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CH VIII Fabrication des circuits

Composants lmentaires associes


Connexions et boitiers
Vitesse de fonctionnement, Vitesse de fonctionnement, Vitesse de fonctionnement, Vitesse de fonctionnement,
consommation et performances. consommation et performances.
Obsolescence programme Obsolescence programme
Remerciements
F Dupont;
Ainsi que
M Angenieux ;
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 2
M Angenieux ;
M. Boylestad ;
M. Nashelsky ;
M. Herv.
Plan du cours
Fabrication des circuits
Composants lmentaires associes
Diode
Transistor
Mmoire

Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 3


Connexions et boitiers
Vitesse de fonctionnement, consommation et performances Vitesse de fonctionnement, consommation et performances
Obsolescence programme Obsolescence programme
La jonction PN (diode)
diffusion des porteurs libres
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P
N
-
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P
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-
N
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 4
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
- -
-
-
-
-
-
-
- -
Diffusion
Recombinaisons de paires lectron-trou
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
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-
-
-
-
Fabrication dune diode jonction
N
P
P
N
Jonction PN
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 5
Le afer
Germe
Monocristal
de Si
Sciage,
Tirage
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 6
Si fondu
Silicium trs pur et monocristallin
Sciage,
polissage
R!alisation de la jonction PN
Rsine photosensible
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 7
Substrat (Silicium pur )
Couche pitaxiale de S
i
Oxydation (S
i
O
2
)
Rsine photosensible
R!alisation de la jonction PN
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 8
R!alisation de la jonction PN
Rsine photosensible
Masque
du dessin
raliser
Rsine insole
Rayonnement UV
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 9
Substrat (Silicium pur )
Couche pitaxiale de S
i
Oxydation (S
i
O
2
)
Rsine photosensible
Rsine insole
polymrise
Report du mas"ue
Rsine insole
polymrise
Solvant Solvant
Dessin report sur la rsine
rsistante lacide
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 10
Substrat (Silicium pur )
Couche pitaxiale de S
i
S
i
O
2
#ra$ure du %
i
&
'
Rsine insole
polymrise
SO
2
Acide fluorhydrique Acide fluorhydrique
Fentre
dans le S
i
O
2
pour le
dopage
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 11
Substrat (Silicium pur )
Couche pitaxiale de S
i
S
i
O
2
dopage
slectif
S
i
O
2
(opa)e s!lectif P
S
i
intrinsque
S
i
dop P
Premier caisson
A
Implantation dions accepteur
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 12
Substrat (Silicium pur )
S
i
intrinsque
S
i
dop P
(opa)e s!lectif P
Rsine masquage insolation nettoyage gravure dcapage dopage N
S
i
dop N
S
i
dop P
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 13
Substrat (Silicium pur )
S
i
intrinsque
Substrat
Dpt dor
(aprs masquage)
La puce pr*te mettre en bo+tier
S
i
dop P
Prise de contact
aprs dcoupage
Passivation S
i
dop N
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 14
Substrat
S
i
intrinsque
,uel"ues e-emples de circuits int!)r!s
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 15
Plan du cours
Fabrication des circuits
Composants lmentaires associes (diode,
transistor),
Diode
Transistor
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 16
Transistor
Mmoire
Connexion et boitier
Connexion et boitier
Vitesse de fonctionnement, consommation et Vitesse de fonctionnement, consommation et
performances. performances.
1948 Le transistor
1960 Les premiers C.I.
1970 Le microprocesseur
1980 Le PC
,uel"ues rep.res/
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 17
1980 Le PC
1990 Dbuts dinternet
2000 Lexplosion des tlcom mobiles
2010 Le rseau global trs haut
dbit ?
+
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P +
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P
Le transistor bipolaire
-
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N
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+
P P
-
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-
+
+
+
+
-
-
-
-
+
+
+
+
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 18
Emetteur Base Collecteur
PNP PNP
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
+
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+
+
P
-
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N N +
+
+
+
+
+
+
+
-
-
-
-
-
-
-
-
Le transistor bipolaire
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 19
Emetteur Base Collecteur
- - - - - -
NPN NPN
R!alisation tec0nolo)i"ue
N
Base Base
Dopage faible Dopage faible
Emetteur Emetteur
Dopage fort Dopage fort
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 20
Substrat (Silicium pur )
S
i
intrinsque
N
P
N
Collecteur Collecteur
Dopage moyen Dopage moyen
Base Base
mince mince
Le transistor 1&%F23
FET = Field Effect Transistor
Catgorie de transistor monopolaire
Commande
par le champ appliqu entre la grille (G) et la source (S)
du courant entre la source (G) et le drain (D)
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 21
MOS = Mtal Oxyde Semi-conducteur
Couche disolant => faible courant dentre
Utilis notamment dans les mmoires (USB)
+++ Sa consommation moindre que celle du transistor
bipolaire et sa tenue en tension meilleure
- - - Sensible au chargement et un peu lent
de Cyril BUTTAY
Mtal Mtal
Le transistor 1&% appau$rissement
Source Source
Drain Drain
Grille Grille
Substrat Substrat
Oxyde (isolant) Oxyde (isolant)
N+ N+
Contact
ohmique
Canal N Canal N
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 22
V
GS
= 0 et V
GS
>0
Courant depuis la source vers le drain par le canal
Substrat P
Mtal Mtal
Le transistor 1&% appau$rissement
Source Source
Drain Drain
Grille Grille
Substrat Substrat
Oxyde (isolant) Oxyde (isolant)
N+ N+
Contact
ohmique
- - - - - - - -
+ + + + + + + +
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 23
pinc
V
GS
< 0
N+ N+
Canal N Canal N
I
D
V
GS
-V
p
V
GS
>0
possible
Substrat P
Mtal Mtal
Le transistor 1&% appau$rissement
Source Source
Drain Drain
Grille Grille
Substrat Substrat
Oxyde (isolant) Oxyde (isolant)
N+ N+
Contact
ohmique
Canal N Canal N
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 24
Note : existence dune saturation si la tension entre le
drain et la grille devient trop forte
En effet, partir d'une tension de drain suprieure la
tension de grille (moins la tension de seuil), les
lectrons disparaissent au voisinage du drain, le
courant sature.
I
D
V
DS
Substrat P
Mtal Mtal
Le transistor 1&% enric0issement
Source Source
Drain Drain
Grille Grille
Substrat Substrat
Oxyde (isolant) Oxyde (isolant)
N+ N+
Contact
ohmique
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 25
Substrat P
Pas de canal Pas de canal
N initial N initial
Pas de courant source -drain
Mtal Mtal
Le transistor 1&% enric0issement
Oxyde (isolant) Oxyde (isolant)
Source Source
Drain Drain
Grille Grille
Substrat Substrat
N+ N+
Contact
ohmique
--------
++++++++
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 26
I
D
V
GS
V
T
V
GS
> 0
=> accumulation de porteur N prs de lisolant
=> Cration dun canal N induit
=> Gnration dun courant sourcedrain partir dun
seuil
Substrat P
In$erseur N1&% r!sistance
I
D
V
GS
=5v
V
GS
=6v
V
GS
=7v
V
GS
=8.5v
V
GS
=9v
V
GS
=3v
V
DD
V
GS
V
DS
R
V
GS
=8.5v
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 27
V
DS
1 v 5 v
10 v
V
GS
=3v
V
GS
V
DS
V
GS
7v
3v
10v
Transistor MOSFET
enrichissement
In$erseur C1&%
I
D
V
D
D
V
S
V =<6
V
GS
=7v
V
GS
=9v
V
GS
=8v
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 28
Blocage des 2 Transistors
V
DS
1 v 5 v
10 v
V
GS
V
DS
7v
6v
10v
V
e
I
D
V
DS
V
T
V
GS
=0v
V
GS
=<6
v
Plan du cours
Fabrication des circuits
Composants lmentaires associes (diode,
transistor),
Diode
Transistor
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 29
Transistor
Mmoire
Connexion et boitier
Connexion et boitier
Vitesse de fonctionnement, consommation et Vitesse de fonctionnement, consommation et
performances. performances.
1!moire
Mmoire ensemble de mots de N bits
1 bit = Une coordonne
= 1 nligne (mot) + 1 ncolonne (bit du mot)
Ecriture
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 30
Lecture
Slection du mot
1!moire
Dynamic Random Access Memory (DRAM)
+++ Hautes densits
- - - Besoin rafraichissement toutes
les 10-100 ns (fuite du condensateur)
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 31
1!moire
Static random access memory (SRAM)
+++ Pas besoin de rafraichissement
- - - Faibles densits
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 32
Bascules
transistors
MosFet
Plan du cours
Fabrication des circuits
Composants lmentaires associes (diode, transistor),
Diode
Transistor
Mmoire
Connexion et boitier
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 33
Connexion et boitier
Vitesse de fonctionnement, consommation et Vitesse de fonctionnement, consommation et
performances. performances.
Obsolescence programme Obsolescence programme
Lon)ueur des interconne-ions
sur la puce
20 000
25 000
30 000
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 34
0
5 000
10 000
15 000
20 000
1997 1999 2001 2003 2006 2009 2012
anne
l
(
m

t
r
e
s
)
Les principau- effets des interconne-ions

Rebonds
dpassements
Dformation
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 35

A
Retard
dpassements
chos
Attnuation
Les interconne-ions tous les ni$eau-
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 36
Ni$eau 45 sur la puce
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 37
Local : l < 1 mm ; R > 500 /m
Intermed. : 3 4 mm ; R > 100 /m
Global : l < 10 20 mm ; R < 100 /m
Ni$eau 67 La conne-ion par bondin) filaires
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 38
C.I.
Substrat
C.I.
C.I.
C.I.
Substrat
Ni$eau 6 7 1onta)e de la puce
A
B
C
D
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 39
A
Wire
bonding
B
TAB
D
Bump
Flip chip
C
Direct
L (pH) 1000-3000 500-2000 < 100 < 10
C (fF) "10-50" 20-40 < 10 < 1
R (m )
30-100 13-50 "2-6" <1
Continuit
lectromagntique
NON Faible Bonne Excellente
C.I.
Substrat Substrat
Ni$eau 65 le bo+tier (pac8a)in))
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 40
Ni$eau 659 le 1ulti C0ip 1odule
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 41
1ulti C0ip 1odule
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 42
Le ni$eau 659
200x300 mm 20x30 mm
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 43
11 Multichip Multichip
module module
11 Multichip Multichip
module module
1 Carte 1 Carte 1 Carte 1 Carte
Ni$eau 659
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 44
Ni$eau 659 7 Int!)ration :(
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 45
Plan du cours
Fabrication des circuits
Composants lmentaires associes (diode, transistor),
Diode
Transistor
Mmoire
Connexion et boitier
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 46
Connexion et boitier
Vitesse de fonctionnement, consommation et Vitesse de fonctionnement, consommation et
performances. performances.
Obsolescence programme Obsolescence programme

100
1000
10000
100000
1000000
M
i
l
l
i
o
n
s

d
e

t
r
a
n
s
i
s
t
o
r
s
/
p
u
c
e
Microprocesseurs
Mmoires
La loi de 1oore
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 47
0,001
0,01
0,1
1
10
1965 1970 1975 1980 1985 1990 1995 2000 2005 2010 2015
Anne
M
i
l
l
i
o
n
s

d
e

t
r
a
n
s
i
s
t
o
r
s
/
p
u
c
e
Gnrations technologiques (nm)
250
300
Lignes denses (DRAM half pitch), (nm)
La r!duction des dimensions
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 48
0
50
100
150
200
1997 1999 2001 2003 2006 2009 2012
Lignes isoles (MPU), (nm)
MPU : Micro-Processing Units
1000m3
1m3
DRAM
Tores magntique
1K
La r!duction des dimensions
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 49
1dm3
1cm3
1950
64K
64M
1K
1970
1M
1990
16G
2010
Volume dun Mbit de mmoire
1000
10000
F
r

q
u
e
n
c
e

d
'
h
o
r
l
o
g
e

e
n

M
H
z
P
a
s

m
i
n
i

e
n

n
a
n
o
m

t
r
e
s
Intgration / Vitesse
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 50
10
100
1975 1980 1985 1990 1995 2000 2005 2010 2015
Pas (nm)
Fclock Cost
Fclock Perf
F
r

q
u
e
n
c
e

d
'
h
o
r
l
o
g
e

e
n

M
H
z
P
a
s

m
i
n
i

e
n

n
a
n
o
m

t
r
e
s
Les points cl!s5 "uel"ues !tapes
Anne 1997-2001 2003-2006 2009-2012
Besoins en technologie des
semi-conducteurs
Dimensions (nm) lignes denses 250-150 130-100 70-50
Dimensions (nm) lignes isoles 200-140 120-100 70-35
Millions Transistors/cm
2
4-10 18-39 84-180
Niveaux d'interconnexions 6-7 7-8 8-9
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 51
Niveaux d'interconnexions 6-7 7-8 8-9
Besoins en technologie
d'assemblage et de packaging
Puissance (W) 1,2-61 2-96 2,8-109
Dimension de puce (mm
2
) 50-385 60-520 70-750
Tension (V) 1,2-2,5 0,9-1,5 0,5-0,9
Nombre d'I/O 100-900 160-1475 260-2690
Source S.I.A. roadmap 98
20
25
30
35
40
45
R
e
t
a
r
d

(
p
s
)
Gate
Inter Cu+Low k
Total Cu + low k
Inter Al+SiO
2
Total Al+SiO
2
Al : 3 cm
Low k : k = 2
Cu : 1,7 cm
SiO
2
: k = 4
Ligne : paisseur 0,8 m
longueur 43 m
Les interconne-ions5 le point cl!
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 52
0
5
10
15
20
100 200 300 400 500 600
Gnration (nm)
R
e
t
a
r
d

(
p
s
)
longueur 43 m
0,28m
0,18m
Les interconne-ions5 le point cl!
L longueur de ligne
h hauteur de ligne
w largeur de ligne
s espace entre les
deux lignes
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 53
deux lignes
pitch = w+s
s w
L
RC
.
2
0

=
Les limitations dues au- interconne-ions
1900
2400
2900
F
r

q
u
e
n
c
e

d
'
h
o
r
l
o
g
e

(
M
H
z
)
Cu-Low k
Al-low k
Cu-SiO2
Al-SiO2
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 54
400
900
1400
40 60 80 100 120 140 160 180 200 220 240
Dimensions (nm)
F
r

q
u
e
n
c
e

d
'
h
o
r
l
o
g
e

(
M
H
z
)
Plan du cours
Fabrication des circuits
Composants lmentaires associes (diode, transistor),
Diode
Transistor
Mmoire
Connexion et boitier
Michal Beuve / IPNL/ UCB Lyon1 55
Connexion et boitier
Vitesse de fonctionnement, consommation et Vitesse de fonctionnement, consommation et
performances. performances.
Obsolescence programme Obsolescence programme

&bsolescence pro)ramm!e ;
d!finition
Dure de vie technique
Dure moyenne pendant laquelle un composant, un produit
rpond aux fonctions pour lesquels il a t conu.
Obsolescence programme (ou la dsutude planifie)
Soppose la recherche de stabilit, fiabilit
Vise crer un bien en prvoyant sa date de dsutude.

Vise crer un bien en prvoyant sa date de dsutude.


fabricants conoivent des objets dont la dure de vie
commerciale est dlibrment courte.
Note: dure de vie commerciale pas ncessairement dure de vie
technique
1924 : lampe incandescence classique
Comit Phbus : accord entre les principaux fabricants mondiaux d'ampoules
(OSRAM, Philips) pour rduire la dure de vie des ampoules
R&D : passage de 2500 heures 1000 heures
&bsolescence pro)ramm!e ; t<pes
Dfaut fonctionnel
Optimisation des dures de vie des composants
majeurs
en fonction de la dure de garantie , dure commerciale
Ex: roulement billes, composants lectroniques
Ajouter sciemment des dfauts de conception au
produit vendu produit vendu
Exemple Imprimante:
Mmoire EPROM => comptage du nombre de pages
Si (Nb page> valeur max) blocage de limprimante
Astuce : entretien (nettoyage des rcuprateur dencre) +
logiciel libre pour dbloquer
&bsolescence pro)ramm!e ; t<pes
Obsolescence indirecte
Pices de rechange / dtaches
dlais, plus fabriques, couteuses
Ex: batteries, chargeurs
Produits non dmontables Produits non dmontables
(lments colls ou fondus, vis spciales)
Apple : iPhones/iPods batterie non-changeables par l'utilisateur
Changement dun fusible dans un grille- pain
Support et maintenance
Ex: juillet 2006, Microsoft abandonne le service de support et de
maintenance corrective pour les logiciels Windows 98 et Millenium
&bsolescence pro)ramm!e ; t<pes
Obsolescence indirecte (suite)
Obsolescence par notification
Ex: cartouche dencre
annonce cartouche vide
Dpose/Repose => rgle le problme
Obsolescence par incompatibilits
Logiciels informatiques
Obsolescence esthtique
Fin du modle T de Ford
&bsolescence pro)ramm!e ; informati"ue
Ressources permettant de
dvelopper de nouveau produit soft
Pr-installation de systme
Besoin de
ressources
hard
Software Hardware
&bsolescence pro)ramm!e ; informati"ue
March du micro-processeur
Vrification surprenante de la loi (conjecture) de
Moore
Deux explications possibles

Rythme de progression rgulier (cycles de recherche et


dveloppement, validation des nouveaux processus de
microgravure) pour tous les constructeurs
Stratgie dlibre???
rpartition distille de l'offre.
modle stable de consommation
correspondance contrle entre efforts
d'innovation et renouvellements de la clientle
bnfices
&bsolescence pro)ramm!e ; bilan
+++ Modle conomique permettant de :
dynamiser le march
crer des conditions favorables aux entreprises innovantes.
Anticiper et prvoir l'volution des ventes sur le long terme
rduit les risques conomiques
facilite la planification des investissements industriels. facilite la planification des investissements industriels.
--- Produire des objets rapidement obsoltes
Globalement pas trs efficace
Consommation
temps humain (Manpower)
matire premire
nergie
Production importante de dchets