1.

Esfuerzos Residuales
1.1 Introduccin.
1.2 Definicin Mecnica del Esfuerzo y la Deformacin
1.3 Medida de los Esfuerzos con Difraccin de rayos X
1.4 Mtodo del
1.5 Esfuerzo Residual en Pelculas Delgadas
1.5.1 Esfuerzos Trmicos
1.5.2 Esfuerzos Intrnsecos
1.5.2.1 Esfuerzos Residuales Tensiles
1.5.2.1 Esfuerzos Residuales Compresivos
1.6 Esfuerzos Residuales en Multicapas
1.6.1 Esfuerzos en la Intercara
1.7 Evolucin del Esfuerzo Residual en la Microestructura
1.8 Difraccin de rayos X en Pelculas Delgadas
1.9 Geometra de Incidencia Rasante
1.10 Perfil de Profundidad
1.11 Perfil de Curve (Barrido

1.12 Modelos de Interaccin de Grano

1.13 Modelamiento de los Esfuerzos Residuales por Difusin
Bibliografa

1. Esfuerzos Residuales
1.1 Introduccin
La evaluacin de los Esfuerzos Residuales es una etapa importante en el mejoramiento del
desempeo de los materiales, el control de la deformacin de los componentes y la
comprensin en los procesos industriales. En general los esfuerzos residuales tienen varios
orgenes: mecnico, trmico, termo-mecnico o termo-qumico.
En general estos Esfuerzos Residuales son causados por una inhomogeneidad en la
deformacin la cual es generada desde uno o ms de tres orgenes fsicos fundamentales:
flujo plstico, cambio de volumen y dilatacin trmica. Una incompleta relajacin lleva de
la deformacin elstica asociado con estos fenmenos a un esfuerzo residual.
En el slido hay, adems, incompatibilidades locales causados por defectos del cristal,
dislocaciones, fronteras del grano, partculas de segunda fase, etc. El origen exacto del
esfuerzo va a depender de la escala de observacin.
Se pueden distinguir tres clases de esfuerzos residuales en un material de acuerdo a la
longitud de la escala:
(1.1)
Donde es el macro-esfuerzo que representa el promedio de los esfuerzos residuales sobre
muchos granos, que surge del crecimiento de la pelcula y de la diferencia de la expansin
trmica correspondiente al cambio del parmetro de red y puede ser obtenido del
desplazamiento del pico de difraccin.
micro-esfuerzo se define como la diferencia
entre el promedio de los esfuerzos residuales de un grano particular y el macro-esfuerzo, es
inducido por la anisotropa plstica y elstica entre granos dando lugar al corrimiento de un
pico y su ensanchamiento.
micro-esfuerzo es la variacin del esfuerzo dentro de un
grano especfico, que surge de los defectos por dislocacin a causa de fluctuaciones locales
de los parmetros de red (micro-deformaciones) y afecta el ensanchamiento del pico y su
intensidad [1].
1.2 Definicin Mecnica del Esfuerzo y la Deformacin
Consideremos un cubo slido en el que todas sus caras son sometidas por una fuerza
externa (Fig. 2.1), dichas fuerzas generan esfuerzos. Puesto que el cuerpo est en equilibrio
esttico, las fuerzas sobre las caras mutuamente paralelas sern iguales en magnitud pero
de signo opuesto. Tanto la fuerza como el esfuerzo en cualquier cara del solido se puede
descomponer en tres componentes: dos en el plano que actan y el tercero normal a este
plano. Entonces el esfuerzo para el slido es representado por un tensor de segundo orden
:
(1.2)

Donde Fi el componente de fuerza en la direccin xi que acta en el elemento de volumen

caracterizado por la superficie dSj, cuya normal est en la direccin xi.

Fig. 1.1 Componentes del esfuerzo en un cubo sometido a una fuerza externa en todas las
caras. La notacin completa
puede ser escrita en el sistema de referencia:
(

(1.3)

Los elementos de la diagonal representan el esfuerzo normal en planos normal a la

direccin de los ejes elegidos, y los otros elementos son los esfuerzos cortantes.
El tensor del esfuerzo es simtrico (
) y puede ser diagonalizado, lo cual significa
que para cualquier punto se puede seleccionar un sistema de ejes particular llamado ejes
principal del tensor por lo que solo los elementos de la diagonal son diferentes de cero, es
decir, un sistema de ejes donde solo hay esfuerzos a lo largo de los ejes, y no hay esfuerzos
cortantes entre ellos. Estos componentes son los componentes principales del tensor de
esfuerzo.
En la prctica, no es el esfuerzo que se obtiene por medidas de difraccin. Es necesario
transformar la deformacin en esfuerzos. En un slido, la fuerza externa aplicada deforma
la estructura. Es entonces necesario definir un campo de deformacin caracterstico de los
desplazamientos resultantes. El estado de deformacin de un pequeo elemento de volumen
es definido por un tensor de segundo orden . Para una pequea deformacin la expresin
se escribe as:
[

] (1.4)

En el cual u es el vector de desplazamiento.

En su notacin completa y para el sistema de referencia estndar, se puede escribir como:
(

(1.5)

Los elementos de la diagonal representa la deformacin a lo largo de la direccin de los

ejes elegidos y los otros elementos son las deformaciones cortantes entre los ejes. Al igual
que para el tensor de esfuerzo, el tensor de deformacin es simtrica es decir
Cuando el material es sometido a una carga aplicada, se desarrolla un campo de
micro-esfuerzo y micro-deformacin . Por definicin, el macro-esfuerzo es igual al
valor promedio del campo de micro-esfuerzo en el volumen V:

(1.6)

En el mismo sentido, la macro-deformacin se escribe como:

(1.7)

Si la muestra es homognea y elstica, hay una correlacin lineal, en la escala

macroscpica entre dos trminos Si la muestra es homognea y elstica, hay una
correlacin lineal, en la escala macroscpica entre dos trminos y y:

(1.8)

Donde representa la constante elstica macroscpica de la matriz.

En el mismo camino, en la escala microscpica:
(1.9)
Donde C es el coeficiente elstico microscpico de la matriz.
La relacin microscpica entre el tensor de deformacin y el tensor de esfuerzo es
Dado por la generalizacin de la ley de Hooke:
(1.10)
O el esfuerzo en funcin de la deformacin:
(1.11)
Donde Cijkl y Sijkl son los coeficientes de la rigidez y el inverso de la rigidez,
respectivamente, y son tensores de cuarto orden.

1.3 Medidas de los Esfuerzos con Difraccin de rayos X

El macro-esfuerzo es lo que clsicamente se ha considerado en esfuerzos residuales. Es
bien conocido que los esfuerzos residuales afectan las propiedades de los materiales, los
cuales pueden beneficiar o perjudicar en el desempeo del material. La resistencia a la
fatiga, por ejemplo, se puede mejorar o reducir por esfuerzos tensiles o compresivos,
respectivamente cerca a la superficie. El esfuerzo residual tambin inhibe la capacidad de
mantener un control dimensional de componentes durante la manufactura debido a que
material con presencia de esfuerzos es removido.
Por esta razn la caracterizacin de los esfuerzos residuales es una consideracin
importante en la ingeniera. Los mtodos de difraccin son atractivos para la medida de los
esfuerzos residuales debido a que son no destructivos, precisos y capaces de medir
esfuerzos cerca a la superficie como en el interior de los materiales.
La difraccin puede ser usado para medir con exactitud la distancia interplanar utilizando la
ley de Bragg:
(1.12)
Donde
es la longitud de onda de la radiacin usada, es la mitad del ngulo de
difraccin y d es el espaciamiento interplanar promedio para una reflexin dada en un
material cristalino. En un material con presencia de esfuerzos, el espaciamiento de la red
puede ser usado como medida de deformacin, dando una medida de deformacin lineal en
la direccin del vector de difraccin. Si do y
son el espaciamiento de la red y el
correspondiente ngulo de Bragg para el material libre de esfuerzo, la deformacin se
puede calcular como:
(1.13)
El estado de deformacin en algn lugar del material es un tensor de segundo orden
representado por un componente axial y normal referenciado a un sistema de coordenadas
dado. El estado de deformacin de un material puede ser determinado usando difraccin
por medida de la deformacin lineal o normal en un nmero de direcciones y utilizando las
reglas que especifiquen como los componentes de un tensor de segundo orden se
transforma con la direccin. Despus de haber determinado los componentes de
deformacin, los componentes de esfuerzo son calculados usando la ley de Hooke.

Fig. 1.1 Componentes del esfuerzo en un cubo sometido a una fuerza externa en todas
las caras.

En primer lugar, la creacin de dos sistemas de coordenadas es ilustrada en la

Fig. 1.2. El sistema de coordenadas es el sistema de coordenadas de la muestra.
Aunque es libre de ajustar este sistema de coordenadas del material en todo lo que se
quiere, la geometra del componente frecuentemente sugiere el conjunto de coordenadas de
la muestra. Para la medida del esfuerzo cerca de la superficie usando rayos X se acostumbra
a colocar el eje
normal a la superficie. El eje de coordenadas
corresponde al sistema
del laboratorio, el cual es el marco de referencia para hacer las medidas de difraccin. El
eje de coordenadas
est orientado con respecto al eje de coordenadas de la muestra por
los ngulos y como se muestra en la Fig. 1.2. Por orientacin de la muestra con
respecto al haz incidente y difractado tal que el vector difractado a lo largo del eje
, se
puede medir la deformacin a lo largo de esta direccin, denotado como
. Un pico de
difraccin es registrado y el ngulo de Bragg es determinado con precisin. La deformacin
entonces se determina por la ecuacin (1.13).
Se relaciona la deformacin medida en el sistema de coordenadas de referencia con los
componentes desconocidos de la deformacin en el sistema de coordenadas de la muestra
por medio de la expresin [2]:
(1.14)
Donde
son los cosenos directores entre el sistema de coordenadas de referencia y de la
muestra que es definido como
(
). Entonces los cosenos directores son:

(1.15)

Sustituyendo estas en la ecuacin (1.14) se obtiene:

(1.16)

Una vez obtenido el tensor de deformacin con la ecuacin (1.16), el tensor de esfuerzo en
trminos de la ley de Hooke es:
[

( )

(1.17)

Donde S1 y (1/2)S2 son las constantes elsticas de difraccin.

1.4 El mtodo de
El mtodo de
es el mtodo tradicional para la medida del esfuerzo cerca a la
superficie con rayos X, utiliza el hecho de que el espaciamiento d entre dos direcciones
principales ser lineal con el cuadrado del seno del ngulo entre ellos.
En primer lugar, se sustituye la ecuacin (1.17) en la ecuacin (1.16):
( )

( )

(1.18)

En la regin cerca a la superficie, el esfuerzo

i3 no existe como macro-esfuerzo [3,4]. En muchos casos, el micro-esfuerzo ser cero y
entonces estos trminos desaparecern.
Entonces el esfuerzo a lo largo de la direccin en la superficie de la muestra se define:
(1.19)
Entonces la ecuacin (1.18) se transforma en:
( )

(1.20)

Esta ecuacin muestra que

o
es lineal con
para una constante de . La
pendiente de la medida del espaciamiento de d es proporcional al esfuerzo .

1.5 Esfuerzo Residual en Pelculas Delgadas

En ausencia de cargas externas, el esfuerzo presente en un material es denominado
Esfuerzo Residual. En pelculas delgadas, el esfuerzo residual puede tener tres
contribuciones de acuerdo al instante de su origen [5, 6]:
(1.21)
La contribucin
es vinculada con procesos de crecimiento (llamados esfuerzos
intrnsecos o de crecimiento),
(esfuerzos trmicos) es la consecuencia de procesos de
enfriamiento despus de la deposicin del recubrimiento y
(esfuerzos externos) es
consecuencia de la diferencia estructural entre el sustrato y la pelcula. Se asume que estos
ltimos son despreciables o se relajan por dislocaciones desiguales en la red.
1.5.1 Esfuerzos Trmicos
Comnmente los esfuerzos trmicos son atribuidos a la diferencia en el coeficiente de
expansin trmica de la capa
y del sustrato . Esto se presenta, si se supone isotropa
elstica en la pelcula y un sustrato de espesor infinito comparado con la pelcula, un estado
de esfuerzo biaxial en la pelcula y sin deformacin plstica en el sistema sustrato-pelcula
(totalmente comportamiento elstico), entonces el esfuerzo trmico puede ser calculado por
la ecuacin:
(1.22)
Donde Td es la temperatura de deposicin, EL es el Mdulo de Young de la pelcula, VL es
la relacin de Poisson de la capa. El signo del esfuerzo depende de la relacin entre los
coeficientes de expansin de los dos materiales.
1.5.2 Esfuerzos Intrnsecos
Los esfuerzos intrnsecos es el nombre que se le da a los esfuerzos debido a defectos, a la
microestructura o a la diferencia de la red entre la pelcula y el sustrato.
Estos esfuerzos intrnsecos se pueden dividir en Esfuerzos Residuales Compresivos y
Esfuerzos Residuales Tensiles.
1.5.2.1 Esfuerzos Residuales Tensiles
Los esfuerzos tensiles son ms frecuentemente explicados por mecanismos de coalescencia
del grano, donde se presume que los granos vecinos de la pelcula se unen espontneamente
bajo la accin de fuerzas interatmicas, eliminando dos superficies libres a favor de una
frontera de grano deformada elsticamente. Esta contraccin neta en el plano produce
esfuerzos tensiles durante el crecimiento de la pelcula. Dentro de los modelos que se han
propuesto para explicar la formacin de los esfuerzos tensiles est el modelo propuesto por

Doljack y Hoffman [7, 8], en el que el esfuerzo es determinado como un resultado de la

contraccin elstica del grano (contraccin de la frontera del grano) en una distancia :
(1.23)
Donde E, y d, son el mdulo de Young, la relacin de Poisson y el dimetro del grano
respectivamente.
Otro modelo es el propuesto en el trabajo de Nix y Clemens [9], usa bsicamente la misma
idea del modelo anterior, a travs de la eliminacin de exceso de volumen, considerando
pelculas formadas por islas de forma elptica. En su aproximacin, el equilibrio entre la
energa elstica almacenada y la energa de la frontera del grano formada a partir de
superficies libres es analizado por medio de la expresin:

(1.24)

Donde
y
son la energa de superficie y la energa de frontera de grano
respectivamente, r es el radio del eje menor de la elipse el cual est en contacto con el
sustrato.
El modelo propuesto por Freund y Chason utiliza la teora de contacto Hertziano con
atraccin cohesiva para modelar la contraccin de islas en un arreglo de dos dimensiones de
islas hemisfricas [10], tal que, su esfuerzo promedio debido a la coalescencia de islas est
dado por:

(1.25)

En el trabajo de Seel y colaboradores [11], modelan el proceso de coalescencia de islas

empleando mtodos de elementos finitos, en el que se presenta un modelo de generacin y
relajacin de esfuerzos tensiles involucrando la cintica de la evolucin del esfuerzo tensil
durante la deposicin de pelculas delgadas que crecen por el mecanismo de VolmerWeber.
1.5.2.2 Esfuerzos Residuales Compresivos
Los esfuerzos residuales compresivos, dependiendo del mecanismo en el que se explica su
formacin, se pueden dividir en dos lneas: golpeteo atmico y difusin de adatomos [12].
Golpeteo Atmico: Se tiene una aproximacin terica expuesta en el modelo propuesto por
Windischmann [13], el cual es basado en tres principales suposiciones: (i) el bombardeo
energtico de la superficie de la pelcula causa desplazamientos de tomos de la pelcula
desde su posicin de equilibrio a travs de una serie de colisiones, produciendo una
distorsin volumtrica, (ii) para pelculas depositadas a bajas temperaturas del sustrato, el
transporte de masa y la movilidad de defectos son suficientemente bajos para detener la

distorsin volumtrica en el lugar y (iii) la distorsin volumtrica, d, la cual corresponde a

la deformacin es proporcional a la fraccin de nmero de tomos, n/N, desplazados desde
la posicin de equilibrio, es decir, d = (Kn/N) donde K es el factor de proporcionalidad. El
clculo desarrollado por Windischmann lleva a la siguiente expresin de esfuerzo
intrnseco compresivo:
[(

(1.26)

Donde
y Ep son el flujo y la energa cintica de las partculas, respectivamente, NAV es
el nmero de Avogadro, Df es la densidad de la pelcula y Mt masa de los tomos de la
pelcula (tomos del blanco). El factor depende de la energa cohesiva, Uo, de los tomos
de la pelcula, masas (Mp y Mt) y nmeros atmicos (Zp y Zt) de las partculas incidentes y
tomos de la pelcula, respectivamente.
Otro modelo basado en el golpeteo atmico es el propuesto por Davis [14] que se basa en
dos suposiciones: (i) el esfuerzo intrnseco compresivo es causado por la implantacin
atmica bajo la superficie de la pelcula bajo procesos de golpeteo de acuerdo al modelo
propuesto por Windischmann, (ii) una alta movilidad trmica (termal spike) es asumida
para reducir los esfuerzos causados por el desplazamiento de la implantacin atmica. La
implantacin atmica en posiciones metaestables la cual adquiere alguna energa de
excitacin, Ed, escapara de su posicin metastable a la superficie de las pelcula. El
esfuerzo intrnseco compresivo en la pelcula puede ser expresado as:

)( )

[(

)(

)]

)
(

(1.27)

Donde Uo es la energa de sublimacin o energa cohesiva del material depositado,

es el
flujo de tomos condensados en la superficie de la pelcula e incorporados en el crecimiento
de la pelcula;
y Ep son el flujo y la energa cintica de las especies energticas
incidentes, respectivamente.
Difusin de Adatomos: Es basada en modelos que asumen que el exceso de adatomos son
incorporados dentro de las fronteras del grano durante la deposicin. El trabajo ms
representativo es el desarrollado por Chason y sus colaboradores [15], en el que proponen
un modelo para la evolucin del esfuerzo basado en la difusin de adatomos en y fuera de
las fronteras del grano durante el crecimiento y la interrupcin, respectivamente. En este
modelo, la direccin de la difusin de los adatomos es determinada por la diferencia en el
potencial qumico entre la superficie de la pelcula y la frontera del grano. Durante el
crecimiento, un flujo atmico hace que el potencial qumico de la superficie sea mayor que
el de la frontera del grano (alta densidad de adatomos o defectos), el cual es la fuerza
impulsora para que los adatomos de la superficie se difundan dentro de la frontera del
grano, generando una compresin de los granos a ambos lados de la frontera produciendo
un esfuerzo compresivo en la pelcula. Durante la interrupcin del crecimiento, el potencial

qumico en la superficie es menor que el de la frontera del grano, relajando el esfuerzo

compresivo de la pelcula. Este modelo tambin puede explicar el esfuerzo tensil de las
pelculas durante la ltima etapa de crecimiento Volmer-Weber (VW) con baja movilidad
de materiales considerando la competicin entre la generacin del esfuerzo tensil
(formacin de la frontera de grano) y la generacin del esfuerzo compresivo (difusin entre
la frontera de grano y la superficie) [16].
1.6 Esfuerzos Residuales en Multicapas
Los esfuerzos en las multicapas pueden ser el resultado de (i) interaccin con el sustrato,
(ii) interaccin entre los elementos constituyentes de cada bicapa y/o (iii) presencia de
intercaras.
Los esfuerzos con la interaccin con el sustrato estn relacionados a los procesos de
crecimiento y a la diferencia en los coeficientes de expansin trmica entre el sustrato y
cada uno de los componentes de la multicapa. La interaccin entre los constituyentes de
cada bicapa puede llevar a un esfuerzo de coherencia el cual resulta de una minimizacin
de la diferencia de los dos parmetros de red. La presencia de las intercaras en la multicapa
resulta en esfuerzos interfaciales que corresponde al trabajo reversible por unidad de rea
necesaria para deformar la intercara.
El esfuerzo de la multicapa calculado a partir de la curvatura del sustrato utilizando la
ecuacin de Stoney, de acuerdo a Ruud [17] puede ser escrito como:
(1.28)
Donde

es el esfuerzo residual promedio de los esfuerzos del componente A y del

componente B determinados por difraccin (

intercara y espesor de la bicapa.

), f esfuerzo de la

1.6.1 Esfuerzos de la Intercara

Cuando un slido con una microestructura de escala fina es elsticamente deformado, el
trabajo se realiza con fuerzas de volumen y las fuerzas de la intercara. Aun si no hay una
carga aplicada externa, el equilibrio mecnico seala que los esfuerzos en el bloque son
requeridos para compensar los esfuerzos en la intercara. En un material policristalino, los
esfuerzos del bloque que surgen de los esfuerzos de la intercara son despreciables; sin
embargo para un slido con una microestructura a escala nanomtrica, los esfuerzos de la
intercara no se pueden despreciar, debido a que ellos inducen en el Esfuerzos Residuales 40
esfuerzo del bloque en el orden de f/L, donde f es un escalar y corresponde al esfuerzo de la
intercara y L denota la longitud caracterstica de la microestructura tal como la longitud de
la bicapa que se repite o el tamao del cristalito promedio. Cahn [18] ha sealado que el
esfuerzo de la intercara se define como el trabajo reversible necesario para deformar
elsticamente un rea A de una intercara preexistente. Si la intercara A es medida en

coordenadas de un slido indeformable, entonces el esfuerzo de la intercara fij, un tensor

2x2 con las que pueden tener cualquier signo, es definida como
(1.29)
Donde es la energa libre interfacial por unidad de rea de referencia A0 de la intercara
sin deformar y eij representa la deformacin tangencial media a lo largo de la intercara.
Usando puntos del material en una configuracin sin deformar como estado de referencia,
esto implica que el rea de la intercara A0 se toma constante, independiente de los valores
finitos de eij. Como una consecuencia, el rea real Areal de la intercara deformada en
funcin de A0 est dada por Areal = A0(1+eii).
El esfuerzo de la intercara tambin puede ser expresado como
(1.30)
Donde

es la energa libre interfacial por unidad de rea de la intercara deformada Areal.

1.7 Evolucin del Esfuerzo Residual en la Microestructura

Se ha encontrado que la magnitud del esfuerzo intrnseco en pelculas crecidas por
deposicin fsica en fase vapor (PVD) est relacionado con la microestructura de la
pelcula, es decir, morfologa, textura y tamao de grano [19, 20]. Propiedades de la
pelcula tales como el esfuerzo residual y la microestructura son sensibles a los parmetros
asociados con la deposicin tales como la presin del gas de trabajo, la temperatura del
sustrato, voltaje bias del sustrato entre otros. A una baja temperatura del sustrato y a una
alta presin de trabajo se tiene una estructura columnar de baja densidad que
correspondera a la zona I (Fig. 1.1). Cuando la temperatura se incrementa o se disminuye
la presin, la microestructura es ms densa y correspondera a la zona II del diagrama SZM
(Fig. 1.1).

Fig. 1.3 Evolucin del Esfuerzo residual y la microestructura como funcin de la

temperatura y la presin de Ar en una pelcula delgada de Tungsteno.
Para el caso de la tcnica de sputtering, la zona I de baja densidad tiene huecos entre
las columnas generando un esfuerzo tensil en el recubrimiento. Zonas de alta densidad
tienen pocos poros, un bombardeo extra resulta en la captura de tomos de argn y en un
golpeteo atmico que origina un esfuerzo compresivo en el recubrimiento.
Los esfuerzos tensiles surgen de la interaccin de las fronteras columnares abiertas con la
estructura de la zona I. En este caso, el esfuerzo en las columnas individuales puede estar
relajado por la expansin de las columnas dentro de los lmites de los huecos lo cual lleva a
una reduccin de cualquier componente del esfuerzo de crecimiento (o intrnseco) de
manera que estas interacciones de frontera pueden ser significativas. En el caso donde los
recubrimientos pueden ser bombardeados por partculas energticas tales como iones
durante el proceso de sputtering o usando bias, el esfuerzo compresivo usualmente es
generado por mecanismos de golpeteo inico. La superficie es forzada a expandirse con el
fin de acomodar los defectos producidos por procesos de bombardeo lo cual conlleva a un
estado de esfuerzo compresivo. Se ha encontrado que el componente del esfuerzo
compresivo del recubrimiento es proporcional a la raz cuadrada de la energa de las
partculas bombardeadas, de manera que se dice que el fenmeno involucra transferencia de
momento. Sin embargo, un alto bombardeo lleva a la relajacin del esfuerzo, inducido por
la movilidad trmica y esto reduce el esfuerzo compresivo observado en pelculas
depositadas a bajas presiones de argn [21].
En la Fig. 1.3 se observa que el esfuerzo y la microestructura depende fuertemente de la
temperatura de deposicin y la presin parcial de argn en la pelcula de tungsteno del
trabajo de Haghiri Gosnet et al. [22]. Se observa como de un estado de esfuerzo tensil
asociado a una estructura porosa, pasa a un estado de esfuerzo compresivo para una

microestructura densa. Esta transicin de microestructura y el esfuerzo residual se da a

causa de las variaciones de las condiciones de crecimiento.
1.8 Difraccin de Rayos X en Pelculas Delgadas
Los mtodos de difraccin bsicamente miden los ngulos a los cuales toma lugar la
mxima intensidad difractada cuando la muestra cristalina es sometida a rayos X. A partir
de estos ngulos, y usando la ley de Bragg, es posible obtener el espaciamiento interplanar
de los planos cristalinos que difractan los rayos X. Si en la muestra existen esfuerzos
residuales, entonces el espaciamiento d ser diferente al correspondiente a un material libre
de esfuerzos. Esta diferencia es proporcional a la magnitud de los esfuerzos residuales.
El concepto bsico del anlisis de los esfuerzos por medio de la difraccin se muestra en la
Fig. 1.4, donde se asume que muestras policristalinas estn sometidas a un esfuerzo
compresivo paralelo a la superficie. Con anlisis de difraccin de rayos X, empleando la ley
de Bragg, es posible medir la dependencia de la direccin con ladeformacin elstica de la
red.

(1.31)
Relacionando el espaciamiento de la red
con los ndices Laue, el ngulo de difraccin
2
y la longitud de onda . El espaciamiento de la red es medido en la direccin del
vector de difraccin. Usualmente el ngulo de difraccin 2
es obtenido de la posicin
mxima o centroide de la lnea de difraccin hkl. Entonces es posible calcular la
deformacin elstica de los planos {hkl} a partir de
(

(1.32)

Donde
es el espaciamiento de la red libre de esfuerzos de los planos {hkl}. La
direccin de la medida de la deformacin, es decir la direccin del vector de difraccin es
usualmente identificada por los ngulos y que se identifican como el ngulo de rotacin
de la muestra alrededor de la normal de la superficie de la muestra y el ngulo de
inclinacin de la normal de la superficie de la muestra con respecto al vector de difraccin
respectivamente.

Fig. 1.4 Concepto grfico de la difraccin en el anlisis de los esfuerzos

Una lnea de difraccin contiene informacin acerca de la deformacin elstica nicamente

de aquellos cristalitos que tienen sus planos {hkl} orientados perpendicularmente al vector
de difraccin, es decir, nicamente la deformacin elstica de un subgrupo de cristalitos
que componen una muestra policristalina es analizada en una medida de la deformacin de
la red. En general, la medida de la deformacin por difraccin de rayos X no es igual a la
deformacin mecnica en la misma direccin, la deformacin mecnica es el promedio de
todos los cristalitos en la muestra, mientras que la deformacin por difraccin representa
nicamente un subgrupo de cristalitos que componen la muestra [23].
El esfuerzo residual en una pelcula delgada se puede asumir como biaxial y
simtricamente rotacional, es decir,
, la
ecuacin fundamental del anlisis de esfuerzos residuales por rayos X es [24]:

(1.33)

1.9 Geometra de Incidencia Rasante

Usando pequeos ngulos de incidencia el volumen efectivo de muestreo es confinado en
un volumen relativamente pequeo adyacente a la superficie de la muestra lo cual generar
mayores intensidades de difraccin provenientes de este volumen que con mtodos de
difraccin convencional.
El mtodo de difraccin de rayos X con geometra de incidencia rasante (GIXRD : grazingincidence X-ray diffraction) para el anlisis de esfuerzos residuales es til en dos casos: (i)
para restringir la profundidad de penetracin efectiva en un pequeo valor cuando el estado
de esfuerzo cerca de la superficie de un cuerpo tiene que ser determinado, o cuando los
anlisis de los esfuerzos tienen que ser realizados en capas muy finas, para lo cual los
problemas de solapamiento con picos de sustrato se pueden presentar; (ii) para determinar
gradientes del esfuerzo de medidas de difraccin a diferentes valores de profundidad
variando el ngulo de incidencia .

La geometra de incidencia rasante aplicada para la medida de los esfuerzos en un volumen

cerca de la superficie es limitada por la absorcin de la radiacin. Para definir este
volumen, puede ser considerado el camino del haz de rayos X a travs de la muestra

(Fig 1.5). La medida del espaciamiento interplanar promedio

es igual a [25]:

]
]

(1.34)

Donde
(1.35)
Donde el promedio es calculado sobre el volumen de todas las reflexiones de los granos en
la trayectoria del haz desde la superficie hasta el infinito, es el coeficiente de absorcin
lineal, l(x) es la funcin de la longitud de la trayectoria vs profundidad x, y 2
son
los ngulos de incidencia y dispersin respectivamente.

Fig. 1.5 Trayectoria del haz de rayos X en el mtodo de geometra de incidencia rasante
[23].

El mtodo de
basado en la geometra de dispersin de ngulo rasante fue propuesto
por Van Acker [26], Quaeyhaegen, Knuyt [27] y desarrollada por Skrzypek [28].
La geometra de incidencia rasante (nombrado tambin g) es caracterizada por un
ngulo de incidencia pequeo y constante y por diferentes longitudes y orientaciones del
vector de dispersin. En contraste con el mtodo estndar de
, las medidas son
realizadas con una serie de planos diferentes {hkl} usando valores apropiados de ngulos de
difraccin
(Fig. 1.6).

Fig. 1.6 Geometra del mtodo de g-

[23].

El esfuerzo presente en el volumen cerca a la superficie puede ser determinado usando el

mtodo estndar
. Sin embargo, este mtodo no es recomendado para anlisis de
estados de esfuerzos heterogneos debido a que el perfil de penetracin de la radiacin de
los rayos X vara significativamente durante la medida con cambios en el ngulo . Como
resultado, el volumen para el cual la medida fue realizada no es bien definido y la
interpretacin de los resultados no es nica. Usando el mtodo estndar
el gradiente
de esfuerzos puede ser estimado nicamente si se asume la caracterstica de la evolucin
del esfuerzo. Sin embargo, esta estimacin es basada en la curvatura del grfico
el
cual puede tambin estar influenciado por otros efectos como la presencia de esfuerzos
cortantes o la anisotropa de la muestra. Los anlisis de los gradientes de esfuerzos tambin
pueden ser realizados si el mtodo estndar
es repetido para varias longitudes de
onda ya que los rayos X penetran a diferentes profundidades. Este mtodo puede ser usado
para pequeos gradientes si la variacin del esfuerzo en el volumen irradiado durante las
medidas de la deformacin de la red es despreciable, en comparacin con la variacin del
esfuerzo promedio medido con diferentes longitudes de onda.
Recientemente, la geometra basada en difraccin de rayos X por incidencia rasante
(llamado tambin g ) fue aplicada para medir el espaciamiento interplanar.
Usando este mtodo es posible realizar anlisis no destructivo de esfuerzos heterogneos
para diferentes volmenes bajo la superficie de la muestra y los esfuerzos pueden ser
medidos a profundidades muy superficiales (de pocas micras). El mtodo de multireflexin
es aplicado para estudiar el gradiente de esfuerzos usando la geometra de incidencia
rasante [29]. La ventaja de este mtodo es que varios planos de difraccin hkl son utilizados
simultneamente para el procedimiento de ajuste y el mtodo puede ser fcilmente
adaptable a varias geometras de medida.
En la geometra gnicamente el ngulo puede ser seleccionado arbitrariamente,
sin embargo, el ngulo depende de las reflexiones hkl y del ngulo de incidencia
constante, es decir:
{

(1.36)

Los posibles valores de { } est limitado por el nmero de reflexiones hkl usados en el
experimento. La profundidad de penetracin ( ), definida como la distancia desde la
superficie de la muestra para la cual 1 -1/e del total de la intensidad del haz incidente es
absorbido, puede ser calculado por la siguiente frmula:
{

}
{

))

(1.37)

1.10 Perfil de Profundidad

La geometra de incidencia rasante puede ser empleada para la determinacin del perfil de
esfuerzo en la direccin z perpendicular a la superficie de la muestra. Los componentes
relevantes del tensor de esfuerzo ( ) tendrn que determinarse en funcin del perfil de
penetracin de los rayos X, esto requiere la determinacin de
a diferentes ngulos
como una funcin del perfil de penetracin ( ). El perfil ll( ), obtenido a partir de la
medida y el correspondiente perfil (z) estn relacionados por [30]:

(1.38)

Donde t es el espesor de la muestra. Hay diferentes procedimientos para calcular (z) a

partir de ll( ), tales como la transformada inversa de Laplace [31] o por ajuste por
mnimos cuadrados usando modelos de funciones para el perfil ll(z) [32]. Por lo tanto la
Ecu. (1.38) permite la evaluacin del esfuerzo residual en funcin de la profundidad de la
pelcula ((z)) para un sistema de monocapa.
En un sistema de multicapas, formadas por capas difractadas Di de espesor
que
contribuyen a la seal de difraccin y capas Ai de espesor
que no renen la condicin de
difraccin para el mismo ngulo Bragg de la capa Di, pero atena el haz de rayos X por
absorcin (Figura 1.7).

Fig. 1.7 Representacin esquemtica de la difraccin de rayos-X en un sistema de

Multicapas [33].

En este caso la contribucin de capa difractada Di, tiene que ser ponderada por la
contribucin de la capa de encima Ai, por lo tanto, la relacin entre el esfuerzo residual del
perfil de profundidad ll( ) obtenido experimentalmente por la ecuacin (1.33) y la
distribucin del esfuerzo residual real ll(z) dentro de la capa individual Di est dada por
[34]:

, el espesor actual de la capa Ai fue reemplazado por elespesor equivalente

Que se define por la condicin de que la subcapa respectiva tiene la misma
atenuacin de la subcapa Ai de espesor
, pero con un coeficiente de absorcin lineal
siendo vlido para la subcapa Di:
Donde

(1.40)

Aplicando modelos apropiados para la distribucin de los esfuerzos residuales (ll(z)),

la ecuacin (1.39) puede ser usada para evaluar la contribucin de cada capa del total del
esfuerzo residual (ll( )) calculado de la ecuacin (1.33).

2.11 Rocking Curve (Barrido

La gran utilidad de las medidas de las curvas Rocking, es que estn basadas en dos
propiedades fundamentales: i) Los detalles de las curvas Rocking son extremadamente
sensibles a las deformaciones y los gradientes de las deformaciones en la muestra, ii) Para
un modelo estructural dado, las curvas Rocking pueden ser calculadas con gran precisin
usando teora fundamental de rayos X [35]. La presencia de las dislocaciones tiende a
ensanchar las curvas Rocking por dos razones diferentes: i) Las dislocaciones producen
rotacin en la red cristalina, ii) Un campo de deformacin en el cual el ngulo de Bragg no
es uniforme alrededor de las dislocaciones.
Considere la posibilidad de una pelcula hetero-epitaxial sobre un sustrato monocristalino.
Para una familia de planos dados (hkl), especficos de la fase cristalina que comprende la
pelcula, cuando la pelcula es irradiada a un ngulo de incidencia que permite que estos
planos (hkl) sean difractados, cada cristal dentro la pelcula difracta y contribuye en la
intensidad de un pico localizado a un ngulo 2 dado por la relacin de Bragg. Sin
embargo, la selectividad angular de este efecto de difraccin es muy alta. Si asumimos que
el haz que irradia el cristal es estrictamente paralelo y estrictamente monocromtico,
entonces los granos que estn estrictamente en la posicin de Bragg difractarn en un valor
de ngulo de incidencia. Cuando este ngulo de incidencia es modificado, sobre cierto
rango angular, otros cristales, ligeramente desorientados en comparacin con los anteriores,

difractan. El ancho de este rango angular, para el cual la intensidad difractada es observada
en un ngulo 2 es una expresin directa de la desorientacin de los cristales que componen
la pelcula. Si se considera que una pelcula est compuesta de cristales libres de cualquier
defecto, con un tamao promedio tal que no hay un ancho en la seal de difraccin,
entonces la seal solo puede propagarse por hecho de que se presente una ligera
desorientacin de los cristales con respecto a otros. Por lo tanto, el ancho de las curvas
Rocking dan una evaluacin directa de la desorientacin de los cristales alrededor de la
normal de la orientacin [36].

Fig.1.8 Medida de la Curva Rocking con referencia a la muestra [37].

La medicin de Rocking Curve se realiza de forma tal que el detector en el crculo 2 es

fijado en la posicin centroide 20 del pico de Bragg bajo investigacin, mientras que la
muestra es inclinada en un crculo en la vecindad del ngulo de Bragg 0. El crculo y el
crculo 2 son desacoplados y el ngulo es nombrado en el caso de la variacin
independiente. Hay dos nomenclaturas de que se usan. En la primera notacin, es
medida con respecto a la superficie de la muestra. La segunda convencin relaciona
con
la normal a la superficie s3 y se define como la desviacin de la mitad del ngulo de
dispersin = - 20/2 de la posicin de simetra. En nuestro caso se usar la segunda
convencin. Un esquema de la configuracin de medida se muestra en la Fig. 2.8. Se
muestra que para 20 fijo, el ngulo de barrido est entre - 0 y 0. El resultado de la
medida de la curva Rocking es un conjunto de intensidades Irc(20, ) a un ngulo
constante de dispersin 20 y variando

2.12 Modelos de Interaccin de Grano

Las constantes elsticas de difraccin y constantes elsticas mecnicas son calculadas
empleando modelos extremos de interaccin de grano que generalmente no son
compatibles con el comportamiento elstico real de los policristales. Sin embargo, a
menudo se encuentra que el promedio de las constantes elsticas de los modelos extremos
de interaccin de grano resultan en datos elsticos que son compatibles con los valores
determinados experimentalmente por otras tcnicas. El conocimiento de cualquier modelo
de interaccin de grano promedio para representar la realidad fsica podra ser descrito de la

siguiente forma: Una muestra real est concebida para ser constituida por fracciones de
volumen separadas de cristalitos, cada cual obedece a cierto tipo de interaccin de grano.
Los modelos de Voigt y de Reuss representan dos tipos extremos de interaccin de grano.
En el marco de referencia de la muestra el modelo de Voigt asume que todos los cristalitos
de la muestra policristalina estn sujetos a un estado de deformacin igual, mientras que el
modelo de Reuss se basa en el postulado de que todos los cristalitos estn en un mismo
estado de esfuerzo. Ambos modelos llevan a incompatibilidades en las fronteras del grano,
en el modelo de Voigt se presenta una desigualdad en el esfuerzo, mientras que en el
modelo de Reuss se da una diferencia en la deformacin. Por lo tanto, ni el modelo de
Voigt ni el modelo de Reuss cumplen con el comportamiento elstico real de un policristal.
Entonces modelos de interaccin de granos efectivos han sido propuestos para superar estas
discrepancias [38, 39]. Un modelo de interaccin de grano efectivo es construido como la
suma ponderada de un nmero de modelos extremos de interaccin de grano. En este caso
en el que se involucra los dos modelos previamente definidos, las constantes elsticas de
difraccin estn dadas por la siguiente expresin:
(1.41)

Donde
es la constante elstica de difraccin efectiva,
y
son las
constantes elsticas de difraccin de acuerdo al modelo de Voigt y al modelo de Reuss,
respectivamente, y w es un factor ponderado el cual puede ser utilizado como un parmetro
adicional de ajuste en un anlisis general de mnimos cuadrados [40, 41]. Note que las
constantes elstica de difraccin a la manera de Voigt son isotrpicas, es decir ellas no
dependen de hkl, mientras que las que son determinadas por el modelo de Reuss son
anisotrpicas, es decir que dependen de hkl.

2.13 Modelamiento de los Esfuerzos Residuales por Difusin

Inicialmente cuanto la pelcula policristalina est en equilibrio termodinmico, los
potenciales qumicos de la superficie y de la frontera del grano son necesariamente iguales.
Sin embargo, durante la deposicin la superficie se encuentra en un estado de no equilibrio
con una poblacin supersaturada de adatomos. Al tratar un estado como un estado de cuasiequilibrio, un potencial qumico se le puede asignar a la poblacin de adatomos. Los
adatomos pueden ser tratados como un gas bidimensional y el potencial qumico de la
superficie ser funcin de la concentracin de adatomos. Contribuciones adicionales del
potencial qumico pueden venir de la energa de interaccin entre los adatomos, y entre los
adatomos y otras caractersticas superficiales tales como escalones e islas. Tales
contribuciones podrn ser funcin de la concentracin de adatomos en la superficie.
Independientemente de sus origines, es importante reconocer que en presencia de un flujo
creciente, la superficie posee un exceso de potencial qumico,
. Al tomar el
potencial qumico de la superficie en equilibrio como cero, el exceso de potencial qumico
puede ser considerado como el potencial qumico de la superficie s. El potencial qumico
de los tomos de las fronteras del grano es proporcional a los esfuerzos normales que
actan ah. Cuando las islas se agrupan por completo, las fronteras del grano estn bajo un
esfuerzo tensil y por lo tanto el potencial qumico es negativo. El alto potencial qumico en

la superficie impulsa los adatomos a la frontera del grano. La insercin de tomos extra
dentro de la frontera del grano genera una relajacin del esfuerzo tensil y posiblemente un
esfuerzo compresivo. Este mecanismo es reversible, es decir, cuando la deposicin se
interrumpe, el potencial qumico de la superficie retorna a su menor valor de equilibrio.
Esto produce una situacin inversa donde el potencial qumico en la frontera del grano es
mayor que el de la superficie. Esta diferencia causa que los tomos se difundan a fuera de la
frontera del grano hacia la superficie, relajando la frontera del grano del esfuerzo
compresivo.
Con base en lo expuesto previamente, Chason [15] presenta un modelo simple que tiene en
cuenta el intercambio de tomos entre la superficie y la frontera de grano despreciando la
difusin en la superficie y en la frontera de grano. Dedujo una ecuacin cintica
unidimensional para calcular el flujo de tomos desde la superficie a la frontera del grano
resultando en una pelcula esforzada. Un esquema del crecimiento de la pelcula
policristalina se muestra en la Fig. 2.9. Se asume que los granos individuales de longitud L
se unen en una pelcula continua hasta que la altura de la pelcula sea uniforme con un valor
de h. Las fronteras del grano se muestran como la regin sombreada en la figura y las
flechas representan el hecho de que los tomos se pueden mover reversiblemente entre la
superficie y la frontera del grano. R es igual a la tasa de crecimiento dh/dt el cual es
proporcional al flujo de crecimiento, J. El volumen atmico es y el espaciamiento
atmico a es igual a
.

Fig. 2.9 Modelo esquemtico para el flujo de tomos dentro de la frontera del grano
durante el crecimiento de la pelcula

Se define el potencial qumico en la superficie como

(1.42)
Donde
es el potencial qumico de los adatomos de la superficie en equilibrio con el
slido y
es el incremento en el potencial qumico debido al flujo de deposicin que
incide. La desviacin del equilibrio,
, puede resultar en una supersaturacin de
adatomos en la superficie, nucleacin de nuevos grupos de tomos o incremento de la
densidad de la superficie. La caracterstica esencial es que la superficie tiene un potencial
qumico elevado durante el crecimiento comparado con el que sera en el equilibrio. Es
importante notar que
corresponde a la diferencia en el potencial qumico bajo dos
diferentes condiciones (condiciones de equilibrio y condiciones de crecimiento).

No es la diferencia entre el potencial qumico entre la superficie y el vapor.

El potencial qumico en la frontera del grano es.
(1.43)
Donde
es el potencial qumico de la frontera del grano sin deformacin en equilibrio y
es el esfuerzo normal actuando a travs de la frontera del grano [42] (usando la
convencin que el esfuerzo tensil es positivo). La diferencia del potencial qumico entre la
superficie y la frontera del grano es
(1.44)
Donde
corresponde a la diferencia entre los potenciales qumicos de la
superficie y la frontera del grano en ausencia de crecimiento y puede incorporarse efectos
tales como formas del grano fuera del equilibrio. La magnitud
se espera que sea
pequea. Note que
depende de las condiciones de crecimiento (a travs de
) y del
esfuerzo de la pelcula. Si
es positivo, el flujo de tomos ser hacia la frontera del grano
desde la superficie. Definiendo Ngb como el nmero de tomos extra que se adjuntan a la
frontera del grano debido a este flujo, una ecuacin de velocidad cintica relaciona la tasa
de tomos que fluyen dentro de la frontera del grano
[

por la fuerza impulsora

(1.45)

La aproximacin lineal se asume que

El factor de 2 es debido a que hay
superficies al lado y lado de la frontera del grano que contribuyen tomos a sta. Se define
Cs como la concentracin de tomos mviles en la superficie, igual a Ns(a /L), donde Ns es
el nmero de tomos mviles en la superficie de cada grano. es un parmetro cintico
correspondiente a la tasa de transicin entre la superficie y la frontera del grano. Se asume
que hay un rpido transporte a travs de la superficie y la frontera del grano por lo que no
hay un gradiente en la superficie o en la frontera del grano.
La incorporacin de Ngb tomos dentro de la frontera del grano resulta en un esfuerzo
compresivo en la pelcula. En adicin, hay un esfuerzo tensil, que se desarrolla como
planos adyacentes de islas que crecen juntas para formar una frontera de grano. Se
aproxima este componente tensil como una constante debido a la atraccin cohesiva entre
los tomos de la frontera del grano [43]. El total del esfuerzo en la pelcula es igual a:
( ) (1.46)
Donde
.
corresponde al esfuerzo compresivo que podra resultar si un
tomo adicional fuera adjuntado a cada plano atmico en la frontera del grano sin cambiar
el tamao del grano. E es el mdulo elstico y es el factor de forma geomtrico.
Diferenciando la Ecu. (2.46) permite que se relacione la tasa de cambio de del nmero de
tomos que van a la frontera del grano y la tasa del incremento en la altura (R) del grano

durante el crecimiento. Usando la Ecu. (2.45) para determinar

y sustituyendo

( ) la tasa del cambio del esfuerzo est dado por:

(

(1.47)

El esfuerzo siempre cae a un estado de equilibrio definido por

con el incremento del
tiempo. El estado de equilibrio del esfuerzo residual compresivo est dado por:
[

(1.48)

Donde se define
como una tasa de crecimiento normalizada.
La dependencia del esfuerzo en equilibrio con los parmetros de crecimiento puede estar
determinada directamente por la Ecu. (2.48). De acuerdo al modelo, el incremento del
exceso del potencial qumico en la superficie,
incrementa el esfuerzo compresivo por el
impulso de ms tomos en la frontera de grano. Inversamente, un incremento en la tasa de
crecimiento decrece el esfuerzo compresivo por la disminucin de fracciones de tomos
que pueden ser incorporados en la frontera de grano durante el crecimiento (asumiendo que
no cambia).
En esta siguiente seccin se describe el modelo propuesto en el trabajo de Guduru [44]
basado en el de Chason [15], con la diferencia que se tiene en cuenta la difusin en la
frontera del grano. La difusin de la superficie es despreciable debido a que la difusividad
en la superficie usualmente mayor que la difusividad en la frontera del grano, y por lo tanto,
la difusin en la frontera del grano se espera que sea el lmite del proceso en la
determinacin de la evolucin del esfuerzo.
Una geometra de una pelcula idealizada bidimensional es considerada donde todos
los granos tienen una seccin transversal rectangular de ancho w y altura inicial l0.
Se supone adems que en un principio, la pelcula y las fronteras de grano estn bajo un
esfuerzo tensil uniforme . Esta geometra inicial supone que representa el estado de la
pelcula inmediatamente despus de que se complete la coalescencia. En esencia, la
configuracin inicial bajo consideracin es una idealizacin del estado de la pelcula
cuando el esfuerzo tensil alcanza su mximo valor. Tal idealizacin ignora el hecho que
islas individuales se agrupan con sus vecinos a diferentes tiempos, y diferentes islas podran
experimentar diferentes niveles de esfuerzos tensiles cuando el 100 % del rea es cubierta.
Para modelos propuestos por Nix y Clements [9] y Freund y Chason [10], discutidos
previamente, es claro que en la pos-coalescencia, la distribucin del esfuerzo a lo largo del
espesor de la pelcula no es uniforme. Al asumir una geometra rectangular de los granos se
ignora cualquier ranura en la frontera de los granos y curvatura de la superficie. Cuando las
islas individuales se agrupan, la superficie de los granos naturalmente adquiere una
curvatura a lo largo con ranuras en los lmites de grano.

Fig. 1.10 Pelcula policristalina en equilibrio

En la Fig. 1.10 se muestra la geometra inicial de la pelcula policristalina, donde l0 es el

espesor inicial de la pelcula y w el ancho del grano. En equilibrio, el potencial qumico de
la superficie s es igual al potencial qumico de la frontera de grano gb y no hay
intercambio neto de tomos entre stos. Las fronteras del grano estn inicialmente bajo un
esfuerzo tensil unforme
. En la Fig. 1.11, el rea sombreada en la intercara entre dos
granos representa la masa que ha sido insertada en la frontera de grano, el cual es
impulsado por la diferencia en el potencial qumico. El ancho del material insertado es
denotado u(y). Se espera que los tomos entran en la frontera del grano hagan parte de la
red a ambos lados de la frontera del grano.

Fig. 1.11 Insercin de Adatomos hacia la frontera del grano porque el potencial qumico
del sustrato es mayor que el de la frontera del grano [42].

El potencial qumico de los tomos en la frontera del grano puede ser descrito como:
(2.49)
Donde (y) es el potencial qumico por tomo, es el volumen atmico y (y) es el
esfuerzo local normal a la frontera del grano en y. Una variacin del potencial qumico a lo
largo del espesor del grano establecera un flujo atmico J(y), el cual puede ser descrito
como

(1.50)
Donde D es la difusividad en la frontera del grano, es el espesor de la capa en la cual la
difusin en la intercara toma lugar. Es una prctica comn tomar el valor de 5 para
[45], en metales. K es la constante de Boltzman y T es la temperatura absoluta.
Combinando la ecuacin (1.49) y la ecuacin (1.50), se tiene
(1.51)
Aplicando conservacin de masa a lo largo del eje y (espesor de la pelcula) se obtiene una
ecuacin que muestra la evolucin de la separacin de la frontera del grano, u(y) como
(1.52)
Si se tiene una relacin independiente entre u(y) y (y), combinndolo con la Ecu. (1.52),
una ecuacin de evolucin del esfuerzo en la frontera del grano puede ser obtenida, el cual
puede ser resuelta usando condiciones de frontera apropiadas.

La relacin que propone Guduru [42] que relaciona el esfuerzo normal con la separacin de
la frontera del grano es.
(1.53)
Donde w es el ancho del grano y
es el mdulo biaxial, es decir,
donde E es el
mdulo de Young y es la relacin de Poisson. Derivando la Ecu. (1.53) y reemplazndola
en la Ecu. (1.52) se tiene una ecuacin de evolucin para el esfuerzo en la frontera del
grano
(1.54)
Para resolver esta ecuacin de difusin se plantean las siguientes condiciones inicial y de
frontera. Como condicin inicial se asume un esfuerzo tensil uniforme
(1.55)
Donde l es el espesor actual de la pelcula. Una de las condiciones de frontera es obtenida al
asumir que no hay flujo de masa en la intercara pelcula-sustrato a lo largo de la frontera
del grano y la expresin es.
(1.56)

La segunda condicin de frontera es obtenida por el flujo neto de tomos en la frontera de

grano. El flujo de tomos desde la superficie a la frontera del grano es impulsada por la
diferencia de potencial qumico
entre los adatomos y la frontera del grano a y = l. El
proceso de insercin de adatomos dentro de la frontera del grano se asume que involucra
una barrera de activacin como se muestra en la Fig. 1.12, en el cual se muestra el
panorama energtico cerca de la unin de la superficie y la frontera del grano. La barrera de
activacin se muestra como
.La relacin cintica para el flujo atmico dentro de la
frontera del grano puede ser escrita como.
[

(1.57)

Se asume que el grano tiene una unidad como espesor en la direccin fuera del plano.
En la linealizacin del trmino exponencial (Ecu. (1.57)), se asume que
es pequeo
comparado con kT. Cs es la concentracin de adtomos en la superficie y salto de
adtomos dentro de la frontera del grano y es igual a exp
, el cual es el
producto de la frecuencia de intentos y probabilidad del evento. La tasa de transferencia
es controlada por el producto de Cs . La diferencia del potencial qumico
puede ser
expresado como.
(1.58)
Donde
, la nueva constante puede ser interpretado como el esfuerzo de la
frontera del grano en condiciones de equilibrio que alcanzara si la frontera del grano y la
superficie (en presencia de flujo de deposicin) estuvieran en completo equilibrio con los
dems. La condicin de frontera requerida ahora es obtenida al afirmar que Jsg = J(l,t).
Entonces esta condicin puede ser escrita en trminos de esfuerzo como.
[

] (1.59)

Fig. 1.12 Panorama energtico prximo a la unin de la superficie y la frontera del grano
para procesos de insercin en una frontera de grano, donde es el potencial qumico entre

la superficie y la frontera de grano y

es la barrera de activacin de difusin y la
frontera del grano.

Para completar la formulacin, se considera la condicin de crecimiento.

(1.60)

Donde es la tasa de crecimiento. Las Ecu. (1.54) (1.56), (1.59) y (1.60) definen el
problema del movimiento de frontera para la evolucin del esfuerzo a lo largo de la frontera
del grano.
El problema anterior puede ser resuelto numricamente por el mtodo del espacio de grilla
variable usando un esquema de diferencias finitas [46]. En esta tcnica, el nmero de
intervalos de espacio a lo largo de la frontera del grano se mantiene constante, como lo
ilustra la Fig. 1.13. Como el espesor de la pelcula se incrementa, el tamao de cada
intervalo de espacio tambin se incrementa. La Ecu. (1.54) da la tasa de cambio de esfuerzo
del material cuando se fija en y. Sin embargo, en el mtodo del movimiento de la rejilla de
espacio, se trata con la tasa de cambio a un nodo fijo, el cual puede ser expresado por el iesimo nodo como.
( )

( ) ( )

( )

(1.61)

Es tomado como.
( )

(1.62)

Fig. 1.13 Movimiento de la rejilla para resolver las ecuaciones de esfuerzos [42].

Usando las ecuaciones (1.54) y (1.62) en la ecuacin (1.61) y reemplazando por la relacin
de aspecto inicial del grano = w/l0, la ecuacin que gobierna al i-simo nodo puede ser
escrito como
( )

( )

(1.63)

Bibliografa
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