Problema 5

Ines Henriques de Carvalho Pino (70027)

Engenharia Fsica Tecnologica - Instituto Superior Tecnico
Nanotecnologias e Nanoeletronica
16 de Novembro de 2014

Sensor cantilever
Um sensor cantilever serve essencialmente para medir deflexoes, frequencias de ressonancia e caractersticas
de amortecimento. S
ao maioritariamente feitos de Si, SiN ou de polmeros.
Pretende-se primeiramente estudar a deflexao e, consequentemente, as suas dependencias geometricas.

Figura 1: Deflex
ao devido a uma forca vertical aplicada
Tem-se a seguinte equac
ao diferencial para deflexao do cantilever para forcas pontuais:
d2 u
M
=
(1)
dx2
EI
Compreende-se assim que a deflex
ao do cantilever depende intrinsecamente do material, devido `
a sua dependecia pelo coeficiente de Young (E), e da sua geometria pelo momento de inercia, I.
M e dado por:
M=

F (L

x)

(2)

sendo F forca el
astica, em m
odulo, definida pela Lei de Hooke:
F = ku(L)

(3)

e k a constante el
astica do sistema.
Sabe-se que a forca e aplicada na direc
ao z e em x = L.
E ainda, que o momento de inercia e dado por:
I=

wt3
12

(4)

1) Resoluc
ao da Eq. diferencial
A equacao diferencial da deflex
ao e do tipo f 00 (x) = x e, ao integrar-se em ordem a x, obtem-se:
2
x + C1
2

(5)

3
x + C1 x + C2
6

(6)

u(x = 0) = 0 ) C2 = 0
du
dx (x = 0) = 0 ) C1 = 0

(7)

f 0 (x) =
Ao integrar-se mais uma vez em ordem a x:
f (x) =
Ao aplicarem-se as condic
oes fronteira:
(

A solucao da equac
ao diferencial da deflexao e, entao, dada por
u(x) =

F Lx2
(1
2EI

x
)
3L

(8)

E, quando x = L:
u(L, F ) =

L3
F
3EI

(9)

Substituindo pelos dados do problema u(F ) F 1.27 107 m

2) Deflex
ao devido `
a gravidade
Seria facil assumir-se que que a forca gravtica seria dada por
F = V g

(10)

em que e a densidade do material, V o volume do cantilever e g a aceleracao da gravidade.

F = twLg

(11)

Substituindo na f
ormula da deflex
ao tem-se:
L4
4Si .g.L4
.t.w.g =
3EI
Et2
Como se sabe que o sensor e feito de silicone:
u(L) =

Si = 2.330 10

15

kg.m

(12)

(13)

Obtem-se uma deflex

ao de u 0.0011 m.
No entanto, esta forma de resolver est
a incorreta, porque n
ao se trata de um problema de
for
cas pontuais.
Considere-se a equac
ao de Euler

Bernoulli, com q a forca por unidade de comprimento:

q=

como E e I sao constantes:

d2 u(x)
d2
(EI

)
dx2
dx2

(14)

q = EI

d4 u(x)
dx4

(15)

Integrando 4 vezes em ordem a x obtem-se:

q
C1 3 C2 2
x4 +
x +
x + C3 x + C4
24EI
6
2
Ao aplicarem-se as condic
oes fronteira:
8
>
u(x = 0) = 0 ) C4 = 0
>
>
>
< du (x = 0) = 0 ) C = 0
3
dx
qL2
d2 u
>
(x = L) = 0 ) C2 = 2EI
>
dx2
>
>
: d3 u (x = L) = 0 ) C = qL
u(x) =

dx3

(16)

(17)

EI

Tem-se entao:

u(x) =

qx2 (6L2 4Lx + x2 )

24EI

(18)

como
dF
= wtg
dx
tem-se a deflex
ao devido `
a forca da gravidade, para x = L e, usando ainda [4]:
q=

u(L) =

twL4 g
3L4 g
=
8EI
2Et2

(19)

(20)

Obtem-se uma deflex

ao de u 0.0004 m.

3) Deflex
ao devido a N nanopartculas, de volume V, uniformemente distribudas na extremidade do cantilever

Figura 2: Deflexao devido N partculas

Assumindo que as nanopartculas se encontram uniformemente distribudas na area A e que a deflex
ao se
deve apenas `a forca gravtica das nanopartculas exercida na barra, isto e, deprezando-se a forca gravtica da
propria barra, pois
particulas

Si

(21)

tem-se uma area A:

A = L1 w1 = 5000m2
com L1 = 100m e w1 = 50m

(22)

A massa total de nanopartculas de raio r existentes e dada por:

4
m(n) = n V = n r3
3
com a densidade do material por que s
ao compostas e n o n
umero de partculas existentes.
Como a deflexao ocorre devido `
a forca gravtica, tem-se a expressao:
4
F (n) = m.g = n r3 g
3
Substituindo na express
ao [8] e para x = L1 tem-se:
u(n) =

8nr3 LL21
(1
t3 wE

L1
)g n 6.53 10
3L

(23)

(24)

(25)

Em 5000 m2 existem no m
aximo 5000 nanopartculas - cada uma tem 1m de diametro.
O plot seguinte descreve a deflex
ao em funcao do n
umero de nanopartculas:

Figura 3: Deflex
ao do cantilever em funcao do n
umero de partculas
Como se pode verificar, `
a medida que o n
umero de partculas aumenta, a deflexao tambem aumenta. Estes
dois parametros sao diretamente proporcionais.
A deflexao maxima ocorre para o n
umero maximo de partculas e e de cerca de 0.0063m.

Piezoresistor
Um piezoresistor serve para medir tens
oes aplicadas a diversos materiais usufruindo da capacidade destes
alterarem a sua geometria e resistencia.
A variacao da resistencia relativa e dada por:
R
= Kx x + Ky y
(26)
R
com Kx e Ky fatores de Gauge, caractersticos do material do piezoresistor, e x e y as tensoes aplicadas
longitudinalmente e transversalmente, respetivamente.
Quando uma forca e aplicada no cantilever, existem varios regimes de tensao possveis que dependem das
condicoes impostas e da geometria do pr
oprio.
A tensao de um material el
astico e isotr
opico e dada por:
(
x = E1 ( x u( y + z ))
(27)
y = E1 ( y u( x + z ))
com

o stress, E m
odulo de Young e u o coeficiente de Poisson.

Para o problema em causa assume-se que z = 0 e que L

w e, por isso, o cantilever considera-se fixo
numa das extremidades, pelo que a deflex
ao e independente do constrangimento imposto pela fixac
ao dessa
extremidade.
Entao, para tais condic
oes tem-se o seguinte regime de tensao ou strain:
(
x = x
(28)
y =0)
y = uEx
Para a determinac
ao da sensibilidade resistiva do cantilever tem-se as seguintes expressoes:
1
d2 u
F (L x)
= 2 =
r
dx
EI
x =

Mz
d
=
EI
r

(29)
(30)

com r o raio da curvatura de deflex

ao.
Substituindo [29] em [30] tem-se o regime de tensao/strain no resistor, xR :
xR =

F (L x)
t (L x)
d=
kz
EI
2 EI

(31)

com d a distancia entre o resistor e o plano neutro, sendo d = 2t (Nota: nao esquecer que t e a espessura do
cantilever) e F = kz.
Sabendo que o comprimento so resistor e dado por LR , o strain medio e:
1
xR =
LR

LR

xR dx = k(

2L LR
)tz
4EI

(32)

com
k=

F
3EI
= 3
u(L)
L

(33)

Como a contrac
ao de Poisson e desprez
avel, fica-se com:
R
= xR .Kx
R

(34)

E tem-se, finalmente, a express

ao da sensibilidade do resistor:
R
2L LR
= k(
)Kx tz
R
4EI

(35)

R
3 2L LR
= (
)Kx tz
R
4
L3

(36)

ou

b) Rudo - Deflex
ao mnima
Tome-se agora em considerac
ao a seguinte configuracao

Figura 4: Configurac
ao do piezoresistor e respetiva ponte de W heatstone
de onde se retira:
8
>
<Vout = V2 V1
Vin = (R + R +
>
:
Vin = 2R.I2

(37)

R)I1

Conjugando as 3 express
oes fica-se finalmente com

Vin
R
2 2R + R
Para se calcular a deflex
ao mnima detetada temos a seguinte condicao:
Vout (Vin ) =

Vnoise = Vout

(38)

(39)

Ao conjugarem-se as express
oes [35], [38] e [39], obtem-se a expressao para a deflexao mnima:
zmin =

3KL (2L

Vnoise 16L3
LR )t (Vin

2Vnoise )

(40)

Para os diferentes valores de tens

ao obtiveram-se os seguintes valores :
Vin (V)
2
20
50

zmin (m)
0.018
0.0018
0.00072

Tabela I: Deflex
ao minima para diferentes valores de Vin
Verifica-se entao, que quanto menor for o valor de tensao de entrada, maior sera a deflexao do cantilever
devido ao rudo do piezoresistor.

c) N
umero de nanopartculas detetadas pelo sensor piezoresistivo
Pretende-se estimar quantas nanopartculas sao detetadas pelo piezoresistor.
Igualando a express
ao [9] `
a [40] e usando ainda [24], obtem-se a expressao para o n
umero mnimo de partculas
detetaveis, nmin :
3EIzmin
L3 gV

nmin =

(41)

com V o volume de uma nanopartcula.

Vin (V)
2
20
50

nmin (part.)
14 290
1429
571

Tabela II: N
umero de partculas detetadas para diferentes valores de Vin
Entao, quanto maior for o valor de tens
ao de entrada, menor sera o n
umero de partculas detetadas pelo
sensor.

d) Vin mnimo para a detec

ao de uma mol
ecula
Pretende-se calcular o valor mnimo de tensao de entrada necessario para que seja detetada uma u
nica
molecula.
Assumindo que uma molecula e constituda por 1 nanopartcula, faz-se exatamente como a alnea anterior,
no entanto, tendo Vin como inc
ognita em vez de nmin .
Obteve-se Vin 28kV , revelando-se um valor bastante elevado e, provavelmente, nao implement
avel devido
a elevadas potencias.
A Potencia dissipada por Efeito de Joule e dada por:
V2
R
Atraves da formula da resistividade das placas de alumnio tira-se o valor de R:
P =

l
3
A
com R a resistividade, l o comprimento e A a area da seccao transversal da placa de alumnio.
R = R

(42)

(43)

Substituindo em [34] V pelo Vin obtido, assim como o valor de R,

P 2.72 108 W

(44)

Revelando-se um valor extremamente elevado, como previsto logo de incio.

O calor gerado e dado por:
Q = Pt
Entao, em 1s, o calor gerado e de 2.72 108 J, o que derreteria qualquer circuito.

(45)

Para se saber qual e o aumento de temperatura, T , do cantilever, assume-se que este se encontra em
equilbrio termico em relac
ao `
a placa de alumnio e, por isso:
Q = (mAl cAl + mSi cSi ) T
com c a capacidade calorfica de cada elemento, de onde se retira

(46)
T.

Dado o elevadssimo valor de Q os valores das variacoes de temperatura nao serao minimamente realistas.
Acontece que, para se detetar uma molecula isolada, as dimensoes do sensor tem que sofrer alterac
oes
consideraveis.
Assumindo que as dimens
oes do cantilever aumentam entre 10 a 100, obtem-se Vin 0.19V , o que leva a
uma Potencia de 0.01J e um T 2o C

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u( m)

0.006

0.005

0.004

0.003

0.002

0.001

1000

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]
-

2000

3000

4000

5000

n(partculas)

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