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Universidad de Guadalajara Maestra en Ciencias de Materiales

Elipsometra y Birrefringencia

Materia: Propiedades de los Materiales II Catedrtico: Dr. Emmanuel Saucedo Alumno:


Mojardn Miranda Eduardo Antonio

Zapopan, Jal. Octubre Del 2013.

Elipsometra La elipsometra espectroscpica es una tcnica de anlisis ptica que se basa en el cambio del estado de polarizacin de la luz que se incide sobre un material. Dicho anlisis es no destructivo y es til para la determinacin de espesores de pelculas delgadas, y constantes pticas de materiales (ndices de refraccin, coeficiente de extincin). Elipsometra es una tcnica ptica para la investigacin de las propiedades dielctricas de las pelculas delgadas.

Tiene aplicaciones en muchos campos diferentes, de la fsica de semiconductores para la microelectrnica y la biologa, de la investigacin bsica a las aplicaciones industriales. Elipsometra es una tcnica de medicin muy sensible y proporciona capacidades inigualables para la metrologa de pelcula delgada. Como una tcnica ptica, elipsometra espectroscpica es no destructiva y sin contacto.

Tras el anlisis del cambio de polarizacin de la luz, que se refleja fuera de una muestra, la elipsometra puede proporcionar informacin acerca de las capas que son ms delgadas que la longitud de onda de la luz propia de palpacin, incluso hasta una sola capa atmica. La elipsometra puede sondear el ndice de refraccin complejo o funcin dielctrica tensor, que da acceso a los parmetros fsicos fundamentales y est relacionada con una variedad de propiedades de la muestra, incluyendo la morfologa, calidad de cristal, la composicin qumica, o la conductividad elctrica. Se utiliza comnmente para caracterizar espesor de la pelcula de capas individuales o pilas multicapa complejos que van desde unos pocos angstroms o dcimas de un nanmetro a varios micrmetros, con una excelente precisin.

El nombre "elipsometra" se deriva del hecho de que la luz reflejada en un ngulo a partir de una muestra tiene la polarizacin elptica. La tcnica se ha conocido desde 1888, y tiene muchas aplicaciones hoy en da. Un elipsmetro espectroscpico se puede encontrar en los laboratorios analticos de pelculas delgadas. Elipsometra es cada vez ms interesante para los investigadores de otras disciplinas, como la biologa y la medicina. Estas reas representan nuevos retos para la tcnica, tales como mediciones en superficies lquidas inestables e imgenes microscpicas.

Principios bsicos

Elipsometra mide la variacin de la polarizacin en la reflexin o transmisin. Normalmente, la elipsometra se realiza slo en la configuracin de la reflexin. La naturaleza exacta del cambio de polarizacin se determina por las propiedades de la muestra. Aunque las tcnicas pticas son inherentemente difraccin limitada, la elipsometra explota la informacin de fase y el estado de polarizacin de la luz, y se

puede conseguir una resolucin angstrom. En su forma ms simple, la tcnica es aplicable a pelculas delgadas con un grosor de menos de un nanmetro a varios micrmetros. La muestra debe estar compuesto de un pequeo nmero de capas discretas y bien definidas que son pticamente homogneo e isotrpico. La violacin de estos supuestos se anular el procedimiento de modelado elipsomtrico estndar y variantes ms avanzadas de la tcnica debe ser aplicada.

Birrefringencia La birrefringencia se define formalmente como la doble refraccin de la luz en un material transparente molecularmente ordenado, que se manifiesta por la existencia de diferencias dependientes de la orientacin en el ndice de refraccin. Muchos slidos transparentes son pticamente isotrpico, lo que significa que el ndice de refraccin es igual en todas las direcciones a lo largo de la red cristalina. Ejemplos de slidos istropos son el vidrio, la sal de mesa (cloruro de sodio, se ilustra en la Figura 1 (a)), muchos polmeros, y una amplia variedad de compuestos tanto orgnicos como inorgnicos.

Los cristales son clasificados ya sea isotrpico o anisotrpico en funcin de su comportamiento ptico y si o no sus ejes cristalogrficos son equivalentes. Todos los cristales isotrpicos tienen ejes equivalentes que interactan con la luz de una manera similar, independientemente de la orientacin del cristal con respecto a las ondas de luz incidentes. La luz que entra un cristal isotrpico se refracta en un ngulo constante y pasa a travs del cristal a una sola velocidad sin ser polarizada por la interaccin con los componentes electrnicos de la red cristalina. El trmino anisotropa se refiere a una distribucin espacial no uniforme de propiedades, lo que resulta en valores diferentes siendo obtenidos cuando las muestras se sondean desde varias direcciones dentro del mismo material. Propiedades observadas son depende a menudo de la sonda particular que est siendo empleado y con frecuencia varan dependiendo de si los fenmenos observados se basan en eventos pticos, acstica, trmica, magntica, o elctrica. Por otra parte, como se mencion anteriormente, las propiedades isotrpicas siguen siendo simtrica, independientemente de la direccin de medicin, con cada tipo de sonda de informar de los resultados idnticos. Cristales anistropos, como el cuarzo, calcita, y turmalina, tienen ejes cristalogrficamente distintos e interactan con la luz por un mecanismo que depende de la orientacin de la red cristalina con respecto al ngulo de la luz incidente. Cuando la luz entra en el eje ptico de cristales anistropos, se comporta de una manera similar a la interaccin con los cristales isotrpicos, y pasa a travs de en una sola velocidad. Sin embargo, cuando la luz

entra en un eje no equivalente, se refracta en dos rayos polarizados, cada uno con las direcciones de vibracin orientada en ngulo recto (perpendiculares entre s) el uno al otro y viajando a diferentes velocidades. Este fenmeno se denomina doble refraccin o birrefringencia y se exhibe en un grado mayor o menor en todos los cristales anistropos. La radiacin electromagntica se propaga a travs del espacio en vectores oscilante de campo elctrico y magntico alterno en los patrones senoidales que son perpendiculares entre s y a la direccin de propagacin de la onda. Debido a que la luz visible se compone de dos componentes elctricos y magnticos, la velocidad de la luz a travs de una sustancia es parcialmente dependiente de la conductividad elctrica del material. Las ondas de luz que pasan a travs de un cristal transparente deben interactuar con los campos elctricos localizados durante su viaje. La velocidad relativa a la que las seales elctricas viajan a travs de un material vara con el tipo de seal y su interaccin con la estructura electrnica, y se determina por una propiedad que se refiere como la constante dielctrica del material. La relacin vectorial que define la interaccin entre una onda de luz y un cristal por el que pasa se rige por la orientacin inherente de los vectores elctricos reticulares y la direccin de la componente del vector elctrico de la onda. Por lo tanto, una consideracin cuidadosa de las propiedades elctricas de un material anisotrpico es fundamental para la comprensin de cmo una onda de luz interacta con el material a medida que se propaga a travs.

El fenmeno de la doble refraccin se basa en las leyes del electromagnetismo, propuesto por el matemtico britnico James Clerk Maxwell en 1860. Su elaborada serie de ecuaciones demuestran que la velocidad de la luz a travs de un material es igual a la velocidad de la luz en el vaco (c) dividida por el producto de la raz cuadrada de la constante dielctrica del Material (e) multiplicada por la permeabilidad magntica () del medio. En general, los materiales biolgicos y relacionados tienen una permeabilidad magntica muy cerca de 1,0, al igual que muchos conductores y no-realizacin de especmenes de inters para el microscopista. Por consiguiente, la constante dielctrica de un material est relacionada con el ndice de refraccin a travs de una simple ecuacin:

Donde (e) es una variable que representa la constante dielctrica, y (n) es el ndice de refraccin medido del material. Esta ecuacin se deriva de frecuencias especficas de luz y hace caso omiso de la dispersin de luz policromtica a medida que pasa a travs del material. Cristales anistropos se componen de orientaciones de la red atmica y molecular complejas que tienen varias propiedades elctricas dependiendo de la direccin

de la que se probaron. Como resultado, el ndice de refraccin tambin vara con la direccin cuando la luz pasa a travs de un cristal anisotrpico, dando lugar a trayectorias y velocidades direccin-especficos. Cuando los cristales anistropos refractan la luz, se separaron los rayos entrantes en dos componentes que tienen diferentes caminos durante su viaje a travs del cristal y emergen como los rayos de luz separadas. Este comportamiento inusual se atribuye a la disposicin de los tomos en la red cristalina. Debido a que el ordenamiento geomtrica precisa de los tomos no es simtrica con respecto a los ejes cristalinos, los rayos de luz que pasan a travs del cristal pueden experimentar diferentes ndices de refraccin, dependiendo de la direccin de propagacin.

La divisin real de un rayo de luz en dos especies visibles, cada uno refractan en un ngulo diferente, es el proceso de la doble refraccin. En contraste, la birrefringencia se refiere al origen de la separacin fsica, que es la existencia de una variacin en el ndice de refraccin que es sensible a la direccin en un material geomtricamente ordenado. La diferencia en el ndice de refraccin o birrefringencia, entre los rayos ordinarios y extraordinarios que viajan a travs de un cristal anisotrpica es una cantidad mensurable, y se puede expresar como un valor absoluto por la ecuacin: ( ) | |

donde n (e) y n (o) son los ndices de refraccin experimentados por los rayos ordinarios y extraordinarios, respectivamente. Esta expresin es vlido para cualquier parte o un fragmento de un cristal anisotrpico con la excepcin de las ondas de luz propagada a lo largo del eje ptico del cristal. Debido a que los valores de ndice de refraccin de cada componente pueden variar, el valor absoluto de esta diferencia se puede determinar la cantidad total de birrefringencia, sino la seal de birrefringencia ser o bien un valor negativo o positivo. Una determinacin de la seal de birrefringencia por mtodos analticos se utiliza para segregar las muestras anisotrpicas en categoras, que se denominan, ya sea positiva o negativamente birrefringente. La birrefringencia de un espcimen no es un valor fijo, sino que variar con la orientacin del cristal en relacin con el ngulo de incidencia de la iluminacin. Cristales birrefringentes en un microscopio ptico de polarizacin Como se mencion anteriormente, la luz que se refracta doblemente a travs de cristales anistropos es polarizado con el vector de direcciones de vibracin elctricos de las ondas de luz ordinaria y extraordinaria de ser orientados perpendicularmente el uno al

otro. El comportamiento de cristales anistropos bajo iluminacin polarizada cruzada en un microscopio ptico ahora puede ser examinado. La figura 7 ilustra un cristal birrefringente (anisotrpica) colocado entre dos polarizadores cuyos direcciones de vibracin estn orientados perpendicularmente entre s (y acostado en direcciones indicadas por las flechas situadas junto al polarizador y el analizador de etiquetas).

Con el fin de examinar ms de cerca cmo los cristales birrefringentes, anisotrpico interactan con la luz polarizada en un microscopio ptico, se tendrn en cuenta las propiedades de un cristal individual. El material de muestra es un cristal tetragonal hipottico, birrefringente que tiene un eje ptico orientado en una direccin que es paralela al eje largo del cristal. La luz que entra el cristal desde el polarizador se desplaza perpendicularmente al eje ptico (largo) del cristal. Las ilustraciones de la Figura 8 se presentan los cristales, ya que aparece en el ocular de un microscopio con iluminacin con polarizacin cruzada, ya que gira alrededor del eje ptico del microscopio. En cada cuadro de la Figura 8, el eje del polarizador microscopio se indica mediante la letra P capital y est orientado en una direccin Este-Oeste (horizontal). El eje del analizador de microscopio se indica por la letra A y est orientado en una direccin norte-sur (vertical). Estos ejes son perpendiculares entre s y dan lugar a un campo totalmente oscuro cuando se observa a travs de los oculares con ninguna muestra sobre la platina del microscopio.

Categoras de Birrefringencia Aunque birrefringencia es una propiedad inherente de muchos cristales anistropos, tales como calcita y cuarzo, que tambin puede surgir de otros factores, tales como

ordenamiento estructural, el estrs fsico, la deformacin, el flujo a travs de un conducto restringido, y la tensin. Birrefringencia intrnseca es el trmino utilizado para describir los materiales que han asimetra en el ndice de refraccin que es dependiente de la direccin de origen natural. Estos materiales incluyen muchos cristales anistropos naturales y sintticos, minerales, y productos qumicos. Birrefringencia estructural es un trmino que se aplica a un amplio espectro de formaciones anisotrpicas, incluyendo conjuntos macromoleculares biolgicos tales como cromosomas, fibras musculares, microtbulos, ADN cristalina lquida, protenas y estructuras fibrosas tales como el cabello. A diferencia de muchas otras formas de birrefringencia, birrefringencia estructural es a menudo sensible a las fluctuaciones del ndice de refraccin o gradientes en el medio circundante. Adems, muchos materiales sintticos tambin presentan birrefringencia estructural, incluyendo fibras, polmeros de cadena larga, resinas, y materiales compuestos. La birrefringencia de tensin y deformacin se producen debido a las fuerzas externas y / o deformaciones que actan sobre los materiales que no son naturalmente birrefringente. Ejemplos pelculas y fibras estiradas, vidrio deformada y lentes de plstico, fundicin de polmeros tensionados. Por ltimo, birrefringencia de flujo puede ocurrir debido a la alineacin inducida de materiales tales como polmeros asimtricos que se convierten en ordenadas en la presencia de flujo de fluido. Molculas en forma de barra y en forma de placa y conjuntos macromoleculares, tales como el ADN de alto peso molecular y detergentes, se utilizan a menudo como candidatos en los estudios de birrefringencia de flujo.