Tcnicas de Vaco

Marvyn Inga Caqui Facultad de Ciencias, Universidad Nacional de Ingeniera E-mail marvyn_16@hotmail.com

Resumen
En el siguiente informe se expone algunas de las tcnicas de vaco, en especial el vaco obtenido artificialmente al evacuar un recipiente (una cmara) mediante un sistema de bombas. Dado que la microscopa electrnica requiere del uso de vaco tanto en los microscopios electrnicos como en los instrumentos de preparacin del material a ser observado, es importante conocer algunos conceptos bsicos sobre el tema. A continuacin se describe las unidades y rdenes de magnitud de la presin, as tambin hacemos una pequea descripcin de las bombas de vaco, de las bombas mecnicas, y una pequea clasificacin segn la geometra del sistema compresor.

I. Introduccin
La Microscopa Electrnica requiere del uso de vaco tanto en los microscopios electrnicos como en los instrumentos de preparacin del material a ser observado. Es importante por lo tanto conocer algunos conceptos bsicos sobre el tema. Si se tiene un gas encerrado en un volumen, a temperatura constante, las molculas gaseosas ejercen una presin como consecuencia de los choques entre ellas y las paredes de la cmara, que las contiene, la velocidad con que se mueven es proporcional a la temperatura del ambiente que las encierra. A medida que se van sacando molculas gaseosas de la cmara la presin va disminuyendo (a temperatura constante); es decir, que la presin es funcin de la densidad de partculas. Tambin a medida que disminuye la densidad de partculas, aumenta el camino libre medio, que es el camino recorrido por una partcula entre dos choques sucesivos. Las tcnicas de vaco se han desarrollado con el objeto de disminuir al mximo la densidad de partculas gaseosas en un sistema cerrado ( cmara).

B. Presin, unidades y rdenes de magnitud. La presin ( ) que una fuerza ejerce sobre una superficie se define como la razn: (1) Donde es la componente de la fuerza perpendicular a la superficie y es el rea de la superficie. Las paredes de un recipiente que contiene un lquido o un gas (un fluido) en reposo, as como las superficies de cualquier cuerpo sumergido en un fluido, experimentan una presin llamada presin hidrosttica. En los lquidos la fuerza que origina la presin hidrosttica es el peso de los lquidos y en los gases es una consecuencia del cambio de momento que experimentan las molculas al chocar con la superficie de los cuerpos. La unidad de presin en el sistema internacional (SI) es el Pascal (Pa) Una buena referencia para comprender las definiciones de las unidades de presin y los rdenes de magnitud en sistemas de vaco es la presin que el aire que rodea a la tierra ejerce sobre la superficie de los cuerpos sobre ella. La presin atmosfrica a 273K a nivel del mar es 101.3kPa, es 5 decir, aproximadamente, 10 Pa. Un mltiplo importante del pascal es, entonces, el bar (1bar = 5 10 Pa). La presin atmosfrica fue medida por primera vez por Evangelista Torricelli, en 1643, usando un instrumento llamado barmetro, el cual est basado en el resultado de que la diferencia de presin hidrosttica ( ) entre dos puntos dentro de un lquido est dada por: (2) Donde es la densidad del lquido usado, generalmente mercurio, es la aceleracin de la gravedad en el punto de la tierra donde se hace el experimento y es la diferencia de altura. Se

II. Fundamento Terico

A. Definicin.
La Fsica del alto vaco es en realidad la Fsica de los gases a bajas presiones. En efecto, en 1958, la American Vacuum Society, defini vaco como un determinado espacio lleno con gas a presiones menores que la presin atmosfrica. Naturalmente, cualquier regin del espacio a unos kilmetros por encima de la superficie terrestre puede considerarse un sistema de vaco. Sin embargo, en esta prctica nos interesa el vaco obtenido artificialmente al evacuar un recipiente (una cmara) mediante un sistema de bombas.

demostr experimentalmente que la presin atmosfrica es equivalente a la presin que ejerce una columna de mercurio de 760mm de altura. La presin correspondiente a una diferencia de altura de 1mm de Hg constituye una unidad de presin, ms bien histrica, denominada Torr. A continuacin se muestra la relacin entre las diferentes unidades de presin: 5 1 atmsfera = 1.013 x 10 Pa 5 1bar = 10 Pa 1atmsfera 1bar = 1000mbar 1atmsfera = 760Torr 1mbar 0.76Torr 1Torr = 131Pa 1mbar = 100Pa Cuando decimos alto vaco nos referimos a sistemas -5 -7 cuya presin est en el orden de 10 a 10 mbar, es -3 -5 decir, de 10 a 10 Pa. Tambin puede decirse, sistemas de alto vaco son aquellos con valores de -8 -10 presin entre 10 y 10 veces el valor de la presin atmosfrica. De los sistemas a presiones menores -8 que 10 mbar se dice que son sistemas de ultra alto vaco, y podemos decir de los sistemas a presiones -4 mayores que 10 mbar, sistemas de vaco pobre. C. Camino libre medio. El camino libre medio () es la longitud que en promedio recorre una molcula entre dos choques sucesivos. Este es un parmetro importante en el diseo de sistemas tales como aceleradores de partculas o sistemas de deposicin de pelculas delgadas donde se necesita que partculas microscpicas tales como electrones, iones o molculas viajen distancias considerables con una cantidad mnima de obstculos. Para hacer una estimacin del valor de podemos suponer que las molculas son esfricas de dimetro d. Dos molculas chocarn si el centro de una molcula se aproxima una distancia menor que d de la otra. Para simplificar el clculo podemos suponer que una molcula tiene dimetro 2d y que todas las otras molculas tienen dimetro despreciable (partculas puntuales). Si es el camino libre medio podemos decir que en promedio, en el volumen , hay encerrada una partcula, es decir: ( ) (3) o, usando la ley universal de los gases ideales: ( ) (4)

Donde resultar en metros si P se expresa en Pascales. 5 As, a la presin atmosfrica (P = 1bar = 10 Pa), una molcula recorre en promedio una distancia antes de experimentar un choque con otra -3 molcula. En un vaco pobre (P = 10 mbar = 0.1Pa), -6 -4 recorre = 5.3cm. En alto vaco (P=10 mbar=10 Pa), -9 recorre = 53m; y en ultra alto vaco (P = 10 mbar = -7 10 Pa), = 53km. Considerando una velocidad cuadrtica media vrms=500m/s, podemos estimar que a la presin atmosfrica una molcula experimenta un choque -10 -6 cada 10 s y en alto vaco (10 mbar) una molcula experimenta un choque cada 0.1 segundo. A continuacin se dan algunos ejemplos del camino libre medio (cm. mbar) para diferentes sustancias: -3 He: 18,00x10 -3 O2: 6,50x10 -3 H2O: 3,95x10 -3 Etanol: 2,10x10 -3 H2: 12,00x10 -3 N2: 6,10x10 3 CO2: 3,95x10-3 Aire: 6,67x10 D. Bombas de vacio En un sistema de alto vaco, el elemento fundamental son las bombas de vaco, mquinas que reducen la presin de un recipiente cerrado, es decir, evacuan una cmara. Los principios bsicos para el funcionamiento de las bombas de vaco son dos: Transferencia de gas del interior al exterior de la cmara. Adherencia de molculas de gas a una superficie slida dentro de la cmara. Las bombas mecnicas, bombas de difusin y turbomoleculares se basan en el principio de transferencia de gas. Ejemplos de bombas que se basan en la captura de las molculas por una superficie son las bombas criognicas y las bombas de adsorcin. Aqu slo describiremos los principios bsicos de funcionamiento de las bombas comnmente usadas en procesos de produccin de materiales, que son precisamente las que funcionan por transporte de gas. Entre las bombas que funcionan por transferencia de gas es importante distinguir entre las bombas mecnicas que funcionan en el rgimen viscoso 5 (presiones entre 100 y 10 Pa) y las bombas de difusin y turbomoleculares que trabajan en el rgimen molecular (P < 100Pa). Las bombas de difusin y turbomoleculares siempre trabajan en serie con una bomba mecnica. E. Bombas mecnicas. El principio de las bombas mecnicas consiste en aislar una cantidad de gas de un recipiente, comprimirlo y trasladarlo al exterior. Existen varios

A temperatura ambiente (300K) y considerando que d es aproximadamente 5 podemos estimar la trayectoria libre media usando la siguiente frmula: (5)

tipos de bombas mecnicas, segn la geometra del sistema compresor: de paletas rotatorias, de pistn rotatorio y las llamadas bombas de races. Discutiremos aqu slo las bombas de paletas rotatorias. Bombas de paletas rotatorias. La FIG.N1 muestra el esquema de una bomba de paletas rotatorias. Consiste de dos cilindros excntricos. El externo o estator, que es hueco, y el interno o rotor. A lo largo dimetro del rotor hay una ranura en la cual se han insertado dos paletas radiales separadas en el centro por un resorte. La cavidad del cilindro estator est conectado por una abertura a la cmara de vaco (entrada) y por otra abertura al ambiente externo (salida). Las aberturas de entrada y salida estn a uno y otro lado de la lnea de contacto entre estator y rotor separados por una pequea distancia angular. El funcionamiento de este tipo de bombas puede entenderse con ayuda de la FIG.N2 Cuando la paleta A pasa por la abertura de entrada la cmara de vaco entra en contacto con el espacio entre rotor y estator (FIG.N2a). El volumen de este espacio aumenta cuando la paleta contina su barrido produciendo as una disminucin en la presin de la cmara. Esto contina hasta que la paleta B pasa por la abertura de entrada, instante en el cual una porcin de gas queda aislada en el espacio entre rotor, estator y paletas (FIG.N2b). Puesto que el barrido continua, el gas aislado se comprime (FIG.N2c) y es expulsado cuando la paleta B llega a la abertura de salida (FIG.N2d). La velocidad angular del rotor es usualmente entre 400 y 1500rpm y la temperatura del sistema en funcionamiento normal es entre 60 y 80C. Las caractersticas ms importantes de las bombas son dos: (i) la presin ltima o presin mnima obtenida cuando la bomba slo se evacua a s misma (ii) la velocidad de bombeo. Para mejorar estas caractersticas algunas veces se usan bombas de paletas rotatorias de dos etapas.

FIG.N2. Funcionamiento de una bomba mecnica de

paletas rotatorias

Bombas de difusin. Las bombas de difusin siempre funcionan entre la cmara a evacuar y una bomba mecnica. Cuando una bomba mecnica ha evacuado la cmara y la bomba de difusin hasta una presin de 100Pa o menos puede ponerse en funcionamiento la bomba -8 de difusin para obtener presiones de hasta 10 Pa. El principio de las bombas de difusin es la compresin de un gas por transferencia de momento en una direccin determinada desde un chorro de vapor. La FIG.N3 muestra la seccin transversal de una bomba de difusin. En el fondo, un lquido de baja presin de vapor (mercurio o aceite) es calentado. Un chorro de ese vapor sube por la chimenea y regresa al chocar en el techo de sta y en las paredes de las boquillas. Los chorros reflejados arrastran las molculas de gas a baja presin que se encuentran alrededor de la chimenea. El vapor, de aceite o mercurio, se condensa en las paredes refrigeradas de la bomba y regresa al fondo de la bomba, mientras que las molculas de gas comprimidas salen a travs de la bomba mecnica.

FIG.N1 Esquema de una bomba de paletas rotatorias.

FIG.N3. Seccin transversal de una bomba de difusin

El gas residual de la cmara por encima del techo de la chimenea reduce su presin porque sus molculas entran por difusin a la regin donde acta el chorro de vapor. Las bombas de difusin funcionan comprimiendo -8 gases a presiones del orden de 10 Pa a presiones del orden de 100Pa. Por esta razn las bombas de difusin siempre funcionan en serie con una bomba mecnica. La accin de bombeo cesa a presiones mayores de 100Pa porque el chorro de vapor reflejado ya no se extiende hasta la pared sino que termina en un frente de choque cerca al chorro principal. Usualmente, la presin obtenida por la bomba mecnica que respalda a la bomba de difusin es del orden de 25 a 75Pa. Las bombas de difusin modernas tienen varias etapas de compresin usualmente 3 a 5 para bombas pequeas y hasta 7 para bombas grandes. La bomba de difusin mostrada en el esquema de la FIG.N3 es de tres etapas. Cada etapa comprime el gas a presiones sucesivamente ms altas que la precedente hasta llegar a la salida donde el gas comienza a ser evacuado por la bomba mecnica. Bombas termomoleculares. Una turbina es una rueda con paletas en su periferia especialmente diseadas para diferentes aplicaciones. En la tecnologa de mquinas trmicas las turbinas se usan para transformar la cantidad de movimiento de las molculas de un fluido que chocan con las paletas en movimiento del eje de la turbina. Por el contrario, en una bomba turbomolecular el eje de la turbina es impulsada por un motor elctrico (generalmente trifsico) a velocidades angulares de 30000rev/min, y las paletas estn especialmente diseadas para transferir cantidad de movimiento a las molculas de un gas, empujndolas siempre en una direccin determinada, logrando de este modo la compresin de una porcin de gas. La FIG.N5 es la seccin transversal de una tpica bomba turbomolecular (Turbovac 151 de Leybold) y la FIG.N4 es la fotografa de una turbina tpica de una bomba turbomolecular.

FIG.N5.

Seccin turbomolecular.

transversal

de

una

bomba

La funcin que cumplen las bombas turbomoleculares es la misma que las bombas de difusin, es decir, colocadas en serie entre la cmara a evacuar y la bomba mecnica de prevaco deben transportar molculas del gas residual desde la cmara hasta la bomba mecnica. Mientras que en las bombas de difusin las molculas del gas residual son arrastradas por un chorro de vapor de aceite, en las bombas turbomoleculares son arrastradas por las paletas de una turbina, obtenindose por lo tanto la ventaja de un vaco ms limpio. En las bombas de difusin es imposible evitar que algunas pequeas cantidades de gases tales como CO2, CO, y algunos hidrocarburos provenientes de la descomposicin del aceite entren en la cmara. La velocidad de bombeo y valores de presin ltima para las bombas turbomoleculares son similares a los de las bombas de difusin.

III. Bibliografa.
[1]. Introduccin a la microscopa electrnica. Caribay Urbina y Pedro Rodrguez. Centro de Microscopa Electrnica, Escuela de Biologa, Facultad de Ciencias de la Universidad Central de Venezuela. [2]. Tecnologa de alto vaco, herramienta bsica para el desarrollo industrial. Arturo Talledo. Editado por la asamblea nacional de rectores en el 2004.

FIG.N4.

Fotografa del rotor turbomolecular: serie de turbinas.

de

una

bomba