CALCULO POR MONTE CARLO DE LA DENSIDAD DE ENERGIA DEPOSITADA EN UN MATERIAL POR UN HAZ DE ELECTRONES DE DECENAS DE keV J.I.Etcheverry1, O.E.

Martnez2
1

Dto. Matemticas, FCEN, UBA - Pabelln I, Ciudad Universitaria, 1428, Buenos Aires, Argentina. Dto. Fsica, FCEN, UBA -- Pabelln I, Ciudad Universitaria, 1428, Buenos Aires, Argentina.

Resumen En este trabajo se modela la interaccin de un haz de electrones de energas del orden de las decenas de keV con un material istropo homogneo, compuesto por tomos de varios elementos diferentes. Se utiliza un mtodo de Monte Carlo para calcular tanto el coeficiente de retrodispersin como la densidad de energa depositada por el haz en funcin de la distancia a la superficie del material. Se presentan expresiones que permiten ajustar los datos obtenidos, con mayor exactitud que las frmulas usuales en la literatura. Abstract Monte Carlo simulation was used to calculate the backscattering coefficient and the energy deposition profiles for electrons of tens of keV impinging on an isotropic homogeneous material. The material is taken as composed by atoms of different elements. Expressions fitting the obtained energy dissipation curves and backscattering coefficients are presented, showing better adjustement than usual literature expressions. Introduccin Los haces de electrones se utilizan desde hace ya mucho tiempo en numerosos procesos de gran importancia prctica. Por ejemplo, en tratamiento superficial de materiales, fabricacin de fases metaestables, etc. Adems, las tcnicas de litografa electrnica constituyen una herramienta esencial en la fabricacin de microcomponentes electrnicos, circuitos integrados, etc. Para modelar adecuadamente muchas de estas aplicaciones, es esencial poder describir con precisin la forma en que el haz de electrones deposita su energa en el material. Esto involucra el conocimiento del porcentaje de energa retrodispersada y la distribucin espacial de la energa depositada

dentro del material. Los trabajos tericos que describen electrones de decenas de keV (ver Murata et al. [1], Kotera et al. [2], Valkealahti et al. [3]) estn habitualmente basados en tcnicas de Monte Carlo. Por otro lado, estudios experimentales, [4], [5], [6], dan expresiones aproximadas de la densidad de energa depositada en funcin de la profundidad para algunos materiales y ciertos rangos de energa. Sin embargo, estos resultados son de difcil extrapolacin a otras energas y/o materiales. Adems, tienen la desventaja de no dar informacin tridimensional. En este trabajo se calcularn la reflectividad y los perfiles de energa depositada en funcin de la posicin para varios materiales, mediante un mtodo de Monte Carlo basado esencialmente en los trabajos de Murata et al. [1] y Kotera et al. [2]. El material se supone homogneo pero puede estar compuesto por varias sustancias diferentes (por ejemplo, una mezcla de gases, o lquidos, o una aleacin de composicin homognea). Mtodo de Monte Carlo El mecanismo principal de prdida de energa de un electrn de energa menor que las decenas de keV es la interaccin coulombiana con los dems electrones. Las interacciones con los ncleos son prcticamente elsticas debido a la gran diferencia de masa, pero alteran significativamente la forma de la trayectoria, y deben por lo tanto ser tenidas en cuenta. El mtodo de Monte Carlo utilizado [1] permite simular este proceso haciendo recorrer al electrn un segmento de recta de longitud del orden del camino libre medio de un electrn en el material, y luego dispersndolo por una colisin elstica con un ncleo, modelada como una dispersin de Rutherford apantallada. En cada segmento rectilneo, se supuso una prdida continua de energa dada por las frmulas de Bethe usuales ([7], [8]) para el poder frenador. La trayectoria se continu hasta que la energa del electrn fuera inferior a un valor mnimo (500 eV). Consideramos un material homogneo, compuesto por fracciones en peso wi de diferentes elementos. La cantidad de tomos de la especie i por unidad de volumen de material es entonces ni = N A w i donde es la densidad del compuesto, NA es el nmero de Avogadro, y Ai el peso Ai

atmico de la especie i. Las fracciones atmicas estn dadas entonces por i =

n
i

ni

. Notaremos
i

con N a la cantidad total de tomos por unidad de volumen, N = n i . El camino libre medio en el
i

material se calcula segn =

1 1 = , donde T es la seccin eficaz total y i la seccin N T N i i

i

eficaz total del componente i-simo. La longitud l del segmento rectilneo entre dos colisiones elsticas se calcul segn la frmula l = log( R ) , donde R es un nmero elegido aleatoriamente con distribucin uniforme en el intervalo (0,1). Una vez recorrido el segmento rectilneo, el electrn se dispersa elsticamente contra un ncleo del componente i, elegido al azar con una probabilidad proporcional a la fraccin atmica del elemento i. La probabilidad de resultar dispersado en el ngulo 1 di () slido d = sen d d est dada por P()d = d , donde di/d es la seccin eficaz i d diferencial de dispersin para el componente i. La seccin eficaz diferencial para cada elemento se calcula con una frmula de dispersin de Rutherford apantallada: di () Z(Z + 1)e 4 1 = 2 2 d p v (1 cos() + 2 i ) 2 Aqu p es el impulso del electrn, e su carga, v su velocidad, y la constante de apantallamiento i se calcula usando un modelo de Thomas-Fermi (a0 es el radio de Bohr) (ver Murata et al. [1]):

 0 1 i = 112 . 4 p

0 = Zi 3 / 0885 . a0

La seccin eficaz total para el componente i, i , se obtiene integrando la seccin diferencial i en el 2i (1 + i ) p 2 v 2 ngulo slido, i = . Denotando con F() a la funcin de probabilidad acumulada de 2Z i ( Z i + 1)e 4 P(), la desviacin de un electrn se calcula sustituyendo F() por un nmero aleatorio generado uniformemente en [0,1] en la expresin: cos() = 1 2 i F() . 1 + i F()

El poder frenador de una mezcla debido a excitacin o ionizacin se expresa (frmula de Bethe): dE 4e 4 = ds mv 2

n Z
i i

E ln1166 . Ii

(I)

donde E es la energa del electrn, ds un diferencial de camino recorrido, m la masa en reposo del electrn, v la velocidad del electrn, y ni es la cantidad de tomos del elemento i (de peso atmico Zi) por unidad de volumen. Se denota con Ii al potencial de excitacin medio del elemento i que puede ser aproximado para Z>12 por la expresin emprica (I en eV) (ver [8]): I=(9.76+58.8 Z-1.19) Z (II)

Los resultados obtenidos con este mtodo de Monte Carlo fueron verificados comparando los valores obtenidos para el rango con los proporcionados por frmulas semi-empricas [8], para varios materiales a varias energas, as como comparando los coeficientes de retrodispersin con resultados experimentales para varios materiales. Se obtuvo en todos los casos una concordancia muy satisfactoria para energas en el rango de inters 10 keV-100 keV. Coeficientes de Reflectividad y Retrodispersin Realizando estadstica sobre un gran nmero de trayectorias para varios materiales y varias energas, se obtiene informacin sobre la cantidad y la energa de los electrones retrodispersados (coeficiente de retrodispersin y reflectividad respectivamente). Ambos dependen en forma aproximadamente lineal de la energa, y crecen con Z. En conjunto, la forma cuadrtica (E en keV) a0 + a1 Z +a2 E + a20 Z2 +a11 Z E + a02 E2 (III)

con los coeficientes resumidos en la Tabla 1 ajusta dentro de un 0.5 % a los datos obtenidos realizando estadstica sobre 20000 electrones para Al, Fe, Cu, Ag, Au. a0 Reflectividad () Coef. Retrodispersin -3.259 -1.267 a1 0.8744 1.155 a2 0.02633 0.04829 a20 -0.00451 a11 0.000188 a02 0.000097 0.0001151

-0.006723 -0.0000866

Tabla 1: Coeficientes del ajuste de la reflectividad y el coeficiente de retrodispersin. 20000e-.

Densidad de energa depositada en el material La densidad de energa depositada en el material se calcula dividiendo el espacio en celdas de tamao pequeo respecto del rango de los electrones en el material y acumulando en cada celda la energa perdida por los electrones al atravesarla. Integrando sobre planos paralelos a la superficie, se obtiene la energa total depositada en funcin de la profundidad. Las Figuras 1 y 2 muestran los resultados obtenidos variando el material y la energa, respectivamente. En ambos casos las curvas se presentan normalizadas a rea unitaria, y en funcin de z/R, la profundidad normalizada con el rango de los electrones en el material. Una de las dos alternativas ms utilizadas en la literatura para ajustar una funcin f(z/R) a la densidad normalizada de energa depositada, consiste en ajustar un polinomio de grado 3 (Everhart et al. [5]) a la curva obtenida experimentalmente, similar a las mostradas en las Figuras 1, 2. La otra alternativa consiste en ajustar a dichas curvas una gaussiana desplazada hacia el interior del material [3]. Esta alternativa, si bien provista de cierta base fsica [9], es poco adecuada (claramente las curvas son asimtricas respecto del mximo). Por su mucho mejor ajuste, se eligi para representar las curvas obtenidas: f ( z / R ) = (a z / R + b) exp( c( z / R ) 2 ) (IV)

La Figura 3 muestra los resultados obtenidos para electrones de 50keV incidiendo sobre una muestra de hierro, juntamente con la curva universal de Everhart y Hoff, y el mejor ajuste con la expresin (IV). La Tabla 2 muestra los valores obtenidos ajustando los parmetros de la expresin (IV) a las curvas de densidad de energa depositada en hierro. Energa a b c 10 keV 5.145 0.588 6.124 30 keV 3.936 0.577 4.566 50 keV 3.609 0.596 4.204 70 keV 3.415 0.622 4.028 90 keV 3.281 0.656 3.953

Tabla 2: Valores de los parmetros para la densidad de energa depositada en funcin de z/R. Material: Fe.

Obsrvese que a energas mayores que 30 keV los parmetros son muy similares (cf. Figura 2). Para la mayora de las aplicaciones, es de esencial importancia la evaluacin de la densidad de energa depositada por unidad de tiempo en el material por un haz de intensidad I0. Esta se calcula segn la expresin: (z)=(1- ) I0 1/R f(z/R) donde es la reflectividad para un haz de electrones de energa E, R el rango, y z la profundidad. Conclusiones Se demuestra que el algoritmo de Monte Carlo utilizado permite calcular los perfiles de energa depositada y la reflectividad de un material homogneo compuesto, datos esenciales para el modelado de numerosas situaciones de procesamiento de materiales con haces de electrones, a partir de expresiones generales, no siendo necesario usar valores especficos para cada sustancia particular. La expresin empleada para ajustar las curvas de densidad de energa depositada en funcin de la profundidad fue elegida por su simplicidad, y por ajustar en forma mucho ms adecuada los datos que el perfil gaussiano utilizado habitualmente. Agradecimientos Este trabajo fue realizado con el aporte de subsidios de la Universidad de Buenos Aires. Referencias
1. K.Murata, T.Matsukawa, R.Shimizu. Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 10, No. 6, 1971. 2. M.Kotera, K. Murata, K. Nagami. J. Appl. Phys. 52 (2), 1981. 3. S. Valkealahti, J. Schou, R. M. Nieminen. J. Appl. Phys. 65 (6), 1989. 4. A.E.Grn. Z.Naturforsh. 12A, 89, 1957. 5. T.E.Everhart, P.H.Hoff. J. Appl.Phys. 42 (13), 1971. 6. T. Matsukawa, R. Shimizu, K.Harada, T. Kato. J.Appl.Phys. 45 (2), 1974. 7. Evans, R.D. The Atomic Nucleus. McGrawHill, New-York, 1972. 8. Tsoulfanidis. Measurement and Detection of Radiation, Mc GrawHill, NY, 1983. 9. H.A.Bethe, M.E.Rose, L.P.Smith. Proc. Am. Phil. Soc. 78, 573, 1938.

0.015

0

0.01

Figura 1: Densidad de energa depositada normalizada a rea unitaria en funcin de la profundidad normalizada al rango, para varios materiales. Energa del haz: 50 keV. N de e-: 20000.

a g r ene ed dad i sne D


0.005

:
0 0 0.5 1 Profundidad normalizada 1.5

0.018 0.016 0.014 a g r ene ed dad i sne D 0.012 0.01 0.008 0.006 0.004 0.002 0 0 10 keV 100 keV 1.5 50 keV

0.5 1 Profundidad normalizada

Figura 2: Densidad de energa depositada normalizada a rea unitaria en funcin de la profundidad normalizada al rango. Material: Fe. Energas: 10 keV, 50 keV, 100 keV. N de e-: 20000.

0.015

Mejor ajuste (expr. iv)

0.01

Everhart - Hoff (12<Z<20)

0.005

0 0

0.5 1 Profundidad normalizada

1.5

Figura 3: Densidad de energa depositada normalizada a rea unitaria en funcin de la profundidad normalizada al rango. Material: Fe. Energa del haz: 50 keV. N de e-: 20000.

Ttulo en ingls:

MONTE CARLO CALCULATION OF THE keV ELECTRON ENERGY DISSIPATION CURVES IN COMPOUND MATERIALS

Leyenda de las Figuras: Figura 1: Densidad de energa depositada normalizada a la energa total ingresada al material en funcin de la profundidad normalizada al rango, para varios materiales. Energa del haz: 50 keV. N de e-: 20000.

Figura 2: Densidad de energa depositada normalizada a la energa total ingresada al material en funcin de la profundidad normalizada al rango. Material: Fe. Energas utilizadas: 10 keV, 50 keV, 100 keV. N de e-: 20000.

Figura 3: Densidad de energa depositada normalizada a la energa total ingresada al material en funcin de la profundidad normalizada al rango. Material: Fe. Energa del haz: 50 keV. N de e-: 20000.