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Captulo 6: Sondas Electrostticas.

6.1 Generalidades. Una sonda electrosttica es sencillamente un pequeo electrodo sumergido en el seno del plasma, y polarizado con respecto a ste. Dado que la sonda colecta partculas del plasma (electrones o iones, de acuerdo a la polarizacin que se le d al electrodo), la idea es medir la curva caracterstica de la sonda V-i, y a travs de ella obtener informacin de ne, Te, y de ser posible, de la funcin de distribucin de energa de los electrones fe(). En la Fig. 6.1 se muestra un esquema tpico de conexin elctrica, en el que el nodo es el electrodo de referencia.

Figura 6.1 Con VS se indica el potencial del plasma respecto del electrodo de referencia (A), y con VP el potencial de la sonda respecto del plasma. Lo que se mide experimentalmente es V = VS + VP . Las sondas se emplean usualmente en plasmas estacionarios con parmetros en el rango p 10-5 10-2 torr, y ne 106 1014 cm-3. La ventaja de estos dispositivos radica en su simplicidad y bajo costo, y la mayor desventaja en las perturbaciones introducidas en el plasma, lo que trae aparejado teoras complicadas para interpretar los resultados. En la Fig. 6.2 se muestra un esquema de las geometras ms usadas (puntas cilndricas con tamaos tpicos de 0.05 a 0.5 mm, esfricas o planas con tamaos tpicos de 1 mm). Los metales y aislantes empleados son refractarios: tungsteno, molibdeno, cuarzo, almina (Al2O3) y otros cermicos.

Figura 6.2 Veamos ahora algunos hechos cualitativos de la curva caracterstica, que se muestra en la Fig. 6.3.

Figura 6.3

En esta curva, la corriente electrnica se toma como positiva (al revs de la convencin habitual). Supondremos plasma neutro en ausencia de la sonda (ne = n+ = ne), y la superficie colectora se supondr paralela al campo elctrico de la descarga (sonda plana). Supongamos primero que V = VS (VP = 0). En este caso las cargas alcanzan la superficie de la sonda slo debido a su movimiento trmico (no hay campo elctrico entre la sonda y el plasma). Entonces dominan los electrones, por su mayor mobilidad i ie. Para V > VS (VP > 0), se repelen los iones, y se forma una lmina negativa alrededor de la sonda, en donde el potencial cae desde VS + VP hasta VS (el plasma se polariza). Habr una cierta superficie externa a partir de la cual el plasma no est perturbado. Los electrones llegan desde el plasma hasta esa superficie por movimiento trmico, y esto determina su flujo, el cual depende muy dbilmente del potencial de la sonda: la corriente electrnica est saturada ie,sat (regin BA de la Fig. 6.3). Si la superficie colectora fuera infinita, la corriente sera constante (en la prctica, crece un poco por el tamao finito de la sonda). Si V < VS (VP < 0), la cantidad de electrones que alcanzan la sonda cambia muy fuertemente con VP. Esta es la regin C de la curva (Fig. 6.3). El punto B corresponde a V = VS. Como se ver en seguida, as se determinan los campos elctricos en el plasma. Habr un cierto potencial negativo respecto del plasma V = Vf (VP = Vf - VS < 0) para el cual la corriente se anula. En este caso el pequeo flujo de electrones capaces de vencer a VP es compensado por el flujo de iones. Vf es conocido como el potencial flotante, y es el potencial que adquirira un objeto aislante introducido en el plasma. Apotenciales ms negativos, V < Vf, la sonda repele a todos los electrones, pero atrae a los iones: la corriente es puramente inica, y se forma alrededor de la sonda una lmina de carga positiva. El flujo de corriente inica depende muy dbilmente de V i i+,sat.Este es el sector ED de la curva. 6.1 Teora de Langmuir. Esta teora funciona bien para plasmas de baja densidad. Consideremos el sector C de la curva en Fig. 6.3. Supongamos que los electrones cruzan la lmina sin colisiones. Como el espesor de la lmina corresponde a la longitud de Debye (d), esto implica que la longitud de Debye es menos que el camino libre medio colisional. d = (kTe / 4e2ne)1/2 , d (cm) = 742 [Te (eV) / ne(cm-3)]1/2 (6.1)

por ejemplo, para Te 1 eV, ne 109 cm-3 d 10-2 cm, y entonces le > d para p < 0.1 1 Torr. Calcularemos ie suponiendo que d es pequea comparada con el radio de curvatura de la superficie de la sonda (problema plano). Si la normal a esta superficie es x, un electrn puede alcanzar la sonda slo si su velocidad es tal que vx > vt = (2eVP / m)1/2. Sea f(vx, vy, vz) la funcin de distribucin de los electrones. Si fuera Maxwelliana, la misma sera: fM(vx, vy, vz) = (m / 2kTe)1/2 no exp[-m / 2kTe (vx2 + vy2 + vz2)] Si S es el rea colectora de la sonda, entonces ie = je S, donde (6.2)

je = e

dvy

dvz

vt

vx f(vx, vy, vz) dvx

(6.3)

para una distribucin Maxwelliana, (6.3) resulta: ie = S (enovth / 4) exp (eVP / kTe) ; vth = (8kTe / m)1/2 (6.4)

La ltima formula describe el segmento C de la curva de la Fig. 6.3. Si se grafica ln ie vs VP = V VS, la pendiente es e/ kTe. Al mismo tiempo, la linealidad de esa curva semilogartmica es evidencia de una distribucin Maxwelliana. Para V > VS, se debe integrar Vx desde 0 a en (6.3) (independiente de VP), y entonces, para una Maxwelliana se obtiene: ie,sat = S (enovth / 4) (6.5)

por lo que, conociendo a Te, se puede obtener no de (6.5). Para justificar la interpretacin de no como la densidad del plasma imperturbado, es necesario que la presencia de la sonda no cambie a no en el punto de la ltima colisin antes de que los electrones alcancen la sonda. Como la densidad en ese punto es creada por partculas que llegan desde una esfera de radio le, la superficie de la sonda eclipsa una fraccin de ngulo slido S / 4le2 de la superficie de esa esfera (ver Fig. 6.4). Por lo tanto, se debe cumplir S << 4le2. Recurdese que otra condicin que debe cumplirse es le >> d.

Figura 6.4

Si d > (S)1/2, no se produce una estricta saturacin de corriente, porque la fraccin de partculas que llegan a la sonda depende de VP. En la Fig. 6.5 se muestra esquemticamente cmo se produce este efecto.

Figura 6.5 Qu ocurre si la distribucin no es Maxwelliana? Supongamos que fuera istropa, y entonces se puede integrar sobre los ngulos (en coordenadas esfricas) y tener una distribucin en trminos del mdulo de la velocidad, f(v). Entonces la ec. (6.3) se escribe: je = e

-vt

(mv2/2 - 2eVP) v f(v) dv

(6.6)

por supuesto, si f(v) es maxwelliana y la reemplazamos en (6.6), se recupera el resultado (6.4). Si V > VS, la integral de (6.6) debe hacerse entre 0 e . Derivando dos veces (6.6) respecto de VP se obtiene: d2ie/dVP2 = -S 2e3 / m2 f(vt) y de esta ltima relacin puede obtenerse la funcin de distribucin, aunque con mucho error (existen tcnicas para disminuir este error). Para la rama DE de la curva caracterstica, y siguiendo un razonamiento anlogo al de los electrones, tendremos una corriente de saturacin inica dada por: i+,sat = S (enovth+ / 4); vth+ = (8kT / M)1/2 (6.7)

En la prctica, no se determina comnmente de la rama inica, porque si V > VS la corriente electrnica puede ser lo suficientemente alta como para fundir la sonda. Sin embargo, los valores de no obtenidos de (6.7) resultan mucho mayores que los inferidos de la rama electrnica (6.5). Esto fue un intrngulis por muchos aos, que fue finalmente dilucidado por Bhom, Burhop y Massey (1949), mediante una compleja teora cuyos resultados presentaremos sucintamente. La base de esta teora es que Te >> T.

Ntese que la neutralidad de carga lejos de la sonda comienza a ser violada cuando los electrones son frenados por el campo repulsivo, lo que a su vez ocurre donde el potencial repulsivo (respecto del plasma) vale Vb kTe/e. Este lugar puede considerarse como el borde exterior de la lmina. En este punto, la densidad electrnica ha cado ya a n no exp(-eVb/ kTe) no/2.71. Sin embargo, los iones fuera de esta regin estn fuertemente influenciados por este campo (porque kT << kTe eVb), y se forma una pre-lmina en la cual los iones son fuertemente acelerados a velocidades grandes respecto a su velocidad trmica y mantiene la neutralidad, pero con una distribucin no Maxwelliana (ver Fig. 6.6).

Figura 6.6 Es decir, los iones entran a la lmina con una velocidad media: v+ (2eVb/M)1/2 (2kTe/M)1/2 (Te/T)1/2 vth+ y entonces: i+,sat = S env+ = (21/2 /2.71) S eno (kTe/M) 1/2 (6.8)

En la prctica, la (6.8) se emolea para obtener no en vez de (6.7). el coeficiente numrico entre parntesis se ajusta con teora ms refinada, incluyendo efectos de tamao finito de la superficie colectora. Si se iguala la corriente inica con la corriente electrnica para anular la corriente total (V = Vf), se encuentra:

eVPf /kTe ln [0.77 (M/m)]1/2 y as, por ejemplo, VPf -3.3 Te(eV) para Hidrgeno, y VPf -6.3 Te(eV) para Argn. En la prctica, para no irse a saturacin electrnica, se determina primero Te de la pendiente de la caracterstica, y luego se obtiene VS = Vf + VPf. Adems, en muchos casos VPf cte. En el espacio (porque Te cte), y entonces el campo E e determina directamente de Vf. 6.3 Sondas en un plasma a alta presin (teora colisional). En este caso le, l+ << (S)1/2, y la teora es compleja e inconclusa. Daremos algunas ideas, suponiendo una sonda esfrica de radio a. Por ejemplo, para p = 30 torr y a 0.1 1 cm, le 10-3 cm, l+ 10-4 cm. Si Te 1 eV, no 109 1010 cm-3, se obtiene d 0.01 cm. En este caso, le,+ << d << a, y el flujo de partculas hacia la sonda puede ser descripto a travs de difusin y deriva. Dada la pequeez de la longitud de Debye (comparada con la escala de variacin de la densidad, que es del orden del tamao de la sonda), la perturbacin de la sonda no se manifiesta como un apartamiento de la densidad de especies (ne n+ = n), sino como un gradiente de densidad que apunta hacia la sonda. Recordemos que los flujos de partculas estn dados por: e,+ = n e,+ E - De,+ n y si estamos en una situacin en la que e + (V Vf), y e >> + y De >> D+, puede usarse, en primera aproximacin, que e 0, de donde se obtiene: n / n = - e / De E = e/kTe V n = no exp[ e(V - VS) / kTe] (6.9)

la Fig. 6.7 ilustra grficamente la situacin. Ntese quepara los electrones los flujos de difusin y deriva (ambos grandes) son opuestos, y estn prcticamente balanceados.

Figura 6.7 Entonces, usando que para una distribucin Maxwelliana D/ = kT/e, + = - D+ n n + (De/e) n /n = - (D+ + + kTe/e) dn/dr = - Da dn/dr y la corriente inica cruzando una superficie de radio r ser: i+ = 4 r2 e Da dn/dr y, despreciando procesos de creacin o remocin de cargas (i+ = cte.), se puede integrar la ltima ecuacin, obtenindose: n = no (1 R/r) E = - kTe/eR (R/r)2 (1 R/r)-1 V = - kTe/e ln(1 R/r)-1 En donde R es una escala caracterstica de longitud para el problema, dada por: R = i+ / 4 no + (kTe/e) (6.10)

R corresponde al contorno que separa la sonda de la regin neutra (es decir, el radio efectivo de la sonda). En la Fig. 6.8 se muestran los perfiles de las magnitudes fsicas.

Figura 6.8 En la prctica, el espesor de la capa no neutra (R a) es del orden del radio de Debye. Si este ltimo es muy pequeo, a los fines de calcular i+ basta reemplazar R por a. Entonces, i+,sat = 4 e a no + (kTe/e) y usando: (independiente de VP)

+ = e l+ / M vth,+ ; vth,+ = (8kT/M)1/2 ; S = 4 a2 i+,sat = S (/8)1/2 e no (kTe/M)1/2 [(Te/T) 1/2 l+/a] (6.11)

el trmino entre corchetes en (6.11) es el factor correctivo respecto de la expresin correspondiente hallada para plasmas sin colisiones (6.8), y en la prctica suele ser pequeo. Esto significa que la corriente inica de saturacin en un plasma denso es ms pequea, y tanto ms cuanto ms pequeo sea l+. El grfico V-i para un plasma colisional es cualitativamente similar al de un plasma enrarecido. Existe una zona abrupta (V > Vf), en donde i ie, y en este caso, despus de la ltima colisin, los electrones llegan a la sonda desde una esfera de radio a + le (le << a), y donde el potencial y la densidad toman los valores V1 y ne1. Entonces puede escribirse, al igual que en los plasmas enrarecidos, ie S (e ne1 vth / 4) exp[e (VP - V1) / kTe] (6.12)

Como regla, Te y vth resultan mucho menos perturbados que ne. Si usamos que ne1 = no exp(e V1/kTe) en (6.12), se obtiene una frmula idntica a la de los plasmas no colisionales (6.4), aunque una teora ms precisa muestra que en realidad la corriente electrnica se reduce por un factor: = 1 + [(R a) / le] (kTe/VP); 0.5 (6.13)

y aunque esta reduccin puede ser importante ( 10), depende de VP en frma mucho ms suave que la exponencial en (6.12), y por lo tanto sigue siendo posible obtener Te de la pendiente de la curva ln ie vs VP. Veamos ahora el espesor de la lmina no-neutra positiva. A partir de la ecuacin de Poisson, r2 d/dr (r2E) = 4 n+ ; E = - dV/dr y relacionando a n+ con el flujo inico (que es debido a deriva), n+ = +/+ E ; i+ = cte. = 4 r2 + se obtiene: n+ = i+ / 4 r2 + (-E) = - R 4eno+ (kTe/e) / 4er2+ E = - no (kTe/eE) R/r2 (6.15) (6.14)

y como el campo y potencial afuera son pequeos comparados con el valor medio en la lmina, puede usarse como condiciones de contorno: E (r=R) = V (r=R) = 0. Si se usa adems la aproximacin de lmina fina (r2 cte. a2), se obtiene: R / a 1 + [(3/23/2) (d/a) e VP / kTe] (6.16)

Por ltimo, igualando i+,sat con ie (teniendo en cuenta el factor de correccin ya mencionado), se obtiene para el potencial flotante:

e VPf / kTe = ln [2/ (M/m)1/2 (T/Te)1/2 (a/l+) 1/] que resulta del orden de 10 kTe/e.

(6.17)

6.4 Sondas dobles Las sondas dobles se emplean para evitar el uso de un electrodo de referencia, y por lo tanto son muy tiles en descargas sin electrodos (RF, etc.). Un circuito tpico se muestra en la Fig. 6.9.

Figura 6.9 La idea de esta diagnstica es ubicar dos sondas idnticas en lugares prximos, como para que los parmetros del plasma sean los mismos en la posicin de ambas sondas. En estas condiciones, la curva caracterstica del sistema es simtrica (ver Fig. 6.10).

Figura 6.10 La diferencia de voltaje tpica entre ambas sondas es de varias decenas de Volts, y, para sondas pequeas, las corrientes circulantes son de decenas de A. Si el potencial de plasma (VS) en las dos sondas es igual, entonces V = 0 i = 0. por lo tanto las dos sondas estn al mismo potencial flotante Vf. En la Fig. 6.11 se muestra el potencial entre las dos sondas para tres casos: a) potencial flotante, sin corriente entre las sondas; b) la sonda de la izquierda (Fig. 6.9) est polarizada negativa, y recibe corriente de saturacin inica; c) polaridad invertida respecto del caso b).

Figura 6.11 Supongamos que llamamos VP1 al potencial de la sonda izquierda respecto del plasma, y VP2 al correspondiente a la sonda de la derecha (V = VP1 - VP2). Se supone que la corriente elctrica es positiva si fluye desde el plasma hacia la sonda 1. Como antes, ie, i+ denotan las corrientes electrnica e inica, respectivamente. Como la cantidad de carga positiva que fluye desde el plasma a 1 es igual a la que fluye desde 2 al plasma, i = i+1 - ie1 = - (i+2 - ie2) (6.18)

Ntese que el potencial de las dos sondas respecto del plasma no puede ser positivo: si VP > 0 (respecto de alguna sonda), esta sonda recibira la corriente de saturacin electrnica, pero el circuito debe cerrarse a travs de la otra sonda, en donde fluira una corriente inica muy pequea. Entonces cada una de las sondas debe ser negativa. Supongamos que V < 0, es decir la polaridad indicada en la Fig. 6.9 por la fuente de alimentacin del circuito. Como la corriente en el plasma fluye de (+) a (-), la corriente inica domina en la sonda izquierda, y la electrnica en la de la derecha. Si V es alto (en relacin con kTe/e), la sonda 1 es fuertemente negativa, mientras que la 2 es menos negativa que el potencial flotante (ver Fig. 6.11). La 1 recibe en este caso puramente corriente inica de saturacin, y la dependencia i(V) es muy suave, y corresponde a la parte izquierda (de pendiente baja) de la curva i-V de la Fig. 6.10. Si V es negativo pero pequeo, la corriente inica en 1 es parcialmente compensada por la corriente electrnica, que depende fuertemente de V. Este es el segmento abrupto izquierdo de la curva i-V, y a medida que V 0 la corriente tiende tambin a 0. La parte derecha de la curva i-V reproduce a la izquierda, pero con polaridad invertida. Como ambas sondas son negativas, se puede aplicar la ecuacin (6.4) para evaluar ie1 e ie2. Usando (6.18): i = i+1(VP1) - ie,sat exp(e VP1/kTe) = i+2(VP2) + ie,sat exp(e VP2/kTe) con ie,sat = S (e no vth / 4) Si se deriva la primer igualdad de (6.19) con respecto a V, y usando que en i = 0, ie1 (i=0) = i+1 (i=0) = i+)0 queda: di/dV)0 = [di+1 /dVP1)0 e/kTe i+)0] dVP1/dV)0 (6.20) (6.19)

Como la inversin de polaridad significa simplemente intercambiar el rol de ambas sondas, se debe cumplir VP1(V) = VP2(-V), adems de V = VP1 - VP2.Entonces, derivando respecto de V se obtiene: dVP1/dV)V = - dVP2/dV)(-V) , 1 = dVP1/dV)V - dVP2/dV)V

y entonces el punto de simetra dVP1/dV)0 = . La (6.20) implica entonces: e/kTe = i+)0-1 [(di+1 /dVP1)0 2 (di/dV)0] (6.21)

y esta ltima frmula es usada para obtener la temperatura electrnica. La derivada (di/dV)0 se obtiene de la pendiente de la curva i-V en i = 0, mientras que la corriente inica y su derivada se obtienen extrapolando la parte de baja pendiente hasta el punto i = 0 (ver Fig. 6.10). La densidad electrnica en el plasma se obtiene como en el caso de la sonda simple, usando (6.8) para la corriente de saturacin inica una vez que Te ha sido determinada.

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