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Les thmes scientiques actuels de lacoustique et leur devenir

ULTRASONS

[ FIGURE 1] Principales applications des ultrasons en fonction des frquences et de leurs longueurs donde.

e domaine de frquence des ultrasons stend de la limite des frquences audibles (environ 16 kHz) jusquaux frquences dagitation thermique des molcules (soit 1013 Hz ou 10 THz). Au-del de 1011 Hz, on parle d hypersons . Ce domaine de frquence est trs large et les longueurs donde associes sont de lordre du dcimtre jusquau nanomtre. Les applications des ultrasons sont nombreuses et dpendent de la frquence. Lacoustique sous-marine, quant elle, prsente certaines applications plus bas en frquence, partir de quelques centaines de Hz voire quelques Hz, jusquaux ultrasons. Celle-ci ne sera donc pas traite dans ce chapitre mais prsente dans le chapitre Propagation . La gure 1 prsente les principales applications des ultrasons en fonction des frquences et de leurs longueurs dondes, calcules dans leau pour les plus basses frquences et dans un milieu solide tel que le silicium pour les plus hautes frquences.

ne prpondrant est la cavitation. Enn, dans un milieu gazeux, les ultrasons de puissance sont rapidement attnus. Lune des plus anciennes applications des ultrasons de puissance est le perage, bien adapt aux matriaux durs et fragiles (cramiques, verre...). Les applications concernent aussi le nettoyage par ultrasons, qui reprsente une activit industrielle importante, de mme que lassemblage de matriaux, tels que le soudage de matires plastiques ou de matriaux mtalliques. Dans le domaine mdical, certaines applications utilisent les ultrasons de puissance (lithotripsie, hyperthermie) et sont dcrites dans la section acoustique mdicale ultrasonore. Lorsquun liquide est soumis un cycle de compression/dpression, des bulles de gaz ou de vapeur se forment au sein du liquide. Lorsque les alternances sont rapides, les bulles peuvent se dvelopper, se contracter et imploser. Le champ de cavitation ultrasonore produit des eets physiques et chimiques locaux trs intenses, consquences des conditions extrmes de temprature et de pression obtenues lors de limplosion des bulles de cavitation. Les nombreuses applications potentielles (on citera titre dexemple la dcontamination de leau et la fabrication de matriaux nanostructurs) ne conduisent qu de rares pilotes industriels. Cette faible dissmination a deux origines : la complexit des phnomnes mis en jeu qui rend la monte en chelle dlicate et le faible rendement global des phnomnes assists par cavitation. En revanche, des travaux sont mens sur un phnomne associ la cavitation, la sonoluminescence, qui consiste en lmission de brefs clairs de lumire (infrieurs 50 ps) au cours de leondrement des bulles de cavitation. Dorigine thermique, ce phnomne a t mis en uvre sur une bulle oscillante et fait lobjet ce jour de recherches fondamentales, notamment car il fait intervenir des phnomnes non linaires acoustiques, optiques et hydrodynamiques. Enn, la sonochimie, branche de la chimie qui tudie le rle des ultrasons dans le dclenchement

Le thme scientique prsent dans cette section se dcompose ainsi en plusieurs parties, ddies chacune lun de ces domaines dapplications, en partant des plus basses frquences vers les plus hautes1 : 1. Ultrasons de puissance 2. Contrle non-destructif 3. Acoustique mdicale ultrasonore 4. Microsystmes acoustiques 5. Ultrasons laser.

1. Ultrasons de puissance
Lorsque les ultrasons sont de forte puissance, ils produisent des eets violents sur le milieu dans lequel ils se propagent. Dans un milieu solide, les ultrasons de puissance peuvent produire un chauement, une vibration. Dans un milieu uide, le phnom-

1 - Ce chapitre aborde les aspects linaires comme non linaires ( forte puissance), mais le lecteur pourra aussi consulter le chapitre Acoustique non linaire .

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ou le droulement des ractions chimiques se dveloppe, car certaines ractions chimiques sont favorises sous laction des ultrasons. En prsence dultrasons forte densit, la description des phnomnes mis en jeu nest plus satisfaisante en utilisant les quations linaires classiques. Cest pourquoi lavenir des ultrasons de puissance, thme transversal entre plusieurs domaines (acoustique, chimique, optique...), est en partie li au dveloppement de lacoustique non linaire. Des quipes de recherche franaises sont actives dans le domaine des ultrasons de puissance. Citons le Laboratoire applications des ultrasons la thrapie (Inserm U556, Lyon, www.lyon.inserm. fr/556/), lInstitut dlectronique, de microlectronique et de nanotechnologie (IEMN, UMR 8520 CNRS Villeneuve dAscq, www. iemn.univ-lille1.fr/), le Laboratoire dacoustique de lUniversit du Maine (LAUM, Le Mans, http://laum.univ-lemans.fr), le Laboratoire de chimie molculaire et environnement (LCME - PolytechSavoie, www.polytech.univ-savoie.fr/), le Laboratoire de chimie des matriaux et interfaces (LCMI, Universit de Franche Comt, http:// www.univ-fcomte.fr/), lcole nationale suprieure des ingnieurs en arts chimiques et technologiques (ENSIACET, Toulouse, www. ensiacet.fr/), lINSP (Institut Nanoscience de Paris, http://www.pps. jussieu.fr/), lcole des mines dAlbi (www.enstimac.fr/), etc. De mme des industriels franais sont actifs dans le domaine des ultrasons de puissance. Citons : Sinaptec (www.sinaptec.fr/), Sodeva (www.sodeva.com/), etc.

2.2 Le contrle non-destructif par ultrasons dans le contexte industriel franais


Les annes 1970 marquent les dbuts dune activit signicative de R&D en CND/US qui na pas cess et va sampliant, pour rpondre aux besoins crs par les industries dont les exigences en sret de fonctionnement imposent la ralisation de nombreux contrles : nuclaire, aronautique, gnie civil, ptrochimique, ferroviaire... industries trs bien dveloppes en France. En parallle, les notions de qualit, scurit, durabilit se diusent dans nombre de secteurs industriels, crant des besoins nouveaux. On recherche le meilleur rapport (prcision des rsultats de contrle) / (cots de leur obtention) ce qui conduit faire voluer les mthodes et en concevoir de nouvelles. Du fait de limportance en France des industries ayant des besoins en dveloppement du CND, il existe de nombreux laboratoires industriels de CND au sein de ces entreprises ou prestataires de service pour elles. De nombreux laboratoires publics mnent des recherches de base en relation avec les industries, participant au transfert industriel ou dveloppant mme des outils oprationnels. Dans cette dynamique franaise, de plus en plus dacteurs (PME) proposent des solutions innovantes en CND/US (matrielles, logicielles) souvent issues de travaux de laboratoires publics en collaboration avec les utilisateurs naux ; leur part va croissant dans un march domin par des socits nord-amricaines.

2.3 tat actuel de la R&D en CND par ultrasons

2. Contrle non-dstructif
2.1 Contrle non-dstructif par ultrasons (CND/US)
Les mthodes de contrle non-destructif (CND) permettent, par dicult croissante, de dtecter, localiser, identier et dimensionner les dfauts en surface ou lintrieur des assemblages sans en modier les proprits dusage. En contrle par ultrasons (CND/US), on utilise des ondes mcaniques se propageant dans les matriaux sur de grandes distances des vitesses de quelques milliers de mtres par seconde. Aux frquences ultrasonores de lordre du MHz, ces ondes ont une longueur donde millimtrique et interagissent fortement avec des dfauts de cette taille (vides, ssures, inclusions dautres matriaux) pouvant nuire lintgrit de la structure au sein de laquelle ils se situent. Lutilisation des ultrasons pour le CND a t envisage ds que lon a su les mettre et les recevoir : le premier brevet date de 1931 ; depuis, la R&D en CND/US na cess de progresser. La conception des mthodes et linterprtation de leurs rsultats reposent sur une connaissance approfondie de la physique des ultrasons dans les matriaux, de leurs interactions avec des dfauts, des moyens de les produire et mesurer. Le CND/US est pass dun stade qualitatif o dtecter susait, un stade quantitatif o lon mesure la position des dfauts, leur nature, leurs dimensions ; mthode empirique et pragmatique en ses dbuts, le CND/US est devenu une science requrant des rsultats de recherches acadmiques faisant appel direntes branches de lacoustique, un transfert ecace par des recherches appliques, et un pilotage industriel pour lexpression des besoins et le nancement des moyens de les satisfaire. Le CND/US tend supplanter les autres mthodes de CND, notamment la radiographie, dans de nombreux secteurs industriels.

Deux axes de progrs ont merg dans la dcennie 1990 permettant lvolution des mthodes de CND/US pour rsoudre des problmes de complexit croissante : linstrumentation et la simulation, ces axes se dveloppant en synergie. Les progrs en instrumentation (capteurs multi-lments, chanes lectroniques les pilotant), permettent de rsoudre des problmes insolubles par moyens standards, en dotant les capteurs dune capacit sadapter aux situations variables (gomtries complexes, matriaux htrognes). Par simulation, on ralise des contrles virtuels pour concevoir, amliorer de faon trs conomique les mthodes, tudier linuence des dirents paramtres sur les rsultats de contrle. La simulation est utilise par des experts du CND/US eectuant le contrle des cuves de centrales nuclaires en France pour valider leur diagnostic ; dans des cas diciles, des outils dinterprtation automatique reposant sur des simulations menes en temps rel sont utiliss. La simulation intervient dans le pilotage dinstruments modernes, traitant les informations acquises pour rendre les mthodes adaptatives (gure 2). Un nombre croissant dindustries investit dans ces instruments et outils de simulation, au-del des industries aronautiques et nuclaires qui

[ FIGURE 2] Contrle dun piquage par un traducteur ultrasonore multilments

conformable sadaptant en temps rel la gomtrie variable de la pice grce un pilotage lectronique faisant appel de la simulation.

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en ont t les premires utilisatrices. Citons lexemple du logiciel de simulation du CND CIVA du CEA, actuellement utilis dans le monde entier.

2.4 Perspectives de dveloppement


Contrle non-destructif par ultrasons Jusqu prsent, les mthodes de CND ont t mises au point en partant de la donne de pices dj dnies. Une tendance se dessine, industriellement plus ecace, consistant concevoir les pices contrlables : on met au point simultanment par simulation du CND de la pice virtuelle la mthode pour la contrler au meilleur cot avec la meilleure ecacit. Le contexte scientique, technologique et industriel actuel du CND/US et les voies ouvertes pour ses progrs devraient marquer profondment ses perspectives de dveloppements. prsent les problmes pouvant tre rsolus sont encore limits en termes de complexit des situations traitables. Certains problmes industriels actuels ne reoivent pas de solution faute de connaissance susante de la physique des ultrasons dans les matriaux complexes ; les outils de simulation ne peuvent tre dvelopps quune fois la physique connue. Lusage accru et la mise au point de matriaux nouveaux (composites) posent de nouveaux ds au contrle. La performance des outils de simulation doit augmenter si lon veut les utiliser extensivement pour automatiser le diagnostic partir des rsultats bruts de contrle, traiter ces rsultats pour crer des images interprtables plus aisment. Ltude des phnomnes non linaires de propagation ( laide dultrasons de puissance) apparat prometteuse pour la dtection prcoce dendommagement des matriaux. Vers le contrle de sant structurale intgr Les mthodes de CND/US mises en uvre lors dinspections planies ncessitent limmobilisation de la structure et souvent son dmontage partiel, induisant une perte dexploitation. Industriellement (aronautique, gnie civil etc.), il est attirant de dvelopper des mthodes utilisant des systmes intgrs aux structures, capables deectuer leur contrle sant en service (SHM pour Structural Health Monitoring). Les mthodes acoustiques, de grande sensibilit, permettent deectuer des contrles de faon active pour rechercher dventuels dfauts. Les mmes congurations de mesure, en fonctionnement passif, sont comparables celles des mthodes de CND dmission acoustique (EA) couramment utilises (coute dvnements prcdant une ssuration produits par des assemblages sous contrainte), mises en uvre laide de capteurs non intgrs. Intgrer aux assemblages de nombreux dispositifs dmission (actionneurs) et de rception ultrasonore (capteurs), dont les rles peuvent tre inverss (gure 3), cre un fort potentiel de contrlabilit de structures complexes, amliorant sret de fonctionnement et productivit. Le dveloppement de ces mthodes bncie des progrs en instrumentation, simulation, traitement et transfert de donnes. Il ncessite que soient menes des recherches de base pour llaboration de matriaux, la conception de structures intgrant actionneurs et capteurs, sur la physique des eets acoustiques mesurables de lendommagement et au-del sur les algorithmes dinversion intgrant les connaissances dveloppes en physique.

Des quipes franaises de recherche publique sont actives dans le domaine du contrle non-destructif. Citons par ordre dcroissant de personnel permanent concern, le CEA LIST (www-civa. cea.fr/), le Laboratoire de mcanique physique (UMR CNRS 5231, Universit de Bordeaux, www.lmp.u-bordeaux1.fr/), le Laboratoire de contrle non-destructif (LCND, Aix-en-Provence, www.iut. univ-aix.fr/lcnd/), le Laboratoire ondes et acoustique (LOA, UMR CNRS 7587, Paris, www.loa.espci.fr/), le Laboratoire dacoustique de lUniversit du Maine (LAUM, http://laum.univ-lemans.fr/), lInstitut dlectronique, de microlectronique et de nanotechnologie (IEMN, UMR 8520 CNRS Villeneuve dAscq, www.iemn.univlille1.fr/), le Laboratoire ondes et milieux complexes (LOMC, www. univ-lehavre.fr/recherche/lomc/), le Laboratoire de mcanique et dacoustique (LMA, UPR CNRS 7051, quipe imagerie ultrasonore, Marseille, www.lma.cnrs-mrs.fr/), etc. De mme des industriels franais sont actifs dans le domaine du contrle non-destructif. Citons : des utilisateurs disposant de laboratoires de R&D pour le CND et des prestataires dveloppant des mthodes de CND : EADS (www.eads.com/), Dassault-Aviation (www.dassault-aviation. com/), EDF (www.edf.fr/), AREVA (www.areva.com/), SNCF (www. sncf.com/), InterContrle (InterContrle- (AREVA)), Alsthom (www.power.alstom.com/), etc. ; des fabricants de matriels pour le CND/US : Imasonic (capteurs ultrasonores, Besanon, www.imasonic.com/), M2M (systmes lectroniques pour multi-lments, www.m2m-ndt.com/), MetalScan (www.metalscan.fr/), etc.

3. Acoustique mdicale ultrasonore


Lacoustique mdicale ultrasonore dsigne les applications diagnostiques et thrapeutiques des ultrasons. Lhistoire de lacoustique mdicale ultrasonore moderne peut tre dcrite comme la succession de trois gnrations dapplications : les premires applications taient ddies limagerie diagnostique, en utilisant des champs ultrasonores non prvus pour avoir des eets biologiques sur les tissus inspects ; la deuxime gnration a dlibrment exploit des rgimes plus agressifs dultrasons pour des approches interventionnelles directes, incluant la lithotripsie (des calculs rnaux) ; la phacomulsication (des cataractes) ; ou encore les ultrasons focaliss haute intensit (HIFU) pour lablation de tumeurs par hyperthermie, la thrombolyse et lhomostasie ; la troisime et dernire gnration dapplications est naissante et repose sur un eet thrapeutique indirect des ultrasons, utiliss pour sensibiliser les tissus ou pour augmenter lecacit lors de ladministration des biothrapies (dlivrance de drogue et thrapie gnique, en particulier dlivrance transdermale assiste par ultrasons dans des tissus non viables comme stratum corneum), ou pour lacclration de la rparation des fractures osseuses. Les ultrasons sont devenus un outil essentiel dans la mdecine, capable de fournir des images de haute qualit et des outils chirurgicaux non invasifs. Le meilleur exemple de limportance des ultrasons dans la mdecine est certainement lchographie prnatale.

3.1 Mthodes/Technologies

[ FIGURE 3 ] Contrle acoustique de sant structurale : schmas de principe


de systmes actif (gauche) et passif (droite).
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Ces dveloppements ont stimul beaucoup de recherches sur les interactions biophysiques des ultrasons avec les tissus vivants et conduit au dveloppement de techniques et dquipements incroyablement sophistiqus pour le diagnostic et la thrapie.

En diagnostic, la formation dimage repose sur lchographie (analyse du signal rtrodius) pour limagerie morphologique ou sur lutilisation de leet Doppler (analyse des signaux rtrodiuss par des particules en mouvement) pour quantier les ux sanguins. Les techniques les plus rcentes utilisent des eets plus complexes dcrire comme la gnration dharmoniques ou la propagation donde de cisaillement, ou font appel aux produits de contrastes ultrasonores. Enn on distingue les techniques de caractrisation du tissu osseux (pour la prdiction du risque de fracture), qui reposent sur des mesures de vitesse et dattnuation. En thrapie, on peut distinguer lutilisation dultrasons focaliss de haute intensit an de concentrer lnergie acoustique dans une petite portion de tissu pour provoquer un chauement local (ncroser les tumeurs par hyperthermie), de la lithotripsie dans laquelle des ondes de choc sont envoyes sur les calculs pour les casser (en lments susamment petits pour tre vacus par voies naturelles). La focalisation peut tre ralise par le biais de miroirs retournement temporel qui chantillonnent et enregistrent un champ acoustique incident, puis le rmettent dans une chronologie inverse. De tels dispositifs permettent de focaliser une onde acoustique travers un milieu trs htrogne. Les techniques mergentes de biothrapies quant elles utilisent par exemple la cavitation de bulle de gaz pour modier les permabilits membranaires.

3.2 Perspectives et enjeux


Plusieurs axes essentiels se dgagent pour les recherches futures. Pour le diagnostic, il est important de continuer la recherche an damliorer la qualit des informations obtenues partir de lexamen ultrasonore. Plusieurs pistes sont en cours dtude comme : lutilisation des agents de contraste ultrasonore pour augmenter la qualit des images, en particulier en cardiologie ; le dveloppement de nouvelles techniques dimagerie comme llastographie ultrasonore ; le dveloppement de limagerie intravasculaire ; le dveloppement des outils thoriques et numriques pour inverser les donnes en ultrasonographie quantitative du tissu osseux. Pour la thrapie, trois lignes se dgagent : pour les techniques dj tablies comme la lithotripsie ou lhyperthermie par HIFU, lenjeu consiste amliorer la prcision du ciblage de la zone traiter tout en pargnant les tissus environnants. Cela ncessite des amliorations dans la dlivrance de la dose, en utilisant par exemple une focalisation adaptative base sur le principe du retournement temporel des ondes, et des amliorations dans le suivi du traitement, par exemple en couplant la technique HIFU avec de limagerie par IRM ; pour les techniques mergentes de biothrapies, le plus gros challenge consiste faciliter la livraison molculaire tout en maintenant la viabilit des tissus. Des premires dmonstrations in vitro daugmentation de la transfection et de la sensibilit accrue aux agents chimiothrapeutiques ont t ralises. Cette catgorie de thrapie assiste par ultrasons est pleine de promesse pour une grande diversit dapplications potentielles. Cibler les recherches vers lobtention du meilleur eet thrapeutique possible demande maintenant une meilleure comprhension des eets biologiques des ultrasons, dont les mcanismes sont encore mal dcrits ; enn de nombreux travaux sont en cours sur la dlivrance cible de mdicaments, utilisant notamment les produits de contraste ultrasonore comme vecteur.

La France est un pays qui possde une forte tradition de recherche fondamentale et technologique dans les domaines de lchographie et des techniques Doppler application mdicale, et dans les capteurs associs. On peut citer plus rcemment les techniques thrapeutiques utilisant les ultrasons par ondes de choc ou hyperthermie, les techniques dultrasonographie quantitative applique la caractrisation de los, les avances remarquables dans les techniques de focalisation adaptative en milieu htrogne (retournement temporel) ou dvaluation de llasticit des tissus (lastographie transitoire). De nombreuses premires europennes et mondiales ralises depuis le milieu des annes 1960 traduisent la qualit de ces quipes franaises en recherche fondamentale et technologique sur les ultrasons. Malheureusement, en chographie mdicale, la stratgie inadapte puis la disparition de la Compagnie gnrale de radiologie ont rduit nant les grands espoirs de leadership de notre pays. Depuis 1980, de gros eorts ont t raliss par les chercheurs pour recrer un tissu industriel par la cration de nouvelles entreprises et le transfert de technologies vers les TPE et les PME. La coopration industrie/recherche sest dveloppe dans des secteurs trs diversis comme les matriaux et les capteurs, limagerie et la thrapie ultrasonores, le dveloppement dappareils ultrasons pour la surveillance des astronautes, la caractrisation de matriaux vivants, etc. Des quipes de recherche franaises sont actives dans le domaine de lacoustique mdicale ultrasonore. Citons le Laboratoire dimagerie paramtrique (LIP, UMR CNRS 7623 LIP, Paris, www. labos.upmc.fr/lip/), le Laboratoire ondes et acoustique (LOA,UMR CNRS 7587, Paris, www.loa.espci.fr/), lquipe imagerie et cerveau (Inserm U 930, Tours www.u930.tours.inserm.fr/), le Laboratoire dimagerie molculaire et fonctionnelle (UMR CNRS 5231, Universit de Bordeaux, www.imf.u-bordeaux2.fr/), le Laboratoire applications des ultrasons la thrapie (Inserm U556, Lyon, www. lyon.inserm.fr/556/), le Laboratoire ultrasons Cratis (Inserm U630 - CNRS UMR 5515, INSA, Lyon), le Centre dinnovation technologique ultrasons (CIT, hpital Bretonneau, CHRU de Tours, 37044 Tours cedex 09, France), le Laboratoire de mcanique et dacoustique (LMA, UPR CNRS 7051, quipe imagerie ultrasonore, Marseille, www.lma.cnrs-mrs.fr/), etc. De mme des industriels franais sont actifs dans le domaine de lacoustique mdicale ultrasonore. Citons : Vermon SA (capteurs dchographie, Tours, www.vermon.fr/), Imasonic (capteurs ultrasonores, Besanon, www.imasonic.com/), EDAP-Technomed (ultrasons de puissance, Lyon, www.edap-tms.com/), Spincontrol (exploration cutane en cosmtologie, Tours, www.spincontrol. fr/), Atys Mdical (appareillage ultrasonore mdical, Lyon, www. atysmedical.com), Theralys SA (traitement dimages mdicales, Lyon, www.theralys.com/), Intellimed (conseil en technologies biomdicales, Lyon), Supersonic Imagine (imagerie mdicale, thrapie du cerveau, Aix en Provence, www.supersonicimagine.fr/), Quantel Medical (chographes pour lophtalmologie, ClermontFerrand, www.quantel-medical.fr/), Transderma Systems (thrapie transcutane, Tours, www.transderma.fr/), Theraclion SA (thrapie US, Lyon, www.theraclion.fr/), Image Guided Therapy SA (thrapie par ultrasons, Bordeaux, www.imageguidedtherapy.com/), Althas Technologies (appareillage ultrasonore, Tours, http://althais. univ-tours.fr//), DMS (imagerie mdicale, Montpellier, www.dms. com/), Echosens (quantication de la brose hpatique, Paris, www.echosens.com/), etc.

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4. Micro-systmes acoustiques
Depuis 1980, le formidable dveloppement de la technologie des micro-systmes lectromcaniques (MEMS) a ouvert un vaste champ dvolution pour les dispositifs acoustiques (miniaturisation, monte en frquence...). Inversement, la science de la vibration de la matire est, par sa richesse et sa diversit, une source dinnovation constante pour le dveloppement des micro-systmes. Les micro-systmes acoustiques ouvrent de la sorte un champ de recherche transversal susceptible dinteraction avec tous les domaines de lacoustique car permettant la ralisation dinstruments ddis. Lactivit liant MEMS et acoustique se divise en deux domaines aux principes et objectifs distincts : la miniaturisation de dispositifs acoustiques et lobtention de frquences trs leves. La miniaturisation de dispositifs acoustiques, dj existants lchelle macroscopique par procd MEMS est une solution de rupture qui amliore trs signicativement la compacit, le cot de production et la abilit, et qui permet la co-intgration de llectronique. Les points dquilibre en terme de performance (par exemple sensibilit/bande passante) sont gnralement dplacs par rapport aux quivalents macroscopiques. Les microphones, certains micro-capteurs ondes acoustiques, les micro-machines thermoacoustiques, parmi dautres systmes, entrent dans cette catgorie. Lobtention de frquences trs leves (typiquement de 10 MHz 10 GHz) et donc de longueurs donde trs faibles (de 10 m 100 nm) trs diciles atteindre voire inaccessibles avec des dispositifs macroscopiques ( lexception des systmes optiques) devient possible. Cette monte en frquence peut se traduire par un gain en rsolution (imagerie ultrasonore), un gain en sensibilit (certains capteurs ondes acoustiques) ou par la possibilit daborder de nouveaux domaines dapplication (rsonances mcaniques compatibles avec les frquences de llectronique et des tlcommunications).

4.2 Applications
Les applications potentielles des micro-systmes acoustiques touchent un grand nombre de domaines : les domaines de llectronique et des tlcommunications pour les MEMS acoustiques les plus avancs en terme de dveloppement : microphones intgrs sur silicium, ltres et duplexeurs radiofrquences, oscillateurs programmables ; les transducteurs micro-usins (MUT) transduction lectrostatique, en cours de transfert vers les fabricants de sondes chographiques, qui apparaissent comme la solution davenir dans le domaine de limagerie ultrasonore haute rsolution ; le dveloppement dune instrumentation trs varie de types capteurs et actionneurs rpondant, soit des besoins industriels (transports, environnement, sant, procds..), soit des objectifs scientiques (micro-manipulation ou dtection de uide et dobjet, dclenchement deets physiques assists par phnomne acoustique...). Cette activit, qui met en uvre des MEMS bass sur des phnomnes acoustiques (propagation donde ou rsonance), est pour lheure essentiellement prsente dans les laboratoires.

4.3 Perspectives et enjeux


Les principaux marchs des micro-systmes acoustiques qui ont merg au niveau industriel concernent lindustrie de llectronique et des tlcommunications : les microphones sur silicium commercialiss depuis 2003 essentiellement par Knowles Acoustics (USA) et Inneon (D) (march de 50 M$ en 2004) ; les ltres et duplexeurs ondes de volume (BAW) pour le ltrage radio-frquence en tlcommunication mobile produits principalement par les socits Agilent (USA) et Inneon (117 M$ en 2004) ; les oscillateurs programmables raliss partir de rsonateurs lectro-mcaniques en silicium fabriqus par trois start-ups amricaines Discera, Si Time et Silicon Clocks (march mergent denviron 0,5 M$ en 2006). Des quipes de recherche franaises sont actives dans le domaine des microsystmes acoustiques. Citons le CEA-LETI (rsonateurs et ltres BAW, Grenoble, www-leti.cea.fr/), FEMTO-ST (capteurs ondes acoustiques, rsonateurs et ltres BAW, Besanon, www. femto-st.fr/), IEF (rsonateurs lectromcaniques, Orsay, http:// www.ief.u-psud.fr/), IEMN (capteur et actionneurs ondes acoustiques, rsonateurs et ltres BAW, rsonateurs lectromcaniques, MUT pizolectriques, Villeneuve dAscq, www.iemn.univ-lille1. fr/), IXL (capteurs ondes acoustiques, rsonateurs et ltres BAW, Bordeaux, www.ixl.fr/), LAUM (microphones, micro-machines thermoacoustiques, Le Mans, http://laum.univ-lemans.fr), lquipe imagerie et cerveau (Inserm U 930, (MUT lectrostatiques, Tours www.u930.tours.inserm.fr/), TIMA (microphones, MUT lectrostatiques, Grenoble, http://tima.imag.fr/), XLIM (rsonateurs et ltres BAW, Limoges, www.xlim.fr/). Lvolution naturelle des MEMS acoustiques est lie la diminution de la taille des dispositifs vers les nano-systmes lectromcaniques (NEMS) de dimensions infrieures 100 nm grce aux progrs de la nanotechnologie. Des NEMS mettant en uvre des rsonances mcaniques ou des ondes acoustiques de surface sont actuellement tudis dans certains laboratoires. Les applications restent identier.

4.1 Mthodes et technologies lies au thme


Le terme micro-technologie dsigne lensemble des procds mis en uvre pour fabriquer un MEMS. A lorigine, les procds de fabrication taient ceux de lindustrie micro-lectronique. Depuis le dbut des annes 90, des technologies spciques aux MEMS se sont dveloppes et on parle aujourdhui de fonderies microsystmes, usines dont loutil de production ne peut pas tre utilis pour raliser des composants micro-lectroniques. Sur le plan thorique, la plupart des MEMS acoustiques sont dcrits par des modles macroscopiques dj bien connus (transduction, vibration mcanique, rayonnement acoustique, acoustique des fentes et guides, acoustique des cavits...). Les principales spcicits de ces modles sont lies : aux incertitudes sur la structure relle (gomtrie, proprits des matriaux, contraintes rsiduelles...), limportance des nonlinarits et aux interactions avec le substrat pour la structure lastique ; limportance accrue des eets visqueux et thermiques pour la partie acoustique ; aux techniques de report des modles physiques vers les simulateurs lectroniques (type VHDL-AMS) pour la partie contrle/ commande du MEMS.

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5. Ultrasons-laser
Depuis les premiers travaux de gnration dondes lastiques sans contact mcanique dans un solide, les tudes exprimentales ont progress grce lemploi, dune part, de sources laser plus puissantes ou plus brves et, dautre part, de mthodes de dtection plus sensibles. Par rapport aux mthodes traditionnelles, essentiellement celles utilisant des transducteurs pizolectriques, la gnration photoacoustique prsente plusieurs avantages : outre quelle ne ncessite aucun contact ou couplant mcanique, la position et la forme de la source et de la dtection sont aisment matrises. Ces techniques appeles ultrasons laser sont actuellement orientes vers les tudes matriaux, des tudes dobjets complexes comme les cristaux phononiques, mais aussi les nanotechnologies et de nombreuses applications industrielles (CND END principalement).

avances technologiques des lasers impulsionnels pour la gnration et des dtecteurs optiques pour la mesure des ondes ultrasonores : mesure optique de champs acoustiques : sonde interfromtrique Mach-Zehnder, cristaux photorfractifs, shearographie, interfromtrie impulsionnelle, utilisation de bres optiques photoniques... ; utilisation de rseaux de sources ; microscopie nanomtrique de champ proche et transduction trs haute frquence (THz) en dveloppement. Ces thmatiques sont fortement impliques dans des partenariats industriels qui donnent lieu de nombreuses recherches appliques : modlisation et exprimentation ultrasonore laser dans les mtaux, semi-conducteurs, verres, etc. ; CND, END par ultrasons laser de milieux composites (plaques, cylindres, in situ, pices complexes, etc.) ; mesures de contraintes rsiduelles ; application la gophysique (milieux fortement dispersifs) ; secteur de la Dfense nationale (tude de transition de phase sous conditions extrmes...) ; secteur de la microlectronique. En parallle, de nombreuses recherches fondamentales sont soutenues par des nancements publics nationaux ou europens : objet articiel complexe comme les cristaux phononiques (mm - nm) ; modlisation complte des phnomnes multiphysiques de gnration et de dtection des ondes ultrasonores aux direntes chelles spatiales (mm - nm) et temporelles (ms - fs) ; physique du solide : mesure de paramtres tels que le couplage e-ph, coecients pizolectriques, tude des phnomnes dadhsion... Toutes ces avances scientiques et technologiques ont donn lieu de nombreux transferts industriels. La socit Thalsgroup (ex BMI) commercialise la sonde interfromtrique dveloppe par D. Royer (ESCPI). Dassault Aviation et EADS CCR utilisent la technologie des ultrasons laser depuis 1994 avec le systme LUIS (Laser Ultrasonic Inspection System). Depuis quelques annes la socit Rudolph Technologies commercialise les techniques dacoustique picoseconde pour les industries des lms minces (semi-conducteurs, oxydes, isolants...) et microlectronique ; plusieurs quipes franaises universitaires dveloppent des relations dans ce cadre avec ST Microelectronics.

5.1 Petites chelles (nm)


Depuis quelques annes, lacoustique picoseconde (AP), ultrasons laser aux trs petites chelles, est en plein essor en France. Cette technique rcente repose sur un dispositif exprimental optique pompe-sonde utilisant des impulsions lasers ultra-brves (fs) permettant de gnrer des ondes acoustiques de trs hautes frquences (GHz) et donc de trs petites longueurs donde (nm).

RAGUET Hubert/CNRS Photothque

[ FIGURE 4 ] Dispositifs dacoustique picoseconde, INSP Paris.

5.3 Perspectives et enjeux


Les ultrasons laser franais ont maintenant 20 ans. La communaut nationale regroupe plus de 50 personnes tudiant les ultrasons laser. On a assist une migration des thmatiques vers les nanotechnologies grce lamlioration de linstrumentation. Ces avances rcentes permettent de supposer que lacoustique picoseconde sera bien plus facile dans sa mise en uvre et de cot bien moins lev dans quelques annes. Cela laisse prvoir une augmentation trs signicative de lintgration industrielle des ultrasons laser aux petites chelles. Les thmatiques qui semblent merger sont les suivantes : nanoimagerie et microscope acoustique trs haute rsolution, nanocristaux phononiques, transduction trs hautes frquences (THz) pour le CND-END, MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) et NEMS (Nano Electro Mechanical Systems), modulation optique ultrarapide...

Dassault Aviation

[ FIGURE 5 ] Laser Ultrasonic Inspection System (LUIS), Dassault Aviation.


5.2 Mcanique et physique : pluridisciplinarit
La thmatique des ultrasons laser est fortement pluridisciplinaire. Les ultrasons laser en France se sont dvelopps grce aux

Le livre blanc de lacoustique en France en 2010 - 81

Les ultrasons laser ont t initis, en France, par J.-C. Baboux (INSA Lyon) et D. Royer (ESPCI Paris) au milieu des annes 80. J.-C. Baboux monte les premires expriences franaises dultrasons laser avec des objectifs industriels (EDF) pour le CND de mtaux. D. Royer dveloppe et met au point une sonde interfromtrique optique qui quipera grand nombre de laboratoires. lheure actuelle, en France, environ 10 quipes de dirents laboratoires (Universit, EPST, EPIC) centrent leurs activits sur les ultrasons laser (et/ou acoustique picoseconde) : lESPCI (cole suprieure de physique et de chimie industrielles, www.espci.fr/), lINSP (Institut Nanoscience de Paris, http://www.pps.jussieu.fr/),

lONERA (Paris, www.onera.fr/), CPMOH (Centre de Physique Molculaire Optique et Hertzienne, Bordeaux, www.cpmoh.cnrs.fr/), le LMP (Laboratoire de Mcanique Physique, Bordeaux, www.lmp. u-bordeaux1.fr/), lIEMN (Institut dlectronique, de Microlectronique et de Nanotechnologie, Villeneuve dAscq, www.iemn.univlille1.fr/), le LAUM (Laboratoire dAcoustique de lUniversit du Maine, Le Mans, http://laum.univ-lemans.fr), le LPEC (Laboratoire de Physique de ltat Condens, Le Mans, http://lpec.univ-lemans. fr/), le LASIM (Laboratoire de Spectromtrie Ionique et Molculaire, Lyon, www-lasim.univ-lyon1.fr/), le CEA (Valduc, www.cea. fr/le_cea/les_centres_cea/valduc), etc.

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