Académique Documents
Professionnel Documents
Culture Documents
Electron
Microscopy
Corso di Microscopia Elettronica a Scansione
P.L. Fabbri M. Tonelli
Schema di un microscopio
generico
Sistema di illuminazione: genera la
sonda che interagisce col campione
Lenti e diaframmi per controllare la
sonda
Raccolta del segnale e formazione
dellimmagine
Campione da osservare
Schema di un microscopio
elettronico
Cannone elettronico: genera il fascio di
elettroni che interagisce col campione
Lenti elettroniche e diaframmi per
controllare gli elettroni + lenti di
scansione
Raccolta del segnale e formazione
dellimmagine
Campione da osservare
Vuoto e pressione
Il termine "vuoto" si riferisce alla situazione fisica che si verifica quando la
pressione esercitata da un gas contenuto in un ambiente minore di quella
atmosferica. La grandezza fisica pressione e rappresentata da una forza per unit
di superficie ed ha diverse unit di misura a seconda dei contesti:
p.es. 1 Pascal=1 Newton /1 m2.
La pressione atmosferica equivale a 101325 Pa o 760 Torr.
Denominazione
Intervallo di pressione in Pa
Basso vuoto
105 102
102 10-1
Alto vuoto
10-2 10-6
10-5 10-9
Ultra-alto vuoto
Inferiore a 10-6
Inferiore a 10-9
Vuoto e pressione
La pressione esercitata da un gas e legata al numero di atomi
presenti in un ambiente.
Vacuum
Atoms/cm3
Distance
between atoms
(meters)
Mean Free
Path (meters)
Time to
monolayer
(seconds)
1 Atm
(760 Torr)
1019
5x10-9
10-7
10-9
10-2 Torr
1014
2x10-7
10-2
10-4
10-7 Torr
109
1x10-5
103
10-1
10-10 Torr
106
1x10-4
106
104
Schema di un microscopio
elettronico
Cannone elettronico: genera il fascio di
elettroni che interagisce col campione
Sorgente di elettroni
Schema di un microscopio
elettronico
Lenti elettroniche e diaframmi per
controllare gli elettroni + bobine di
scansione.
Lenti elettroniche
Le lenti elettroniche (elettromagnetiche) sono formate da
un corpo cilindrico (pezzo
polare) di Ferro dolce
contenente avvolgimenti con
spire di Rame.
Il passaggio di una corrente
nelle spire genera un campo
elettro-magnetico che
interagisce con lelettrone e
ne controlla la traiettoria.
Lenti elettroniche
Schema delle lenti di un SEM
costituito da tre lenti: due
condensatrici ed una obiettivo.
Lo scopo e ottenere un fascio
collimato sul campione.
Bobine di deflessione
Permettono di effettuare la scansione del
fascio sul campione.
Una coppia di bobine deflette il fascio lungo
lasse X, una seconda coppia lungo lasse y
e sono sincronizzate con il sistema di
raccolta e formazione dell immagine.
Loperatore puo determinare la velocita
della scansione.
Bobine di
deflessione
Schema di un microscopio
elettronico
Informazioni morfologiche
genera:
Rivelatore
secondari
retrodiffusi
raggi x
luce
Informazioni compositive
Propriet fisiche
Informazioni miste
superficie
e- Auger
E ~ 10-100 eV
e- secondari (SE)
E ~ 1-10 eV
e- retrodiffusi
(BSE) E~10 keV
raggi X
caratteristici
raggi X
spettro continuo
~ 1 m
Rivelatore
griglia
scintillatore
guida ottica
foto-moltiplicatore
amplificatore
La griglia attrae gli elettroni secondari gli elettroni arrivano allo scintillatore e
vengono trasformati in fotoni - la guida
ottica convoglia la radiazione luminosa al
foto-moltiplicatore che la trasforma in
segnale elettrico - il segnale viene
amplificato e inviato al monitor.
Detector secondari
(ETD)
Corso di Microscopia Elettronica a Scansione
P.L. Fabbri M. Tonelli
coefficiente = BS/ in
BS= n. elettroni BS
in= n.elettroni incidenti
Rivelatore SSD
I rivelatori SSD sono dei semiconduttori a
forma di anello con una giunzione P-N.
Quando gli elettroni retrodiffusi colpiscono il
semiconduttore si formano coppie elettronilacune che vengono separate dal campo
elettrico della giunzione e raccolte da
opportuni elettrodi.
Si ha quindi un segnale in corrente
proporzionale ai numero di elettroni
retrodiffusi, numero fortemente
dipendente dallo Z del campione.
Si riescono a discriminare i diversi elementi
presenti nel campione fino a elementi che
differiscono di un solo numero atomico.
Corso di Microscopia Elettronica a Scansione
P.L. Fabbri M. Tonelli
Detector retrodiffusi
(SSD)
Corso di Microscopia Elettronica a Scansione
P.L. Fabbri M. Tonelli
incidente E = Ein
lacuna
diffuso E = Ein - E
Energy Loss
emesso
Emissione isotropa
Nomenclatura:
Struttura fine:
fotone X - K (L -->K)
fotone X - K1 (LIII-->K)
fotone X - K (M-->K)
fotone X - K2 (LII-->K)
fotone X - L (M-->L)
ecc.
Fotone K = riempio
una lacuna nella shell K
con un elettrone dalla
shell L
Fotone K = riempio una
lacuna nella shell K con
un elettrone dalla shell
M
Diseccitazione: emissione di
elettrone Auger (non radiativa)
fotone X
(continuo)
e Auger
KL1L2,3
E~ 100 eV - 10 keV
diffuso E = Ein-E
Fondo
Competitivo con RX
Analisi quantitativa
Basata sulla misura delle energie dei picchi di intensit
Tutti i picchi coerenti con lenergia di eccitazione devono essere
presenti
Analisi quantitativa
Basata sul confronto delle intensit con campioni standard di
riferimento
Richiede correzioni per differente peso atomico, assorbimento e
fluorescenza indotta