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Technique moderne de mesure

de pression: Capteurs de
pression diffrentiels
- Une notion polysmique -

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La technique de mesure de pression a adopt plusieurs termes dsignant des
mthodes de mesure physiquement diffrentes. Au rang de ces mthodes figurent la
mesure de la pression absolue, la mesure de la pression relative et la mesure de la
pression diffrentielle. Le fait que notamment la notion de mesure de la pression
diffrentielle couvre diffrentes situations, reste ce jour inconnu de nombreux
utilisateurs. A l'aide de l'exemple des capteurs pizorsistifs, le prsent article explique
ces termes. On y dcrit notamment une version souvent employe et appele par
AMSYS [1] capteur de pression diffrentielle bidirectionnelle.

Disposition de base pour la mesure de pression diffrentielle




Illustration 1 : Le principe de la mesure de pression diffrentielle, au-dessus la mesure
de pression diffrentielle, au-dessous la mesure de pression diffrentielle
bidirectionnelle
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Mesure de la pression diffrentielle a laide dun capteur au silicium
















La mesure de la pression diffrentielle consiste comparer deux pressions P
1
et P
2

exerces de l'extrieur sur le botier (voir illustration 2) de part et d'autre du capteur (voir
illustration 3). Par consquent : P
1
P
2
ou l'inverse P
1
P
2
.













Gel de protect ion
P
1
P
2
Bot e plastique
Cellule de mesure
de pression
P
1
P
2
Pression 2
Glob Top
Bot e plastique
Pressuion 1
Fi l de connexion
Fi l de connexion
ASIC
Contacts


Illustration 2: Conception gnrale d'un capteur pizorsistif diffrentiel
Silicium
Pyrex
P P
1 2
P
2
P
1
Silicium
Pyrex
P P
1 2
P
2
P
1
Silicium
Pyrex
P
1
P
2
P = P
1 2
Membrane Membrane
Membrane


Illustration 3: Comportement de la membrane de la cellule de mesure a
silicium lors d'une mesure de la pression diffrentielle aux conditions : P
1

= P
2
, P
1
< P
2
und P
1
> P
2

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L'illustration 3 schmatise la dformation de la membrane de la cellule de mesure de la
pression diffrentielle en cas des conditions diffrents.
Pour des raisons expliques plus loin dans le texte, la plupart des capteurs de pression
diffrentielle ne peuvent traiter qu'un seul condition, soit P
1
/P
2
1 ou P
1
/P
2
1. Par
consquent, les capteurs auxquels s'applique cette rgle sont gnralement qualifis de
capteurs de mesure de pression diffrentielle.
Par consquent, pour les capteurs de pression dont la membrane a t optimise pour
une plage de pression, on applique de surcrot la condition savoir P
1
-P
2
P
max
ou bien
P
2
-P
1
P
max.
Il ne faut toutefois pas oublier que P
max
, la pression maximale admissible est
limite et spcifie par la technologie de la cellule de mesure.
Outre cette limitation par la pression maximale P
max
, il existe encore une condition dont il
faudra tenir compte suivant l'application. Il s'agit de la rsistance la pression du botier
contre la pression commune applique sur les raccords du botier. Cela signifie que P
1
et
P
2
ne doivent pas dpasser une certaine valeur par rapport la diffrence entre la
pression externe et interne. AMSYS qualifie cette valeur de pression systme maximale ou
pression common mode P
system
.
Exemple :P
max
= 20mbar, P1 = 10,01bar et P2 = 10bar.
P
1
-P
2
= 10,01bar -10bar = 10mbar < P
max,
Si par sa construction le botier est conu pour
une pression de systme de

maxi.5bar, aux deux entres on applique avec P
1
et P
2
une
pression de 5bar de plus quil est admis, ce qui peut le cas chant provoquer la
destruction du capteur.
Cela signifie quune condition ultrieure sera respecter : P1, P2 P
SYSTEME


La question savoir si P1/P2 1 ou P1/P2 1 sont dtermins, connat une importance
non ngligeable sous l'aspect de la rsistance contre les liquides pour la structure des
capteurs de pression AMSYS.
En dtail : la face suprieure de la membrane est munie de petites surfaces de contact
mtalliques (plages de connexion en aluminium de grande puret) qui ne rsistent pas la
corrosion. En gnral, elles sont protges par une couche en gel de silicone. Puisqu'il
n'existe que des gels protection plus ou moine slective, il est impossible de garantir une
protection universelle. Il faudra donc veiller ce que les capteurs prvus soient protgs
contre les milieux de contacts ayant probablement un effet corrosif.
Le dos des capteurs de pression au silicium (dans le cas de l'exemple les AMS 4711 [2] il
s'agit de verre, oxyde de silicium et cramique) est trs rsistant aux milieux par rapport
la surface suprieure cause des plages de connexion en aluminium manquantes. Il est
par consquent souvent conseill d'appliquer les milieux ou liquides critiques du ct
infrieur des cellules de mesure, ce qui est prendre en considration lors du choix des
capteurs par rapport leur scurit d'application.

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Traitement de signaux
Vu que les capteurs de pression au silicium gnrent avec un pont de Wheatstone un
signal diffrentiel d'env. 150mV au maxi (dpendant de la sensibilit de la membrane)
comme signal pleine chelle, il est ncessaire d'installer un amplificateur
d'instrumentation afin de pouvoir traiter les signaux. Cet amplificateur renforce le signal
avec un faible dcalage et une drive afin de permettre un traitement sans problmes.
Dans l'tape suivante de conversion asymtrique le signal diffrentiel est rapport un
potentiel dtermin. En gnral, on slectionne le point zro comme valeur de rfrence,
de sorte que pour les cellules de mesure diffrentielles (dans le cas idal disposant des
mmes rsistances) on mesure la valeur 0V comme signal de sortie sans exercer une
pression. Lors du traitement des signaux suivants, cette valeur est soit digitalise et
calibre soit mise au point zro souhait en Volt ou mA l'aide d'un tage de sortie de
tension ou de courant. A l'exemple du capteur AMS 4712 [3] cette valeur est p. ex. 4mA.










Illustration 4 : Electronique pour le traitement de signaux avec tage de sortie analogique
Si l'amplificateur d'instrumentation est dimensionn de faon ne pouvoir amplifier que
des tensions d'entre positives et si son entre positive on applique la tension plus
leve, alors on obtient la caractristique de transfert en illustration 5 avec P
1
>P
2
.











Illustration 5 : Caractristique de transfert avec signal d'entre positif p.ex. AMS 4712
V
S
(p.ex. 5Volt)
V
IN+
V
IN-
I = f ( P -P )
OUT 1 2
U
I
I
OUT
Amplificateur
dinstrumentation
Etage de
sortie
+
Signal de sort ie I
O UT
20mA
4mA
P = P
1 2
P
1max
I
max
I
min
P
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Signal d'entre
Si la valeur sur l'entre de l'amplificateur est ngative (p.ex. V(P1) < V(P2) dans le cas
d'une lectronique conue pour le cas P1 P2 ou s'il existe un dcalage ngatif (p.ex.
dcalage amplificateur), alors le signal de sortie du capteur indiquera zro ou une valeur
correspondant zro (par exemple 4mA), jusqu' ce que le signal d'entre remplisse la
condition V(P1) V(P2), jusqu' ce que donc le signal entre soit suprieur ou gal la
valeur du dcalage ngative.














Illustration 6 : Caractristique de transfert avec signal d'entre ngatif ou P
1
<P
2


L'utilisateur percevra p.ex. le dcalage ngatif existant sur l'entre de l'amplificateur se
prsentant dans la caractristique de transfert de l'illustration 6 comme s'il y avait un
dcalage, ce qui peut tre considr comme non-linarit en cas d'une mesure deux
positions. Ce dcalage (signal d'entre ngatif) doit tre pris en compte et corrig par le
systme lectronique de dtection. Cela signifie que la qualit du signal de sortie du
capteur dpend de la polarit du signal de la cellule de mesure et des caractristiques de
l'lectronique d'amplification.


Capteurs diffrentiels bidirectionnels

Outre les applications il existe des exigences pratiques pour lesquelles les deux conditions
P
1
P
2
aussi bien que P
1
P
2
sont requises dans un mme systme de pression (p.ex.
pour la ventilation et l'aration, le contrle de niveau de liquides divers, les fonctions
inspiratoires et expiratoires etc.). Cette tche de mesure ne pourrait pas tre rsolue avec
les techniques de mesures diffrentielles dcrites ci-dessus.

P
1
P
2
Signal de sort ie I
OU T
20mA
4mA
P = P
1 2
P
1max
I
max
I
min
P
Plage du dcalage ngatif
Non-linarit apparente
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Comme il n'existe pas de terminologie officielle consacre pour ce genre de capteurs de
mesure de pression diffrentielle, AMSYS les qualifie de capteurs de pression diffrentielle
bidirectionnels. Ils mesurent la diffrence entre deux pressions, qu'il s'agisse de pression
positive ou de dpression.

















Illustration 7 : Caractristiques de transfert d'un capteur de pression diffrentiel
bidirectionnel

La pression diffrentielle mesure par ces capteurs peut avoir un signe positif ou ngatif.
Par consquent, la pression P
1
exerce sur la tubulure de la face suprieure de la cellule
peut tre plus leve ou plus faible que la pression P
2
exerce sur la tubulure situe de
l'autre ct de la cellule et le signe peut donc varier pendant la mesure. Par consquent, la
condition suivante s'applique aux pressions P1 et P2 sur la tubulure :
P
min
P
1
- P
2


P
max avec
comme condition P
1
, P
2
P
System

Dans la formule ci-dessus, P
max
correspond la pression finale positive maximale et P
min

la pression finale ngative minimale des plages de mesure pour lesquelles les capteurs
ont t rgls. P
system
correspond la pression maximale exerce que peut supporter le
systme, par rapport la pression comune, exerce par l'extrieur sur le botier.

Les mesures diffrentielles bidirectionnelles ne sont ralisables qu' partir du moment o
le capteur remplit deux conditions.

Signal de sortie I
OUT
20mA
4mA
P = P
1 2
P
1max
P
1min
12 mA
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a) Le comportement de la structure de la membrane doit tre symtrique pour
permettre une dformation gale dans les deux directions et
b) Le comportement de transfert du systme lectronique li au point zro doit tre
adapt la plage d'amplification.

En ce qui concerne a), la membrane d'un capteur pizorsistif est constitue d'une fine
couche de semi-conducteur en strates (quelques micromtres). Outre la couche de
silicium en elle-mme, il s'agit en rgle gnrale d'une couche d'oxyde et de passivation.
C'est pourquoi, le comportement de la membrane pourra dpendre de la direction de la
pression. Au pire des cas, l'inversion de la direction peut mener un effet de bombage.
Les fabricants de cellules au silicium utilises pour la mesure de la pression diffrentielle
bidirectionnelle doivent donc garantir un comportement symtrique de la membrane que la
pression soit positive ou ngative.

En ce qui concerne b), le transfert des caractristiques schmatis dans l'illustration 7
ncessite un systme lectronique au niveau de l'amplificateur dont la rfrence ne doit
pas se rapporter pas au potentiel zro mais 50% de la valeur pleine chelle. A titre
d'exemple : le signal la sortie du capteur doit tre de 420mA , par consquent le point
zro de la version bidirectionnelle est fix 12mA de faon ce que pour P
1
P
2
le signal
s'lve de 4..12mA et que pour P
1
P
2
la plage aille de 12..20mA.


Rsum

Les capteurs de pression diffrentiels mesurent la diffrence entre deux pressions. On
distingue une mesure de pression diffrentielle dont les conditions de pression restent
invaries. Par consquent : la pression sur une tubulure est toujours suprieure/gale la
pression sur l'autre tubulure. La mesure d'une pression diffrentielle permettant des
surpressions aussi bien que les dpressions, est appele mesure de pression diffrentielle
bidirectionnelle comme dcrit dans l'article prcdent.
En outre explique-t-on que suivant ses applications, il faudra observer certaines conditions
lors du choix des capteurs de pression diffrentiels.


En savoir plus :
[1] Site internet :

http://www.amsys-sensor.com/info/news.htm
[2] Fiche technique AMS 4711 : http://www.amsys-sensor.com/sheets/amsys.en.ams4711_e.pdf
[3] Fiche technique AMS 4712 : http://www.amsys-sensor.com/sheets/amsys.en.ams4712_e.pdf