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    Mirror

    Laser

    Spatial
    filter

    Collimatin
    g lens

    Photoresist
    coated
    substrate

    PDMS
    Applicatio
    n of strain

    Plasma
    oxidation

    Nano-patterns
    PDMS
    Oxidized
    PDMS
    surface

    Formation
    of oxidized
    layer

    Strain
    release
    and nanopattern
    formation

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