UNION DES PROFESSEURS DE PHYSIQUE ET DE CHIMIE

Modlisation dun acclromtre MEMS

Applications :dclenchementdunairbagetautres
par Bruno VELAY Dpartement Mesures physiques Institut universitaire de technologie (IUT) - 44600 Saint-Nazaire
bruno.velay@univ-nantes.fr

RSUM Le sujet (1) de physique-chimie de la session 2009 du baccalaurat srie S proposait dexplorer le rapport entre airbag et condensateur de faon originale, en limitant videmment cette tude des considrations trs simplificatrices contraintes par le programme de cette classe. Lobjet de cet article est de proposer au niveau bac+2 une tude lmentaire, mais nanmoins plus dtaille du fonctionnement dun acclromtre MEMS (pour Micro-Electro-Mechanical-System ) du type de ceux utiliss pour le dclenchement dun airbag, tant du point de vue du capteur proprement dit que du conditionnement du signal de mesure. Des pistes documentaires sur lutilisation de ces composants seront aussi proposes, en particulier pour la scurit automobile. 1. SYSTME DE PROTECTION DES OCCUPANTS DUNE AUTOMOBILE 1.1. Choc par lavant Une vido de visualisation dun choc par lavant, disponible sur le site Internet dun grand quipementier [1], sinterprte en considrant que lnergie cintique du vhicule doit tre vacue en chaleur par le systme de freinage (par frottement) ou par la dformation de la carrosserie. Une tude simple des forces mises en jeu [2] montre que la distance darrt (dformation du vhicule + allongement de la ceinture) conditionne les efforts sur les personnes. Consquences concrtes : la gestion fine de la tension de la ceinture de scurit permet de diminuer les forces sur les personnes et donc les consquences traumatiques pour celles-ci ; les corps des personnes ont aussi de lnergie cintique dissiper : malgr le freinage par la ceinture, il y a mouvement rapide de la partie suprieure des personnes vers lavant avec un risque majeur de choc [4]. Pour cela, un systme centralis regroupant de multiples capteurs, gr par une unit
(1) NDLR :Voir le texte de ce sujet [B].

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de contrle dairbags (face, coude, genoux) dcide en moins de 5 ms (typiquement) sil est ncessaire dagir en gonflant les airbags et/ou pr-tendant les ceintures de scurit. Ces actions de pr-tension ou de gonflage ont lieu en 50 ms, soit la dure de deux clignements dyeux

Figure 1 : Dclenchement dun airbag et pr-tension des ceintures de scurit (Source BOSCH) [13].

Remarques : une premire approche trs simple de ce fonctionnement est propose dans la fiche du CEA-LETI [3] ; une animation et des informations prcises sur la pr-tension sont disponibles sur le site dun autre quipementier spcialis [14] ; le BUPPC propose une tude dtaille de la mcanique des mouvements/vitesse/acclration du conducteur lors de lusage dun airbag [4] ainsi quune approche de la chimie de lairbag [5]. 1.2. Condition de dclenchement de lairbag Dans un vhicule rcent, un systme centralis regroupe de multiples capteurs, gr par une unit de contrle dairbag (ACU pour Airbag control unit ). Cette ACU est un des lments de ce que lon appelle le calculateur de bord . Les capteurs daccident fournissant les informations dcisives pour la dcision de raction sont des acclromtres ou des capteurs de pression. Par exemple, une solution industrielle propose actuellement par lquipementier BoSCh (2) [1] est organise avec la rpartition suivante (cf. figure 2, page ci-contre).
(2) La production annuelle en capteurs MEMS du groupe BoSCh est actuellement de lordre de cent millions dunits. Un acclromtre typique est SMB460 [1].

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Figure 2 : Schma dimplantation dun systme de scurit : 1 : unit de contrle dairbag ACU - 2 et 3 : acclromtres (chocs frontaux ou latraux) 4 : capteurs de pression pour la dformation des portires (Source BOSCH) [1].

Les capteurs priphriques internes sont placs sur la carte de lACU : Capteur Acclration forte (high-g : a > 20 g) Plausibilit du crash Grandeurs mesures Acclrations deux axes (longitudinale et latrale) Acclration longitudinale : redondance pour confirmation de situation de crash Acclrations deux axes (longitudinale et verticale) : rotation lente type drapage / tte queue Gamme 100 g 100 g Type MEMS MEMS

Acclration faible (low-g : a < 20 g) Taux de rotation (Roll Rate)

5g

MEMS

Suivi de la variation de la vitesse angulaire autour de laxe de la voiture : situa- 240 degr/s MEMS tion de tonneaux
Tableau 1

Remarque : g = 9,8 m $ s
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est lacclration de la pesanteur.

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Les capteurs priphriques externes lACU sont dports lavant du vhicule (acclromtres destins la dtection de la dformation de la structure en choc frontal) ou dans les portes latrales (acclromtres et capteurs de pression destins la dtection de chocs latraux). Capteur Grandeurs mesures Gamme 100 g Type MEMS

Acclration longitudinale : UPS UpFrontSensor Acclration pour mesurer lacclration de dformation du chssis avant
Tableau 2

Les acclromtres sont mutualiss avec dautres systmes lectroniques du vhicule. Leurs mesures peuvent tre, par exemple, utilises pour la gestion du freinage ABS, la correction de trajectoire ESP 2. ACCLROMTRE MEMS DE LA SRIE ADXL Cet article ne saurait traiter des MEMS (pour Micro-Electro-Mechanical-System) de faon gnrale et approfondie ; il ne traite ni leur diversit de technologie et dusage, ni leur histoire et leur dveloppement. Le lecteur trouvera sur ce site remarquable [12] des informations plus compltes. La bibliographie propose aussi quelques lectures complmentaires, en particulier [L1] et [L2]. Cette courte synthse introductive prsente les capteurs MEMS [18]. Mon choix sest port sur cette srie dacclromtres ADXL par le fait que les feuilles de donnes disponibles sur le site du constructeur Analog Devices [8] sont suffisamment dveloppes et explicites pour pouvoir proposer un modle dtaill convenable. Rappelons que la majorit des livres disponibles, mme spcialiss, ne proposent le plus souvent que des explications de principe et peu de considrations concrtes. Cette famille de composants est en constante volution : pour prparer un achat, consulter les tableaux de la page iMEMS [8] ainsi que [15]. Le principe de fonctionnement des capteurs disponibles ne saurait tre loign de celui qui est prsent dans cet article. Pour mmoire, Analog Devices est le principal fournisseur de capteurs inertiels en technologie MEMS pour lindustrie automobile, soit cinq cents millions de pices en quinze ans (3) [16].
(3) Analog Devices et Infineon Technologies ont annonc fin juin 2009 une collaboration pousse pour la mise au point de la nouvelle gnration de systmes pour airbag. Infineon a fourni six cents millions de composants pour airbag ces derniers quinze ans. Analog Devices apporte sa technologie des capteurs MEMS. Infineon contribuera au reste du composant (interface capteur / microcontrleur / gestion de lalimentation conome / contrle du rseau interne). Une dure typique de dveloppement pour ce genre de produit est typiquement de deux ans. Cette plateforme collaborative a pour objet de rduire celle-ci six mois seulement.

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2.1. Miniaturisation des capteurs et richesse fonctionnelle Les premiers acclromtres (1980) occupaient une carte denviron 50 cm2. Ds 1995 la partie active dun ADXL50 (acclromtre originel pour les applications dairbag) tait rduite un carr de 16 mm2. Le composant sur lequel est base cette tude date de 2006 et occupe seulement 3 mm2, comme les composants plus rcents. on dispose maintenant de capteurs capables de mesurer une, deux ou trois composantes de lacclration linaire, mais aussi une, deux, trois composantes de lacclration angulaire.

Figure 3 : Capteur de la srie ADXL [8].

Selon leur tendue de mesures, ils sont qualifis de Low-g pour des acclrations infrieures vingt fois lacclration de la pesanteur et de high-g au-del. ADXL103 (low-g) et ADXL78 (high-g) sont des reprsentants significatifs de cette srie. Suivant la tendance actuelle, lautre srie ADIS exploite des systmes tout numriques programmables plus sophistiqus, incluant du traitement et du contrle, de linterfaage, des auto-tests, la gestion de la consommation, etc. (4) En suivant la terminologie technologique, on peut considrer ces capteurs comme intelligents . Dans la srie ADXL, le capteur MEMS proprement dit et son lectronique de conditionnement sont intgrs dans le mme composant selon la pratique usuelle.

Figure 4 : Photographies de deux acclromtres : le capteur MEMS est dans la zone centrale. ADXL202 Low-g deux axes ( gauche) et ADXL78 high-g un axe ( droite) Copyright Analog Devices, Inc. All rights reserved.
(4) ADIS16300 ou ADIS355 sont des reprsentants significatifs de cette srie iSENSoR. Ils mesurent les six composantes dacclration [8]. Ce dernier est Gold Level Winner du concours international Best of sensors expo2008 . National Instruments distribue des drivers LABVIEW pour exploiter ces capteurs sur sa NI Developer Zone .

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2.2. Ralisation du capteur Concrtement, le capteur est ralis la surface dune tranche de silicium ( wafer ) laide de techniques spcifiques, tels la photolithographie et le micro-usinage de couches minces. Aprs ralisation, on observe par microscopie lectronique que la surface du composant prsente des micro-structures en silicium telles des micro-poutres, des microlamelles, etc. Les dimensions typiques des lments de ces structures sont de 1 100 mm.

Figure 5 : Vue gnrale du capteur MEMS dun acclromtre ADXL50 high-g un axe. Copyright Analog Devices, Inc. All rights reserved.

Figure 6 : Dtails dun acclromtre type ADXL202 low-g deux axes [12]. Copyright Analog Devices, Inc. All rights reserved.

Ces photographies montrent la masse sismique (la partie centrale ajoure ou beam ) dont on tudie le mouvement et qui subit globalement les effets de lacclration mesurer. Celle-ci est relie au bti par des micro-poutres dancrage ( anchor ) pour un systme un axe ou des micro-ressorts positionns dans les coins pour un systme deux axes. Ces parties flexibles gouvernent le mouvement du mobile.
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Figure 7 : Description des lamelles associes un doigt dun capteur actuel ( single finger set ). Il y a deux sries de trente motifs de ce type pour ADXL78, soit une capacit totale de 64 pF pour une masse du mobile de 0,7 mg. Daprs [8].

Le suivi du dplacement est assur par un capteur capacitif organis autour de sries de lamelles en regard, solidaires pour moiti du bti et pour moiti de la masse mobile. De faon gnrale on qualifie dIDT (pour InterDigital Transducer) cette structure particulire en forme de peignes digits interpntrs (allusion aux doigts des mains). La multiplicit de ces lamelles amliore videmment la sensibilit de la mesure.

Figure 8 : Dtails du capteur MEMS dun ADXL50 originel : le mobile ( beam ), les micro-barres de flexion faisant ressort ( anchor ) et les sries de trois lamelles fixes ou mobile ( plate ). Copyright Analog Devices, Inc. All rights reserved.

Comme le montrera la suite de cette tude, la nature capacitive du suivi du dplacement ne permet pas pour autant dassimiler cet acclromtre un simple condensateur dont on pourrait tudier la rponse au sein dun basique circuit RC pour obtenir lacclration. Cest un capteur diffrentiel paires de condensateurs. Le conditionnement du signal de mesure devra tre plus labor. En revanche, dautres capteurs MEMS sont plus raisonnablement assimilables de simples condensateurs : lannexe dcrit un capteur dhumidit. 2.3. tude mcanique du fonctionnement dun capteur un axe Le capteur diffrentiel est modlis par un simple mobile de masse m pos sur un support horizontal et pouvant se dplacer le long de laxe des x. Le mobile est reli au
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support par des systmes ressorts/amortisseurs dcrivant le comportement mcanique des lments du MEMS (raideur k, coefficient de frottement f).

Figure 9 : Modlisation pour le mouvement sur laxe de x dun lment mobile

on note xc la position du centre de masse du mobile en mouvement et xb sa position au repos par rapport au support (cest--dire en fait celle du support : xb ne varie que si le support se dplace, cest--dire si lacclromtre se dplace en bloc). Ce mobile subit les effets de lacclration a(t) du support : le rle de ce systme est de permettre la mesure de cette acclration a(t). Lanalyse des forces donne lquation de mouvement du centre de masse de la partie mobile sous laction des forces qui lui sont appliques (dans ce modle, il ny a pas de frottement entre la partie horizontale du support et le bas de la partie mobile). Quand le ressort 2 est en compression (force de rappel T2 ), le ressort 1 est en extension (force de rappel T1 ) et rciproquement, ce avec proportionnalit llongation L. Les forces de freinage F1 et F2 sont similaires dans les deux cas et proportionnelles la vitesse relative du mobile par rapport au bti (cest--dire la drive temporelle de L). Lquation du mouvement donne la relation entre le dplacement L = xc xb et lacclration est obtenue en appliquant le principe fondamental de la mcanique dans le rfrentiel galilen du sol : m ac = / Fappliques En projection sur lhorizontale (axe x) : m
2 d^xc xbh d xc 2 = 2k ^xc xbh 2f dt dt

Figure 10

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Avec xc = ^xc xbh + xb = L + xb , on obtient : m

2 2 d xb d L dL 2 +m 2 = 2k L 2f dt dt dt 2

d xb 2 = a (t) est lacclration du bti de lacclromtre par rapport au sol que lon dt veut mesurer. o Si lon prfre, on peut raisonner dans le rfrentiel non galilen du bti en mouvement par rapport au sol : llongation L du ressort sidentifiant ici la position du mobile par rapport au bti, il vient en appliquant au mobile le thorme de la rsultante cintique dans le rfrentiel du bti (donc, en tenant compte de la force dinertie dentranement m a (t) qui sajoute aux autres forces physiques) : m d L dL 2 = 2k L 2f dt m a (t) dt d L 2f d L 2kL 2 + m dt + m = a (t) dt Lanalyse harmonique de la partie mcanique du capteur se fait sur lquation d complexe associe (transformation dt " j ~ ). on obtient : L ^~ ~ + 2jn~0 ~h L = a (t) " a =
2 0 2 2 2

on obtient donc lquation de mouvement en longation :

m 2k ~ 2 ~ 1 + 2 jn ~ + b j ~ l 0 0 f 2k m .
2

2 2k avec la pulsation caractristique ~0 = m et le paramtre damortissement n =

L La fonction de transfert a est de type passe-bas du second ordre. Mesurer le dplacement L des lamelles du capteur diffrentiel revient donc mesurer lacclration du support, pourvu quelle soit constante ou lentement variable (cest-dire avec ~ % ~0 ). on a, en rgime tabli : m L . 2k a (t) Les feuilles de donnes des deux capteurs pris comme exemples indiquent une rsonance mcanique 55 khz pour ADXL103 et 24 khz pour ADXL78, ce qui
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induit un amortissement sous-critique. Les capteurs devraient suivre sans problme des variations des frquences infrieures dune dcade. 2.4. tude du conditionnement lectronique du capteur

Figure 11 : Schma-bloc des acclromtres ADXL103 et ADXL78 [8]. Copyright Analog Devices, Inc. All rights reserved.

Figure 12 : Schma dinterprtation dtaill selon le fichier de donnes ADXL103 [8].

Le composant est aliment de faon asymtrique entre 0 V et + 5 V : les tensions intervenant dans le fonctionnement du circuit devront donc tre positives. 2.4.1. Transduction du dplacement par un pont capacitif en modulation Comme le montre le schma de modlisation initial, le mobile est solidaire dune lame pouvant donc se dplacer entre les faces 1 et 2. Les paires de faces en regard dfinissent deux condensateurs C1 et C2 de capacits dpendant de L (en ralit, les photographies en microscopie lectronique montrent quil sagit de sries de micro-lamelles). Loscillateur gnre un signal carr dhorloge une frquence fh , reprsente par la
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tension v1 (t) . Dorigine numrique, il est positif. De niveau haut Vs et de niveau bas 0 V, V il a une moyenne gale 2s . La tension v2 est obtenue par inversion logique, ce qui revient dcaler v1 dune demi-priode. on suppose de plus que seuls les effets du premier harmonique seront effectifs, de sorte que : V v1 = 2s + V1 sin (~t) et V v2 = 2s V1 sin (~t) .

on verra en effet plus loin que la dernire tape est un filtrage passe-bas qui limine toutes les composantes de pulsation suprieure ou gale . Les autres harmoniques ne donneraient donc que des termes correctifs qui seraient limins dans le calcul. Le pont form par les deux capacits est ainsi aliment par deux tensions dont les parties variables sont en opposition de phase.

Figure 13 : Conditionnement en pont du capteur diffrentiel de position.

on suppose que le courant dentre du multiplieur damplification K est ngligeable du fait dune forte impdance dentre, soit ie = 0 A . Les deux rsistances R forment un pont de polarisation et ont pour objet dtablir V une tension de mode commun 2S ncessite par lemploi dune alimentation asymtrique. Afin de calculer la tension v3 issue du pont, on applique la loi des nuds sur les cinq branches : v V v 0 d d C1 dt ^v3 v1h + C2 dt ^v3 v2h + 3 R S + 3 R = 0 en tenant compte de ie = 0 A . on remplace et on arrange : VS dv3 2 d VS d VS ^C1 + C2h dt + R v3 = C1 dt b 2 + V1 sin (~t)l + C2 dt b 2 V1 sin (~t)l + R
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VS dv3 C1 C2 d 2 dt + R ^C1 + C2h v3 = C1 + C2 dt ^V1 sin (~t)h + R ^C1 + C2h R En dfinissant la constante de temps x = 2 ^C1 + C2h , il vient : VS dv3 v3 C1 C2 dt + x = C1 + C2 ~V1 cos (~t) + 2x La solution est de la forme : V t v3 (t) = A exp b x l + B sin (~t + {) + 2S Le premier terme est la rponse libre de lquation sans second membre. Les deux autres termes en sont une solution particulire. Le thorme de superposition permet de rechercher cette solution en distinguant chacun des termes forant. V Pour le terme forant constant, la solution stationnaire est videmment 2S . La solution particulire harmonique sobtient directement en calcul complexe : v C C j~v3 + x3 = j~ C 1 + C2 V1 exp (j~t) 1 2 soit j~x C C v3 = 1 + j~x C 1 + C2 V1 exp (j~t) 1 2

Le temps de raction souhait pour un systme de scurit automobile est indiqu 5 ms. Il est typiquement estim par un temps de monte 5 %, soit pour un premier ordre : tr 5% = 3 x . 5 ms " x . 1,5 ms Les frquences de modulation sont typiquement en centaine de khz (140 khz pour ADXL103 et 400 khz pour ADXL78). on constate donc que ~t . 1300 ou plus et donc que de faon gnrale ~x & 1 . Donc : j~x 1 + j~x " 1 et j~x r arg e 1 + j~x o = 2 arctan (~x) " 0

La solution devient aprs simplification (5) : V C C t v3 (t) = A exp b x l + C 1 + C2 V1 sin (~t) + 2S 1 2 La constante A resterait dterminer partir de la condition initiale sur v3 . Mais
(5) Le calcul exact [19] donne : v3 (t) = VS C1 C2 1 + V cos ({) sin (~t + {) avec tan ({) = ~x . C1 + C2 1 2

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cela na cependant pas dimportance, car aprs au plus 5 ms, le transitoire est termin puisque le terme exponentiel dcrot rapidement vers 0 : v3 est alors en rgime permanent et A est limin du calcul. on peut alors exprimer la tension v3 en fin de transitoire, disponible pour la suite du conditionnement en sortie de pont : V C C v3 (t) = 2S + C 1 + C2 V1 sin (~t) 1 2 2.4.2. Relation entre les capacits et le dplacement L Au vu de la photographie des lamelles, on suppose que les condensateurs C1 et C2 peuvent tre assimils des condensateurs plans : fS C. e do : avec e1 = d + L et et e2 = d L ;

fS C1 = d + L

fS C2 = d L .

fS fS C1 C2 (d L) (d + L) 2L L + = d fS L d fSL = = = C1 + C2 (d L) + (d + L) 2d d d+L + d L Do lexpression de v3 en fonction du dplacement L : V L v3 (t) = 2S d V1 sin (~t) 2.4.3. Conditionnement du pont capacitif Pour la suite de ltude du conditionnement du signal, on peut remarquer quextraire le signal par une technique de redressement perdrait linformation sur le signe de L, donc celui de lacclration. on utilise donc une solution plus fine qui prserve linformation de signe. La dmodulation synchrone [L3] du signal issu du pont consiste en une multiplication par le signal modulant le pont capacitif, suivie dun filtrage passe-bas adquat. Soit v4 issue de la multiplication de v3 par v1 , avec le facteur de multiplication K (en V ) : V V L v4 (t) = K v3 v1 = K b 2S d V1 sin (~t)l # b 2S + V1 sin (~t)l
V 2 V L V L 2 2 v4 (t) = K bb 2S l 2S V1 sin (~t) + 2S V1 sin (~t) V 1 sin (~t)l d d
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2 1 or sin (~t) = 2 "1 cos (2~t), fait apparatre un second terme constant.

La tension v4 peut donc se mettre sous la forme dun terme constant global et dun terme oscillant composite. De plus, la sortie de lacclromtre doit tre capable de fournir une intensit suffisante sa charge. Il convient donc de placer en sortie un amplificateur tampon damplification K l pour laborer le signal filtrer. on dtermine donc la tension : V 2 L 2 V L L 2 v5 (t) = K l v4 = KK l bb 2S l d V 1l + KK l b 2S b1 d l V1 sin (~t) + 2d V 1 cos (2~t)l 2 Pour rendre le signal constant, il reste encore liminer le terme oscillant par un filtrage passe-bas convenable. Le filtrage passe-bas de la dmodulation synchrone est assur par le couple R filt et Cx qui forme une cellule du premier ordre dont la frquence de coupure est : 1 1 fc = 2rR C = 3 6 . 400 Hz filt x 2r # 32 10 # 0,110 pour Cx = 12,5 nF (6). Soit un temps caractristique R filt Cx . 0,4 ms . Par exemple, pour ADXL103, le signal correspondant au terme en a une frquence f de 140 khz, cest--dire 140 10 / 400 = 350 fois plus que la frquence de coupure fc . log 10 (350) = 2,54 dcades et 2,54 # 20 dB/dec = 51 dB . 10
51/20 3

= 355 . Le signal

oscillant rsiduel du filtrage est ngligeable aprs division par 355. Le filtrage passe-bas limine donc bien la partie variable du signal, dpendant de t ; en fait, il est conu pour extraire la moyenne de la tension v5 . Donc : V 2 L 2 vout = v5 = KK l b 2S l KK l 2d V 1 m Le systme fonctionne en capteur dacclration, car L = 2k a ; do :
(6) Pour ADXL103 on prend 2 nF 1 Cx 1 10 nF , soit une bande passante comprise entre 0,5 khz et 2,5 hz. La frquence de rsonance mcanique est 5,5 khz. Dans tous les cas le systme est apte mesurer une acclration constante ou lentement variable. Ces capteurs, parfois qualifis dinertiels , sont donc aptes mesurer les effets statiques de la pesanteur.

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V 2 2 m vout = KK l b 2S l + KK l k d V 1 a (t) 4 2.5. Tension de sortie et donnes numriques De faon synthtique, la tension de sortie se met sous la forme gnrale : vout = V0 + S # a La tension de sortie de lacclromtre se prsente classiquement sous une forme affine o V0 est la tension de repos lorsque lacclration mesurer est nulle et S est la sensibilit de lacclromtre en V $ m $ s . Sl = S / g est la sensibilit en V/g (avec videmment g = 9,8 m $ s ). 2.5.1. Exemple dacclrateur Low-g : ADXL103 ADXL103 est un acclromtre Low-g destin, en scurit automobile, participer au contrle dynamique du vhicule VDC, au programme de gestion de la stabilit ESP, au contrle lectronique du freinage ABS, etc. Les spcifications extraites des feuilles de donnes [8] prcisent (pour Vs = 5 V ) : tension de repos V0 = 2,5 V [Zero g bias voltage : 2,5 V typ (2,4 2,6 V)] ; la sensibilit Sl du capteur est de 1 V/g [Sensitivity : 1000 mV/g typ (960 1040)] ; ltendue de mesure minimale est [ 1,7 g ; + 1,7 g] permise par la tension de sortie maximale 4,5 V [Measurement range : 1,7 g min ; output swing high : 4,5 V typ (max 4,8 V)]; une non-linarit de 0,2 % de la pleine chelle, typiquement ; acclration maximale supporte : 3500 g ; la bande passante est comprise entre 0 hz et fc qui dpend du choix de Cx . Pour une capacit de filtrage Cx = 12,5 nF , ce modle permet de calculer : V 2 a = 0 " vout (0) = KK l b 2s l = 2,5 V V 2 2 m a = 1,7 g " vout (1,7) = KK l b 2s l + KK l 4k d V 1 # 1,7 = 2,5 + 1 # 1,7 = 4,2 V G 4,5 V Ces rsultats ne sont videmment compatibles avec les spcifications de ADXL103 qu la condition que les multiples paramtres du modle permettent dobtenir V0 = 2,5 V et Sl = 1 V/g .
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2.5.2. Exemple dacclrateur High-g Un acclromtre quivalent de type high-g, destin la dtection dun accident frontal (car-crash) et au dclenchement de lairbag, est ADXL78 (7). Propos en 2005, il est aussi un membre de la quatrime gnration de ces capteurs iMEMS. Ses caractristiques sont les suivantes : tendue de mesure 70 g, sensibilit 27 mV/g, consommation 1,3 mA pour 5 V, modulation 400 khz, filtrage 400 hz par filtre de Bessel deux ples, ce qui le dcouple parfaitement de sa rsonance mcanique 24 khz. Il supporte jusqu 4000 g. Le signal issu dun accident peut contenir des composantes de fortes amplitudes et frquences leves. Ces composantes contiennent en fait peu dinformations utiles et sont rduites par le filtre de sortie. Ces saturations peuvent intervenir en tout point du circuit sans pour autant gner la dtection de lvnement accidentel. on peut noter enfin que le fonctionnement reste linaire jusqu environ huit fois la valeur de pleine chelle, soit quand mme 560 g. Le schma lectronique de conditionnement suit globalement le principe de mesure dcrit, mais avec une amlioration significative appele systme zro force . Le principe est dinclure le systme de mesures de dplacement dans une boucle de rtroaction. Il labore le signal derreur destin asservir lexcitation sur chacune des lectrodes fixes de part et dautre de llectrode mobile en fonction de lacclration perue par le capteur, afin davoir une force lectrostatique toujours proche de zro sur llectrode mobile. Ceci permet de limiter les erreurs de non-linarit en vitant celles introduites par une force lectrostatique qui freinerait le mobile. 2.5.3. Amlioration des performances nergtiques Un objectif prioritaire est une baisse sensible de la consommation lectrique. ADXL103 consomme 700 mA au repos ; ce nest que 350 mA pour ADXL327 pour une tension dalimentation de 3 V. ADXL346 qui est un composant sortie numrique, a une consommation encore plus faible, soit 145 mA pour 3 V (tous deux sortent courant 2009). La dure dtablissement de la tension dalimentation du composant est spcifie par Power Supply Turn-on Time . Les feuilles de donnes de ADXL103 indiquent 20 ms. La toute prochaine gnration dacclromtres rpond typiquement quinze vingt fois plus vite ! Par exemple, ADXL327 a un PS Turn-on Time de 1 ms seulement ; cest 1,4 ms pour ADXL346. Les composants les plus avancs ont un mode de fonctionnement conomique qui consiste ntablir la tension dalimentation quau moment du besoin en mesure et la
(7) Pour une sortie numrique : high Performance, Wide Bandwidth Accelerometer ADXL001 (de 70 g 500 g ; sortie courant 2009). Dans la srie iSENSoR : Programmable high-g Digital Impact Sensor and Recorder ADIS16204 ( 70 g ; 2007).

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couper tout de suite aprs. on conomise ainsi sur le courant de repos dalimentation. 3. AUTRES UTILISATIONS DE CES ACCLROMTRES 3.1.1. La manette de jeu vido Wiimote Un article rcent du BUPPC [6] montrait comment exploiter lacclromtre de la Wiimote (la manette de la console de jeu Nintendo). Celle-ci communique par liaison sans fil de type Bluetooth des informations sur le mouvement de la main du joueur. Elle exploite un acclromtre 3D ADXL330 de chez Analog Devices [8] qui fournit trois tensions (numrises) images des trois composantes de lacclration.

Figure 14 : Vue du contrleur Wiimote [9]. Tableau des caractristiques techniques de la Wiimote et de son acclromtre [6].

3.1.2. Air mouse : la souris-tlcommande qui sait aussi cliquer en lair La souris, daspect classique pour une sans-fil , possde un quatrime bouton supplmentaire qui permet dactiver la commande 3D et de sen servir dans lespace sans quelle soit au contact dun quelconque support. Le confrencier apprciera. Les capteurs intgrs rcuprent les composantes de lacclration en rotation pour le mouvement de tangage (mouvement haut-Bas ) et de lacet (mouvement Droite-Gauche ). Le systme permet dinterprter ces deux types de mouvement afin de dplacer le pointeur sur lcran. La souris est fournie avec un metteur-rcepteur USB 2,4 Ghz brancher sur le PC. Brevet Gyration, diffusion Movea (90 environ). Pour plus de dtails [10]. 3.1.3. SMS pour Sudden Motion Sensor Une rubrique rcente du BUPPC [7] rappelait la prsence dans les ordinateurs
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portables dun acclromtre destin la protection de la tte de lecture du disque dur. Ces composants sont de mme nature. Par exemple ADXL320 ou ADXL346 (sortie courant 2009) [8], sont plus particulirement conus pour dtecter ce genre de chocs (motion- and tilt-sensing). Plus de dtails dans cette note technique [17]. 3.1.4. Hot Hand motion sensing system : be the Lord of the ring !

Figure 15 : Le capteur Hot Hand en situation au doigt du guitariste [11].

Cette bague commande dynamique deffet a t cre pour permettre au guitariste de faire varier la nature des sons produits en temps rel. Le plus souvent, le paramtrage utilis pour linstrument est obtenu en alternant entre diffrents prrglages statiques de botiers ddis, au moyen de poussoirs actionns avec le pied. En combinant un capteur acclromtre intgr Analog Devices et un moyen de traitement de signal en temps rel par DSP, le guitariste module leffet appliqu selon lacclration de la main. Vido de dmonstration et dtails techniques [11]. Il existe aussi une version avec transmission hertzienne sans fil jusqu 30 m entre la bague et le botier. CONCLUSION Ces acclromtres MEMS se rvlent avoir un comportement raisonnablement comprhensible et mettent en uvre une physique de tableau noir la porte dun tudiant de premier cycle suprieur. Sachant que leur prix est modeste ( 6 25 typiquement lunit [15]) et que leur emploi exprimental est ais parce que largement facilit par lintgration de llectronique de mesure, il y a fort parier quils pourraient faire aussi les beaux jours de leurs paillasses
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REMERCIEMENTS Un grand merci mon collgue Franois AUGER avec lequel jai conu le module denseignement Capteurs & conditionneurs de ce dpartement Mesures physiques, Saint-Nazaire. Cet article lui doit beaucoup. Merci Bruno JECh, Tnnan QUAU et Thierry RoYANT pour leur relecture et leurs suggestions amicales, ainsi qu harald FRANK (Bosch), Pascal CERRUTTI et ric PoIDEVIN (Analog Devices). NETOGRAPHIE [A] La page Internet de cet article http://www.mpsn.hbg.fr/udppc/mems (accessible aussi depuis http://tinyurl.com/velay-b) propose laccs direct aux sites par des liens cliquables. Ces liens Internet sont valides la date de rdaction de cet article ; la page propose un accs direct des copies de certains fichiers indiqus par [A] pour (8) prvenir une rupture probable de liens . on y trouve aussi copies des comptesrendus de lecture des ouvrages de la bibliographie. [B] Sujet de Physique-chimie de la session 2009 du baccalaurat srie S, exercice 3 [A]. [1] quipementier BoSCh :
http://rb-k.bosch.de/en/safety_comfort/occupant_protection/index.html

voir en particulier le menu dtaill dveloppable gauche de lcran. Description des composants :
http://www.semiconductors.bosch.de/en/20/sensors/accel.asp

Photothque et articles pour la presse

http://www.bosch-presse.de/TBWebDB/en-US/index.cfm Le site franais http://rb-kwin.bosch.com/fr-FR/start/safety.html nest pas aussi

complet. [2] La scurit passive (doc LPR La briquerie Thionville) [A]

http://www.ac-nancy-metz.fr/enseign/autocompetences/ 2_ressources_pedagogiques/6_confort_et.../securite_airbags-ceintures.pdf

[3] Introduction lairbag [A]

http://defis.cea.fr/defis/118/CEA_DEFIS118_P16_17.pdf

Dans le BUPPC : [4], [5], [6] et [7]

http://udppc.asso.fr/bupdoc/consultation/selections.php

mot-cl : airbag ou manette. [4] Un modle simplifi de crash-test par o. VALLE. [5] MAThIS A. Les nouveaux airbags . Bull. Un. Prof. Phys. Chim., dcembre 2004, vol. 98, n 869, p. 1745-1749 (ce dernier sera mis en ligne fin 2010).
(8) Lensemble de ces documents est aussi disponible sur le serveur de lUdPPC sous la forme dun fichier zipp 09200003.zip

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[6] INGLSE F.-X. et RoUSSEAU D. Utilisation d'une manette de jeu vido pour des expriences de mcanique . Bull. Un. Prof. Phys. Chim., mars 2008, vol. 102, n 902, p. 427-434. [7] PLISSoN T. Des souris et des profs . Bull. Un. Prof. Phys. Chim., mai 2009, vol. 103, n 914, p. 599-600. [8] Le site du fabricant Analog Devices :
http://www.analog.com

Utiliser un moteur de recherche avec les mots-cls : adxl103 ou adxl78 + data [A]. [9] Sites sur la wii :
http://wiibrew.org/wiki/Wiimote http://fr.wikipedia.org/wiki/Wii

[10] Revue Science & Vie Micro, novembre 2008, p. 74 et site du fabricant :
http://www.gyration.com/index.php/fr/produits/souris-3d-et-claviers.html

[11] Site du fabricant de hot hand :

http://www.sourceaudio.net/

Vidos de dmonstration :
http://www.youtube.com/watch?v=JbYsD7cX9E0 ou http://www.youtube.com/watch?v=gpCl7xRjZcs

Article de News electronics on Campus (summer 2008) extrait dun document de promotion distribu gratuitement [A]. [12] Prsentation des MEMS :
http://www.esiee.fr/~francaio/intromems/intromems.html

Une prsentation introductive est disponible ainsi que de nombreux documents et un portail thmatique complet. [13] Note de prospective : accelerometer http://www.semiconductors.bosch.de/pdf/prospekt_SMB05x_06x_100.pdf (lien coup). [14] quipementier : AUToLIV :
http://www.autoliv.com/wps/wcm/connect/autoliv/Home/What+We+Do

[15] Exemple de prix (juin 2009) : MMA7341L / 3 axis-2g 6 /pc ou ADXL278 / 2 axis-50g 25 /pc chez http://fr.farnell.com Attention : Pour une exprimentation simplifie, a priori choisir un composant sorties analogiques. Les utilisateurs de micro-contrleur prfreront un interfaage numrique type MMA7456L / 3 axis-low g 7 /pc. ou encore ADXL202AE / 2 axis-2g 20 /pc chez http://radiospares-fr.rs-online.com videmment les prix baissent par quantit : sur le site AD, les composants les plus rcents sont environ 2,1 /pc par lot de 1000 ADXL103 est encore disponible au prix de 5,5 /pc mais par 1000 pices. En rsum, critres de choix : type de sortie, nombre daxes, tendue de mesure, sensibilit, prix lunit.
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[16] Actualit http://www.edn.com/article/CA6666239.html [17] Protection des ttes de lecture de disques durs : note technique ADXL320 [A]
http://www.analog.com/en/mems/high-g-accelerometers/products/technicalarticles/resources/index.html

[18] Integrated MEMS sensors for industrial control [A]. Une courte synthse introductive :
http://www.analog.com/static/imported-files/tech_articles/EPNJan07iSensor.pdf

[19] Solution exacte du calcul de vout disponible sur [A] :

http://www.mpsn.hbg.fr/udppc/mems/vout_solution_exacte.pdf

BIBLIOGRAPHIE [L1] FRADEN J. Handbook of modern sensors. Springer-Verlag, 2004. Voir le 13.2 pour les capteurs capacitifs, en particulier celui dhumidit. Le chapitre 18 est consacr aux matriaux des capteurs, le 18.3 dcrit plus prcisment les technologies de fabrication des MEMS. De faon plus gnrale, ce livre est une rfrence pour la connaissance des capteurs, surtout sils sont rcents. [L2] BAUDoUIN F. et LAVABRE M. Capteurs : principes et utilisations. Casteilla, 2007. Voir en particulier le 4.4 sur les capteurs dacclration. Un livre concret et complet au niveau dun premier cycle suprieur. [L3] ASCh G. & collaborateurs. Acquisition de donnes ; du capteur lordinateur. Dunod, 1999. Voir le 9.4 pour le conditionnement dun pont capacitif et la dmodulation synchrone. Globalement, ce livre propose une approche assez complte de llectronique de mesure, tout en restant accessible. [L4] VIKToRoVITCh P. Microsystmes opto-lectromcaniques MOEMS. herms - Collection Trait EGEM, 2003. Un ouvrage spcialis dont le sujet est parallle, consacr aux micro-systmes pour loptique. Il ny a pas encore, ma connaissance, douvrage spcifiquement consacr aux MEMS dans cette collection. Les comptes-rendus de lecture de ces quatre ouvrages sont disponibles sur le site de lUdPPC :
http://www.udppc.asso.fr/nal/index-nal.php

Bruno VELAY Professeur agrg Dpartement Mesures physiques Institut universitaire de technologie (IUT) Saint-Nazaire (Loire-Atlantique) http://tinyurl.com/velay-b

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Annexe
CapteurMEMSdhumiditassimilableuncondensateur

En effet, dautres capteurs MEMS sont plus raisonnablement assimilables de simples condensateurs, plus prcisment un rseau RC. Ainsi [L1] dcrit un capteur dhumidit capacitif ralis par deux peignes interdigits sur couche mince.

Figure 16 : Capteur MEMS dhumidit, daprs [L1].

Une couche mince de silice (paisseur 3 nm) est dpose sur un substrat en silicium. Deux lectrodes (paisseur 2 5 nm) faites daluminium ou de chrome sont dposes avec un motif de peignes. Deux rsistances complmentaires sont destines la compensation de temprature. Lensemble est recouvert dune fine couche isolante (paisseur 0,3 4 nm) de silice. Lensemble est modlisable par une capacit inter-lectrodes en parallle sur une rsistance dcrivant la rsistance distribue en surface due la prsence dune fine couche deau. Lorsque lhumidit augmente cette rsistance diminue alors que la capacit quivalente augmente. Le suivi de cette variation est gnralement ralis en incluant le capteur dans un oscillateur et en tudiant les variations de la frquence.

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