Transductor capacitivo de presin

Resumen. Un sensor capacitivo de presin es un dispositivo que al ser presionado capta la diferencia de carga elctrica que se produce en un condensador al desplazarse muy levemente una de sus partes mviles. Consta de dos conductores separados por un material dielctrico, que puede ser de diversos materiales. Hay diferentes diseos segn el rango de presiones (baja o alta presin), el tipo de proceso para el cual se va a usar, el tipo y la calidad de seal de salida que se precisa. Ventajas: precisin, amplio rango de presiones, estabilidad en la seal, baja histresis, robusto, pequeo tamao, bajo coste. Desventajas: baja linealidad, dbil seal de salida, influencia de la humedad y temperatura, interferencias electromagnticas.

1. Introduccin En los aos 70 comenz a desarrollarse la aplicacin del sensor capacitivo para medir la presin, surgieron numerosas patentes ante las expectativas de comercializar un dispositivo pequeo y de gran precisin para aplicaciones en industria, biomedicina, automocin, hasta en proyectos aeroespaciales. En un principio, se disearon para hacer mediciones de baja presin, ya que los diafragmas no eran suficientemente resistentes. En la actualidad, la tecnologa de los sensores capacitivos, presente en la medicin de otras propiedades como la temperatura o la proximidad, es capaz de medir un amplio rango de presiones y es una herramienta clave en la instrumentacin industrial. 2. Fundamentos de los transductores capacitivos El principal fundamento de este tipo de sensores es la variacin de capacidad elctrica que se produce en un condensador al desplazarse una de sus placas por aplicacin de una presin. Un condensador es un aparato elctrico compuesto por dos conductores que estn separados por un material aislante (dielctrico). Cuando se aplica una tensin entre los dos conductores, se almacena carga elctrica. La capacidad del condensador se define como la relacin entre carga almacenada y tensin aplicada. El valor de capacidad depender de la configuracin geomtrica de los conductores y

de las caractersticas del material dielctrico (permisividad, r). As pues, si el condensador sigue un modelo de placas planas paralelas (conductores), la capacidad depender de la del rea de placas A y de la distancia entre ellas d, segn:

La capacidad se puede medir mediante admitancia (o tambin la impedancia), que proporcional a la capacidad, de forma que distancia entre placas x se relaciona con admitancia segn una relacin no lineal:

la es la la

Se pueden fabricar sensores que miden el desplazamiento entre placas de hasta 10 -10 mm, ya que no hay errores debidos a la friccin. A continuacin se muestra una seccin axial de un sensor de presin capacitivo.

Fi. Sensor de presin digital El material del que est constituido el diafragma es un criterio de clasificacin de sensores capacitivos. Los ms frecuentes son de metal, de silicio o cermico. En el caso de los diafragmas cermicos, hay dos placas paralelas, una unida a un diafragma cermico que se flexiona con la presin y otra que se une a un cristal rgido que lo sella y asla. El fino diafragma cermico es capaz de soportar altas presiones. El rango de presiones puede estar entre 15 y 5000 psi. Con esto se consigue una variacin de capacitancia muy estable y fiable. Otro tipo de sensores son los de diafragma de silicio, que suelen emplearse para bajas presiones en industria y en biomedicina, ya que se pueden fabricar en tamaos muy reducidos (pocos milmetros). Son de relativo bajo costo y suelen medir presiones de entre 0-50 mmHg a 0-1200 mmHg sobre la presin atmosfrica.

El modelo clsico de este sensor consiste en una placa mvil tiene forma de diafragma y se encuentra situado entre dos placas fijas. De este modo se tienen dos condensadores uno de capacidad fija o de referencia y el otro de capacidad variable, que pueden compararse en circuitos oscilantes o bien en circuitos de puente de Wheatstone alimentos con corriente alterna.

Otro modelo de medidor puede ser el digital, que incorpora un microprocesador integrado en la carcasa del mdulo sensor, emitiendo directamente en los terminales del mismo una corriente estandarizada a 4-20 mA. Adems, est provisto de una carcasa hermtica de acero inoxidable, que protege al dispositivo la corrosin y la humedad.

Fig. Doce sensores de silicio unidos sobre un dedo humano. Una desventaja de estos dispositivos es la baja linealidad debida a que la deformacin del diafragma est lejos de ser paralela, problema que se solventa en la medida de lo posible con diseos mejores, como por ejemplo el diafragma con forma donut (doughnut shaped). Por otro lado, los diafragmas tienen un largo y complicado proceso de fabricacin. Una de las dificultades tcnicas del sensor capacitivo es el bajo valor de la seal de salida, por lo que debe llevar siempre acoplado un sistema amplificador y acondicionador de la

seal, el cual puede introducir errores en la medicin. Adems, son sensibles a las variaciones de temperatura y a las aceleraciones transversales y precisa de un ajuste de los circuitos oscilantes y de los puentes de corriente alterna a los que estn acoplados. Algunos fabricantes afirman conseguir reducir los efectos de la humedad y la temperatura al mnimo. No suelen estar afectados por errores de histresis. Otro riesgo que debe reducirse a la hora del diseo, son los efectos de interferencias electromagnticas y apantallamiento en el dispositivo elctrico. Los transductores capacitivos se caracterizan por su pequeo tamao y su construccin robusta, tiene un pequeo desplazamiento volumtrico y son adecuados para medidas estticas y dinmicas. Una de sus mayores ventajas es su alta sensibilidad, en comparacin con los piezoelctricos. Existe una gran variedad de sensores capacitivos en el mercado y cada vez a precios ms competitivos. A la hora de seleccionarlo, debemos tener en cuenta los lmites de trabajo. Por ejemplo, se recomienda trabajar a 1.5 veces de la presin mxima de trabajo. Por dar un valor aproximado, del intervalo de medida, que es relativamente amplio, entre 0.05-5 a 0.5-600 bar y su precisin es del orden de +/-0.2 a 0.5%. Algunos fabricantes ofertan medidores de hasta 0.02% de precisin, en un rango de 10-4 hasta 690 bar. Se calcula una estabilidad a largo plazo en la eficacia de la medicin de unos 100 millones de ciclos de presin. Conclusiones El diseo de un sensor de presin capacitivo es muy variable y se caracteriza principalmente por el material del diafragma. La seal de salida debe ser amplificada y acondicionada. Puede medir baja presin o en rangos entre 0.5 a 690 bares, con una precisin aproximada de 0.2%. Son muy sensibles pero tienen baja linealidad.

Referencias bibliogrficas Creus Sol. Instrumentacin industrial. 6 edicin. Editorial Marcombo. SETRA. Pressure Transducer Handbook, 2010 M. Berkson, D. Field. Pressure Transducers. SENSATA Technologies. 2007 OMRON. T.Omi, S.Sakaki, F.Sato, M.Matsumoto. Capacitive pressure sensor technology applications for semiconductor manufacturing equipment. Consultado 09/10/2013: http://echannel.omron247.com:8085/ma rcom%5Cpdfcatal.nsf/PDFLookupByU niqueID/664A611CBB0F47A486256C 6900596D0B/$File/MEMS_semicondu ctor_whitepaper.pdf?OpenElement Patente: US3808480 S. Johnston. Capacitive Pressure Transducer. E. Mandado, A. Murillo, C. Quintns. Universidad de Vigo. Consultado 09/11/2013: http://www.marcombo.com/Descargas/ 9788426715753/SENSORES/TEMAS/ SA%20Tema%2006%20Sensores%20C apacitivos.pdf Ing. Caraballo, Ing. Mil de la Roca. Especializacin AIT UNEXPO, 2007. Consultado el 10/11/2013: http://aitunexpo.blogspot.com.es/2007/ 06/sensor-digital-de-presioncapacitivo.html METU-MEMS. Micro-ElectroMechanical Sytemns Research and Application Center. Research. http://www.mems.metu.edu.tr/index.ph p?option=com_content&view=article&i d=127&Itemid=116&lang=en. Consultado: 09/10/2013