REVISTA COLOMBIANA DE FSICA, VOL. 38, No.

4, 2006





1363
PROPIEDADES ESPECFICAS DE LAS DESCARGAS ENCENDIDAS EN LA RAMA
IZQUIERDA DE LA CURVA DE PASCHEN
C. O. Bautista Mendoza
1
, H. J . Dulc Moreno
2
, V. D. DougarJ abon
1
1
Universidad Industrial de Santander, Bucaramanga, Colombia
2
Universidad Francisco de Paula Santander, Ccuta, Colombia
(Recibido 09 de Sep.2005; Aceptado 20 de J un. 2006; Publicado 20 de Nov. 2006)
RESUMEN
Se estudian caractersticas de una descarga pulsada en la rama izquierda en la curva de Parchen
que se enciende en la cmara del dispositivo J UPITER. Los experimentos se ejecutan con el rango
de presiones 0,67-0,93 Pa y el voltaje 10-30 kV. Se encuentra que la distribucin de la densidad
del plasma y de la temperatura de los electrones es simtrica respecto al eje del ctodo que es de
forma cilndrica. Se determinan valores de la densidad del plasma y la temperatura de los
electrones.
Palabras claves: Curva de Parchen, Descargas Luminicentes.
ABSTRACT
The principal parameters of a pulse discharge ignited on the left branch of the Parchen curve in a
semi cylindrical chamber are studied. The experiments are realized in the pressure range of 0.67-
0,93 Pa at the inter-electrode space of 10, 20 y 30 kV. The plasma density and electron
temperature of the pulse discharges are found symmetric with regard to the axis of the cylindrical
cathode. The values of plasma density and electron temperature in the discharge volume are
determined.
Key words: Parchen curve, glow discharge.
1. Introduccin
La ley de Paschen [1] define el potencial de ruptura del gas en funcin de la presin y de la
distancia inter-electrdica que se expresa mediante del parmetro pd (p presin del gas, d-
distancia entre los electrodos). La curva de Parchen consiste en dos ramas que se determinan
respecto a la posicin del potencial mnimo de encendido de la descarga. En la parte de
presiones bajas respecto a la presin correspondiente al dicho potencial mnimo (la rama
izquierda de la curva de Parchen) el potencial de ruptura aumenta rpido con disminucin de la
presin alcanzando decenas y centenas de kilo-electrn-voltios. Las descargas de alto voltaje a
bajas presiones se estudiaban en los aos 30-60 del siglo XX y despus se encontraron casi
olvidados por tener poco aplicaciones tecnolgicas. El inters a este tipo de descargas se
restablece despus de su adecuacin a tratamiento de superficies metlicas. Esta tecnologa que
es la implantacin tridimensional (3DII) de iones en las descargas de alto voltaje [2] es
realizada en el dispositivo J UPITER [3,4]. Para buscar los regimenes ptimas en la 3DII es
importante estudiar propiedades especficas de la descarga en el J UPITER especialmente por lo
que la cmara del JUPITER no es simtrica. En el trabajo se hacen mediciones de las
caractersticas voltio-amperios de las descargas encendidos en la rama izquierda de la curva de
Parchen.



REVISTA COLOMBIANA DE FSICA, VOL. 38, No. 4, 2006






1364

2. Experimental
El esquema principal de la cmara del dispositivo JUPITER no se presenta pues se describe
detalladamente en [3,4]. En este trabajo se estudian las descargas encendidos por campos de
voltajes en el rango de 10-30 kV en el gas de nitrgeno cuya presin no supera 1 Pa. La cmara
de acero inoxidable de forma semi cilndrica se usa como el nodo. La distancia del ctodo
hasta la pared ms cercana es 25 cm y hasta la pared ms lejana es 40 cm.
En el problema de tratamiento de superficies metlicas por iones adems de la energa
inica un papel crucial juega el valor del flujo que incide a la muestra a modificar. La muestra
forma parte del ctodo y el flujo se calcula al medir la corriente de la descarga tomando en
consideracin la emisin de electrones secundarios que nacen por bombardeo inico de la
muestra. Para encontrar un rgimen de descarga ptimo referente al potencial inter-electrdico
y el flujo de partculas que bombardean la muestra se estudia la dependencia de la corriente en
el ctodo del voltaje aplicado. El circuito del sistema de alimentacin de la descarga garantiza
generacin de pulsos del voltaje de forma rectangular que encienden de pulsos de descarga. Los
parmetros que se registran son forma de cada de potencial en el espacio inter-electrdico y la
corriente total de la descarga en dependencia del voltaje. Las mediciones se realizan para los
pulsos de una duracin 0.25 ms con frecuencia de repeticin de 30 Hz. El nitrgeno es elegido
debido su amplia aplicacin en tecnologas de tratamiento de superficies slidas. La
dependencia de la corriente del voltaje aplicado entre los electrodos que se llama caracterstica
voltio-amperio (CVA) se puede calcular a partir de los pulsos de corriente y de los pulsos de
potencial obtenidos por separado. En la figura 1 se dan pulsos de corriente (la curva superior) y
de voltaje (la curva inferior) para los voltajes de 20 kV (la parte izquierda) y de 30 kV (la parte
derecha). Se puede ver que el plasma perturba los pulsos rectangulares de voltaje aplicado pero
el cambio de forma no es dramtico. La parte central de los pulsos tanto de la corriente como
del voltaje es casi plana y el valor mximo del voltaje medido coincide con el valor aplicado.
Tal peculiaridad garantiza que durante aproximadamente 0.2 ms la muestra esta bajo un flujo de
iones casi monocromticos de 20 keV y 30 keV (las partes izquierda y derecha respectivamente
en la figura 1).

Fig.1. Los pulsos de corriente (las curvas superiores) y de voltaje (las curvas inferiores). La parte
izquierda: V =20 kV, p =0.9 Pa; la parte derecha : V =30 kV, p =0.67 Pa.

Por esta propiedad la tecnologa JUPITER tiene ventajas significativas ante los mtodos PSII,
PIII [5,6] que no garantizan la monocromaticidad de las energas de iones.



REVISTA COLOMBIANA DE FSICA, VOL. 38, No. 4, 2006



3. Resultados
Como se puede ver en la figura 2 para cada potencial existe un rango de presiones donde se
obtienen pulsos de la corriente estable. Dicho rango va desde un valor de presin en el cual
aparece el pulso de corriente (ignicin) hasta una presin en la cual el plasma se vuelve
inestable; en dicho punto la corriente tiende a crecer bruscamente hacia valores muy altos que
se termina con desaparicin de la descarga. Es natural que el rango de presiones para descargas
estables es una funcin del voltaje aplicado. Se encuentra que las presiones ptimas para los
potenciales de 10, 20 y 30 kV que se usan para objetivos de modificaciones de propiedades
superficiales [5] son 0,67, 0,80 y 0,93 Pa respectivamente. Las curvas de CVA obtenidos
mediante los pulsos de la corriente y el voltaje (la figura 1) para arriba mencionadas
condiciones se presentan en la figura 3.



Fig.2. Curvas voltio-amperio para descargas de 10, 20 y 30 kV en el gas de nitrgeno.

Despus del encendido de la descarga se puede controlar la corriente de descarga, en un rango,
al cambiar la presin del gas de trabajo. El rango posible de cambio de la corriente de descarga
se encuentra entre dos lmites. El lmite superior presenta un valor de la corriente que al ser
superado da lugar a un aumento brusco de la corriente de descarga en algunas veces hasta que
se dispara el sistema de defensa del bloque de alimentacin. El lmite inferior es la corriente
mnima que puede garantizar la existencia de la descarga en el rgimen autosostenido. En la
figura 4 se colocan las curvas que representan el rango de presiones de trabajo. Las zonas de
existencia de la descarga presentada en el corriente (a) y el potencial (b) estn sombreadas. Se
ve bien que los rangos de la presin de trabajo para los diferentes voltajes no se cruzan y por



1365



REVISTA COLOMBIANA DE FSICA, VOL. 38, No. 4, 2006






1366
eso, como se observa, para la rama izquierda de la curva de Paschen, es imposible representar la
CVA como una familia de curvas con valor de presin de trabajo fija I = f(U, p = const).

Fig.3. Caractersticas voltio-ampricas para presiones 0,67 Pa; 0,80 Pa y 0,93 Pa.


Fig.4. (a) Rango de encendido de la descarga en dependencia con el voltaje aplicado. (b) Rango de
existencia de la descarga en funcin de presin.
Conclusiones
Se estudian las caractersticas integrales de la descarga de alto voltaje con dimensiones grandes
en el espacio de descarga (alrededor de 0,4 m). Se demostr que las condiciones de encendido
de la descarga de inters corresponden realmente a la rama izquierda de la curva de Paschen.
Los experimentos que para los aceros, que son la base de la mayora de los materiales de
construccin, se puede encender la descarga de alto voltaje (10-60 kV) en la cmara de vaco de
las dimensiones semi industriales.
Para un voltaje dado de la descarga de estudio se puede cambiar la corriente en un cierto rango
y as manejar con bastante efectividad los parmetros eligiendo el rgimen ms adecuado.
REFERENCIAS
[1] Druyvesteyn M., Penning F., Rev. Mod. Phys., 12, 89 (1940).
[2] V.I.Kvesyuk, P.A.Tsygankov, Surface and Coat. Technol. 96, 68 (1997).
[3] V.D.Dougar-J abon, H.J .Dulce Moreno, P.A.Tsygankov, Rev. Sci. Instrum, 73, 828 (2002).
[4] C.Bautista Mendoza, H.J .Dulce Moreno, V. Dougar-J abon, Revista Colombiana de Fsica, 35 328
(2003).
[5] J .R.Conrad, Material Sci. Engin., 116A, 197 (1987).
[6] J .N.Matossian, R.Wei, Surface Coat. Technol., 85, 92 (1996). B.P.Wood, D.J .Rej, I.Henins et al, J .
Vac. Sci. Technol., B12, 870 (1994).