Micro-actionneurs electromagnetiques

MAGMAS

sous la direction de

Orphee Cugat

"~·»-1e5 cience

p .. hl.,-.II' ........ _

Chapitre 10

Micro-actionneurs magnetostrictifs

10.1. Introduction: ltmgneto trictionet mi.crosy -( mes

La magnetoslriction e r 13 propri.lSli que pre entenrcenain materiaux de se deformer lorsqu'ils san! sournis a un champ magm!tique [TRE 93]. eel effet est reversible CL la n!alisarion de ca.pIeurs magm!lolmiclifsesl possible. Cependan; nous ne considerons iei que les proprietes relatives ~ I'actionnement. La magnetostrictioa est l'exact pendant de l'effet piezo-eleetnque direcr: un champ magnerique est utilise au lieu d'un champ eleclrique pour solliciter des defomlations Pour les principes physiques de la magnetostricrionuinsi que In mise en equation dece type de mat&iaux, le lecreur voudra bien ~ reporter, dans Ie meme ouvrage au cbapitre 5.

euls les mareriacx dil5 a Ii magnelosrriclion geante~) . erom abordes ici, lis SOD! generalement composes de fer er de terres rares. Us se preseatent, aujourd'htri sous deux. formes Ires disriecres. Oil en couches minces (lIIill jilm.t), soil oas forme massive (Bulk materialsi.

Les m.neriaux massifs son! apparusen premier sous forme de barreaux (mise sur le marche en 1988, on parle alors de Terfenol ~ D). 11$ presenrent un effet magnero rricrif geanl remarquable, avec des allon.gements relatifs proches de 2 000 ppm (et rneme au-den (lUX basses temperatures). C'I;:SI eel effet, d''un a deux ordres de grandeur sl1peneurs aux va leurs des maleriau1( usuels dejlt connus qui j USI ifie leu r inlthet pow r I' aetionnemeut, Cela donne des densites de puissances superieures nux mareriaux piezo-eleetriques. 1ais les deux precedes de fabrication

Chapil:rer6;iige par Gilbert Rn'NE, Nitolrn. LHER"tET, Turlk BOIJROUINA,. Frank CL'lEYSS '.

274 Micro-actionneurs electromagnetiques

Micro-actionneurs rnagnetostrictifs 275

(commercialises nux Etats-Unis en premier par Etrema - puis en Europe, en premier par Ferredyu), reposent sur des structures monocristallines orientees et sont des precedes coureux qui ne permettenr que de disposer de barreaux cylindriques. De plus, leur perrneabilite magnetique relative etant tres faible (de l'ordre de 5 a 10), leur utilisation impose un circuit magnetique et line alimentation leis, que leurs avantages relatifs, en termes de densites de puissances, diminuent. Us continuent cepen dan t a faire L' objet de nombreuses applications, en particulier au niveau recherche pour la conception d' actionneurs specifiques presentant des forces elevees pour de faibles deplacernents [CLAE 94, CLAE 97, GRO 99, MAD 99]. On notera la mise en fabrication par TDK, en J 997, de materiaux a magnerostriction geante massifs, reposant sur la technique de fabrication des aimants a base de poudre. Il s' agit de compresser une poudre magnetostricti ve sous champ magnetique, Les materiaux obtenus sont polycristallins mais avec des orientations preferentielles, er Leurs performances, bien que legerement inferieures restent excellentes. Les formes et dimensions peuvent eire quelconques et le cont de production neuement inferieur. La conception de petits systernes, voire de microsystemes avec tous ces materiaux massifs est possible [CLAY 98]. Des recherches en ce sens se poursuivent mais ne seront pas developpees dans Ie present chapitre,

L'actionnement magnetostrictif constitue donc, pour les microsystemes, une alternative tres prometteuse aux solutions d' actionnement basees sur l' utilisation des transductions electrostariques, rnagnetiques ou electrothenniques. En tam que materiau «intelligent» applique aux microsystemes, il est Ie pendant direct des couches piezo-electriques, elles-memes en pleine evolution. La rapidite du developpement des microtechnologies ne permet pas aujourri'hui de chiffrer pour les applications industrielles quelle sera la part de chaque actionnement. 11 est probable que les avantages et inconvenierus de chacun d'entre eux permeuront de mieux repondre aux defis scientifiques nes des microtechnologies, tant en tennes dimensionnels (plusieurs ordres de grandeur) qu'en termes de domaines d' application (automobile, teiecommllnica60ns, applications medicales, biologie ... ). L' utilisation des materiaux magnetostrictits dans les MAGMAS pour leur part reposent sur I.' effet bilame. Ils presentent une grande densite de puissance, superieure a La piezo-electricite notamment, ainsi que des avantages communs avec tout actionnement electromagnetique comme en particulier, la possibilite d'un tonctionuement a distance et sans fil.

Ce chapitre a en effet pour objectif principal de presenter l'utilisation de couches minces magnetostrictives pour les microsystemes. Celles-ci ont fait l'objet de progres remarquables grace all contrat de recherche europeen Brite-Euram MAGNIFIT (MAG 97]. Remarquables en ce sens que les couches obtenues sont epaisses (de quelques micrometres a plusieurs dizaines de micrometres) et presentent des deformations importantes sous des inductions magnetiques faibles (de l'ordre de la diza:ine de milli-Tesla pour floH). Les conditions de depot et de recuit (en particulier La relativement faible temperature), sont compatibles avec l'utilisation de la plupart des technologies silicium, De plus, le champ magnetique requis est compatible avee l'usage de mierobobines [DUC 96, FUK 91, HON 94, MAG 97, QU A 95]. Des developpements recents ont donne lieu a des couches, obtenues par pulverisation cathodique (avec cibles de composition adaptee), pouvant developper des deformations a saturation A.s de plus de 1000 ppm et dont I'epaisseur peut aueindre 35 f.U11 [LUD 00, QUA 99]. Ces couches de plusieurs dizaines de microns d'epaissenr sont en fait constituees d'un empilement de centaines voire de milliers de couches d'epaissenr nanornetrique. On alterne habituellement un materiau a magnetostrictiou geante (forte magnerostricrion mais faible permeabilite magnetiquej avec un "bon» materiau magnetique (permeabilite tres elevee), On obtient, grace a la tres fine epaisseur des couches (qq. run), une interaction a I' echelle atomique qui conduit a un materiau «homogene » presenrant simultanerneru une forte rnagnetosrriction et LIne forte permeabilite, L' epaisseur totale de la couche et sa reponse mecanique en champ magnetique faible sont un atout majeur pour generer des deformations et forces significati ves,

NOllS commencerons par une explication physique des diverses possibilites comportementales des bilames magn6tostrictifs, Nous en d€dllirons Les types de mareriaux, de deformations et d'aimantation correspondants. Apres cette approche qualitative, nous indiquerons Ies moyens d' obtenir nne approche plus quantitative des deformations obtenues. Ceei sera enfin illustre par differentes realisations, pour une part industrielle, et pour l'autre a ]'etat de recherches. A ce jour, le champ d'applications est relativement etendu puisque ron peut citer, de maniere non exhaustive, la realisation de micro-actionneurs, micropompes, micrornoteurs ultrasonores lineaires ou rotatifs, microresonateurs, microscanners et microrelais [BET 96, BOU 01, CLAE 97, CLAE 98, GAR oo«, GAR OOb, LEP 01, QUA 97b].

10.2. Effets physiques et priactpes de bases de l'utilisation de couches minces rnagnetestricnves

Le but est maintenant de com prendre simplement les principes et regles de base permettant I'utilisation de la magnetostriction pour les microsystemes. Nous y ferons ensuite reference lorsque nous traiterons de chacune des applicationsrqui illustreront ce chapitre, Une approche parfaitement complementaire mais plus mathemaliqueestproposeeanchapitre7parJean-ClaudePeuzin.lei.c.es! essentiellement Ie sens physique du leeteur, afin qu'il eornprenne clairement les phenomenes, qui est mis a contribution,

Afin d'obtenir des deformations significatives, les couches magnetostrictives, de meme que les bilames thermiques ou les couches piezo-elecrriques, sont essentielJement utilisees en. effet « bilame », Deposees sur un support d'epaisseur fine et qui ne presenre pas de deformation intrinseque (poutre OlJ membrane par exemple), le materiau « actif », en s' aJlongeant ou en se contractant, produit, par effet bilame, une deformation par courbure de I' ensemble. Si la deformation est isotrope dans Ie plan, COIIDlle c'est le cas pour une deformation therrnique, il en resulte une courbure globale respectivement convexe ou concave (voir figure 10.1 a). Or, la deformation magnetostrictive se produit il. volume constant done un aJlongement dans une des directions du plan se traduit par une contraction du merne ordre de grandeur dans la direction transverse. 11 en resulte une courbure de sens oppose dans l'une et 1'autre direction. D'ou line deformation dite en «selle de cheval" ou « co] de montagne » de 1a figure 10.1 b.

276 Micro-actionneurs electromagnetiques

10.2.1. Effet bilame et anisotropie de La deformation

a : deformation isotrope type « thermique »

Micro-actionneurs magnerostrictifs 277

Ce comportement anisotrope peut etre mis il. profit pour differencier les effets thermiques et magnetostrictifs et realiser des actionneurs magnetostrictifs theoriquement insensibles aux variations de temperatures. Cela sera developpe dans la quatrieme partie de ce chapitre SOLIS Ie titre « Micro-actionneur compense thermiquement ».

10.2.2. Choix de materiaux jj deformation positive 011 rlegative

Il est a noter que certains materiaux ont une magnetostriction positive presentant un allongement dans Ie sens du champ (Image electronique en forme de o; ballon de rugby» - Terbium, par exemple) et d'autres une magnetostriction negative (nuage atomique en forme de tore). En couches minces les alliages TbFe presentent une magnetostricrion positive, Ies SmFe, negative. Rappelons que c 'est Ia rotation de ce nuage electronique pour suivre le champ rnagnetique exterieur qui conduit 11 la deformation globale du materiau. Celle-ci, pour Ies niveaux usuels d'excitation se fait sans modification du Image lui-meme, done a volume constant.

([)

Pr

Pm

Sill

Gd

Nd

Ce

b : deformation arusotrope

(I) ro (1) () ~ ([) (])

Tb Oy Ho Er Trn Yb Lu

Figure 10.2. Nuage electronique de quelques tares rares

L'utilisation combinee de couches minces a magnetostriction positive el il. magnetostrictlon negative conduit a des applications originales comme, par exemple, l'utilisation d'un trilame ; Ja couche superieure a effet positif voyant son effet renforce par la couche inferieure a effet contraire, Mais, graves et alternes periodiquement et sur une meme couche, on obtiendrait, en dynamique I'excitation d'une onde srationnaire de vibrations a partir d'un champ magnetique unique, exterieur ou pas. L' application de ce principe est tres facilement transposable aux structures ultrasonores presentees au paragrapbe 10.4.3.

Figure 10.1. Deformation en selle de cheval

278 Micro-actionneurs electromagneriques

Micro-acrionneurs magnetostrictifs 279

10.2.3. Coefficients et courbes caracteristiques, points de fonctionnement

30~----------------------------------------~

by,2= Cr (DI/-Dj_) hS2

3 U hf

[1O.2J

A l'echelle macroscopique iJ est possible de quantifier la magnetostriction d'un materiau massif par le coefficient A qui correspond a I'allongement relatif de Ia structure dans Je sens el en fonction du champ magnetique applique [10.1]. On definit aussi AS qui correspond a J' allcngement maximal, dit " a saturation ».

A= t..l l

[10.1]

Dans le cas du bilame, it n' est plus possible de considerer que Ie materiau subit un allongement lineaire suivant un axe principal : LlOUS ne pouvons plus caracteriser le materiau ou Ie bilame par le coefficient de magnetostriction a saturation AT II est alors d'usage d'utiliser le coefficient magneto-elastique by·1 qui pent etre calcule par Ia relation [lO.2J:

Relation dans laquelle DII represente 101 deflexion du bilame lorsque Ie champ magnetique est sui vant I' axe longitudinal de Ia couche magneto stricti ve (parallele a la longueur), et D.L la deflexion du bilame lorsque Ie champ magnetique est perpendiculaire i.I celle-ci. Cette mesure differemielle pennet de s'affranchir de J'aimantauon initiale du materiau qui induit une deformation ini ti ale. Dans 101 pratique, c'est une methode optique qui est utilisee ; elle ne donne pas directement Ies deflexions mais plut6t I'angle de flexion de la poutre [BET 97]. CIs represente Ie module de cisaillernenr du substrat, h, lepaisseur de la couche rnagnetostrictive, h, I' epaisseur du substrat et L la longueur du bilame.

Figure 10.3a. Courbes caracteristiques [LUD 00, QUA 99]

Deformation

Les courbes de deformation en fonction de l' excitation magnetique, represemees sur la figure 10.301 indiquent bien I'importance des progres recents sur Ies performances des couches magnetostrictives obtenues. II est en effet essentiel, pour la conception de tels microsysternes, de disposer de materiaux qui presentent de tres fortes pentes en champ faible [LUD 00, MAG 97, QUA 99]. Les progres sont remarquables si l' on compare J' allure de ta courbe centrale, qu i correspond a des multicouches alternees de quelques uanometres d'epaisseur, avec les courbes des monocouches, C'est cette tres forte augmentation de 101 permeabilite qui permet cette reponse mecanique forte en champ faible. On peut done actionner les microstructures correspondantes avec une source de champ acceptable.

Figure 10.3b. Reponse dynamique ell fonction du point de repos

Les combes sont paires et presentent une symetrie par rapport au point A de champ magnetique nul (voir figure 1O.3b) II en resulte que, I'application d'un champ alternatif a une telle couche, donnera une deformation au double de 101 frequence d'exciration. Qui plus est, 101 pente au point A est nulle ella reponse dynamique iniriale (petites variations) sera negligeable. Ce n'est que pour des excitations dynarniques d'amplitude plus irnportante autour du zero, que I'on obtiendra une reponse de type parabolique en amplitude, avant de saturer,

280 Micro-actionneurs electrornagneriques

Micro-actionneurs magnetostrictifs 281

Comme pour les materiaux massifs, on aura done interet, daus ce cas, a ajouter une composante continue (ce qui peut se faire sans consommation de courant grace aux aim ants permanents) a l'excitation. Le point de repos ou point de fonctionnement ideal est ainsi situe aux alentours du milieu de la pente de montee (point B). La reponse dynamique, meme 11 une excitation alternative tres faible est alors maximale. Cei aspect est essentiel pour l'application aux microtechnologies car la reponse mecanique des structures est toujours tres faible. L'arnplifier en utilisant la resonance mecanique est generalemenr necessaire et la plupart des exemples developpes dans les dernieres parties de ce chapitre en sont une excellente illustration.

Le developpement recent de couches magnetostrictives deposees et/ou recuites sous champ magnetique pennet d'obtenir des bilames anisotropes rneme en I'absence d'induction magnetique (materiaux uniaxiaux). Les reponses magnetornecaniques sont reportees sur la figure lO.3a tandis que tes courbes d'hysteresis correspondantes sont sur la figure lOA.

Notons enfin que, pour un champ donne, la deformation est d'autant plus importante que Ie substrat de la couche et lacouche elle-meme sont d'un rapport d'epaisseur proche. Cela depend des modules de Young respectifs mais une epaisseur active de l'ordre du tiers de l'epaisseur totale semble proche de I'optimal. Enfin, la force qui peut etre obtenue est liee ii. I'epaisseur totale. Obtenir des couches actives epaisses est donc un element essen tiel pour un bon actionnement puisque l' epaisseur totale en depend et que tant la force que I' amplitude de deformation en dependent (on ne peut en effet realiser de longues structures, presentant un deplacernent global significatif, que S1 la structure est assez solide, donc epaisse),

0,5

135

90

to

:'i

10.2.4. Depot SOllS champ : materiaux uniaxiaux

Plusieurs choix sont possibles Quant au depot des materiaux, suivant que ceux-ci soient deposes et/ou recuirs sous champ magnetique,

-100

-50

50

100

En l'absence de champ rnagnetique lors de son elaboration, la couche obtenue est generalement isotrope et se comporte generalement de maniere isotrope dans le plan: sa deformation anisotrope SOliS I'action d'un champ magnetique est cependant la meme quelle que soit la direction du champ dans Ie plan. C'est seulement la direction specifique on « anisotropie » du champ magnetique d' excitation lui-meme qui rend la reponse mecanique de Ja structure anisotrope ainsi que nous lavons vu en 1O.2.l. A l'origine, les nuages elecrroniques sont, macroscopiquement, repartis de maniere aleatoire et ne s'orienteront qu'en presence d'un champ magnetique. C'est Ie cas de 13 pompe magnetostrictive issue du contrat europeen MAGNIFlT et developpee par E. Quandt [QUA 97b]. Dans ce cas, Ia membrane circulaire est soumise , grace it une bobine rapportee de meme axe, a une induction centripete (radiale) identique dans toutes les directions et il en est de rneme pour sa reponse. Pour plus de details, on se reportera au chapitre 5 dans Ie meme ouvrage et a la partie 10.3.

FIgure 10.4. Reponse magnetique ou courbes d'hysteresis des multicouches TbFelFeCo

On notera sur la figure 1O.4 que les unites sont en Tesla pour les deux axes.

L'induction magnetique E, s'exprime effectivernent toujours en Tesla, mais le champ magnetique H s' exprime, lui, en ampere par metre (AIm). Rappelons q~e les autres unites (Gauss, Oe ... ) encore souvent employees, ne font plus partie du systeme SI, depuis des annees. 11 est interessant de noter que, plutot que reporter H, sur l'axe horizontal, on a repone Il"H qui lui, s'exprime effectivement en Tesla, Ce1a n' est pas gratuit car on voi t apparaitre un phenomene hys teretique de l' ordre de 1O mT. Or, cet ordre de grandeur est famiIier a route personne travaillant sur les microsvstemes electromagnetiques et est aussi I' ordre de grandeur des excitations que l'a'n peut obtenir avec des microbobines. On en deduit donc. im.mectiateme,nt que ces nouveaux materiaux repondent effectivement bien a des excitations rnagnenques faibles et compatibles avec les sources de champ possibles en micromagnetisme. L' allure des courbes d' hysteresis obtenues rappelle celIe des materiaux durs

282 Micro-actionneurs electromagnetiques

Micrc-acrionnenrs magnerostrictifs 283

DeformatiOlX

Reprenons main ten ant le bilame de la figure 10.1 et SUPPOSOllS que la couche magnetostrictive soit deposee et recuite sous un champ initial it - 45 degres par rapport a la longueur. Alors, I'application d'un champ orthogonal (soit a + 45 degres) fera progressivement tourner de I'une a I'autre position. A supposer que le materiau soit a magnetostriction positive, cela signifie une elongation dans la direction a + 45 degres et une contraction equivalente dans la direction orthogonale. Equivalente car tout teste dans le plan etI'effet de contraction suivant 1a troisieme direction est quasi nul puisque I'orientation dans le plan est acquise a l'origine, On pourrait dire que Ie coefficient de POiSSOll vaut - 1 pour Ia direction a 45 degres et est nul hors du plan,

011 obtient donc une deformation en « selle de cheval» rnais Iaisant un angle pouvant etre quelconque avec la direction du bilame. Si I'on se. place dans I'axe du bilame, i'effet est de Ia torsion pure, sans ancune flexion. Si maintenant l'angle est quelconque pour la direction pri vilegiee d' orientation initiale, en combinant les effets des figures 10. 1 et 10.5, on parvi ent a engendrer flexion et torsion simultanement dans Ie bilame. On peut, en fait jouer, soit sur la direction du champ initial, soit sur la direction etla valeur du champ applique. Qui plus est, comme tous les nuages electroniques avaicnt lnitialement la rnerne direction, leur rotation en bloc produit des effets plus irnportants que si 1'011 etait parti d'unc couche isotrope. Cette excitation simultanee d'un bilame ell flexion et en torsion, sous l'action d'un seul champ «de commande y> sera utilise par la suite pour le microresonateur (section 10.5) et Ie microscanner 2D (section 10.6). Mentionnons que Ie comportement est different ell dynamique comme explique dans la section 10.5.

(aimants). Cependant, a 10 mT d'hysteresis, on ne pourrait pas parier de materiaux dues a I' echelle habituelle. A I' echelle des microsystemes, par contre, tout change car lesordres de grandeur des champs magnetiques sent eux aussi modifies. Les courbes d'hysterese obtenues en 10.4 et utilisees avec des source de champ se comptant en mT correspondent effectivement il. un materiau de type « dur ».

Contrairernentaux couches isotropes, Ie materiau uniaxial repond differerrunent suivant Ja direction du champ magnetique applique:

- si Ie champ est applique dans Ia merne direction que Ie champ initial, I'orientation u'est pas modifiee et aucun effet rnecanique n'apparait ;

- si Ie champ est applique transversalement (ou direction quelconque) au champ initial, il y a rotation suivant nne direction intermediaire entre la direction initiale des nuages atomiques et celie de ce champ. II s'ensuit nne rotation progressive et une magnetostriction globale.

II s'ensuit que, pour un merne champ applique, la reponse du materiau sera totalement differente suivant I'angle de ce champ avec la direction imposee lors de la fabrication.

-45~

" I' Etat initial au repos

. i

Apri':s imposition d'un fort champ exterieur, rotation de - 45 11 + 45 degres, done effet de" selle de cheval >'> mais it 45 degres

10.3. Approcbe quantitative

Nous venons de passer en revue les diverses possibilites de realisation et d'utilisation du phenomene magnetostrictif en couches minces. NOllS allons maintenant regarder les differents moyens dobtenir un effet plus quantitatif. Disons tout de suite que, si I' on observe effecri vement Ie type de deformations prevues, la predetermination de leur valeur est toujours difficile, Le phenomene, on l'a vu. est complexe et non Iineaire. n depend, de plus, de nombreux choix relarifs au depot de la couche elle-merne, puis du chou de SOll excitation. Aucune approche systematique ne peut Sire proposee,

Pour les approches analytiques, nons renvoyons Ie lecteur au chapitre 5 du meme tome. Ces approches sont souvent les seuls moyens de chiffrer, un rant soit peu, la valeur de la deformation. Mais leurs limites, en particulier quant a l'hypothese de linearite, ne conduisent sou vent qu'a un ordre de grandeur. Tout depend aussi de la complexite de la structure elle-meme,

Seule la methode des elements finis (lV1EF) peut permettre de conduire a une approche plus precise, en particulier pour des structures complexes. En effet, rune

Figure 10.5. Dijonna/ioll obtenue avec couche deposee SOliS champ

284 Micro-actionneurs electromagneriques

Micro-actionneurs magnetostrictifs 285

des difficultes est Ie calcul du champ d'excitation magnetique obtenu. Or, cela est parfaitement maitrise par la MEF, que ce soit pour des structures 20 (planes OlJ axisymetriques) au 3D. De meme, la MEF est parfaitement adaptee au traitement de milieux a comportements non Iineaires, qu' ils soient magnetiques ou mecaniques, Reste alors Ie couplage lui-meme.

- soit tine approche par iterations avec resolutions magnetiques et mecaniques successives, Les grandeurs ne son! alors plus couplees numeriquement. Elles le sont de maniere indirecte Iors des iterations ou des grandeurs liees au couplage, de nature experimentale permettent de trausposer des grandeurs resolues au pas precedant aux valeurs a calculer au pas suivant.

Cependant, l'Impossibilite d'une reponse systematique it tous les types de problemes, de structures et de nature des couches, peut impliquerdes developpements specifiques importanrs, Un autre frein est que la MEF necessite (afin de mener Ie calcul a terme) des donnees tees precises sur les caracteristiques mecaniques et magneto-rnecaniques du rnateriau actif utilise. Or, meme lorsque Ie materiau est disponible, le nombre de ces caracteristiques est important et ne peut pas eire defini aisement de maniere experimeutale. C'est pourquoi des methodes indirectes Oil I'utilisation des donnees ex peri mentales, obtenues a partir du comportement global, doivent etre utilisees. Entin, les incertitudes technologiques, tant en termes diepa.isseur que de composition du materiau introduisent une forte dispersion sur les performances effectives des couches reellement obtenues. 11 en resulte que, tant I'approche analytique que I'approche par la MEF, a priori plus precise, seront principalement utilisees pour chiffrer grossierement et obten i 1'1' ordre de grandeur de la conversion magneto-mecanique.

Hi ; Bi; OJ ; Ej H = Vd·B + He Va = Vd(Bj, OJ)

Hi + 1 ; Bi + 1 ; O"j ; Ej c '" EJ'E + (5"

Ed = Ed(Hj, Gj)

Hi + 1 ; Bi + 1 ; (5j + 1 ; Ej + 1

Era! initial Ho=O ;Bo= 0; 0"0 = 0; f.{l '" 0

Resolution magne.lique

Resolution mecanique

FIgure 10.6. Principe rill traitemeni d'un coup/age fort par iterations et resolutions decouplees successives. A chaque etape, avec les donnees physiques issues de mesures experimeniales, est introduit; de fait, le coup/age des grandeurs

Neanmoins, deux directions se dessinent pour la modellsation, suivant qu'il s'agisse de grandes deformations non lineaires ou de petites deformations dynamiques. Dans ce dernier cas, une linearisation des caracteristiques, autour du point de repos choisi doit etre faite. Une modelisation precise magneto-mecanique couplee, peut alors etee proposee par Ie logiciei ATILA [ATI]. Ce logiciel repose sur un couplage fort, c'est-a-dire des grandeurs magnetiques et mecaniques au sein du materiau intrinsequement et reciproquement dependantes. II traite efficacement des deformations dynamiques lin eari sees. A condition cependant de disposer de toutes les caracteristiques comportementales des materiaux utilises Les structures ultrasonores, presentees dans la quatrieme partie de- ce chapitre, ont beneficie de ce type de caleu!. Notons que la plupart des structures fonctionnant a la resonance utilisent generalement des champs d'exciration d'amplitude relativement limitee (cout de l'alimentation pour les microsystemes) .. L'excitation a la resonance pennet I'amplification des deformations grace au coefficient de qualite mecanique Dans ce cas, les hypotheses de reponse dynamique Iineaire, utilisees pour la modelisation dynamique sout bien adaptees.

Les deux methodes, developpees a partir du logiciel FLUX2D, pennettent de con verger et de donner des resultats corrects en statique non lineaire aux grandes deformations [BEN 95a, BEN 95b, BOD 96, BOD 97a, BOD 97b, BOD 97c, FLUX].

Application it la modelisation de la pompe magnetostrictive

Dans Ie cadre du corurat europeen MAGNIFIT, plusieurs demonstrateurs d'acuonnement magnetostricuf ont ele developpes [MAG 97]. La plupart seront presentes dans la quatrieme partie de ce meme chapitre. L'un de ces demonstrateurs, deveioppe par E. Quandt, est une rnicropompe magnetostrictive excitee par une bobine macroscopique [QUA 97b]. Celle-ci, commercialisee, pennet, a 230 Hz de pomper 290).l.1 as mBar sous uue commande de 1 W.

S'il s'agit, par centre, de graudes deformations, alors, la prise en compte des non linearites est necessaire. n s' agit toujours d'un couplage physique- f011. Numeriquement, deux solutions permetteut de parvenu a des resultats corrects:

- soit une resolution numerique couplee forte ou les iuconnues magnetiques et mecaniques sont couplees et resolues simultanernent ;

Ainsi que 1'011 petit Ie voir sur les figures 10.7 er 10.8 la pompe elle-meme est realisee par les technologies silicium. Elle comprend une cavire et une membrane active dont Ie film est un bilame magnetostrictif, Une excitation magnetique centripere est obtenue par Ia superposition d'une macrobobine avec noyau de fer. Bien que cela n' air pas ete realise, car ne faisant pas I' objet du contrat, Ie calcul montre qu'une microbobine, eventuellement integree, fournirait Ie meme champ magnetique [BOD 96, BOD 97c].

286 Micro-actionneurs electromagnetiques

Micro-actionneurs rnagnetostrictifs 287

10.4. Micremoteurs et mieroactiouneurs magaetostrictifs developpes dans Ie cadre du contrat MAGNIFIT

TbFe (A> 0) Si (Ie = 0) SmFe (A <0)

10.4.1. I ntroduetion

Deformation du Trilame

Dans Ie cadre du projet Brite Euram MAGNlFIT, des micromoteurs et des micro-actionneurs utilisaru des materiaux magnetostrictifs en couches minces ont ele etudies theoriquement er experimerualernent. Ce chapitre presente les demonstrateurs interessants issus de ce projer. Ils rnettenr en evidence quelques avantages uniques de Ia magnetostriction comme, par exemple, une commande a distance, sans contact.

Figure 10.7. Pompe magnetostrictive

I Infini, A ::: 0

1-'· - - - - • - - ••. - - - •• - • - - - - .•• - - - _. - - - - - - - • - - - - - - - .•• - • - • - ••. - - - - • --

OJ II' ~I

4,5mm

Les objectifs du projet MAGNIFIT etaient de developper des couches minces rnagnerostrictives terres- tares/fer presentant de grandes deformations et d' illustrer leur potenriel a l'uide de demonstrateurs. Le role de Cedrat Technologies etait de concevoir er de [ester des micromoteurs originauxen utilisant ces couches minces actives. La magnerosrriction se produit dans la plupart des marenaux ferromagnetiques et conduit a de nombreux effets [B02 51, TRE 93]. En particulier I' effer Joule longi tudi nal est res pons able de l' expansio n Oil de la contraction d' un materiau soumis a un champ magnetique longitudinal, Les materiaux a magnetostriction geante, leis que le Terfenol-D, presentent des deformations rnagneto-el astiques longitudinales statiques de I' ordre de 1 500 a 2 000 ppm et des deformations dynamiques d'environ 2000 ii 4000 ppm [CLAE 91, CLAR 80, VER 89]. lis ant ete utilises dans divers actioaneurs, moteurs au capteurs, et onr conduit 1'1 l'idee de developper de petits moteurs sans fII [CLAE 94, CLAE 97, FUK 91]. Plus recernment, de gran des deformations magneto-elasriques quasistatiques (de 500 a 1 000 ppm) onr egalernenr ete obtenues en couches minces d'alliage terres-rares/fer [QUA 94]. Utilisant certe aptitude, un micro-actionneur urilisanr la torsion d'une couche mince et stable thermiquement a e.te developpe et experimente avec succes avec Ie Laboratoire Louis Neel (LLN, CNRS Grenoble).

Circuit magnetique

O' III

""I ;:>.

"I

FIgure 10.8. Coupe de /JJ pompe magnetostrictive avec /a bobine d'excitation

I ~ di8iiil11

La possibilite de developper des micromoteurs utilisant la magnetosrriction pour produire de larges courses avec une excitation sans fil a ete exploree au travers de I' etude de deux types de rnicromoreurs :

-Ie premier utilise le couplage longitudinal des couches minces. Il s'agit d'un moteur lineaire qui permet de valider l'utilisation des couches minces magnetostrictives et du principe de moteur sans fil ;

- le second utilise le couplage transverse. C'est un moteur rotatif possedant sa pro pre bobine d'excitation, L'aspect innovareur reside dans Ie fait que Ie rotor est actif et sans connexion electrique, C'est une chose impossible a faire avec un moteur piezo-electrique.

! Axe de syrnetrie

127 p~ I-oOti -~:,-~_~~~.~:_-~.,~~:_~' _-:.;-:-:- ~:_:~.:_~-_~~~:";;~~-;- -;,;:-~- ~~~ -:~~.-In:- -===="""""""""'.:~:""'.j

Figure 10,9. Excitation centripete de /a membrane par Ime microbobine [demi-coupe) et deformation correspondante (calcul statique non lineaire par la MEF avec couplage jon)

288 Micro-acrionneurs electromagnetiques

Micro-actionneurs rnagnetostrictifs 289

Ces moteurs appartiennent a la categoric des moreurs a onde srarionnaire (SWUM) parce qu'ils combinent les forces de friction et les vibrations produites par un mode de flexion pour produire un deplacement. Ces types de moteurs ne necessitent qu'une seule phase d'excitation et sont compatibles avec les microtechnologies. Les deux moteurs ont ete realises en utilisant des materiaux deposes en couches minces. lis ont ele concu en utilisant le logiciel elements finis ATILA pour les aspects deformation magnetostrictive et FLUX2D pour I'analyse des problernes magneuques [A TI, FLUX].

10.4.2. Micro-actionneur compense thermiquement

Un micro-acuonneur excite en torsion et intrinsequement compense thenniquement a ete invente par Ie Laboratoire Louis Neel II est constitue d' un film magnetostrictif depose sur un substrat rectangulaire passif, La nouveaute est que ce rectangle est maintenu sur son support par trois bras places aux coins (voir figu re 10.10). Le deplacement utile de. a la magnetostri ction est recupere stir Ie quatrieme coin laisse libre, sans deplacement dii aux effets de dilatation thermique. La difference du type de deformation est due a lanisotropie de la deformation magnetostrictive et a I' isotropic de la deformati on thermique, comme explique en 10.2.1. Les rnodelisations faires a CEDRAT avec ATILA (voir figures 10.11 et 10.12) ant permis de verifier ces deux types de deformation et d'optimiser les dimensions des microbras de liaison, Des prototypes out ete realises sur silicium avec une couche mince magnerostrictive deposee par sputtering. Les mesures faites a l'interferometre laser confirment les resultats de la modelisation.

Figure 10.11, Dfjonnation thennique (le quatrieme point « libre » lie ie dep/ace en fal. pas).

Sa position est doncthermiquement independante

Figure 10.12. Deformation magnetostrictive

10.4.3. Motellr linealre magluftostrictij ii coup/age longitudinal

Ce moteur peut eire considere comme une simple plaque excitee en flexion sur plusieurs longueurs d'onde ("-). De petites dents localisees it des endroits bien specifiques vibrent selon une trajectoire d'arc dellipse. Comme cette vibration est composee d 'une composante horizon tale et d' une compos ante verticale, un deplacement lineaire de corps rigide est obtenu lorsque le moteur est rnis en contact avec un support. La composante normale controle la force de friction et la composante tangentielle controle la vitesse,

Figure 10.10. Mtcro-actionneur COmpel/it thermiquement

290 Micro-actionneurs electromagnetiques

Micro-actionneurs magnetostricrifs 291

Des moteurs a andes stationnaires present ant des performances interessantes et utilisant des couches minces piezo-electriques ont deja ete realises. lis sont excites par un champ electrique applique dans l'epaisseur de la couche mince et utilisent Ie couplage transverse pour generer les vibrations voulues.

Materiau megnetostrictif en couche mince

P~~~~~~n~e__. ~~== I

Dent----~

Les deux champs sont appliques dans Ie sens longitudinal du moteur pour avoir un fonctionnement en couplage longitudinal k" qui correspond au couplage le plus efficace. Palmi d' autres, le prototype urilisant un substrat silici urn (voir figure 10.15) conduit a des resulrats encourageants [CLAE 98J. II mesure 30 mm de long pour 10 mm de large et 10 f-lm d'epaisseur (l00 urn en comptant les dents). Sa masse est d'environ 10 mg .. IJ fonctionne sur Ie mode de flexion en 3A., 3 petites dents sont gravees sur Ie snbsirat. Le frequence de resonance est de 750 Hz, mais le moteur reste silencieux vu la tres faible puissance mecanique generee,

, ,

~ ~

:).)2:",/2:

__ ..

, ,

Figure 10 .. 13. Schema de principe du moteur lineaire

Par comparaison, les principaux points forts du moteur Iineaire magnetostrictif a onde stationnaire (LSWUM) developpe par Cedrat sent :

- controle et excitation a distance et sans fil ;

- excitation magnetostrictive Iongitudinale du mode de flexion.

Figure 10.15. [sWUM sur substrat silicium

Pour exciter Ie mode de flexion, des ban des de film magnetostrictif de Iargeur ,)J2 ont ere deposees to us les Ie sur une lame de silicium (voir figure 10.13). Les bobines de commande du moteur produisent nne champ aJternatif superpose a 110 champ constant de polarisation. Cette polarisation pennet d' obtenir une reponse piezo-magnetique lineaire comme vu en 10.2.3 (autour du point B). Ce mode de foncrionnement optimise Ie couplage et justifie i'urilisation de logiciel MEF A TILA (voir figure 10.14) [BET 97].

Les moteurs ont ete testes en les placant au centre de deux ensembles de bobines de Helmholtz separees de quelques centimetres. Les deux bobines externes generent un champ statique de polarisation de 3,8 mT pour uu courant de I A, et les deux bobines internes produisent un champ d'excitation de 6,6 mT pour I A. Un inrerferornerre laser permet la mesure des vibrations normales du moieur en n'importe quel point (voir figure 10.16).

Figure 10.14. Deformation du [sWUM (resultat A TIl_A)

FIgure 10.16. [sWUM entre les bobines de commande

Le tableau 10.1 presente les principaux resultats experimentaux. Malgre un bon niveau de vibration, Ie moteur 1 n'a pas bouge. Ce dysfouctionnement vient du fait

292 Micro-actionneurs electromagnetiques

Micro-actionneurs magnerostrictifs 293

que Ie substrat est bornbe a cause des contraintes thermiques residuelles Grace II un film magnetostricuf de 4 urn, Ie moteur 2 genere une amplitude nonnale de vibration de 1 um avec seulement 8 kAlm de champ d'excitation. La vitesse lineaire est comprise entre 10 et 20 mm/s sur une course de. 10 mm.

_. -----.-.-~
Materlau Resonence Champ Champ Vltesse Deplacement Vitesse
B H normale normal linealre
-- .. -.-.-.-~
1 788 Hz 27 mT 21 kAhn IOmm/s 2~m No
,-_,
2 775 Hz to mT 8 kAim 5 mm/s 1 ~m 10-20 rnm/s
-------- Tableau 10.1. Resultats experimentaux sur 2 LSWUM silicium

FIgure 10.18. Mode de flexion du rotor

Ces prototypes dernontrent bien Ies possibilites recherchees, rnais il reste quelques limitations. La premiere est que ces moteurs sont a deplacement unidirectionnel. Un moteur a deux directions de deplacement pourrait cependaot etre d€veloppe en utilisant un deuxieme mode de flexion, a une frequence differente, Le second inconvenient est que les champs rnagnerrques de commando doivent etre generes dans un espace relativement grand. Ceci peut eire contourne en uulisant Ie couplage transverse et en generant Ie champ perpendiculairement a la longueur du moteur, en gardant ce demier plat. De cette maniere, un €Iectro-aimant en U avec nn faihJe entrefer pourrait etre utilise. II guiderait egalement Ie moteur. Cette idee a et€ uti I isee dans une versi on rotative du moteur II onde stationnaire et presente au paragraphe suivant.

La principale difference avec Ie moteur lineaire est que Ie disque est excite via un couplage transverse (k31) et non pas longitudinal. Les champs d'exciration et de polarisation sont radiaux et dans Ie plan de la couche (voir figure 10.19).

10.4.4. Moteur rotati] ii coup/age transverse

Le moteur rotatif a onde stationnaire (RSWUM) (voir figure 10.17) est base sur un disque vibrant en mode de flexion (voir figure 10.18). Comme pour Ie moteur Iineaire, de petites dents sont placees judicieusernent le long du diametre exteneur.

Figure 10.19. Champ radial d'excitation (FLUX2D)

Figure 10.17. Structure du RSWUM

Le stator est consume d'une bobine unique enfermee dans un circuit magnetique.

Le rotor aclif est un disque supportant son axe. Des secteurs de couches minces magnetostrictives sonl deposes sur Ie rotor. Ce demier est concu pour fonctionner sur un mode de flexion en 3 A. Le couple genere par Ie rotor pourrait etre transrnis a un engrenage place sur sa circonference. Cette conception al' avantage de posseder un faible nombre de pieces (voir figure 10.20). Un autre avantage est le champ magnetique applique a la couche mince dans un faible entrefer en utilisant Ie couplage transverse. L'mconvenient d'un couplage moins bon est compense par une bobine plus cornpacte et beau coup plus efficace. Finalement,il fau! noter que ce moreur possede un rotor actif sans fil. cette sol uti on 11' est pas app I icable en uti lisan t des materiaux piezo-electriques,

294 Micro-actionneurs electromagnetiques

Micro-actionneurs magnetostrictifs 295

32 kAlIn. La generation de ces niveaux de champ en regime permanent ne produit pas d'echauffement notable de la bobine.

10 20 mm

Le tableau 10.2 donne les resultars obtenus avec un rotor possedant une couche mince active de 4,6 11m d'epaisseur. Les amplitudes normaies de vibration du rotor a vide sont de I'ordre de 4 urn, Lorsque le rotor est place sur Ie stator (une precontrairue normale est appliquee par Ie poids propre du rotor), line vitesse de rotation de 30 tours par minute est mesuree. Le couple bloque est rnesure via I' allongerneru d' un ressort cali bre, Connaissant la raideur et l' allen gemen t du ressort, un couple de 1,6 !-IN.m a ete estirne, Par comparaison, le couple d'un moteur electromagnetique Lave! de montre est de 0,3 IlN.m.

Figure 10 .. 20. Stator (,1 gauche) et roior du RSWUM

Resonance Excitation I Excitation Oe.p lacemen t Vitesse Couple
i normal
2860Hz 20mT I 16kA1m 4 11m 0.5 Iris 1,6.uN.m Tableau 10.2. Resultats experimentaux du RSWUM

Fibrure 10.21. Vue du RSWUM

Ces resultats demontrent, d'un point de vue general, qu'il est possible d'utiJiser le couplage transverse de couches minces magnetostrictives pour fabriquer des micromoteurs. Cet effet peut egalement etre utilise pour des pieces actives en mouvement lineaire ou rotatif sans connexion avec une Ires petite bobine rnagnetique compacte, De meilleures performances pourraient etre obtenues avec des couches minces plus epaisses. Le moteur pourrait aussi etre ameliore pOUl obtenir un moteur il. deux sens de rotation en utilisant deux modes vibratoires differenrs,

Le rotor du demonstrateur de la figure 10.21 est en titane. Ce rnateriau a ete choisi parce qu'il est beaucoup moins fragile que le siiicium et que SOil coefficient de dilatation thermique est proche de celui de Ia couche mince magnetostrictive. Le circuit magnetique est realise dans un materiau presentant de bonnes proprietes en haute frequence. La surface de contact est nn poly mere tel que ceux utilises dans les rnoteurs piezo-elecrriques de Cedrat.Le rotor a une epaisseur de 100 11m avec trois dents de 300 urn de hauteur. Un diametre de 20 mill a ete choisi pom simplifier la realisation et les tests du premier prototype, mais il pourrait etre reduit. L'entrefer est d'environ 2 mm.

10.4.5. Conclusion partielle

Pour les premiers tests, une densite de courant de 6 Ailllm2 a ete appliquee pour generer un champ alternatif de 16 kAllll superpose a un champ de polarisation de

L' objectif de ces travaux etaient d' evaluer la possibilite d'utiliser des films d'alliage magnetostrictif terre rare/fer pour construire des micromoteurs, Pour atteindre cet objectif, il a ett: rnene des etudes theoriques et experimentales sur un acrionneur et deux sortes de moteurs. Un actionneur tres novateur stable thermiquernent a pu eIre realise. Un moteur lineaire a onde stationnaire base sur un couplage longitudinal des couches minces actives et lin moteur rotatif a onde stationnaire utilisant le couplage transverse ont ere construits. Les prototypes ont fonctionne, il a done ete preuve que:

- les films minces d' alliage teITes tares/fer sont assez efficaces ;

296 Micro-actionneurs elecrrornagneriques

Micro-actionneurs magnetostrictifs 297

-les couplage longitudinaux ou transverses peuvent etre utilises pom generer les vibrations utiles en moteurs ;

-Ies concepts de moteurs proposes sont valides et peuvent etre utilises ell microtechnologies pour construire des moteurs cornmandes, a distance, et sans fil.

recherche franco-japonais qui depend du CNRS et de I'universite de Tokyo, dans Ie cadre d'une collaboration avec Ie laboratoire Louis Neel. Les couches minces utilisees ont ete developpees dans Ie cadre du contrat MAGNIFIT [MAG 97]. Le corps de ce resonateur consiste ell un bilame magneto-mecanique, excite simultanement sur les premiers modes de flexion et de torsion, grace a la superposition de deux compos antes du champ magnetique d'excitation, aux frequences de resonance correspondent a ces deux modes. Le bilame est realise grace it un depot par pulverisation sur une poutre en si1icium, d'un alliage TbDyFeCo, qui possede des proprietes de magnetostriction geante [DUC 96].

n y a encore plusieurs voies a explorer pour ameliorer ces moteurs comme par exemple I'utilisation d'aimants permanents pour le champ de polarisation et I'integration des bobines dans le substrat silicium pour obtenir un moteur vrairnent plat et ainsi arriver aux dimensions attendues en microsystemes.

Comme indique en 10.2.4, les materiaux magnetostrictifs uniaxiaux ont un axe de facile aimantation, dont la direction est ell general choisie parl'application d'un champ magnetique durant le depot de la couche et/ou le recuit postdepot, Un seul champ d' exci tation permet alors d' obtenir simultanemen tune excitation dela structure bilame en flexion et en torsion.

Le champ d'anisotropie HA se definit comme le champ necessaire pour faire toumer le moment magnetique de J'axe de facile aimantation vers I'axe de difficile aimantation. Ce champ correspond egalernent ala saturation de la magnetostriction. Pour les appl icanons dynarniques, ou I' on recherche generalement I' exci tation a des resonances mecaniques afin de produire des vibrations significatives, la magnetostriction est caracterisee par un coefficient piezomagnetique, defini par la pente de la caracteristique deformation-champ. Par consequent, non seulement line forte magnetostriction de saturation As' mais aussi un faible champ d'anisotropie HA sont souhaitables pour les applications aux actionneurs dynamiques (voir figure 10.23). Pour les couches de TbDyFeCo utilisees pour construire les premiers prototypes, Ie champ d'anisotropie est de 280 mT alors que Ie champ d'excitation des bilames correspondants n'est que de 7 mT au maximum. Ce champ a ete obtenu au moyen d'une bobine macroscopique (de quelques mm '), Vue la limitation en champ d'excitatiou, la valeur optimaJe du champ HA devrait etre dans ce cas precis de I' ordre de JO mT. Des materiaux it grande con stante piezomagnetique se tradu i sent par une plu s grande efficaci te de I' actionnement, ce qui rev i ent a au tori ser uue reduction du champ d'excitation et par consequent de l'energie consommee.

Le concept de moteur alimente et controle it distance, sans fiJ, pourrait trouver des applications en rnedecine : le moteur serait utilise pour delivrer des medicaments directement a l'iuterieur du corps humain. L'excitation du moteur resrerait a J' exterieur du corps et ne serait utilisee q u' au moment voulu. Les champs dapplication rpour Ie moteur rotatif sont vastes. lis comprennentle micropositionnement de cornposants optiques, les moteurs de montres ou Ies mecanismes de microvalves, de relais Oll d'Interrupteurs electriques,

10.5. Microresonateurs magnetostrictlfs. Cas d'un blmorphe magnetomecanique a base d'une couche mince fortement anisotrope

De maniere simplifiee et independamment de la nature isotrope du bilame, l'excitation de la deformation en statique est Iiee a M/ pour la flexion suivant la longueur y du bilame et it MXMy, PO\][ la torsion. M, et My etant les deux composantes de la magnetisation M globale du material! [BOU 99, GAR 98]. Une expression sirnplifiee de Ia deformation ell flexion (FS> et en torsion (Ts) statique est done, pour un angle e representant l'angle entre M et l'axe x transverse au bilame :

Fs = asin2 B, Ts = asinBcosB

Or, comme indique au paragraphe 10.2.3, de tels materiaux, optimises pour les microactionneurs, ont ete developpes dans le cadre du projet europeen MAGNlFlT [MAG 97]. Ces materiaux consistent en des nano-empilements, alternant des couches a tres forte magnetostriction (TbFe) et des couches d'un materiau doux a tres forte aimantation (CoFe) [QUA 97a, QUA 99]. Les epaisseurs de ces couches sont tres faibles (qq. nm). Ceci donne a l'empilernent les proprietes macroscopiques requises et de facon continue, Le materiau « artificiel » obtenu cumule les avanrages de ses deux constituants. Nous utilisons actueilement ce type de materiaux pour developper line nouvelle generation de scanners optiques pour application automobile qui seront decrits brievement a 1a fill de ce chapitre.

On prendra garde que, sous des champs dexcitation faibies, donc en dynamique, ell regime de petites deformations, c'est la derivee de la deformation qui est a prendre en compte. Par exemple, c 'est autour du point de deformation statique maximal en flexion, que l'excitation ell dynamique en petites deformations n'excitera pas la flexion. Ceci est exploite pour construire une premiere version d'un scanner optique 2D [GAR 00]. Ce travail a ete effectue au LIMMS, laboratoire de

298 Micro-actionueurs electrornagnetiques

-30 0 30

Degres (9)

60

90

Micro-actionneurs magnetostrictifs 299

Outre la particularite de pouvoir produire simultanement des deformations de flexion et de torsion, Ies materiaux uniaxiaux vpossedent une autre propriete rernarquable : celle de pouvoir regler, sur une tres large gamme, la proportion des deformations de flexion et de torsion. En effet, avec ces materiaux, en superposant au champ altematif d' excitation une eomposante continue, qui n' est pas essentielle au bon fonctionnement de l'actionneur, Ie rapport des deformations de flexion el de torsion peut eue modifie de facon spectaculaire, comme Ie montre la figure 10.24.

z

x

Figure 10.22. Allure des de/OmlOtions stauques enflexion et en torsion en fonction de l'angle Oerure la magnetisation M et l'axe x (euu de re/erence Ai suivani x)

16

12 ._. ......... ...- ... .._~

: Torsion

-8 Echantillon :~:

12 0 degr0 H_..; Champ :

.: anis\): tropique ':

He.,e=4mT

-16 I----r----,"---,-~--.--~

o

100 150

Hbias (mT)

200

50

250

Figure 10.24. Reponses dynamiques en flexion et en torsion. Dependance vis-a-vis d'un champ de polarisation perpendiculaire ('I I 'axe de facile aimantation

Ce rapport peut varier pratiquement de zero a I' infiru en faisant varier la composante continue du champ de 0 aHA' Cette variation est due a la rotation de 1'aimantation, dont les cornposantes gouvernent Ies intensites des deformations.

~p

Couche

- magnetostricuve

Faisceau lurnineux-

Par ailleurs, I'application du champ continu s'accompagne aussi d'une variation des frequences de. resonance. C'est I'effet dit "Delta E" ; Ie couplage magnetomecanique engendre une variation du module de Young effectif, qui peut etre estime et se traduit par des variations des frequences de resonance (voir figure 10.25) [BOUOO]. Cet effet peut etre exploite pour realiser des resonateurs a frequence controlee, Ceux-ci constituent une alternative interessante aux solutions plus classiques utilisees dans Ies microsystemes, utilisant les res sorts electrostariques ou I' effet Joule.

Figure 10.23. Serle de cinq bilames magnetostrictifs et deflexion scanner

300 Micro-actionneurs electrornagnetiques

Micro-actionneurs magnetostrictifs 301

-0,6 +---....----....----.,..-----,----

o

50

100

150

200

,.-..-0,2

~ ~

Mode.fkx.ion _lmT --<>- 4mT

-- mode. theorique

Figure 10 .. 25. Elfet Delta E : dependance de to frequence de resonance du bimorphe magneto-mecanique avec l'intensite d'un champ de polarisation continu

Figure 10.26, Scanner 2D a large miroir et actionnement magnetostrictif

10.6, Application a un scanner optique 2D

La figure 10.26 montre la structure finale, mise sur un support afin de permettre les connexious electriques et le mouvement. On notera que les connexions electriques ne sont pas liees a l'excitation qui se fait par un champ a distance de l'ordre de 5 a to mT, sans aucune connexiou. Les connexions electriques sont necessaires car, integrees au scanner, des detecteurs selectifs de la flexion et de la torsion ont ere realises par implantation de piezo-resistances en pont.

Grace au principe expose dans le paragraphe ci-dessus, un scanner 2D pour application industrielle aete developpe. n s'agit d'une recherche conduite au UMMS (Fujita-lab), en collaboration avec NISSAN afin de realiser Ie composant de base pour la detection dobstacle en avant des vehicules [BOD 01]. Cet element de base doit etre un miroir de larges dimensions, assurant Ie balayage d' un Iaisceau de lumiere en deux dimensions. Comme il s'agit, a ce jour, de la toute derniere application des couches minces magnetos tric ti ves, nous I' a vons incluse dans ce chapitre mills sans la developper.

Les figures LO.27 et 10.28 montrent deux formes de fenetres de balayage obtenues avec Ie meme scanner. On peut, en effet, modifier la repouse de la structure tout en restant a l' optim um des frequences de resonance en flexion et en torsion. Ceci peut se faire en ajoutant une composante continue au champ magnetique d'excitation. II suffira, par exemple dapprocher un aimant pour modifier la direction d' orientation initi al ement obtenue, lors du depot et/ou recui t. On ponna se reporter aux parties 10.2.4 et 10.5 qui expLiquent en detail les raisons pour lesquelles, l'importance relative de la flexion et de la torsion depend de cet angle initial.

Les materiaux sont des multinanocouches (voir paragraphe 10.2.3) d'epaisseur totale importante (plusieurs rnicrometres) deposees et recuites sons champ magnetique par A. Ludwig et E. Quandt au CAESAR, centre de recherche allemand situea Bonn.

Le scanner est donc compose d'un large miroir de surface superieure a 50 mm' (0,5 ern') qui entre en resonance mills ne se defonne pas .. Ce rniroir est relic au cadre par un bilame magnetostrictif suffisamment solide pour supporter Ie poids du rniroir mais suffisamment souple pour se deformer en flexion et en torsion sous I'action d'un champ magnetique. Cette deformation est expliquee ell detail en 10.5. Comme it s' agit d' un materiau magnetostrictif uniaxial donc pre-oriente sous champ magnetique, la reponse se fait par rotation de la magnetisation,par rapport a cette position initiale, qui est ici choisle a 22° par rapport a la direction transverse de l'axe de la structure. Cette reponse dynamique petits signaux est, de ce fait, a la meme frequence que Ie champ magnetique d'excitation (pas de phenomene de doublement de frequence comme explique au paragraphe 10.3.2). Afin d'exciter les deux modes en flexion et en torsion a leurs frequences de resonance mecaniques respectives, l'alimentation electrique est la superposition de deux signaux a chacune des frequences,

L'utilisation de ces couches qui repondent SOlIS I'action d'un champ magnetique ~LOH inferieur a 10 mT permet dexciter la structure par nne simple bobine a air comme montre sur la figure 10.29. Cette alimentation n'est cepeudant pas optimisee et la faible valeur de I "induction requise permettrait de resoudre plus efficacement la question soit par l'utilisation d'un petit electro-airnant, soit par I'utilisation de microbobines, Cela reste un choix pour l'lndustriel, choix assez independent du principe du scanner Iui-meme.

302 Micro-acticnneurs electromagnetiques

Micro-actionneurs magnetostrictifs 303

Figure 10.30. Exemple de microbobines epaisses en cuivre et du. masque correspondant montrant deux microbobines enroulees en sens contraire

Figure 10 .. 27. Fenetre de balayage 2D obtenue

I ¥att~riall magnetostrictif

i ,; i i ii f fi t t

I I

. .

FIgure 10.31. Principe de l'excitation par deux microbobines gintrant tin champ en opposition

10.7. Principe d'UD bistable magnetostrictif

Flgure 10.28. Modification de la [enetre de balayage par l'ajout d'une composante continue Gil champ magnetique d'excitation

Nous avons vu en 10.2.4 que les couches magnetostricrives se comportent, aux niveaux d'induction de la dizaine de mT, comme des materiaux durs. lis presement effectivement Ull effet hysteretique prononce, done de memoire (voir figure lOA). Mais eet effet bistable est seulernent magnetique, ainsi que I'illusrre la figure 10.32, car la deformation du bilame correspondant est la merne, quel que soit Ie sens de I'aimantatiou, puisque I' on Teste suivant la direction privilegiee du materiau (celle du champ magnetique lors du depot et du recuit),

Le principe de I'obtention d'une bistabilite mecanique est simple. II suffit de combiner cette bistabilite magnetique avec le champ permanent d'un aimant (voir figure 10.33). La superposition d'un tel champ, par exernple a 90 degres de la direction privilegiee permet d' obtenir deux directions symetriques de I' aimantation par rapport 11 la direction du champ de I'aimant, L'aimaruation resultante gJobale presente toujours une bistabilite mais maintenant suivant deux directions, a priori quelconques, par rapport a I' axe de facile aimantation. 11 s' en suit deux deformations stables differentes d'ou Ie principe de la bistabilite mecanique d'origine magnetostrictive [LEP 01]. Pour commuter de l'une 11 l'autre de ces deux positions

Figure 10.29. Bobine d'excitation

304 Micro-actionneurs electrornagnetiqucs

Micro-actionneurs magnetostrictifs 305

stables, i I suffit d' appliq uer une i mpu Ision rnagnetique suffisante (de I' ordre de 10 mT, voir figure 10.4).

qui peut alors etre obtenu avec des circuits electromagnetiques classiques ou avec des microbobines integrees. Le champ des possibles est done tres grand.

Axe priviJegie /

I /)

Axe privilegie./

I /'

Cela a de illustre sur divers exemples concrets developpes au niveau recherche

mai s aussi i ndustriel s et mon trant bien I' eventai 1, non exhausti f, des possibi lites :

-I'application a la fluidique, avec la realisation d'une micropompe :

-Ia realisation d'un actionneur thenniquement independent ;

- I' application a la mecanique avec la realisation de micrornoteurs ultrasonores

lineaires ou rotatifs :

- la conception d'un resonateur excitant deux modes simultanement ;

- I' application a I' optique avec la reali sation d' un scanner 20 :

- la possibilite de realiser un bistable magnetostrictif,

./

Figure 10,32. Bistabiliui magnetique irurinseque mais deformation idemique

i j" Pri:':l

B almanl'

./

Ces differentes applications illustrent bien les nornbreux avantages de la rnagnetostriction, Ce mode d'actionnement offre de grandes potentialites, II constitue une alternative tres prometteuse aux autres modes dactionnement pouvant etre utilises en rnicrotechnologie pour les micro-actionneurs,

Figure 1033. L'ajout d'un aimant transforme fa bistabilite magnetique ell bistabilite magnetique et mecanique

10.9. Bibliographie

Les progres constants des rnateriaux magnetostrictifs en couches minces avec, en particulier le developpement des rnulticouches, pennet aujourd'hui de disposer de couches epaisses, all ant jusqu' a plusieurs dizaines de microns et repondant sous une excitation magnetique faible.unferieure a 10 mT. L'utilisation, presque toujoursa la resonance permet des amplitudes de deformations irnportantes, voire Ie cumul de deplacernents elementaires (moteurs ultrasonores). Ces caracteristiques sont essentielles, au niveau pratique, pour permettre de realiser des structures performantes. La source du champ d' exci tation, elle-meme, peut etre variee, avec possi bili t6 d' actionnement, soit a distance sans fil, soi t par actionnemen ts proches,

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10.8. Conclusion

Nons avons expose, au cours de ce chapitre, les principes de base permettant l' utili sat jon de la magnetostriction pour les microsystemes, Plusieurs parametres permetten t d' obten i r des natures de reponses tres differentes, N ous avons developpe les diverses approches pennettant d'estimerles deformations resultantes, tout en soulignant la complexite de ces structures qui reposent souvent sur la resonance de materiaux presentant un couplage fort magneto-rnecanique qui, de plus, est totalement non lineaire,

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