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Toujours plus petit, tel est le dfi. Comment y parvenir, avec quels outils et dans quelles limites ? Bienvenue dans le nanomonde.

Miniaturiser... pas de gant

raiter un maximum dinformations en un minimum de place et de temps : tel est le credo de la microlectronique. Aprs tre passe en quelques annes du millimtre au micromtre (millime de millimtre), elle vise dsormais le nanomtre, cest--dire le millionime de millimtre. Pour mesurer les pas de gant effectus en un demi-sicle, un flash-back simpose. En 1946, le calculateur Eniac (Electronic Numerical Integrator and Computer), patriarche de lordinateur, pesait prs de 30 t et occupait une pice de 72 m2 avec ses 18 000 tubes vide qui jouaient le rle de transistor. Aujourdhui, ce mastodonte fait figure

de pice de muse face aux ordinateurs portables et autres objets baladeurs . titre dexemple, la puce dune carte bancaire contient deux millions de transistors et un ordinateur personnel en renferme 300 millions La tonne nest plus quun mauvais souvenir, la miniaturisation est alle bon train. Mais ce rythme, fidle la loi de Moore, le degr de miniaturisation des composants devrait atteindre ses limites dici quinze ans : nouveaux phnomnes physiques, problmes de finesse des procds de fabrication, investissements et cots industriels trop lourds pour atteindre les objectifs.

Fabriquer des nanosystmes

our atteindre lchelle nanomtrique, cest--dire passer en dessous de la barre des 100 nm, deux approches complmentaires sont mises en uvre : le Top Down (de haut en bas) et le Bottom Up (de bas en haut). La premire vise rduire au minimum les microcomposants existants. Lide matresse du Top Down est daller le plus loin possible dans la miniaturisation des technologies silicium, matriau roi de llectronique. Les premires ralisations industriellement viables contenant des

Atomes de fer sur du cuivre formant le mot atome en japonais.

nanocomposants devraient donc tre issues de cette filire dici trois cinq ans. La seconde approche consiste construire des nanocomposants, atome par atome . Savant mlange de physique et de chimie, le Bottom Up nest pas encore une technologie, do le qualificatif de nanoscience. Les laboratoires se penchent aujourdhui sur les briques (molcules de synthse, nanoparticules mtalliques, nanotubes de carbone) des nanoconstructions et leur assemblage.

Jusqu prsent, la loi de Gordon Moore na jamais t prise en dfaut

En 1965, Gordon Moore, cofondateur de la socit Intel, considrant la courbe de croissance des performances des processeurs, prdit que le nombre de transistors par unit de surface de silicium doublera tous les ans. En 1975, il rvisa son estimation pour porter le doublement tous les dix-huit mois. Depuis, sa loi na jamais t prise en dfaut. Et pour cause : elle est utilise par les investisseurs de lindustrie des semi-conducteurs pour leur business model, tandis que pour les concepteurs de circuits intgrs, elle est devenue un objectif atteindre pour rpondre aux impratifs du march: la miniaturisation permet en effet daugmenter la performance des puces lectroniques tout en rduisant leur cot de fabrication.
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IBM

Deux fois plus petit tous les dix-huit mois

Nombre de transistors par circuit intgr (puce)

LES DFIS DU

cea

MAI-JUIN

2002 - N 91 4

NANOLECTRONIQUE

.B

g rin

ard

Du petit au minuscule
Circuit intgr 1 cm
PhotoDisc

Affronter une autre physique

duits une taille de quelques nanomtres, les composants lectroniques adoptent un comportement inattendu : des grandeurs initialement continues (courant, tension, etc.) en physique classique, peuvent devenir discontinues. La physique classique permet de dcrire (au travers des notions de courant, de tension, etc.) le comportement collectif des lectrons. Or, dans des nanocircuits, les lectrons, peu nombreux, sont pratiquement isols : ils adoptent un comportement individuel obissant de nouvelles lois, celles de la physique quantique. Cependant, si les nanosystmes lectroniques tudis sont aujourdhui trop petits pour tre dcrits par la physique classique, ils vhiculent encore trop dlectrons pour quon leur applique pleinement les lois de la mcanique quantique. La mso-chelle laquelle ils appartiennent demeure un monde o tout reste dcouvrir.

Fourmi 1 cm

CNRI

Acarien 200 m

es

des Scie nc Cit

Cheveu 10 50 m

CNR I

Globule rouge 2 5 m

Transistor 0,8 m

ADN 2 12 nm

CEA

EA

CEA

Puce ADN 10 100 m

Explorer le nanomonde
CEA

Atomes auto-organiss 0,1 nm

e microscope effet tunnel (STM) est le premier instrument avoir permis lobservation de la matire lchelle de latome, un atome mesurant 0,2 0,3 nm. Invent en 1981, il inaugure une nouvelle famille dinstruments : celle des microscopes sonde locale, dont le principe diffre radicalement de celui des microscopes classiques. Plutt que dobserver la surface tudier, ils la palpent . En balayant avec une fine sonde mtallique la surface de lchantillon et en mesurant les interactions entre la pointe et ses atomes, il est possible de reconstituer sur ordinateur une image dune prcision de 0,01 nm ! Dans le cas du STM, linteraction mesure est leffet tunnel (lapparition dun courant quand la distance sonde-atome est faible), mais celui-ci ne sapplique qu des chantillons mtalliques. Dautres microscopes mesurant des effets diffrents permettent aujourdhui dtudier toutes sortes dchantillons. Le microscope force atomique permet ainsi dimager avec la rsolution atomique la surface dun isolant ; le microscope force magntique permet, quant lui, de dterminer la structure magntique dun chantillon.

En 1973, le prix de 1 million de transistors quivaut celui dune maison. En 2005, ils coteront le prix dun Post-it.

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cea

MAI-JUIN

2002 - N 91 5