Enseignement de Spectroscopie de photoelectrons Responsable : Eugnie MARTINEZ - Chercheur-Ingnieur au LETI

Les techniques de spectroscopies de photolectrons X (XPS) et UV (UPS) consistent en la mesure du spectre en nergie cintique des lectrons mis par un chantillon sous irradiation par un faisceau de photons X ou UV. Les photo-lectrons analyss proviennent dune profondeur maximale de 10 nm, ce qui confre la technique une grande sensibilit la surface de lchantillon. Elle est utilise en routine en laboratoire comme en salle blanche pour dterminer la composition chimique des matriaux analyss.
Spectromtre

La sance de TP dmarre par une brve prsentation de linstrumentation associe cette technique et du spectromtre ddi aux analyses XPS. Le TP porte sur lutilisation de cet quipement pour lanalyse de 3 chantillons afin dillustrer les points suivants : - importance de la prparation de surface (nettoyage par abrasion) - identification chimique des lments prsents en surface et quantification - Optimisation des conditions danalyse - Dplacement chimique des niveaux de coeur

photo-e-

<10 nm
chantillon

100-800 m

Contenu de lenseignement Cet enseignement se compose dun cours suivi dune sance de TP. Le cours a pour objectif dintroduire succinctement le principe de la technique de photomission. Il permet ensuite dapprofondir les points suivants : - Identification des tats des liaisons chimiques partir des dplacements en nergie des raies observes - Aspects quantitatifs permettant de relier lintensit des raies mesures aux concentrations relatives des lments prsents en surface - Mesure de lpaisseur des couches - Spectroscopie en dtection angulaire variable - Utilisation de la photomission pour des applications en nanolectronique

Rpartition des enseignements : Cours, Cours-TD, TD et TP Cours : 1h30 TP = 4 sances de 4h par groupes de 3 ou 4 tudiants

Le cours se droule dans les locaux de lINSTN du CEA Grenoble. Les TP ont lieu la PlateForme NanoCaractrisation (PFNC) du LETI, Minatec.