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Contribution ` a la mod elisation des syst` emes m ecatroniques et micro-m ecatroniques


M emoire de synth` ese des activit es de recherche et dencadrement pour obtenir le grade de

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Habilitation ` a Diriger des Recherches de lUniversit e de Franche-Comt e

pr esent e par

Arnaud Hubert
Ma tre de conf erences ` a lUniversit e de Franche-Comt e Institut Femto-ST - D epartement AS2M, UMR CNRS 6174 24 rue Alain Savary, 25000 Besan con T el. : +33 (0)3 81 40 27 92, Fax : +33 (0)3 81 40 28 09 E-mail : arnaud.hubert@femto-st.fr

Soutenu le 02 d ecembre 2010 devant la commission dexamen : Pr esident : B. Maschke, Professeur, Universit e de Lyon Rapporteurs : H. Bleuler, Professeur, EPFL Lausanne M. Collet, CR HDR CNRS, Institut Femto-ST Besan con O. Cugat, DR CNRS, G2ELAB Grenoble T. Redarce, Professeur, INSA Lyon Examinateurs : N. Chaillet, Professeur, Universit e de Franche-Comt e G. Friedrich, Professeur, UTC Compi` egne C. Lexcellent, Professeur, ENSMM Besan con

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Remerciements
Je tiens tout particuli` erement ` a remercier Nicolas Chaillet, Professeur ` a lUniversit e de Franche-Comt e, pour mavoir accueilli au sein de son equipe, pour mavoir fait d ecouvrir la micro-robotique et pour mavoir fait conance tout au long de ces ann ees de recherche commune. Pour ton aide, ton soutien constant et ta disponibilit e, je souhaite texprimer toute ma reconnaissance.

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Je souhaite egalement remercier Christian Lexcellent, Professeur ` a lENSMM de Besan con, non seulement pour avoir accept e dexaminer ce travail mais egalement pour toutes ces ann ees de collaborations et de discussions scientiques autour de la mod elisation du comportement des mat eriaux actifs. Je remercie sinc` erement Monsieur B. Maschke davoir accept e de pr esider ce jury et pour linter et quil a pu porter ` a mon travail de recherche. Jesp` ere que nous pourrons d evelopper tr` es prochainement une collaboration riche et fructueuse autour de la mod elisation hamiltonienne ` a ports pour les syst` emes micro-m ecatroniques. Je souhaite egalement remercier les personnes qui ont eu la lourde t ache de rapporter mes travaux dHDR, Messieurs H. Bleuler, Professeur ` a lEPFL de Lausanne, M. Collet, CR HDR CNRS ` a lInstitut Femto-ST de Besan con, O. Cugat, DR CNRS au G2ELAB de Grenoble et T. Redarce, Professeur ` a lINSA de Lyon. Je vous remercie pour vos remarques constructives et les discussions que nous avons pu avoir ensemble, notamment au cours de la soutenance. Je tiens egalement ` a remercier chaleureusement Guy Friedrich, professeur ` a lUniversit e de Technologie de Compi` egne avec qui jai d ecouvert le monde et la passion de la recherche durant ma th` ese de doctorat et qui a bien voulu sint eresser ` a nouveau ` a mes travaux de recherche en participant ` a ce jury dHDR. Merci Guy pour ta conance et le soutien que tu mas toujours apport e. Bien s ur, une HDR est une aventure ` a plusieurs et je tiens donc ` a remercier tous les coll` egues avec qui jai travaill e au cours de ces ann ees. En particulier, rien naurait pu se faire sans le travail passionn e des etudiants, th esards et stagiaires, qui sont le cur de la recherche acad emique. Je tiens donc ` a les remercier en premier lieu pour toutes ces ann ees de collaborations passionnantes et pour tout ce quils mont apport e scientiquement et humainement : merci C edric, Yuji, Jean-Yves, Guillaume, Mathieu, Yoann, Roba et Nandish.

ii Je souhaite de m eme remercier tous les membres du laboratoire pour leur accueil et les conditions de travail agr eables quils mont apport ees. Je tiens egalement ` a remercier toutes les personnes cotoy ees au cours de ses di erentes ann ees ` a lUniversit e et particuli` erement mes coll` egues du GAP. Parmi ces personnes, je tiens tout sp ecialement ` a saluer mes complices de tous les jours au laboratoire : Lolo, Dada, Mehdi, Juju, Micka, Ben, Che, Brahim, Laetitia, Anne, Kanty et J er ome. Merci ` a vous pour votre amiti e et pour toutes ces ann ees de vie commune. Enn, je tiens ` a exprimer mes plus sinc` eres remerciements ` a mes parents et aux di erent(e)s ami(e)s qui mont epaul e(e)s tout au long de ces ann ees. Je sais que je ne peux pas vous citer tous sans en oublier. Je ne le ferai donc pas mais chacun se reconnaitra1 . Merci ` a tous.

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Arnaud Hubert, Besan con, D ecembre 2010.

1 Je ferais une exception pour la personne qui a accept ee de relire plusieurs de mes manuscrits, notamment mon livre et mon m emoire dHDR, merci beaucoup Mathilde.

Table des mati` eres


Introduction 1 CV 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 et r esum e g en eral Curriculum vit . . . . . . . . . . . Activit es de recherche . . . . . . . . Activit es annexes li ees ` a la recherche Activit es denseignement . . . . . . . Publications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 3 3 5 6 12 15 23 23 26 39 47 51 52 55 60 68

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2 Microsyst` emes pour la robotique 2.1 Contexte du travail . . . . . . . . . . . . . . . 2.2 Mod elisation des structures m ecaniques . . . 2.3 Conception et mod elisation de lactionnement 2.4 Conclusion sur la p eriode de recherche . . . . 3 Micro-robotique et micro-manipulation 3.1 Contexte du travail . . . . . . . . . . . . 3.2 Micro-pinces et int egration . . . . . . . 3.3 Changeur doutils . . . . . . . . . . . . . 3.4 Conclusion sur la p eriode de recherche . 4 Mat eriaux actifs et micro-actionneurs 4.1 Contexte du travail . . . . . . . . . . . . 4.2 Alliages ` a m emoire de forme magn etique 4.3 Mat eriaux pi ezo electriques . . . . . . . . 4.4 Conclusion sur la p eriode de recherche . Conclusion et perspectives . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

71 . 71 . 72 . 90 . 102 105

iii

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iv ` TABLE DES MATIERES

Introduction
Pour atteindre le point que tu ne connais point, tu dois prendre le chemin que tu ne connais point. San Juan de la Cruz

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Dix ans ont pass e depuis lobtention de ma th` ese de doctorat. Durant cette p eriode, jai eu la chance de s ejourner dans plusieurs grandes institutions de recherche, tout dabord en Allemagne, ` a lInstitut des MicroTechniques de lUniversit e Technique de Braunschweig puis ` a Besan con, dabord au Laboratoire dAutomatique de Besan con puis a ` linstitut FEMTO-ST. Ces ann ees mont donn e lopportunit e de travailler avec de nombreux coll` egues, professeurs, ma tres de conf erences, doctorants, ing enieurs ou stagiaires auxquels je souhaite d edier ce document. Ils mont, en partie, permis dexplorer de nouvelles th ematiques de recherche et de proposer un certain nombre de r esultats originaux. Il est ` a pr esent temps pour moi de franchir une etape suppl ementaire et de pr esenter ces travaux ` a mes pairs pour solliciter une Habilitation ` a Diriger des Recherches (HDR). Cette pr esentation pour une HDR est lobjet de ce m emoire. Celui-ci comporte un premier chapitre de pr esentation g en erale. Sy trouveront regroup es mon CV, une pr esentation g en erale de mes activit es de recherche et des activit es annexes sy rapportant ainsi que quelques el ements concernant mes activit es denseignement. Mes publications scientiques seront egalement cit ees ` a la n de ce chapitre. Les trois chapitres suivants constituent le cur de ce document. Ils regroupent une description des th ematiques de recherche pr esent ees pour cette HDR. Le premier de ces chapitres intitul e Microsyst` emes pour la robotique d etaille mes activit es de post-doctorant en Allemagne. Dans le cadre de ces travaux, il sagissait de concevoir des microrobots marcheurs en utilisant les technologies microsyst` emes mises au point ` a lIMT de Braunschweig. Le second de ces trois chapitres d ecrit les premi` eres th ematiques de recherche conduites ` a Besan con ` a propos de Microrobotique et micromanipulation . Cette p eriode a et e ma premi` ere v eritable exp erience dencadrement de recherche puisque cest a cette occasion que jai eu la chance de pouvoir encadrer deux ` etudiants en master et de co-encadrer un doctorant avec le Prof. Nicolas Chaillet. Enn, le troisi` eme chapitre de cette partie exposera mes derniers travaux r ealis es ` a Besan con que jai regroup es sous le titre Mat eriaux actifs et micro-actionneurs . Ces derniers th` emes repr esentent la part la plus importante de mes travaux de recherche aussi bien en terme de temps de travail quen terme dencadrement de 1

INTRODUCTION

recherche. Jai ainsi eu lopportunit e dencadrer deux masters, de co-encadrer deux th esards et de travailler tr` es activement avec un troisi` eme durant cette p eriode. Dans le cadre de cette activit e, un nouveau sujet de th` ese vient dailleurs d etre accept e pour un nancement BDI/CNRS. Cette th` ese devrait commencer a lautomne 2010 et je la co-encadrerais avec le Prof. Yann Legorrec de linstitut ` Femto-ST. Le dernier chapitre de ce m emoire est une conclusion que jai choisi de pr esenter sous la forme dune relativement longue synth` ese de mes r esultats scientiques et sur les points que je consid` ere essentiels sur le travail eectu e au cours de ces ann ees. Ce chapitre me permettra non seulement de pr esenter les perspectives qui souvrent ` a ces di erents travaux mais egalement dexplorer les th ematiques sur lesquelles jaimerais me pencher dans les prochaines ann ees. Lactivit e denseignant-chercheur est passionnante mais tr` es prenante. Elle ma tellement absorb e au cours de cette p eriode quil me semble que ces dix ann ees ont pass e en un clin dil. Jesp` ere, pour nir cette introduction, que ce m emoire de synth` ese permettra de faire ressortir ces di erents points et de montrer toute limportance que ces activit es ont rev etu pour moi au cours de ces ann ees pass ees dans une tr` es bonne ambiance ` a Braunschweig puis ` a Besan con.

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Chapitre 1

Curriculum vit et r esum e des activit es g en erales


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1.1

Curriculum vit

Situation civile
Etat civil Adresse 37 ans, c elibataire, nationalit e fran caise 16 rue Suard, 25000 Besan con. T el. : +33 (0)6 76 03 58 99

Situation professionnelle actuelle


Enseignant
eme Ma tre de conf erences de classe normale en 61` section a lUniversit ` e de Franche-Comt e (UFC), UFR Sciences et Techniques ` a Besan con.

Activit es denseignement : automatique, electrotechnique, mod elisation des syst` emes m ecatroniques et micro-m ecatroniques .

Chercheur

Membre de lInstitut Femto-ST, unit e mixte de recherche CNRS/UFC/ENSMM/UTBM (UMR CNRS 6174), d epartement Automatique et Syst` emes Micro-M ecatroniques , equipe Syst` emes Automatis es de Micro-manipulation et MIcro-assemblage (AS2M - SAMMI).
Activit es de recherche : conception de syst` emes micro-robotiques et micro-m ecatroniques. Mod elisation et contr ole dactionneurs ` a base de mat eriaux actifs .

GEN ERAL CHAPITRE 1. CV ET RESUM E

Titres universitaires
Doctorat (2000) Dipl ome de docteur de lUniversit e de Technologie de Compi` egne (UTC) obtenu avec la mention Tr` es honorable avec les f elicitations du jury le 13 d ecembre 2000.
Sp ecialit e : Contr ole des Syst` emes. Intitul e du m emoire : Contribution ` a la r eduction des nuisances acoustiques g en er ees lors de lassociation machine electrique asynchrone-convertisseur statique de puissance.

DEA (1997)

Dipl ome dEtudes Approfondies de lUTC obtenu avec la mention Bien en septembre 1997.
Sp ecialit e : Contr ole des Syst` emes. Intitul e du m emoire : Etude et caract erisation des di erents types de vibrations et de nuisances acoustiques g en er ees par les machines electriques.

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Ing enieur (1996) Dipl ome ding enieur de lUTC obtenu en septembre 1996.
Sp ecialit e : G enie M ecanique (GM) option Robotisation et En tra nements Electrom ecaniques (REE).

Parcours professionnel
Depuis 2002 Ma tre de conf erences ` a lUFC, Besan con et chercheur au Laboratoire dAutomatique de Besan con (LAB), UMR CNRS 6596, devenu depuis le 01/01/2008 le d epartement AS2M de lInstitut Femto-ST, UMR CNRS 6174. Post-doctorat ` a linstitut des microtechniques (IMT) de lUniversit e Technique de Braunschweig (T.U. Braunschweig, Allemagne) sous la direction du Prof. S. B uttgenbach.
Activit es de recherche : Conception et mod elisation de microrobots marcheurs .

2001-2002

2000-2001

Attach e temporaire denseignement et de recherche (ATER) au d epartement de m ecanique de lUTC (poste ` a temps complet). Allocataire de recherche au sein du laboratoire d electrotechnique de Compi` egne (LEC) ` a lUTC.

1997-2000

DE RECHERCHE 1.2. ACTIVITES

1.2

Pr esentation g en erale des activit es de recherche

Mes activit es de recherche ont d emarr e en 1997 lors de mon stage de DEA au sein du laboratoire d electrom ecanique de Compi` egne (LEC) puis elles se sont poursuivies sans interruption jusqu` a aujourdhui au sein de plusieurs institutions. Pour la r edaction de ce m emoire dHDR, je ne d ecrirai pas les activit es de recherche conduites durant mes ann ees ` a Compi` egne (DEA, th` ese et ATER) et ne d evelopperai que les activit es post-doctorales (post-doctorat ` a Braunschweig puis ma tre de conf erences ` a Besan con) que jai choisi de scinder en trois parties. La premi` ere correspond aux travaux r ealis es pendant mon s ejour de post-doctorat en Allemagne ` a linstitut des microtechniques de luniversit e de Braunschweig. Les deuxi` eme et troisi` eme th ematiques ont et e abord ees ` a Besan con au sein du Laboratoire dAutomatique de Besan con puis du d epartement AS2M de linstitut Femto-ST : 1. Les recherches conduites en Allemagne sint eressaient aux microtechniques et ` a la mod elisation des micro-syst` emes an de d evelopper des micro-robots marcheurs con cus sur une base de micro-syst` emes r ealis es en salle blanche. Ces travaux seront d ecrits en d etail dans le chapitre 2 de ce m emoire et ils ont donn e lieu ` a la r edaction dun rapport technique de plus de 130 pages [Hub02]. 2. La premi` ere partie des recherches conduites ` a Besan con concernait la micro-robotique et la micro-manipulation. Cette th ematique sera d ecrite dans le chapitre 3 de ce m emoire. Au cours de cette p eriode, jai eu loccasion dencadrer deux stages de master/DEA [Uru03] [Mil05] et de coencadrer un doctorant [Cle05]. Ce travail a donn e lieu ` a la publication de trois revues internationales ` a comit e de lecture et ` a sept conf erences internationales ` a comit e de lecture plus quelques communications nationales et internationales. 3. La seconde partie des recherches conduites ` a Besan con sera d ecrite dans le chapitre 4 et elle concernait les mat eriaux actifs et la conception de microactionneurs. Au cours de cette p eriode, jai eu loccasion dencadrer deux master/ing enieur [Gau04] [Loi08], de co-encadrer deux th` eses de doctorat [Gau07] dont une est encore en cours et de travailler activement avec un troisi` eme th esard [Gro08]. Ces travaux ont donn e lieu ` a la publication de deux revues internationales ` a comit e de lecture (plus une accept ee mais non encore publi ee et deux en cours d evaluation), ` a quatre conf erences internationales ` a comit e de lecture et ` a plus dune dizaine dautres communications nationales et internationales. Les p eriodes concernant ces trois parties ne sont pas toutes de m eme longueur, loin sen faut, en particulier la premi` ere est bien plus courte que la derni` ere. Mais la dur ee brute de ces p eriodes nest pas n ecessairement la plus signicative de ces travaux de recherche car le type dactivit e men e a n ecessairement evolu e au cours des ann ees. En particulier, mes activit es comprennent de plus en plus de charges dencadrement, denseignement et de diusion des connaissance et ces activit es compl ementaires se substituent peu ` a peu aux activit es de chercheur telles que je les avais pratiqu e dans mes premi` eres ann ees de recherche. Cest en eet une evolution naturelle dans le m etier denseignant-chercheur que de sorienter graduellement vers des activit es dencadrement et de direction de recherche

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GEN ERAL CHAPITRE 1. CV ET RESUM E

de plus en plus marqu ees et qui sont lindication de la capacit e` a pr esenter une HDR. Il existe de nombreux points communs entre les di erents travaux pr esent es dans ce m emoire tout simplement parce quils concernent tous les syst` emes m ecatroniques et micro-m ecatroniques, leur conception, leur mod elisation et leur contr ole. Ce th` eme est cependant susamment vaste pour ne pas en avoir fait le tour bien que jy ai pass e mes dix derni` eres ann ees de recherche. Les perspectives pr esent ees ` a la n de ce m emoire montreront que ce sujet peut sans aucun probl` eme moccaparer encore quelques ann ees puisque les probl ematiques scientiques de ce domaine sont encore loin d etre epuis ees. Avec peu de risque de me tromper, je peux m eme armer que nos prochains travaux mettront encore ` a jour des probl ematiques scientiques int eressantes qui m eritent toute notre attention. Je tenterais de montrer egalement dans ce m emoire que la di erence principale dans l evolution de mes travaux de recherche ne provient pas seulement des ph enom` enes physiques mis en jeu (m ecanique, acoustique, electricit e, magn etisme, thermique et leurs di erentes possibilit es de couplage) mais surtout de ladoption dun point de vue de plus en plus global et g en eralis e. Les echelles des dispositifs etudi es ont egalement jou e un r ole important car les dimensions micro ou macro dun syst` eme impliquent des contraintes de conception di erentes d ues aux facteurs d echelle ainsi que des limites ou des imp eratifs concernant les outils de mod elisation et de contr ole ` a utiliser. La chronologie des recherches que jai entreprises depuis mes d ebuts de chercheur est r esum ee sur le graphique de gauche de la Fig. 1.1. Les th ematiques et les r esultats obtenus au cours de mes ann ees de recherche en tant que postdoctorant et ma tre de conf erences seront explicit es dans les trois chapitres suivants. Le dernier chapitre sera consacr e` a une synth` ese de ces di erents travaux et pr esentera les perspectives de ces travaux et de mes activit es de recherche en g en eral. Dans ces di erentes parties, jessayerais de faire ressortir aussi bien les points cl e que les points de blocage, comment ils ont et e abord es, r esolus ou bien les orientations futures qui me permettront dy faire face. En eet, l evolution dans mes probl ematiques de recherche a souvent r esult e dopportunit es et/ou de verrous scientiques identi es au cours de lavancement de ces travaux. Ces obstacles et verrous ont pu etre ou seront lev es en r e-orientant une partie de mes activit es dans des directions nouvelles et compl ementaires des recherches pr ec edentes. Le graphique de droite de la Fig. 1.1 permet de repr esenter les evolutions dans ces th ematiques. Lensemble de mes publications de recherches sera de plus report e` a la n de ce chapitre.

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1.3
1.3.1

Activit es annexes li ees ` a la recherche


Responsabilit es administratives et animations diverses

Responsable de la formation du personnel au sein du laboratoire


Responsable de la formation permanente du personnel du Laboratoire dAutomatique de Besan con (LAB) de 2004 jusqu` a son int egration au 1er janvier

ANNEXES LIEES ` LA RECHERCHE 1.3. ACTIVITES A

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Fig. 1.1 Graphique de gauche : chronologies des th ematiques de recherche doctorales et post-doctorales, graphique de droite : evolution de ces th ematiques en fonction des opportunit es et/ou des verrous scientiques identi es au cours du temps. 2008 dans lInstitut Femto-ST : m ediation entre le laboratoire et le centre de formation de la d el egation nord-est du CNRS ; centralisation des besoins et des demandes de formation du personnel ; r edaction du plan de formation annuel du laboratoire.

Participation aux groupes de travail du CNRS


Participation au RTP microrobotique, au GDR MACS GT SYSME et au GDR Robotique GT manipulation multi- echelle.

Mandats electifs
CSE 61 : membre elu de la commission de sp ecialistes d etablissement section 61 ` a lUniversit e de Franche-Comt e de 2006 ` a 2009.

GEN ERAL CHAPITRE 1. CV ET RESUM E

Comit e de gestion : membre elu du comit e de gestion de lInstitut Sup erieur dIng enieur de Franche-Comt e depuis 2006 (deux mandats).

Expertises scientiques
Revues internationales : Relecteur scientique pour les revues IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, IOP Smart Materials and Structures et IOP Journal of Micromechanics and Microengineering ; Conf erences internationales : Relecteur scientique pour les conf erences internationales IFAC INCOM 2006, IEEE IWMF 2006, IEEE IROS 2007, IEEE/ASME AIM 2010 ; Comit es de recrutement Rapporteur et membre des commissions de recrutement suivantes : UFC, ENSMM, Besan con : postes dATER et de ma tres de conf erences (2006-2010) ; ENSIL, Limoges : poste de ma tre de conf erences (2009) ; UTC, Compi` egne : poste de ma tre de conf erences (2010) ;

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1.3.2

Collaborations internationales et invitations dorganismes

Projet europ een Robosem (2002-2005)


Robosem est un projet europ een du 5eme PCRD auquel a particip e le LAB. Dans ce cadre, jai travaill e activement avec des partenaires etrangers et plus particuli` erement avec deux equipes suisses et une equipe allemande, (i) l equipe du Dr J.M. Breguet de lEPFL (Lausanne, Suisse) sur le d eveloppement dactionneurs pi ezo electriques et de stations de micromanipulation, (ii) l equipe du Dr H. Michler de lEMPA (Thun, Suisse) sur des applications de micromanipulation ` a lint erieur dun microscope electronique ` a balayage et (iii) l equipe du Prof. S. Fatikow (Oldenburg, Allemagne) sur des probl` emes de micro-manipulation et de micro-positionnement. Une publication conjointe a et e r edig ee avec nos partenaires de lEMPA en Suisse.

Projet franco-allemand Procope (2005)


Procope est un programme d echanges scientiques franco-allemands nan c e par le Minist` ere Fran cais des Aaires Etrang` eres. Dans ce cadre, le laboratoire a obtenu un nancement pour d evelopper et accentuer nos relations scientiques avec l equipe du Prof. S. Fatikow de lUniversit e dOldenburg en Allemagne. Ce nancement ma permis de passer quelques temps chez ces coll` egues allemands, et de les accueillir dans notre laboratoire. Les echanges r esultant mont permis daborder le th` eme des mat eriaux semi-actifs, en particulier les ferrouides, et ainsi de r ealiser mes premi` eres recherches sur lutilisation des ferrouides dans le cadre de la micro-robotique. Ces echanges sont ` a la base des travaux qui ont ensuite et e d evelopp es au laboratoire sur une table de micro-positionnement utilisant des ferrouides.

ANNEXES LIEES ` LA RECHERCHE 1.3. ACTIVITES A

Ecole d et e internationale MECMIC06 (2006)


Jai et e associ e` a la cr eation de l ecole d et e First Summer School in Mechatronics and Microsystems organis ee en ao ut 2006 par lUniversit e Technique de Braunschweig en Allemagne. Dans le cadre de cette ecole, jai propos e un cours intitul e Micro-robotics : design and integration dont jai r edig e le programme, r ealis e les supports et donn e lenseignement.

Projet Eurocores Mafesma (2007-2009)


Mafesma est un projet Eurocores S3T, nanc e par la European Science foundation, auquel participe le D epartement de M ecanique Appliqu ee de linstitut Femto-ST et avec qui nous collaborons sur la mod elisation des alliages ` a m emoire de forme magn etique (AMFM). Ce projet est un programme d echanges entre scientiques qui se propose de combler le vide entre les travaux en sciences des mat eriaux sur les AMF et AMFM et les travaux en conception et mod elisation de structures et syst` emes utilisant ces mat eriaux actifs. Travaillant depuis plusieurs ann ees sur ces mat eriaux, cest tout naturellement que plusieurs coll` egues (J.Y. Gauthier, C. Lexcellent et J. Abadie) et moi-m eme avons pu nous int egrer ` a ce projet et ainsi partager avec des coll` egues europ eens nos r esultats en termes de mod elisation et dexp erimentations sur les alliages en NiMnGa pour lactionnement. Plus particuli` erement, avec ces trois coll` egues, nous avons fait, dans le cadre de ce projet, plusieurs workshops et pr esentations, notamment ` a lENSAM Metz en France, ` a lUniversit e de Prague en r epublique Tch` eque ainsi qu` a lUniversit e dHelsinki en Finlande.

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Projet europ een Hydromel (2006-2010)


Hydromel est un projet europ een du 6eme PCRD (24 partenaires acad emiques et industriels europ eens) auquel participe le d epartement AS2M de Femto-ST (ex LAB). Dans ce cadre, je suis le responsable (task leader ) de lactivit e de recherche Task 2.1.1 : High resolution actuators concernant le d eveloppement des actionneurs ` a haute r esolution. Cette activit e de recherche sint` egre dans le groupe de travail Work package 2.1 : High Precision Robot Systems. Cette t ache implique quatre partenaires europ eens (institut Femto-ST France, entreprise Nascatec Allemagne, Universit e dOldenburg Allemagne et laboratoire BAS Bulgarie). Plus sp eciquement pour ce projet, je travaille sur la mod elisation, la conception, la r ealisation et le test dun actionneur push-pull innovant utilisant les AMFM. Cet actionneur a et e r ealis e au cours de lann ee 2008 et il poss` ede actuellement une plage de d eplacement de lordre du millim` etre pour une pr ecision de positionnement de lordre de quelques microm etriques avec des temps de r eponse de quelques millisecondes. Ces performances sont actuellement dans lordre de grandeur des meilleurs performances mondiales relev ees pour ce type dactionneurs. Le sujet etant extr emement novateur, il nexiste actuellement que quelques laboratoires ` a travers le monde qui travaillent sur le sujet des actionneurs utilisant des AMFM (essentiellement en Finlande, en Allemagne et aux Etats-Unis).

10

GEN ERAL CHAPITRE 1. CV ET RESUM E

Bonus Qualit e Recherche, Universit e de Franche-Comt e (2010)


Titre : Approche Hamiltonienne a ` ports pour la commande des syst` emes a ` param` etres distribu es : application a ` la commande des micro-syst` emes. Lobjectif de ce BQR est de d evelopper une collaboration entre lUniversit e de FrancheComt e, lUniversit e de Lyon et lUniversit e de Twente (Pays Bas). Il sagit dappliquer les r esultats th eoriques etablis par nos deux partenaires dans le cadre des micro-syst` emes mis en uvre ` a lInstitut FEMTO-ST, d epartement AS2M. Ce projet sint eresse en particulier ` a la commande de Nanotweezers par le biais dapproches energ etiques. Ce sujet applicatif fait lobjet dune collaboration active (co-encadrement de th` ese+projet PHC Sakura) entre linstitut FEMTOST, le laboratoire LIMMS ` a Tokyo et lUniversit e de Tokyo dans le cadre de la caract erisation physico-chimique de brins dADN. La mod elisation multiphysique doit permettre dint egrer de mani` ere coh erente les mod` eles dinterface liquide/solide issus de la manipulation en milieu liquide. Enn de nombreuses applications transverses au laboratoire FEMTO-ST pourraient etre trait ees par ce type dapproche, par exemple les syst` emes m ecaniques ` a base dalliage ` a m emoire de forme, latt enuation dondes acoustiques par membrane active, la commande de Smart Surfaces. Ce projet permettra dinitier la formulation de ces di erentes applications dans le cadre de lapproche Hamiltonienne ` a ports.

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1.3.3

Encadrement d etudiants

Je suis actuellement titulaire de la prime dencadrement doctorale et de recherche (PEDR), obtenue en octobre 2008.

Encadrement doctoral (taux 50%)


Th` ese soutenue Co-encadrement de la th` ese de C edric Cl evy, soutenue le 15 d ecembre 2005 (dur ee : 3 ans et 3 mois). Taux dencadrement : 30% les deux premi` eres ann ees de th` ese et 50 % la troisi` eme.
Th` ese co-encadr ee avec le Prof. N. Chaillet. Intitul e du m emoire : Contribution ` a la micro-manipulation robotis ee : un syst` eme de changement doutils automatique pour le micro-assemblage. Devenir du doctorant : le candidat a et e quali e` a la suite de sa soutenance dans deux sections CNU (60 et 61) et a obtenu un poste de ma tre de conf erences lann ee suivante (sept. 2006) ` a lUniversit e de Franche-Comt e en 61eme section. Il est actuellement rattach e au niveau recherche au d epartement AS2M de linstitut Femto-ST.

Th` ese soutenue

Co-encadrement de la th` ese de Jean-Yves Gauthier soutenue le 13 d ecembre 2007 (dur ee : 3 ans et 3 mois). Taux dencadrement : 50% durant toute la dur ee de la th` ese.
Th` ese co-encadr ee avec le Prof. N. Chaillet (20%) et le Prof. C. Lexcellent (30%). Intitul e du m emoire : Mod elisation des alliages ` a m emoire de

ANNEXES LIEES ` LA RECHERCHE 1.3. ACTIVITES A

11

forme magn etique pour la conversion d energie dans les actionneurs et leur commande Devenir du doctorant : le candidat a et e quali e` a la suite de sa soutenance dans trois sections CNU (60, 61 et 63) et a obtenu un poste de ma tre de conf erences lann ee suivante (sept. 2008) ` a lINSA de Lyon en 63eme section. Il est actuellement rat tach e au niveau recherche au Laboratoire de G enie Electrique et FerroElectricit e (LGEF) de lINSA de Lyon.

Th` ese ` a d emarrer Co-encadrement dune th` ese ` a d emarrer en octobre 2010. Le nancement est d ej` a obtenu (BDI CNRS/r egion) et le(a) candidat(e) est en cours de recrutement.
Th` ese co-encadr ee avec le Prof. Y. Le Gorrec. Intitul e du sujet : Approche g eom etrique pour la commande dactionneurs ` a base de mat eriaux actifs .

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Autres participations ` a des activit es dencadrement doctoral


Th` ese soutenue Participation ` a lencadrement de la troisi` eme ann ee de th` ese de Mathieu Grossard, soutenu le 26 novembre 2008 (dur ee : 3 ans et 2 mois).
Th` ese encadr ee par le Prof. N. Chaillet et par le Dr C. RotinatLibersa (CEA). Intitul e du m emoire : Contribution ` a la conception optimale et la commande de syst` emes m ecatroniques exibles ` a actionnement pi ezo electrique int egr e - Application en microrobotique. Devenir du doctorant : le candidat a obtenu le prix de la meilleure th` ese du GDR Macs du CNRS ` a la session 2009 et a et e quali e ` a la suite de sa soutenance dans la sections 61 du CNU. Il a obtenu un poste de charg e de recherche en d ecembre 2008 au CEA de Fontenay-aux-Roses o` u il travaille actuellement.

Th` ese en cours

Participation ` a lencadrement de la th` ese de Roba El Khoury Moussa (d ebut de la th` ese en octobre 2007 et n pr evue en 2011).
Th` ese co-encadr ee avec le Prof. N. Chaillet et le Dr M. Grossard (CEA). Intitul e du sujet : Micro-articulations ` a actionnement et mesure pi ezo electrique int egr ees pour le self-sensing en micro-robotique.

Encadrements ding enieur, de Master et DEA


Ing enieur 2008 Encadrement du projet de n d etude en M ecatronique de l ecole ding enieur PolytechOrl eans, de Yann Loirat soutenu en septembre 2008.
Intitul e du m emoire : Conception et r ealisation dactionneur ` a haute r esolution utilisant des mat eriaux actifs de type alliage ` a m emoire de forme magn etique.

Master 2005

Encadrement du projet de Master Recherche M ecatronique de lUniversit e de Franche-Comt e, de Guillaume Millet soutenu en septembre 2005 (mention Bien ).

12

GEN ERAL CHAPITRE 1. CV ET RESUM E


Intitul e du m emoire : Etude des possibilit es dutilisation des ferrouides en micro-robotique.

DEA 2004

Encadrement du projet de DEA Informatique, Automatique et Productique de lUniversit e de Franche-Comt e, de Jean-Yves Gauthier soutenu en septembre 2004 (mention Tr` es Bien ).
Intitul e du m emoire : Conception dactionneurs ` a base dalliage ` a m emoire de forme magn etique.

Master 2003

Encadrement du projet de Master M ecatronique de luniversit e Denki de Tokyo (Tokyo Denki University, Japon), de Yuji Urushima soutenu en juillet 2003.
Intitul e du m emoire : Study and development of an interface for the LEMMOC Micro-gripper.

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1.4
1.4.1

Activit es denseignement
Activit es denseignement ` a lUFC

Au cours de ces sept ann ees ` a lUFC (2002/2003 2009/2010), je me suis fortement impliqu e dans les activit es denseignement dispens ees au sein du groupe automatique et productique (GAP) de lUFR Sciences et Techniques de lUFC. Cette implication concerne en particulier : la responsabilit e de nombreux modules denseignement (plus de quinze modules di erents depuis 2002) ; le montage de nouveaux cours/travaux dirig es (TD)/travaux pratiques (TP) (cf d etails ci-apr` es) ; la participation au montage de maquettes p edagogiques pour trois formations : licence EEA, ing enieur ISIFC, master MTMS ; la responsabilit e des salles de TP du GAP depuis cinq ans (organisation des plannings, suivi et entretien du mat eriel). Bien que jaie particip e ` a lenseignement dans de nombreuses formations di erentes de lUFC (notamment dans des licences professionnelles et IUP, d esormais ferm es), mon implication actuelle concerne essentiellement trois formations, ` a trois niveaux di erents et ` a r epartition ` a peu pr` es egale entre ces trois cursus : licence electrotechnique, electronique et automatique (EEA), 1er cycle universitaire ; ing enieur de linstitut sup erieur de Franche-Comt e (ISIFC), 2nd cycle universitaire ; master m ecatronique et microsyst` emes (MTMS), 2nd cycle universitaire. Je suis actuellement responsables de six modules r epartis uniform ement sur ces trois formations. Licence EEA En licence EEA, je suis intervenu au niveau des trois ann ees de la formation. Pour la premi` ere ann ee (semestre 2), jai particip e` a la cr eation dun nouveau module optionnel Introduction a ` lEEA pour la maquette de formation

DENSEIGNEMENT 1.4. ACTIVITES

13

du quadrienal 2004/2008 et qui a et e ouvert pour la premi` ere fois en 2006. Ce module fonctionne depuis 2006 tous les ans sans interruption. Jai d evelopp e les enseignements de la moiti e de ce module (cours + 7 TD + 1 TP : signaux et syst` emes ; traitement el ementaire du signal ; analyse spectrale el ementaire ; modulation ; signaux num eriques et traitement du son ; introduction aux syst` emes de commande ; capteurs). Jai et e responsable de ce module pendant trois ans jusqu` a lann ee derni` ere. Pour la deuxi` eme ann ee (semestre 4), jai propos e et cr e e un nouveau module de formation Mod elisation et dynamique des syst` emes continus pour la maquette de formation du quadrienal 2008/2012. Jai enti` erement d evelopp e les enseignements pour la totalit e de ce module (cours + 6 TD : mod elisation des syst` emes ` a param` etres localis es ; propri et es et caract eristiques des syst` emes lin eaires ; mod` eles d etat et mod` eles entr ee/sortie ; analyse temporelle (dans lespace d etat) ; analyse fr equentielle (Fourier/Laplace)). Je suis responsable de ce module depuis son ouverture en 2008.

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Pour la troisi` eme ann ee (semestre 6), jai propos e et cr e e un nouveau module de formation Asservissements num erique (quadrienal 2004/2008) puis Contr ole num erique des syst` emes dynamiques (quadrienal 2008/2012). Jai d evelopp e la totalit e des enseignements de ce module (cours + 7 TD + 6 TP : introduction ` a la commande num erique, echantillonnage et reconstruction ; analyse temporelle, convolution et equations de r ecurrence ; analyse fr equentielle, transform ees en z et fonction de transfert ; commande num erique en boucle ouverte et boucle ferm ee, r egulateurs standards). Je suis responsable de ce module depuis son ouverture en 2004. Ing enieur ISIFC Je suis arriv e` a lUFC lann ee suivant louverture de cette ecole ding enieur. Celle-ci a et e cr e ee par lUFC en collaboration entre lUFR sciences et techniques et lUFR sciences m edicales et pharmaceutiques. Il sagit dune formation aux m etiers li es aux sciences et dispositifs biom edicaux. D` es mon arriv ee en 2002, jai et e charg e par le GAP de d evelopper les enseignements dautomatique li es a cette nouvelle formation de lUFC. Jai donc d ` evelopp e plusieurs modules en deuxi` eme et troisi` eme ann ees qui ont evolu es au cours des ann ees et sont maintenant regroup es au sein dun seul module enseign e en deuxi` eme ann ee de lISIFC (bac+4). Ce module traite des th ematiques suivantes : principes et constitution des installations automatis es ; commande s equentielle et grafcet ; commande continue et r egulateurs standards. Dans le cadre de cet enseignement, jai d evelopp e tous les cours, les TD (une dizaine) et les TP (6 di erents). Un polycopi e de ce cours a et e r edig e et sest eto e au cours des ann ees pour donner naissance ` a un ouvrage p edagogique qui a et e publi e en 2008 aux Presses Universitaires de Franche-Comt e dans la collection Didactique (280 pages). Je suis responsable de tous les cours dautomatique de lISIFC et de leur evolution depuis sa cr eation en 2002. La r enovation de la maquette p edagogique de lISIFC pour le quadriennal d emarrant en 2004 a conduit ` a la proposition dun cours d electrotechnique pour les el` eves de premi` ere ann ee. Je fus choisi comme responsable de ce cours

14

GEN ERAL CHAPITRE 1. CV ET RESUM E

` sa cr a eation et cest donc moi qui lai d evelopp e. Ce cours traite actuellement des th ematiques suivantes : aspects energ etiques de l electrotechnique ; calculs de circuits dans les r eseaux continus, monophas es et triphas es ; notions de machines electriques et d electronique de puissance. Dans le cadre de ce module, jai d evelopp e tous les cours (polycopi e de 30 pages), les TD (5 di erents) et un TP se proposant d etudier la conception dun fauteuil roulant electrique. Master MTMS Jinterviens dans les formations de second cycle de lUFC depuis mon arriv ee au sein du GAP ; tout dabord dans la ma trise electrotechnique, electronique et automatique (EEA) et dans le DESS/DEA informatique, automatique et productique (IAP) puis, ` a la suite de la r eforme des universit es dite LMD, dans le master m ecatronique (MT) et enn dans le master m ecatronique et microsyst` emes (MTMS) issu de la maquette propos ee au dernier quadrienal (2008). Jusqu` a il y a quelques ann ees, mon intervention dans ces di erentes formations concernait essentiellement lautomatique pour les syst` emes multivariables, lidentication param` etrique et les techniques dIA pour la commande. Depuis le d ebut du master MTMS, je suis d esormais responsable des modules de mod elisation des syst` emes m ecatroniques en premi` ere et deuxi` eme ann ee (mod elisation des syst` emes m ecatroniques et mod elisation des syst` emes multiphysiques ). Dans ce cadre, je suis charg e de la cr eation du programme et de lenseignement de ces cours. Les th ematiques abord ees dans ces deux modules etant assez li ees ` a mes activit es de recherche, ces enseignements repr esentent une sorte de transfert de connaissance de mes activit es de recherche vers le domaine de lenseignement. Le dernier chapitre de ce m emoire etant consacr ee a une synth` ` ese de mes travaux de recherche, celui-ci donne un aper cu du contenu des th` emes enseign es dans ces deux modules (mod elisation des syst` emes ` a param` etres localis es et mod elisation des syst` emes ` a param` etres distribu es). En plus des cours, jai d evelopp e pour ces deux modules de nombreux TD (m ethodes des r eseaux, m ethodes variationnelles, m ethodes des di erences nies et des el ements nis) et de nombreux TP (circuits electriques et m ecaniques, machines electriques classiques, actionneurs lin eaires et voice-coil, l evitation magn etique, pont roulant...). Ces modules sont tr` es innovants et connexes ` a mes activit es de recherche, le programme enseign e evolue donc dann ees en ann ees et nest pas g e.

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1.4.2

Autres activit es p edagogiques

Ecoles d et e internationales
MECMIC06 Elaboration du programme et enseignement dun cours intitul e Micro-robotics : design and integration pour l ecole d et e First Summer School in Mechatronics and Microsystems organis ee en ao ut 2006 par lUniversit e Technique de Braunschweig en Allemagne.

HYDROMEL10 Participation ` a lorganisation dune ecole d et e Summer school in microrobotics and Self-assembly for Hybrid MEMS

1.5. PUBLICATIONS

15

dans le cadre du projet europ een Hydromel sur le micro et le self-assemblage. Elaboration du programme et enseignement dun cours intitul e Actuators and Micro-Actuators for microrobotics applications. Cette ecole a eu lieu ` a Besan con du 29 juin au 2 juillet 2010.

Ouvrage p edagogique
Publication dun ouvrage p edagogique aux Presses Universitaires de FrancheComt e (PUFC) : A. Hubert. Commande des syst` emes dynamiques Introduction a ` la mod elisation et au contr ole des syst` emes automatiques, PUFC, collection didactique, 280 pages, dec. 2008.

Responsable de salles de TP

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Responsable des salles denseignement de Travaux Pratiques dautomatique au sein de lUniversit e de Franche-Comt e (UFR ST) : achats et entretiens des maquettes p edagogiques (avec un technicien ` a mi-temps) ; gestion du planning doccupation des salles.

1.5
1.5.1

Publications
Publications doctorales

Publications internationales ` a comit e de lecture


Revues
[1] A. Hubert, G. Friedrich. Inuence of power converter on induction motor acoustic noise : interaction between control strategy and mechanical structure. Electric Power Applications, IEE Proceedings, 149, issue 2 :93100, march 2002.

Revue francophone
[2] A. Hubert, G. Friedrich. Comportement vibratoire des machines electriques asynchrones aliment e par convertisseur statique PWM. Revue internationale de g enie Electrique (RIGE), 6 :225254, 2003.

Conf erences
[3] A. Hubert, G. Friedrich. Acoustic noise generated by the association of an induction machine and a natural sampling power converter. In Proc. of First International Seminar on Vibration and Acoustic Noise of Electric Machinery, B ethune, France, May 1998.

16

GEN ERAL CHAPITRE 1. CV ET RESUM E

[4] R. Dib, J.C. Henrio, A. Hubert, G. Friedrich, P. Wagsta. Analysis of the noise, vibration and transmission characteristics of induction motor. In Proc. of INTER-NOISE 2000, Nice, France, 2000. [5] A. Hubert, G. Friedrich. Modelisation of rotating magnetic elds in polyphase alternative machines supplied by power converters : use of harmonic techniques and matrix computation. In Proc. of Second International Seminar on Vibration and Acoustic Noise of Electric Machinery, L od z, Poland, 2000. [6] A. Hubert, G. Friedrich. A method for choosing the power converter control strategy to reduce the acoustic noise by taking into account the mechanical structure response. In European Power Electronics and drive conference (EPE 2001), Graz, Austria, August 2001. [7] A. Hubert, G. Friedrich. Vibrations and acoustic noise reduction in AC electrical drives. Use of analytical and experimental modal techniques. In ISMA - International Conference on Noise & Vibration Engineering, Leuven, Belgium, Sept. 2002. [8] V. Lanfranchi, A. Hubert, G. Friedrich. Comparison of a natural sampling and a random PWM control strategy for reducing acoustic annoyances. In European Power Electronics and drive conference (EPE 2003), Toulouse, France, Sept. 2003.

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Communications (publications sans comit e de lecture)


Conf erences, colloques et workshops internationaux
[9] A. Hubert, G. Friedrich. A developpment of an analytical model to compute the pulsating torques of an induction motor supplied by power converter. In 4th International Conference : Acoustical and Vibratory Surveillance Methods and Diagnostic Techniques, Compi` egne, France, Sept. 2001.

Conf erences, colloques et workshops nationaux


[10] A. Hubert, G. Friedrich. Prise en compte de param` etre nuisance acoustique lors de la conception dun ensemble machine electrique asynchrone - convertisseur statique de puissance. In GEVIQ2000, Marseille, France, 2000.

1.5.2

Publications post-doctorales

Publications internationales ` a comit e de lecture

1.5. PUBLICATIONS

17

Revues
[11] R. Perez, J. Agnus, C. Cl evy, A. Hubert and N. Chaillet. Modelling, Fabrication and Validation of a High Performance 2 DOF Microgripper. IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, Vol. 10(2), April 2005. [12] C. Cl evy, A. Hubert, J. Agnus and N. Chaillet. A Micromanipulation Cell Including a Tool Changer. Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 15 :292-301, Sept. 2005. [13] J.Y. Gauthier, C. Lexcellent, A. Hubert, J. Abadie and N. Chaillet. Modeling Rearrangement Process of Martensite Platelets in a Magnetic Shape Memory Alloy Ni2 MnGa Single Crystal under Magnetic Field and (or) Stress Action. Journal of Intelligent Material Systems and Structures, Vol. 18(3) :289-299, 2007. [14] J.Y. Gauthier, A. Hubert, J. Abadie, N. Chaillet and C. Lexcellent. Nonlinear Hamiltonian modelling of magnetic shape memory alloy based actuators. Sensors and Actuators A : Physical, Vol. 141(2) :536-547, 2008. [15] C. Cl evy, A. Hubert and N. Chaillet. Flexible micro-assembly system equiped with an automated tool changer. Journal of MIcro-Nano Mechatronics. Special Issue on Automation in Micro and Nanohandling, Vol. 4(1) :59-72, 2008.

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Revue francophone
[16] M. Grossard, N. Chaillet, M. Boukallel, C. Rotinat-Libersa and A. Hubert. Synth` ese et commande robuste dune micropince pi ezo electrique int egr ee. Journal europ een des syst` emes automatis es (RS-JESA), num ero sp ecial commande dans le micro-monde, Vol. 44/2010(` a para tre) :661-691, 2010.

Conf erences
[16] R. Perez, J. Agnus, C. Cl evy, A. Hubert and N. Chaillet. 2 DOF piezoactuator for micromanipulation tasks. In ACTUATOR2004, Bremen, Germany, June 2004. [17] C. Cl evy, A. Hubert and N. Chaillet. A new micro-tools exchange principle for micromanipulation. In IEEE International Conference on Intelligent Robots and Systems (IROS2004), Sendai, Japan, Sept. 2004. [18] C. Cl evy, A. Hubert, J. Agnus and N. Chaillet. A micromanipulation cell including a microtools changer. In International Workshop on Microfactories (IWMF2004), Shangai, China, Oct. 2004. [19] C. Cl evy, A. Hubert, S. Fahlbusch, N. Chaillet and J. Michler. Design, Fabrication and Characterization of a Flexible System based on Thermal Glue

18

GEN ERAL CHAPITRE 1. CV ET RESUM E

for in air and in SEM Microassembly. In IFAC Third International Precision Assembly Seminar (IPAS2006), Bad Hofgastein, Austria, Feb. 2006. [20] C. Cl evy, A. Hubert and N. Chaillet. Modeling, Identication and Control of a Thermal Glue Based Temporary Fixing System : Application to the Microrobotic Field. In IEEE International Conference on Robotics and Automation (ICRA2006), Orlando, USA, May 2006. [21] J.Y. Gauthier, A. Hubert, J. Abadie, C. Lexcellent and N. Chaillet. Multistable Actuator based on Magnetic Shape Memory Alloys. In ACTUATOR2006, Bremen, Germany, June 2006. [22] G. Millet and A. Hubert. Design of a 3 DOF Displacement Stage based on Ferrouids. In ACTUATOR2006, Bremen, Germany, June 2006.

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[23] C. Cl evy, A. Hubert and N. Chaillet. Temporary xing systems for applications in microrobotics. In IFAC/IEEE/ASME Symposium on Mechatronic Systems (MECHATRONICS2006), Heidelberg, Germany, Sept. 2006. [24] J.Y. Gauthier, A. Hubert, J. Abadie, C. Lexcellent and N. Chaillet. Magnetic Shape Memory Alloy and Actuator Design. In Proc. of the 5th International Workshop on Microfactories (IWMF06), Besan con, France, Oct. 2006. [25] J.Y. Gauthier, A. Hubert, J. Abadie, C. Lexcellent and N. Chaillet. Original hybrid control for robotic structures using Magnetic Shape Memory Alloys actuators. In IEEE/RSJ International Conference on Intelligent Robots and Systems (IROS2007), San Diego, USA, Oct. 2007. [26] R. El Khoury Moussa, M. Grossard, N. Chaillet, M. Boukallel and A. Hubert. Optimal Design and Control Simulation of a Monolithic Piezoelectric Microactuator with Integrated Sensor In IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics (AIM2010), Montreal, Canada, July 2009.

Publications nationales ` a comit e de lecture


Revues
[27] A. Hubert. Microrobotique : micromanipulation et microrobots autonomes. journal J3eA,Vol. 2, Hors-S erie 2 - 14, 2003. [28] J.Y. Gauthier, A. Hubert, J. Abadie, N. Chaillet and C. Lexcellent. Conversion d energie magn eto-thermo-m ecanique dans les Alliages ` a M emoire de Forme Magn etiques. La Revue de lElectricit e et de lElectronique , Vol. 4, Avril 2008.

1.5. PUBLICATIONS

19

Conf erence
[29] J.Y. Gauthier, A. Hubert, J. Abadie, N. Chaillet and C. Lexcellent. Conversion d energie magn eto-thermo-m ecanique dans les Alliages ` a M emoire de Forme Magn etiques. In Conf erence sur les Sciences et Applications des Mat eriaux Electroactifs (CSAME07), Toulouse, France, Sept. 2007.

Ouvrages p edagogiques et publications non r ef erenc ees


[30] A. Hubert. Modeling, simulation and design of legged micro-robot. PostDoctoral Interne Report, TU Braunschweig, Germany, 135 pages, Sept. 2002.

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[31] A. Hubert. Commande des syst` emes dynamiques Introduction ` a la mod elisation et au contr ole des syst` emes automatiques. Presses Universitaires de Franche-Comt e. Collection didactique, 280 pages, Dec. 2008.

Communications (publications sans comit e de lecture)


Conf erences, colloques et workshops internationaux
[32] J. Agnus, C. Cl evy, Y. Urushima, R. Perez, A. Hubert and N. Chaillet. A micromanipulation station based on a new integrated Microprehensile Microrobot On Chip (MMOC). In 35th International Symposium on Robotics (ISR2004), Paris, France, March 2004. [33] J.Y. Gauthier, A. Hubert, J. Abadie, C. Lexcellent and N. Chaillet. Multistable Actuator based on Magnetic Shape Memory Alloys. In Workshop on Magnetic Shape Memory Alloys, Ascona, Switzerland, Sept. 2005. [34] C. Cl evy, A. Hubert and N. Chaillet. Micromanipulation and MicroAssembly Systems. In IEEE/RAS International Advanced Robotics Programm (IARP06), Paris, France, 2006. [35] J.Y. Gauthier, C. Lexcellent, A. Hubert, J. Abadie and N. Chaillet. Modelling thermo-magneto-mechanical behavior of a NiMnGa magnetic SMA single crystal. In International Conference on Thermo-mechanical Modelling of Solids, Ecole Polytechnique, Paris, France, 2007. [36] J.Y. Gauthier, A. Hubert, J. Abadie, N. Chaillet and C. Lexcellent. Modeling and control of micro-mechatronic devices : application of variational and energetic methods for micro-actuator design. In 7th France/Japon Congress and

20

GEN ERAL CHAPITRE 1. CV ET RESUM E

5th Europe/Asia Congress MECATRONICS08, Le Grand Bornand, France, June 2008. [37] N. Chaillet, C. Lexcellent, J. Abadie, A. Hubert and H. Benzaoui. From SMAS to MSMS : Modeling and Control. In Proceedings of International Conference on Smart Materials and Adaptive Structures : Mathematical Modeling and Computation, Tanger, Maroc, 2008. [38] R. El Khoury Moussa, M. Grossard, M. Boukallel, N. Chaillet and A. Hubert. Observation-Oriented Design of a Monolithic Piezoelectric Microac- tuator with Optimally Integrated Sensor. In 41st International Symposium on Robotics (ISR2010), Munich, Germany, June 2010. [39] J.Y. Gauthier, C. Lexcellent, A. Hubert, J. Abadie and N. Chaillet. NiMn-Ga single crystal Shape Memory Alloy magneto-thermo- mechanical modeling. In 14th International Conference on Experimental Mechanics (ICEM14), Poitiers, France, July 2010.

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Conf erences, colloques et workshops nationaux


[40] C. Cl evy, A. Hubert and N. Chaillet. Changeur doutils pour station de micromanipulation. In RTP microrobotique du CNRS, Lausanne, Suisse, Dec. 2004. [41] J.Y. Gauthier, A. Hubert, J. Abadie, N. Chaillet and C. Lexcellent. Perspectives des alliages ` a m emoire de forme magn etique pour la micro-robotique. In RTP microrobotique du CNRS, Lausanne, Suisse, Dec. 2004. [42] J.Y. Gauthier, A. Hubert, J. Abadie, N. Chaillet and C. Lexcellent . Les alliages ` a m emoire de forme magn etique (AMFM) : de la mod elisation aux applications. In R eunion du GDR Macs du CNRS GT Sysme, Lyon, France, Avril 2005. [43] J.Y. Gauthier, A. Hubert, J. Abadie, N. Chaillet and C. Lexcellent. Mod elisation hamiltonienne de syst` emes non lin eaires micro-m ecatroniques. Application au d eveloppement et au contr ole dactionneurs en AMFM. In 2` emes Journ ees Doctorales / Journ ees Nationales Macs du CNRS (JD-JN-MACS07), Reims, France, July 2007. [44] A. Hubert, J.Y. Gauthier, J. Abadie, N. Chaillet and C. Lexcellent. Conversion d energie magn eto-thermo-m ecanique dans les Alliages ` a M emoire de Forme Magn etiques. In R eunion du GDR Robotique du CNRS GT manipulation multi- echelle, Marseille, France, Sept. 2007. [45] M. Grossard, N. Chaillet, M. Boukallel, A. Hubert and C. Rotinat-Libersa. Towards the mechanical and control-oriented optimization of micromechatronic systems for robust control. In Workshop Control issues in the micro/nano-world, (part of ICRA2009), Kobe, Japan, May 2009.

1.5. PUBLICATIONS

21

[46] M. Grossard, M. Boukallel, C. Rotinat-Libersa, N. Chaillet and A. Hubert. Vers loptimisation de lint egration fonctionnelle des syst` emes microm ecatroniques pour la commande robuste. In R eunion conjointe du GDR Macs GT Mosar, du GdR Micro et Nano Syst` emes et du GdR Robotique GT Manipulation multi echelle, Besan con, France, May 2009. [47] R. El Khoury Moussa, M. Grossard, C. Rotinat-Libersa, N. Chaillet and A. Hubert. M ethode des blocs sensitifs pour la synth` ese optimale de m ecanismes exibles monolithiques ` a actionnement et mesure pi ezo electriques int egr es. In Congr` es fran cais de m ecanique (CFM09), Marseille, France, Ao ut 2009.

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GEN ERAL CHAPITRE 1. CV ET RESUM E

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Chapitre 2

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Premi` ere th ematique de recherche post-doctorale (2001 2002) : Microsyst` emes pour la robotique
Mots-cl es : micro-robotique et micro-syst` emes, technologies de salle blanche, mod elisation analytique et num erique. Ces travaux de recherche ont et e conduit ` a lUniversit e Technique de Braunschweig (TU Braunschweig, Allemagne) au sein de lInstitut des Microtechniques (IMT) dirig e par le Prof. S. B uttgenbach (http ://www.imt.tu-bs.de/) et concernaient le d eveloppement de micro-robots. Ils sins` erent parmi les th` ematiques de recherche de ce laboratoire tournant autour des microsyst` emes et de leur fabrication : conception et mod elisation de micro-syst` emes, micro-actionneurs et microcapteurs ; d eveloppement et optimisation de processus de microfabrication et techniques de salles blanches. Au cours de cette p eriode, mes principaux partenaires de recherche ont et e: Prof. S. B uttgenbach, directeur de lIMT ; S. B utesch et M. Feldmann, assistant-professors et doctorants ` a lIMT.

2.1

Contexte du travail

Lobjectif de ce projet etait d etudier les possibilit es dutilisation des microrobots marcheurs pour des applications de micro-positionnement. Ce project emergeait dune volont e de rapprochement au niveau recherche entre luniversit e de technologie de Compi` egne (UTC) et luniversit e technique de Braunschweig (TUB). Alors quil existait des collaborations importantes au niveau 23

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` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

p edagogique entre les deux institutions (double dipl ome ding enieur en conception m ecanique/Maschinenbau ), il nexistait pas de r eels echanges au niveau de la recherche. Ce projet etait une opportunit e pour amorcer une collaboration internationale sur des sujets de recherche tr` es porteurs entre les deux institutions. La conception de micro-robots etait un sujet novateur autant pour lUTC que le TUB et l etude consistait ` a explorer les opportunit es de conception et les avantages de cette nouvelle d eclinaison de micro-manipulateur. La conception dun tel dispositif n ecessitait une double comp etence, dune part en terme de conception et de mod elisation multiphysique que nous apportions via le LEC de lUTC et dautre part en terme de conception et production de micro-syst` emes quapportait lIMT du TUB. Ce travail exploratoire n ecessitait dimportantes comp etences multidisciplinaires, tout dabord en conversion d energie electrom ecanique, que je ma trisais de par mon parcours ` a lUTC, mais egalement en microtechnique dans lesquelles, je d ebutais. Certaines contraintes de conception notamment technologiques etaient d ej` a abord ees dans le cahier des charges du projet1 mais ` a part ces quelques suggestions, une tr` es grande libert e ma et e laiss ee quant aux choix de conception tout au long de cette p eriode de recherche. Ce projet etait novateur et tr` es ambitieux puisquil n ecessitait, ` a la fois une ma trise des technologies de r ealisation microtechnique (techniques dites de salle blanche ) ainsi quune ma trise des outils de conception et de mod elisation des dispositifs dactionnement pour le micro (actionneurs, capteurs, syst` emes robotiques). Une vaste etude bibliographique fut dabord entreprise pour disposer dun etat de lart repr esentatif au niveau mondial des recherches similaires. Les r esultats de cette etude ont soulign e laspect particuli` erement innovant de ce th` eme et ont plus particuli` erement orient e mes travaux vers des micro-structures r esonantes r ealis ees en silicium et actionn ees par interaction de champs electromagn etiques. La structure micro-robotique propos ee correspondait ` a une structure de robot parall` ele plan utilisant des structures exibles d eformables comme articulation et un actionnement magn etique ` a laide de micro-bobines planes. Cette structure pr esentait lavantage de pouvoir g en erer des d eplacements assez importants ` a l echelle micro et susament rapides pour atteindre des vitesses acceptables, tout en conservant un bon rendement et en utilisant des technologies ma tris ees et r ealisables ` a lIMT. Les avantages des micro-syst` emes pour le d eveloppement de dispositifs de micro-manipulation sont d esormais bien connues et de nombreux dispositifs sont maintenant disponibles. Cependant, ` a l epoque, tr` es peu de syst` emes v eritablement fonctionnel existaient et leur d eveloppement nen etait qu` a ses d ebuts. Un tr` es bon article de W. Trimmer [Tri89] do` u nous avons extraits ces quelques lignes r esume bien ces avantages : Personal experiences have led me to an appreciation of using small mechanical systems to handle small parts. A system on which I collaborated used a meter-sized robot to handle millimetre-sized chips with an accuracy of about ten microns. this macro system had several disadvantages. The forces needed to move the robots mass were
1 Comme par exemple le choix dun actionnement electromagn etique qui permettait de proter des technologies pr ec edemment mises au point a ` lIMT.

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2.1. CONTEXTE DU TRAVAIL

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much larger than the forces that would destroy the chip, and the robot could easily crush the chip. A lot of time was spend building xturing that was compliant yet still maintained the hight accuracy needed. A one centimetre robot would have about one millionth the mass, and hence require force roughly a millionth of those needed to move the macro robot. Temperature change of the macro robot were also troublesome. A one degree change of temperature led to about 10 microns expansion, the total error budget of our task. The larger robot also spent most of the time moving the chip from one work station to another. Because of the size of the robot and associated equipment, these workstations had to be several feet apart. If a centimetre-size robot and associated equipment could have been used, the distance and transit times could have been dramatically reduced. Finally, nding space for this robot and its four by six foot table in a clean room was dicult. This thousand-to-one dierence between the size of the macro robot and the chip is equivalent to using a bulldozer to move sugar cubes. The corresponding accuracy requirement is equivalent to positioning the sugar cube to within a hairs width. On the larger scale of the bulldozer, it is easier to see the advantages of using tooling commensurate with the part being handled. Le cahier des charges de ce projet etait de concevoir un micro-robot insecte avec un nombre important de pattes tel un mille-pattes. Ce projet voulait utiliser de vrai pattes et non une locomotion de type stick-slip comme nous en trouvons beaucoup en micropositionnement. Pour r ealiser une vraie patte, nous devons utiliser au moins deux degr es de libert e (2 DDLs) par patte puisquune patte doit avoir un mouvement circulaire ou elliptique (cf Fig. 2.1 (a)) et cela ne peut etre r ealis e par moins de 2 DDLs. Utiliser plus que 2 DDLs est egalement possible2 mais conduirait ` a un dispositif plus complexe que celui que nous avons retenu (cf Fig. 2.1 (b)).
y y

Robot Leg Ground


y

Robot Leg Ground


y

Robot Leg Ground

Robot Leg Ground

(a)

(b)

Fig. 2.1 (a) Mouvement dun pied au cours dune etape de marche, (b) Marche discr` ete dun robot ` a pattes. Lutilisation dun mouvement m ecanique r esonant comme en locomotion elasto-dynamique [LGF+ 98] [CGG98] est tr` es int eressant dun point de vue
2 Les

humains en utilisent au moins 4 : hanche, genoux, chevilles, orteils.

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` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

energ etique et cest ce que nous avons tent e de faire. En un sens, nous avons essayer de d evelopper une version discr` ete (` a nombre de DDLs ni), dun moteur ultrasonore qui est une sorte de robot multipattes avec une innit e continuum de pattes et qui utilise un principe de r esonance m ecanique (cf Fig. 2.2). Pour ce type de moteur, le stator est excit e par des actionneurs g en eralement pi ezo electriques distribu e sur le stator annulaire qui excite une d eformation propre naturelle qui se propage comme une onde propressive dans la direction positive ` a la vitesse k avec la pulsation dexcitation et k le nombre donde de la vibration annulaire. Cette onde est utilis ee pour d eplacer un rotor qui est en contact avec le stator. La pi` ece rotorique nest pas transport ee par londe3 mais la particule en surface a un mouvement elliptique comme d ecrit dans la Fig. 2.2 (b) et ce mouvement d eplace par frottement le rotor dans le sens inverse de londe.

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/ k

(a)

(b)

Fig. 2.2 (a) Anneau utilis e comme stator dun moteur ` a ultrasons (d eformation de vibration tr` es exag er ee), (b) Principe du moteur ` a ultrasons [Uch97]. Le principe du moteur ultrasonore utilise donc le mouvement r esonant dune structure an de d eplacer un rotor en contact. La conception de notre microrobot sest inspir ee de ce principe mais ` a la place dun mouvement continu une onde dans un solide continu , nous en avons con cu une version discr` ete a laide dun nombre important de pattes. Ainsi, si nous pla ` cons un nombre important de pattes r eguli` erement espac es et micro-fabriqu ees qui peuvent avoir un mouvement elliptique (cf Fig. 2.1 (b), nous obtenons une version discr` ete de moteur ` a ultrasons. Le mouvement de chaque patte doit etre d ephas e des pattes suivantes an dobtenir une enveloppe sinuso dale qui couvrira toutes les extr emit es des pattes. Pour obtenir ce comportement, chaque patte doit etre contr ol ee ` a la m eme fr equence que les autres mais avec un d ephasage ad equat [GFGG99] [CMGG99].

2.2

Conception et mod elisation des structures m ecaniques

La premi` ere chose a ` r ealiser dans ce projet etait de concevoir une structure m ecanique vibrante dont un point en contact pr esentait un d eplacement elliptique ou circulaire. De plus cette structure devait etre miniaturisable et fabriqu ee avec des technologies de salle blanche disponible a ` lIMT. Lutilisation
3 De

m eme que les particules deau dune vague ne sont pas transport es par la vague.

2.2. MODELISATION DES STRUCTURES MECANIQUES

27

de ces techniques permettant den fabriquer un grand nombre ` a faible co ut et en batch dans lesprit des micro-syst` emes. La forme de la structure el ementaire retenu (1 patte) est repr esent e sur la Fig. 2.3. Les ressorts permettant la mise en r esonance de cette structure sont inspir es de structure silicium pr ec edement r ealis e` a lIMT (cf Fig. 2.4).

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yyyy yyyy
x2 x1
ressort 1

Robot

ressort 2

Leg

Ground

Fig. 2.3 Structure el ementaire dune patte du micro-robot.

(a)

(b)

Fig. 2.4 Exemples de micro-ressorts : (a) photographie dun gripper en silicium incluant deux micro-ressorts, (b) detail dun ressort (photographie MEB).

An de concevoir ce micro-robot, un mod` ele dynamique de la structure devait etre propos e et ce mod` ele devait etre compar e ` a des calculs num eriques r ealis es ` a laide du logiciel de calcul par el ements nis ANSYS. Cette mod elisaton devait etre capable de fournir les caract eristiques dynamiques principales de la structure. En eet, lorsque nous ne disposons pas dun syst` eme automatis e qui permette lextraction automatique de mod` eles dordre r eduit ` a partir des structures 3D issus de la CAO, il est n ecessaire de concevoir ces outils pour disposer de mod` eles utilisables pour la commande et la simulation du dispositif [MFRW00].

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` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

Selon le degr e de pr ecision recherch e pour les r esultats de simulation de la mod elisation, un dispositif r eel peut etre mod elis e par deux classes de mod` eles qui ont et e alternativement utilis ees dans tous nos travaux de recherche et sur lesquels nous reviendrons plus en d etail dans la partie synth` ese de ce m emoire : mod elisation sous la forme de syst` emes ` a param` etres localis es conduisant a des ` equations di erentielles ordinaires ; mod elisation sous la forme de syst` emes ` a param` etres r epartis conduisant a des ` equations aux d eriv ees partielles. En premi` ere approximation, la mod elisation dune structure m ecanique peut etre obtenue en d ecomposant la structure r eelle en un nombre ni de soussyst` emes interconnect es et correspondant chacun ` a un seul degr e de libert e m ecanique. Ainsi, les propri et es essentielles dun syst` eme continu (comportant un nombre inni de degr e de libert e) peuvent etre obtenues avec une pr ecision susante en le remplacant par un systeme approchant nayant quun nombre ni de degr es de libert e.

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La mod elisation analytique des mouvement du pied dans le plan x1 x2 (ou xy ) a utilis e des mod` eles ` a param` etres localis es o` u chaque poutre de ressort a et e consid er e comme un corps rigide et chaque el ement de exion (Flexible Hinges, voir [HBC97] et [HABC99] pour des cas dutilisation classique) a et e consid er e comme un ressort de torsion (cf Fig. 2.5). La rigidit e de exion des ressorts a et e estim ee ` a laide dessais exp erimentaux r ealis es sur des structures en silicium r ealis ees ` a lIMT gr ace ` a une technologie RIE (Reaction Ion Etching ) [BB01b]. Ces essais ont utilis e un nouveau capteur de force d evelopp e egalement ` a lIMT [BWB01] et d edi e` a la mesure de force sur des MEMS. Pour les d eformations angulaires envisag ees, le comportement observ e etait pratiquement lin eaire et une mod elisation par raideurs de torsion discr` etes etait donc parfaitement pertinente. Pour la mod elisation ` a param` etres localis es, jai utilis e des m ethodes de Lagrange en associant 3 DDLs ` a chaque corps rigide, deux d eplacements lin eaires x et y et une rotation autour de z . Ces DDLs ont et e r ef erenc ees par rapport ` a un syst` eme de coordonn ees situ e au centre de gravit e de chaque corps rigide. Si nous avons nc corps rigides, nous obtenons 3nc = N coordonn ees g en eralis ees. En utilisant le principe de Hamilton et en d enissant correctement des energies potentielles V , cin etiques T et de dissipation D [Gol80] [GR96] [Lan86], jai pu en d eduire les equations dynamiques de Lagrange qui mod elisent le comportement du syst` eme r eel ` a laide dun nombre ni de degr es de libert e. La variable qi rep esente la coordonn ee g en eralis ee associ ees ` a un des degr es de libert e m ecanique du syst` eme approxim e et fi la force ext erieure qui lui est appliqu ee : T V D d T + + fi = 0 dt q i qi qi q i (2.1)

Pour des syst` emes sans amortissement, lanalyse du syst` eme discret correspondant peut s ecrire sous forme matricielle : (t) + [K ] q(t) = F(t) [M ] q (2.2)

o` u q(t) et F(t) correspondent aux vecteurs des coordonn ees et forces g en eralis ees du syst` eme discr etis e en sous-syst` emes ` a param` etres localis es.

2.2. MODELISATION DES STRUCTURES MECANIQUES

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Continuum model

Lumped parameters model

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rigid bar (rigid body)

rotation stiffness

Fig. 2.5 D ecomposition dune structure continue en une interconnexion de syst` emes ` a param` etres localis es.

La mod elisation pr ec edente correspond ` a un syst` eme dynamique sans contrainte, cependant, les di erents degr es de libert es associ es aux barres rigides sont interconnect es par la pr esence des ressorts de torsion et ainsi ces N coordonn ees g en eralis ees ne sont pas toutes libres car elles sont en fait li ees ensemble ` a chaque extr emit e dun corps rigide o` u un ressort de torsion ne permet quun mouvement de rotation. Cela conduit ` a des contraintes g eom` etriques qui r eduisent le nombre de vrais DDLs. Ces contraintes ont et e prises en compte dans les equations ` a laide dune m ethode de multiplicateurs de Lagrange [Lan86]. Ces contraintes stipulent quau ressort dindice k s eparant le corps rigide k du corps rigide k + 1, les d eplacements lin eaires des extr emit es sont les m emes lorsquils sont exprim es dans le rep` ere li e` a k ou dans le rep` ere li e` a k + 1. Pour notre projet, nous nous int eressions uniquement ` a de la locomotion elasto-dynamique et les mouvement sont alors consid er es comme des petits mouvements autour dun point d equilibre (probl` eme de vibration). Nous pouvons alors utiliser une lin earisation des fonction cos et sin autour de z eros position de repos ce qui permet dexprimer les equations de contraintes ck,x = 0 et ck,y = 0 comme des

30

` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

fonctions lin eaires des coordonn ees xk , yk , k , xk+1 , yk+1 , k+1 : ck,x = xk vk,f k xk+1 + vk+1,i k+1 = 0 ck,y = yk + uk,f k yk+1 uk+1,i k+1 = 0 (2.3)

Ces fonctions de contrainte etaient ensuite introduites dans les equations dynamiques ` a laide des multiplicateurs de Lagrange k,x et k,y . En utilisant une ecriture matricielle pour d enir les di erentes grandeurs, nous obtenions : T = V= 1 {q }T [M ] {q } 2 1 {q }T [K ] {q } 2 (2.4) (2.5) (2.6)

L = T V {}T {c}

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Ce qui nous permettait dobtenir les equations de Lagrange suivantes ecrites sous forme matricielle et en notant les equations de contrainte ` a laide dune matrice [A] : { q} [M ] 0 [K ] [A]T {q } + {} 0 0 {} [A] 0 =0 (2.7)

En utilisant la technique des multiplicateurs de Lagrange, nous ne r eduisions pas, en fait, le nombre de degr es de libert e mais au contraire, nous laugmentions ` premi` du nombre de contraintes introduites. A ere vue, cela peut sembler contreproductif mais il nen est rien car les equations sont alors beaucoup plus faciles a obtenir de mani` ` ere syst ematique et les multiplicateur de Lagrange ont une signication physique tr` es utile au niveau de la conception puisquen fait ils sont directement li es aux forces g en eralis ee n ecessaires pour maintenir la contrainte active. Ils sont donc une image des eorts internes de contraintes au niveau des ressorts de torsion reliant deux barres suppos ee rigides. La technique des multiplicateurs de Lagrange est une technique particuli` erement ecace au niveau de loptimisation sous contrainte, cependant, au niveau de la mod elisation dynamique, elle introduit des dicult es calculatoires puisquau lieu dobtenir en n de mod elisation un jeu d equations di erentielles ordinaire du second ordre, nous obtenons un jeu d equations alg ebro-di erentielles qui est en g en eral beaucoup plus d elicat ` a r esoudre. Cependant pour notre mod elisation, nous verrons que les contraintes etant des contraintes lin eaires, il est possible de transformer ce probl` eme pour le ramener ` a un probl` eme d equations di erentielles ordinaires. Pour transformer le syst` eme d equations alg ebro-di erentielles en un syst` eme d equations di erentielles, nous avons utilis e une m ethode assez similaire ` a celle d evelopp e par Hurty (Component Mode synthesis ) [Hur60] [Hur65] et appliqu ee par Meirovitch [Mei97] en dynamique des structures pour lassemblage de sousstructures. Dans la m ethode originale, lassemblage ` a laide de contraintes se fait entre des sous-structures exibles (d eformable et de type milieu continu) alors que dans notre version, elle se fait entre des sous-structures rigides (non d eformable et de type syst` emes discrets), cependant la m ethode et lutilisation est tr` es similaire. Ces m ethodes dassemblage sont tr` es utilis es pour faire de la r eduction dordre de syst` emes tr` es complexes ou lorsque l etudes des di erents

2.2. MODELISATION DES STRUCTURES MECANIQUES

31

sous-syst` emes est con ee ` a des equipes di erentes qui doivent ensuite mettre en commun leurs travaux de mod elisation. Dans le principe, la matrice [A] des constraintes d enie pr ec edemment doit etre divis ee en deux parties : [Ai ] une matrice li ee aux coordonn ees ind ependantes {qi } (numbre de DDLs moins le nombre de contraintes) ; [Ad ] une matrice carr e non singuli` ere li ee aux coordonn ees d ependantes {qd } (numbre de contraintes) : [A] {q } = [[Ai ] [Ad ]] {qi } {qd } (2.8)

Comme [Ad ] est non singuli` ere, nous pouvons exprimer {qd } comme une fonction de {qi } : {qd } = [Ad ]1 [Ai ] {qi } (2.9) et en sous divisant les matrices [M ] et [K ] en sous matrices : } {q [M11 ] [M12 ] i [M ] { q} = {qd } [M21 ] [M22 ] [K ] {q } = [K11 ] [K12 ] {qi } [K21 ] [K22 ] {qd } (2.10) (2.11)

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Nous obtenons le syst` eme suivant : } {q [M11 ] [M12 ] [K11 ] i + {qd } [M21 ] [M22 ] [K21 ]

[K12 ] {qi } [Ai ]T + = 0 (2.12) [K22 ] {qd } [Ad ]T

Nous pouvons alors manipuler la seconde ligne du syst` eme pour obtenir les multiplicateurs de Lagrange : i } [M22 ] [Ad ]1 [Ai ] {q i } {} = ([Ad ]T )1 [M21 ] {q + [K21 ] {qi } [K22 ] [Ad ]1 [Ai ] {qi } (2.13)

et enn la premi` ere ligne pour obtenir le syst` eme r eduit ne d ependant que de {qi } : + K Mmodif q (2.14) modif qi = 0 i o` u nous avons d eni [Mmodif ] et [Kmodif ] comme : [Mmodif ] = [M11 ] [M12 ] [Ad ]1 [Ai ] [Ai ]T ([Ad ]T )1 [M21 ] [M22 ] [Ad ]1 [Ai ] [Kmodif ] = [K11 ] [K12 ] [Ad ]1 [Ai ] [Ai ]T ([Ad ]T )1 [K21 ] [K22 ] [Ad ]1 [Ai ] (2.15)

(2.16)

Lorsque nous voulons simuler et analyser le comportement dynamique de ce syst` eme di erentiel, une des principales dicult es vient du couplage entre les di erentes coordonn ees car les matrices [Mmodif ] et [Kmodif ] sont en g en eral plut ot pleines, cest-` a-dire non diagonales. Si ce syst` eme d equations di erentielles pouvait etre d ecoupl e, nous aurions des matrices diagonales pour la masse et la raideur et ainsi chaque equation (ligne du syst` eme d equation)

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` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

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deviendrait similaire ` a un syst` eme ` a un seul degr e de libert e dont le comportement est ind ependant de celui des autres degr es de libert e. Ce d ecouplage est possible, sous certaines hypoth` eses ` a laide dun changement de coordonn ees vers la base modale ou propre du syst` eme. Cette technique est bien connue des math ematiciens et des automaticiens qui lutilisent pour faire de lanalyse de syst` emes dynamiques [Chi06] et de la commande par placement de p oles [Fri86]. Le processus consistant ` a transformer le syst` eme coupl e en un jeu d equations d ecoupl ees est appel e lanalyse modale en m ecanique vibratoire [Ewi00]. Il est int eressant de citer un paragraphe de louvrage de C. Lesueur [Les88] qui fait une tr` es bonne description de lint er et que peuvent apporter les techniques de d ecomposition et danalyse modale en vibration : Pourquoi passer dans la base propre, ce qui alourdit la d emarche ? Au stade projet, cette m ethodologie a lavantage de faire appara tre les d eplacements propres a ` chaque conguration et les pulsations propres ; il est donc possible d eviter les r esonances si lexcitation est connue ou de placer les forces excitatrices aux endroits o` u le vecteur propre est voisin de z ero (nuds de vibrations). De sorte que sans faire de calculs de r eponse, lobtention du sch ema modal (fr equences propres, vecteurs propres et caract eristiques g en eralis ees Mii , Kii , Cii ), rend possible une action souvent d ecisive. Cette projection modale nous permet au nal de d eterminer la r eponse dynamique de la structure sur chacune des coordonn ees modales sans avoir ` a inverser tout le syst` eme dynamique coupl e comme cest le cas pour le choix dune base autre que la base propre. Pour expliquer le fonctionnement de ce changement de base, nous allons lappliquer ` a l equation (2.2) pour des simplications de notations bien quen r ealit e nous avons du lappliquer sur le syst` eme modi e, cest-` a-dire sur celui qui tenait compte des contraintes g eom etriques dinterconnexion entre les di erents sous-syst` emes de la structure m ecanique. Pour r esoudre le syst` eme di erentiel pour des petites oscillations libres en passant dans la base modale, cest-` a-dire en partant de l equation (2.2) sans excitation (F(t) = 0), nous cherchons une solution particuli` ere dans laquelle toutes les coordonn ees g en eralis ees suivent, ` a une constante pr` es, la m eme loi temporelle : q(t) = Q (t) (2.17) Q est un vecteur de constantes constituant ce que lon appelle la forme propre du mouvement 4 . En rempla cant cette solution dans l equation libre, nous obtenons : (t) [M ] Q + (t) [K ] Q = 0 Soit encore, l egalit e: [K ] Q =

(2.18)

(t) [M ] Q (2.19) (t) Comme [M ] et [K ] sont non-nulles et que cette equation doit etre v eri ee quel que soit t, les seules solutions non-triviales conduisent ` a: (t) = p (t) (2.20)

4 Propre dans le sens que le rapport de deux coordonn ees est ind ependant du temps et toujours egal au rapport des el ements correspondants de Q [GR96].

2.2. MODELISATION DES STRUCTURES MECANIQUES

33

et [K ] Q = p [M ] Q (2.21) Pour des raisons de stabilit e de la solution, p est en pratique r eelle et positive et nous pouvons poser p = 2 . (t) + 2 (t) = 0 n 1. lanalyse de ecessite une d ependance harmonique de (t) par rapport ` a la variable t : (t) = A cos(t) + B sin(t) (2.22)

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2. lanalyse de [K ] Q = 2 [M ] Q nous conduit ` a r esoudre le probl` eme ([K ] 2 [M ]) Q = 0 qui nest autre quun probl` eme de valeurs propres [CH89]. L equation det([K ] 2 [M ]) = 0 est appel ee l equation aux 2 valeurs propres wi . Les vecteurs Qi sont les vecteurs propres ou modes 2 propres associ es ` a chacunes des valeurs propres i . Le nombre de valeurs propres est egal ` a la dimension N de [Q] donc au nombre de coordonn ees g en eralis ees. La recherche des vecteurs propres revient simplement ` a trouver la base qui diagonalise5 le syst` eme (2.2) sans excitation. Les solutions de ce syst` eme avec excitation sont alors obtenues non pas en r esolvant en bloc le syst` eme coupl e dordre N mais en r esolvant un syst` eme equivalent de N syst` emes dordre un d ecoupl es. La base des N vecteurs propres Qi est une base compl` ete dans laquelle, il est possible dexprimer les solutions q. En appelant les coordonn ees dans la base modale : q(t) = [Q] (t) (2.23) o` u [Q] = [Q1 Q2 QN ] est la matrice modale, Qi est le vecteur des d eform ees modales vecteur propre et enn (t) est le vecteur des coordonn ees modales, en reportant dans (2.2), nous trouvons : [M ] [Q] (t) + [K ] [Q] (t) = F(t) (2.24)

En pr e-multipliant les deux cot es de l equation (2.24) par la transpos ee de la matrice modale, [Q]T et en utilisant les propri et es dorthogonalit e de la matrice modale qui se traduisent par les relations [TYW74] [Mei97] [GR96] : [Q]T [M ] [Q] = [Mi ] [Q]T [K ] [Q] = [Ki ] avec [Mi ] et [Ki ] matrices diagonales, nous obtenons le jeu d equations ind ependantes suivant : [Mi ] (t) + [Ki ] (t) = [Q]T F(t) = (t) (2.25)

Nous nous ramenons donc ` a un syst` eme compos e de N equations di erentielles ind ependantes, chacune traduisant le mouvement dun syst` eme m ecanique ` a un degr e de libert e (Mii , Kii ), excit e par une force g en eralis ee i (t). Comme
5 Le syst` eme nest en fait diagonalisable que si et seulement si tous les blocs de Jordan apr` es le changement de base sont de dimension un au maximum. Si ce nest pas le cas, des valeurs propres multiples sont associ ees a ` des sous-espaces vectoriels de dimensions strictement sup erieures a ` 1 et lanalyse est alors un peu plus complexe [Chi06]. Ce ph enom` ene nappara t heureusement quassez rarement en m ecanique vibratoire.

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` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

nous savons quun vecteur propre est d eni ` a une constante pr` es, en choisissant judicieusement cette constante, nous pouvons nous arranger pour obtenir [Mi ] egale ` a la matrice identit e et les vecteurs propres sont normalis es par rapport ` a la masse [TYW74]. Nous obtenons dans ce cas le syst` eme suivant pour chaque indice i : 2 i (t) + i i (t) = i (t) (2.26) La r eponse de d eplacement modal sur chacun des modes correspond ` a la fonction de r eponse dun syst` eme du second ordre. Sous excitation harmonique, la r eponse dun tel syst` eme est bien connue et facile ` a d eterminer. Cette approche permet de traiter les probl` emes vibratoires en deux temps : 1. eviter les co ncidences fr equentielles entre la fr equence propre dun mode et les forces projet ees sur ce mode forces modales pour latt enuation de vibrations ou au contraire les favoriser pour la locomotion elasto-dynamique comme nous voulions le faire dans ce projet. Une co ncidence conduit ` a une forte r esonance, limit ee seulement par lamortissement de la structure6 . 2. pr ed eterminer les sources de bruits r esiduelles hors r esonances. Dans ce cas, lamortissement joue un r ole faible dans la r eponse puisque les coecients de r esonance etant assez faibles pour les structures m ecaniques envisag ees, leur inuence est faible loin des r esonances. Pour conna tre la r eponse dans la base initiale, cest-` a-dire dans la base des coordonn ees q(t), il sut de ramener les coordonn ees (t) calcul ees par r esolution de (2.26) de la base modale vers la base initiale, cest-` a-dire en utilisant l equation inverse de (2.23) : (t) = [Q]1 q(t) (2.27)

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Lorsque le syst` eme comporte un amortissement, l equation dynamique est de la forme : + [C ] q + [K ] q = F [M ] q (2.28) Le comportement est alors plus complexe que le pr ec edent et si nous notons i , Qi et i les valeurs, vecteurs et coordonn ees modales du probl` eme sans amortissement et que nous reconstruisons l equation modale ` a partir de ces param` etres, nous obtenons : [Mi ] (t) + [Q]T [C ] [Q] (t) + [Ki ] (t) = (t) (2.29)

Puisque les amortissements peuvent etre r epartis dune mani` ere tr` es diff erente des masses et des raideurs, les coecients Qi Cij Qj sont en g en eral non nuls, ce qui fait que lapproche modale perd beaucoup de son int er et puisque les equations modales restent coupl ees par les termes damortissements. Les seules m ethodes de r esolution de l equation (2.29) sont alors des m ethodes dint egrations directes. Lors de la prise en compte des amortissements, les m ethodes modales ne gardent un int er et que pour des amortissements faibles o` u lhypoth` ese damortissement diagonal est valable. Cette hypoth` ese stipule que les forces de dissipation sont r eparties comme les forces dinertie ou les forces
6 Notons que le calcul exact des r eponses proches dune r esonance n ecessite la d etermination ou lestimation exp erimentale des coecients damortissements.

2.2. MODELISATION DES STRUCTURES MECANIQUES

35

elastiques, ce qui revient ` a n egliger les termes Qi Cij Qj lorsque i = j . Nous obtenons alors une matrice damortissement diagonale. Cette hypoth` ese ne repose pas vraiment sur une justication physique solide mais il peut etre montr e quelle est souvent acceptable pour des structures faiblement dissipatives (cf. [GR96]). En notant [Ci ] la matrice ne contenant que les termes diagonaux de [Q]T [C ] [Q], on se ram` ene au syst` eme dans la base modale : [Mi ] (t) + [Ci ] (t) + [Ki ] (t) = (t) (2.30) qui correspond ` a N syst` emes di erentiels du second ordre ` a un seul degr e de libert e d ecoupl e. La mani` ere classique pour construire cette matrice damortissement diagonale dans la base des modes propres consiste ` a r ealiser une somme pond er ee des termes de masses et de raideurs appel e un amortissement proportionnel. La m ethode d ecrite pr ec edemment a et e appliqu ee pour des syst` emes ` a param` etres localis es, cest-` a-dire pour des syst` emes dynamiques de dimension nie. Cependant elle peut etre egalement adapt ee aux dimensions innies en utilisant des outils de lanalyse fonctionnelle, les changement de bases en dimension nie (projection sur la base des vecteurs propres) etant remplac ees par des projections sur une bases de dimension innie. Lorsque les syst` emes m ecaniques sont susament simples, ces calculs peuvent etre conduits de mani` ere analytique en appliquant des m ethodes variationnelles. Lorsque les syst` emes m ecaniques sont plus compliqu es, il est n ecessaire de faire une projection sur une base tronqu ee approximation num erique comme pour la m ethode des r esidus pond er es. Les techniques de projection sur une nouvelle base sont egalement ` a lorigine de la m ethode des el ements nis ` a la di erence que les projections se font sur des bases nodales (noeuds du maillage) et non sur la base propre du syst` eme dynamique comme nous lavons fait dans ces travaux7. Dans notre mod elisation, le probl` eme de valeur propre devait bien evidemment etre appliqu e sur le probl` eme modi e en r esolvant alors le probl` eme de valeurs propres {[Kmodif ] 2 [Mmodif ]} {Qi } pour obtenir les modes propres d eform ees modales {Qi,k } pour chaque fr equence propre k . Les modes propres des variables d ependantes etaient alors obtenues en utilisant l equation (2.9). Ces r esultats ont et e programm es ` a laide du logiciel matlab et ont et e compar es ` a des r esultats issus dune analyse par el ements nis (ANSYS) et ` a des r esultats exp erimentaux lorsque la structure r eelle etait disponible. Cette etude a et e conduite pour les trois congurations g eom etriques repr esent ees sur la Fig. 2.6. Un exemple de r esultats est report e sur la Fig. 2.7 qui montre les tr` es bon r esultats de notre approximation par syst` emes ` a param` etres localis es en comparaison dune mod elisation par el ements nis qui comporte un nombre de degr es de libert e bien sup erieur.
7 La m ethode des el ements nis sutilise cependant pour des syst` emes a ` param` etres r epartis et donc de dimension innie (syst` eme continu) et non sur des syst` emes de dimensions nis comme nous avons dans cette mod elisation. La base nodale est alors une base tronqu ee approxim ee puisquelle est de dimension nie au contraire du syst` eme original, do` u le nom de cette m ethode.

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36

` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

(a)

(b)

(c)

Fig. 2.6 Description des di erentes g eom etries etudi ees.

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Fig. 2.7 Comparison dune d eform ee modale pour : (a) m ethode bas ee sur un syst` emes ` a param` etres localis e et programme matlab, (b) M ethode des el ements nis et logiciel ANSYS, (c) superposition des deux d eform ees. Les trois premiers modes propres calcul es ` a laide de Matlab sont report es sur la Fig. 2.8. Ces modes correspondent ` a: Mode 1 : d eplacement du pied dans la direction ex + ey , ` a la fr equence propre f1 = 62 Hz (r esultat ANSYS : 59,6 Hz) ; Mode 2 : d eplacement du pied dans la direction ex ey , ` a la fr equence propre f1 = 91 Hz (r esultat ANSYS : 67,5 Hz) ; Mode 3 : d eplacement du pied dans la direction , ` a la fr equence propre f1 = 191 Hz (r esultat ANSYS : 120 Hz). Notons que les r esultats au niveau des fr equences sont moins concordants pour les modes dordre plus elev e o` u lhypoth` ese de corps rigide nest plus parfaitement exacte8 mais ce mod` ele ` a param` etres localis es pourrait etre fortement am elior e en divisant chaque barre en deux corps rigides li es par un ressort. Les modes 3D (d eplacement dans la direction z ) ne sont pas calculables par le mod` ele ` a param` etres localis es puisque nous avons fait lhypoth` ese dun mouvement plan alors quANSYS permet de les calculer puisquil sagit dun logiciel
8 Mais les modes dordre elev e ont une inuence moindre sur la dynamique forc ee du syst` eme a ` base fr equence.

2.2. MODELISATION DES STRUCTURES MECANIQUES

37

3D. Nous constatons bien quune combinaison des d eform ees modales suivant le premier et le second mode de vibration (direction ex + ey et direction ex ey ) permet eectivement dobtenir un d eplacement circulaire ou elliptique du pied du micro-robot.

0
0

Position at rest

Mode shape
10

10
0 2 4 6 8 10

10

10

10

(a)

(b)

(c)

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Fig. 2.8 Description des trois premiers modes propres dun pied du microrobot. Les calculs pr ec edents ont et e ensuite modi es pour tenir compte deorts ext erieurs appliqu es sur la structure. Cela sest fait en imposant deux types di erents de conditions aux limites : imposition dune coordonn ee g en eralis ee : nous imposons un d eplacement specique (q = q 0 = 0) ou nous bloquons un d eplacement (q = 0) sur certaines coordonn ees. Il sagit dune condition aux limites de type Dirichlet ; imposition dune force g en eralis ee : nous imposons une force externe sur un corps rigide (f = f 0 = 0) ou nous avons un mouvement libre (f = 0). Il sagit dune condition aux limite de type Neumann. Les coordonn ees g en eralis ees sont alors non plus d ecompos ees en deux (d ependantes qd et ind ependantes qi ) mais en trois groupes (d ependantes qd , ind ependantes qi ou forc ees), ce qui permet de modier les equations dynamiques pr ec edentes. La matrice des contraintes doit alors egalement etre divis ee en trois parties : {qf } (2.31) [A] {q } = [[Af ] [Ai ] [Ad ]] {qi } {qd } {qd } = [Ad ]1 [Af ] {qf } + [Ai ] {qi } (2.32)

o` u [Ad ] est encore une matrice carr e non singuli` ere. Cela permet dexprimer la relation liant {qd } aux deux autres types de coordonn ees :

En sous-divisant les matrices [M ] et [K ] en 9 sous-matrices (3 3) et {f} en 3 sous-vecteurs, cela donne les equations suivantes : [M11 ] [M12 ] [M13 ] {qf } [K11 ] [K12 ] [K13 ] {qf } [M21 ] [M22 ] [M23 ] {qi } + [K21 ] [K22 ] [K23 ] {qi } [M31 ] [M32 ] [M33 ] {qd } [K31 ] [K32 ] [K33 ] {qd } [Af ]T { f f } + [Ai ]T = {fi } { fd } [Ad ]T (2.33)

38

` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

En manipulant la troisi` eme ligne du syst` eme, on peut exprimer {} comme : {} =([Ad ]T )1 {fd } [M31 ] {q f } [M32 ] {qi } [K31 ] {qf } (2.34)

[K32 ] {qi } + [M33 ] [Ad ]1 [Af ] {q f } + [Ai ] {qi } + [K33 ] [Ad ]1 [Af ] {qf } + [Ai ] {qi }

En manipulant la seconde ligne, nous obtenons le syst` eme d equation r eduit r egissant les coordonn ees ind ependantes {qi } comme des fonctions des eorts connus {fi }, {fd } et des coordonn ees connues {qf } : + K q = f Mi q externe Mf qf Kf qf i i i (2.35)

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o` u [Mi ], [Ki ], {fexterne }, [Mf ] et [Kf ] sont d enis comme : [Mi ] = [M22 ] [M23 ] [Ad ]1 [Ai ] [Ai ]T ([Ad ]T )1 [M32 ] [M33 ] [Ad ]1 [Ai ] [Ki ] = [K22 ] [K23 ] [Ad ]1 [Ai ] [Ai ]T ([Ad ]T )1 [K32 ] [K33 ] [Ad ]1 [Ai ] {fexterne } = {fi } [Ai ]T ([Ad ]T )1 {fd} [Mf ] = [M21 ] [M23 ] [Ad ]1 [Af ] [Ai ]T ([Ad ]T )1 [M31 ] [M33 ] [Ad ]1 [Af ] [Kf ] = [K21 ] [K23 ] [Ad ]1 [Af ] [Ai ]T ([Ad ]T )1 [K31 ] [K33 ] [Ad ]1 [Af ] (2.36)

(2.37) (2.38) (2.39)

(2.40)

Les coordonn ees d ependantes sont nalement obtenues en utilisant la relation (2.32). Les forces appliqu ees sur les coordonn ees impos ees (conditions aux limites de Dirichlet) sont obtenues directement en utilisant la premi` ere ligne du syst` eme (2.33) puisque toutes les autres quantit es sont d esormais connues : {qf } {qf } [M11 ] [M12 ] [M13 ] {qi } + [K11 ] [K12 ] [K13 ] {qi } (2.41) {qd } {qd }

+ [Af ]T = ff

Ces equations sont donc une g en eralisation de celles obtenues pr ec edemment pour d enir le probl` eme de valeurs propres. Elles ont permis de simuler le comportement statique et dynamique du dispositif pour di erentes conditions aux limites, soit des d eplacements impos es, soit des eorts impos es. Les eorts ` a appliquer sur cette structure r esultaient dun actionnement electromagn etique obtenu par un dispositif qui va etre d ecrit dans la section suivante.

2.3. CONCEPTION ET MODELISATION DE LACTIONNEMENT

39

2.3

Conception et mod elisation de lactionnement

Comme expliqu e dans [Tri89] et [Cug02], les facteurs d echelle pour la miniaturisation des actionneurs electromagn etiques utilisant linteraction courantcourant ne sont pas tr` es avantageux. Quand la densit e de courant est gard ee constante, la force suit un facteur d echelle en s4 avec s une dimension caract eristique de la structure. Ce r egime de fonctionnement est tr` es peu attractif pour des micro-syst` emes. Un second r egime de fonctionnement peut etre d eni ` a ux de chaleur constant a ` travers la surface dun l, cela conduit ` a une force dont le facteur d echelle evolue en s3 et nalement pour le r egime o` u nous consid erons une el evation de temp erature du l constante, nous pouvons obtenir un facteur d echelle en s2 . Ainsi, et par comparaison aux autres principes de g en eration deffort ( electrostatique, pi ezo electrique...), la seule mani` ere dobtenir une ecacit e et un rendement acceptable pour un micro-actionneur utilisant un principe dinteraction electromagn etique courant/courant est daugmenter autant que possible le courant en accord avec les limites thermiques du syst` eme.

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Dans les trois r egimes de fonctionnement evoqu es, la densit e des champs magn etiques B est cr e ee par des bobinages. Si nous rempla cons un des deux bobinages par un aimant permanent, le facteur d echelle se modie en s3 pour 2.5 une densit e de courant constante, en s pour un ux de chaleur constant et en s2 pour une el evation de temp erature constante (` a la place de, respectivement, s4 , s3 , s2 pour deux bobinages en interaction). Nous voyons donc lavantage dutiliser des aimants permanents pour les actionneurs de petite taille9 . Certains travaux etaient ` a l etude ` a lIMT pour d evelopper des micro-aimants permanents. Ceux-ci etaient r ealis es ` a laide de poudre ferromagn etiques (hard ferromagnetic powders ) immerg es dans des r esines SU8 tr` es utilis ees dans les process des MEMS. Les avantages a ` utiliser des aimants permanents pour les petits moteurs etait d ej` a bien connus pour les actionneurs standards [Mil89] et nous avons donc d ecid e de baser notre actionnement sur une interaction entre un micro aimant permanent utilisant les technologie en d eveloppement ` a lIMT et une micro-bobine dont des prototypes avait d eja et e d evelopp es ` a lIMT (cf Fig. 2.9).

(a)

(b)

(c)

Fig. 2.9 Exemple de micro-bobines r ealis ees ` a lIMT : (a) bobine plane, (b) bobine plane multicouche , (c) bobine h elico dale. Les bobinages h elico daux n etant pas encore parfaitement au point ` a lIMT
9 Le r egime a ` el evation de temp erature constante est cependant assez dicile a ` obtenir en pratique.

40

` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

au d emarrage de ce projet, nous avons d ecid e dutiliser des bobines plates multicouches dispos ees face au pieds du micro-robots comme sur la Fig. 2.10. Seule la bobine inductrice a et e etudi ee dans ce projet, laimant permanent ou la bobine induite du pied nont pas pu etre etudi es dans mon travail faute de temps.

(a)

(b)

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Fig. 2.10 (a) Exemple de bobine plane multicouche utilis ee dans le projet (photo SEM), (b) g eom etrie CAO du pied du microrobot et emplacements des bobinages inducteurs.

De m eme que pour la partie magn etique, une mod elisation a et e d evelopp ee pour d eterminer les champs magn etiques cr e es par cette bobine an de pouvoir en d eduire les forces dorigine electromagn etique appliqu ees sur le pied du microrobot. Les champs magn etiques sont des quantit es quil nest en g en eral possible de calculer analytiquement que pour des g eom etries assez simples. Pour la bobine plane muticouches, nous avons utilis e un mod` ele analytique permettant de calculer le champ cr e e par une spire et une m ethode de superposition permettant de calculer num eriquement la r esultante pour une bobine plane multicouches. De mani` ere parall` ele, des simulations num eriques bas ees sur la m ethode des el ements nis et le logiciel ANSYS ont permis de valider nos mod` eles. De m eme quun calcul par el ements nis magn etostatique, notre m ethode analytique passe par la d etermination du potentiel vecteur magn etique A. En eet, ` a partir des deux equations de Maxwell de la magn etostatique dans le vide : B = 0 J B = 0 (2.42) (2.43)

o` u B est la densit e de champ magn etique, J la densit e de courant et 0 la perm eabilt e du vide. Le potentiel vecteur magn etique A est d eni ` a partir de B par : B =A (2.44)

Cest cette equation qui est en g en eral r esolue par les logiciels de calcul par el ements nis en magn etostatique. Par analogie avec la solution dun potentiel

et dans le vide et en utilisant une gauge de Coulomb ( A = 0), la combinaison des deux equations de Maxwell, nous donne une equation vectorielle de Poisson pour A : 2 A = 0 J (2.45)

2.3. CONCEPTION ET MODELISATION DE LACTIONNEMENT

41

o` u d3 x est une int egrale sur le volume. Dans le cas de la boucle circulaire une spire repr esent ee sur la Fig. 2.11, la densit e de courant prend une forme assez simple en coordonn ees sph eriques (la fonction de Kronecker permet de restreindre la densit e de courant ` a lint erieur dun anneau de rayon a) : J = I sin (cos ) (r a) a

scalaire electrique aussi d ecrit par une equation de Poisson, la solution de ce champ est : J (x ) 3 0 d x (2.46) A(x) = 4 |x x |

(2.47)

z P

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'
x

Fig. 2.11 Description dune spire de rayon a.

Pour cette g eom etrie particuli` erement simple, l equation (2.46) peut etre r esolue de mani` ere exacte et le potentiel vecteur A vaut alors [Jac99] : A (r, ) = 0 Ia 4
2 0

cos d (a2 + r2 2ar sin cos ) 2


1

(2.48)

Cette int egrale peut aussi etre exprim ee en utilisant les int egrales elliptiques compl` etes K et E [Jac99] : A (r, ) = 4Ia (2 k 2 )K (k ) 2E (k ) 0 4 k2 a2 + r2 + 2ar sin (2.49)

o` u largument k de lint egrale elliptique est d enie par k2 = 4ar sin a2 + r2 + 2ar sin (2.50)

Les composantes de linduction magn etique valent alors : 1 (sin A ) r sin 1 (rA ) B = r r B = 0 Br =

(2.51)

42

` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

et peuvent egalement etre exprim ees en terme dint egrales elliptiques. Bien quapparemment complexes, ces int egrales elliptiques sont dun usage pratique assez facile car elles sont incluses dans presque tous les logiciels de calcul scientique, en particulier, dans matlab, elles sont accessible par les fonctions ELLIPKE. Cette solution analytique nest donn ee que pour une spire, dans le cas dune bobine ` a plusieurs spires et plusieurs couches, il sut dutiliser le th eor` eme de superposition pour obtenir les champs r esultants (somme des r esultats pour chaque spires de chacune des couches). Pour certaines g eom etries de bobine, il peut egalement etre pratique dutiliser les approximation pour a r, a r ou 2 2 r sin2 1 en puissance de a(a 2 +r 2 )2 , ce qui donne : A (r, ) = 15a2 r2 sin2 0 Ia2 r sin 1 + + 8(a2 + r2 )2 4(a2 + r2 )3/2 (2.52)

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Avec le m eme degr e dapproximation, les composantes du champ correspondant valent : Br = 15a2 r2 sin2 0 Ia2 r cos + 1+ 2 2 3 / 2 4(a2 + r2 )2 2(a + r )

15a2 r2 sin2 (4a2 3r2 ) 0 Ia2 r sin 2 2 2 a r + B = + 8(a2 + r2 )2 4(a2 + r2 )5/2

(2.53)

qui peut etre ais ement d ecompos e en trois zones, pr` es de laxe ( 1), proche du centre de la spire (r a) et loin de la spire (r a). Pour le dernier, nous obtenons un champ de la forme : Br = 0 cos (Ia2 ) 3 2 r 0 2 sin (Ia ) 3 B = 2 r

(2.54)

qui correspond aux caract eristiques dun dip ole magn etique. Pour cette boucle de courant, en champ lointain et en utilisant lanalogie electrostatique, nous pouvons d enir un moment dip olaire magn etique m = Ia2 , avec a2 laire de la boucle de courant transportant le courant I . Cette solution analytique, bien que tr` es g en erale, n ecessite lutilisation de logiciel de calculs scientiques permettant de d eterminer la valeur des fonctions elliptiques10 . Un bobinage compos e de 2 couches et de 20 conducteurs par couche a et e con cu et simul e ` a laide du mod` ele pr esent e pr ec edement. La moiti e de la g eom etrie de ce dispositif (axisym etrie) ainsi que les r esultats de simulation sont report es sur la Fig. 2.12 pour une densit e de courant de 800 A/mm2 . Les cubes repr esentent la position des conducteurs.
10 Dans la litterature (cf [Jil98]), nous trouvons des expressions obtenues a ` laide de la loi de Biot et Savart, cependant ces r esultats ne permettent de calculer le champ que sur les axes de sym etrie de la bobine et non partout dans lespace comme cest le cas pour notre expression. Pour une bobines dont le l est enroul e de mani` ere h elico dale, nous pouvons trouver des solutions analytiques a ` laide de logiciels de calcul formel mais les expressions obtenues ne sont alors pas plus simples que celle que nous obtenons dans le cas g en eral.

2.3. CONCEPTION ET MODELISATION DE LACTIONNEMENT

43

100

...

18

19

20

15 10

15

10 10

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(a)

(b)

Fig. 2.12 (a) Demi g eom etrie (en m) de la micro-bobine en coupe pour deux couches et 20 tours/spires par couche, (b) R esultat de simulation du champ A par notre mod` ele et un programme matlab. Le programme matlab a et e etendu an de calculer les auto/self- et mutuellesinductances. Pour cela, nous avons utilis e la d enition des inductances en terme d energie magn etique : W= 1 2
N i=1 N N

Li i2 i +

i=1 j>1

Mij ii ij

(2.55)

1 Nous savons que ces energies sont aussi d enies par W = 2 A J d3 x, o` uA 3 est d enie par la relation (2.46) et d x est un element de volume. Nous avons utilis e certaines hypoth` eses valides lorsque les dimensions de la section dune spire du bobinage sont n egligeables devant les autres dimensions du circuit : nous r e- ecrivons alors J (xi )d3 x = J da dl = I dl o` u da est la section du circuit et dl un vecteur longueur orient e dans le sens des courants. nous consid erons alors A comme constant dans une section de spire. Ainsi, les expression des self- et mutuelles-inductances valent :

Mij =

1 Ii Ii Ij 1 Ii Ii Ii

Aij dl = Aii dl =

1 Ij 1 Ii

Aij dl Aii dl

(2.56)

Li =

(2.57)

eme eme o` u Aij est le champ cr e e dans la i` spire par le courant dans la j ` spire et ` eme eme Aii est le champ cr e e dans la i spire par le courant circulant dans cette i` spire.

44

` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

Dans notre conguration, nous pouvons relever le champ A moyen sur chacun des conducteurs k et nous lappelons Ak . La g eom etrie etant axisym etrique et le champ etant tangent au conducteur, nous avons donc pour chaque conducteur : A dl = 2 ak Ak (2.58)

eme o` u ak est le rayon de la k` spire. Ainsi, la self-inductance de notre enroulement vaut : N 2 L= ak Ak (2.59) i k=1

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o` u N est le nombre total de boucles pour toutes les couches et toutes les spires de chaque couche. Pour la g eom etrie d ecrite pr ec edemment, nous trouvons une inductance de L = 0, 76675 H alors que le logiciel utilis e et d evelopp e par lIMT (logiciel spopt [HGSB01]) donnait une valeur de Lspopt = 0, 79 H. Ces valeurs ont pu etre valid ees exp erimentalement (di erence < 3%, [HGSB01]). Notre programme est cependant beaucoup plus g en eral que spopt puisquil est bas e sur des formules exactes et sur une superposition de boucles el ementaires, ce qui permet dinclure toutes les g eom etries possibles de bobinage ` a la seule condition quune boucle/spire el ementaire soit de forme circulaire et quil ny ait pas de mat eriaux ferromagn etiques (comportement magn etique lin eaire sans saturation) alors que le logiciel spot permet de ne calculer linductance que pour certaines g eom etries puisquil utilise des formules empiriques tir ees de [Gro46]. Ces di erents r esultats furent compar es ` a des calculs par el ements nis r ealis es gr ace au logiciel ANSYS. Quand nous achons A, en raison du choix dune mod elisation axisym etrique, ANSYS nache pas directement le champ A mais une quantit e modi ee A r o` u r est le rayon du probl` eme axisym etrique. Ce rayon r correspond a ` la coordonn ee x dans notre syst` eme de coordonn ee11. Le choix de cette nouvelle grandeur A r peut etre expliqu e par le fait quelle est directement li ee au ux magn etique circulant au travers de lenroulement circulaire de rayon r : en eet, = B d2 x = A d2 x = A dl et pour notre conguration l parcoure lanneau la boucle circulaire de rayon r et de valeur A constante, ainsi le ux vaut alors = 2 r A. Des comparaisons de calculs eectu es avec notre programme et ANSYS sont report es sur la Fig. 2.13. Comme nous pouvons le constatez les r esultats sont tr` es comparables bien que la complexit e du calcul analytique soit bien inf erieure a ` celle dune simulation par el ements nis. Le calcul analytique etant valid e par des calculs par el ements nis, nous avons pu lutiliser pour optimiser la g eom etrie de notre dispositif, en particulier, nous pouvons ainsi optimiser le nombre de spires et de couches, les rayons int erieurs et ext erieurs de la bobine sans avoir ` a utiliser ANSYS qui n ecessite un important travail de pr e-processing pour d enir la g eom etrie du bobinage et des temps de calcul importants pour des pr ecisions equivalentes ` a notre mod` ele semi-analytique.
11 Le plan 2D est le plane x-y et A est d enis suivant la direction y pour la g eom etrie de notre bobine.

2.3. CONCEPTION ET MODELISATION DE LACTIONNEMENT

45

1
NODAL SOLUTION STEP=1 SUB =1 TIME=1 R*AZ SMX =.535E-09 AUG 13 2002 17:40:48 PLOT NO. 1

Y Z X
MX

0 .594E-10

.119E-09 .178E-09

.238E-09 .297E-09

.357E-09 .416E-09

.475E-09 .535E-09

(a)

(b)

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Fig. 2.13 Comparaison des champs A r pour la g eom etrie du bobinage ` a2 couches et 20 conducteurs/couche (a) Calcul avec notre programme (Matlab), (b) Calcul avec ANSYS (1/2 g eom etrie : condition de sym etrie). Dans un second temps, nous avons tent e dam eliorer les performances de nos micro-bobines en utilisant des mat eriaux ferromagn etiques an de concentrer et damplier les champs magn etiques. Des r eexions de conception qui ne seront pas d etaill ees dans ce m emoire ont conduit ` a la g eom etrie repr esent ee sur la Fig. 2.14.

100
inside core

390
conductor

100 40
outside core plate

10

20

Fig. 2.14 Demi-section dun bobinage utilisant un noyau en mat eriaux ferromagnetiques.

Quand des mat eriaux ferromagn etiques sont utilis es, les programmes d evelopp es en Matlab et le logiciel spopt ne sont plus utilisables car les formules analytiques utilis ees ne sont pas directement applicables car la r epartion et lamplitude des lignes de champ sont fortement modi ees par la pr esence de ces mat eriaux (ainsi que les distances de circulation et les perm eabilit es sur ces chemins). Cela est tr` es visible sur la Fig. 2.15 calcul ee par ANSYS avec et sans noyau ferromagn etique. Un chier param etrique pour ANSYS a et e d evelopp e pour permettre le calcul des champs B pour toutes les positions et pour toutes les dimensions du bobinage correspondant ` a la g eom etrie d ecrite dans la Fig. 2.14. Ce type de

46

` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

ANSYS 5.7 AUG 20 2002 11:04:54 PLOT NO. 1 NODAL SOLUTION STEP=1 SUB =1 TIME=1 R*AZ RSYS=0 SMX =.540E-09 .100E-10 .300E-10 .500E-10 .701E-10 .901E-10 .110E-09 .130E-09 .150E-09 .170E-09 .190E-09 .210E-09 .230E-09 .250E-09 .270E-09 .290E-09 .310E-09 .330E-09 .350E-09 .370E-09 .390E-09 .410E-09 .430E-09 .450E-09 .470E-09 .490E-09 .510E-09 .530E-09

ANSYS 5.7 AUG 20 2002 11:06:09 PLOT NO. 1 NODAL SOLUTION STEP=1 SUB =1 TIME=1 R*AZ RSYS=0 SMX =.540E-09 .100E-10 .300E-10 .500E-10 .701E-10 .901E-10 .110E-09 .130E-09 .150E-09 .170E-09 .190E-09 .210E-09 .230E-09 .250E-09 .270E-09 .290E-09 .310E-09 .330E-09 .350E-09 .370E-09 .390E-09 .410E-09 .430E-09 .450E-09 .470E-09 .490E-09 .510E-09 .530E-09

(a)
1 ANSYS 5.7 AUG 20 2002 11:11:44 PLOT NO. 1 NODAL SOLUTION STEP=1 SUB =1 TIME=1 R*AZ RSYS=0 SMX =.944E-09 .175E-10 .524E-10 .874E-10 .122E-09 .157E-09 .192E-09 .227E-09 .262E-09 .297E-09 .332E-09 .367E-09 .402E-09 .437E-09 .472E-09 .507E-09 .542E-09 .577E-09 .612E-09 .647E-09 .682E-09 .717E-09 .752E-09 .787E-09 .822E-09 .857E-09 .892E-09 .927E-09 1

(b)
ANSYS 5.7 AUG 20 2002 11:13:14 PLOT NO. 1 NODAL SOLUTION STEP=1 SUB =1 TIME=1 R*AZ RSYS=0 SMX =.944E-09 .175E-10 .524E-10 .874E-10 .122E-09 .157E-09 .192E-09 .227E-09 .262E-09 .297E-09 .332E-09 .367E-09 .402E-09 .437E-09 .472E-09 .507E-09 .542E-09 .577E-09 .612E-09 .647E-09 .682E-09 .717E-09 .752E-09 .787E-09 .822E-09 .857E-09 .892E-09 .927E-09

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(c)

(d)

Fig. 2.15 Distribution des lignes de champs : (a), (b) sans mat eriau ferromagn etique et (c), (d) avec mat eriaux ferromagn etiques.

bobinage comportant des plaques ferromagn etiques et deux noyaux ` a lint erieur et ` a lext erieur des conducteurs avait d ej` a et e d evelopp e` a lIMT. Il etait bas e sur une d eposition de NiFe Nickel-Fer par micro-galvanic [Sch02] [OSB00] [SBB01], [SOB99] [SB00]. Lamplitude du champ B a une distance de 500 m est report e sur la Fig. 2.16 par un calcul avec et sans mat eriaux ferromagn etiques an de mettre en evidence les gains obtenus. En raison de la permeabilit e importante des mat eriaux ferromagnetiques, la distance de circulation ( H dl) nest sensiblement que la distance de circulation dans lair puisque la circulation dans les mat eriaux ferromagn etiques peut etre n eglig ee. Dans cette conguration, nous voyons donc que la distance de circulation est pratiquement divis ee par deux, ce qui conduit sensiblement ` a un champ B et des valeurs dinductance doubl ees gr ace ` a lutilisation de ces mat eriaux ferromagn etiques. Les formules analytiques des calculs des inductances sont toujours valables dans cette conguration ` a condition dutiliser la valeurs des champs A calcul es

2.4. CONCLUSION SUR LA PERIODE DE RECHERCHE

47

x 10 2.2

B field at a distance of 500um of the surface (T)


2

1.8
With ferromagnetics cores

Amplitude of the field

1.6

1.4

1.2

0.8

Without ferromagnetic cores

0.6

0.4 0 1 2 3 4 5
4

6 x 10

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Distance to the axis (m)

Fig. 2.16 Champ B a une distance de 500 m de la surface de la bobine avec et sans utilisation de mat eriaux ferromagn etiques.

par la m ethode des el ements nis et non par les programmes semi-analytiques : Li = 1 i2 i A J d3 x (2.60)

J est constant sur le volume dun conducteur et, en raison de laxisym etrie, nous pouvons modier cette expression pour utiliser des coordonn ees cylindriques d3 x = dr rd dz : Li = J d i2 i A r drdz = J 2 i2 i A r drdz (2.61)

Le champ A r est extrait ais ement des calculs r ealis es par ANSYS et seule une int egration sur le volume des conducteurs est n ecessaire pour obtenir la valeur de lauto-inductance de ce bobinage. Pour un conducteur de section susament faible, nous pouvons consid erer A comme constant sur cette section et nous nous ramenons ` a la formule d ej` a utilis ee (2.59) : Li = 2 ak Ak avec Ak la valeur de A dans cette section et ak , le rayon de la section en coordonn ees cylindriques. En plus de tous ces d eveloppements de mod elisation et de conception, des optimisations de g eom etrie ont egalement et e etudi ees en utilisant des congurations sym etriques du type bobines de Helmholz, et des estimations deorts par interaction de champs entre di erentes bobines ont pu etre r ealis ees. Ces calculs ne seront pas d etaill es dans ce m emoire.

2.4

Conclusion sur la p eriode de recherche

Dans ce chapitre, nous avons pr esent e les di erents concepts utilis es pendant cette p eriode de recherche pour r ealiser un micro-robot. Celui-ci utilisait des

48

` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

parties m ecaniques r esonantes bas ees sur des ressorts et des micro-bobines dont le processus de fabrication avait d ej` a et e mis au point a ` lIMT. Les concepts propos es ont et e mod elis es avec di erents logiciels utilisant deux niveau de mod elisation pour les MEMS : niveau conception et optimisation de syst` eme : mod` ele ` a param` etres localis es, de pr ef erence analytique et eventuellement num erique. Ces mod` eles furent d evelopp es sp eciquement pour lapplication et programm es ` a laide de Matlab. Les mod` eles d evelopp es sont des mod` eles dynamiques qui permettront de d evelopper et de simuler ecacement les lois de commande du dispositif. Les concepts de ces mod` eles sont parfaitement r e-utilisables pour dautres applications et dispositifs similaires ; niveau analyse et validation : mod` ele ` a param` etres distribu es r esolus num eriquement ` a laide dun logiciel de calcul par el ements nis. Ces logiciels, lourds en temps de calcul sont tr` es souvent limit es ` a des fonctionnements statiques m eme si des extensions dynamiques existent. De plus, ils ne sont pas bien adapt es aux premi` eres phases de conception et de pr edimmensionnement sauf si ils peuvent etre coupl es ` a des m ethodes doptimisation. Les logiciels et les solutions de conception furent test es exp erimentalement durant cette p eriode de recherche lorsque c etait possible (dispositifs technologiques disponibles). Les principales conclusions de ces travaux sur la conception de micro-syst` emes et en particulier sur la conception de micro-robots sont les suivantes : nous devons prendre en compte d` es la conception les processus de fabrication microtechnologiques et les limites et d efauts quils risquent dintroduire sinon les dispositifs con cus ne seront pas r ealisables technologiquement ; certaines valeurs de param` etres localis es (raideurs, inductances) peuvent etre extraites avec conance de calculs par el ements nis sur des structures simpli ees et dautres (masses, inertie) peuvent etre extraites dune analyse g eom etrique ou des logiciels de CAO ; parceque les mod` eles utilisant des syst` emes ` a param` etres localis es induisent certaines hypoth` eses g eom etriques (corps rigides), ils peuvent mal evaluer certaines caract eristiques lorsque les g eom etries r eelles ne correspondent pas aux hypoth` eses. Il sen suit alors une sous-estimation des d eplacements et une sur-estimation des fr equences propres. Ces r esultats doivent alors etre ajust es ou recal es en accord avec une analyse par el ements nis ou des mesures exp erimentales. Ces logiciels sont cependant moins lourds ` a utiliser que des logiciels de calcul par el ements nis et leur exibilit e les rend incontournables durant les premi` eres phases de conceptions ; pour le contr ole des mouvements, certains param` etres ne sont pas disponibles lors de la phase de conception et de simulation (amortissements, niveaux de saturation, caract eristiques m ecaniques et electromagn etiques exactes apr` es une phase de micro-fabrication) et devront etre d etermin es apr` es la conception des prototypes par des mesures exp erimentales. Pour conclure cette section, je dois souligner que cette p eriode de recherche

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2.4. CONCLUSION SUR LA PERIODE DE RECHERCHE

49

en Allemagne a et e tr` es productive et tr` es instructive pour mes futures activit es de recherche. Elle ma permis de conna tre les principales techniques de microfabrication et de les mettre en uvre sur des dispositifs r eels. Mes comp etences en termes de mod elisation de syst` emes m ecatroniques ont pu etre etendues a la mod ` elisation de syst` emes micro-robotiques et micro-m ecatroniques. Ces el ements ont et e essentiels pour mon int egration dans l equipe de recherche de Besan con et des activit es de recherche que jy ai conduits et qui seront expos es dans les prochains chapitres. De plus, cette p eriode de recherche ma permis de d evelopper mon autonomie de chercheur car, ` a lexception dune collaboration avec deux coll` egues de lIMT sur lint egration et la prise en compte des contraintes technologiques de micro-fabrication, tous les d eveloppements des mod` eles ont et e conduits de mani` ere totalement autonome. Au cours de cette p eriode de recherche, un important rapport de n de post-doc a et e r edig e [Hub02] (135 pages) mais malheureusement aucune publication r ef erenc ee na pu etre publi ee car jai obtenu un poste de ma tre de ` Besan conf erences avant la n de ce projet. A con, je me suis alors lanc e dans les th ematiques abord ees par mon nouveau laboratoire daccueil qui etaient quelques peu di erentes de celles de Braunschweig. Linvestissement r esultant ne ma malheureusement pas laiss e le temps de pr esenter les travaux de recherche r ealis es durant cette p eriode ` a la communaut e scientique. Avec le recul, je pense aujourdhui, qu evidemment, jaurai du publier ces travaux an de les rendre accessibles ` a mes coll` egues chercheurs travaillant sur les micro-structures r esonantes ou sur la conception de micro-bobines. Mais, lacceptation dun poste de ma tre de conf erences, linsertion dans une nouvelle equipe avec ses propres th ematiques de recherche et la prise en charge dun enseignement cons equent est une t ache susament importante et prenante pour que je my soit consacr e totalement en d elaissant, malheureusement, lexploitation et la diss emination des r esultats pr ec edents.

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50

` CHAPITRE 2. MICROSYSTEMES POUR LA ROBOTIQUE

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Chapitre 3

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Deuxi` eme th ematique de recherche (2002 2006) : Micro-robotique et micro-manipulation


Mots-cl es : micro-robotique et micro-positionnement, station de micro-manipulation, pr ehenseurs et micro-pinces. Ces travaux de recherche ont et e conduits au laboratoire dautomatique de Besan con (LAB) auquel jai et e rattach e d` es mon arriv ee en tant que ma tre de conf erences ` a luniversit e de Franche-Comt e. Les premiers travaux auxquels jai particip e dans ce laboratoire concernaient la micro-robotique et plus particuli` erement le d eveloppement de station de micromanipulation. Les th ematiques de recherche de cette equipe de rattachement concernaient tous les domaines de la micro-robotique et en particulier les sous-th` emes suivants : conception et mod elisation de micro-robots ; commande pour la micro-robotique ; compr ehension du micro-monde et eets d echelle. Au cours de cette p eriode, mes principaux partenaires de recherche ont et e les personnes suivantes : Prof. N. Chaillet, responsable de cette equipe de recherche ; C. Cl evy, doctorant de N. Chaillet dont jai co-encadr e la th` ese [Cle05] et qui est actuellement ma tre de conf erences ` a luniversit e de FrancheComt e; Y. Urushima et G. Millet deux masters recherche que jai encadr es durant leur stage de n d etude [Uru03] [Mil05] ; R. Perez et J. Agnus, un post-doctorant et un ing enieur de cette equipe ; J. Michler, J.M. Breguet et le Pr S. Fatikow, respectivement chercheur au laboratoire f ed eral dessai des mat eriaux et de recherche (Eidgen ossische Materialpr ufungs- und Versuchsanstalt, EMPA) en Suisse, professeur associ e ` a l ecole Polytechnique f ed erale de Lausanne (EPFL) en Suisse et 51

52

CHAPITRE 3. MICRO-ROBOTIQUE ET MICRO-MANIPULATION

professeur ` a luniversit e de Oldenburg en Allemagne avec qui nous avons collabor e sur le projet europ een ROBOSEM.

3.1

Contexte du travail

Depuis une vingtaine dann ee, les probl ematiques li ees ` a la micro-robotique et plus particuli` erement au micro-assemblage nont cess e de se d evelopper. En eet, la volont e de r ealiser et de commercialiser des produits de plus en plus compacts et de plus en plus intelligents (smart ) saccompagne n ecessairement du d eveloppement de MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems ) et de microproduits ou composants de (tr` es) petite taille qui n ecessitent souvent des phases de manipulation et dassemblage (cf Fig 3.1).

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(a)

(b)

(c)

(d)

Fig. 3.1 Exemples de micro-syst` emes assembl es : (a) capsule endoscopique miniature NORIKA de 9 mm de diam` etre [NOR] ; (b) syst` eme dengrenage compos e de trains epicyclo daux miniatures (Institut f ur Mikrotechnik Mainz [IMM]) ; (c) spectrom` etre de masse miniature de dimensions 2x1x1 mm3 (Zyvex [UT05]) ; (d) nanomoteur (Klocke Nanotechnik [Nan]). La micro-manipulation telle que nous lavons abord ee dans cette p eriode de recherche concerne essentiellement la manipulation de pi` eces dont les dimensions caract eristiques maximales sont de lordre du mm et les pr ecisions et r esolutions de positionnement inf erieures ` a 25 m puisquau del` a de ces valeurs, des syst` emes robotiques pr ecis mais conventionnels sont susants et sont d ej` a largement utilis es dans lindustrie et cela depuis de nombreuses ann ees. Des exemples dobjets manipul es issus de l etat de lart de cette p eriode et les pr ecisions de d epose associ ees sont report es sur la gure Fig 3.2.

3.1. CONTEXTE DU TRAVAIL

53

prcision de positionnement ( m)
fibre optique/pion

25

[Yan01]

[Hoh99]

[Bec02]

pignon lentille

[Yan03]

[Nie98] [Tsu04]

10

[Kas99]

[Ral00]

sphre plot prismatiques

[Daf04]

[Pop02a] [Fed98] [Gau03] [Gar00] [Ebe98] [Mil04] [Nie00b]

[Bec02]

0,1

[Tan01b] [Sai02]

dimensions des objets ( m) 50 100 500 1000

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Fig. 3.2 Exemples dobjets manipul es et pr ecision de d epose (n ecessaire ou eectu ee r eellement). Les dimensions correspondent au diam` etre pour les bres optiques, pour les autres, il sagit de la plus grande dimension de lobjet.

La manipulation dobjets dont les dimensions sont inf erieures au m ou pour lesquelles les pr ecisions requises sont tr` es inf erieures au m concernent le domaine de la nano-robotique. Cette th ematique est tr` es etudi ee actuellement et de nombreux laboratoire de recherche dont le notre sy int eressent. Cependant au cours de la p eriode de recherche d ecrite dans ce chapitre, nous ne nous y sommes pas directement int eress es. Les recherches en micro-robotique ont d ebut e au LAB au milieu des ann ees 1990. Ces travaux ont tout dabord concern e la d ecouverte puis la prise en main des technologies et contraintes li ees ` a la conception et ` a la fabrication de micro-syst` emes, ainsi quau d eveloppement de dispositifs de base pour la micro-robotique (dispositifs de positionnement et de pr ehension). Mon arriv ee au laboratoire a co ncid e avec le lancement dun nouvel axe de recherche. Il sagissait dint egrer les di erents composants r ealis es pr ec edemment au laboratoire an de disposer de syst` emes plus complets de micro-robotique et de micro-manipulation. Cest en partie dans ce cadre quont d ebut e mes premiers travaux ` a Besan con en etroite collaboration avec le Prof. N. Chaillet et C. Cl evy, dont jai co-encadr e la th` ese de doctorat, soutenue en d ecembre 2005. Lobjectif scientique de ces travaux etait de concevoir et de r ealiser la premi` ere station de micro-manipulation de notre laboratoire. En 2002, il nexistait que quelques stations de ce type au niveau mondial et nos travaux devaient permettre de proposer des solutions ` a la fois plus fonctionnelles et plus int egr ees en utilisant, en partie, les d eveloppements pr ec edents du laboratoire. Lint egration dune telle station nest pas un simple exercice dassemblage de composants. Comme je vais tenter de le montrer par la suite, elle a permis, au contraire, de faire appara tre de nouvelles probl ematiques scientiques tr` es int eressantes. Nous avons alors tent e de les explorer et de les r esoudre au cours de ces ann ees de recherche. Le cadre de ces travaux int egrait egalement la

54

CHAPITRE 3. MICRO-ROBOTIQUE ET MICRO-MANIPULATION

eme participation ` a un projet europ een du 5` PCRD1 et nos travaux ont et e fortement stimul es par la participation ` a ce projet. En eet, cette participation nous a permis, tout au long de ces ann ees, de confronter nos id ees et tous nos d eveloppements aux di erents partenaires souvent issus des laboratoires les plus en pointe en Europe sur le domaine de la micro-robotique.

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Lapplication vis ee par ce projet europ een Robosem etait particuli` erement ambitieuse et tr` es contraignante. Dune part, parce que la place disponible dans la chambre dun MEB est tr` es r eduite et, dautre part, parce que cette chambre n ecessite un vide pouss e qui entra ne des probl` emes de compatibilit es des composants utilisables. Ce projet europ een ma permis de d evelopper des collaborations internationales avec des laboratoires etrangers pour parvenir ` a r epondre au cahier des charges du projet. En particulier, au cours de ces ann ees, jai travaill e avec le Dr J.M. Breguet de lEPFL ` a Lausanne en Suisse et plusieurs membres de son equipe (int egration de notre micro-pince avec des tables de micro-positionnement compatibles MEB de lEPFL), avec le Dr J. Michler de lEMPA en Suisse et plusieurs membres de son equipe (essais et exp erimentations de notre pince dans leur MEB) et avec le Prof. S. Fatikow de lUniversit e dOldenburg en Allemagne et plusieurs membres de son equipe (essai dans leur MEB, travail sur leur syst` eme de manipulation et de vision et premiers travaux concernant lutilisation des ferrouides pour la micro-robotique).

Ce chapitre va etre d ecompos e en deux sections qui pr esenteront chacune un des di erents sous-syst` emes int egr es dans ces stations de micro-manipulation et etudi es au cours de cette p eriode : micro-pince pi ezo electrique et syst` eme de positionnement ; am eliorations des stations et int egration dun changeur doutils. La micro-pince pr esent ee dans la section suivante est le r esultat de nombreuses ann ees de recherche au laboratoire sur les actionneurs pi ezo electriques. Ces travaux d emarr` erent bien avant mon arriv ee au laboratoire puisquen 2002, une th` ese avait d ej` a et e soutenue au laboratoire sur la conception et le contr ole des pinces pi ezo electriques et une autre etait en cours. Ces travaux se poursuivent encore actuellement, des am elioration sont encore apport ees ` a ce dispositif, notamment en ce qui concerne lint egration de capteurs deort et une poursuite ` mon arriv dans la miniaturisation du syst` eme. A ee au laboratoire, un premier prototype avait et e con cu et r ealis e par J. Agnus (cf. Fig. 3.3). Ce prototype utilisait un duo-bimorphe pi ezo electrique sur lequel nous reviendrons dans la section suivante. Il etait fonctionnel mais navait encore jamais et e utilis e pour une vraie op eration de manipulation car il n etait pas encore int egr e dans une station d edi ee ` a ces op erations.

1 Projet Robosem, Development of a Smart Nanorobot for Sensor-based Handling in a Scanning Electron Microscope, http ://www.robosem.org/. Lobjectif global de ce projet europ een etait de d evelopper des micro-robots int egrables dans des microscopes electroniques a ` balayage (MEB).

3.2. MICRO-PINCES ET INTEGRATION

55

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Fig. 3.3 Photographie du premier prototype de micro-pince pi ezo electrique ` a mon arriv ee au laboratoire [PAC+ 05].

3.2

Conception, mod elisation et int egration dune micro-pince pi ezo electrique dans une station de micro-manipulation

La pince ` a lorigine des travaux de recherche pr esent es dans cette section est un micro-manipulateur compact compos e des deux sous-syst` emes suivants : actionneurs pi ezo electriques ; eecteurs/organes terminaux (end-eectors ). La Fig 3.4 repr esente une des versions de micropince que nous avons d evelopp es pour etre int egr ee ` a une station de micro-manipulation.

Fig. 3.4 Description de la micro-pince du LAB constitu ee dactionneurs pi ezo electriques (bi-couche ` a base de plaques c eramiques pi ezo electriques coll ees) et dorganes terminaux x es aux extr emit es des deux actionneurs.

56

CHAPITRE 3. MICRO-ROBOTIQUE ET MICRO-MANIPULATION

Des mat eriaux pi ezo electriques ont et e choisis pour lactionnement de cette pince en raison de leurs bonnes propri et es dynamiques, de leur facilit e de contr ole et des possibilit es de miniaturisation importantes [Uch97] [Pon05]. Deux bimorphes bi-couches piezo electriques sont utilis es pour lactionnement de chacun des deux doigts de la pince. Un bimorphe est une structure elanc ee d eformable qui se courbe par exion sous laction dun allongement de sa surface sup erieure et/ou sous laction dune contraction de sa surface inf erieure. Apr` es assemblage du bi-couche, des electrodes sont d epos ees par des techniques de micro-fabrication puis les doigts sont d ecoup es par usinage ultrasonore pour les anciennes versions, et par usinage laser pour les derni` eres versions (cf Fig. 3.5). Les eecteurs ont et e r ealis es par des techniques de micro-fabrication, soit en LIGA pour les effecteurs en nickel, soit en DRIE pour les eecteurs en silicium [Mad02] [Fat00] [FR97].

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Fig. 3.5 Etapes de fabrication des actionneurs pi ezo electriques de la micropince [PAC+ 05]. Pour la section dun doigt dactionneur, le principe dactionnement est repr esent e sur la gure Fig. 3.6 (a). En contr olant ind ependamment chacune des deux tensions Vy et Vz , nous sommes capable de contr oler ind ependamment un d eplacement en y et en z sur chacun des deux doigts, ce qui nous permet dobtenir une pince ` a quatre degr es de libert e (4 DDLs). Les performances de cette pince sont report ees dans le tableau de la gure Fig. 3.6 (b) pour une tension dalimentation de 100 V. Un mod` ele analytique de cette micro-pince a et e d evelopp e pour la g eom etrie repr esent ee sur la gure Fig. 3.7 (a). Ces r esultats ont et e compar es avec des analyses par el ements nis. Des validations exp erimentales ont et e conduites sur di erents prototypes. La mod elisation utilise les equations de la pi ezo electricit e lin eaire [ANS87] [RD97] qui permettent de calculer les d eformations S et la densit e de charge D ` a partir des contraintes m ecaniques T , des champs electriques E et des tenseurs de compliance s, de coecient de charge pi ezo electrique d et de permitivit e di- electrique : S = sE T + d E D = d T + T E (3.1)

3.2. MICRO-PINCES ET INTEGRATION

57

Course par doigt Force de blocagea Premi` ere fr equence de r esonance

Y 80 m 55 mN 1000 Hz

Z 200 m 10 mN 400 Hz

a La force de bloquage correspond a ` la force a ` appliquer a ` lextr emit e de lactionneur pour ramener celui-ci dans sa position initiale lorsquil est aliment e.

(a)

(b)

Fig. 3.6 (a) Principe de fonctionnement de lactionneur pi ezo electrique suivant le plan de coupe de la section dun doigt de la micro-pince [PAC+ 05], (b) tableau r ecapitulatif des principales caract eristiques des doigts de la micro-pince pour une tension dalimentation de 100 V.

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(a)

(b)

Fig. 3.7 (a) Conguration g eom etrique du duo-bimorphe utilis e pour le micromanipulateur (un doigt de pince), (b) description des di erentes contraintes electrom ecaniques appliqu ees sur cet actionneur [PAC+ 05].

Pour la g eom etrie de notre bimorphe, les equations pr ec edentes se simplient en : S 1 = sE 11 T1 + d31 E3 D3 = d31 T1 + T 33 E3 (3.2)

Combin ees aux equations macroscopiques suivantes (cf Fig. 3.7 (b)) : T1 (x, y, z ) y dA + Mz = 0 u= 1 1 2 2 s T 2 + d31 E3 T1 + T E3 2 11 1 2 33

(3.3)

cela permet de calculer les grandeurs macroscopiques dun bimorphe pi ezo electrique (angle , exion , volume d eplac e U et charge Q) en fonction de ses conditions dutilisation (moment de exion M , force F , pression p et tension appliqu ee V )

58

CHAPITRE 3. MICRO-ROBOTIQUE ET MICRO-MANIPULATION

et sous forme matricielle : y a11 a12 y a21 a22 Uy a31 a32 Qy a41 a42 = z 0 0 z 0 0 Uz 0 0 Qz 0 0

a13 a23 a33 a43 0 0 0 0

a14 a24 a34 a44 0 0 0 0

0 0 0 0 a55 a65 a75 a85

0 0 0 0 a56 a66 a76 a86

0 0 0 0 a57 a67 a77 a87

Les di erents coecients aij sont report es dans les tableaux Tab. 3.1 (a) et (b). aij i=1
3sE 11 l 2wh3
2 3sE 11 l 4wh3 3 sE 11 l 4h3

0 Mz 0 Fy 0 py 0 Vy a58 My a68 Fz a78 pz a88 Vz

(3.4)

i=2
2 3sE 11 l 4wh3 3 sE 11 l 2wh3 4 3sE 11 l 16h3 2

i=3
3 sE 11 l 4h3 4 3sE 11 l 16h3 5 3wsE 11 l 40h3 3

i=4
d31 l 32 h2
31 l 3d 4h2 2

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j=1 j=2 j=3 j=4

31 wl d4 h2

d31 l 34 h2

31 l 3d 4h2

wl d31 4h2

2T 33 lw (1k31 /4) h

(a) Coecients de la d eformation suivant z aij j=5 j=6 j=7 j=8 i=5
12sE 11 l hw 3
2 6sE 11 l hw 3 3 2sE 11 l hw 3

i=6
2 6sE 11 l hw 3 3 4sE 11 l hw 3 4 3sE 11 l 2hw 3 2

i=7
3 2sE 11 l hw 3 4 3sE 11 l hw 3 5 3sE 11 l 5hw 3 3

i=8
d31 l 3 4hw d31 l 34 hw d31 l 34 hw
2

d31 l 34 w2

d31 l 38 w2

hl d31 4w 2

T 33 lw (1k31 /4) 2w

(b) Coecients de la d eformation suivant y Tab. 3.1 Valeur des coecients aij du mod` ele analytique de lactionneur pi ezo electrique de la micro-pince [PAC+ 05]. Le mod` ele analytique d evelopp e dans cette etude est une extension des travaux de Smits [SD89] qui ne consid eraient que la d eformation suivant laxe z (et correspondant ` a la partie (a) du tableau Tab. 3.1) que nous avons compl et es an de prendre en compte les mouvements suivant laxe z et y . Le principe dactionnement de cette pince a et e publi e dans une conf erence internationale

3.2. MICRO-PINCES ET INTEGRATION

59

[PAC+ 04] et les d etails de sa mod elisation et de sa fabrication dans une revue internationale [PAC+ 05]. Il faut noter que notre mod` ele consid` ere quil ny a aucun couplage entre les directions y et z , cependant les mesures exp erimentales conduites sur les pinces r ealis ees ont montr e que ce n etait pas rigoureusement exact en pratique et que des d efauts de fabrications pouvaient entra ner des couplages de plusieurs pourcents sur certains exemplaires. Ce mod` ele a permis de d evelopper des outils daide ` a la conception pour le dimensionnement des micro-pinces du laboratoire an de pr edire les caract eristiques de fonctionnement statique de ces dispositifs en fonction de leur g eom etrie et des conditions dutilisation. Plusieurs versions de cette micro-pince ont et e r ealis ees au cours de ce projet. Les premi` eres versions etaient int egr ees ` a lint erieur de boitiers electroniques ou de connecteurs LEMO ce qui permettait den faciliter la connexion rapide a une station de travail (cf Fig 3.8 (a)). Pour des questions de exibilit ` e et dadaptation, les versions suivantes ont et e int egr ees dans des boitiers con cus sp ecialement et usin es au laboratoire (cf Fig 3.8 (b)). Une commande en tension,

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(a)

(b)

Fig. 3.8 (a) Photographie de la version de pince int egr ee dans un connecteur LEMO, (b) photographie de le version de pince int egr ee dans un boitier maison. en charge ou en tension/charge a et e sp eciquement d evelopp ee au cours de cette p eriode dans le cadre de la th` ese de J. Agnus an de r eduire les non-lin earit es des mat eriaux pi` ezo electriques et principalement lhyst eresis. Ces travaux ont permis de construire des amplicateurs de puissance sp eciques pour cette application de micro-pince. Gr ace au stage de master de Yuji Urushima, nous avons pu int egrer cette pince dans une station de micromanipulation utilisant deux types de porteurs robotiques : une table de positionnement XYZ utilisant des composants standards de la soci et e PI. Cette table est visible au second plan sur la gure Fig 3.8 (a) ; un micro-robot MEB-compatible de la soci et e Kleindick. Celui-ci est visible au second plan sur la gure Fig 3.8 (b). Lint egration de la commande et ladaptation dun syst` eme de retour visuel ont et e nalement ajout es ` a la station an dobtenir la premi` ere station de micro-

60

CHAPITRE 3. MICRO-ROBOTIQUE ET MICRO-MANIPULATION

manipulation vraiment op erationnelle du laboratoire. Celle ci est repr esent ee sur la gure Fig 3.9 et a fait lobjet dune publication dans une conf erence internationale [ACU+ 04].

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(a)

(b)

Fig. 3.9 (a) Sch ema dimplantation de notre premi` ere station de micromanipulation, (b) photographie de la station.

3.3

Am elioration de la station et int egration dun changeur doutils

` la suite des travaux pr A esent es dans la section pr ec edente, nous avons r ealis e de nombreuses am eliorations et divers d eveloppements annexes dont nous ne pouvons donner tous les d etails dans ce m emoire mais les plus importants sont : etude et validation de la compatibilit e MEB de notre station puis adaptation et int egration de notre pince sur un porteur MEB-compatible d evelopp e par lEPFL en Suisse. Ce travail a et e r ealis e pour le projet ROBOSEM et de nombreux essais exp erimentaux ont pu etre conduits dans des MEB en Suisse et en Allemagne. Une publication conjointe a et e r edig ee avec les partenaires de lEMPA [CHF+ 06]. Quelques images de manipulation et dassemblage dun micro-roulement ` a laide de ces syst` emes plac es dans un MEB sont report es sur la gure Fig 3.10. d eveloppement dune station de micro-positionnement en utilisant des ferrouides et un contr ole de champs magn etiques dans des bobines que nous avons pr esent e dans une conf erence internationale [MH06] ; d eveloppement dun support compliant et etude de son utilisation en tant questimateur deort lors des etapes de pr ehension ; d eveloppement dun syst` eme de changeur doutils pour la micro-pince. Parmi tous ces travaux dam eliorations, nous ne parlerons dans ce m emoire que du syst` eme de changeur doutils car il a fait lobjet dune etude cons equente et repr esente une part importante du travail de th` ese de doctorat de C. Cl evy [Cle05].

3.3. CHANGEUR DOUTILS

61

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Fig. 3.10 Photographies de quelques s equences dassemblage dun microroulement ` a lint erieur dun MEB. Les t aches qui peuvent etre r ealis ees dans le cadre de la micro-robotique sont nombreuses et tr` es vari ees (transport, prise/d epose, traitement, assemblage, solidarisation, nano-scratching/nano-indentation,...). La micro-robotique, et la micro-manipulation en particulier, passe donc de plus en plus par le d eveloppement de syst` emes exibles pouvant evoluer dans des espaces conn es (chambre de MEB, espaces sous atmosph` eres contr ol ees,...) [YGN03] [YGN01] [TF01] [GBM+ 04] [Fur99] et permettant deectuer plusieurs t aches successivement dans lesprit du concept de micro-usine [HNS97] [RHL04] [BB01a]. Cest dans ce cadre que nous avons voulu d evelopper un syst` eme de changeur doutils adapt e` a la micro-pince du laboratoire qui, dans le cadre du projet ROBOSEM, devait fonctionner dans lenceinte dun MEB, cest-` a-dire dans un espace tr` es restreint et qui, de plus, nore pas un acc` es facile pour eectuer des modications puisque la mise sous vide de la chambre dun MEB peut prendre plusieurs heures. Lid ee du changeur doutils consistait ` a changer la paire dorganes terminaux en fonction de la t ache ` a r ealiser et des propri et es des objets ` a manipuler. Lors de son projet de recherche de DEA, C edric Cl evy [Cle02], avait etudi e la conception de syst` emes de xation temporaire pour des dispositifs microrobotiques. Ce projet avait permis didentier les di erents concepts utilisables et de pointer les limites des syst` emes m ecaniques de solidarisation temporaire qui pr esentaient des probl` emes importants de fabrication et dusure lors de leur miniaturisation. La solution identi ee au cours des travaux de th` ese de C. Cl evy et qui nous a sembl e la plus prometteuse, reposait sur lutilisation dune colle thermique (liquide ` a 65o C et solide ` a temp erature ambiante) permettant de solidariser les organes terminaux aux actionneurs pi ezo electriques. Aucune autre equipe de recherche mondiale ne s etait encore int eress e ` a ce genre de dispositifs ce qui nous a encourag e` a explorer ce nouveau concept. Un contr ole de

62

CHAPITRE 3. MICRO-ROBOTIQUE ET MICRO-MANIPULATION

temp erature, r ealis e par une commande en courant de resistances CMS (Surface Mounted Devices ) judicieusement plac ees, aurait ainsi permis de modier la phase solide/liquide de la colle et donc de solidariser ou non la liaison entre ces organes terminaux et les actionneurs ou le magasin de stockage des outils. Le fonctionnement de ce dispositif est expliqu e sur les di erents diagrammes de la gure Fig 3.11. Les premiers r esultats de ce principe de fonctionnement ont et e publi es dans une conf erence internationale [CHC04] et dans une revue internationale [CHAC05].

Pair of tools Z Y X T1 Supplied current I1 glue T2 Resistances R2 Resistances R1 Supplied current I2 Part of the tools magazine Actuator

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(a)

(b)

Fig. 3.11 (a) Constitution du micro-changeur doutils adapt e sur la micropince pi ezo electrique du LAB, (b) etapes ` a r ealiser pour obtenir un changement doutils. Bien que le principe de ce changeur doutil soit relativement simple, son contr ole etait d elicat puisquil fallait sassurer que les ph enom` enes de convection et de conduction thermique ne viennent pas perturber le fonctionnement de ce dispositif. Le point le plus d elicat appara t lors de l etape dun changement doutil, repr esent ee en position centrale de la gure Fig. 3.11 (b). En eet, il faut ` a cet instant que la temp erature T1 (au dessus des r esistances R1 ) d epasse le point de fusion de la colle pour d etacher les contacts B alors que la temp erature T2 (au dessus de la r esistance R2 ) doit imp erativement rester en dessous du point de solidication de la colle pour maintenir les contacts A. An de sassurer du bon fonctionnement du dispositif et doptimiser la commande en terme de temps de cycle et de choix des amplitudes de commande des courants, une mod elisation des ph enom` enes thermiques etait n ecessaire. Celle-ci est bas ee sur une loi de conservation de l energie [Eyg97] : C T dV = t q n ext dS + Q dV
V

(3.5)

o` u est la masse volumique, C la capacit e calorique, V le volume de l el ement consid er ee, S la surface de l el ement consid er e, q la densit e de ux de chaleur et Q la source de chaleur volumique. Dans ces travaux, le rayonnement thermique a et e n eglig e. La densit e de ux de chaleur comprend les ph enom` enes de conduc-

3.3. CHANGEUR DOUTILS

63

tion (Loi de Fourier) et de convection (approximation conducto-convective) : q = q cond + qconv avec : q cond = T q conv = h (T T ) next (3.7) (3.6)

o` u est le coecient de conduction de l el ement consid er e, h le coecient de convection ` a la surface de l el ement et T la temp erature ambiante. En raison de la faible epaisseur de loutil (180 m) devant sa longueur (forme elanc ee), la temp erature a et e consid er ee comme constante sur une section et le probl` eme a pu se r eduire ` a un probl` eme de mod elisation unidimensionnelle selon laxe x. Ces hypoth` eses conduisent ` a l equation aux d eriv ees partielles (EDP) suivante o` u la temp erature est une fonction de lespace et du temps T = T (x, t) :

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T T h (T T ) + Q = t x x

(3.8)

+e)h h = 2 (ww avec w et e respectivement la largeur et l epaisseur de l el ement e consid er e. La source de chaleur volum etrique Q est distribu ee suivant laxe x et I 2 esistance est consid er ee comme nulle dans loutil et egale ` aQ= R VR dans la r de valeur R, de volume VR et aliment ee par un courant I . An de d enir les lois de contr ole en courant des r esistances du changeur doutils, un mod` ele simpli e a dabord et e utilis e qui n eglige linuence de lactionneur et du magasin. Ces hypoth` eses ont ensuite et e v eri ees exp erimentalement. Le mod` ele utilis e est repr esent e sur la gure Fig. 3.12 (lindice r correspond ` a la r esistance et lindice o` a loutil) :

Fig. 3.12 Sch ema de la mod elisation 1D du probl` eme thermique et hypoth` eses utilis ees.

64

CHAPITRE 3. MICRO-ROBOTIQUE ET MICRO-MANIPULATION

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le mod` ele simpli e est lassemblage dune r esistance au bout de laquelle est connect e un outil ; les conditions aux limites des EDP sont les suivantes : pas de ux de chaleur ` a lextr emit e des deux composants, et les temp eratures et les ux sont consid er es comme continus entre la r esistance et loutil. LEDP a et e r esolue analytiquement pour les r egimes permanents pour des sources constantes, cependant la solution en r egime dynamique est beaucoup plus dicile ` a obtenir analytiquement. Deux m ethodes num eriques ont alors et e utilis ees pour r esoudre ce probl` eme : une m ethode des di erences nies programm ee en matlab ; une m ethode des el ements nis utilisant le logiciel commercial Comsol Multiphysic. Puisque nous lavons programm ee nous m eme, la premi` ere m ethode etait beaucoup plus exible et mieux adaptable ` a notre probl` eme que la seconde. Elle etait donc beaucoup mieux adapt ee ` a la phase de conception du dispositif. Pour sa r esolution num erique par di erences nies, lEDP a et e discr etis ee en une equation de r ecurrence en temps et en espace. Les d eriv ees du premier ordre ont et e approxim ees par une m ethode dEuler et les d eriv ees du second ordre par une m ethode dapproximation centr ee [Ozi94]. La temp erature le long de loutil qui est une fonction du temps et de lespace T (x, t) est alors approxim ee par une s erie T (i, j ) o` u i est lindice d echantillonnage de lespace et j lindice d echantillonnage du temps (cf Fig. 3.13).

Fig. 3.13 Maillage et el ements utilis es dans la mod elisation au temps j . L equation de r ecurrence est alors de la forme : T (i, j + 1) = t (i + 1) T (i + 1, j ) (x)2 (i) C (i) t (i + 1) + (i) +(1 2 (x) (i) C (i) t h(i) ) T (i, j ) (i) C (i) t (i) T (i 1, j ) + (x)2 (i) C (i) t t T + Q(i) +h(i) (i) C (i) (i) C (i)

(3.9)

Pour faciliter les simulations num eriques, cette equation de r ecurrence a et e r e ecrite sous forme d etat, o` u la variable d etat X(j ) contient la temp erature de

3.3. CHANGEUR DOUTILS tous les el ements au temps j t, soit X(j ) = {T (1, j ) T (N, j )}T : X(j + 1) = A X(j ) + B U(j ) Y(j ) = C X(j ) + D U(j )

65

(3.10)

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U est la commande du syst` eme compos e de la source thermique ` a chaque discr etisation despace et de la temp erature ambiante, soit un vecteur de la forme U(j ) = {Q(1, j ) Q(N, j ) T }T . A est la matrice d etat construite ` a partir de l equation de r ecurrence (3.9) et des conditions aux limites (cf. [CHC06] [CHC08]). C est une matrice qui d epend de la localisation des temp eratures consid er ees comme les sorties de mesure de ce syst` eme dynamique. La matrice D est nulle pour cette application puisque le syst` eme est strictement causal. Contrairement ` a la m ethode des el ements nis utilisant le logiciel Comsol, cette mod elisation permet assez simplement et assez rapidement de d eterminer les temp eratures dans chacun des el ements de loutil en fonction du courant dalimentation des r esistances et des conditions initiales de fonctionnement. Quelques r esultats de simulations compar es ` a des mesures exp erimentales sont report es sur les gures Fig. 3.14 et Fig. 3.15 pour des r egimes permanents et transitoires. Elles montrent la validit e de notre mod elisation thermique et de notre r esolution par di erences nies pour des temps de calculs raisonnables et une bonne exibilit e dutilisation lors des phases de conception.

Fig. 3.14 Comparaison entre des simulations en r egime permanent et les mesures exp erimentales pour trois sources de chaleur di erentes (Q = 179W/m3 a et e utilis ee pour lidentication alors que Q = 127W/m3 et Q = 64W/m3 a et e utilis ee pour v erier la validit e des r esultats).

Lorsque des mod elisations thermiques sont r ealis ees, certains coecients sont extr emement d elicats ` a d eterminer de mani` ere th eorique, cest en particulier le cas des coecients de convection naturelle qui d ependent, en plus de la g eom etrie du syst` eme et des mat eriaux utilis es, de beaucoup dautres param` etres diciles a d ` eterminer autrement quexp erimentalement. Il est donc souvent n ecessaire de recaler les r esultats de simulations aux mesures exp erimentales an dobtenir de bonnes corr elations des r esultats. Ces recalages sont possibles gr ace ` a des phases pr eliminaires didentication exp erimentale des param` etres de lEDP. Cette

66

CHAPITRE 3. MICRO-ROBOTIQUE ET MICRO-MANIPULATION

tel-00573375, version 1 - 3 Mar 2011

Fig. 3.15 Comparaison entre des simulations en r egime transitoire et les mesures exp erimentales pour trois sources de chaleur di erentes (Q = 179W/m3 a et e utilis ee pour lidentication alors que Q = 127W/m3 et Q = 64W/m3 a et e utilis ee pour v erier la validit e des r esultats). phase pr eliminaire didentication param etrique est dautant plus n ecessaire quen raison des eets d echelle, le comportement thermique des micro-syst` emes est en g en eral tr` es di erent du comportement thermique des macro-syst` emes. Ainsi, les param` etres physiques (li es ` a la convection et ` a la conduction) tabul es de mani` ere empirique dans de nombreux ouvrages classiques macroscopiques ne sont pas forc ement utilisables pour des micro-syst` emes. Pour automatiser les phases didentication param etrique et de recalage de mod` eles pour nos micro-syst` emes, nous avons eu recours ` a des m ethodes num eriques didentication param etrique. La m ethode des di erences nies bas ee sur l equation (3.9) correspond ` a une equation de r ecurrence de la variable despace (indice i) et de la variable de temps (indice j ). Ainsi, une m ethode didentication param etrique de type ARX (Auto-R egressive a ` partie eXog` ene ) peut etre utilis ee soit suivant lindice de temps soit suivant lindice despace. Ces deux proc edures ont pu etre utilis ees dans nos travaux. Pr esentons ` a titre dexemple, cette m ethode pour la variable despace x. Dans le cas g en eral, la m ethode ARX sapplique ` a un mod` ele de la forme [Lan93] [Lju99] : y (k + 1) = a1 y (k ) an y (k n + 1) o` u la convention matricielle suivante est utilis ee : (k | ) = (k )T y (3.12) (3.11) + b1 u(k ) + + bm u(k m + 1)

(k | ) est le calcul de y (k + 1) ` y a partir des donn ees pass ees (k ) (entr ees et sorties accessibles ` a linstant discret k ) et des param` etres estim es : (k ) = y (k ) . . . y (k n + 1) u(k ) . . . u(k m + 1) T = a 1 . . . an b 1 . . . b m
T

(3.13)

3.3. CHANGEUR DOUTILS

67

Pour un temps xe (par exemple, la r eponse en r egime permanent ` a j = ) et en utilisant l echantillonnage spatial, l equation (3.9) peut etre r e- ecrite pour T = T T ` a lint erieur de la r esistance et de loutil comme : Tr (i + 1, j ) = ar Tr (i, j ) Tr (i 1, j ) br Q To (i + 1, j ) = ao To (i, j ) To (i 1, j ) avec ar = (2 +
2 f h r x r ),

(3.14)

Si nous d enissons r = ar br 1
T

x br = r et ao = (2 + T

, o = ao 1

2 f h o x o ).

r = yr (3) yr (4) . . . yr (nr ) ,y

o = yo (3) yo (4) . . . yo (no ) y

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deux probl` emes didentication doivent alors etre r esolus : r = T y r r o = T et y o o

T = r yr (nr 1) Q yo (2) yo (3) T . o = . .

et que nous introduisons les notations suivantes : yr (2) Q yr (1) yr (3) Q yr (2) . . . . . . . . . yr (nr 2) yo (1) yo (2) . . . (3.15)

yo (no 1) yo (no 2)

(3.16)

de peut alors Lestim e etre trouv ee ` a laide dune m ethode des moindres carr es [Lju99] avec i r, o : r = (i T )1 i yi i (3.17) Les param` etres ar , br et ao ont et e identi es avec une grande pr ecision (103 9 pour ar et ao , 10 pour br ). Cependant, ar et ao sont extr emement proches de la valeur -2 et br est presque nul, ce qui g en` ere de fortes imprecisions f o dans la d etermination des param` etres physiques (r , hr et h o ). Pour br , cette impr ecision d epend fortement de la valeur de x, ce qui signie que la pr ecision de la m ethode sera dautant mieux am elior ee que le syst` eme sera grand ou que l echantillonnage spatial des mesures sera rapproch e2. Les param` etres ar et ao , quant ` a eux, ne d ependent pas de la dimension des objets mais du probl` eme physique de lEDP , ainsi quelles que soient les dimensions des objets il sera toujours dicile dutiliser ces param` etres didentication pour d eterminer les f f h o r et . param` etres physiques h r o Pour notre dispositif de changeur doutils, les m ethodes didentication param etriques que nous avons appliqu ees au cas thermique et micro sont donc efcaces pour d eterminer pr ecisement les param` etres des EDP correspondantes, cependant elles sont d elicates ` a utiliser pour identier pr ecisement les param` etres physiques entrant dans la composition de ces EDP. Les d etails de ces travaux de
2 Nous avons utilis e un syst` eme de micro-positionnement associ ea ` des micro-thermocouples d evelopp es au laboratoire an de r ealiser ces mesures en pratique.

68

CHAPITRE 3. MICRO-ROBOTIQUE ET MICRO-MANIPULATION

mod elisation et didentication param etriques ont et e publi es dans une conf erence internationale [CHC06]. Gr ace ` a tous ces travaux, nous avons pu nalement concevoir avec succ` es ce dispositif de changement doutils dont la gure Fig. 3.16 montre quelques s equences de fonctionnement. Au cours de ces travaux, les nombreux prototypes d evelopp es nous ont permis de quantier les performances des dispositifs r ealis es et de valider les r esultats des mod elisations d evelopp ees au cours de cette p eriode de recherche. Une synth` ese compl` ete de tous ces travaux a et e publi ee dans une revue internationale [CHC08]. Cette p eriode de recherche nous a permis de concevoir un dispositif innovant de changeur doutils pour lequel nous avons d evelopp e une d emarche de conception int egr ee, partant de la mod elisation, de lestimation de performance et de lidentication param etrique permettant un recalage de mod` ele. Ce dispositif est, ` a ma connaissance, le plus petit ` a avoir et e r ealis e en 2006. Il pr esente un niveau de performance tout ` a fait honorable avec des erreurs maximales de repositionnement de 3 m pour des valeurs moyennes inf erieures ` a 1 m.
1 2 3

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Fig. 3.16 Etapes successives pour r ealiser un changement doutils : (1) manipulation dun objet cubique de 300 m de c ot e ; (2) d epose des outils dans le magasin en refroidissant dabord les contacts outils-magasin puis en chauffant les contacts outils-actionneur ; (3) lactionneur se d eplace seul pour aller chercher lautre paire doutils ; (4) xation de la seconde paire doutils ` a lactionneur en refroidissant dabord les contacts outils-actionneur puis en chauant les contacts outils-magasin ; (5) d eplacement de la pince ; (6) manipulation dun pignon dont laxe mesure 140 m de diam` etre.

3.4

Conclusion sur la p eriode de recherche

Dans ce chapitre, nous avons pr esent e les di erents concepts utilis es pendant cette p eriode de recherche pour concevoir et mod eliser une station de micro-manipulation. Celle-ci utilisait une micro-pince pi ezo electrique, des porteurs robotiques ainsi que des dispositifs auxiliaires (syst` eme de micro -vision, changeur doutil, estimateur deorts...).

3.4. CONCLUSION SUR LA PERIODE DE RECHERCHE

69

Les di erents dispositifs d evelopp es ont du etre mod elis es par des mod` eles de type syst` emes a ` param` etres distribu es. En eet, lors de la r eduction de taille, il est de plus en plus d elicat de mod eliser ces dispositifs par des mod` eles ` a param` etres localis es et nous sommes alors contraint de mod eliser leur distribution dans lespace ce qui conduit ` a des EDP ` a la place dEDO pour les syst` emes a param` ` etres localis es. La r esolution de ces EDP et beaucoup plus dicile et dans notre cas, elles ont pu etre r esolues : analytiquement pour des g eom etries simples (probl` eme pi ezo electrique du bimorphe de la micro-pince) ou pour des r egimes permanents (probl` eme thermique du changeur doutils) ; num eriquement pour des g eom etries plus complexes ou pour les r egimes transitoires. Pour les simulations num eriques, des m ethodes de di erences nies ont et e sp eciquement d evelopp ees et programm ees et des m ethodes des el ements nis ont et e utilis ees ` a laide de logiciels commerciaux. Le d eveloppement sp ecique doutils num eriques permet une grande exibilit e dutilisation qui est extr emement appr eciable lors des phases de conception. De plus, les di erences nies ont pu etre coupl ees ` a des m ethodes didentication param etriques (ARX + moindres carr es) an deectuer des recalages de mod` eles et de d eterminer la valeur de certains param` etres physiques. Ces param` etres sont en eet extr emement d elicats ` a d eterminer th eoriquement pour une g eom etrie pr ecise et pour des dispositifs micro et bien souvent, seule une identication exp erimentale permet de d eterminer pr ecisement ces caract eristiques de fonctionnement. Les principales conclusions de ces travaux sur la conception de stations de micro-manipulation sont les suivantes : les microsyst` emes et les dispositifs de petites tailles pr esentent souvent un caract` ere distribu e quil est n ecessaire de mod eliser ` a partir de mod` eles ` a param` etres distribu es ; Les mod` eles r esultants, de type EDP, ne sont solubles analytiquement que pour des cas tr` es simples et il est souvent n ecessaire de r esoudre num eriquement les equations obtenues ; les m ethodes de r esolution num erique d evelopp ees sp eciquement permettent de bien comprendre les ph enom` enes et sont utilisables lors des phases de conception ou de recalage de mod` eles, ce que ne peuvent souvent pas faire les logiciels d el ements nis du commerce ; le d eveloppement de syst` emes micro-robotiques n ecessite dimportantes comp etences multiphysiques non seulement en terme de mod elisation mais egalement en terme de simulation, de conception et de validation exp erimentales. Pour terminer cette section, je veux souligner lint er et de cette p eriode de recherche au LAB puisquelle ma permis dentrer de plein pied dans la mod elisation, la conception et la r ealisation de syst` emes micro-robotiques. Jai eu lopportunit e, au cours de cette p eriode, de pouvoir encadrer ou co-encadrer plusieurs etudiants dont un th esard et deux masters recherche, ce qui ma permis de d evelopper mes capacit es dencadrement et de direction de recherches. La participation au projet europ een ROBOSEM reste une tr` es bonne exp erience

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70

CHAPITRE 3. MICRO-ROBOTIQUE ET MICRO-MANIPULATION

qui nous a permis de tisser des liens importants avec des equipes de recherche europ eennes de tr` es haut niveau. La qualit e de ces relations internationales ne sest pas d ementie puisque nous avons et e associ es, par la suite, au montage dun second projet europ een de grande envergure3. La station de micro-manipulation d evelopp ee au cours de cette p eriode a egalement pu servir de base ` a tous les coll` egues du laboratoire pour d evelopper les stations de micromanipulation suivantes. Les r esultats de ces travaux ont et e dius es dans la communaut e scientique par trois revues et sept conf erences internationales ` a comit es de lectures publi ees au cours de cette p eriode de recherche. Enn la qualit e des recherches du doctorant ayant particip e ` a ces travaux a et e tr` es bien reconnue puisquil a et e quali e dans deux sections CNU (60 et 61) et quil a r eussi ` a obtenir un poste de ma tre de conf erences lann ee suivant la pr esentation de sa th` ese. Ces quatre ann ees de recherche ont permis de mettre en evidence certaines sp ecicit es du micro-monde et de faire emerger de nouvelles probl ematiques scientiques concernant notamment lint er et des micro-actionneurs face aux actionneurs classiques miniaturis es. Ces r eexions mont pouss e` a r e-orienter une partie de mes activit es de recherche vers la conception, la mod elisation et le d eveloppement de micro-actionneurs utilisant des mat eriaux actifs. Ces points seront abord es dans le chapitre suivant.

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3 Il

sagit du projet europ een Hydromel dont nous parlerons dans le prochain chapitre.

Chapitre 4

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Troisi` eme th ematique de recherche (2005 2010) : Mat eriaux actifs et micro-actionneurs
Mots-cl es : mod elisation et contr ole, syst` emes dynamiques, m ecatronique et micro-m ecatronique, mat eriaux actifs, actionneurs pour la micro-robotique. Ces travaux de recherche ont et e conduits au laboratoire dautomatique de Besan con (LAB) qui est devenu le d epartement Automatique et Syst` emes MicroM ecatronique (AS2M) de linstitut Femto-ST le 01 janvier 2008. Ils se situent donc dans le m eme contexte et le m eme environnement que les travaux abord es au chapitre pr ec edent. Au cours de cette p eriode, mes principaux partenaires de recherche ont et e les personnes suivantes : Prof. N. Chaillet, directeur du d epartement AS2M, institut Femto-ST ; Prof. C. Lexcellent, responsable de l equipe mat eriaux du D epartement de M ecanique Appliqu ee (DMA) de linstitut Femto-ST ; J.Y Gauthier, doctorant de N. Chaillet et C. Lexcellent dont jai coencadr e la th` ese [Gau07] et encadr e le DEA [Gau04] et qui est actuellement ma tre de conf erences ` a lINSA de Lyon ; M. Grossard, doctorant du Prof. N. Chaillet [Gro08] et qui est actuellement ing enieur de recherche au CEA de Fontenay-aux-Roses. R. El Koury Moussa, actuellement doctorante au CEA que je co-encadre avec le Prof. N. Chaillet et le Dr M. Grossard ; Y. Loirat dont jai encadr e le projet de n d etude ding enieur [Loi08].

4.1

Contexte du travail

Les travaux que nous avons men es au cours de cette p eriode tirent leur origine des limites et des probl ematiques scientiques que nous avons pu identier au 71

72

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

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cours de la p eriode pr ec edente. En eet, les tables de positionnement equipant la station de micro-manipulation de notre laboratoire etaient des axes classiques du commerce (moteur ` a courant continu et syst` eme de transmission/r eduction m ecanique de haute pr ecision). La pr ecision de ces dispositifs etait susante pour lapplication envisag ee (1 m), cependant il etait evident que le niveau maximale de pr ecision de ce type de dispositif de positionnement etait pratiquement atteint. Pour am eliorer encore la pr ecision de la station, il semblait n ecessaire et pertinent denvisager le remplacement des axes classiques par des dispositifs de positionnement mieux adapt es ` a la r eduction d echelle. En particulier, an d eviter lutilisation de m ecanisme de transmission m ecanique complexe, il fallait utiliser un actionnement lin eaire direct que seuls les mat eriaux actifs peuvent proposer ` a ces echelles1 . Les mat eriaux actifs sont eectivement de plus en plus utilis es en tant quactionneurs dans les syst` emes m ecatroniques et micro-m ecatroniques. Les mat eriaux pi ezo electriques, magn etostrictifs, electroactifs et les alliages ` a m emoire de forme sont actuellement, parmi ces mat eriaux, les plus repr esentatifs et les plus utilis es [Smi05] [Pon05]. Dans le cadre de cette th ematique de recherche, je me suis donc orient e vers l etude de ces mat eriaux actifs et de leur utilisation comme actionneur au sein de dispositifs de micro-positionnement. Au cours de cette p eriode de recherche, les mat eriaux actifs auxquels je me suis int eress e plus particuli` erement ont et e: les alliages ` a m emoire de forme magn etique (AMFM) ; les mat eriaux pi ezo electriques. En fait, certains de ces mat eriaux avaient d ej` a et e utilis es dans des dispositifs du laboratoire (pi ezo electrique et alliage ` a m emoire de forme non magn etique) mais il restait encore beaucoup de probl ematiques scientiques ` a explorer concernant leur mod elisation, leur commande et leur utilisation pour des applications en micro-robotique. Mon objectif de recherche au cours de cette p eriode a donc et e dam eliorer ma compr ehension du comportement de ces mat eriaux et de proposer des r` egles et des outils daide ` a la conception pour leur utilisation au sein de dispositifs micro-m ecatroniques et micro-robotiques. Les applications envisag ees concernaient essentiellement le positionnement ` a haute r esolution. Pour les mat eriaux pi ezo electriques, jai pu proter de lexp erience acquise pr ec edemment par plusieurs membres du laboratoire. Pour les AMFM, jai pu proter de lexp erience qui avait et e acquise sur les alliages ` a m emoire de forme classique (AMF : thermique et non magn etique) lors de travaux ant erieurs conduits par le laboratoire en collaboration avec le laboratoire de m ecanique appliqu ee de Besan con et le Prof. C. Lexcellent. Mes objectifs de recherche sins eraient parfaitement dans les th ematiques et les objectifs du laboratoire et le Prof. N. Chaillet ma donc soutenu dans cette voie.

4.2

Alliages ` a m emoire de forme magn etique

Les alliages ` a m emoire de forme magn etique sont une nouvelle classe de mat eriaux actifs dont les caract eristiques combinent celles des alliages ` a m emoire
1 Cest dailleurs, ce qui avait et e fait pour la r ealisation de la micropince en mat eriau pi ezo electrique.

` MEMOIRE 4.2. ALLIAGES A DE FORME MAGNETIQUE

73

de forme thermiques classiques et celles des mat eriaux magn etostrictifs. Ils compl` etent ainsi lore actuelle en mati` ere de mat eriaux actifs. Les travaux que nous avons r ealis es sur ce sujet se situent dans le cadre dune collaboration entre une equipe de recherche en m ecanique et sciences des mat eriaux (Prof. C. Lexcellent du d epartement DMA de linstitut Femto-ST) et le d epartement AS2M de linstitut Femto-ST auquel j etais rattach e. Cette collaboration se justie par la forte pluridisciplinarit e n ecessaire dans toutes les recherches sur les mat eriaux actifs.

4.2.1

Principe de fonctionnement

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De par leurs caract eristiques h erit ees des AMF classiques et des mat eriaux magn etostrictifs, le mode de conversion d energie des AMFM peut etre vu comme une superposition des eets obtenus pour ces deux classes de mat eriaux. Leurs performances se situent donc entre les performances de ces deux mat eriaux. La Fig. 4.1 donne un comparatif des performances des di erents mat eriaux actifs concernant la relation densit e d energie/fr equence dutilisation.

Fig. 4.1 Caract eristiques des principaux mat eriaux actifs.

Les AMFM orent une d eformation maximale de lordre de 6 ` a 10 % comme les AMF thermiques classiques mais pr esentent des temps de r eponse de lor` lheure dre de ceux des mat eriaux magn etostrictifs (ordre de la milliseconde). A actuelle, deux mat eriaux pr esentant les caract eristiques des AMFM sont principalement etudi es et utilis es. Ils ont tous les deux et e mis au point dans les ann ees 1995/1996 aux Etats-Unis, par une equipe du MIT pour le Ni-Mn-Ga [UHK+ 96] et par une equipe de luniversit e du Minnesota pour le FePd [JW98]. Parmi tous les mat eriaux pr esentant les propri et es des AMFM, le plus utilis e est sans conteste le Ni-Mn-Ga. Cest ce mat eriau qui a et e utilis e dans tous nos travaux. Le mat eriau ` a notre disposition (b atonnets monocristallins) pr esente deux formes cristallographiques di erentes en fonction de la temp erature : laust enite (la phase haute temp erature) et la martensite (la phase basse temp erature). Laust enite se pr esente sous une forme cristallographique cubique (cest en fait plus exactement la forme cristallographique dite dHeusler) alors que la martensite

74

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

(forme 5M pour notre mat eriau) se pr esente sous une forme parall el epip edique avec trois variantes possibles (cf. Fig. 4.2 (a)).
Austenite Martensite variants

m1 m2 m3 A M1 M2 M3

(a)
y x

Cooling

M1
+

A
Heating Heating

M2
+

M3
Stress application

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Stress

M1
Magnetic field

M2 M1

Stress application

M2
Magnetic field application

(b) Fig. 4.2 Constitution dun AMFM : (a) repr esentation de laust enite et des trois variantes de martensite, (b) r earrangement martensitique et transformation de phase sous laction dun champ de contrainte, dun champ magn etique et de la temp erature.

Les di erents cycles de passage dune phase ` a lautre sont repr esent es sch ema` partir de la phase m` tiquement sur la Fig. 4.2 (b). A ere aust enite A, un refroidissement sous contraintes nulles fait appara tre les trois phases M1, M2 et M3 ` a parts egales. Lapplication dune contrainte magn etique ou m ecanique permet de favoriser lune ou lautre de ces variantes. Un champ m ecanique favorise la variante qui a son axe court orient e suivant laxe de cette contrainte et un champ magn etique favorise la variante qui a son axe de facile aimantation orient e suivant laxe de ce champ. On parle alors de r earrangement ou de r eorientation martensitique. Laxe court etant le m eme que laxe de facile aimantation, une disposition perpendiculaire de ces deux champs permet de favoriser dans le plan xy lune ou lautre des deux variantes perpendiculaires pour un actionnement en deux dimensions (M1 et M2 pour une etude et un contr ole de la d eformation dans le plan xy tel que celui repr esent e sur la Fig. 4.2 (b)). La favorisation de lune ou lautre des variantes M1 et M2 permet de g en erer une d eformation, leurs axes courts etant perpendiculaires lun par rapport ` a lautre. La d eformation r esultant de ce principe permet de r ealiser des actionneurs ` a partir dun morceau dAMFM ` a condition dutiliser les contraintes m ecaniques et magn etiques de mani` ere antagoniste pour obtenir un actionnement bidirectionnel.

` MEMOIRE 4.2. ALLIAGES A DE FORME MAGNETIQUE

75

En r esum e, un champ magn etique favorise la cr eation de la martensite qui a son axe court dans la direction du champ appliqu e. Le r earrangement dune variante en une autre cr ee une d eformation macroscopique et donc un d eplacement. Ce comportement nous permet dutiliser lAMFM comme actionneur. Pour avoir un actionnement bi-directionnel en appliquant un champ magn etique, il est n ecessaire de pr e-contraindre l echantillon dans une direction orthogonale au champ magn etique appliqu e. Notons egalement que nous pouvons toujours revenir ` a l etat aust enitique en chauant le mat eriau. Ce mat eriau ne pr esente malheureusement pas que des avantages et parmi ses limitations, nous pouvons citer la fragilit e du mat eriau, le champ magn etique important ` a cr eer (400 kA/m), la forte d ependance ` a la temp erature des param` etres du mat eriau, la faible contrainte de blocage (2-3 MPa), ainsi quun hyst er esis tr` es important.

4.2.2

Mod elisation thermo-magn eto-m ecanique

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Deux th eories sont utilis ees pour mod eliser le comportement des AMFM : La premi` ere est bas ee sur une approche microscopique en utilisant la physique du solide. Les r ef erences suivantes sont les plus repr esentatives des travaux conduits avec cette approche [TJ99], [DJ02], [MCK03], [ALS06]. La seconde est bas ee sur une approche macroscopique en utilisant la thermodynamique. Quelques travaux tr` es repr esentatifs de ces recherches sont [Hec05], [KL05] et [CC07]. Les travaux des deux groupes de recherche suivants [SDBM06] et [SD07] sont, ` a mon avis, les plus proches des travaux que nous avons r ealis es durant cette p eriode. Cependant ces travaux ne prennent pas ou peu en compte laspect dynamique, alors quil est fondamental pour la conception dactionneurs. Alors que la premi` ere th eorie est pr ef er ee par les physiciens, la seconde est pr ef er ee par la communaut e des sciences pour ling enieur et est beaucoup plus adapt ee ` a la conception dactionneurs et de dispositifs de micro-positionnement. Ainsi, cest lapproche thermodynamique que nous avons privil egi e dans nos travaux, dautant que nos partenaires du DMA lutilisaient d ej` a amplement pour la mod elisation des AMF classiques. Pour mod eliser le comportement quasi-statique des AMFM en utilisant lapproche thermodynamique, il est dabord n ecessaire de proposer une expression pour l energie interne U de ce mat eriau ou pour un potentiel thermodynamique similaire (en utilisant une transformation de Legendre pour d enir, par exemple, une energie libre de Gibbs G ou de Helmholtz F [Cal85]). Ce potentiel thermodynamique doit prendre en compte les di erents ph enom` enes physiques repr esentatifs du comportement exp erimental de ce mat eriau. En particulier pour le comportement magn eto-thermo-m ecanique des AMFM, il sagissait de prendre en consid eration : l energie dorigine chimique ; l energie dorigine thermique ; l energie dorigine m ecanique ; l energie dorigine magn etique. Dans le cas des AMFM, les ph enom` enes de r earrangement de martensite et de transformation austenite/martensite font intervenir des comportements

76

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

fortement irr eversibles. Ceux-ci doivent etre d ecrits par des fonctions de dissipation et une in egalit e de Clausius-Duhem qui permettra de traduire le second principe de la thermodynamique (irr eversibilit e et augmentation de lentropie du syst` eme). Dans nos travaux de recherche, la thermodynamique des processus irr eversibles ` a variable interne a et e utilis ee. Le d etail complet des expressions thermodynamiques que nous avons propos e pour les AMFM ne peut pas etre d evelopp e dans ce m emoire faute de place mais celle-ci utilisent une approche micro/macro qui consiste ` a utiliser un volume el ementaire repr esentatif pour tenter de d ecrire de mani` ere macroscopique, les ph enom` enes appara ssant au niveau microscopique. La Fig. 4.3 repr esente le volume el ementaire repr esentatif qui nous a permis de d enir les variables internes suivantes : la fraction volumique daustenite zo ; la fraction volumique de la variante de martensite 1 k n, zk . Le n terme zk = (1 zo ) est la fraction globale de toutes les martensites ;
k=1

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et (1 ) sont les proportions des domaines de Weiss ` a lint erieur du volume el ementaire repr esentatif ; est langle de rotation de la magn etisation associ e aux deux domaines de Weiss de la variante M2 puisque, sous linuence dun champ dexcitation magn etique H , la magn etisation pivote pour saligner sur ce champ dexcitation. Comme ce champ est parall` ele ` a x, il ny a pas de rotation de la magn etisation des domaines de Weiss associ es ` a la variante M1 .

M1 (z)

M2 (1-z)

Fig. 4.3 Volume el ementaire repr esentatif pour un echantillon dAMFM constitu e de deux variantes de martensite M1 et M2 (z = z1 et 1 z = z2 ). Dans nos travaux de recherche sur lactionnement plan isotherme (pr esence de M1 et M2 uniquement), nous avons pu montrer que l energie libre de Gibbs pouvait etre exprim ee par des expressions de la forme : G(, H, T, z, , ) = Cp (T To ) T log z 2 + K12 z (1 z ) 2E MS (2 1)2 o MS z (2 1)H 2 a MS + (1 z ) (sin )H (sin )2 2 t T To (4.1)

` MEMOIRE 4.2. ALLIAGES A DE FORME MAGNETIQUE

77

o` u , H et T sont respectivement,la contrainte, le champ magn etique appliqu e et la temp erature de l echantillon dAMFM. Tous les autres termes de cette expression sont des param` etres du mat eriau qui peuvent etre estim es exp erimentalement et qui ne seront pas d etaill es dans ce m emoire. Dans ce type dexpression, les couplages entre les ph enom` enes m ecaniques et magn etiques sont exprim es par le choix de la variable interne z . La d eformation totale peut alors en etre d eduite : = (G) = + z = e + dtw E (4.2)

ainsi que la magn etisation M : o M = (G) H = o MS ((2 1)z + sin (1 z )) (4.3) (4.4)

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et la force thermodynamique f associ ee ` a la fraction de martensite z : f = G = K12 (1 2z ) z MS (2 1)2 + o MS (2 1)H 2 a MS H sin + sin2 2 t

(4.5)

Lin egalit e de Clausius-Duhem permettant de d eterminer lirr eversibilit e et la dissipation associ ee ` a ce r earrangement martensitique peut alors etre d eduite gr ace ` a une expression de la forme : dD = f dz 0 (4.6)

Les cin etiques de transformation et de r eorientation de phases peuvent etre d ecrites par des fonctions lin eaires par morceaux pour un comportement hyst er etique simple sans boucles internes ( f = 0 ou f = kin z ). Au cours de cette p eriode, nous avons egalement men e des travaux pour mod eliser des comportements hyst er etiques plus complexes, comprenant notamment des boucles internes et des comportements anisothermes mais ils ne seront pas d ecrits dans ce m emoire. Cette mod elisation quasi-statique nous a permis de pr edire de mani` ere assez pr ecise le comportement dans lespace d eformation-contrainte dun echantillon dAMFM en fonction du champ magn etique appliqu e et des contraintes m ecaniques appliqu ees de lext erieur. Une comparaison des r esultats th eoriques et exp erimentaux de ces travaux est report e sur la Fig. 4.4. Ces travaux ont pu etre publi es dans [GLH+ 07]. Pour mod eliser le comportement dynamique des actionneurs bas es sur des AMFM, il nous a sembl e pertinent dassocier la thermodynamique des processus irr eversibles avec la mod elisation hamiltonienne. Dans nos travaux de recherche pr esent es dans les chapitres pr ec edents, nous avions utilis e la m ethode de Lagrange pour mod eliser les ph enom` enes dynamiques. Lapproche variationnelle et la d enition dun Lagrangien nous permet de m elanger les di erents

78

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

Starting and finishing points (z = 1,M ) 0 2 (MPa) 4 6 (z = 0,M )


2 1

H = 600 kA/m 3 4 5

8 2

1
2

Finishing point (z = 0,M ) 0 2 (MPa) 4 6

2 (%)

Starting point (z = 1,M )


1

H = 0 A/m

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8 2

2 (%)

Fig. 4.4 D eformation vs contraintes m ecaniques pour deux valeurs de champ magn etique appliqu e : prediction du mod` ele (lignes continues) et r esultats exp erimentaux (croix ou cercles). ph enom` enes physiques dun dispositif m ecatronique et de tenir compte des contraintes cin ematiques et cin etiques ` a laide des multiplicateurs de Lagrange. Dans le cas des AMFM, le comportement du mat eriau etait d ecrit par une approche thermodynamique, il semblait alors pertinent de remplacer la m ethode de Lagrange par une m ethode de Hamilton ` a partir dune transform ee de Legendre. En eet, le potentiel thermodynamique utilis e dans la mod elisation quasistatique de lAMFM pouvait etre beaucoup plus facilement incorpor e dans la d enition de lhamiltonien (ou fonction de Hamilton) H que dans un Lagrangien L. La transformation de Legendre permettant de d enir lhamiltonien ` a partir du Lagrangien est la suivante : L(q, q ) H(q, p) = p q (4.7)

et p sont respectivement les coordonn o` u q, q ees, les vitesses et les impulsions g en eralis ees du syst` eme dynamique. Le comportement irr eversible associ e a la non-lin ` earit e des AMFM pouvait etre d ecrit gr ace aux variables internes et le comportement des autres composants pourrait etre d ecrit gr ace ` a des coordonn ees g en eralis ees classiques et ` a des impulsions g en eralis ees. Cette association nous a permis d etendre le formalisme de Hamilton aux cas nonconservatifs (ouverts et dissipatifs) et aux syst` emes qui comportent des contraintes cin ematiques et cin etiques. Ce formalisme hamiltonien utilisait alors une fonction d energie un potentiel thermodynamique correspondant ` a l energie totale du syst` eme et quon nomme lHamiltonien H(q, p) [Lan86], [Gol80]. Pour un syst` eme conservatif un syst` eme ferm e thermodynamiquement et non-dissipatif , nous avons simplement : H(q, p) = T (p) + V (q) avec T et

` MEMOIRE 4.2. ALLIAGES A DE FORME MAGNETIQUE

79

V les energies cin etiques et potentielles du syst` eme. Pour un syst` eme ouvert comme notre actionneur, celui-ci echange de l energie avec lext erieur. Cest le cas lorsque nous contr olons notre syst` eme gr ace ` a une force ext erieure g en eralis ee fext qui d epend explicitement du temps t (on parle aussi de syst` emes nonautonomes ). Dans notre cas, la force g en eralis ee ext erieure etait soit une tension, soit un courant, ceci etant fonction du type de contr ole adopt e pour lactionneur et l electronique de puissance. Lorsquun syst` eme est dissipatif, cela signie quune partie de son energie interne nest pas ou plus disponible pour g en erer du travail comme lexprime lirreversibilit e et lin egalit e de Clausius-Duhem. Cela a et e pris en compte en consid erant une energie dissip ee au cours de toute variation. Un syst` eme comportant des contraintes cin ematiques ou cin etiques signie quil existe des contraintes topologiques sur les mouvements admissibles du syst` eme. Ces contraintes ont pu etre prises en compte dans les equations dynamiques ` a laide de multiplicateurs de Lagrange. Pour inclure tous ces ph enom` enes, nous avons utilis e une fonction de Hamilton etendue H : Les forces g en eralis ees ext erieures fext (q, t) sont prises en compte dans la variation de H en ajoutant linuence de leur travail virtuel Wext = fext (q, t) q. Les dissipations par frottements visqueux et sec sont prises en compte en ). La dissipaajoutant les variations d energies dissip ees Qs (q) et Qv (q ) est d tion par frottement visqueux Qv (q etermin ee gr ace ` a une fonction t ) de telle sorte que Qv (q ) = t12 R(q ) dt. de dissipation de Rayleigh R(q Les contraintes cin ematiques holonomes c(q) = 0 sont prises en compte gr ace ` a une technique de multiplicateur de Lagrange en ajoutant le terme c(q) ` a la variation H . Dans ce dispositif, nous navions pas de contrainte cin etique non-holonomes. H = H fext q Qs Qv + c (4.8) Le principe de Hamilton a pu ensuite etre appliqu e en utilisant lhamiltonien augment e d eni pr ec edemment :
t2

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S =

t1

H dt = 0 pq

(4.9)

Dans un premier temps, ces equations ont pu etre utilis ees pour mod eliser un actionneur tr` es simple repr esent e sur la Fig. 4.5. Les comparaisons entre les r esultats th eoriques et les r eponses exp erimentales sont report ees sur la Fig. 4.6. Les pr edictions sont relativement bonnes vue la complexit e des ph enom` enes mis en jeu dans ce dispositif dactionnement. Tous ces d eveloppements ont et e publi es dans une revue internationale [GHA+ 08b]. Il est important de remarquer que ce genre dactionneurs ne peut fonctionner de mani` ere bi-directionnelle (en x)que si une pr econtrainte m ecanique

Apr` es utilisation du calcul variationnel, nous avons pu en d eduire les equations de Hamilton : H i = q pi (4.10) H R Qs ci p i = + + fext,i i qi q i qi qi

80

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS


Load displacement direction

x
m Magnetic field direction

Mobile mechanical load

Magnetic core with coil MSMA into air-gap

=20 mm

I(t) u(t) Non-ferromagnetic frame

Fig. 4.5 Description de lactionneur simple ` a base dAMFM.

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est appliqu ee sur lAMFM. Dans ce prototype, elle est appliqu ee par la masse a d ` eplacer alors que dans beaucoup de prototypes de la litt erature, celle-ci est obtenue ` a laide de ressorts de pr econtrainte. Cet imp eratif r esulte du comportement non-lin eaire fortement hyst er etique comme cela a pu etre montr e dans nos travaux de recherche et publi e dans la conf erence internationale [GHA+ 07b].

1 0.8 Current (A) 0.6 0.4 0.2 0 0 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 Time(s) 0.07 0.08 0.09 0.1 Voltage Current

100 80 60 40 20 0 Voltage (V)

800 Displacement ( m) 600 400 200 0 0 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 time(s) 0.07 0.08 0.09 0.1

Fig. 4.6 Comportement dynamique du syst` eme simple : tension, courant et d eplacement en fonction du temps : simulations (lignes pointill ees) et resultats exp erimentaux (lignes continues).

Nous pouvons noter que le formalisme de Hamilton correspond ` a une description dynamique sous forme d etat. Cette description peut- etre modi ee pour utiliser une description hamiltonienne a ` ports (Port-Hamiltonian ) qui va modier les equations pr ec edentes an de faire appara tre les interconnexions dans le syst` eme [Van00] [BLME07]. Pour un syst` eme conservatif (ferm e et nondissipatif) et en utilisant le formalisme Hamiltonien ` a ports, les equations de Hamilton sont r e- ecrites sous la forme suivante o` u J est appel ee la matrice

` MEMOIRE 4.2. ALLIAGES A DE FORME MAGNETIQUE

81

dinterconnexion : d dt qi pi = 0 I I 0
J

H qi H pi

(4.11)

Cette formulation peut etre etendue pour sappliquer ` a un syst` eme non conservatif. Lextension ` a un syst` eme dissipatif, command e et avec des contraintes cin ematiques est alors ecrite sous forme hamiltonienne ` a ports en utilisant une matrice A qui repr esente les contraintes cin ematiques entre les di erentes variables qi , ainsi quune matrice R de dissipation tenant compte des frottements secs et visqueux et une matrice B li ee ` a la commande u(t) : d dt q p = 0 I I R
H q H p

0 0 + u(t) A B

(4.12)

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Lors de ces travaux, nous navons pas utilis e compl` etement le formalisme Hamiltonien ` a ports qui n ecessite de d enir egalement une variable de sortie duale de la variable dentr ee de commande. Le produit scalaire entre ces deux variables dentr ee et de sortie correspond alors ` a la puissance transmise ` a ce syst` eme, cesta-dire ` ` a la variation totale au cours du temps de son hamitonien (principe de conservation d energie). Cette repr esentation a alors le m erite de faire appara tre une matrice dinterconnexion qui donne explicitement la structure dinterconnexion des di erents sous-syst` emes du dispositif. Des outils r ecents permettent alors de d evelopper des commandes non-lin eaires innovantes bas ees justement sur cette structure. Actuellement, nous travaillons sur ladoption de ce formalisme hamiltonien ` a ports pour d evelopper de nouvelles lois de commande nonlin eaires mais ces travaux nen etant qu` a leurs d ebuts, nous ne les pr esenterons pas dans ce chapitre. Nous y reviendrons dans la derni` ere partie de ce m emoire lorsque nous aborderons la synth` ese et les perspectives de ces travaux. Comme lindique le titre de cette sous-section, le mod` ele d evelopp e au cours de ces recherches inclut egalement les ph enom` enes thermiques. En eet, bien que nous ayons utilis e essentiellement ces mat eriaux en r eorientation de phases martensitiques (comportement isotherme), ils peuvent egalement etre utilis es en mode de transformation de phase aust enite/martensite (mode anisotherme). Ces transformations ont aussi et e etudi ees et des mod` eles propos es et pr esent es dans la conf erence [GLH+ 10]. Les mod` eles obtenus sont tr` es complexes et ne seront pas d evelopp es dans ce m emoire. Faute dun dispositif exp erimental ad equat, ils nont malheureusement pas pu etre valid es exp erimentalement au sein de notre d epartement. Cependant des confrontations avec des r esultats exp erimentaux issus de la litt erature nous ont permis de montrer qualitativement une bonne repr esentativit e des premiers r esultats de ces mod elisations thermo-magn etom ecaniques.

4.2.3

Application ` a la conception et ` a la commande dactionneurs

En dehors des tr` es nombreux travaux r ealis es sur les AMFM par les chercheurs en science des mat eriaux, assez peu d etudes sont eectu ees dans les domaines applicatifs et notamment celui de la conception dactionneurs et de capteurs.

82

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

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Les principales r ealisations sont luvre de la rme nlandaise Adaptamat et de quelques laboratoires de recherche. Ils utilisent essentiellement le principe d ecrit pr ec edemment pour notre actionneur simple avec en plus un ressort de pr econtrainte [TSJ+ 02], [STP+ 02], [STA+ 04], [SPU04]. La soci et e Adaptamat a egalement r ealis e un actionneur de type Inchworm ainsi quune pompe. Un concept de pompe est egalement propos e par la soci et e Active Control eX perts situ ee ` a Cambridge dans le Massachusetts aux Etats-Unis en collaboration avec le MIT. Quelques prototypes de soupapes existent egalement, notamment celui recens e dans [STP+ 02] et celui pr esent e par la soci et e Mid e technology Corp. Nous pouvons egalement citer un micro-actionneur pour scanner optique [KBOT04] [KBK06] contr ol e en temp erature. Celui-ci utilise leet reluctance variable associ e au passage de la temp erature de Curie du mat eriau plut ot que le principe de r eorientation des variantes M1/M2 comme dans toutes les autres r ealisations. Quelques prototypes de type push-pull sont egalement propos es en Chine [WLZW05] [WLZ+ 05] [ZW07] en association avec une locomotion de type Inchworm et en Allemagne [GHU06]. Nous en avions nous-m eme propos e une version d` es 2005/2006 [GHA+ 06]. En dehors de ces quelques r ealisations issues de travaux de laboratoires de recherche, peu de r ealisations existent et pratiquement aucune en France. De plus, aucun de ces prototypes nest v eritablement utilis e industriellement. Le manque dapplications concr` etes est en grande partie d u aux dicult es de conception et de contr ole de ces dispositifs. Durant cette p eriode de recherche, nous avons pu exploiter certaines propri et es dynamiques r esultant de lhyst er esis an daugmenter la course du prototype dactionneur simple publi e dans [GHA+ 08b] en faisant appel ` a une commande hybride innovante. Celle-ci utilise des retours en arri` ere et des prises d elan assez similaires aux techniques utilis ees dans les pendules invers es pour les amener dans le demi-plan sup erieur (cf. [ Astr omF00]). Ces structures de commande hybride permettent dint` egrer ` a la fois, de la commande classique (PID) et de la commande pr edictive en couplant lalgorithme de commande ` a des simulations qui permettent ainsi de pr edire en temps r eel, le r egime actuel de fonctionnement et ainsi, de pouvoir commuter entre di erentes strat egies de commande (prise d elan ou commande lin eaire) et di erents r eglages (correcteurs adaptatifs). Dans un premier temps, ce prototype dactionneur a et e contr ol e en boucle ferm ee ` a la fois en position et en courant en suivant le sch ema-bloc de la gure 4.7.
R ef. de position Contr oleur position

PID

ampli. PWM

courant actionneur position AMFM

capteur courant capteur position

Fig. 4.7 Sch ema-bloc du contr ole en boucle ferm ee de lactionneur ` a base dAMFM.

` MEMOIRE 4.2. ALLIAGES A DE FORME MAGNETIQUE

83

La Fig. 4.8 reporte les performances obtenues avec ce contr ole classique par PID en incluant une limitation de courant permettant de ma triser les echauements et donc les probl` emes de transformation de phase. Pour ce type de contr ole, nous constatons que la plage maximale de d eplacement est de lordre de la moiti e des 6% maximum de d eformation du NiMnGa.
1400 x 1200 1000 Displacement (m) 800 600 400 200 x
c

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0 0 Measured current (A) 1 0.5 0 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 Time (s) 1.2 1.4 1.6 1.8 2 0.2 0.4 0.6 0.8 1 Time (s) 1.2 1.4 1.6 1.8 2

Fig. 4.8 R esultats exp erimentaux de commande de lactionneur simple ` a laide dun contr oleur en boucle ferm e utilisant des PID et une limitation de courant.

Les travaux de mod elisation pr esent es pr ec edemment ont permis de montrer quun actionnement dynamique permettait daugmenter les d eplacements en limitant les pertes par hyst er esis. Ce ph enom` ene a et e expliqu e en mettant en evidence les di erences dans les transferts d energie entre un mouvement dynamique (rapide) et un mouvement quasi-statique (lent) dans [GHA+ 07b]. Des prises d elan devaient donc permettre d etendre la plage de fonctionnement maximale de cet actionneur. Deux types de commande hybride ont donc et e d evelopp es an dam eliorer cette premi` ere commande. Le fonctionnement de la premi` ere commande hybride est assez simple. Il utilise, en plus du correcteur PID de position, des d etections de seuils et des mesures de d elais qui permettent alors de g en erer une prise d elan lorsque lactionneur est au bout de sa course en mode quasi-statique. La seconde commande hybride, plus perfectionn ee que la premi` ere, utilise de plus un mod` ele pr edictif de comportement an de d eclencher ces prises d elan d` es que cest n ecessaire. Les r esultats de ces deux commandes sont report es sur la Fig. 4.9 pour la premi` ere commande hybride et sur la Fig. 4.10 pour la seconde commande hybride. Ces deux commandes permettent de doubler la plage de d eplacement par rapport ` a la commande classique report e sur la Fig. 4.8 et ainsi de se rapprocher des 6% de d eformation maximale normalement atteignable par ce type de mat eriau actif. La description de la partie pr edictive de ce contr oleur a et e publi ee dans la conf erence internationale [GHA+ 06] et la partie commande ainsi que les r esultats exp erimentaux

84

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS


1400 x 1200 1000 Displacement (m) 800 600 400 200 0 0 Measured current (A) 1 0.5 0 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 Time (s) 1.2 1.4 1.6 1.8 2 0.2 0.4 0.6 0.8 1 Time (s) 1.2 1.4 1.6 1.8 2 x
c

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Fig. 4.9 R esultats exp erimentaux de commande de lactionneur simple ` a laide dun contr oleur hybride sans mod` ele de pr ediction.
1400 x 1200 1000 Displacement (m) 800 600 400 200 0 0 Measured current (A) 1 0.5 0 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 Time (s) 1.2 1.4 1.6 1.8 2 0.2 0.4 0.6 0.8 1 Time (s) 1.2 1.4 1.6 1.8 2 xc x max x min

Fig. 4.10 R esultats exp erimentaux de commande de lactionneur simple ` a laide dun contr oleur hybride avec mod` ele de pr ediction.

lont et e dans la conf erence internationale [GHA+ 07b]. Cette commande permet dexploiter au maximum le comportement non-lin eaire mod elis e dans nos pr ec edents travaux et elle permet ainsi de doubler les plages de d eplacement des actionneurs en AMFM par rapport ` a une commande classique, tout en conservant une stabilit e et une pr ecision comparable. Bien evidement, la prise d elan

` MEMOIRE 4.2. ALLIAGES A DE FORME MAGNETIQUE

85

fait n ecessairement appara tre des d epassements importants, ce qui restreindrait son utilisation ` a des applications o` u cela nest pas g enant. L etude de ce premier prototype dactionneur a mis en evidence un certain nombre davantages et de d efauts qui doivent etre judicieusement exploit es pour pouvoir concevoir des dispositifs ` a base dAMFM concurrentiels ou tout du moins compl ementaires des dispositifs utilisant dautres mat eriaux actifs. En premier lieu, il est evident que lAMFM nest pas concurrentiel pour des applications ou dautres mat eriaux sont bien implant es. En particulier sur des positionnements pr ecis et de tr` es faibles amplitudes, le choix de mat eriaux pi ezo electriques est beaucoup plus pertinent (par exemple pour les tubes de microscope ` a force atomique). De m eme, pour des applications micro et macroscopiques n ecessitant tr` es peu de dynamique, les AMF classiques ou les actionneurs thermiques sont plus performants (manchons de raccordement de durites daviation, joints d etanch eit e, bilames thermiques).

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Le champ applicatif des AMFM ne peut a priori se trouver que sur des niches ou leurs qualit es peuvent etre exploit ees et leurs d efauts masqu es. Par exemple, la pr esence dun fort hyst er esis peut- etre utilement exploit ee pour conserver une position stable ` a excitation ou alimentation nulle. Ceci permet une consommation r eduite d energie pour des applications embarqu ees de type spatial ou micro. Cependant dans ce cas, il est n ecessaire de supprimer le retour en position par pr econtrainte m ecanique (cr eation dun oset dans la courbe de comportement) sans pour autant supprimer la capacit e dactionnement bidirectionnel. Ceci peut- etre fait de mani` ere similaire ` a ce qui est fait en electronique pour les amplicateurs (passage de la classe A ` a la classe B) en utilisant un fonctionnement en push-pull ` a laide de deux actionneurs simples fonctionnant en antagonisme comme d ecrit sur la Fig. 4.11 pour remplacer le dispositif de pr e-contrainte des actionneurs simples.
Positioning stage Step 1: Linear Stable position to the left without actuator A coil supply Tunable mechanical stop Step 2: Activation of active material by suppling A coil Step 3: Stable position to the right without coil supply Linear actuator B

Displacement to the right

Fig. 4.11 Description de la conguration en actionneur push-pull utilisant deux AMFM antagonistes.

86

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

Un autre inconv enient des AMFM est leur tr` es faible rendement en terme de conversion d energie electrom ecanique. C etait d ej` a le cas pour les AMF classique mais pour les AMFM, la situation est agrav ee en raison des niveaux importants de champ magn etique (environ 1 T) n ecessaires pour d eclencher le processus de r e-orientation des phases de martensites. Pour atteindre ces valeurs, des courants importants doivent circuler dans les bobinages, ce qui cr ee dimportantes pertes par eet Joule. En raison de la diusion thermique de cette chaleur dans les AMFM, ces pertes peuvent elever la temp erature dans ces mat eriaux, ce qui conduit ` a une transformation de phase austenitique et une destruction du principe de fonctionnement de lactionneur par r e-orientation des martensites. Pour eviter ces probl` emes, nous avons d evelopp e des strat egies de contr ole par impulsion de courant. Toutes ces r` egles de conception dactionneurs AMFM ont fait lobjet dune pr esentation dans une conf erence [GHA+ 07a] qui a et e par la suite s electionn ee pour etre republi ee dans une revue [GHA+ 08a].

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Un nouveau prototype a et e concu lors du projet de n d etude ding enieur de Yann Loirat et dans le cadre du projet europ een Hydromel. Cet actionneur a et e con cu en respectant le cahier des charges suivant : cet actionneur doit etre aussi rapide que possible (grande dynamique). Cette propri et e d epend essentiellement du temps d etablissement des courants et donc de la conception des bobinages et de l electronique de puissance ; les structures m ecaniques doivent etre con cues pour eviter les jeux et les frottements (pr ecision et ecacit e) ; la temp erature du dispositif doit etre maintenue en dessous de 40 o C an d eviter une transformation en austenite ; un capteur de position doit etre inclu dans le dispositif nal et les dimensions totale doivent etre r eduites au maximum. Les enroulements ont et e optimis es en utilisant des m ethodes analytiques et num eriques par el ements nis. Les enroulements actuels permettent de cr eer un champ magn etique de 1 T ` a laide de courant de 2 A pour des dimensions de 19 25 25 mm3 . L electronique de puissance a et e con cue pour alimenter les deux bobinages par une technique de modulation de largeur dimpulsion (Pulse Width Modulation - PWM) et un capteur de d eplacement a et e int egr e au prototype nal. L electronique inclut un contr ole en boucle ferm ee du courant, un g en erateur PWM, un contr ole en boucle ferm ee de position et un contr ole de temp erature ` a laide de micro-thermocouples. La gure 4.12 repr esente le mod` ele CAO du dispositif et la gure 4.13, une photographie de lactionneur. Les dimensions totales de cet actionneur sont de 110 40 30 mm3 . Des mesures de performances ont pu etre r ealis ees sur ce dispositif de micropositionnement : Plage de d eplacement : un d eplacement total dapproximativement 1 mm est d esormais possible et le d eplacement maximal est plus important en mode dynamique quen mode quasi-statique comme nos mod` eles et nos pr edictions th eoriques le laissaient pr evoir. Ces r esultats sont report es sur

` MEMOIRE 4.2. ALLIAGES A DE FORME MAGNETIQUE

87

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Fig. 4.12 Mod` ele CAO de lactionneur push-pull utilisant des AMFM antagonistes.

Fig. 4.13 Photographie de lactionneur push-pull utilisant des AMFM antagonistes. la Fig. 4.14 pour ces deux modes de fonctionnement. Pour un mouvement sans charge, la constante de temps du contr ole de position est de lordre de 10 milliseconds. La force maximale de bloquage est situ ee entre 2 et 3 MPa. Rendement et contr ole par impulsions de courant : comme expliqu e pr ec edement, un contr ole par impulsions de courant est possible (cf. Fig. 4.15). Ce mode de fonctionnement procure deux avantages au dispositif. Premi` erement, lactionneur peut conserver une position sans alimentation : cela

88

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

permet de limiter l energie dalimentation et donne au dispositif un tr` es bon rendement en mode statique. Deuxi` emement, lactionneur peut etre aliment e par des impulsions de courant pour changer sa position : cela permet de r eduire fortement la puissance moyenne et ecace des courants et donc de r eduire drastiquement les pertes par eets Joule. Le courant maximal peut etre tr` es fortement augment e sans echauement important du dispositif et sans provoquer de transformation de phases aust enitique. R esolution et precision : la r esolution de lactionneur a et e mesur ee ` a laide dun train dimpulsion (cf. Fig. 4.16). La pr ecision maximale de ce microactionneur est actuellement de lordre du microm` etre. Les actionneurs ` a base dAMFM sont donc une alternative viable pour des dispositifs de positionnement dans cette plage de pr ecision.

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Fig. 4.14 Mesures de d eplacement de lactionneur ` a base dAMFM (mode de fonctionnement quasi-statique et dynamique).

Fig. 4.15 Contr ole par impulsions de courant de lactionneur utilisant des AMFM. Le prototype de la Fig. 4.13 peut egalement etre contr ol e en boucle ferm ee a la fois en position et en courant comme repr ` esent e sur le sch ema-bloc de

` MEMOIRE 4.2. ALLIAGES A DE FORME MAGNETIQUE

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Fig. 4.16 R esolution de lactionneur utilisant des AMFM.

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la gure 4.7 (contr ole lin eaire du courant et non par impulsion dans ce cas). Les r esultats principaux concernant cette derni` ere version dactionneur utilisant les AMFM a et e assez r ecemment soumis ` a une revue internationale et est actuellement en cours d evaluation. Ces syst` emes de contr ole sont susants pour donner une pr ecision de positionnement de quelques microm` etres cependant un des avantages des mat eriaux actifs est de les utiliser aussi bien en tant quactionneur quen tant que capteur. Nous avions envisag e cette possibilit e pour les AMFM d` es 2005 dans un workshop sp eciquement d edi e aux AMFM [GHA+ 05] et nous y avons beaucoup retravaill e depuis. La gure 4.17 montre des r esultats exp erimentaux que nous avons publi e dans [GHA+ 08b] et qui valident cette id ee. Un echelon de 100 V est appliqu e sur le bobinage pour lAMFM bloqu e` a z =0 puis pour un AMFM libre de contraintes initialement ` a z = 1. Nous voyons clairement un changement de la r eponse en fonction de z et donc une possibilit e dutilisation des AMFM en self-sensing pour estimer la d eformation du mat eriau et donc le d eplacement de lactionneur. Peu d etudes concernant cette possibilit e ont et e publi ees dans la litt erature. [SPU05] utilise une mesure de linductance des bobines comme param` etre dentr ee des estimateurs, cependant, cette etude a et e r ealis ee pour un faible champ magn etique et dans des conditions exp erimentales sp eciquement d edi ees ` a ces mesures. Nos travaux ont, quand ` a eux, et e r ealis es dans les conditions de fonctionnement standards de lactionneurs (champs magn etiques elev es, saturation des mat eriaux et perturbations due aux convertisseurs statiques) et dans ce cas, lestimation de position par self-sensing est beaucoup plus d elicate. ` lheure actuelle, les estimations de positions ` A a laide du self-sensing sont donc dune pr ecision bien inf erieure ` a celle obtenue par le capteur de d eplacement. Cependant la possibilit e dutilisation des AMFM en self-sensing est valid ee et les r esultats pourront certainement etre am elior es dans le futur. Les travaux futurs concernant le contr ole de ces actionneurs sorientent vers lutilisation des m ethodes hamiltonienne ` a ports qui sont parfaitement compatibles avec la mod elisation thermodynamique/hamiltonienne augment ee, que nous avons d evelopp ee dans ces travaux.

90

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

1.6 1.4 1.2 1 0.8 0.6 0.4 0.2 0 0 0.002 0.004 0.006 0.008 Time (s) 0.01 0.012

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Fig. 4.17 Possibilit e dutilisation du self-sensing pour les AMFM : mesure du courant en fonction du temps pour un echelon de tension de 100 V pour z = 1 (modelisation : lignes continues et resultats exp erimentaux : croix) et pour z = 0 (mod elisation : lignes pointill ees et r esultats exp erimentaux : cercles).

Pour nir, Il est egalement important de noter quil ny a pour linstant aucun int er et ` a utiliser lAMFM en mode de conversion d energie par transformation de phase (fonctionnement des AMF thermiques classiques) puisque dautres mat eriaux et notamment le NiTi ont des propri et es bien plus int eressantes dans ce mode de conversion. En eet, le NiTi na pas besoin d etre monocristallin et est donc bien moins fragile, bien moins cher et beaucoup plus facile ` a mettre en uvre. Cependant, nous avons toutefois etudi e la mod elisation du comportement anisotherme de ces mat eriaux. Une partie de ces r esultats a et e publi ee r ecemment dans une conf erence internationale [GLH+ 10] et la totalit e a et e soumise ` a une revue internationale et est encore en cours d evaluation.

4.3

Mat eriaux pi ezo electriques

Dans plusieurs ouvrages dorigine allemande, le terme adaptronique est utilis e pour d ecrire des structures int egrant ` a la fois des fonctions dactionnement, de mesure et de contr ole [Jan07]. Ce terme dadaptronique renvoie alors aux appellations plus connues sur le plan international sous les noms de smart structures, smart materials, intelligent systems, adaptive structures ou encore active structures [HG06]. La notion dadaptronique d esigne un syst` eme command e en boucle ferm ee dans lequel au moins un el ement en g en eral un mat eriau actif est utilis e de mani` ere multifonctionnelle. Lorsque nous r eduisons l echelle des syst` emes m ecatroniques en syst` emes micro-m ecatroniques, la miniaturisation saccompagne n ecessairement dune int egration fonctionnelle. Cette tendance g en erale pousse les syst` emes micro-m ecatroniques ` a poss eder une densit e fonctionnelle de plus en plus grande, convergeant ainsi vers le concept dadaptronique. Cette section se propose de pr esenter les d eveloppements que nous avons r ealis es sur ces int egrations fonctionnelles et adaptroniques en utilisant les mat eriaux pi ezo electriques.

Current (A)

ELECTRIQUES 4.3. MATERIAUX PIEZO

91

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Mes travaux sur les mat eriaux pi ezo electriques ont d ebut e d` es mon arriv ee ` a Besan con puisque la pince int egr ee ` a la premi` ere station de micro-manipulation utilisait des bimorphes pi ezo electriques. Dans ce cadre, jai donc pris part d` es 2002 aux travaux de recherche du laboratoire sur la mod elisation et la commande des syst` emes pi ezo electriques. Mes travaux sur ce sujet nont cependant pris toute leur ampleur que plus r ecemment (2006/2007) ` a la suite dune collaboration entre notre d epartement de recherche et le CEA de Fontenay-aux-Roses. En eet, le CEA avait d evelopp e un logiciel doptimisation topologique de structures exibles (FlexIn) pour concevoir des dispositifs mini ou micro-robotiques passifs et il voulait en d evelopper une extension qui pourrait prendre en compte un actionnement et une mesure int egr es. Il sagissait d` es lors de sinvestir dans des probl` emes doptimisation de structures exibles contenant des actionneurs et des capteurs int egr es. En raison de leur facilit e de mod elisation et de commande, les mat eriaux piezo electriques2 furent assez vite et assez naturellement choisis comme mat eriaux actifs int egr es pour lactionnement et la mesure de ces structures topologiques d eformables.

4.3.1

Conception optimale de structures exibles

Lactionnement ` a base de mat eriaux pi ezo electriques est largement utilis e pour la conception de syst` emes micro-m ecatroniques. Nous lavons nous-m eme utilis e pr ec edement pour concevoir la micropince d ecrite dans le chapitre 2. Contrairement aux AMFM utilis es dans les dispositifs micro-m ecatroniques de la section pr ec edente, les mat eriaux pi ezo electriques pr esentent de faibles d eformations (de lordre de 0,1%) qui n ecessitent dimaginer des sch emas dactionnement maximisant les courses des actionneurs (jusqu` a quelques dizaines de microm` etres) sans r eduire fortement les forces d evelopp ees ` a leur extr emit e. La plupart des m ethodes existant dans la litt erature pour concevoir de mani` ere syst ematique des structures actionn ees amplicatrices sorientent vers lemploi de structures exibles. En eet, les m ecanismes d eformables monolithiques ne posent pas les probl` emes dassemblage usuels que lon peut rencontrer lors des phases de fabrication des m ecanismes et am eliorent la pr ecision du m ecanisme du fait de labsence de frottement aux niveaux des articulations. Diverses m ethodes topologiques de synth` ese de structures exibles passives bas ees sur des m ethodes doptimisation existent : m ethode doptimisation de param` etres structurels [CF00], de forme [AJT04], dhomog en eisation [BS03]. Pour autant, peu de travaux traitent du probl` eme doptimisation multidisciplinaire de structures actives. Les travaux que nous avons men es en collaboration avec le CEA de Fontenay-aux-Roses ont donc consist e` a d evelopper des outils de conception optimale pour des structures exibles, actives et sensitives. La m ethode, impl ement ee dans un logiciel baptis e FlexIn, repose sur un algorithme g en etique multicrit` eres pour optimiser la topologie (lactionnement, la mesure et les conditions aux limites) de structures exibles d ecrites par un assemblage de blocs exibles el ementaires. Ces blocs sont des r eseaux de poutres d ecrites
2 En eet, de tous les mat eriaux actifs, les mat eriaux pi ezo electriques sont actuellement ceux dont le comportement est le plus lin eaire m eme si il existe toutefois des probl` emes dhyst er esis a ` tension elev ee et des probl` emes de creep (relaxation des charges au cours du temps). De plus, leur commande en tension les rend relativement ais es a ` utiliser et a ` commander.

92

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

par un mod` ele aux el ements nis. Pour eviter de consid erer toute la combinatoire des agencements possibles de poutres, le m ecanisme est sous-structur e en blocs exibles de rigidit es variables. Ces blocs sont d enis comme des agencements pr ed enis de plusieurs poutres au sein dun encombrement donn e. Ils sont caract eris es par leur forme g eom etrique, leur mat eriau, leurs dimensions, puis sont assembl es de fa con ` a constituer la structure du m ecanisme d eformable. Cet assemblage permet ainsi la conception nale de structures monolithiques. M ethode des blocs Au d epart de notre collaboration avec le CEA, une biblioth` eque de blocs passifs utilis ee par un algorithme g en etique doptimisation etait d ej` a accessible, elle avait et e d evelopp ee durant la th` ese de P. Bernardoni [Ber04]. La th` ese de M. Grossard [Gro08] avec qui jai pu travailler activement au cours de cette p eriode sest attach ee ` a compl eter cette biblioth` eque par des el ements pi ezo electriques actifs (actionneurs). La th` ese de R. El Koury Moussa que je co-encadre actuellement avec le Prof. N. Chaillet et le Dr Grossard se propose de la compl eter par des el ements pi ezo electriques sensitifs (capteurs). La Fig. 4.18 repr esente les di erents blocs el ementaires actuellement disponibles dans cette biblioth` eque.

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Fig. 4.18 Biblioth` eque de blocs exibles passifs (bleu), actifs (rouge) et sensitifs (vert) impl ement ees dans FlexIn. Ces di erents blocs, compos es dassemblages de poutres el ementaires faites de blocs monomat eriaux pi ezo electriques, permettent la synth` ese dune grande

ELECTRIQUES 4.3. MATERIAUX PIEZO

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vari et e de topologies. Ces blocs ont trois types de fonctions possibles : soit les blocs sont aliment es en tension et font oce simultan ement de structure et dactionneurs int egr es ; soit les blocs sont branch es a ` une electronique de mesure et font oce simultan ement de structure et de capteurs int egr es ; soit ils ne sont pas aliment es, auquel cas ils ne jouent que le r ole de structure m ecanique passive. Le logiciel de conception optimal permet de sp ecier le probl` eme de conception en imposant entre autres, des noeuds de sortie, des noeuds bloqu es, des conditions de sym etrie, le nombre de blocs et les dimensions g en erales de la structure nale. La phase compl` ete de conception passe ainsi par des etapes qui peuvent etre repr esent ees par le sch ema de la Fig. 4.19 et sont r esum ees ci-dessous : sp ecication dun probl` eme doptimisation sur la base dun cahier des charges ; traitement du probl` eme doptimisation par lalgorithme g en etique ; s election dune solution pseudo-optimale vis-` a-vis de di erents crit` eres parmi lensemble de solutions retourn ees par lalgorithme multi-objectif ; interpr etation et anage de lassemblage de blocs de cette structure ; export du mod` ele de la structure en vue de simulations compl ementaires ; r ealisation du prototypage de la solution retenue et tests exp erimentaux. Dans ces d eveloppements, nous avons fait lhypoth` ese que les m ecanismes exibles etaient soumis ` a des d eformations structurelles r esultant principalement de la d eformation de exion des poutres dans le plan. Ainsi, les mod` eles des blocs sont obtenus en consid erant une formulation el ements nis (EF) des poutres du type Navier-Bernoulli. Les param` etres structurels de chaque bloc rectangulaire sont la hauteur, la largeur et l epaisseur. Les caract eristiques mat eriaux de chaque bloc sont param` etr es par le module de Young, le coefcient de Poisson, la densit e, ainsi que les coecients pi ezo electriques. Pour permettre le calcul des di erents crit` eres doptimisation, FlexIn utilise le mod` ele EF de chaque bloc de la biblioth` eque. Pour obtenir ce mod` ele, un mod` ele de poutre pi ezo electrique elementaire a et e d evelopp e. Lassemblage de poutres pi ezo electriques el ementaires permet la construction de blocs actifs de topologies vari ees. Les di erentes matrices de chaque bloc sont calcul ees num eriquement en consid erant chaque combinaison des valeurs discr` etes permises par les variables doptimisation, i.e. mat eriaux et taille des blocs. Ainsi, le calcul de lensemble des matrices est fait une seule fois au d ebut de lalgorithme, permettant ainsi de gagner sur les temps de calculs. De cette structuration par blocs, il est possible de d eduire le comportement dynamique global de la structure par assemblage matriciel [Gir97]. Le mod` ele dynamique discr etis e du comportement non dissipatif des structures est ramen e sous la forme canonique. Celle-ci a d ej` a et e utilis ees sous des formes tr` es proches dans la mod elisation des structures vibratoires discr` etes pr esent ees dans le chapitre 2. Cependant dans le cas de cette section, sajoute une equation donnant la valeur des sorties ` a commander yco (en position) et une equation donnant la valeurs des sorties ` a observer yco (en

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CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

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Fig. 4.19 D emarche d evelopp ee pour la conception optimale de structures exibles adaptroniques. charge electrique) :

Le mod` ele dynamique de ce m ecanisme exible est param etr e par un triplet (p, r, s) dentiers qui d enissent la taille des matrices utilis ees dans l ecriture du mod` ele. Cette mod elisation fait intervenir : n , qui repr les vecteurs xn et x esentent respectivement les d eplacements et acc el erations nodaux de la structure treillis. Ils sont de dimension p1 avec p le nombre de degr es de libert e (au sens el ements nis) de la structure (p = 3nombre de nuds, dans le plan) ; le vecteur u, dont les composantes d ependent du temps et qui est de

n + K xn = E u Mx yco = F xn yob = L xn

(4.13)

ELECTRIQUES 4.3. MATERIAUX PIEZO

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taille s 1. Ce vecteur d enit les actions de commande sur le syst` eme (fonction actionneur des poutres pi ezo electriques). E est donc la matrice de r epartition des entr ees de commande sur le syst` eme ; le vecteur des sorties ` a commander yco est de dimension r 1. F est donc la matrice de r epartition des nuds ` a commander. Dans une premi` ere impl ementation, cette matrice, de taille r p, est uniquement constitu ee de 0 et de 1. Les 1 sont plac es aux emplacements nodaux correspondant aux sorties du m ecanisme et les 0 sont dispos es aux emplacements des nuds libres qui ne d esignent pas de sortie m ecanique. le vecteur de sortie ` a observer yob est de dimension 1 1, cest donc un scalaire. Il permet dobtenir la charge totale accumul ee sur les poutres pi ezo electriques servant de capteur. L est donc la matrice de taille 1 p qui permet de sp ecier la r epartition des poutres servant de capteur pi ezo electrique dans la structure. Avec cette notation, le vecteur de sortie y est s epar e en deux, yco les sorties de position qui doivent etre contr ol ees mais ne devraient pas etre mesur ees et yob la sortie en charge qui ne sera pas contr ol ee mais sera mesur ee et servira de variable de reconstruction pour les autres sorties. Consid erant des sorties ` a commander en d eplacement, FlexIn est ainsi capable doptimiser la exibilit e dynamique (cas dun actionneur en force), ou la transmissibilit e dynamique (cas dun actionneur en d eplacement) dun m ecanisme ainsi que le placement des capteurs et des actionneurs dans la structure treilli. Les travaux concernant la mod elisation des blocs actifs ont et e publi es dans les revues [GRLCB08] et [GCB+ 10b] et ceux plus r ecents concernant les blocs sensitifs ont et e publi es lors de la conf erence [MGC+ 10]. Crit` eres doptimisation Au d epart de notre collaboration avec le CEA, seuls des crit` eres doptimisation statiques (d eplacements et forces maximals) etaient implant es dans le logiciel. Nous avons tent e dam eliorer lalgorithme en proposant de nouveaux crit` eres doptimisation. An de pouvoir prendre en compte de nouvelles strat egies de conception optimale de ces syst` emes, les mod` eles dynamiques pr ec edents ont et e r e- ecrit sous une forme plus adapt ee ` a la d enition de crit` eres doptimisation des performances dynamiques. De nouveaux crit` eres num eriques ont alors et e introduits dans le logiciel pour tenter de r epondre, d` es l etape amont de conception du m ecanisme, aux probl ematiques li ees ` a lidentication, a lobservation et ` ` a la commande des syst` emes exibles. De m eme que dans mes travaux de recherche pr esent es dans le chapitre 2 de ce m emoire, les equations dynamiques ont dabord et e r e- ecrites dans la base modale du syst` eme sans amortissement, cest-` a-dire dans la base qui diagonalise les matrices du syst` eme dynamique. Pour cela, il est n ecessaire de calculer les coordonn ees modale q ainsi que les valeurs et vecteurs propres Q de ce syst` eme qui vont nous permettre de d enir une nouvelle base de projection des positions des nuds :
p

xn (t) =
i=1

Q q(t)

(4.14)

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CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

Les valeurs propres sont li ees aux fr equences de r esonance de la structure non amortie et les vecteurs propres sont les d eform ees modales correspondantes. Ces coordonn ees modales ont ensuite et e utilis ees pour d enir un vecteur d etat x(t) de dimension N 1 (o` u N = 2p) sous la forme particuli` ere suivante : x= 1 q 1 q 1 p ... q p qp
t

(4.15)

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Dans ce choix de vecteur d etat, i repr esente la pulsation du ie mode et qi le vecteur de d eplacement modal associ e. Cette forme est parfois utilis ee en dynamique des structures o` u le nombre de degr es de libert e est tr` es important [LG93] parce quelle pr esente lavantage davoir toutes ses composantes dans la m eme unit e ce qui permet d eviter des probl` emes num eriques d us ` a un mauvais conditionnement des matrices. Le choix de variables d etat que nous avons fait dans ces travaux est donc di erent des choix qui sont fait classiquement et que nous avons fait dans les autres parties de ce m emoire, ` a savoir de type position/vitesse (cf. [HL93] pour une application vibratoire similaire) pour une mod elisation lagrangienne et de type position/quantit e de mouvement pour une mod elisation hamiltonienne. Le syst` eme dynamique de la structure exible etant lin eaire et propre, il peut etre r e- ecrit sous la forme classique de repr esentation d etat : = Ax + Bu x (4.16) y = Cx La matrice d etat A est implicitement fonction des caract eristiques de certains param` etres de sp ecications de la structure m ecanique (comme la conguration, la topologie, le couple mat eriau(x)/ epaisseur). La matrice de commande B est plus directement li ee au type et ` a lemplacement des actionneurs, et la matrice dobservation C ` a lemplacement des sorties m ecaniques ` a contr oler o` u electrique a mesurer. ` Dans les coordonn ees physiques, le nombre de degr es de libert e dun mod` ele discr etis e de structure par la m ethode EF est g en eralement tr` es important et ce, dautant plus que la g eom etrie laisse appara tre un nombre de nuds important. Cependant, pour la commande, et notamment pour lutilisation des m ethodologies de synth` ese modernes, il est indispensable de se ramener ` a des mod` eles identi es dordre le plus faible possible. La r eduction de mod` ele est donc indispensable an de se ramener ` a un syst` eme dordre raisonnable. La technique de la troncature dans la base de repr esentation modale peut etre un moyen de r eduire de mani` ere drastique le nombre de degr es de libert e contribuant eectivement ` a la r eponse du m ecanisme. Cette technique consiste ` a n egliger les modes dordre elev es dans une repr esentation de type entr ee/sortie o` u la fonction de transfert G(s) est d enie par la formule classique [Gaw04] :
p p p

G (s) =
i=1

Gi (s) =
i=1

Ci (sI Ai )

Bi =
i=1

ci bt i 2 s2 + 2i i s + i

(4.17)

` partir de lexpansion modale du transfert entr A ee(s)-sortie(s), la troncature modale peut sav erer etre une op eration d elicate. Elle passe n ecessairement par un choix ` a faire sur le compromis entre lordre du mod` ele tronqu e et sa pr ecision de repr esentation du mod` ele complet. Sans que lordre ne deviennent trop elev e,

ELECTRIQUES 4.3. MATERIAUX PIEZO

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il faut veiller ` a ce que le contenu fr equentiel ne soit pas insusant en ne retenant quun nombre trop faible de modes. Pour eviter ce risque et sassurer de la bonne repr esentativit e du mod` ele tronqu e, il est g en eralement n ecessaire en post-traitement de conduire des simulations avec un mod` ele de structure (mod` ele de simulation) le plus n possible, qui inclut tous les modes poss edant une contribution signicative dans la r eponse du syst` eme. Cette remarque nous k a pouss e ` a d enir un crit` ere dynamique doptimisation J1 qui permette de sassurer que la troncature modale est acceptable. La base dite equilibr ee dun syst` eme repr esent e sous forme d etat est d enie comme la base dans laquelle les grammiens de commandabilit e WC et dobservabilit e WO associ es ` a la repr esentation d etat sont diagonaux et egaux [GL96] : WC = WO = W = diag 1 . . . N (4.18)

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Les scalaires i sont appel es les valeurs singuli` eres de Hankel (VSH ) du syst` eme. Ces termes re` etent les commandabilit e et observabilit e jointes des variables d etat dans la base equilibr ee. La technique de Moore [Moo81] qui consiste ` a eliminer les etats peu commandables et observables, se r ev` ele tr` es pr ecieuse lorsquil est n ecessaire d elaborer un mod` ele r eduit. Les VSH sont donc une bonne indication de la pr ecision du mod` ele r eduit. Dans le cas sp ecique des structures exibles, les VSH peuvent etre rapidement approch ees par lexpression suivante : b i 2 ci 2 (4.19) i = 2 4i i D` es l etape de conception du syst` eme exible, la r eduction optimale du mod` ele dynamique peut etre prise en compte dans FlexIn gr ace ` a un nouk veau crit` ere doptimisation J1 qui utilisera le calcul de ces VSH. Par son impl ementation logicielle, ce crit` ere num erique doit r epondre ` a une double exigence : dune part, il doit permettre de laisser le concepteur libre de choisir le nombre k de modes vibratoires dominants de la structure ; dautre part, il doit permettre de quantier lerreur caus ee par lapproximation du mod` ele complet en un mod` ele tronqu e aux k premiers modes. Les autorit es de contr ole sur les k premiers modes doivent ainsi etre max` linverse, celles sur les modes plus haute fr imis ees. A equence situ es hors de la i` eme bande dint er et (modes sup erieurs au (k + 1) mode) sont minimis ees pour limiter ` a terme les risques de d estabilisation (spillover ). Ces etats modaux caract eris es par de faibles VSH sont faiblement commandables et observables et k peuvent ainsi etre ecart es du mod` ele. Le crit` ere J1 qui a et e propos e dans nos travaux avec le CEA et qui doit etre maximis e, prend ainsi la forme suivante :
k

i
k J1

i=1 p

(4.20) i

i=k+1

o` u les i sont ordonn ees selon les modes i croissants. La d enition de la norme innie . peut permettre une interpr etation graphique du crit` ere : i est

98

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

directement proportionnelle ` a lamplitude du pic de r esonance Gi

2i

(4.21)

k ce qui laisse augurer par lutilisation du crit` ere J1 une forme de la r eponse fr equentielle de la structure telle que d ecrite ` a la gure 4.20.

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Fig. 4.20 Forme de la r eponse fr equentielle en amplitude dun syst` eme dans k le cas SISO favoris ee par lutilisation du crit` ere J1 : lamplitude des pics de r esonance est maximis ee dans la fen etre fr equentielle [0; k ] et est minimis ee sur [k ; +]. Ce crit` ere a et e implant e avec succ` es dans le logiciel comme cela sera v eri e sur le prototype de micropince con cu avec ces outils et pr esent e dans la prochaine section. Au cours de ces travaux, nous navons pas propos e que ce seul crit` ere dynamique mais plusieurs autres. Ceux-ci ne seront pas d etaill es dans ce m emoire et peuvent etre retrouv es dans nos publications [GCB+ 10a] et [GCB+ 10b]. Seules quelques grandes lignes de ces travaux seront rappel ees ci-dessous.
k Un second crit` ere propos e, J2 ,a et e un crit` ere permettant daugmenter la robustesse et les performances de la commande. Celui-ci a et e con cu pour etre associ e` a des techniques de contr ole dites High Authority Control/Low Authority Control (HAC/LAC) sp eciquement d edi ees au contr ole des structures exibles faiblement amorties [Pre02]. Ces techniques de contr ole sont particuli` erement int eressantes pour des structures collocalis ee3 ou lorsque la r eponse fr equentielle en boucle ouverte de la structure exible pr esente une alternance p oles/z eros. En eet, dans ce cas, la commande HAC/LAC assure tout dabord de bonnes performances de contr ole parce que cette approche conduit ` a des lois de commande simples ` a calculer et ` a impl ementer qui consistent ` a amortir les modes dominants [AFM07]. Ces techniques de commande am` enent, dautre part, un gain en robustesse quil est possible dexploiter pour stabiliser a posteriori une boucle de compensation globale assurant les performances de suivi de consigne [MI83].
3 Cest-` a-dire des structures o` u les capteurs et les actionneurs sont situ es aux m emes emplacements.

ELECTRIQUES 4.3. MATERIAUX PIEZO

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k Ainsi, le second crit` ere d evelopp e J2 vise ` a forcer articiellement le comportement dalternance p oles/z eros jusquau p ole k . La d enition de ce crit` ere a, en partie, et e inspir e des travaux de [Mar78] sur des structures exibles spatiales.

Des travaux ont egalement et e conduits r ecemment pour proposer de nouveaux crit` eres doptimisation an daugmenter la quantit e de charge accumul ee sur les structures pi ezo electriques servant de capteur. Ces travaux sont encore en cours et devraient nous permettre de nous passer des mesures externes en utilisant un observateur bas e sur les capteurs int egr es. Les r esultats actuels ont pu etre pr esent es dans [MGB+ 10] et [MGC+ 10].

4.3.2

Application ` a la conception et ` a la commande dactionneurs

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La m ethode optimale de synth` ese pr esent ee pr ec edemment a et e mise ` a prot pour concevoir plusieurs structures micro-m ecatroniques, mais seule une sera pr esent ee dans ce m emoire. Il sagit dune structure microrobotique monolithique pi ezo electrique capable de r ealiser une fonction de pr ehension telle une micropince et faite de deux doigts de serrage sym etriques et ` a mobilit e ind ependante. La topologie du doigt-actionneur gauche est choisie comme param` etre doptimisation. Elle est d enie par lassemblage de blocs el ementaires actifs et/ou passifs dans la (2 2)-matrice de maillage, sous les contraintes dimensionnelles des blocs donn ees par la Fig. 4.21. Le nombre de blocs actifs de la structure est laiss e libre au cours de loptimisation, il est compris entre 1 et 4. La di erence de potentiel Vgauche doit induire une d eformation globale du doigt de pr ehension fournissant : un mouvement douverture et de fermeture ; lapplication dune force de r eaction Fm sur lobjet saisi dans la direction de laxe xR (cf. Fig. 4.21). Enn, les nuds ` a la base de la structure-treillis d enissent les conditions aux limites dencastrement et peuvent etre laiss es, tous ou en partie, bloqu es en d eplacement et rotation par loptimisation (cf. Fig. 4.21). Deux premiers crit` eres m ecaniques relatifs aux performances du syst` eme en r egime quasi statique ont et e consid er es au cours de loptimisation multicrit` ere : la maximisation de la d eexion selon la direction xR permet de tendre vers une amplication des faibles d eplacements inh erents ` a la nature de lactionnement pi ezo electrique ; la force de r eaction m ecanique ` a sortie bloqu ee est maximis ee au nud de sortie pour permettre datteindre des performances adapt ees ` a une t ache de micromanipulation.
k k Par ailleurs, les crit` eres J1 et J2 ont et e consid er es simultan ement aux deux crit` eres m ecaniques statiques pr ec edents. Pour cette application, le nombre k de modes dominants a et e choisi egal ` a 2 et lalternance est egalement souhait ee jusqu` a ce m eme second mode, k = 2. Apr` es simulations, ces choix sur k et k apparaissent comme un compromis int eressant entre le cas restrictif k = 1 qui limite la combinatoire du probl` eme et le cas o` u le nombre excessif de modes

100

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

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Fig. 4.21 Sp ecications des param` etres du probl` eme doptimisation pour le doigt de pr ehension gauche.
Crit` eres evalu es D eplacement libre (m) Force de blocage (N ) 2 J1 2 J2 Solution

10,69 0,84 5842,35 2

Tab. 4.1 Performances th eoriques evalu ees par FlexIn (pour une di erence potentiel electrique Vgauche = 200 V).

dominants impliquerait a posteriori lobtention dun mod` ele d etat dordre elev e. Les valeurs damortissements modaux du syst` eme ont et e arbitrairement choisies egaux ` a 1 %. Lhypoth` ese de structures faiblement amorties est ainsi respect ee, 2 2 laissant l ecriture des crit` eres J1 et J2 valide. Parmi le panel de solutions pseudo-optimales obtenues, une solution en particulier a et e etudi ee puis con cue. Celle-ci est caract eris ee par de tr` es bonnes 2 2 propri et es m ecaniques, ainsi que de bonnes valeurs pour les crit` eres J1 et J2 (cf. tableau 4.1). La topologie de la structure correspondante est repr esent ee sur la Fig. 4.22 et un prototype est pr esent e sur la Fig. 4.23. Le comportement dynamique de la structure r ealis ee a pu etre identi e gr ace ` a une etude harmonique (cf Fig. 4.24). De par le caract` ere optimal de cette solution, les deux premiers modes r esonants sont bien dominants par rapport aux modes r esiduels plus hautesfr equences et lalternance d esir ee des p oles et z eros est maintenue dans le spectre dint er et. Ce comportement particulier du syst` eme, nous a ainsi permis de r ealiser une identication fr equentielle de sa dynamique en ne consid erant que ces deux modes exibles, impliquant de ce fait lobtention dun mod` ele r eduit dordre 4. Celui-ci est egalement report e sur la Fig. 4.24. Au d enominateur de

ELECTRIQUES 4.3. MATERIAUX PIEZO

101

Fig. 4.22 Vue 3D de la micropince pi ezo electrique montrant les pistes d electrodes sup erieures pour les doigts gauche et droit.

Fig. 4.23 Photographie du prototype de la micropince usin ee par d ecoupe laser.

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cette fonction de transfert, les pulsations naturelles ni et les amortissements i ont et e d etermin es ` a partir des relev es exp erimentaux report es dans le tableau 4.2. La comparaison de la r eponse fr equentielle identi ee avec celle observ ee par lexp erimentation indique que le mod` ele du quatri` eme ordre traduit convenablement les premi` eres dynamiques vibratoires, avant la phase de roll-o d ebutant a 2 1, 5 kHz 9, 4 krad/s (cf Fig. 4.24). `
1 1, 97 % n1 (rad.s1 ) 1597, 1 2 2, 12 % n2 (rad.s1 ) 5934, 1

Tab. 4.2 Param` etres modaux identi es pour d enir la fonction de transfert identi ee (Pour indication, n1 correspond ` a une fr equence de 254, 1 Hz, n2 ` a 944, 4 Hz).

Au cours de cette p eriode, des travaux concernant le d eveloppement de commande ont egalement et e r ealis es non seulement sur limplantation et la validation en temps r eel de la commande HAC/LAC mais egalement sur des commandes RST et H . Ces dispositifs de contr ole utilisaient dans un premier temps une mesure ext erieure de la d eexion de sortie gr ace ` a un capteur laser de position. Ces trois commandes ont donn e des r eponses et des performances assez similaires mais le respect des crit` eres doptimisation a permis au nal de se contenter dune commande HAC/LAC dordre moins elev e et donc plus facile ` a impl ementer exp erimentalement que les deux autres. Des travaux ont egalement et e r ealis es sur la compensation des non-lin earit es (hysteresis) des mat eriaux pi ezo electriques en utilisant des mod` eles de Preisach et de Prandl. Ces travaux se poursuivent encore. La part la plus importante de nos travaux actuels sur cette th ematique concerne lint egration de capteurs pi ezo electriques et leur utilisation an de se passer de la mesure ext erieure ` a laide du capteur laser. Les r esultats de ces recherches permettront, nous lesp erons, de proposer un syst` eme compl` etement adaptronique o` u les fonctions structures, actionnements et mesures sont totalement int egr ees.

102

CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

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Fig. 4.24 Diagramme de Bode exp erimental de la fonction de transfert de d eexion (sortie = x en m et entr ee U en Volt) et diagramme de Bode identi e par un mod` ele lin eaire dordre 4 (pointill es).

4.4

Conclusion sur la p eriode de recherche

Les r esultats obtenus concernant les AMFM sont tr` es satisfaisants et placent aujourdhui notre equipe parmi les meilleurs equipes mondiales en mod elisation dynamique et en conception dactionneurs ` a base dAMFM. En particulier au niveau fran cais, nous sommes pratiquement la seule equipe ` a travailler sur ce sujet dicile. Malgr e toutes ces avanc ees, de nombreux points restent encore a approfondir pour mod ` eliser plus nement linuence des ph enom` enes thermiques sur les changements de phase aust enite/martensite. En eet, nos travaux de recherche se sont pour linstant essentiellement focalis es sur le principe de r eorientation entre di erentes phases de martensite de ces mat eriaux plut ot que sur la transformation de phase austenite/martensite. Cependant, ce dernier point fait d ej` a lobjet dune etude importante pour les AMF classiques et ne pr esente donc pas le caract` ere aussi innovant que les recherches que nous avons entreprises sur la r eorientation de martensites. De plus, il pr esente moins dint er et en terme dactionnement en raison dun temps de r eponse plus long que lactionnement magn etique puisque il met en uvre un contr ole des ph enom` enes thermiques forc ement plus lent. Quelques nouveaux travaux sur la mod elisation du comportement de ces mat eriaux sont donc envisag es ` a lavenir, mais leur place dans mes activit es de recherche va se r eduire au prot de travaux sur leur commande non-lin eaire. La derni` ere version de prototype dactionneur ` a base dAMFM du laboratoire a et e con cue et r ealis ee au cours de lann ee 2008/2009 dans le cadre dun projet europ een Hydromel o` u nous devions concevoir des actionneurs de haute pr ecision. Le prototype correspondant a et e fourni dans les temps mais malgr e ses qualit es intrins` eques, je pense quil nest actuellement pas encore optimal car sa commande nexploite pas encore susament les propri et es sp eciques non-lin eaires des AMFM. Bien que les mod` eles actuellement utilis es soient tr` es

4.4. CONCLUSION SUR LA PERIODE DE RECHERCHE

103

complets et quils aient pu etre valid es exp erimentalement, les ph enom` enes complexes non lin eaires, observ es et mod elis es, rendent la commande de ces dispositifs tr` es d elicate et actuellement encore probl ematique. Les r esultats de ces travaux scientiques ont et e bien reconnus par la communaut e scientique puisque deux revues et quatre conf erences internationales ` a comit e de lecture ont d ej` a et e accept ees pour publications. Pour cette th ematique, je suis largement ` a linitiative du d ebut de ces travaux au sein du d epartement AS2M puisque le sujet de DEA que jai propos e et qui a et e choisi par J.Y. Gauthier etait le premier du d epartement sur ce th` eme. Les premiers r esultats ont et e si encourageants que ces travaux ont et e poursuivis par une th` ese de doctorat en collaboration avec le d epartement de m ecanique appliqu ee et du professeur Lexcellent. La qualit e des recherches produites au cours de la th` ese de J.Y. a et e tr` es bien reconnue et montre la tr` es forte pluridisciplinarit e du sujet puisque J.Y. a et e quali e dans trois sections CNU di erentes (60, 61 et 63) et quil a r eussi ` a obtenir un poste de ma tre de conf erences lann ee suivant la pr esentation de sa th` ese.

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Les r esultats sur la conception optimale de structures exibles adaptroniques sont egalement tr` es encourageants. Ils sont parmi les plus avanc es au niveau mondial dans le domaine de la conception optimale de structures microrobotiques et micro-m ecatroniques. M eme si les fonctions int egr ees capteurs ne sont pas encore pleinement utilis ees dans la commande, ces travaux sont en poursuite et nous esp erons quils donneront des r esultats aussi satisfaisants que ce que nous avons obtenu sur lactionnement int egr e. Lensemble de ces travaux sur les mat eriaux actifs et la conception de microactionneurs ma donc au nal permis de participer ` a lencadrement de trois doctorants et de renforcer mes capacit es ` a diriger des recherches et ` a proposer des sujets novateurs et pertinents dun point de vue scientique. Ces di erents travaux sur les structures micro-m ecatroniques et sur les mat eriaux actifs ont cependant fait appara tre un el ement cl e en terme de comportement de ces dispositifs : ces syst` emes sont tous des syst` emes assez fortement nonlin eaires avec des non-lin earit es ` a la fois g eom etriques (cin ematique et grande d eformation) et dynamiques (hyst er esis, comportement irr eversibles). Ce type de comportement entra ne bien evidement dimportants probl` emes en termes de mod elisation, de simulation et surtout de commande. Jusquil y a quelque temps, les techniques de commande utilis ees au laboratoire pour le contr ole des micro-actionneurs etaient essentiellement de deux types, soit des techniques assez classiques issues de la commande lin eaire (PID, RST et retour d etat), soit des techniques issues des m ethodes de lintelligence articielle (apprentissage et r eseaux de neurones). Cependant, ces deux types de commande pr esentent des limites et d efauts quil est n ecessaire de d epasser pour obtenir des syst` emes micro-m ecatroniques et adaptroniques v eritablement plus performants. Les techniques dIA pr esentent des temps dapprentissage et dadaptation tr` es longs qui les rendent souvent inutilisables en temps r eel et leur stabilit e et leurs performances ne peuvent pas toujours etre garanties. Les techniques issues de la commande lin eaire peuvent etre rendues plus robustes et plus performantes en utilisant des extensions comme les ltres de Kalman ou

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CHAPITRE 4. MATERIAUX ACTIFS ET MICRO-ACTIONNEURS

la commande H . Certaines non-lin earit es peuvent, de m eme, etre compens ees par de la commande feedforward, des mod` eles de Prandl ou de Preisach. Ces pistes sont int eressantes et sont actuellement explor ees par plusieurs coll` egues du laboratoire pour des mat eriaux pi ezo electriques. Cependant, je ne pense pas que les am eliorations obtenues par ces m ethodes puissent etre signicatives pour le contr ole de mat eriaux au comportement aussi complexe et aussi non-lin eaire que celui des AMFM. Dans le cas de syst` emes micro-m ecatroniques utilisant des mat eriaux actifs, il semble essentiel et opportun dexploiter au maximum les r esultats de mod elisation an de concevoir des lois et des strat egies de contr ole plus performantes. Dans nos travaux pr ec edents, cest en particulier l etude des transferts d energie entre mouvements rapides (dynamiques) et mouvements lents (quasi-statiques) qui nous a mis sur la piste de la commande hybride propos ee. Cette strat egie nous a permis, ` a courant constant et born e, de doubler la plage de d eplacement de cet actionneur, ce que naurait jamais pu faire une commande lin eaire et ses variantes H quelle que soit sa robustesse. Mes axes de recherche futurs vont donc dans ce sens : exploiter au maximum les mod` eles et les r esultats de simulation an denvisager des lois et strat egies de commande exploitant au maximum les propri et es inhabituelles et fortement non-lin eaires des mat eriaux actifs et des syst` emes micro-m ecatroniques. Actuellement, ces r eexions de recherche gravitent autour de la commande bas ee sur l energie ou des concepts similaires (Lyapunov, passivit e/dissipativit e et syst` emes Hamiltonien a ` ports ). Malheureusement, comme toute r e-orientation ou conversion th ematique, celle-ci demande une ma trise de nouveaux outils et concepts et dans mon cas, il sagit doutils avanc es de math ematiques. Depuis quelques ann ees, jai du faire un important eort de remise ` a niveau qui a monopolis e une part importante de mon temps de recherche. En particulier, gr ace ` a lobtention dun cong e de recherche et de conversion th ematique (CRCT) de six mois en 2009/2010, jai pu prendre part aux cours du master 2 de math ematiques approfondies de luniversit e de Franche-Comt e (g eom etrie di erentielle, analyse fonctionnelle, EDO et EDP, syst` emes non-lin eaires). Cette reconversion me demande actuellement un eort important mais je ne doute pas quelle devrait porter ses fruits et me permettre de proposer des r esultats innovants et int eressants pour la commande des syst` emes micro-m ecatroniques non-lin eaires. Dans ce cadre, je me suis associ e r ecemment avec un jeune professeur du laboratoire pour travailler sur ces th ematiques et nous avons propos e conjointement un sujet de th` ese sur ce th` eme extr emement porteur. Nous avons obtenu un nancement par une bourse BDI-CNRS qui devrait d ebuter ` a lautomne 2010. Je voudrais terminer cette section en soulignant que la th ematique de recherche sur la commande non-lin eaire des syst` emes micro-m ecatroniques envisag ee nest pas, ` a proprement parl e, une nouvelle th ematique de recherche mais plut ot une evolution naturelle et une extension des travaux pr ec edents puisquapr` es avoir con cu et mod elis e un syst` eme micro-m ecatronique, il est n ecessaire de le commander pour lutiliser. De par le comportement complexe non-lin eaire de ces dispositifs, il nest bien souvent pas possible de r ealiser cette commande ` a post eriori, cest-` a-dire, apr` es la phase de conception et de mod elisation. En fait, le processus conception/mod elisation/commande doit etre envisag e comme un tout qui doit etre abord e de mani` ere coh erente et compatible pour aboutir ` a une solution pertinente comme cela a pu etre fait sur loptimisation topologique des structures d eformables pi ezo electriques.

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Conclusion et perspectives
Although this may seem a paradox, all exact science is dominated by the idea of approximation. Bertrand Russel

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La pr esentation dune HDR est une etape particuli` ere de la vie de chercheur au cours de laquelle celui-ci se pose un moment pour evaluer ce quil a r ealis e, en fait une pr esentation ` a ses pairs et propose des perspectives ` a ses travaux pr ec edents. Il en prote surtout pour pr esenter les r esultats quil consid` ere comme les plus importants et les projets de recherche quil compte mener au cours des ann ees futures. Cette evaluation permet ` a ses pairs de valider son recul, son autonomie et ses qualit es de chercheur et de lautoriser alors ` a proposer, conduire et encadrer seul des activit es de recherche. Je voulais, dans un premier temps, faire la synth` ese de mes travaux de recherche sous la forme dun condens e du cours que je d eveloppe actuellement pour lenseignement de la mod elisation des syst` emes m ecatroniques et microm ecatroniques ` a luniversit e de Franche-Comt e. Apr` es la r edaction dune partie de ce condens e, je me suis rendu compte que cet objectif etait certainement trop ambitieux, trop long et nalement assez peu adapt e` a un m emoire dHDR. Jy ai donc renonc e temporairement mais je garde cette id ee pour un ouvrage que jaimerais ecrire sur le sujet. Plus modestement, ce chapitre de synth` ese et conclusion se proposera d etablir les grandes lignes et les points cl es de lexercice de mod elisation tel que je le con cois actuellement. Cependant, celui-ci sera certainement amen e` a evoluer au cours des mes prochaines ann ees de recherches et denseignement. En mappuyant sur les di erents travaux que jai r ealis es ou encadr es, jessayerai de montrer les apports mais aussi les manques de ces travaux et comment jenvisage ` a lavenir de d epasser les limites identi ees en proposant de nouveaux th` emes et objectifs de travail.

Synth` ese sur la mod elisation des syst` emes m ecatroniques et micro-m ecatroniques
Contribution a ` la mod elisation des syst` emes m ecatroniques et micro-m ecatroniques est le titre que jai choisi pour ce m emoire dHDR. Choisir un titre est toujours un exercice dicile et mon choix a chang e plusieurs fois au cours 105

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CONCLUSION ET PERSPECTIVES

de la r edaction de ce m emoire. Chaque mot y a son importance comme cela va etre montr e dans cette section. En premier lieu, mes travaux concernent principalement la mod elisation, cest-` a-dire lexercice scientique consistant ` a trouver une repr esentation4 permettant de dupliquer le comportement dun dispositif r eel. Ce mod` ele est donc toujours une approximation comme le rappelle Bertrand Russel dans la citation que jai reproduite au d ebut de ce chapitre. Le degr e dapproximation dun mod` ele d ependra bien evidemment de la pr ecision recherch ee dans lutilisation que nous voulons faire de ce mod` ele. En eet, et contrairement aux croyances du XVIII et XIXeme si` ecle le fameux d emon de Laplace , un mod` ele parfait de la r ealit e nexiste pas et il est parfaitement illusoire de chercher ` a en trouver un. Une des notions les plus f econdes que nous trouvons ` a la base de nombreux travaux de mod elisation est celle de syst` eme. Mais quappelons nous au juste un ` la fois, tout et rien. Chaque livre traitant du sujet en donne sa propre syst` eme ? A d enition et nous ne chercherons pas ` a en donner une liste exhaustive dans ce m emoire. La d enition propos ee par F. E. Cellier dans [Cel91] est cependant celle que je pr ef` ere : The largest possible system of all is the universe. Whenever we decide to cut out a piece of the universe such that we can clearly say what is inside that piece (belongs to that piece), and what is outside that piece (does not belong to that piece), we dene a new system.[ ] A system is characterized by the fact that we can say what belongs to it and what does not, and by the fact that we can specify how it interacts with its environment. System denitions can furthermore be hierarchical. We can take the piece from before, cut out a yet smaller part of it, and we have a new system. Des mots de F. E. Cellier, nous comprenons que ce qui caract erise le mieux un syst` eme est en fait sa ou ses fronti` eres, cest-` a-dire la d enition de ce qui appartient ou non ` a ce syst` eme, la mani` ere dont il interagit avec son environnement et la mani` ere dont il peut encore lui-m eme etre d ecompos e en sous syst` emes en d enissant de nouvelles fronti` eres internes. Cest cette possibilit e de d ecomposition plus que toute autre propri et e qui donne au concept de syst` eme toute sa f econdit e. En premier lieu, lapproche syst` eme permet de d ecomposer des choses ou des ph enom` enes complexes en une interconnexion de choses ou de ph enom` enes plus simples et donc plus ais es ` a comprendre et ` a mod eliser. Cette propri et e essentielle est largement soulign ee par les tenants du r eductionnisme et elle permet eectivement dans bien des situations de comprendre le tout en comprenant dabord ses parties. Mais lapproche syst` eme permet egalement de satisfaire les tenants de lapproche holistique qui pensent au contraire, mais avec tout autant de raison, que certaines propri et es emergentes ne peuvent etre saisies et expliqu ees quen explorant surtout les interactions entre les di erents sous-syst` emes plut ot quen explorant le d etail de leur comportement propre. En un sens, ces derniers pensent que le tout est plus que ses parties. Cest particuli` erement le cas en sciences de ling enieur lors dune activit e de conception ou
4 En sciences de ling enieur, nous cherchons presque toujours a ` mettre cette repr esentation sous la forme d equations math ematiques.

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bien en biologie pour comprendre le fonctionnement dorganismes vivants complexes. Par exemple, ce nest pas parce que le physicien sait comment fonctionnent pr ecisement tous les di erents composants electroniques quil sait comment les agencer dans un circuit pour r ealiser une fonction electronique particuli` ere. Dans cette activit e de conception, eectivement, linteraction entre chaque soussyst` eme est plus importante que le d etail du comportement de chacun de ces sous-syst` emes. Au nal, lapproche syst` eme permet donc de r econcilier les deux visions reductionniste et holistique et de les pr esenter non comme oppos ees mais plut ot comme compl ementaires. Le degr e de d ecomposition auquel il est n ecessaire davoir recours d epend simplement du cahier des charge, cest-` a-dire de ce que nous d esirons comprendre et expliquer par ce mod` ele, ce pourquoi nous le cr eons. Ce point de vue est nalement assez proche de celui de J.C. Willems lorsquil pr esente ses concepts de tearing, zooming and linking [Wil07]. Concernant le processus m eme de mod elisation et apr` es maintenant plus de dix ans denseignement et de recherche sur ces th ematiques, il mappara t clairement que ce processus contient trois etapes successives qui ne doivent pas etre confondues avec les etapes suivantes de manipulation et de r e-organisation du mod` ele, elles-m emes suivies par des etapes de simulation et de d eveloppement du contr ole. Les trois etapes de mod elisation sont les suivantes : 1. d ecomposition de lobjet d etude en sous-syst` emes ; 2. description des interactions entre ces sous-syst` emes ; 3. description du comportement de chacun de ces sous-syst` emes. La premi` ere etape de mod elisation consiste ` a d ecomposer le dispositif d etude r eel en plusieurs sous-syst` emes interconnect es. Cette d ecomposition dun syst` eme en sous-syst` emes peut etre r eelle (physique) ou conceptuelle5 . Si les caract eristiques essentielles des sous-syst` emes peuvent etre moyenn ees (pour des grandeurs intensives) ou int egr ees spatialement (pour des grandeurs extensives), nous parlons alors de syst` emes ` a param` etres localis ees (Lumped Parameters Systems ). Chacun des sous-syst` emes globaux (moyenn es et int egr es) est alors localis e ponctuellement dans lespace. Ses caract eristiques sont repr esent ees ` a laide de grandeurs globales (moyenn ees et int egr ees), localis ees en un ou entre plusieurs points de lespace. Pour des sous-syst` emes dynamiques, ces grandeurs sont g en eralement des fonctions du temps. Les interconnexions entre sous-syst` emes ` a param` etres localis es se font alors ponctuellement ` a laide de terminaux ou noeuds dinterconnexion. Dans la tr` es grande majorit e des cas, ces syst` emes sont de dimensions nies puisque le nombre de sous-syst` emes interconnect es est ni comme le nombre de grandeurs caract eristiques globales associ ees. Les equations de mod elisation sont g en eralement des equations alg ebriques ou des equations di erentielles. Pour ces syst` emes ` a param` etres localis es, les m ethodes rel` event principalement de ce qui est appel e la th eorie des r eseaux, des circuits ou des graphes.
Cellier lexprime par la phrase suivante : The cutting does not necessarily denote a separation in the physical world, it can also take place at the level of a mathematical abstraction... and in the context of modeling, this is actually most commonly the case [Cel91].
5 F.E.

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Dans nos travaux, nous avons largement utilis e cette approximation en termes de syst` emes ` a param` etres localis es. Tout dabord, pour des syst` emes m ecaniques comme les structures ` a ressorts r ealis ees en post-doctorat en Allemagne et pr esent ees dans la section 2.2 mais egalement pour des syst` emes electromagn etiques comme pour les circuits dalimentation et dexcitation des actionneurs utilisant des AMFM d ecrits dans la section 4.2. Ces m ethodes ont lavantage de conduire directement ` a des syst` emes de dimensions nies qui sont plus faciles ` a manipuler et ` a r esoudre. Le degr e de d ecomposition ` a choisir d epend nalement de la pr ecision recherch ee et du degr e dintuition du mod elisateur. Par exemple, des comparaisons avec des calculs par el ements nis ont montr e sur les ressorts de la section 2.2 quune d ecomposition des barres rigides composant les ressorts en deux sous-syst` emes aurait permis dam eliorer grandement la pr ecision des calculs de fr equence de r esonance pour les modes dordre elev e. En eet, cette division permettait de prendre en compte le premier mode de d eformation de exion de ces barres rigides qui n etaient en d enitive pas si rigides que cela.

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Si les caract eristiques essentielles des sous-syst` emes ne peuvent pas etre moyenn ees ou int egr ees spatialement, les di erents sous-syst` emes doivent etre distribu es dans lespace et nous parlons alors de syst` emes ` a param` etres r epartis ou distribu es (Distributed Parameters Systems ). Les grandeurs caract eristiques de ces sous-syst` emes d ependent alors de leur position spatiale et sont donc distribu ees continument dans lespace. Il y en a ainsi une innit e, ce qui permet aussi de parler de syst` emes de dimensions innies. Pour des sous-syst` emes dynamiques, ces grandeurs caract eristiques sont donc non seulement des fonctions du temps mais egalement de lespace et les equations d ecrivant leur comportement sont donc g en eralement des equations aux d eriv ees partielles. Pour les syst` emes ` a param` etres distribu es, linterconnexion entre di erents sous-syst` emes nest plus ponctuelle (via un terminal) mais distribu ee sur une fronti` ere et les m ethodes de mod elisation ne rel` event plus de la th eorie des r eseaux mais de la th eorie des champs. Dans nos travaux, nous avons egalement largement utilis e cette approximation en termes de syst` emes ` a param` etres distribu es. En m ecanique, nous lavons utilis ee pour calculer les d eformations et vibrations de coques, plaques ou poutres (par exemple, pi ezo electriques dans les sections 3.2 et 4.3). Nous lavons egalement utilis ee en electromagn etisme lorsque nous nous sommes servis des equations de Maxwell et des potentiels scalaires dans la section 2.3 pour calculer les champs magn etiques dans nos di erents actionneurs ou bien en thermique pour calculer la diusion de chaleur dans le changeur doutils d ecrit dans la section 3.3. Contrairement ` a la mod elisation par syst` emes a ` param` etres localis es, la mod elisation par syst` emes ` a param` etres distribu es conduit ` a des syst` emes de dimension innie quil nest en g en eral possible de r esoudre analytiquement que pour des g eom etries extr emement simples (poutres, conditions daxisym etrie...). De ce fait, ces mod` eles sont alors souvent approxim es une seconde fois, soit par des m ethodes de type el ements nis (section 2.3 et 4.3), soit par des m ethodes de di erences nies (section 3.3) an dobtenir des mod` eles plus faciles ` a r esoudre. Nos travaux sur loptimisation topologique de structures d eformables d ecrits dans la section 4.3 ont mix e ces deux approches en associant une mod elisation a param` ` etres localis es les blocs avec une mod elisation ` a param` etres r epartis les poutres composants chacun des blocs.

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Au cours de chaque exercice de mod elisation, chacun des sous-syst` emes consid er es est toujours caract eris e par des variables de deux types : les variables externes 6 qui sont accessibles de lext erieur des sous-syst` emes et qui interviennent dans linterconnexion entre sous-syst` emes. Ces variables sont des grandeurs sur lesquelles il est possible dagir par observation ou contr ole d` es lors que nous avons acc` es au terminal ou ` a la fronti` ere dinterconnexion ; les variables internes 7 qui ne sont pas directement accessibles de lext erieur des sous-syst` emes et traduisent le comportement interne du sous-syst` eme consid er e. En particulier, les variables dites d etat sont un type particulier de variables internes. Les variables externes servent ` a d ecrire linterconnexion entre sous-syst` emes alors que les variables internes servent ` a d ecrire le comportement dun soussyst` eme.

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La deuxi` eme etape de mod elisation consiste ` a d ecrire math ematiquement linterconnexion entre les di erents sous-syst` emes d enis lors de l etape 1. celle-ci peut etre d ecrite math ematiquement en liant deux terminaux ou deux fronti` eres ensemble et donc en posant des contraintes entre les variables externes de ces deux sous-syst` emes. Ces contraintes sont g en eralement des contraintes lin eaires. Les variables externes peuvent etre s epar ees en deux groupes distincts de type dynamique ou g eom etrique : 1. Le premier groupe de variables externes est li e ` a une grandeur conservative, cest-` a-dire ` a une grandeur qui ne peut appara tre ou dispara tre spontan ement au cours du temps et dont la variation temporelle r esulte n ecessairement dun ux de quelque chose. La grandeur conservative en question d epend du domaine physique etudi e, par exemple, la charge en electricit e, la quantit e de mouvement en m ecanique du solide, la masse en m ecanique des uides ou l energie en thermodynamique. Le ux de cette variable est appel e une variable trans ou une variable through dans la litt erature anglosaxonne (cf. [Can67]). 2. Le second groupe de variables externes est associ e` a une grandeur d enie continuement dans lespace, cest-` a-dire qui ne pr esente pas de saut (ou de discontinuit e) pour une variation innit esimale de sa position de mesure dans lespace. Des grandeurs de ce type sont appel ees des potentiels (au sens electrique du terme et non au sens thermodynamique). Entre deux positions ponctuelles de lespace, il est possible de d enir une variable de di erence de potentiel qui prend le nom de variable per ou variable across dans la litt erature anglo-saxonne. Pour des syst` emes ` a param` etres localis es, les interconnexions sont particuli` erement faciles ` a d ecrire de mani` ere syst ematique en utilisant des m ethodes de graphes lin eaires (cf [SMR67], [KTK67], [DK69]) ou les bond-graphs (cf [KMR90]). Ces m ethodes ont alors lavantage de faire appara tre explicitement la structure g eom etrique dinterconnexion. Les m ethodes hamiltoniennes ` a ports (cf [Van00] et [BLME07]) sont une extension naturelle de cette id ee mais qui sappuie sur
6 J.C. 7 J.C.

Willems les nomment les variables manifestes [PW06]. Willems les nomment les variables latentes [PW06].

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une description du comportement interne aux sous-syst` emes en termes hamiltoniens. Nous navons commenc e quassez r ecement ` a explorer cet outils tr` es proche de la description hamiltonienne que nous avons propos e pour les actionneurs ` a base dAMFM. Cest une piste que nous aimerions explorer notamment lors de la th` ese co-encadr e avec le Pr. Y. Legorrec qui d ebutera ` a lautomne 2010. Pour les syst` emes ` a param` etres r epartis, la description de linterconnexion ne se fait le plus souvent quen sp eciant des conditions aux limites sur les fronti` eres des sous-syst` emes. Cest ce que nous avons fait lors de nos travaux en m ecanique (section 2.2) et en thermique (section 3.3). Il existe cependant une extension des m ethodes hamiltoniennes ` a ports pour les syst` emes de dimension innie. La collaboration que nous aimerions d ebuter avec Y. Legorrec et des coll` egues de Lyon (B. Maschke) et de Twente aux Pays-Bas (H. J. Zwart) soriente dans ce sens. En eet, ce qui di erentie principalement un syst` eme m ecatronique dun syst` eme micro-m ecatronique est le degr e dint egration et de miniaturisation croissant qui n ecessite presque in evitablement lutilisation de mod` eles ` a param` etres distribu es plut ot que localis es. Les mod` eles des syst` emes micro-m ecatroniques sont donc au nal presque toujours des syst` emes de dimensions innies. Dans nos travaux de recherche (sauf pour les plus r ecents), nous navons malheureusement pas utilis e la theorie des graphes lin eaires, des bond-graph ou des syst` emes hamiltonien ` a ports et la d ecomposition en sous-syst` emes sest souvent r eduite ` a la d enition dun seul gros sous-syst` eme. De ce fait, les interconnexions etaient internes ` a ce sous-syst` eme et etaient prises en compte gr ace ` a des techniques de multiplicateurs de Lagrange. Les interconnexions n etaient donc pas exprim ees de mani` ere explicites ce qui avait tendance ` a rendre la compr ehension ou le contr ole du dispositif plus complexe. Dans nos futurs travaux, nous devrons prendre garde dexpliciter autant que possible les interconnexions les plus essentielles de nos dispositifs pour favoriser une utilisation plus rationelle de lapproche syst` eme. Lutilisation des multiplicateurs de Lagrange a egalement linconv enient de faire appara tre des equations alg ebrodi erentielles quil nest pas toujours facile de resoudre. Dans les travaux report es dans la section 2.2, nous avons pu r esoudre le probl` eme parce quil sagissait de contraintes holonomes lin eaires mais ce nest malheureusement pas toujours le cas. Nous avons egalement abord e ce probl` eme assez r ecement avec B. Maschke pour le cas des actionneurs en AMFM mais ces travaux nont malheureusement que peu avanc e en raison du temps consacr e` a la r edaction de cette HDR. Jaimerais cependant les poursuivre d` es que cette r edaction sera achev ee. Il y a, de plus, des travaux tr` es int eressants concernant linterconnexion et les m ethodes formelles pour la suppression des contraintes r esultantes qui sont abord es dans le dernier ouvrage de F. E. Cellier [Cel06] et sur lesquelles jaimerais me pencher dans les prochaines ann ees. Ces travaux sont tr` es li es aux r eexions et au d eveloppements autour du standard de mod elisation modelica et de sa version la plus aboutie Dymola. La troisi` eme etape de mod elisation est une etape de description math ematique du comportement de chacun des sous-syst` emes. Contrairement aux lois dinterconnexion, les lois de comportements sont des relations qui lient, non pas les variables externes, mais les variables internes ou latentes dun sous-syst` eme. Ce sont des lois physiques dans le sens o` u elles r esultent de ladoption dune

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repr esentation de la nature physique dun sous-syst` eme et non dune g eom etrie dinterconnexion topologie entre les sous-syst` emes. La mod elisation n etant quune approximation, elle d ependra forc ement de la pr ecision voulue pour le mod` ele et des ph enom` enes ` a prendre en compte dans ce sous-syst` eme. Dun point de vue externe ` a ce sous-syst` eme, les lois de comportement permettent de lier les variables through et across entre elles en d enissant le comportement interne ` a ce sous-syst` eme. En premi` ere approximation, ces lois sont souvent choisies lin eaires ou lin earis ees autour dun point de fonctionnement mais ce nest pas toujours possible ni acceptable dutiliser une telle simplication. Si ce nest pas possible, la mod elisation du dispositif fait alors intervenir des equations non-lin eaires beaucoup plus d elicates ` a r esoudre. Par exemple, dans nos travaux sur les AMFM, la saturation des mat eriaux ferromagn etiques et le comportement complexe des AMFM nous a forc e` a utiliser des lois de comportement fortement non lin eaires, notamment pour d enir les comportement magn etiques et m ecaniques des mat eriaux composant lactionneur. La particularit e des mat eriaux actifs est quils ont pratiquement tous des comportements assez fortement non-lin eaires, ce qui va nous pousser ` a poursuivre et approfondir nos travaux sur lanalyse et la commande des syst` emes non-lin eaires. Dans une tr` es grande majorit e de cas, une description par syst` emes ` a param` etres localis es pose lhypoth` ese que chacun des sous-syst` emes est un el ement simple une brique de base , cest-` a-dire quil ne fait intervenir quun seul ph enom` ene physique. Cest par exemple, lhypoth` ese qui est faite lorsque nous disons quun sous-syst` eme est une masse ponctuelle ou une inductance pure dans une mod elisation par graphe lin eaire ou par bond-graph. Cette relation assez triviale pour un el ement simple est alors pos ee comme une contrainte de comportement ou de fonctionnement interne associ ee ` a un choix de mod` ele comportemental ` a ce sous-syst` eme. Si le sous-syst` eme consid er e est un syst` eme statique, nous avons une loi de comportement alg ebrique, si le sous-syst` eme est dynamique, nous avons une loi de comportement di erentielle ou alg ebrodi erentielle. Lorsque le sous-syst` eme nest pas un el ement simple, la m ethode la plus ecace pour trouver sa ou ses lois de comportement interne est dutiliser une approche variationnelle dans le cadre du th eor` eme de Hamilton et de la m ethode de Lagrange. Nous avons fait une large utilisation de ces m ethodes dans tous nos travaux de recherche. La loi de comportement associ ee ` a ce sous-syst` eme prend alors la forme dun syst` eme alg ebro-di erentiel. La partie di erentielle permet de d ecrire les sous-parties dynamiques de ce sous-syst` eme et la partie alg ebrique permet de d ecrire les sous-parties statiques et les contraintes entre ces di erentes sous-parties (techniques des multiplicateurs de Lagrange). Dans le cas dun syst` eme m ecatronique ou micro-m ecatronique o` u plusieurs domaines physiques entrent en jeu, nous avons pu montrer que la mod elisation hamiltonienne est plus pratique que la mod elisation lagrangienne puisquelle sadapte mieux au formalisme et aux r esultats issus de la thermodynamique. Lensemble de ces trois etapes constitue, ` a proprement parl e, le processus de mod elisation cest-` a-dire le processus de construction dun jeu d equations math ematiques ` a m eme de repr esenter plus ou moins nement le comportement r eel du dispositif d etude. En raison des hypoth` eses faites lors de l etape

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CONCLUSION ET PERSPECTIVES

1 (d ecomposition en sous-syst` emes) et lors de l etape 3 (desciption dun comportement physique), le jeu d equations r esultant du processus de mod elisation nest quune repr esentation approximative du fonctionnement r eel du dispositif et en toute rigueur, tout mod` ele devrait etre accompagn e dun notice sp eciant ses conditions dutilisation. Dans cet ordre did ee, Astr om et Murray conseillent dans [ Astr omM08] de d enir pour tout mod` ele, un citron dincertitude, cesta-dire un graphique qui d ` enit, pour quelle plage de fr equence et quelle plage damplitude, le mod` ele est une repr esentation pertinente du fonctionnement r eel. Quel que soit le type de mod` ele d evelopp e, il existe g en eralement une etape de post-traitement qui consiste ` a r e-organiser ce mod` ele an de lui donner une forme mieux adapt ee ` a son utilisation pour des simulations8 . En eet, le but du d eveloppement dune mod elisation est de pouvoir r ealiser des simulations (analytiques ou num eriques), cest-` a-dire des exp eriences virtuelles de fonctionnement du dispositif r eel pour certaines conditions de fonctionnement, g en eralement en fonction dun nombre plus ou moins grand dentr ees impos ees et de conditions initiales. Le mod` ele est ainsi disponible et utilisable lors des phases de conception de ce dispositif et de son contr ole. Gr ace ` a ce mod` ele, nous pouvons alors tester de mani` ere virtuelle son comportement, ses performances et ses limites sans avoir ` a r ealiser des exp eriences r eelles co uteuses en temps et en argent et qui n ecessiteraient de fabriquer des prototypes et de conduire des exp eriences r eelles longues et fastidieuses. Bien evidemment, un mod` ele n etant par d enition quune approximation du dispositif r eel, il sera tout de m eme n ecessaire de recourir ` a des phases de tests et de validation r eels au nal, mais celles-ci seront dautant moins n ecessaires et dautant plus courtes que le mod` ele utilis e pour les exp eriences virtuelles aura et e ad equat et repr esentatif du comportement r eel dans la plage dutilisation envisag ee. Au cours de nos recherches, nous avons egalement abord e la conception optimale de structures micro-m ecatroniques dun point de vue global, cest-` a-dire en int egrant ` a la fois le point de vue conception, mod elisation, performance et commande. Cest une voie particuli` erement int eressante quil sera essentiel de poursuivre dans les ann ees ` a venir.

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Conclusion
Parmi tous les syst` emes con cus et etudi es par lhomme, le travail de recherche que jai conduit au cours des ann ees pr ec edentes sest focalis e sur les dispositifs m ecatroniques et micro-m ecatroniques, cest-` a-dire sur les dispositifs mettant en uvre des sous-syst` emes m ecaniques, electriques, thermodynamiques et informatiques. Ces syst` emes sont incontestablement mieux compris et donc plus faciles ` a mod eliser que les processus biologiques, chimiques, ecologiques ou economiques, ce qui permet davoir une plus grande conance dans les mod` eles d evelopp es. Cependant les forts couplages existant entre les di erents domaines de la m ecatronique ont n ecessit e, et n ecessitent encore ` a lheure actuelle, dimportantes recherches pour am eliorer la compr ehension et la pertinence des mod` eles propos es pour la conception et la commande de ces dispositifs.
8 Les

mod` eles d etat ou entr ee/sortie en sont deux formes particuli` eres.

CONCLUSION ET PERSPECTIVES

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La mod elisation reste cependant, aujourdhui comme hier, un exercice complexe et d elicat qui n ecessite beaucoup dexp erience et dintuition. Comme le soulignait de mani` ere si judicieuse P.E. Wellstead en 1979 d ej` a [Wel79], elle est autant un art quune discipline scientique et cest pourquoi elle est si dicile ` a enseigner. De ce fait, quelles que soient la pr ecision et la conance que nous avons envers nos mod` eles, il faut savoir rester humble et critique et seule la validation r eelle nous permet de conrmer incontestablement les r esultats virtuels issus de nos mod elisations. La n ecessit e de cette etape nale de validation exp erimentale echappe souvent aux chercheurs plus th eoriciens et donc plus eloign es des sciences de ling enieur alors quelle repr esente en g en eral une part consid erable (notamment en temps) du travail de recherche en mod elisation.

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