2
, O
2
, O
3
, CO, H
2
S, SO
2
, NO
x
, NH
3
, N
2
H
3
(hydrazine ou
diazine)



Principe : hydrogne Constitution

b) Exemple industriel (Figaro Engineering)




O
2

concentration
e [0 , 100] %

S=2,5mV/%

c =1%

323

3) lectrolyte solide

a) Potentiomtrie ou pile

- Principe

Reprend le principe du capteur de pH potentiomtrique (XXI-3).
Le capteur travaille d'une manire similaire une pile. Lorsque le gaz
cible est prsent, une petite charge lectrique est gnre chimiquement
entre les deux lectrodes. La tension recueillie est proportionnelle la
concentration : quation de Nernst l'quilibre.

La membrane et le matriau des lectrodes sont choisis en fonction du
gaz mesurer.

Types dlectrolyte : YSZ, |-Alumine, Nasicon, Nafion

Types de gaz mesurs : O
2
, H
2
, CO
2
, CO, NO
x
, SO
x
, H
2
S, Cl
2
, H
2
O, HC
s
, HCI,
HCN

Exemple : capteur O
2
324

- Exemple industriel (Figaro Engineering)



b) Ampromtrie

- Principe

Mme principe quau paragraphe 2 mais avec de llectrolyte solide.



Principe de base (alcool) Exemple de ralisation (oxygne)

Types dlectrolyte : YSZ, LaGaO3, o-Zirconium, Nasicon, Nafion

Types de gaz mesurs : OH, O2, H2, CO, NOX, SO2, H2S
CO
2
e [350 , 5.10
4
] ppm

S=3V/ppm

c =10%

325

- Exemple industriel (Winsen)



4) GasFET

a) Principe

Ce capteur fonctionne sur le principe que la tension de seuil du MOSFET
capteur change grce l'interaction du gaz avec la grille constitue dun mtal
catalytique tel que le platine (Pt), palladium (Pd), l'iridium (Ir) ou dun
polymre carbon :

VTH(GasFET) =VTH(MOS) - VTH(X)

V
TH(MOS)
=seuil du transistor MOS seul

V
TH(X)
=a
X
.p/c
0
avec a
X
=concentration et p =moment du diple du gaz



Types de gaz mesurs : H
2
, NH
3
, H
2
S, NO
x
, CO
2
, SO
2



H
2
e [0, 1000] ppm

S =0,03A/ppm

c =20%
326

b) Exemple industriel (DETCON)



5) Catalytique

a) Principe

Il se compose d'un lment de dtection appel perle (Bead, Pellistor ou
Siegistor) ralise avec une bobine de fil trs fin de platine chauffe,
incorpore dans une pastille de cramique (alumine), le tout recouvert d'un
revtement extrieur en mtal noble (palladium, rhodium), qui, lorsqu'il est
chaud, agit comme un catalyseur.

La bobine est chauffe par un courant (circuit externe). En prsence d'un gaz
ou de vapeur inflammable, le catalyseur chaud permet de produire une
oxydation dans une raction chimique similaire de la combustion.
Cette raction libre de la chaleur qui provoque laugmentation de la
temprature de la bobine. Cette hausse de temprature est directement
proportionnelle la concentration de gaz. La rsistance de platine va donc
augmenter, elle aussi, proportionnellement (voir chapitre I-1) et sera donc
image de la concentration en gaz dans l'atmosphre environnante.


Constitution
H
2
e [0, 100] ppm

S=0,2mV/ppm

c =5%
327



Exemple de ralisation (Mthane)

Types de gaz dtect : NH
3
, CH
4
, C
x
H
Y
, C
X
H
6
O, compos organique volatile
(COV)


b) Conditionneur

Un capteur complet comprend toujours 2 perles :

- lment actif (avec catalyseur)

- lment passif (sans catalyseur)
328


On utilise un pont de Wheatstone pour rcuprer une tension.


Conditionneur en pont

c) Exemple industriel (General Monitors)




CH4 e [0, 10000] ppm

S=3V/ppm

c =5%
329

6) Catharomtrique

c) Principe

Cest la mthode de mesure la plus ancienne (1880). Elle repose sur la
variation de la conductivit thermique k du mlange gazeux qui entoure le
capteur.

Gaz CH4 CO CO2 H2 He N2 NH3 O2
k
(10
-5
.cal/cm/K)
7,2 5,6 3,4 41,6 34 5,8 5,2 5,9

D'autre part, la conductivit thermique des mlanges binaires varie souvent
de faon linaire avec leur composition. La mthode consiste donc
comparer la conductivit thermique des mlanges analyser celle d'un
gaz de rfrence.

Llment est chauff par effet Joule. La temprature laquelle il se
stabilise dpend de la puissance fournie et des changes thermiques avec le
milieu gazeux.


Principe

Lorsque la composition du mlange varie, sa conductivit thermique est
modifie ce qui a pour consquence une variation de la dissipation
dnergie de llment. Cela entrane une variation de la temprature qui
330

est mesure au moyen de la rsistance lectrique de l'lment (point
rouge), en gnral en platine ou en tungstne.
Souvent, un lment compensateur dans le gaz de rfrence est prsent
pour rduire linfluence des fluctuations de la temprature extrieure.

Cette mthode est aussi appele mthode fil chaud .


Vue 3D Coupe

Schma lectrique quivalent

Types de gaz dtect : He, H2, COx, N2, CH4





331

d) Exemple industriel (Oldham)



7) MOX (Metal Oxyde)

a) Principe

Le principe de fonctionnement des capteurs oxydes mtalliques est bas
sur la variation de la conductivit lectrique dune couche sensible chauffe
haute temprature (300C - 500C) en prsence de gaz. Il est constitu :

dun systme de chauffage et de mesure qui a pour but damener la
couche sensible la temprature adquate. Ce systme comprend
principalement un lment chauffant (ou heater) de type rsistif et
des lectrodes ncessaires la mesure des variations de conductivit.

Dune couche doxyde mtallique qui va ragir avec les gaz.

On peut remplacer loxyde mtallique par du polymre conducteur.


Principe

H2 concentration e [0 , 100] %

S=2O/%

c =1%
332



Schma lectrique




Constitution

333

b) Loi de variation

Peut tre modlis par

S X
R =K.a

o K dpend du gaz et o du matriau.


335

d) Type de gaz dtect


336


337

e) Exemple industriel (SYNKERA)




8) onde de surface (SAW)

a) Principe

Le capteur comporte deux paires dlectrodes interdigites dposes sur un
matriau pizo-lectrique, lune pour lexcitation des ondes (metteur), lautre
pour leur dtection aprs propagation (rcepteur).



Des ondes de surface apparaissent et sont issues de dformations mcaniques
linterface solide-air. L'onde la plus tudie est celle de Rayleigh, car elle a
une polarisation elliptique due la prsence de deux composantes de
dplacement (normal et parallle la surface). Elle se propage le long de la
surface du cristal une profondeur gale la longueur d'onde des frquences
de fonctionnement (qq 100MHz).

NF
3
e [5, 50] ppm

S =2kO/ppm

c =5%
338



Le dispositif est complt par le dpt dune couche spcifique (membrane,
gas sensitive layer) sur le trajet de londe entre les deux lectrodes, qui permet
ladsorption du gaz dsir.



Cette adsorption provoque une variation de la propagation de londe et
donc de la frquence de rsonance :

Af =Af
p
.a
x
.K
p
/
p


o Afp est le changement de frquence caus par la membrane, ax la
concentration, K est le coefficient de partage, p est la densit de la
membrane.


340




341

c) Conditionneur

Le capteur comporte 2 ensembles metteur-rcepteur :

- Un de rfrence
- Un de mesure

Cela permet davoir une compensation en temprature automatique.

Lcart de frquence est donn par :
| |
|
\ .
| |
|
\ .
2
2
0 s
f
k
.
2
f
=
f
.( + )
1+


k =largeur du film
K =coefficient de couplage pizo-lectrique du substrat
u =vitesse de londe
cS =constante dilectrique du substrat
of =conductivit du film


Conditionneur
342

d) Exemple industriel (MSA)

9) Microbalance (QCM)

a) Principe

Il fonctionne sur le mme principe que le SAW (voir 8). Une onde
tridimensionnelle se dplace travers la masse entire du cristal.
Une membrane, souvent en polymre, est dpose sur la surface du cristal et
cette couche adsorbe le gaz auquel elle est expose ce qui se traduit par une
augmentation de sa masse.

COCl
2
e [10
-2
, 100] ppm

S=100kHz/ppm

c =1%
343

Cette augmentation de la masse modifie la frquence de rsonance du quartz :

2
0
-2.f
f = .m
S. .


f
0
=frquence doscillation vide =[1, 30] MHz
S=surface active
=densit du cristal
=module de cisaillement du cristal

b) Gaz dtects


344

c) Exemple industriel (QCM Research)



10) Capacitif

a) Principe

L'lment capteur est conu comme un condensateur plaques parallles
composes de chevauchement couches mtalliques avec un polymre
chimiquement sensible utilis pour le dilectrique. En ngligeant la capacit de
bord, la capacit du capteur est donne par :

Cs =
poly
.S/e

poly
=permittivit du dilectrique
e =paisseur moyenne de polymre
S =surface de recouvrement des plaques (lectrodes).

Coupe
Lorsque le capteur est expos au gaz cible, le polymre labsorbe ce qui
provoque un gonflement (augmentation de e) et une augmentation de la
permittivit :

e =e
0
.(1 +Q.
g
) et
poly
=
poly0
+
g
.[(c
g
-1) Q.( c
poly0
-1)]

CH
4
e [10
-2
, 100] ppm

f0 =3Mhz

S=2.10
-7
(Hz/g).cm
3

c =2%
345

avec :

e0, poly0 =paisseur, permittivit du dilectrique sans prsence de gaz
g =fraction volumique du gaz dans le dilectrique
c
g
=permittivit du gaz
Q =facteur de gonflement

Les effets de gonflement du polymre et le changement de la permittivit sur
la variation de la capacit du capteur peuvent mutuellement sannuler.
Pour viter cette situation, le polymre est soigneusement choisi de telle sorte
que le gonflement est maximis pour le gaz cible.
La permittivit du polymre slectionn doit tre aussi petite que possible
pour une sensibilit maximale.


Principe et ralisation

Types de gaz mesurs : CO
2
, NH
3
, ClO
2
, HNO
3
, C
X
H
Y


b) Exemple industriel (VAISALA)


NH
3
e [0, 1000] ppm

S=0.1pF/ppm

c =5%
346

11) Optique

a) Gnralit

Il ne sagit en gnral pas de capteurs utilisant des principes chimiques.
Deux techniques sont utilises :

Interactions entre le rayonnement et la matire du type spectroscopie
dabsorption ou dmission.

Modifications du rayonnement par son passage travers diffrents
milieux. Il ny a pas alors directement interaction entre le rayonnement
et lespce chimique analyser.

b) Fibre optique

- Principe

La partie principale est constitue par une fibre optique. Celle-ci est
classiquement constitue dun cur en silice dindice optique n
1
,
entoure dune gaine dindice lgrement infrieur n
2
, le milieu ambiant
ayant un indice n
0
. Les conditions de guidage de la lumire sont dfinies
par :

n0
2
.sin
2
(umax) =n1
2
- n2
2


u
max
=angle limite dinjection de la lumire



linterface cur-gaine, une faible partie de la puissance lumineuse est
perdue dans la gaine, cest londe vanescente. La puissance perdue
dpend en particulier de lindice de la gaine.
Les capteurs chimiques fibres optiques sont de deux types :

347

Les capteurs extrinsques ou optrodes, o llment sensible
(matriau spcifique) se trouve au bout de la fibre, celle-ci ne
sert donc qu la transmission du rayonnement :



Un matriau spcifique se trouve au bout de la fibre, cest en
gnral une substance dont labsorption varie en prsence de
lespce dtecter ou qui prsente des proprits de fluorescence
ou de phosphorescence qui sont modifies en prsence de
lespce dtecter. Une fibre amne la lumire excitatrice, une
seconde fibre transporte le signal mis par le matriau spcifique
une longueur donde qui peut tre celle de la lumire excitatrice
(absorption) ou qui peut tre diffrente (fluorescence,
phosphorescence).

les capteurs intrinsques, o la surface de la fibre constitue
elle-mme llment sensible :



Un matriau spcifique constitue la gaine de la fibre. Il s'agit en
gnral d'un polymre ayant des proprits d'absorption
spcifiques pour le gaz dtecter. Le gaz absorb modifie lindice
optique du matriau spcifique et la puissance lumineuse
transmise par la fibre.

Capteur trs intressant pour la dtection dporte dans des
endroits dangereux (explosifs, radioactifs, ...), ainsi que dans des
endroits avec de fortes perturbations lectromagntiques.
348


Types de gaz mesurs : O
2
, H
2
O
2,
C
X
H
Y
, C
2
H
6
O
2
, CH
2
Cl
2

Il existe aussi des capteurs de pH fonctionnant sur ce principe.

- Instrumentation



- Exemple industriel (Ocean Optics)



O
2
e [0, 1000] ppm

S=0.1pF/ppm

c =5%
349

c) Dtecteur infrarouge

- Principe

De nombreux gaz possdent des bandes dabsorption dans la zone
infrarouge du spectre lumineux lectromagntique. Le principe de
dtection repose sur l'interaction entre un rayonnement
lectromagntique infrarouge et le gaz. Celui-ci absorbe de l'nergie
une longueur d'onde bien dtermine (liaisons C-H), qui dpend de
l'nergie de vibration de ses molcules. L'attnuation d'nergie du
rayonnement infrarouge est mesure, elle est fonction de la
concentration de gaz prsente sur le trajet optique, suivant la loi de
Lambert Beer :

X
-().a .L
A=e

o() =coefficient dabsorption du gaz
a
X
=concentration du gaz
L =longueur du trajet optique



Exemple d'absorption


350

Lexemple ci-dessous montre gauche la lumire recueillie travers un
filtre en labsence de gaz et droite linfluence des molcules de gaz qui
attnuent la lumire transmise.
La mesure de cette attnuation A permet den dduire la concentration en
gaz a
X
.


Types de gaz mesurs : C
X
H
Y
, CO
2


- Constitution



351



- Exemple industriel (DET-TRONICS)


C
3
H
8
e [0, 100] %LEL

S=rglable

c =1%
352


12) Photo-ionisation (PID)

a) Principe

Une pompe prlve le gaz mesurer. Le flux est amen dans une chambre
d'ionisation quipe d'une lampe ultraviolette et de 2 lectrodes soumises
une forte diffrence de potentiel (production d'un champ lectrique E).
Sous l'effet du rayonnement, les molcules dont le potentiel d'ionisation PI
est infrieur l'nergie de la lampe sont ionises. Les ions ainsi obtenus
sont collects sur la cathode et un courant est cr, directement
proportionnel au nombre d'ions forms et donc aux molcules ionises.




353





Exemple de potentiel dionisation

Types de gaz mesurs : quasiment tous

355

c) Exemple industriel (Alphasense)




13) Paramagntique

a) Principe

Lorsqu'un gaz est plac dans un gradient d'induction magntique B, il est
soumis une force parallle au champ dont le sens et l'intensit dpendent
de sa susceptibilit magntique _ :

2
0
dF = .dV.grad(B )
2.


0 =permabilit du vide

V =volume de gaz

La plupart des gaz sont diamagntiques (_ ngatif).
Quelques gaz tels que l'oxygne, le monoxyde et le dioxyde d'azote
possdent au moins un lectron clibataire et sont paramagntiques (_
positif).

Gaz O2 NO NO2 H2 N2 CO CO2 Ar CH4

rel
100 45 4 - 0,12 - 0,36 - 0,35 - 0,63 - 0,58 - 0,37

Susceptibilit relative 25C


C3H8 e [0, 100] %LEL

S =rglable

c =1%
356

Lorsqu'un mlange gazeux est plac dans un champ magntique, celui-ci
n'agit pratiquement que sur les gaz paramagntiques.

De plus la variation thermique de leur susceptibilit magntique est
inversement proportionnelle la temprature. En se basant sur ces deux
proprits des gaz paramagntiques, deux types de capteurs commerciaux
ont t dvelopps pour le dosage de l'oxygne :

d) Magntodynamique



Dans une chambre en acier, parcourue par le gaz analyser, un champ
magntique non uniforme est cr par des ples de section
triangulaire. Un haltre, constitu de deux bulles de quartz de 2 mm
de diamtre et remplies d'azote, est suspendu un fil de silice portant
un miroir.

Chaque sphre est dans l'entrefer de l'aimant. Si le gaz contient de
l'oxygne, celui-ci est attir vers le champ magntique le plus intense,
ce qui dplace les sphres qui tournent autour du fil de suspension
357

jusqu' ce que la force ainsi exerce soit quilibre par le couple de
torsion. Un rayon lumineux rflchi sur le miroir transmet la position
angulaire de l'quipage tournant.

La position, image de la concentration en O
2
, est rcupre au moyen
dun capteur optique.

lectronique associe

e) convection thermomagntique (Thermo-paramagntique)

358

Lorsque le gaz analys est chauff l'intrieur mme d'un champ
magntique, l'oxygne chaud devenant moins magntique est chass
par le flux d'oxygne froid qui s'chauffe son tour, il y a cration d'un
"vent magntique".

Un petit tube parfaitement horizontal runit les deux branches de la
chambre. Deux filaments chauffants en platine, faisant partie d'un
pont de Wheatstone entourent ce conduit. Les ples d'un aimant
permanent sont placs de part et d'autre d'une de ces rsistances.

Le pont est quilibr tant que la cellule est traverse par un gaz inerte.
Lorsque le gaz analys contient de l'oxygne, celui-ci est attir par le
champ magntique dans le conduit central, il s'chauffe, sa
susceptibilit magntique diminue et il est remplac par du gaz plus
froid.

Il s'tablit donc un courant gazeux (vent magntique). Ce dernier
refroidit diffremment les filaments et dsquilibre le pont.
Ce dsquilibre est fonction de la teneur du gaz en oxygne.

b) Exemples industriels

- Magntodynamique








O2 concentration e [0 , 100] %

S=10mV/%

c =0,1%
359

- convection thermomagntique




O2 concentration e [0 , 100] %

S=25mV/%

c =1%
361




363



















Cette page a t laisse intentionnellement blanche

366

16) Applications


Mthode Domaines & Applications
Ampromtrique lectrolyte liquide Dtection gaz toxique ou explosif
Potentiomtrique lectrolyte solide
Contrle combustion automobile
(sonde lambda)
Ampromtrique lectrolyte solide Industries / Environnement
GasFET Capteur odeur / Nez lectronique
Catalytique Explosimtre
Catharomtrique Chromatographie en phase gazeuse
MOX
Domotique / Automobile
(air conditionn)
Onde de surface Toxicologie / Mdical
Microbalance Qualit de lair / Chimie
Capacitif Scurit
Fibre optique Zones dangereuses et explosives
Dtecteur infrarouge Raffinerie
Photo-ionisation Substance toxique
Paramagntique Ptrochimie
367

XXIII) CAPTEURSDHUMIDIT

1) Dfinitions

L'humidit est dfinie comme la teneur en vapeur d'eau dans l'air (ou dans un
gaz).

a) Humidit absolue

Quantit de vapeur deau contenue dans un volume dair humide une
temprature et une pression donne.

3 eau
total
m
HA = (g/m)
V


b) Humidit saturante

Quantit maximale de vapeur deau que peut contenir un volume dair
une temprature donne et une pression donne.

3 eau max
total
m
HS = (g/m)
V


c) Humidit relative ou RH

Rapport entre la quantit de vapeurs d'eau contenue dans un volume d'air
une temprature donne et la quantit maximale de vapeur d'eau que peut
contenir ce mme volume d'air la mme temprature et la mme
pression.

HA
HR = .100 (%)
HS


d) Point de rose

Temprature ou pression partir de laquelle le gaz commence se condenser
(passage de ltat gazeux ltat liquide).



368

e) Diagramme de lair humide

Permet de calculer lhumidit relative connaissant la temprature et
lhumidit absolue.

pression atmosphrique
370

2) variation dimpdance

a) Rsistif

- Principe

Il est bas sur le changement de rsistance dune couche sensible
labsorption dhumidit. Trois types de matriaux conducteurs sont utiliss :

Cramique
Polymre
Sel


Principe

Exemple de ralisation
371


Constitution

La loi de variation est du type exponentiel dcroissant et dpend de la
temprature.

372

- Exemple industriel (Ohmic)




b) Capacitif

- Principe

Le principe de ce type de capteur est bas sur la variation de la capacit d'un
condensateur par l'intermdiaire de sa constante dilectrique. Le dilectrique,
d'une paisseur de quelques micromtres, adsorbe les molcules d'eau de l'air
ambiant jusqu' l'quilibre :

6 S 0 r
r
48.P . .S 211
=1 + .(P + .HR).10 C = =C(HR)
T T e



T =temprature en Kelvin

P =pression de la vapeur deau

Ps =pression de la vapeur sature

S=surface lectrodes

e =paisseur du dilectrique


HR e [20 , 90] %

R50% =55kO

c =2%

373



Coupe Constitution





Exemple de ralisation en MEMS

374


Exemple de courbe de rponse (pF)

- Exemples industriels

- Capteur nu (Hygrosens Instruments)



- Capteur intgr (Honeywell)


HR e [0 , 100] %

S=0,6pF/%RH

c =2%
HR e [0 , 100] %

S=30mV/%RH

c =3,5%
375

- MEMS (Sensirion)


3) conductivit thermique

a) Principe

galement connu en tant que capteur d'humidit absolue, il mesure l'humidit
en calculant la diffrence entre la conductivit thermique de l'air sec et celle
de la vapeur d'eau contenue.
Ces capteurs sont construits en utilisant deux thermistances coefficient de
temprature ngatif (CTN) dans un pont de Wheatstone.
Un des lments est hermtiquement encapsul dans de l'azote sec et l'autre
est expos l'environnement.


La diffrence de rsistance entre les deux thermistances est directement
proportionnelle l'humidit absolue.
HR e [0 , 100] %

Sortie srie 12bits

c =0,04%

Compens en temprature
376

b) Exemple industriel (Hygrosens Instrument)





4) condensation

a) Principe de la mesure

Les hygromtres condensation mesurent la temprature de rose ou du
givre d'un gaz.

Le principe de mesure dun hygromtre condensation repose sur le
refroidissement graduel dun corps jusqu' la formation d'un dpt de rose
(ou de gele) sa surface. On stabilise ensuite le refroidissement de faon
maintenir un tat d'quilibre entre la vapeur contenue dans l'air et le dpt de
rose (ou de gele). Une fois l'quilibre atteint, la temprature de ce dpt est
par dfinition la temprature de rose (ou de gele) de l'air.

b) Principe du capteur

Le gaz dont on dsire mesurer la teneur en eau (ou produits condensables)
circule dans la tte de mesure, au voisinage d'un miroir que l'on peut refroidir.

Lorsque l'abaissement de la temprature est suffisant pour faire apparatre un
condensant (rose ou givre) sur le miroir, les conditions de saturation sont
ralises, on stabilise alors le refroidissement pour maintenir un tat
d'quilibre entre la vapeur contenue dans le gaz humide et le dpt de rose
ou de givre. La temprature mesure est, selon la nature soit celle du point de
rose soit celle du point de givre.
HA e [0 , 130] g/m
3

S=0,15mV/g/m
3


c =20%
377


Le module thermolectrique est bas sur le principe d'effet Pelletier.
La source de lumire claire le miroir de faon que le dtecteur ne soit pas
illumin en l'absence de condensat. La rgulation provoque alors le
refroidissement du miroir jusqu' l'apparition de la condensation.

Lorsque apparat une couche de rose ou de givre la lumire diffuse atteint le
dtecteur qui, par l'intermdiaire de la rgulation, commande le rchauffage
du miroir. La temprature du miroir remontant, la rose disparat et donc la
lumire diffuse, entranant nouveau le refroidissement du miroir. Grce
une rgulation approprie, on peut rguler une paisseur fine de condensat et
arriver ainsi un tat d'quilibre entre le gaz et le condensat.
La sonde de temprature place derrire le miroir permet alors de connatre la
temprature de celui-ci.

c) Exemple industriel (Bakrona)


TRos e [-35 , 25] C


c =0,15C
378

5) oxyde mtallique

a) Principe

Ces hygromtres sont de la mme famille que les hygromtres variation
dimpdance mesurant lhumidit relative, mais ils ont t particulirement
tudis pour la mesure de la temprature de rose.

Par exemple, lhygromtre oxyde daluminium est un type particulier de
capteur capacitif. Le capteur est constitu dune plaque daluminium anodis
recouvert dune trs mince couche poreuse doxyde daluminium. Une trs
fine couche d'or, galement poreuse, est dpose sur cette surface. La base en
aluminium et la couche dor forment les deux lectrodes dun condensateur,
dont le dilectrique est la couche poreuse doxyde daluminium.

Constitution

Coupe
379

b) Exemple industriel (General Eastern)



6) Hygromtre lectrolytique

a) Principe

Le gaz analyser circule dans un tube contenant un enroulement de deux
lectrodes (en platine ou en rhodium) entre lesquelles se trouve une couche
danhydride phosphorique (P2O5).




TRos e [-90 , 20] C


c =2C
380

La vapeur deau contenue dans le gaz est absorbe par lanhydride
phosphorique qui se transforme en acide phosphorique.
Une tension continue applique entre les lectrodes provoque llectrolyse de
leau avec dgagement dhydrogne et doxygne, et rgnration de
lanhydride phosphorique.

La quantit dlectricit passant travers le filmdpend de la quantit deau
absorbe, suivant la loi de Faraday (96500 Coulombs dissocient 9 gdeau) :

I =K.Dm.HA

K =constante de Faraday =9,65.10
4
C/mol
D
m
=dbit massique

Habituellement, le rsultat est exprim en ppmvolume.

b) Exemple industriel (DKS)





HA e [0 , 2000] ppm-vol


S=100A/ppp-vol

c =2%
381

7) Psychromtre

a) Principe

Le psychromtre lectronique aspiration est un appareil qui peut tre utilis
pour des mesures ponctuelles ou en continu. Il a remplac le psychromtre
mcanique base de thermomtres mercure (Ernst Ferdinand August en
1825).

Principe de base

Une des deux sondes thermomtriques (T
F
) est maintenue humide au moyen
d'un tissu de coton (B) reli au rservoir d'eau situ sous le tube d'aspiration
(W), mesure le point de rose, c'est--dire le froid d l'vaporation. Lautre
sonde (TT) mesure la temprature normale de l'air du local.
Le refroidissement par vaporation du capteur humidifi (FF) est assur par le
ventilateur (M+V), command lectriquement, faisant circuler l'air la vitesse
prconise par le constructeur.


Coupe du capteur
382

La mesure de l'humidit relative est dtermine au moyen de la formule de
Sprung(1976), et se fait en deux tapes. Tout d'abord par :

e(TF) - ea =.(TT - TF) =A.P.(TT - TF)

e(T
F
) : pression de saturation de l'air T
F
(Pa)
e
a
=pression partielle de la vapeur d'eau dans l'air (Pa)
=coefficient psychromtrique (Pa.K
-1
)
P =pression atmosphrique l'air (Pa)
A =constante psychromtrique (C
-1
)
TT =temprature sche (C)
T
F
=temprature humide (C)


(Pa.K
-1
)
130 90 75 71 67
Vitesse ventilation
(m.s
-1
)
0,12 0,5 1 2 4

Ensuite, calcul de l'humidit relative par :

a F T F
T T
e e(T) - A.P.(T - T)
HR = =
e(T ) e(T )


e(T
T
) =pression de saturation de l'air la temprature T
T
(Pa)

La mise en uvre de cette relation exige la connaissance avec une
approximation suffisante des pressions de saturation de la vapeur en fonction
de la temprature.
Deux quations permettent de calculer la pression de saturation de l'air e(TF)
la temprature T
F
:

- Rgression polynomiale

e(T
F
) =610,868 +44,396.T
F
+1,43355.T
F
2
+0,0263212.T
F
3
(Pa)

- Exponentielle, formule de Teller (1976) avec P (Mbar) et Ta (C)

F
F
17,27.T
T +273,3
F
e(T) =6,102.e (Mbar)
383

Les calculs sont effectus par un microcontrleur pour les modles
portables.

La dure d'utilisation en continu de ce type de psychromtre est
essentiellement fonction de la capacit du rservoir, trs variable suivant les
modles. Il est donc ncessaire de vrifier rgulirement le niveau du
rservoir ainsi que le bon mouillage de la mche.

b) Exemples industriels

- Mcanique (PCE Inst)








HR e [0 , 100] %


c =2%
384

- lectronique (Ahlborn)


- Avec thermomtre (UEI)


HR e [10 , 100] %


c =1%
HR e [0 , 100] %

cHR =3%


T e [-20 , 50] C

cT =1%
385

8) Synthse


388

10) Applications


Mthode Domaines & Applications
Rsistif Air conditionn
Capacitif Mdical, mtorologie
conductivit thermique Four injection de vapeur
condensation Rfrence mtrologique / Laboratoire
oxyde mtallique Moisissure
Hygromtre lectrolytique Mesure de gaz
Psychromtre Station mto, muse, serre
389

XXIV) DTECTEURSDE FUME, DE FLAMME ET DINCENDIE

1) ionisation

a) Principe

La partie cl de ce type de capteur est une chambre d'ionisation contenant
moins d'un milligramme dlment radioactif amricium-241 (Am
241
), cet
lment tant une source naturelle de particules o (voir chapitre XIX-1)
La chambre d'ionisation ressemble un condensateur plan ou cylindrique.


V
out
=V
r
R.i

La tension cre un champ lectrique entre les plaques. L'espace entre les
plaques est rempli d'air aspir partir d'entres sur les cts des plaques.
En labsence de particules o, aucun courant ne peut passer de la plaque
positive celle mise la terre, parce que l'air est un isolant.

Les particules o mises l'lment radioactif ont une nergie d'environ 5 MeV,
soit suffisamment dnergie pour casser les molcules en ions chargs
positivement et ngativement. Les ions chargs et les lectrons sont attirs
par le champ lectrique dans les directions opposes : lectrons vers la plaque
positive et ions vers la plaque mise la terre. Il en rsulte un petit courant
lectrique i, indiquant La faible tension lectrique indique labsence de fume
dans la chambre d'ionisation.
390

Lorsque la fume est aspire dans la chambre d'ionisation et passe entre les
plaques, ses particules absorbent le rayonnement o, rduisant ainsi
l'ionisation de l'air et donc i.


On utilise des particules o et non | ou car elles sont bien moins pntrantes
dans le corps humain et plus facilement absorbes par le botier !!!

Le traitement du signal dlivr par la chambre dionisation peut se faire de
diffrentes faons :

- En utilisant deux chambres dionisation : l'intensit du courant entre la
chambre de mesure et la chambre de rfrence diminue et, partir d'un
certain seuil, le dtecteur dclenche l'alarme.


391

- En utilisant une seule chambre : lavantage est la rduction de lactivit
totale des sources ionisantes du dtecteur.
Cela ncessite une gomtrie de la chambre spcifique ainsi quune
tension de polarisation bien particulire afin de saffranchir des
variations lentes des conditions atmosphriques.
On peut galement mmoriser un tat moyen de la chambre pendant
quelques dizaines de minutes afin dlaborer un signal de rfrence.

Ce dtecteur est particulirement utile pour dtecter la fume compose de
trs petites particules (submicroniques) comme ceux qui sont gnrs par les
grands incendies.

b) Exemple industriel


2) Photolectrique diffusion

a) Principe

Ce dtecteur met profit l'effet Tyndall. Dans la chambre d'analyse, une DEL
et une photodiode sont places de telle faon que cette dernire ne reoive
jamais la lumire de la DEL en l'absence de fume. La pntration de fume
dans la chambre d'analyse entrane la rflexion de la lumire de la LED sur les
particules de fume, donc la sollicitation de la photodiode.


392

Ce dtecteur est trs efficace pour les fumes blanches. Il l'est un peu moins
pour les fumes noires, cause de leur faible rflectivit.

Ils sont particulirement adapts la dtection des feux couvants.

b) Exemple industriel (Notifier)




3) Photolectrique absorption

a) Principe

Un metteur envoie un faisceau infrarouge ou laser vers un rcepteur. En
prsence de fume, la lumire mise est diffuse dans toutes les directions
et le rcepteur reoit une quantit de lumire infrieure celle reue en
veille. Au-dessous dune valeur dtermine du rayonnement infrarouge,
l'alarme se dclenche.

On utilise surtout ce type de dtecteur pour les grands volumes, lorsque le sol
est encombr ou si l'installation d'un dtecteur ionique est rendue difficile par
l'environnement.

Le dtecteur envoie des impulsions lumineuses (infrarouges) qui sont
traites par la partie rceptrice. Le dtecteur mesure en permanence le
niveau du signal reu. Une baisse du signal reu est interprte comme une
prsence de fumes.

393


Il existe deux types de dtecteurs linaire de fume :

- par projection : metteur et rcepteur sont installs chaque
extrmit de la zone protger)

- par rflexion : metteur et rcepteur sont combins dans la mme
unit, l'infrarouge est reflt au rcepteur par un catadioptre.

b) Exemple industriel



394

4) Dtecteur de flamme

a) Flamme

Une flamme est caractrisable par son spectre de rayonnement lumineux :

Malheureusement, un grand nombre d'interfrences se rajoutent au
spectre mesur :

395

b) Principe de mesure
Un capteur optique dtecte le rayonnement lumineux de la flamme.

Ensemble des spectres
On trouve 4 types :
- UV seul






396

- Infra-rouge seul



- Multi IR

- UV +IR



397

c) Synthse

398

d) Exemples industriels

- IR (DEF)

- Multi IR (Simtronics)

- UV (Honeywell)




Capteur seul


399

- UV +IR (SensWARE)


5) Dtecteur thermo vlocimtrique

a) Principe
Le dtecteur thermo vlocimtrique utilise le principe de la mesure de la
temprature par lintermdiaire dun capteur trs faible inertie.

Il associe la fois leffet thermo vlocimtrique (mesure diffrentielle) pour
les pentes dlvation de temprature suprieures quelques C/min et
leffet thermostatique pour les pentes dlvation plus faibles.

Il mesure donc la vitesse d'lvation de la temprature, donnant
gnralement une information plus prcoce que les thermostatiques : si la
temprature varie fortement en peu de temps, l'alarme est donne.

Il donne en revanche beaucoup plus de fausses alarmes s'ils sont mal placs
comme llvation rapide de la temprature due l'ouverture d'un four
dans une cuisine industrielle ou la mise en route d'une chaudire.

Il peut tre ponctuel (augmentation de temprature aux environs du
dtecteur) ou linaire (augmentation de temprature sur une portion du
capteur).



400


b) Exemple industriel (Cooper Safety)



6) Critres de choix



d
=8C/min
dt



Surface surveille =35m
2
402

8) Applications




Mthode Domaines & Applications
ionisation Alarme incendie
Photolectrique diffusion Navire
Photolectrique absorption Btiment, usine, entrept
Dtecteur de flamme IR Zone ATEX
Dtecteur de flamme multi IR Raffinerie
Dtecteur de flamme UV Dtection de dcharge
Dtecteur de flamme UV +IR Station service
Dtecteur thermo vlocimtrique Scurit incendie tunnel routier

403

XXV) CAPTEURSDE VIDE

1) Le vide

a) Dfinition

Quand on parle de vide , il faudrait plutt parler datmosphre rarfie. En
effet, le vide absolu nexiste pas, mme au plus profond de lespace
intergalactique o lon rencontre encore entre 1 et 10 particules par m
3
.
Le vide correspond donc une diminution de la quantit de gaz dans un
volume donn. Cette donne est impossible mesurer directement, en
ralit, on la mesure indirectement par la pression.

On se rfrera donc au chapitre XV.

Le meilleur ultravide obtenu sur terre (10
-14
mbar, soit 10
-17
atmosphre ou
270 molcules/cm
3
) est encore trs suprieur au vide interstellaire (de lordre
de 10
-16
mbar, soit environ 10 molcules/cm
3
) et un vide intergalactique
(environ 10
-22
mbar ou 10
-25
atmosphre).
Les raisons de faire le vide sont multiples : il peut sagir de rduire leffet de
certains gaz actifs comme loxygne, de favoriser le dgazage, de rduire les
interactions dun chantillon avec son environnement et en microscopie
lectronique, de rduire les interactions avec le faisceau dlectrons.
Pour obtenir le vide, on utilise des pompes.

b) Units



404


Tableau des pressions du vide

405

c) Types de vide




d) Pompes






407

2) Jauge Pirani (1906)

a) Principe

Bas sur la mesure de la dissipation thermique dune rsistance selon la
pression.

Le filament est parcouru par un courant I qui provoque par effet Joule son
chauffement.
l'quilibre thermique la puissance Joule P
J
=R.I
2
compense les pertes par
rayonnement P
R
, par conduction au travers du support du filament P
S
et par
conduction avec le gaz de l'enceinte P
G
soit P
J
=P
R
+P
S
+P
G


Le capteur comprend deux rsistances :

- Une place dans le vide mesurer
- Une place dans un vide de rfrence.

Lensemble est insr dans un pont de Wheatstone.



408

Le principal inconvnient est que la conductivit thermique varie normment
dun gaz lautre. Un talonnage est donc ncessaire, la plupart des jauges
sont calibres pour l'air, on utilise un abaque pour les autres gaz.


Par contre, la sensibilit est maximale pour des pressions faibles.

b) Exemple industriel (Stanford Research Systems)


Gamme =| 10
-4
, 10
3
] Torr

S=10mV/Torr

=10%


409

3) Jauge capacitive

a) Principe

Elle est constitue dune membrane dformable donc mobile (voir chapitre
XV-2) qui sert darmature un condensateur plan. La variation de pression
provoque une dformation de la membrane et donc une variation de capacit.


Principe Relatif


Principe Absolu (diffrentiel)

b) Exemple industriel (Thyracount)


Gamme =| 10
-2
, 150] Torr

S=67mV/Torr

=0,25%


410

4) Jauge thermocouple

a) Principe

Un courant constant chauffe le filament. La conductivit thermique du gaz
dpendant directement de la pression, la temprature mesure par le
thermocouple est donc limage fidle de la pression.

Transfert thermique dans un gaz



Principe du capteur


411

Comme pour la jauge de Pirani, la nature du gaz modifie la rponse de la
jauge, on utilise donc un abaque.



b) Exemple industriel (MDC)



Gamme =| 10
-3
, 1] Torr

S=20mV/Torr

=15%


412

5) Jauge pizorsistive

a) Principe

Reprend le principe de la jauge capacitive, mais mesure la contrainte au
moyen de 4 jauges pizorsistives montes en pont de Wheatstone.



Pont


Intgration
b) Exemple industriel (Hasting Instruments)








6) Jauge ionisation Penning (cathode froide)

Gamme =| 10
-1
, 10
3
] Torr

S=5mV/Torr

=0,25%


413

6) Jauge ionisation Penning (cathode froide)

a) Gnralit

Pour la mesure des vides pousss et ultravides les capteurs prcdents ne
conviennent pas puisque la rduction de pression se traduit par une
disparition des changes thermiques via les molcules. La solution a t
dassocier un champ lectrique important une source contrle d'lectrons
dont la trajectoire favorisera l'ionisation par choc des molcules gazeuses
rencontres, les ions tant rcuprs sur une lectrode ad hoc.
La loi de variation est de la forme
0
P
I =A.Log
P



,
A =constante dpendante du dispositif, P
0
pression en dessous de laquelle
dcharge (ionisation).
Un tel dispositif permet de mesurer jusqu 10
-2
Pa.



Principe de base et photo

b) Principe

Appele aussi jauge Philips.

Pour tendre vers les basses pressions le phnomne de dcharge, la premire
possibilit est d'ajouter un champ magntique (Penning, 1937) lequel combin
au champ lectrique inter lectrodes va obliger les lectrons suivre des


414

trajectoires hlicodales ce qui augmente fortement leur probabilit de
rencontrer de molcules et donc le rendement d'ionisation.



Constitution

Les deux cathodes sont relies lectriquement et une diffrence de potentiel
de 1 500 2 000 V est cre entre elles et lanode tubulaire centrale. Cette
disposition des lectrodes provoque des oscillations des particules charges
lectriquement, ce qui augmente ainsi leur parcours.


Trajet des lectrons

La loi de variation est de la forme
n
I =k.P .
Sa sensibilit dpend du gaz.

Lanode peut tre sous la forme dune boucle, dun cylindre ou dun fil
rectiligne.

1 : llectron quitte la cathode C
2 : llectron fait des allers et retours
travers l'anode
3 : des lectrons entrent en collision
une molcule et la ionise
4 : lanode A rcupre lion

415


Exemple de ralisation

c) Exemple industriel (Inficon)





Gamme =| 10
-9
, 10
-2
] Torr

S=20A/Torr

=10%


416

7) Jauge ionisation BayardAlpert (cathode chaude)

a) Principe

L'tape suivante a consist augmenter l'mission d'lectrons par le biais
d'une cathode chauffe.
La jauge ionisation dveloppe par Bayard et Alpert (1953) permet de
mesurer des pressions aussi faibles que 5.10
-9
Pa.
Ce rsultat est obtenu en diminuant sensiblement la surface du collecteur
d'ions qui n'est plus qu'un simple filament entour par la grille rceptrice des
lectrons. Le filament chauff, metteur d'lectrons, est extrieur cette
structure (on parle de jauge inverse par comparaison avec la structure triode
de Buckley).


Principe

417

On retrouve :
un filament, chauff haute temprature (environ 800C), reli au
potentiel de la terre, qui constitue lmetteur dlectrons (Ie =N.e)

une grille cylindrique, porte une tension denviron 200 V, destine
acclrer les lectrons et les faire osciller pour allonger leur trajectoire
moyenne

un filament fin, plac au centre de la grille, et port un potentiel
ngatif dune vingtaine de volts, qui sert de collecteur dions.


Principe de la gnration dions

Les ions sont essentiellement produits lintrieur de la grille qui sert alors de
repousseur et pousse les ions vers le collecteur.

La grande diffrence avec la jauge de Penning est que les paramtres
fonctionnels sont ajustables et peuvent tre contrls en permanence, ce qui
fait de la jauge de Bayard et Alpert un capteur prcis et fidle.


418


Courbe de rponse

La loi de variation est de la forme I =k.I
e
.P, dans la zone utile.
Sa sensibilit dpend du gaz.


b) Exemple industriel (Stanford Research Systems)


Gamme =| 2.10
-10
, 10
-3
] Torr

S=1mA/mTorr

=3%


420

9) Applications


Mthode Domaines & Applications
Jauge de Pirani Circuits de scurit dans les systmes vide
Jauge de capacitive Milieu corrosif Industrie chimique
Jauge thermocouple Processus industriels - Cryognie
Jauge pizorsistive Processus industriels - Acclrateur de particules
Jauge ionisation Bayard
Alpert
Pompe vide - Strilisation
Jauge ionisation Penning Physique haute nergie Mtallisation sous vide

421

XXVI) CAPTEURSBIOLOGIQUES

1) Gnralits

Les biocapteurs sont des outils analytiques pour l'analyse dchantillons de
biomatriaux afin dobtenir une comprhension de leur bio-composition, de
leur structure et de leur fonction.
Leland C. Clark Jr. (19182005) est considr comme le pre des biosensors.

Le dispositif d'analyse est compos d'un lment de reconnaissance biologique
directement reli un transducteur de signal qui transforme la concentration
d'une substance ou dun constituant chimique (analyte) en un signal lectrique.


Principe dun biocapteur

422

Les contraintes sont svres :

adaptation la biomolcule de reconnaissance
adaptation au transducteur
adaptation au milieu tester
adaptation un procd industriel de fabrication.




Biomolcules et proprit de reconnaissance

2) Bio rcepteurs

a) Dfinition et rle

Son rle est dassurer la reconnaissance molculaire du bio-analyte.
Il doit prsenter, par rapport cette espce cible, une bonne affinit,
dterminant le premier niveau de sensibilit du capteur ainsi quune bonne
slectivit (lectronique) ou spcificit (biologie).

Le caractre rversible, recherch pour la ralisation de microcapteurs
chimiques, n'est gnralement pas accessible dans le cas des biocapteurs,
du fait des ractions mises en jeu.



423


b) Catalyse (Mtabolique)

Cest une molcule qui, en petite quantit, acclre la vitesse d'une
raction et qui revient sa forme initiale la fin de la raction. Les enzymes
sont des catalyseurs biologiques.



Catalyse enzymatique

Il existe cinq classes principales d'enzymes. Parmi les enzymes les plus
utilises, citons les oxydorductases et les hydrolases, qui catalysent
respectivement des ractions doxydorduction et dhydrolyse spcifiques.

Linconvnient des enzymes est quils ncessitent des tapes de purification
et dextraction assez coteuses. On utilise aussi des coenzymes ou mme
des cellules entires contenant des coenzymes qui permettent la dtection
de plus despces.
Utilis pour des concentrations de 10
-6
10
-3
mol.

424



Exemples


425

c) Affinit

L'affinit dcrit la force d'une interaction non covalente entre une
macromolcule biologique, acide nuclique ou protine, et un ligand qui se
fixe sa surface : c'est la somme des forces de liaison et de rpulsion.
Elle se mesure quantitativement par le biais de la constante d'quilibre
association-dissociation, appele parfois constante d'affinit. Cette affinit
repose sur la nature, la gomtrie et le nombre des interactions physiques
entre le ligand et sa cible (interactions lectrostatiques, liaisons
hydrognes, liaisons hydrophobes ou interactions de Van der Waals).

Ce type de biorcepteur utilise des immuno rcepteurs bass le principe
d'affinit, comme les ractions antignes-anticorps, mais la liaison est
normalement irrversible.

Alors que dans le cas dune activit catalytique, les sites rcepteurs sont
rgnrs au cours de la raction, ici un nombre lev despces cibles
sature progressivement le capteur. Le renouvellement de la surface du
rcepteur doit tre effectu priodiquement, par consquent, un
fonctionnement continu n'est pas possible.



Affinit antigne-anticorps

Un anticorps est une substance glycoprotique (protines associes des
complexes hydrocarbons ou sucres), synthtise par les cellules du
systme immunitaire en raction lintroduction dun antigne (corps
tranger), sur lequel il se fixe spcifiquement pour en neutraliser leffet
toxique.

426

Un antigne est une substance isole ou porte par un micro-organisme
(molcule, hormone, virus, bactrie), qui dclenche la production
danticorps avec lesquels il ragit spcifiquement.
Ainsi, lun peut jouer le rle de biorcepteur spcifique de lautre.

Ce type de rcepteur est plutt utilis pour des dtections one-shot ou
pour la dtection de trs faibles concentrations (10
-9
10
-6
mol).

Les acides nuclides (ARN et ADN) et la lectine (protine qui se lie avec les
glucides) sont aussi utiliss.


d) Matire vivante

La caractristique commune des biocapteurs vivants est qu'ils utilisent des
micro-organismes, des cellules et des tissus vivants comme organismes
rcepteurs, contrairement aux autres types de biocapteurs qui contiennent
uniquement des matriaux extraits des tres vivants.

Il est possible de fabriquer des combinaisons uniques d'enzymes ou des
rcepteurs de grande sensibilit physiologique, ce qui est impossible
reproduire en utilisant des enzymes isoles dans le biocapteur.

Un autre avantage est que ces matriaux peuvent s'acquitter de leurs
fonctions biologiques naturelles au sein de leurs milieux biologiques. Dans
ces circonstances, ces composs bioactifs peuvent avoir la meilleure activit
et dure de vie, et peuvent mme tre rgnrs ou resynthtiss par des
organismes vivants. Ainsi, une meilleure stabilit des capteurs peut tre
attendue. Si les organismes vivants prissent, de brusques changements
observables se produisent dans le comportement du capteur, au lieu d'une
lente drive due la dissolution du rcepteur comme dans les types
prcdents de biocapteurs.


e) Hybridation

C'est un systme de rcepteurs prsentant la fois une forte affinit,
comme les anticorps, et une phase d'amplification, comme les enzymes,
permettant de dtecter des concentrations dans la gamme 10
-15
10
-12
mol.

427

Cest le cas lorsque deux brins spars dune molcule dADN interagissent
pour reformer la double hlice de dpart, ou lorsquune molcule dARN
messager shybride avec la squence du gne dont il est transcrit.

On tente aujourdhui de raliser des capteurs protines, en utilisant des
biorcepteurs base danticorps dans le but danalyser la composition en
protines de cellules ou de protines dune cellule pour en tudier les
proprits.

La difficult dans lutilisation des protines (ractions anticorps-protine)
est lie au fait que leurs proprits dpendent beaucoup de leur structure
tridimensionnelle, et que cette structure est beaucoup plus complexe et
fragile que celle des acides nucliques.


f) Classification




428

3) Transducteurs

Les transducteurs reprennent des principes prsents dans les capteurs
chimiques. On se rfrera donc aux chapitres XX, XXI et XXII.





430




Comparaison




Combinaisons

431







Combinaisons


432



Exemples

433


Exemples

5) Exemples de capteurs

a) Capteur de taux de glucose

Constitution

Bas sur la catalyse enzymique. Le sang arrive la zone ractive par
capillarit. Son transducteur est souvent un ISFET.

Constitution

434


Assemblage

Exemple industriel (CiT)








Gamme =| 1, 60] mmol/l


=1mmol/l


435

b) Capteurs dADN

Constitution

Utilisent en gnral une biomembrane et le principe d'hybridation comme
vnement de reconnaissance. Tous les types de transducteurs peuvent
tre employs.
Sont souvent sous la forme de micro rseaux (DNA Chips).
Les nanoparticules sont de plus en plus utilises dans ces capteurs.

Principe de reconnaissance avec un transducteur lectrochimique



Principe du DNA Chip

436


Constitution et hybridation


Exemples



Structure dun DNA Chip

437



Deux exemples de ralisations

6) Domaines et applications

Domaine Exemple dapplications
Agroalimentaire Analyse des aliments, capteurs de got
Pharmaceutique Dveloppement de mdicaments
Chimie tude de biomolcules
Police scientifique Analyse dchantillons
Mdical Diagnostique
Environnement Qualit air, eau, Capteurs dodeurs
Industriel Contrle de processus de fabrication
Militaire Dtection darmes biologiques




438

















Cette page a t laisse intentionnellement blanche



439

BIBLIOGRAPHIE
Ouvrages gnraux

G. ASH & Co, "Les capteurs en instrumentation industrielle", Dunod, Paris, 2010
Livre de rfrence. Bibliographie.

J. FRADEN, "Handbook of Modern Sensors, Physics, Designs and Applications,
Woodburry, New York, 2010.
Livre de rfrence. Bibliographie.

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Livre de rfrence. Bibliographie.

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Livre de rfrence. Bibliographie.

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Physique des capteurs.

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Les capteurs au 21 sicle. Classification et type de capteurs. Rseau de
capteurs. Capteurs dans lindustrie.

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Capteurs dans le milieu industriel. Mems.

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Capteurs dans le milieu industriel. Mems.

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Capteurs rsonants. Capteurs base de semi-conducteur. Capteurs fibre
optique. Capteurs intelligents.

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Univ. Press, Oxford, 2001.
Capteurs dans le domaine de la mtorologie : pression, temprature,
hydromtrie, vitesse du vent, prcipitation, ensoleillement. Bibliographie.


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Capteurs dans le domaine de lenvironnement : radiation, temprature,
humidit, vent, vaporation, pression baromtrique.

J. HESSE, J.W. GARDNER, W. GOPEL, "Sensors in Intelligent Buildings", WILEY-
VCH, Weinheim, 2001.
Capteurs dans le domaine de limmotique et la domotique.

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Volume 4 : Chemical Sensors Applications", Momentum Press, New York, 2011.
Nez et langue lectronique. Contrle atmosphrique. Applications de la vie
courante. Applications dans lindustrie, lagriculture et les transports. Critres
de slection.

S.C. MUKHOPADHYAY, G.S. GUPTA, R.YM. HUANG, "Recent Advances in Sensing
Technology", Springer-Verlag, Berlin, 2009.
Derniers dveloppements sur l'ensemble des capteurs.

G. D. FRANCIA & Co, "Sensors and Microsystems", World Scientific Publishing,
Singapore, 2008.
Derniers dveloppements sur les biocapteurs, capteurs de gaz, chimique,
optique. Microsystme. Physique de capteurs.


Revues

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http://www.emeraldinsight.com/products/journals/journals.htm?id=sr

Sensors and Actuators A: Physical
Sensors and Actuators B: Chemical
Elsevier, Kidlington.
http://www.journals.elsevier.com/sensors-and-actuators-a-chemical

Mesures, Mesures Presse, Boulogne-Billancourt.
http://www.mesures.com

Contrles- Essais-Mesures, Editocom, Sevran.
http://www.controles-essais-mesures.fr




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2004.
Capteurs mcanique, thermique, magntique, radiation, lectrochimique.
Smart Sensor. Applications.

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Limited, Essex, 2005.
Capteurs optique et ultrasonore. Mesure de dbit. Mesure de transfert de
chaleur.

S.C. MUKHOPADHAYAY, R.Y.M. HUANG, "Sensors - Advancements in Modeling
Design Issues Fabrication and Practical Applications", Springer-Verlag, Berlin,
2008.
Capteurs magntique, optique, ultrasonore.

N.E. BATTIKHA, "The Condensed Handbook of Measurement and Control", ISA
The Instrumentation, Systems and Automation Society, Research Triangle Park
NC, 2007.
Analyser. Capteurs de dbit, niveau, pression, temprature. Maintenance &
calibration.


Thermique

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Livre de rfrence. Mthodes de mesure de la temprature.

G.C.M MEIJER, "Thermal Sensors", Taylor & Francis, Abingdon, 1994.
Principes fondamentaux de la physique thermique. Conception optimale des
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Technology", Springer, Dordrecht, 2006.
Capteur de temprature dans les circuits intgrs.

H. BUDZIER, G. GERLACH, "Thermal Infrared Sensors: Theory, Optimisation and
Practice", John Wiley & Sons, Hoboken, 2011.
Bases de radiomtrie et de photomtrie. Capteurs Infra rouge. Applications.

M. WOLLMER, K.P. MLLMANN, "Infrared Thermal Imaging: Fundamentals,
Research and Applications", WILEY-VCH, Weinheim, 2010.
Livre de rfrence. Bases de limagerie infrarouge. Capteurs et camras.
Applications dans les btiments et structures.

H. KAPLAN, "Practical Applications of Infrared Thermal Sensing and Imaging
Equipment", SPIE, Washington, 2007.
Bases de la mesure sans contact. Vue d'ensemble de l'instrumentation.
Applications en btiments et industries. Vision de nuit.


Magntisme

E. du TRMOLET de LACHEISSERIE, D. GIGNOUX, M. SCHLENKER,
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Livre de rfrence. Magntisme. Matriaux et capteurs magntiques.
Bibliographie.

BD. CULLITY ,D.C. GRAHAM, "Introduction to Magnetic Materials", John Wiley
& Sons, Hoboken, 2009.
Livre de rfrence. Diamagntisme et paramagntisme. Ferromagntisme et
anti ferromagntisme. Ferrimagntisme. Magntostriction. Magntisation.
Couches minces.

J.M.D. COEY, "Magnetism and Magnetic materials", Cambridge University
Press, Cambridge, 2009.
Livre de rfrence. Magntisme et matriaux magntiques : Approche
physique.

S. TUMANSKI, "Handbook of Magnetic Measurement", CRC Press, Boca Raton,
2011.
Livre de rfrence. Magntisme. Matriaux et capteurs magntiques. Mesure
de champs. Bibliographie.




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Livre de rfrence. Magntisme et supraconductivit. Approche physique.
Bibliographie.

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Livre de rfrence. Supraconductivit. Bibliographie.

R.S. POPOVIC, "Hall Effect Devices", IOP Publishing, London, 2004.
Capteur effet Hall : Approche physique.

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The SQUID handbook Vol I: Fundamentals and Technology of SQUIDs and
SQUID Systems,
The SQUID handbook Vol II: Applications of SQUIDS and SQUID System,
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SQUID. Livres de rfrence. Bibliographie.


Onde lectromagntisme

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Livre de rfrence. Bibliographie.

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York, 1997.
Livre de rfrence. Bibliographie.

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Ouvrage thorique de rfrence. Bibliographie.


Optique

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Sources et filtres optiques. Matriaux. Dtecteurs. Laser. Fibre optique. Circuit
intgr optique.

The Applications Engineering Staff of T.I., "Optoelectronics : Theory and
Practice ", McGraw Hill, New York, 1978.
Optique physique. Photomtrie. metteur et photodtecteur. Applications.


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Doppler laser.
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Applications Doppler laser en anmomtrie.

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Livre de rfrence. Rseaux de Braggs et fibre optique.


Optolectronique

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Livre de rfrence. tude physique des dtecteurs optolectroniques.

F. CERF, "Les Composants optolectroniques", Hermes, Paris, 2000.
Photomtrie. Sources. Dtecteurs. Acquisition et transmission optique.
Bibliographie.

J. WILSON, J. HAWKES, "Optoelectronics - An Introduction", Prentice Hall,
Londres, 1998.
Livre de rfrence. Lumire. Physique des semi-conducteurs. Laser. Photo
dtecteur.

G. GHIONE, "Semiconductor Devices for High-Speed Optoelectronics",
Cambridge University Press, Cambridge, 2009.
Semi-conducteurs. Proprits optiques des semi-conducteurs. Sources.
Dtecteur.

ER.W. ENGSTROM, "Photomultiplier Handbook", RCA, Somerville, 1980.
Livre de rfrence. Photomultiplicateurs.

T. HAKAMATA, "Photomultiplier Tubes : Basic & Applications", Hamamastu
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Principe et applications des photomultiplicateurs.


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Pizolectricit

G. GAUTSCHI, "Piezoelectric Sensorics", Springer-Verlag, Berlin, 2002.
Livre de rfrence. Bibliographie.

J. YANG, "An Introduction to the Theory of Piezoelectricity", Springer-Verlag,
Berlin, 2007.
Livre haut niveau sur la physique de la pizolectricit. tude en linaire et non
linaire. paisseur et vibration. Bibliographie.

J. YANG, "Analysis of Piezoelectric Devices", World Scientific Publishing,
Londres, 2006.
tude en 3 dimensions de la pizolectricit. paisseur et plans de coupe.
Capteurs de masse, fluide, acclration, pression, temprature. Bibliographie.

O.S. WOLFBEIS, "Piezoelectric Sensors", Springer-Verlag, Berlin, 2007.
Approche physique de la pizolectricit.

S.O.R. MOHEIMANI, A.J. FLEMING, "Piezoelectric Transducers for Vibration
Control and Damping", Springer-Verlag, Londres, 2006.
Approche thorique et physique de la pizolectricit. Modes vibratoires.
Charge dun quartz. Bibliographie.

J. TICHY, J. ERHART, E. KITTINGER, J. PRIVASTSKA, "Fundamentals of
Piezoelectric Sensorics", Springer-Verlag, Londres, 2010.
Principe de la pizolectricit. Proprits lastiques et thermiques. Matriaux.


Mcanique

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Vol 1, Mcanique, 1982.
Vol 6, Mcanique des fluides, 1989
Livres de rfrence. Bibliographie.

H.H. BAU, N.E. DEROOIJ, B. KLOECJ, " Mechanical Sensors", WILEY-VCH,
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Capteurs mcaniques. Types de capteurs. Grandeurs mesures. Bibliographie.

R.H. BISHOP, "The Mechatronics Handbook", CRC Press, Boca Raton, 2002.
Aperu de la mcatronique. Principe et modle physique. Capteur et
actionneurs. Chane de mesure et d'acquisition.


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Vitesse dun solide

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Livre de rfrence. tude thorique et physique.

V.C. CHEN, "Micro-Doppler Effect in Radar", Artech House, Boston, 2010.
Effet Doppler. Application aux radars.


Vitesse dun fluide

B.R. MUSON, D.F. YOUNG, T.H. OKIISHI, "Fundamentals of Fluid Mechanics",
John Wiley & Sons, Hoboken, 2002.
Livre de rfrence. Mcanique des fluides.

J.D. IRWIN, "Mechanical Engineers Handbook", Academic Press, San Diego,
2001.
Dynamique des fluides..


Dbit

R. W MILLER, "Flow Measurement Engineering Handbook", McGraw Hill, New
York, 1996.
Livre de rfrence. Proprits des fluides. Critre de choix.


Dformation

R.G BUDINAS, "Advanced Strength and Applied Stress Analysis", McGraw Hill,
New York, 1999.
Livre de rfrence. Contrainte. Dformation. lasticit. Rupture. Analyse.
lments finis.

R. HUSTON, A. JOSEPHS, "Practical Stress Analysis in Engineering Design", CRC
Press, Boca Raton, 2008.
Livre de rfrence. Loi de Hooke (lasticit). Contrainte dans les poutres,
structures minces, plaques, freins. Contraintes multidimensionnelles. Fatigue et
rupture.




447

M. MAYER, K. CHAWLA, "Mechanical Behavior of Materials", Cambridge Univ.
Press, Cambridge, 2009.
Matriaux : structures et proprits. lasticit. Plasticit. Fatigue & rupture.
Matriaux composites.

J.D. IRWIN, "Mechanical Engineers Handbook", Academic Press, San Diego,
2001.
Statique et dynamique. Contrainte dans les matriaux.


Force et couple

M. JAMMER, "Concepts of Force", Dover Publication Inc, Mineola, 1999.
Livre de rfrence. Concept scientifique. Concept en mcanique. Newton
approche. Statique. Dynamique. Gravitation.

B.D. MARGHITU, "Mechanical Engineers Handbook", Academic Press, San
Diego, 2011.
Livre de rfrence. Statique : force, moment et couple. Dynamique. Mcanique
des matriaux.

S.N. SHORE, "Forces in Physics", Greenwood Press, Westport, 2006.
Les forces dans lhistoire de la physique. De Newton la mcanique quantique.
Bibliographie.
K. KURKLAND, "Force and Motion", Facts On File, Inc., New York, 2007.
Gravit. Rotation. Travail. nergie. lasticit. Fluides et objets en mouvement.


Pression

ERBER, M. BONIS, J.P. RENAUDEAU, C. RIBREAU, "La mesure des pressions",
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Livre de rfrence. Dfinition des diffrentes pressions. Mthodes de mesure.

D. TANDESKE, "Pressure Sensors ", Marcel Decker, New York, 1997.
Pressions et domaines de la physique. Dfinition des diffrentes pressions.
Mthode et principes communs de transduction.







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Voix humaine et lectroacoustique
L.H. SEIKEL, D.W. KING, D.G. DRUMRIGHT, "Anatomy and Physiology for Speech
Language and Hearing", Delmar, Clifton Park, 2011.
Livre de rfrence. Anatomie et physiologie de la respiration. Anatomie et
physiologie de la phonation. La parole. Laudition. Neurophysiologie.


M. ROSSI, "lectroacoustique", Dunod, Paris, 1996.
Livre de rfrence. Sources de son. Propagation. Transducteurs et
microphones. Haut-parleurs. Approche physique.


Acclration et chocs

C.J. DIXON, "The Shock Absorber Handbook", John Wiley & Sons, Londres,
2005.
Historique et origines des chocs. Amortisseurs.

C.M. HARRIS, A.G. PIERSOL, " Harris' Shock And Vibration Handbook", McGraw
Hill, New York, 2002.
Chocs. Isolation et amortissement.

C.W. DE DASILVA, "Vibration and Shock Handbook", Taylor & Francis, Boca
Raton, 2005.
et
C.W. DE DASILVA, "Vibration - Monitoring Testing and Instrumentation ", CRC
Press, Boca Raton, 2007.
Chocs.


Vibration

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Livre de rfrence. Analyses temps et frquence. Vibrations alatoires.
Modlisation. Vibrations non linaires. Vibrations dues aux vent, fluide et son.

C.M. HARRIS, A.G. PIERSOL, "Harris' Shock and Vibration Handbook", McGraw
Hill, New York, 2002.
Livre de rfrence. Thorie et origines des vibrations. Analyses temps et
frquence. Vibrations alatoires. Modlisation. Vibrations non linaires.
lments finis.


449


C.W. DE DASILVA, "Vibration and Shock Handbook", Taylor & Francis, Boca
Raton, 2005.
Livre de rfrence. Analyses temps, frquence et modales. Vibrations
alatoires. Modlisation. Contrle et suppression. Acoustique. Applications.

C.W. DE DASILVA, "Vibration - Fundamentals and Practice", CRC Press, Boca
Raton, 1999.
Livre de rfrence. Historique. Temps et frquence domaines. Analyse et
modlisation. Amortissement. Analyse modale. Tests et mesures.
R.K. MOBLEY, "Vibration Fundamentals", Newnes, Boston, 1999.
Livre de rfrence. Analyse des vibrations. Temps et frquence domaines.
Analyse en temps rel.

C.W. DE DASILVA, "Vibration - Monitoring Testing and Instrumentation ", CRC
Press, Boca Raton, 2007.
Mesures de vibrations. Vibrations sismiques.

J.D. IRWIN, "Mechanical Engineers Handbook", Academic Press, San Diego,
2001.
Vibrations.


Radiation et rayonnement

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Historique. Particules. Isotopes. Effets biologiques et impact psychologique.
Industries et mdecine. Bibliographie.

J.E. TURNER, "Atoms Radiation and Radiation Protection", WILEY-VCH,
Weinheim, 2007.
Livre de rfrence. Structure atomique et radiation nuclaire. Interaction avec
des particules. Dosimtrie. Effets chimiques et biologiques. Protection.
Bibliographie.

A. NAEEM, "Physics and Engineering of Radiation Detection", Academic Press,
San Diego, 2007.
Sources de rayonnement. Interaction avec la matire. Dosimtrie.

M.F. LANNUNZIATA, "Handbook of Radioactivity Analysis", Academic Press,
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Radiation nuclaire. Interaction avec la matire. Bibliographie.


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Chimie

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Livre de rfrence. Capteurs chimiques. Bibliographie.

J. JANATA, "Principles of Chemical Sensors", Springer-Verlag, Boston, 2009.
Livre de rfrence. Capteurs chimiques. Bibliographie.
A.J. BARD, L.R. FAULKNER, "Electrochimical Method: Fundamentals and
Applications", John Wiley & Sons, Hoboken, 2001.
Livre de rfrence. Capteurs chimiques et mthodes de mesures. Bibliographie.

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F. BALDINI, A.N. CHESTER, J. HOMOLA, S. MARTELLUCCI, "Optical Chemical
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Principes de base de la dtection chimique optiques. Applications.

K. TOKO, "Biomimetic Sensor Technology", Cambridge Univ. Press, Cambridge,
2004.
Capteurs chimique et biologique. Membranes biomimtiques. Capteurs
d'odeur et de got.


Humidit
P.R. WIEDERHOLD, "Water Vapor Measurement - Methods and
Instrumentation", Marcel Dekker, New York, 1997.
Dfinitions et units. Moisissure. Bibliographie.



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Vide
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Livre de rfrence. Le vide. Cration. Mesure. Applications. Bibliographie.

K. JUSTEN, "Handbook of Vacuum Technology", Wiley-VCH, Verlag, 2008.
Lois et la thorie cintique des gaz. Vide et pseudo vide. Bibliographie.


Biologie et mdecine

F. G. BINACA, "Chemical Sensors and Biosensors: Fundamentals and
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Livre de rfrence. Capteurs enzymatiques. Capteurs daffinit. Bibliographie.

R.F. TAYLOR, J.S. SCHULTZ, "Handbook of Chemical and Biological Sensors", IOP
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Livre de rfrence. Capteurs biologiques. Bibliographie.

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Biosensors and Biochips", WILEY-VCH, Weinheim, 2007.
Livre de rfrence. Technologies des biocapteurs. Systme de reconnaissance
biologique et molculaire. Interface milieu biologique et matriau.
Applications. Bibliographie.

P.A. SERRA, "Biosensors for Health Environnement and Security", InTech,
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Matriaux et technologie pour les biocapteurs. Biocapteurs pour la sant.
Biocapteurs pour lenvironnement. Bioscurit.

F. SCHELLER, F. SHUBERT, "Biosensors", Elsevier, Amsterdam, 1995.
Principes physico-chimiques, biochimiques et technologiques des biocapteurs.
Capteurs du mtabolisme. Biocapteurs utilisant des ractions enzymatiques
couples. Les biocapteurs d'affinit. Applications. Bibliographie.

A. SADANA, N.SADANA, "Handbook of Biosensors and Biosensor Kinetics",
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Thorie et modles. Fabrication. Nano biocapteurs. Applications mdicale et
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Biochemical Sensors", WILEY-VCH, Weinheim, 1992.
Capteurs biochimiques.

A. MULCHANDANI, K.R. ROGERS, "Enzyme and Microbial Bio Sensors ", Humana
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Livre de rfrence. Capteurs enzymatiques et microbiens.

O.S. WOLFBEIS"Piezoelectric Sensors", Springer-Verlag, Berlin, 2007.
Application de la pizolectricit aux capteurs biologiques.

A. ARNAUD, "Piezoelectric Transducers and Applications", Springer-Verlag,
Londres, 2008.
Application de la pizolectricit aux capteurs biologiques. Applications
hyperthermie et imagerie mdicales.

F.S. LIGLER, C.R. TAITT, "Optical Biosensors: Today and Tomorrow", Elsevier,
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Livre de rfrence. Bio capteurs optiques actuels et futurs. Bibliographie.

E. GIZELI, C.R. LOWE, "Biomolecular Sensors", Taylor & Francis, New York, 2002.
Antigne et anticorps. Interaction protine-protine. Interaction ADN.
Bibliographie.

T.C. PEARCE, S.S. SCHIFFMAN, H.T. NAGLE, J.W. GARDNER, "Handbook of
Machine Olfaction: Electronic Nose Technology", WILEY-VCH, Weinheim, 2003.
Olfaction : anatomie, physiologie et perception. Capteurs chimiques humains.
Physique et cration dodeur. Bibliographie.

K. TOKO, "Biomimetic Sensor Technology", Cambridge Univ. Press, Cambridge,
2004.
Capteurs dodeur et de got.


Nanotechnologie

K. KALANTAR-ZADEH, B. FRY, "Nanotechnology-Enabled Sensors", Springer-
Verlag, Berlin, 2008.
Caractristiques et principes physiques. Nanotechniques et nanofabrication.
Inorganiques et organiques nano capteurs.



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F.J. ARREQUI, "Sensors Based on Nanostructured Materials", Springer-Verlag,
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G.KOROTCENKOV, "Chemical Sensors - Fundamentals of Sensing Material -
Volume I : Nanostructured Materials", MomentumPress, New York, 2011.
Utilisation des nanomatriaux et nanostructures dans les capteurs chimiques.

H. JU, X. ZHANG, J. WANG, "NanoBiosensing: Principles Development and
Application", Springer, New York, 2011.
Livre de rfrence. Techniques et technologies de nano biocapteurs.
Bibliographie.



454


















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455

Ouvrages spcifiques : grandeurs mesures

Multi grandeurs

A. S. MORRIS, R. LANGARI, "Measurement and Instrumentation: Theory and
Applications", Academic Press, San Diego, 2012.
Capteurs de temprature, pression, dbit, niveau, force, couple, dplacement,
vitesse, vibration, choc, Technologie des capteurs.

W.C. DUNN, "Introduction to Instrumentation Sensors and Process Control",
Artech House, Boston, 2006.
Capteurs de pression, niveau, dbit, temprature, chaleur, position, force,
lumire, humidit. Smart sensors.

H. N. NORTON, "Handbook of tranducers", Prentice Hall, Englewood Cliffs,
1989.
Capteurs de temprature, dplacement, vitesse, acclration, gyroscopique,
jauge, force, couple, humidit, niveau, pression, son, viscosit, radiation,
optique.

N. ICHONOSE, T. KOBAYASHI, "Guide pratique des capteurs", Masson, Paris,
1997.
Capteurs de temprature et de grandeurs mcaniques, magntique, optique,
chimique, biologique.

J.S. WILSON, "Sensor Technology Handbook", Elsevier, Oxford, 2005.
Couvre la plupart des capteurs. Approche technologique.

R. PALLAS-ARENY, J.G. WEBSTER, "Piezoelectric Sensorics", Springer-Verlag,
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Capteurs force, couple, contrainte, pression, acoustique, acclration.
Amplificateurs.

S. BEEBY, G. HANSELL, M. KRAFT, N. WHITE, "Mems Mechanical Sensors",
Artech House, Boston, 2004.
Introduction aux mems. Matriaux et technique de fabrication. Capteurs de
force, couple, pression et dbit.

A. WIEGAND, "Pressure and Temperature Measurement", WIKA Instrument
Corporation, Lawrenceville, 1998.
Capteurs de pression et de temprature. Applications industrielles.



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Composants

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2001.
Capteurs rsistif, inductif et capacitif. Capteurs semi-conducteurs.

R. PALLAS-ARENY, J.G. WEBSTER, "Sensor and Signal Conditioning", John Wiley
& Sons, New York, 2001.
Capteurs rsistif, capacitif, inductif, pizolectrique, thermolectrique,
pyrolectrique, photolectrique.

B. NAGARAJ,S. RENUKA, B. RAMPRIYA, "Transducer Engineering", Anuradha
Publcation, Kumbakonam, 2009.
Capteurs rsistif, inductif, capacitif , magntique et pizolectrique. Smart
sensors. Exercices.

W. BRACKE, R. PUERS,C. VAN HOOF, "Ultra Low Power Capacitive Sensor
Interfaces", Springer-Verlag, Berlin, 2007.
Interfaces pour capteurs capacitifs.

L.K. BAXTER, "Capacitive Sensors: Design and Applications", Wiley-IEEE Press,
New York, 2006.
Capteurs capacitifs.

S.M. SZE, "Semiconductor Sensors", John Wiley & Sons, Hoboken, 1994.
Technologie des capteurs semi-conducteur. Intgration silicium.


MEMS

O. BRAND, G.K. FEDDER, "CMOS-MEMS", WILEY-VCH, Weinheim, 2005.
Livre de rfrence sur lintgration de capteurs en circuit intgr CMOS.
Capteurs dinertie, pression, acoustique, chimique et biochimique.
Bibliographie.

S. BEEBY, G. ENSELL, M. KRAFT, N. WHITE, "MEMS Mechanical Sensors", Artech
House, Boston, 2004.
Matriaux et techniques de fabrication. Simulation. Capteurs de pression,
force, couple, dbit, inertiel.




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G. A. URBAN, "BioMems ", Springer, Dordrecht, 2006.
Livre de rfrence. Bio Mems multi paramtres pour le suivi clinique. Implants
neuronaux. Micro rseaux protins. Bio nano capteurs.


Temprature

L. MICHALSKI, K. ECKERSDORF, J. KUCHARSKI, J. McGHEE, "Temperature
Measurement", John Wiley & Sons, Hoboken, 2001.
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J evous remerciedtrearrivjusqu cettedernirepage,
vous avez fait preuvedecuriositet demotivation
C.H.


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