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IUT Mesures Physiques

CAPTEURS
2me anne

Thomas BEGOU Marcel PASQUINELLI

Anne 2011/2012

Plan du cours (1)

1re Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

1.1. Le Capteur (Sensor)


1.2. Aspect conomique
1.3. Importance du capteur dans la chane de mesures

2.1. Lentre du capteur : Le mesurande


2.2. Le corps dpreuve
2.3. Le conditionneur / transmetteur
2.4. La sortie du capteur
2.5. Les perturbations

3.1. Le microphone condensateur

Prsentation Gnrale

Elments constitutifs
dun capteur

Exemple dapplication
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Plan du cours (2)


2me Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

1. Rponse statique (caractristique entre sortie)


2. Etendue de Mesure : E.M. (Entre)
3. Spcification de la sortie
4. Linarit et erreur de linarit
5. Sensibilit
6. Hysteresis
7. Rsolution
8. Caractristique de transfert
9. Prcision qualitative (fidlit et justesse) et prcision mtrologique
10. Rponses dynamiques
11. Rponse temportelle (ordre du capteur)
12. Rapidit (temps de rponse)
13. Ecart
14. Rponse Frquentielle ou rponse en rgime sinusodal
15. Capteur 1er ordre : Relation bande passante / temps de monte
16. Indice de protection IP
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Plan du cours (3)

3me Partie : LES CONDITIONNEURS

1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils


1.2. Montage potentiomtrique simple
1.3. Montage potentiomtrique push-pull
1.4. Montage en pont dimpdance
1.5. Montage potentiomtrique avec
amplification du signal

2.1. Capteurs source de tension


2.2. Capteurs source de courant
2.3. Capteurs source de charge

Conditionneurs pour capteurs passifs

Conditionneurs de signaux pour


capteurs actifs et/ou sortie de
conditionneurs passifs

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1.1. Le Capteur (Sensor)

Dfinition : Dispositif de mtrologie charg de traduire les variations d'un procd


physico-chimique en une grandeur exploitable

Procds physicochimique, mcanique,


lectrique, ...

Pression, temprature,
dbit, vitesse,
acclration,
flux lumineux,
dplacement, ..

1re

CAPTEUR

Grandeur quantitative
exploitable

- Indication analogique,
numrique
- Signal lectrique

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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1.2. Aspect Economique (1)

Secteur

ENERGIE

25

SECURITE

25

GRAND PUBLIC

25

MEDICAL

25

BATIMENT

40

TRANSPORT

48

TEST/LABORATOIRES

125

INDUSTRIEL

350

AUTOMOBILE

375

DEFENSE/AERONAUTIQUE

470

Ventes 2007 de capteurs en France par secteur (M) source Cabinet Dcision

1re

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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1.2. Aspect Economique (2)

Type de mesure

DISTANCE

75

GAZ

77

NIVEAU

77

FORCE

110

FLUX

110

ELECTROMAGNETIQUE

130

INERTIE

145

TEMPERATURE

150

POSITION

151

PRESSION

170

Ventes 2007 de capteurs en France par type de mesures (M) source Cabinet Dcision

1re

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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1.3. Importance du capteur dans la chane de mesures (1)

Le Capteur (l'lment qui se trouve en amont d'une chane de mesures)

COMPOSANT ESSENTIEL

Qualit de la mesures
(Mesure simple, contrle, ...)

Voir : Exemple 1

1re

Bon fonctionnement des systmes o


le capteur est intgr
(rgulation, contrle in-situ de procds)
Voir : Exemple 2

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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1.3. Importance du capteur dans la chane de mesures (2)


Exemple 1 : Mesure simple

Source d'nergie

CAPTEUR

1re

Conditionnement du
signal

Exploitation
(Affichage, lecture, ...)

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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1.3. Importance du capteur dans la chane de mesures (3)


Exemple 2 : Dtection niveau et rgulation

Valve automatique

Niveau MAX

Capteur 1

Rgulateur

Niveau min
Capteur 2

Les mesures raliss par les capteurs 1 et 2 permettent par le biais du rgulateur de rgler
le niveau deau dans le rcipient.

1re

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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2.1. Lentre du capteur : Le mesurande


Dfinition : Le mesurande est la grandeur physico-chimique mesurer, on le notera , x,
X ou E pour se rfrer l'entre du capteur.
Exemple : Pression, temprature, position, dplacement, acclration, tension, pH, ...
On peut distinguer plusieurs type de mesurandes :
X

t
Mesurande constant

Mesurande volution
temporelle non rptitive

X
t

1re

Mesurande volution
temporelle rptitive
(priodique)

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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2.2. Le corps dpreuve


Dfinition : Le corps d'preuve est l'lment d'entre du capteur qui rpond aux
sollicitations du processus physico-chimique.
Soumis au mesurande tudi, il assure la traduction en une autre grandeur qui peut tre
de nature non lectrique, dans ce cas ce mesurande secondaire est ensuite traduit en
grandeur lectrique.
Exemple : Capteur de force rsistif
Application
dune
FORCE

Dformation

Rsistance

Le mesurande primaire est la force applique, F, le corps dpreuve est constitu par un
conducteur mtallique qui va se dformer dune quantit L sous l'action de F, cette
dformation est alors traduite en variation de rsistance R.
Lide : Chercher les relations ...
... liant la valeur de la rsistance R la valeur de la force applique F
... liant la valeur de la variation de la rsistance R de la jauge
la variation de la force applique F

1re

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

R f (F )
R g(F )
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2.3. Le conditionneur / transmetteur


Dfinition : Le conditionneur est l'lment de sortie du capteur qui transforme les
variations du mesurande primaire ou secondaire en variations lectriques exploitables
(tension, courant, .).

Exemple : Capteur de force rsistif avec son conditionneur


Conditionneur
Application
dune FORCE

Dformation

Rsistance

Tension

Nota : Du point de vue de l'utilisation, on regroupe souvent les fonctions capteurconditionneur sous un mme terme de capteur ou transducteur.

Application
dune FORCE

1re

Capteur (ou
transducteur)

TENSION

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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2.4. La sortie du capteur (1)


Dfinition : La sortie du capteur est not Y, y ou S. La principale fonction du capteur est
de quantifier le mesurande, cette traduction est gnralement ralise par l'existence d'une
relation mathmatique liant la sortie et lentre du capteur.

Mesurande
X

On cherche un
lien entre:

Avec :

Capteur (ou
transducteur)

Que lon peut


mettre sous la
forme de

Sortie
Y

X X 0 X

Y Y0 Y

Y f ( X ) , Y g(X ) , X0 et Y0 valeur de X et Y lquilibre

Nota 1 : Si la rponse est linaire alors y = k.x et y = h.x ou f(X) = g(X)

1re

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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2.4. La sortie du capteur (2)


On peut distinguer plusieurs type de sorties :

Sortie
Analogique

Sortie Tout Ou
Rien (TOR)

17mA

5V

Sortie
Numrique

00010111

Seuil
0V

1re

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2.4. La sortie du capteur (3)

Nota 1 : Dans de nombreuses applications, le capteur donne une rponse nulle S = S0 =0


pour une valeur particulire m = m0 du mesurande (quilibre) et prsente une sortie non
nulle pour les variations du mesurande par rapport cette valeur d'quilibre :
Y = f(x)
Exemple : Capteur de pression relative : S = 0 pour P = Patmosphrique

Nota 2 : On recherchera le plus souvent une relation linaire de la forme S = k.m


(Y = k.X) ou S = k.m.

1re

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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2.4. La sortie du capteur (4)

Nota 3 : Les grandeurs influentes sont toujours prises en compte dans le processus de
mesure :
Le mesurande est bruit
Les caractristiques mtrologiques du capteur sont modifies
La sortie est alors fonction du mesurande et de ces grandeurs perturbatrices (bruit).
S = f(m) + g(bruit, mtrologie)
Il est donc ncessaire :
de prciser les conditions de mesures
de vrifier priodiquement les caractristiques mtrologiques du capteur en
ralisant des calibrations rgulires ou des talonnages certifis

1re

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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2.5. Les perturbations (1)


Dfinition : Les perturbations sont des grandeurs qui peuvent :
se superposer au mesurande (grandeurs interfrentes ou bruit)
modifier les caractristiques mtrologiques du capteur (grandeurs modifiantes)

Ces deux processus peuvent s'additionner.

Mesurande
X

Grandeurs
interfrentes
(Bruit)

1re

Capteur

Sortie
Y

Grandeurs
modifiantes
(Pressions,
tempratures,
rayonnement, ...)

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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2.5. Les perturbations (2)


Exemple : Capteur rsistif : Jauge de contrainte ou capteur de force

Principe : L'application d'une force F se traduit par une variation de rsistance Rc de la


jauge, cette variation de rsistance est traduite en variation de tension Uc par l'intermdiaire
du conditionneur.

Application
dune FORCE

Capteur (ou
transducteur)

TENSION
Uc

Hypothse : Rc f F

1re

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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2.5. Les perturbations (3)


Exemple : Capteur rsistif : Jauge de contrainte ou capteur de force
R0
U0

Relation entre Uc et U0 :

Rc
Uc

Uc

On veut

1
Uc U0
2

Rc
U0
(Rc R0 )

pour F=0 (pas de sollicitations) :

Rc
1

Rc R0
(Rc R0 ) 2
Hypothse (lorsquune force F est applique) :

1re

Rc R0 Rc

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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2.5. Les perturbations (4)


Exemple : Capteur rsistif : Jauge de contrainte ou capteur de force
R0
U0

Drive de Uc par rapport Rc :

dUc (Rc R0 ) Rc
R0

U0
0
2
2
dRc
(Rc R0 )
Rc R0

Rc
Uc

Que lon peut crire :


F

dUc
R0

U0
2
dRc 2R0 Rc

Si lon prend R0 telle que R0 >> RcMAX, alors on peut simplifier lquation de la drive,

dUc
R0
1

U0
0
dRc 4R02
4R0
qui peut tre crit sous la forme :

1re

Uc

U0
Rc
4R0

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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2.5. Les perturbations (5)


Exemple : Capteur rsistif : Jauge de contrainte ou capteur de force

R0

Grandeurs
modifiantes

U0

Rc
Uc

La stabilit de
l'alimentation de tension U0
ainsi que leffet de la
temprature sur R0
interviennent ici comme
grandeurs modifiantes,

La temprature
conditionne la valeur de
Rc, elle agit ici comme
grandeur interfrente

U0 = g(T) et R0 = h(T)

Uc

1re

Grandeurs
Interfrentes
(bruit)

U0
Rc
4R0

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

Rc = f(T)

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3.1. Le microphone condensateur (1)


Le microphone condensateur ou sonomtre est principalement ddi
linstrumentaion.
Il dtecte une pression acoustique p(t) qui se superpose la pression atmosphrique
P0. Le sonomtre traduit ensuite cette pression p(t) en une tension lectrique v(t).

P0 + p(t)

1re

v(t)

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3.1. Le microphone condensateur (2)


1. Le capteur : un transducteur pression / capacit
Principe : Le capteur est constitu de deux armatures mtalliques de surface S, spares
par une distance e et avec l'armature avant mobile.
Une variation de pression p se traduit par l'application d'une force F sur l'armature
mtallique mobile du capteur modifiant la distance inter armature e. Cette variation sur e
entrane une modification de la capacit C inter-lectrode.
Surfaces S

C
P0 + p(t)

Variation de la
position de
larmature mobile

1re

S
e

P0

v(t)

Tension mesure
en sortie

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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3.1. Le microphone condensateur (3)


2. Le mesurande
Le mesurande correspond la surpression p(t) gnre par la source sonore.

Po + p(t)
P0

1re

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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3.1. Le microphone condensateur (4)


3. Le corps dpreuve

Le corps dpreuve du microphone est une membrane ou diaphragme mtallique trs


lger et mobile d'paisseur voisine de 10 m.

Membrane
( 10m)

1re

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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3.1. Le microphone condensateur (5)


4. Le conditionneur

Le conditionnement du signal a pour objectif l'exploitation quantitative du mesurande, il


est ralis ici par :
une source de polarisation externe qui dlivre une tension continue au condensateur
un pramplificateur qui permet damliorer le signal de sortie v(t)

Polarisation U0
p(t)

1re

Cartouche
microphone

Pramplificateur

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

v(t)

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3.1. Le microphone condensateur (6)


5. Expression de la sortie et de la sensibilit du microphone

Grandeurs interfrentes : La principale grandeur interfrente est la pression


atmosphrique ( et ses variations). Pour s'affranchir des variations de ce paramtre, un
orifice interne la cartouche microphonique permet de maintenir l'galit des pressions
statiques.

P0
P0 + p(t)

Grandeurs modifiantes : Ce sont la tension de polarisation continue U0 et le gain de


l'amplificateur.

1re

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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3.1. Le microphone condensateur (7)


5. Expression de la sortie et de la sensibilit du microphone

Le constructeur spcifie, aprs talonnage, la sensibilit absolue du microphone qui est


donne par le rapport de la tension de sortie ramen la pression acoustique.
Exemple : Microphone B&K type 4145 : N srie : 2121932
Sea = Sensibilit absolue : 46,2 mV/Pa
Ser = Sensibilit relative : -26,7 dB (Re 1V/Pa)

1re

Partie : DEFINITIONS ET CARACTERISTIQUES GENERALES

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Introduction

Le choix d'un capteur dpend de ses spcifications mtrologiques, ses applications sont
elles mmes conditionnes par le comportement ou la rponse du capteur une entre
(mesurande) donne.
On distingue usuellement les rponses statiques et dynamiques du capteur :
Dans le premier cas l'entre ne varie pas ou varie par paliers et la grandeur de
sortie est releve lorsque tout effet transitoire a disparu.

La rponse dynamique traduit le comportement transitoire temporel du capteur,


elle renseigne galement sur son comportement frquentiel.

2me

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

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1. Rponse Statique : Y = f(X) (ou S = f(E))


La rponse statique est gnralement obtenue aprs un talonnage statique qui consiste
relever les valeurs de la sortie lorsque l'entre considre varie par paliers. Les autres
paramtres (entres interfrentes ou modifiantes) sont maintenus constants.
Elle est reprsente par le trac : Y = f(X)

On peut distinguer
trois comportements :

Sortie
Analogique

Sortie Tout Ou
Rien (TOR)

5V

17mA

Sortie
Numrique

00010111

Seuil
0V

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2. Etendue ou plage de Mesure : E.M. (Entre)

Les valeurs limites du mesurande qui sont acceptables en entre du capteur constituent
l'tendue de mesure.
Cette spcification peut aussi s'appeler calibre
.
On l'exprime souvent par l'cart E.M.:

E.M Xmax Xmin


Xmax et Xmin sont exprims dans l'unit de l'entre X.
Si Xmin = 0, on indique souvent l'tendue de mesure par Xmax
Exemples : E.M. : (-100C +200C); ( 0 100 bar); (100N)

2me

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3. Spcification de la sortie (1)


La nature du signal de sortie dpend du type de capteur utilis, cependant on peut
regrouper les familles suivantes:
Capteur Passif
Le signal de sortie est quivalent une impdance. Une variation du phnomne
physique tudi (mesur) engendre une variation de l'impdance. Ce type de capteur doit
tre aliment par une tension lectrique pour obtenir un signal de sortie.
Exemple : thermistance, photorsistance, potentiomtre, jauge dextensomtrie appele
aussi jauge de contrainte

jauge de contrainte

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Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

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3. Spcification de la sortie (2)

Capteur Actif
Signal de sortie quivalent une source de tension continue
Exemple : Sortie 0-1V, + 5V, 0-200mV
Signal de sortie quivalent une source de courant continu
Exemple : sortie 4-20mA

Autres signaux de sortie


Exemple : Tension alternative sinusodale, sortie impulsionnelle,
sortie
numrique, sortie TOR,
Calibre ou Pleine Echelle (Full Scale Output) : Valeur maximale de la sortie
Exemple de capteur actif : thermocouples, capteur CCD, microphone, ...

2me

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4. Linarit et erreur de linarit (1)

Capteur (ou
transducteur)

Mesurande
X

Dune manire gnrale, on a : X

et

Sortie
Y

X X 0 X

Y Y0 Y

avec Y f ( X ) et Y g(X )

Dfinition : Si la rponse du capteur est linaire alors on aura f(X) = g(X)


Le capteur est dit linaire si, avec : X1
On a :

2me

X X1 X 2

X aX1

Y1

et

X2

Y2

Y Y1 Y2
Y aY1

avec a = cste

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

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4. Linarit et erreur de linarit (2)


Exemple : Capteur linaire et non linaire

Y
1

Si la caractristique Y = f(X) est


trac dans une chelle linaire,
alors on a :

Capteur 1 : linaire
Capteur 2 : non linaire

Nota : La relation entre sortie dun capteur linaire est donc de la forme :

Y kX

avec k = cste

On appelle souvent capteur linaire un capteur de caractristique Y kX Y0


Cette dnomination est un abus de langage (voir dmonstration).

2me

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5. Sensibilit

Dfinition : La sensibilit (k, G ou S) du capteur est donne par le quotient de


l'accroissement de la grandeur de sortie Y par l'accroissement correspondant du
mesurande X.

Y
x 0 X

G k S lim

X X0

dY
dX

(en X = X0)

Nota : La sensibilit d'un capteur linaire est constante sur son tendue de mesure.

Exemple : Sensibilit dun microphone : S = 46,2 mV/Pa


Sensibilit dun thermocouple : S = qqes dizaines de V/C (selon leurs types)

2me

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6. Hystrsis

Dfinition : Un capteur prsente une hystrsis lorsque la valeur de la sortie dpend de la


manire dont celle-ci a t atteinte (mesurande croissant ou dcroissant)

Y
2 : Mesurande dcroissant
Y02
1 : Mesurande croissant
Y01

X
X0

Exemple : mesure de temprature par un capteur comportant une protection en


plastique comme les thermistances ou la Pt 100 surmoule. Des rsultats diffrents sont
obtenus pour une tude par temprature croissante ou par temprature dcroissante.

2me

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

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7. Rsolution

Dfinition : La rsolution correspond l'accroissement minimum de la grandeur d'entre


provoquant une modification de la grandeur de sortie.

Y
Y = f(X) idal

Y = f(X) rel
Y 0
X
Rsolution = Xmin

2me

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

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8. Caractristique de transfert
Dfinition : La caractrisitique de transfert dtermine la relation entre la lentre et la
sortie du capteur. Dans la plupart des applications, quand cela est possible, la sortie du
capteur suit une loi du type :
Y = k.X + Y0
Ou k est la sensibilit du capteur et Y0 le dcalage du zro. (Y = Y0 pour X = 0)

Y = k.X + Y0

Y
X

Y0
X
X

0
0

2me

Etendue de mesure

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

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9. Classe de prcision (fidlit et justesse) (1)


Pour dfinir cette notion nous allons considrer le cas ou l'on effectue des mesures en
conditions de rptabilit qui sont les suivantes :
mme mesurande,
mme oprateur,
mmes conditions exprimentales.

La valeur vraie du mesurande est Xv, les valeurs mesures sont notes Xi et la valeur
moyenne des mesures Xi est note Xm

Capteur non
fidle
fidle
et juste

X m Xv

2me

Capteur fidle
non fidle
et non juste

Xm

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

X
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9. Classe de prcision (fidlit et justesse) (2)

Les constructeurs indiquent souvent la classe de prcision qui permet


d'estimer lincertitude de mesure.
Exemple : Capteur de force :
Etendue de Mesure (Full Scale)
Prcision (Measurement uncertainty)

100 N
1 % E.M

Incertitude-type sur la valeur affiche : Elle obit ici une loi uniforme (voir cours de
mtrologie 1re anne)

u (F )

a
3

avec a = 100 * 1% = 1 N, on obtient u(F) = 0,58 N

2me

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

Anne 2011/2012
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10. Rponses dynamiques

Capteur (ou
transducteur)

Mesurande
x(t)

Sortie
y(t)

On classe dans cette catgorie les rponses temporelles Y(t) et frquentielles Y(f) du
capteur.
La rponse temporelle dcoule de la rsolution de l'quation diffrentielle liant Y(t) X(t)
exprime de la faon suivante :

an

d n y (t )
dt n

an 1

d n 1y (t )
dt n 1

............. a1

dy (t )
a0 y (t ) x(t )
dt

n reprsente l'ordre du systme (capteur)

2me

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

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11. Rponses temporelles (ordre du capteur)


an

d n y (t )
dt n

an 1

d n 1y (t )
dt n 1

............. a1

dy (t )
a0 y (t ) x(t )
dt

La rponse temporelle caractrise par l'ordre du systme dtermine les paramtres


mtrologiques du capteur.
Exemple : capteur ordre 0

a0 y (t ) x(t )

y (t ) a1 x (t )

y (t ) k.x(t )

Exemple : capteur ordre 1

a1

dy (t )
a0 y (t ) x(t )
dt

dy (t )
y (t ) k.x(t )
dt

On appelle , la constante de temps du capteur et on reconnat la sensibilit k

2me

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

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12. Rapidit (temps de rponse) (1)


Le temps de rponse est dfini par la rponse du capteur une variation dite en chelon
de lentre. Cette caractristique est lie la constante de temps .
Exemple : Capteur du premier ordre
On peut schmatiser le comportement d'un capteur du premier ordre par le circuit lectrique
suivant :
R i(t)

i(t)
x(t)

On a :

R
C

y(t)

avec :

do :

2me

x(t ) Ri t y (t )

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

i (t ) C

x(t ) RC

dy t
dt

dy t
y (t )
dt

Anne 2011/2012
45/113

12. Rapidit (temps de rponse) (2)


Exemple : Capteur du premier ordre

0 t 0
Pour dterminer le temps de rponse, x(t) doit tre un chelon : x(t )
X0 t 0
y(t)
x(t)

On a :

x(t ) RC

X0

Pour t 0, on a alors :

0,63 X0

X 0 RC

t = , y(t) = X0(1-e-1) = 0,63 X0

0
0

tr = 2,2 ,
La faible valeur de tr caractrise un capteur rapide

dy t
y (t )
dt

qui a pour solution :


t

y t X 0 1 e

Dfinition : On appelle temps de rponse ou


temps de monte du capteur la grandeur

2me

dy t
y (t )
dt

avec = RC

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

Anne 2011/2012
46/113

13. Ecart %
Dfinition : Lcart reprsente la valeur mesure aprs un temps t compare la valeur
correspondant t =t.
On dfinit ce paramtre par la relation suivante :

y ( ) y (t )
.100
y ( )

Il faut prciser la valeur de t choisie pour calculer ce paramtre

Exemple : Capteur du premier ordre


t

27%

5%

4,6

1%

y(t)/X0

1
0,5
0
0

2me

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

t/
Anne 2011/2012
47/113

14. Rponse Frquentielle ou rponse en rgime sinusodal (1)

Dfinition : Dans la pratique, on obtient la rponse frquentielle dun capteur en assignant


lentre x(t) une variation sinusodale et en mesurant l'volution de la rponse y(t)
lorsque la frquence de x(t) varie.

Mesurande
x(t)

Capteur (ou
transducteur)

x(t ) X 0 sin( t ) X 0 sin( 2. .f .t )

2me

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

Sortie
y(t)

y (t ) Y0. sin( 2. .f .t )

Anne 2011/2012
48/113

14. Rponse Frquentielle ou rponse en rgime sinusodal (2)

Fonction de transfert :
On utilise la notation complexe associe la reprsentation des signaux sinusodaux :
x(t) X(j) not X et y(t) Y(j) not Y

(passage de x(t) X(j) par la transforme de Fourier)


On exprime ensuite le rapport qui reprsente la fonction de transfert du systme :

Y ( j )
H ( j )
X ( j )
La rponse frquentielle sera compltement dcrite par l'volution du module de H(j),
not |H(j)|, et par l'volution de son argument, not Arg(H(j)) ou (j), qui reprsente le
dphasage des signaux entre-sortie.

2me

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

Anne 2011/2012
49/113

14. Rponse Frquentielle ou rponse en rgime sinusodal (3)

Transforme de Fourier :
La transforme de Fourier est une fonction qui permet de passer du domaine temporelle au
domaine frquentiel et inversement.
Si on a un signal s(t), sa transforme de Fourier, note S() sera obtenu par la relation
suivante :

S( )

1
2

t e jt dt

Inversement, si on a un signal S(), sa transforme de Fourier inverse,


note s(t) sera obtenu par la relation suivante :

s (t )

2me

1
2

S e

jt

dt

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

Anne 2011/2012
50/113

14. Capteur 1er ordre : Bande passante / temps de monte (1)


Rappel 1 : La rponse temporelle dun capteur du 1er ordre est donn par la relation suivante :

dy (t )
y (t ) kx(t )
dt

Rappel 2 : Proprits de la transforme de Fourier de la drive dun signal temporel continu :

dy (t )
TF
jY ( )
dt
Compte tenu des deux rappels, la reponse frquentielle du capteur du 1er ordre peut
scrire :

jY Y kX ( )

2me

ou

jY Y k X

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

Anne 2011/2012
51/113

14. Capteur 1er ordre : Bande passante / temps de monte (2)

Aprs rcriture de la rponse frquentielle on obtient :

k
1 i

avec

et k la sensibilit du capteur

La fonction de transfert H ou H(j) scrit alors :

Y
k

H j

X 1 j

2me

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

Anne 2011/2012
52/113

14. Capteur 1er ordre : Bande passante / temps de monte (3)


Notion de bande passante : Evolution du module de la fonction de transfert H en fonction de
la pulsation .
Lexpression de du module de H est la suivante :


1
c

Bande
passante

H
k
2

k
2

Avec c la pulsation de
coupure et fc la frquence
de coupure.

On appelle l'intervalle [0-fc], la


bande passante du capteur, par
extension on appelle fc la bande
passante et on la note BP

2me

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

Anne 2011/2012
53/113

14. Capteur 1er ordre : Bande passante / temps de monte (4)


Rponse temporelle : temps de monte tm
y(t)

x(t)
Capteur (ou
transducteur)

X0

0,63 X0
0

0
0

On a

donc

1
2 fc

De plus, on a tm 2,2
do t m

2me

2,2
2,2
0,35

2 fc 2 BP BP

BP

tm

10kHz

35s

100kHz

3,5s

1MHz

350ns

100MHz

3,5ns

Valeurs de temps de monte


pour diffrentes valeurs de BP

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

Anne 2011/2012
54/113

15. Indice de protection IP (1)


Cet indice normalis caractrise le comportement du capteur vis--vis de lenvironnement
(protection du matriel) et des utilisateurs (protection des personnes)
Code :

IP XY

X = Premier Chiffre caractristique (immunit vis--vis corps solides)


Y = Second Chiffre caractristique (immunit vis--vis des liquides)

2me

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

Anne 2011/2012
55/113

15. Indice de protection IP (2)

Exemple : Capteur indice IP 67


6 : tanchit poussire et 7 Protg contre immersion temporaire.

2me

Partie : CARACTERISTIQUES METROLOGIQUES

Anne 2011/2012
56/113

Introduction

Rappel : Le conditionneur est l'lment de sortie du capteur qui transforme les variations
du mesurande primaire ou secondaire en variations lectriques exploitables (tension,
courant, .).

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
57/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (1)


La rponse dun capteur passif la variation du mesurande X se traduit comme une
variation dimpdance R, L, C.

X
X

Exemples :

Capteur (ou
transducteur)

Z
Z

Capteurs rsistifs : jauges de contraintes, sondes temprature mtalliques,


capteurs de dplacement,
Capteurs capacitifs : microphones, capteurs de dplacement, dtecteurs
de proximit,
Capteurs inductifs : capteurs de dplacement, dtecteurs de proximit,

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
58/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (2)

Nota : Pour obtenir une sortie quivalente une variation de tension V ou de courant I,
il sera ncessaire dajouter un conditionneur de signal.

X
X

3me

Capteur (ou
transducteur)

Partie : LES CONDITIONNEURS

Z
Z

Conditionneur

V
V

Anne 2011/2012
59/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (3)


Application aux capteurs rsistifs :

R f(X)

X = X0 + X

R = R0 + R

R0 correspond la valeur lquilibre ( spcifier) et R la variation conscutive une


variation du mesurande X.
Nota : En gnral, le capteur fonctionne en petite variation : R << R0

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
60/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (4)


1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils
Principe de mesure : une source de courant impose la valeur de lintensit I traversant le
capteur et un voltmtre mesure la tension V ses bornes.
La rsistance du capteur R est donne par : R

Rf

V
I

On mesure la tension V suivante :

V (R f R R f )I (2Rf R )I
I

R
Rf

La rsistance mesure Rm est donc :

V
Rm 2Rf R
I

Inconvnient : La rsistance des conducteurs de liaison Rf sajoute la mesure de R et en


ralit ce montage mesure une rsistance effective : Re = R + 2 Rf

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
61/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (5)


1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils
Le montage 4 fils permet de saffranchir des valeurs des rsistances des conducteurs de
liaison Rf.

Rf
On mesure directement la tension V RI

Rf
Iv = 0 A
I

I
R

Rf

La rsistance mesure Rm est donc :

V
Rm R
I

Rf

Inconvnient : Ce montage ncessite plus de cbles que le montage 2 fils.

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
62/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (6)


1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils
Le montage 3 fils est un bon compromis (nombre de cbles/rsistante de liaision) mais il
ncessite la mesure de deux tensions.
I

On mesure la tension V1

Rf
I

V1 (R f R R f )I (2Rf R )I
On mesure la tension V2

R
I

V1

Iv = 0 A

La diffrence des tensions V2 et V1 nous donne

Rf
Rf

V2

V2 Rf I

Rf

V1 V2 (Rf R )I
La rsistance mesure Rm est donc :

Rm

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

V1 V2
Rf R
I
Anne 2011/2012
63/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (7)


1.1. Mesure directe 2 fils, 3 fils, 4 fils

Prcautions prendre dans tout les cas : En pratique on fixe I de lordre de 1mA pour
viter lauto chauffement du capteur.
Exemple :

3me

Rsistance PT100 (100 W /0C)


Puissance dissipe par effet Joule : P = R I2
Application numrique : P = 102 (10-3)2 = 10-4 W = 100W

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
64/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (8)


1.2. Montage potentiomtrique simple
Principe de mesure : une source de tension alimente un pont diviseur de tension avec une
rsistance fixe R1 et une autre reprsentant le capteur R.
R1
Le montage suivant nous permet dcrire
la variation de V :

VCC
V

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

RC = R

R
Vcc
R1 R

Anne 2011/2012
65/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (9)


1.2. Montage potentiomtrique simple
Nota : Lvolution de V en fonction de R nest pas linaire.

V/Vcc=f(R/R1)
1,0

V
R
x

Vcc R1 R 1 x

V/VCC

0,8
0,6
0,4

Avec : x

0,2
0,0
0

10

15

R
R1

20

R/R1

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
66/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (10)


1.2. Montage potentiomtrique simple
Choix de la valeur de R1
Si on fixe la valeur de la rsistance R1 gale R0, et si R=R0+R on obtient :

Sensibilit du montage :

R
Ro R
Vcc
Vcc
Ro R
2Ro R

dV Ro R ) R
Ro

Vcc

Vcc
2
2
dR
Ro R
Ro R

Nota : Si le capteur travaille en petits signaux (R0>> R ), la rponse du conditionneur est linaire

3me

dV
V
cc
dR R
4R0
0

Partie : LES CONDITIONNEURS

Vcc
V
R kR
4R0
Anne 2011/2012
67/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (9)


1.3. Montage potentiomtrique push-pull
Dans ce montage, la rsistance fixe R1 est remplace par un second capteur identique au
premier mais dont la variation est oppose au premier capteur : R = R0 - R
R

Le montage suivant nous permet dcrire


la variation de V :

R0 R
R
V
V
V
R R ' cc R0 R R0 R cc

VCC
V

R0 R
V
Vcc
2R0
V
V
V cc cc R
2
2R0

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
68/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (10)


1.3. Montage potentiomtrique push-pull
Ce type de montage est souvent utilis dans le cas de jauges dextensomtrie identiques
mais subissant des dformations gales en module et de sens opposs.

Jauge 1 / Traction

F
Jauge 2 / Compression

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
69/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (10)


1.4. Montage en pont dimpdance : Montage quart de pont
Le capteur constitue une branche du pont, ici R2 = R

Le signal de sortie scrit de la faon suivante :

VCC

R3

R1

V VAB VA VB

A
R2 = R

3me

B
Avec :

R2
VA
Vcc
R1 R2

et

R4
VB
Vcc
R3 R4

R4

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
70/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (11)


1.4. Montage en pont dimpdance : Montage quart de pont

On obtient alors :

R2
R4
Vcc
V VA VB

R
R

R
1
2
3
4
VCC

R3

R1
V

A
R2 = R

3me

Si on considre R2 = R, alors on a :

B
R4

Partie : LES CONDITIONNEURS

R
R4
Vcc
V

R1 R R3 R4

Anne 2011/2012
71/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (12)


1.4. Montage en pont dimpdance : Montage quart de pont
On parle de pont quilibr lorsque V = V0 = 0

Dans ces conditions, on a :

V V0 0 R (R3 R4 ) R4 (R1 R ) 0

RR3 RR 4 R1R4 RR 4

Ce qui permet de fixer les valeurs de rsistance puisque lon doit avoir RR3 R1R4

Choix pratique : R1 = R2 = R4 = R0, le pont sera lquilibre pour la valeur au repos


du capteur R = R0

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
72/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (13)


1.4. Montage en pont dimpdance : Montage quart de pont

On obtient alors lexpression de V :

V (

R
1
R R0
R
V
)Vcc
Vcc
Vcc cc R si R << R0
R0 R 2
2(R R0 )
2(2R0 R )
4R0

Avantages du montage en pont :


si R = R0 alors V = 0,
le signe de V donne le signe du mesurande,
si R > R0 , V est positif et si R < R0 alors V est ngatif.

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
73/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (14)


1.4. Montage en pont dimpdance : Montage push-pull demi-pont
Dans ce montage, la rsistance fixe R1 est remplace par un second capteur identique au
premier mais dont la variation est oppose au premier capteur : R = R0 - R.
On a alors 2 rsistances fixes R3 et R4 et 2 capteurs reprsents par R et R.

On a R2 = R = R0+R et R1 = R = R0-R
On a pour signal de sortie :
R1 = R

VCC

R3
V

A
R2 = R

B
R4

R
R4

V
V VA VB

R'R R R cc

3
4

En fixant les valeurs de R4 et R3 gales R0,on


a alors :

R
R0

V
V VA VB

R'R R R cc

0
0
R0 R
R0

V
soit, V

2R
R 0R0 cc

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
74/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (15)


1.4. Montage en pont dimpdance : Montage push-pull demi-pont

On obtient alors lexpression de V :

R0 R
1 R 1
R0
Vcc

Vcc
R
2R
cc 2 2R

R
2
2
R

0
0
0
0
0

Avantages du montage push-pull demi-pont :


La composante continue de V est annule,
La variation de V avec R est linaire.

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
75/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (16)


1.4. Montage potentiomtrique avec amplification du signal
Ce conditionneur est utilis notamment pour les photorsistances (R = f())

A lentre de lamplificateur
oprationnel, on a :

R
V
R R1 cc

R2
Vcc
R2 R3

Or, on a :

V V

R
R2
V

Vs
donc :
cc
R R1
R2 R3

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
76/113

1. Conditionneurs pour capteurs passifs (17)


1.4. Montage potentiomtrique avec amplification du signal

On obtient alors :

R R3
1
Vs 2
.
Vcc
R
R2
1 1
R
Conditionneur pour LDR

Pour une photorsistance la


variation R = f()
est de la forme

R diminue si lintensit du flux


lumineux
augmente

Tension de sortie (V)

R ae b

12
10
8

Vs K (

)Vcc
R1
1
R

6
4
2
0
100

1 000

10 000

100 000

1 000 000

Resistance (ohm)

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
77/113

2. Conditionneurs pour capteurs actifs (1)


La rponse dun capteur actif la variation du mesurande X se traduit par une variation
de tension : V, de courant : I ou de charge lectrique Q.

X
X

Exemples :

Capteur (ou
transducteur)

V
V

Variation de tension : sondes temprature thermocouple,


Variation dintensit : photodiode,
Variation de charge : acclromtre pizolectrique

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
78/113

2. Conditionneurs pour capteurs actifs (2)

Nota : Pour obtenir une sortie quivalente une variation de tension V ou de courant I,
en thorie, il nest pas ncessaire dajouter un conditionneur de signal, cependant pour
des questions dadaptation dimpdance, un conditionneur de signal est souvent
ncessaire au montage.
Les capteurs pizolectriques requirent un amplificateur de charge qui transforme la
variation Q en variation V.

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
79/113

2. Conditionneurs pour capteurs actifs (3)


2.1. Capteurs sources de tension
Exemple : Thermocouple
Schma lectrique quivalent :

i
A
Rs

Tension de sortie: vs = v Rs I

Tension de sortie vide : vs = v


v

vs

Impdance de sortie : Rs

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
80/113

2. Conditionneurs pour capteurs actifs (4)


2.1. Capteurs sources de tension

Mesure de la tension de sortie : Utilisation dun voltmtre

A
Impdance dentre du voltmtre : Re
Rs
Tension mesure : v m

v
v

Re

vs

Re
v
Rs Re

Si Rs leve devant Re : v m

Re
v v
Rs

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
81/113

2. Conditionneurs pour capteurs actifs (5)


2.1. Capteurs sources de tension

Utilisation dun montage adaptateur dimpdance Amplificateur suiveur

Impdance dentre de lAO : Ze =


i+ = i- = 0
v+ = vv+ = v
Tension sortie : v s v

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
82/113

2. Conditionneurs pour capteurs actifs (6)


2.1. Capteurs sources de courant
Exemple : Photodiode
Schma lectrique quivalent :

A
Courant de sortie: is i

is
vs

v
Rs

Courant de court circuit : Icc = I

Rs

Impdance de sortie : Rs

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
83/113

2. Conditionneurs pour capteurs actifs (7)


2.1. Capteurs sources de courant
Mesure du courant de sortie :

A
im

i
vs

Rs

Re

Rs
Courant mesur: i
m R R i
s
e
R

Si Rs faible devant Re alors i m s i


Re

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
84/113

2. Conditionneurs pour capteurs actifs (8)


2.1. Capteurs sources de courant
Utilisation dun montage adaptateur dimpdance transducteur I-V
R1
1k
LM32411
6
-

Rs est court-circuite
VOUT

+ 4

Rs

Tension sortie : v s R1i

U1B
V+

0
0

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
85/113

2. Conditionneurs pour capteurs actifs (9)


2.1. Capteurs sources de charge
Exemple : acclromtre pizolectrique
Schma lectrique quivalent :
i

A
im
Tension sortie :

q
vs

Cs

vs

q
Cs

Ze

3me

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
86/113

2. Conditionneurs pour capteurs actifs (10)


2.1. Capteurs sources de charge
Utilisation dun montage adaptateur dimpdance
C

LM32411
6
-

V-

Tension sortie :
OUT

+ 4

C3

0
3me

vs

q
C

U2B
V+

Partie : LES CONDITIONNEURS

Anne 2011/2012
87/113

Introduction
De part la plurat des domaines dapplication, de nombreux et diffrents types de
capteurs existent. Ils font appel de nombreux principes de la physique et permettent de
traiter la plus grande majorit des entres physiques ou chimiques.

Capteurs optiques

Capteurs de temprature

Capteurs de dformation

Capteurs de position et de dplacement

Capteurs tachymtriques

Capteurs de force / pesage / couple


Capteurs de vitesse / dbit / niveau de fluides

Biocapteurs

Capteurs dacclration / vibration / choc


Capteurs de pression de fluides

Capteurs de mesure de vide Capteurs de rayonnement nuclaire Capteurs acoustiques


Capteurs lectrochimique

4me

Capteurs de composition gazeuse

Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES

Capteurs dhumidit

Anne 2011/2012
88/113

1. Rappels : Proprits fondamentales de la lumire (1)


La lumire prsente la fois un aspect ondulatoire et un aspect corpusculaire.
Sous son aspect ondulatoire, la lumire est vue comme une onde lectromagntique se
propageant la vitesse c = 299 792 458 m.s-1 dans le vide et v = c/n dans la matire (n
tant lindice de rfraction du milieu). Cette onde est caractrise par sa frquence ou sa
longueur donde .

4me

Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES

Anne 2011/2012
89/113

1. Rappels : Proprits fondamentales de la lumire (2)

Sous son aspect corpusculaire, la lumire est vue comme une particule lmentaire,
appel photon, de masse nulle et dnergie E :

E h

hc

h tant la constante de Planck gale 6,6256.10-34 J.s.


Cet aspect est gnralement mis en vidence lors de lintraction de la lumire avec la
matire.

4me

Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES

Anne 2011/2012
90/113

1. Rappels : Effet photolectrique


Dans la matire, les lectrons lis aux atomes peuvent devenir libres si on leur apporte une
nergie E suprieure leur nergie de liaison El.
Labsorption dun photon provoquera la libration dun lectron condition que Ephoton>El.

El

Ephoton > El

Leffet photolectrique entrane une modification des proprits lectroniques du


matriau et est le principe de base des capteurs optiques.

4me

Partie : CAPTEURS ET INSTRUMENTATIONS OPTIQUES

Anne 2011/2012
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1. Rappels : Lumire support dinformation


De part ses proprits physiques, la lumire peut subir de nombreuses modifications de
son rayonnement optique par un mesurande. Do son utilisation dans de nombreux
capteurs.
Paramtre du rayonnement

Caractre de la modification

Mesurande primaire

Direction de propagation

Dviation

Position angulaire, dformation

Attnuation par absorption

Epaisseur, composition chimique,


densit de particules en
suspension

Modulation par tout ou rien

Vitesse de rotation dun disque,


comptage

Frquence

Changement de frquence (effet


Doppler)

Vitesse de dplacement

Intensit, longueur donde

Rpartition spectrale de lnergie

Temprature de la source

Flux

Phase
Polarisation

4me

Dphasage entre deux rayons d


Position, dplacement, dimension
une diffrence de marche
Rotation du plan de polarisation
par birfrengence

Pression, contrainte

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2. Dtecteurs optiques passifs : la photorsistance (1)


La photorsistance (ou cellule photoconductrice) est un composant lectronique dont la
rsistivit varie en fonction de la quantit de lumire incidente. La photorsistance est
parmi les capteurs optiques lun des plus sensibles.

V
Rayonnement
Ip (T)

Surface A
L

4me

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2. Dtecteurs optiques passifs : la photorsistance (2)


Le phnomne physique la base de son emploi (photoconduction) rsulte dun effet
photolectrique interne : libration dans le matriau de charges lectriques sous
linfluence de la lumire et augmentation corrlative de la conductivit (ou diminution de
la rsistivit).
La rsistance peut alors sxprime de la faon suivante :

1L
1 L

A q n A

avec :
: conductivit du matriau
q : charge de llectron
: mobilit de llectron
n : densit dlectrons prsents (fonction de lclairement)
A et L : surface et longueur de la plaque

4me

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2. Dtecteurs optiques passifs : la photorsistance (3)


Les cellules sont ralises laide de matriaux semi-conducteurs homognes
polycristallins ou monocristallins, intrinsques (purs) ou extrinsques (dops) :
Matriaux polycristallins :
Matriaux monocristallins :

4me

CdS, CdSe, CdTe,


PbS, PbSe, PbTe;
Ge et Si purs ou dops par Au, Cu, Sb, Zn
SbIn, AsIn, PIn, CdHgTe

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2. Dtecteurs optiques passifs : la photorsistance (4)

De faon gnrale, lintrt des cellules photoconductrices rside dans leur rapport de
transfert statique et leur sensibilit leve do rsulte la simplicit de certains montages
dutilisation (exemple : commande de relais, voir TD).
Leur inconvnients majeurs sont les suivants :
Non-linarit de la rponse en fonction du flux,
Temps de rponse en gnral lv et bande passante limite,

Instabilit (vieillissement) des caractristiques,


Instabilit thermique comme la plupart des capteurs optiques,
ncssit de refroidissement pour certains types (selon matriaux utiliss)

4me

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3. Dtecteurs optiques actifs : la photodiode (1)


Rappel : Semi-conducteur de type P et de type N
Le dopage dun matriau semi-conducteur augmente la densit des porteurs.
Si ce dopage augmente la densit d'lectrons, il s'agit d'un dopage de type N.
Sil augmente celle des trous, il s'agit d'un dopage de type P.
Les matriaux ainsi dops sont appels semi-conducteurs extrinsques.

Semi-conducteur de type N

4me

Semi-conducteur de type P

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3. Dtecteurs optiques actifs : la photodiode (2)


Rappel : Jonction PN

En labsence de tension
extrieure, le courant
traversant la jonction est nul
(somme de deux courants
gaux et de sens contraire) :
Courant de diffusion d aux
porteurs majoritaires,
Courant de fuite d aux
porteurs minoritaires
(crations de porteurs
minoritaires aux abords de la
zone de charge despace par
agitation thermique).

4me

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3. Dtecteurs optiques actifs : la photodiode (3)


La photodiode est un composant bas sur la jonction dun semi conducteur de type P et
dun semi conducteur de type N :

Chaque photon absorb par le semi-conducteur peut crer une paire lectron-trous,
sous laction du champ interne, llectron se diffuse vers la zone N et le trou vers la
zone P,
on a une diffusion des trous et des lectrons dans des sens opposs,
ces porteurs donnent naissance un photocourant de gnration.

4me

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3. Dtecteurs optiques actifs : la photodiode (4)

Electrons

Zone de type P

Ephoton = h.
Avec > S

Trous

4me

Zone de type N

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3. Dtecteurs optiques actifs : la photodiode (5)


Au niveau du composant, la photodiode est compos dun empilement de couches
minces dont les paisseurs respectives sont de lordre du micromtre, voire en dessous.

4me

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3. Dtecteurs optiques actifs : la photodiode (6)


Le montage de base comporte une source Es polarisant la diode en inverse et une
rsistance Rm aux bornes de laquelle est recueilli le signal.

IR

Es

Vd
VR

Rm

Puissance optique

4me

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4. Instrumentation optique : Mesure interfromtrique (1)


Les mesures interfromtriques sont bass sur un phnomne dinterfrences
observes par comparaison entre un signal de rfrence et un signal modifi par une
source extrieure.
Le mesurande agit sur les conditons de la propagation du signal optique, entranant une
variation :
soit de lattnuation du flux transmis,

soit de la phase ou de la polarisation du rayonnement la sortie du guide donde.

La modification de lindice ou de la gomtrie du guide donde peut tre induit par


diffrents effets :
Pression,
Temprature (variation de lindice du matriau avec la tmprature),

Dformation.

4me

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4. Instrumentation optique : Mesure interfromtrique (2)


Is
A
0

Ir

Is
Im

Is Ir IsIm 2Ir Ir IImmcos

1 mm

Zone sensible un
paramtre externe (pression,
Structure asymtrique
temprature, )
(un des bras du MZI sert
Signaux en sortie des
Structure symtrique
Signaux en sortie des
de rfrence tandis que
bras dphass
(bras du MZI identiques)
bras en phase
lautre est utilis comme
(interfrences)
capteur)
Ralisation Laboratoire dAcoustique de lUniversit du Maine LAUM

4me

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4. Instrumentation optique : Mesure dindice par ellipsomtrie (1)


Rappel : Structure dune onde plane

Polarisation rectiligne des


champs E
et B : le vecteur donde k et les

vecteurs amplitude des champs Eo et Bo


sont constants.
Les champs vibrent dans des plans
de polarisation (xOz pour E, yOz pour
B)
Les champs EM sont constants en
tout point des plans donde (xOy) dfinis

par

Champ lectrtique
E(z,t)

Champ magntique
B(z,t)

k .r cste

4me

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direction de
propagation
z

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4. Instrumentation optique : Mesure dindice par ellipsomtrie (2)


Rappel : Dispersion dun milieu matriel

Relation de dispersion du milieu k


Si est indpendant de la frquence k , le milieu est non dispersif : la
vitesse de propagation est indpendante de la frquence.
En ralit, seul le vide nest pas dispersif :

o o

Un milieu matriel est caractris par un indice optique

c
n~ n ik
v
n est appel indice de rfraction et k coefficient dextinction.

4me

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4. Instrumentation optique : Mesure dindice par ellipsomtrie (3)


Rappel : Intraction onde-matire
Lois de Snell-Descartes

1i

Rflexion
Rfraction

Rflexion

1r

n~ sin 1 n~2 sin 2


1

Lois de Fresnel

E ip

~ cos( ) n
~ cos( )
n
1
1
2
r~p 2
~ cos( )
n~2 cos(1 ) n
1
2

2
Rp r~p

~ cos( ) n
~ cos( )
n
~
1
1
2
2
rs
~ cos( ) n
~ cos( )
n
1
1
2
2

2
Rs r~s

4me

Rfraction

Esi

1 1

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E pr

Esr

2
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4. Instrumentation optique : Mesure dindice par ellipsomtrie (4)


Principe de la mesure
Ellipsomtrie
- Diagnostic optique dont la profondeur danalyse est de lordre de 1/(d).
- On sonde donc des paisseurs variables en fonction de d avec une grande
sensiblit.

de la monocouche qques 10 m
Objectif
- Remonter la rponse optique dun matriau, gnralement partir dun
modle optique et son paisseur
- Dcrire des structures complexes : multicouches, mileux effectifs,
interfaces, rugosits.
- Dcrire la cintique dun procd en temps rel : dpt ou gravure

4me

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4. Instrumentation optique : Mesure dindice par ellipsomtrie (5)


i
Ep
Eis

r
Ep
1

r
Es

t
Ep

t
Es

rp
rs

Dcomposition de londe optique


selon les vecteurs Ep et Es
(respectivement parallle (p) et
perpendiculaire (s) au plan
dincidence)
Ondes rflchie (Er) et transmise
(Et) relies londe incidente par les
coefficients complexes de Fresnel
(rp et rs pour la rflexion, tp et ts pour
la transmission)

tan e j

Quantit mesure par ellipsomtrie

4me

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4. Instrumentation optique : Mesure dindice par ellipsomtrie (6)


Schma de principe dun ellipsomtre

Source de
lumire

Synchro

Dtection
Analyse de la
Polarisation

Polarisation

Modulation

Interaction
Echantillon

4me

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4. Instrumentation optique : Mesure dindice par ellipsomtrie (7)


Caractristique des lments optiques de lellipsomtre

Source
- Lampe Xnon 125 Watt (plasma)
- Dure de vie de 1000 1500h
Polariseur/Analyseur
- Type Glan taux dextinction de 10-5
- Grande prcision (10-2 degr) due labsence dlments tournants
Dtecteur
- Photomultiplicateur pour lUV Visible
- Photodiode InGaAs pour le proche IR

4me

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4. Instrumentation optique : Mesure dindice par ellipsomtrie (8)


Intensit dtecte

Dtecteur

Source

Echantillon

p
s
Champ lectrique dtect

Ed P R P M M R(M ) S R A AEi

Intensit dtecte

2
Id Ed I0 Is sin (t ) Ic cos (t )

A partir du traitement du signal sur le dtecteur, il est possible de remonter et partir


de lexpression de (t)

4me

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4. Instrumentation optique : Mesure dindice par ellipsomtrie (9)


Traitement des donnes : Echantillon analys

Couche 1 (n1, k1, e1)

Couche N-1 (nN-1, kN-1, eN-1)


Couche N (nN, kN, eN)

Substrat (ns, ks)


Comment partir de et de , remonter aux
paramtres des diffrentes couches?
Ncessit dutilis des modles de
dispersion qui lient n et k et les modlisent
en fonction de la longueur donde.

4me

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