CatÃ¡Logo Nanociencias 2014 v.4

Introduccin
Introduccin
El Centro de Nanociencias y Micro y

Nanotecnologas (CNMN) del Instituto
Politcnico Nacional,
Es un espacio para la interaccin de diferentes disciplinas cientficas e
ingenieriles, con una infraestructura de vanguardia, que marca una
nueva ruta en el apoyo a la investigacin.
El CNMN es un centro innovador que cuenta con personal cientfico y
tcnico dedicado exclusivamente a obtener el mximo aprovechamiento
de la infraestructura experimental y ofrecer servicio cientfico y
tecnolgico de calidad.
El centro est organizado en dos Laboratorios Nacionales reconocidos
por el CONACYT: El Laboratorio Multidisciplinario de Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales que contiene equipo cientfico avanzado
para la caracterizacin de materiales orgnicos e inorgnicos y el
Laboratorio Nacional de Micro y Nanotecnologa que contiene salas
limpias clase 100, dotadas con equipamiento para la fabricacin de micro
y nanodispositivos electromecnicos y sensores.
El CNMN est concebido como un espacio abierto , que facilite el acceso
de los estudiantes, profesores, investigadores y profesionistas a sus
servicios.
El concepto de infraestructura y crecimiento continuo de las capacidades
tecnolgicas y humanas multidisciplinarias reunidas en un solo centro lo
hace nico en el pas con el objetivo de contribuir a mejorar la
competitividad del sector industrial y a la consolidacin de grupos de
investigacin.
Dr. Heberto Balmori Ramrez

Director
ndice
LABORATORIO NACIONAL DE MICRO Y NANOTECNOLOGAS
Pg
CUARTOS LIMPIOS
60 m2 de Cuartos Limpios Clase 1000 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
220 m2 de cuartos Limpios Clase 100 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
PROCESO DE FOTOLITOGRAFA
Escritor de Mascaras para Fotolitografa Hildelberg DWL 66 . . . . . . . . . . . . . 5
Sistema de Alineacin de Mascarillas (EVG620) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
PROCESAMIENTO DE MATERIALES
Depsito de Pelculas Delgadas en Alto Vaco (Sputtering) . . . . . . . . . . . . . . .
Depsito Qumico en Fase de Vapor First Nano ET-3000 . . . . . . . . . . . . . . . . .
Ataque por Iones Reactivos RIE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Impresora de Microarreglos y Materiales . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Alambradora (Wire Bonding) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9
11
13
15
17
CARACTERIZACIN
Caracterizacin Elctrica de dispositivos (Keithley 4200 SCS) . . . . . . . . . . . . . 19
Escaner de Microarreglos . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Perfilometro Mecnico de Superficie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Microbalanza de cuarzo Q-SENSE E4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
LABORATORIO NACIONAL MULTIDISCIPLINARIO DE

CARACTERIZACIN DE NANOESTRUCTURAS Y MATERIALES
CARACTERIZACIN DE ESTRUCTURA MOLECULAR Y ANALTICA
Difraccin de Rayos X (DRX) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Elipsmetro Espectroscpico (SE) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Espectrmetro de Masas: MALDI-TOF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Introduccin
ndice

www.nanocentro.ipn.mx
Pg.
CARACTERIZACIN DE ESTRUCTURA MOLECULAR Y ANALTICA
Espectrmetro de Masas: UHPLC-ESI y APCI . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

Espectroscopio de Fotoelectrones Inducidos por Rayos X (XPS) . . . .
Espectroscopio Micro-Raman Confocal acoplado con FTIR . . . . . . . .
Resonancia Magntica Nuclear 750 y 400 MHz: Lquidos . . . . . . . . .
Resonancia Magntica Nuclear 750 y 400 MHz: Slidos . . . . . . . . . .
33
35
37
39
41

CARACTERIZACIN DE LA MICROESTRUCTURA
43
45
47
49
51
53
55
Microscopa Confocal de Barrido Lser (MCBL) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

Microscopa de Campo Inico/Electrnica de Barrido (FIB/MEB). . . . . . . . .
Microscopa Electrnica de Barrido de Ultra Alta Resolucin . . . . . . . . . . .
Microanlisis Elemental por Espectroscopa de Rayos X (EDS) . . . . . . . . . . .
Microscopa Electrnica de Barrido en Modo de Transmisin . . . . . . . . . . .
Microscopa Electrnica de Transmisin en Modo Criognico . . . . . . . . . . .
Microscopa Electrnica de Transmisin de Resolucin Atmica . . . . . . . . .
Microscopa de Fuerza Atmica (AFM) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Nanoindentacin . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
rea Superficial y Porosidad . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Haz de Iones Enfocados (FIB-Focused Ion Beam ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Preparacin de Muestras Biolgicas y Orgnicas. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
65
TRANSFERENCIA TECNOLGICA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
67
57
59
61
63
DIRECTORIO
Especialistas y Contacto . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
69
LABORATORIO NACIONAL DE
MICRO Y NANOTECNOLOGAS
Laboratorio Nacional de
Micro y Nanotecnologas
Cuartos Limpios
Clase 1000
Objetivos
Cuartos Limpios clase 1000
Descripcin
El Laboratorio de Micro y
Nanotecnologas est diseado
para albergar equipos enfocados a
la fabricacin de micro y nanodispositivos, la integracin de
dispositivos
micro/nano
electromecnicos (MEMS y NEMS)
y biomicro/nano-electromecnicos
(bioMEMS y bioNEMS), as como
lab-on-chips,
en
reas
especializadas clase 100 y 1000.
Aplicaciones
-Lnea completa para fabricacin

de microdispositivos a nivel
prototipo y de prueba de
concepto.
-Servicios especficos en cada
equipo.
-Cursos de capacitacin de
propsito general y especfico
sobre el uso de salas limpias , la
lnea de produccin y las
diferentes tcnicas.
-Asesora especializada en los
procesos de fabricacin con los
que se cuentan en el laboratorio.
A travs de la operacin de este

laboratorio, se pretende consolidar
las estrategias necesarias para el
desarrollo de micro y nanodispositivos, con objeto de motivar
e impulsar la investigacin y la
creacin de una industria muy
poco desarrollada en Mxico, pero
que es de vital importancia por su
potencial impacto en la generacin
de productos y dispositivos
innovadores.
Las estrategias consideradas para

llevar a cabo esta tarea incluyen el
desarrollo de las metodologas
empleadas en los distintos procesos
de fabricacin de la industria del
silicio, el diseo y fabricacin de
micro y nano-dispositivos a escala
de prototipos, y el desarrollo de una
metodologa para la formacin
acadmica y entrenamiento de
alumnos, profesores, investigadores
y profesionales en los campos
cientficos
y
tecnolgicos
correspondientes.
Oblea de Silicio procesada

Protocolos de uso
Cuartos Limpios
Clase 100
Procesos
Corte del edificio

Cuarto blanco Clase 100
Cuarto amarillo Clase 100
Caractersticas
Descripcin
El
Laboratorio
de
Micro
y
Nanotecnologas actualmente cuenta
con 3 salas clase 1000 construidas en
un arreglo tipo peine de 11 m cada
una donde se alberga el rea bio y el
rea de caracterizacin elctrica. Se
contar con una superficie adicional de
220 m de cuartos limpios clase 100,
dividida en dos reas (cuarto blanco y
cuarto amarillo) , las cuales albergarn
los equipos para fabricacin de micro
dispositivos,
MEMS,
BioMEMS,
sistemas para microfluidos, depsito
de materiales y electrnica flexible.
Cuarto blanco clase 100 de 110 m

para procesamiento de materiales.
Cuarto amarillo clase 100 de 110
m para procesos de Litografa.
Lavandera
con
lavadora
y
secadora.
Campanas de extraccin.
Instalaciones de recuperacin y
tratamiento de residuos cidos,
bsicos y solventes, quemador de
gases.
Sistema de purificacin de agua
con grado electrnico.
Flujo laminar en toda el rea de
trabajo.
Sistema de seguridad (accesos,
deteccin de fugas de gases,
sistema contra incendios, CCTV lava
ojos, regadera).
Lnea de Fabricacin:
-Limpieza de sustratos.
-Depsito de materiales.
-Fabricacin de mascarillas.
-Fotolitografa.
-Remocin de materiales
(ataque hmedo y seco)
-Caracterizacin elctrica.
-Perfilometra.
Equipo del rea Bio.
-Impresn de microarreglos.
-Escaneo de micro arreglos.
-Caracterizacin de sistemas de
microfludica.
Plano del laboratorio.
Duchas de aire
Lavandera
Escritor de Mscaras
para Fotolitografa
(Heidelberg DWL 66FS)
Descripcin
Beneficios
Posicionamiento de una
mscara al finalizar la
escritura.
Aplicaciones
El escritor de mscaras DWL 66Fs

es un generador de patrones de
alta resolucin. Se utiliza para
realizar la escritura de patrones
directamente sobre mscaras para
fotolitografa
y/o
cualquier
sustrato cubierto con fotoresina.
Utiliza un diodo laser (= 405 nm)
para la escritura de patrones
mediante exposicin controlada.
Permite la escritura de mscaras y/o sustratos

con dimensiones de hasta 200 x 200 mm 2.
Resolucin mnima de los patrones de hasta
0.6 m.
El diseo a escribir se puede realizar en
formato DXF, CIF, GDSII y Gerber.
Un engrane y un espiral
grabado en silicio al utilizar
una mscara con dichos
patrones.
Fabricacin de dispositivos y circuitos de propsito especfico.

Fabricacin de sistemas micro electromecnicos, sensores, micro
fluidos y todas aquellas aplicaciones que requieran microestructuras.
Resultados
45
5
Marcas de alineacin escritas en

una mscara. Imagen tomada con
un objetivo de 5x.
Motivos escritos a
diferentes ngulos.
Imagen tomada con un
objetivo de 20x.
La conversin y transferencia
de archivos hacia el equipo
tarda de 4 a 10 horas.
La escritura de una mscara y/o
sustrato puede tardar de 23 a
31 horas, dependiendo del rea
a escribir.
Heidelberg DWL66FS
Sistema de Alineacin
de Mascarillas (EVG620)
Beneficios
Fabricacin de dispositivos a
escala nanomtrica
NIL
Descripcin
Aplicaciones
745
Negativo
Fotolitografa
Fotolitografa
El sistema
de alineacin
de
mascarillasEVG620 es una herramienta
de doble uso diseada para realizar
procesos de fotolitografa de doble
cara, as como procesos de litografa
por nanoimpresin NIL (Nanoimprint
Litography).
Positivo
Nanoimpresin
Litogrfica
NIL
Resultados
Transferencia de patrones a escala

micromtrica con una resolucin
de 1 a 5 m (fotolitografa).
Fabricacin de micro y
nano sistemas
electromecnicos.
Transferencia de patrones a escala

nanomtrica con una resolucin
menor a 50 nm (NIL).
Desarrollo de micro y
nanoestructuras,
microcanales, sensores de
presin, entre otros.
Alineacin litogrfica por ambas

caras.
EVG 620
Depsito de Pelculas
Delgadas en Alto Vaco
(Sputtering)
Aplicaciones
Caractersticas
Fuente de
corriente
directa
Esquema de depsito
Plasma
Pelcula de
Polisilicio
Polisilicio (poly-Si)
Grfica tiempo vs.

espesor del depsito
Depsitos de pelculas en modo

DC (Corriente Directa) para
metales y materiales conductores
y en modo RF (Radiofrecuencia)
para materiales semiconductores,
aislantes y dielctricos.
El equipo cuenta con 4
magnetrones.
Cuenta con dos fuentes DC (350
W mx.) y dos de RF (300 W mx)
y pueden realizarse depsitos en
RF y DC al mismo tiempo.
Se puede realizar Sputtering
reactivo.
Se pueden hacer hasta 3
depsitos por da.
La velocidad del depsito
depende del material a depositar.
Fabricacin de celdas solares

y dispositivos electrnicos.
Microprocesadores.
Termopilas
Depsito de
Cobre para
fabricacin
de MEMS
Resultados
Descripcin
El Sputtering es una tcnica verstil para depositar pelculas delgadas (nanomtricas) de
cualquier tipo de material, ya sea conductor o no conductor. En este proceso, se
pulverizan los tomos de un material slido (blanco-ctodo) mediante el bombardeo de
iones provenientes de un plasma creado a partir de Argn. Las partculas pulverizadas
del blanco se depositan sobre un sustrato (nodo), generalmente de silicio o vidrio.
Obtencin de pelculas delgadas de

10 hasta 1000 nm de materiales
conductores como Bismuto (Bi),
Constatan (Cu-Ni) para termopilas.
Depsito de pelculas delgadas de
materiales dielctricos como xido
de Silicio (SiO2) y semiconductores
como xido de Zinc (ZnO) para
fabricacin de transistores de
pelcula delgada
Sputtering
10
Deposito Qumico
en Fase Vapor
(FirstNano ET-3000)
Beneficios
Descripcin
El equipo para depsito qumico en fase
vapor (CVD) FirstNano ET-3000 es un
equipo que est altamente configurado
para la sntesis de nanomateriales,
depsito de pelculas delgadas y recocidos
a alta temperatura (1100 oC).
Software especializado para el control de los procesos y

generacin/edicin de recetas.
Horno de 3 zonas para alcanzar temperaturas de hasta 1100 oC.
Tamao de obleas de hasta 100 mm (4 pulgadas).
Tubo de procesamiento de cuarzo de 125 mm (5 pulgadas).
Controlador de flujo de masas de 4 canales.
Nanotubos de carbn, ZnO y GaN.
Resultados
Aplicaciones
45
11
Crecimiento de nanoestructuras a base de grafeno y SW/MWCNT.

Crecimiento de nanotubos de materiales tales como Si, Ge, ZnO, BN y
GaN.
Crecimiento de pelculas delgadas tales como Si, SiO2 y Si3N4.
Realizacin de tratamiento trmicos a alta temperatura en diferentes
ambientes (Ar, O2, N2).
Cmara de carga del equipo.
Control de las propiedades elctricas, estructurales y pticas de los

materiales obtenidos.
Control de las variables de los procesos de crecimiento (temperatura,
flujo de gases, presin, compatibilidad con precursores lquidos y
slidos).
FirstNano ET-3000
12
Ataque por Iones

Reactivos (RIE)
Tcnica RIE
Aplicaciones
SF
tomos ionizados
Cationes
Electrones
nodo
Esta tcnica es empleada para la

realizacin del maquinado en el
proceso de fabricacin de sistemas
micro electromecnicos.
Plasma
Micromembranas
Microcantilevers
Silicio
Ctodo
Descripcin
Caractersticas
El RIE (Reactive Ion Etching) es una
tcnica de ataque en seco que
combina efectos fsicos y qumicos
para
remover
materiales
semiconductores
y
materiales
depositados en la superficie de
substratos mediante la generacin
de un plasma a partir de gases.
Resultados
13
Evita
ataques
anisotrpicos
debido a ataques hmedos.
Ataque o grabado de silicio.
Ataque de dielctricos como
xido de silicio (SiO2) o nitruro de
silicio (Si3N4)
Tamao de sustrato mximo de
4 de dimetro.
Ataque de polmeros como
resinas fotosensibles.
Mxima profundidad de ataque
de 10 a 15 mm.
*Fabricacin de microestructuras
*Microcantilevers
*Microcanales
*Micromembranas
*Micropinzas
*Actuadores capacitivos
Sistema de Ataque
por iones reactivos (RIE)
14
Impresora de
Microarreglos y
Materiales
Beneficios
Debido a la amplia gama de tintas
que se pueden manejar, el
Microplotter es capaz de imprimir
nuevos nanomateriales, como son los
nanotubos de carbono y grafeno.
Micro impresin de materiales
Microimpresora SONOPLOT
Descripcin
El Microplotter, o impresora de
microarreglos y materiales, tiene la
capacidad de imprimir en materiales
blandos y frgiles, como hidrogeles,
nitrocelulosa , o en vidrio recubierto
de oro, sin marcar o daar la
superficie.
En el Microplatter se puede imprimir
una variedad amplia de soluciones
sin necesidad de preocuparse por la
obstruccin, ya que las gotas no son
expulsadas por aire hacia la
superficie, como se hace en
dispensadores piezoelctricos. Como
ejemplos, se pueden imprimir
soluciones saturadas de sal y
materiales de alta viscosidad como
el ADN genmico.
45
15
Aplicaciones
Gracias a la alta precisin y los rasgos

finos que este sistema tiene, se
pueden dibujar lneas u otras formas,
para ser impresas en puntos a
microescala de materiales como
nanotubos de carbono, ADN,
protenas, etc.
Impresin de volumenes a partir de

0.6 pL.
Impresin de microarreglos.
Impresin de DNA y Protenas
Impresin de patrones para
aplicaciones mltiples.
Impresin de materiales para
aplicaciones en electrnica flexible.
Impresin de tintas metlicas.
Diseo de patrones
Impresin de Microarreglo
Resultados
La microimpresora tiene la
capacidad de impresin de
materiales con viscosidades de 0
450 cP y volmenes a partir de
0.6 pL, para formar patrones con
dimensiones entre 5 y 200 mm.
Con la microimpresora se pueden
imprimir una gran variedad de
patrones utilizando un software
tipo CAD, por lo que se pueden
disear diferentes tipos de
aplicaciones como microarreglos
(protenas, DNA, anticuerpos),
electrnica
flexible
(diodos,
transistores,
lneas
de
interconexin)
y
materiales
diversos (nanotubos de carbn,
grafeno).
16
Alambradora
(Wire Bonding)
Aplicaciones
Esta tcnica es empleada para el
empaquetado de circuitos integrados,
la interconexin de MEMS hbridos e
interconexin
entre
circuitos
integrados en diferente sustrato.
Unin tipo cua
Interconexin de dos dados
Descripcin
Resultados
La alambradora es un equipo para
realizar conexiones elctricas entre
dados de silicio que contienen
dispositivos microelectrnicos y la
interfaz
electromecnica
(packaging).
Caractersticas
Alambrado con hilos de oro,

cobre, plata, aluminio.
Uniones tipo cua y tipo bola.
Capacidad de alambrar circuitos

integrados
en
sustratos
cermicos, metlicos y hechos a
la medida para aplicaciones
especficas.
Alambradora (Wire Bonder)
17
18
Caracterizacin
Elctrica de dispositivos
(Keithley 4200 SCS)
Aplicaciones
Fuente medidor (2400)
Con este conjunto de equipos,

se realizan caracterizaciones
elctricas a capas delgadas de
semiconductores, conductores,
dielctricos, microdispositivos
electrnicos, MEMS, BIOMEMS
y diversas aplicaciones para
obtener resultados de su
comportamiento.
Keithley 4200 SCS
Caractersticas
Descripcin
Se cuenta con un Electrmetro
Keithley 4200 SCS. Este equipo se usa
para hacer caracterizacin elctrica
de dispositivos y capas delgadas. Se
pueden hacer caracterizaciones
elctricas completas a circuitos
integrados
encapsulados
y
directamente sobre el dado de silicio
con el apoyo de la estacin de puntas
de prueba.
19
Sistema Keythley 4200SCS con 4

preamplificadores,
fuente
pulsada, CV, IV, alta potencia y
baja potencia.
Fuente medidor Keithley 2400
para mediciones I-V locales.
Osciloscopio con 4 canales y
ancho de banda de 500 MHz.
Estacin de puntas de prueba con
microscopio y cmara acoplados y
monitor para mejor visualizacin.
Resultados
Estacin de pruebas
Caracterizacin I-V.
Caracterizacin C-V.
Aplicaciones para baja potencia.
Aplicaciones para alta potencia.
Medicin de resistividad.
Fuente pulsada y osciloscopio.
20
Escner de
Microarreglos
Beneficios
Escner MS 200
Su alta resolucin combinada con

una alta sensibilidad, as como la
uniformidad,
reproducibilidad,
calibracin automtica y un rango
dinmico, son caractersticas claves
del escner de microarreglos. El
equipo es capaz de medir la
fluorescencia de dos fluorocromos
diferentes (Cianina: 3-CTP y 5-CTP)
en simultneo, facilitando los
estudios de expresin diferencial.
Microarreglo escaneado
Resultados
Aplicaciones
Descripcin
El escner de microarreglos mide la

intensidad de fluorescencia de los
cidos nucleicos (ADN o ARN)
marcados que se unen al
microarreglo.
Cada microarreglo es escaneado en
minutos y genera archivos con la
informacin obtenida.
21
45
Microarreglo
Determinacin de perfiles de expresin

gnica para
cualquier genoma
secuenciado.
Determinacin de la variacin del

nmero de copias de secuencias
cromosmicas: (Comparative Genomic
Hybridization (CGH).
Anlisis de patrones de metilacin de

DNA mediante microarreglos de islas
CpG.
Hibridizador
El escner de microarreglos es un
instrumento lser utilizado en la
adquisicin
de
imgenes
fluorescentes en las diapositivas de
microarreglos estndar (1 x 3
pulgadas).
El escner de microarreglos produce
slo una o mltiples imgenes en
archivos formato (TIFF / JPG), los
cuales
pueden ser ledos por
paquetes de software directamente
de Roche NimbleGen y otros
proveedores.
22
Perfilmetro mecnico
de superficie
Aplicaciones
Esta tcnica permite obtener el perfil

superficial, medicin de espesores a
partir de escalones, rugosidad,
profundidad de cavidades o de
grabados.
Perfilmetro
Escaneo
Caractersticas
Descripcin
Resultados
El perfilmetro es una herramienta
que mediante una aguja de diamante
en contacto con la muestra, permite
obtener el perfil superficial.
Resolucin vertical de 0.1 nm.
Dimetro mximo del sustrato de

4 pulgadas.
Software de anlisis.
Estacin de trabajo manual.
Perfilmetro
23
- Espesor de capas.
- Perfiles de escalones.
- Medicin de espesores
nanomtricos.
- Caracterizacin mecnica de
materiales a partir de
microestructuras.
24
Microbalanza de
Cuarzo Q-SENSE E-4
Descripcin
Protenas
La microbalanza de cristal de cuarzo
(QCM) es un dispositivo altamente
sensible a las pequeas variaciones de
masa que en ella ocurren. Esto se debe
a los cambios que experimenta la
frecuencia de resonancia (f0) del cristal
de cuarzo en tiempo real.
Beneficios
Nanopartculas
Biomateriales
Polmeros
Surfactantes
Biosensores
Con una gran superficie de absorcin

para
biomolculas
(protenas,anticuerpos, DNA etc),
polmeros/ polielectrolitos y clulas.
Clulas/bacterias
Resultados
Aplicaciones
Microbalanza de Cuarzo
Q-Sense E4 Auto
25
Las aplicaciones del QCM son diversas,

Por
ejemplo,
se
utiliza
para
caracterizacin de interacciones de ADN
y ARN con cadenas complementarias,
reconocimiento especfico de protenasligando, deteccin de cpsides de virus,
bacterias, clulas de mamfero, adhesin
de clulas, liposomas y protenas,
interacciones con superficies, disolucin
de recubrimientos de polmeros,
interaccin molecular de drogas,
respuesta
celular
a
sustancias
farmacolgicas, etc.
Se puede utilizar para una gama de
opciones
para
lpidos
protenas,
surfactantes, nanopartculas y polmeros.
Mayor caracterizacin de las

propiedades viscoelsticas de los
fluidos.
Con una superficie de reaccin en

cambios de conformacin (protenas,
DNA, polmeros, clulas, hidratacin de
polmeros.
La microbalanza de cuarzo tiene la

ventaja de hacer diferentes tipos de
anlisis de datos ya sea de manera
cualitativa
sin
formato o
cuantitativamente para pelcula
rgida (Low D), el modelo
de
Sauerbrey, o pelcula suave (High D)
Modelo viscoelstico
H
2
Cuarzos
6
26
Caracterizacin de
estructura
molecular y analtica
CARACTERIZACIN DE ESTRUCTURA
MOLECULAR Y ANALTICA
LABORATORIO NACIONAL
MULTIDISCIPLINARIO DE
CARACTERIZACIN DE
NANOESTRUCTURAS
Y MATERIALES
Laboratorio Nacional
Multidisciplinario de
Caracterizacin de
Nanoestructuras y Materiales
Difraccin de Rayos X
(DRX)
Descripcin
La difraccin de rayos X es una tcnica
no destructiva de caracterizacin de la
estructura de los materiales cristalinos.
Se
cuenta
con
dos
equipos:
Difractmetro
XPERT
Pro
MRD
PANalytical y Difractmetro de polvos
Miniflex 600 Rigaku.
Parte interna del Difractmetro

XPERT Pro MRD PANalytical
Beneficios
Aplicaciones
Difractmetro de polvos
Miniflex 600 de Rigaku
TiO2
SiO2
Vidrio
(SiO)
1
45
27
Reflectometra TiO (50 nm) + SiO

(50 nm) sobre vidrio
Determinacin de la estructura de
materiales.
Medicin de espesores, densidad y
rugosidad de pelculas nanomtricas
(<150 nm) de una capa y multicapas por
reflectometra.
Anlisis cualitativo de fases con la base
PDF 4 del ao 2012
Anlisis cuantitativo de fases por el
mtodo de Rietveld.
Obtencin de figuras de polos para
materiales con textura.
Medicin de esfuerzos residuales.
Difractmetro de Rayos X
XPert PRO MRD PANanalytical
Counts
1600
Intensidad de unidad adquirida
Geometra Bragg-Bretano -2
(Polvos).
Geometra de haz rasante.
Reflectometra.
pticas lineales para haz paralelo y
monocromado K1
Geometra simtrica y asimtrica
en el modo de alta resolucin
(0.0001), mapas en espacio
recproco.
pticas puntuales para microdifraccin, esfuerzos y textura.
Detectores de alta velocidad en el
haz difractado.
400
=0.5
ZnO
0
1600
400
ZnO + CIGS
=1
0
3600
1600
ZnO + CIGS +
Mo
=2
400
0
10
20
30
40
50
60
70
Position [2Theta] (Copper (Cu))
PDRX de ngulo rasante () de una

celda solar
Figura de polos en la direccin

111 de una muestra de Ni-Fe.
10
28
Caracterizacin de
Elipsmetro
Espectroscpico (SE)
Beneficios
Descripcin
La elipsometra es una tcnica ptica precisa y exacta para la caracterizacin

de pelculas delgadas o sistema pelcula sustrato, con resolucin de
ngstroms.
La tcnica se basa en medir los cambios de la polarizacin de la luz al

reflejarse o transmitirse en un material, que estn determinados por dos
ngulos (,). Estos cambios son el estado de polarizacin de los rayos
incidente y reflejado, obtenindose 00I parmetros fsicos como espesor,
ndice de refraccin n y coeficiente de extincin k.
Tcnica no destructiva.
Muy sensible, especialmente para
pelculas delgadas menores a 10
nm.
Alta resolucin espacial.
Registro in situ en tiempo real del
depsito de pelculas delgadas.
No se necesita preparacin de
muestra.
Resultados
Aplicaciones
Determinacin de espesores de
arreglos monocapa y multicapa,
ndice de refraccin, coeficiente de
extincin, rugosidad o anisotropa
para aplicaciones en dispositivos
optoelectrnicos
(lseres,
fotorresinas, electrnica orgnica),
en
pelculas
delgadas
para
fotoceldas, pelculas bio-orgnicas y
biocompatibles
(interaccin
biomolecular, biosensado) y en el
control del proceso de micro y
nanofabricacin
(espesores
de
xidos de todo tipo).
Elipsmetro Espectroscpico
Horiba CTRL-UNIT
11
29
45
Piezas internas del equipo
Propiedades pticas (n, k).

Propiedades del material como,
compuestos
de
aleacin,
cristalinidad,
porosidad
y
anisotropa.
Espesores de pelculas delgadas
desde pocos ngstroms a 10 m.
Modelado
de
superficies
rugosas.
Grfica en 3D de resultados
30
Caracterizacin de
Espectrometra de
Masas:
MALDI-TOF
Aplicaciones
Secuencia de una protena mediante una huella peptdica
Determinacin del peso molecular de la

protena intacta.
Obtencin del mapa peptdico e identificacin
de protenas de muestras biolgicas (clnicas,
alimentos, cultivos microbianos, plantas,
entre otras) utilizando una base de datos
(MASCOT) como algoritmos de bsqueda.
Identificacin de polipptidos.
Anlisis de macromolculas, polmeros,
drogas y metabolitos.
Descripcin
La ionizacin por MALDI (desorcin/ionizacin mediante lser asistida por
matriz), acoplada a un analizador TOF (tiempo de vuelo), es una tcnica de
ionizacin suave utilizada en espectrometra de masas que permite el anlisis
de biomolculas (biopolmeros como protenas, pptidos y azcares) y
molculas orgnicas grandes (como polmeros, dendrmeros y otras
macromolculas) que tienden a hacerse frgiles y fragmentarse cuando son
ionizadas por mtodos ms convencionales.
MALDI-TOF Autoflex Speed
Resultados
Anlisis de polmeros
sintticos y naturales
13
31
45
Anlisis de peso molecular de

polmeros sintticos y naturales.
Anlisis de protenas y pptidos.
Secuenciacin de protenas.
Anlisis de mezclas de protenas
in situ.
Anlisis de polisacridos.
Anlisis de
frmacos y sus
metabolitos.
2
32
Caracterizacin de
Espectrometra de Masas:
UHPLC-ESI y APCI
Resultados
Analiza los pesos moleculares de:
ESI: pptidos y protenas, pequeas molculas polares, frmacos y sus

metabolitos, contaminantes ambientales, colorantes, algunos
organomtalicos, pequeos azcares, entre otros.
APCI: carbamatos, herbicidas, triglicridos, aditivos en plsticos
explosivos, micotoxinas, frmacos, antioxidantes, azcares, cido
succnico, compuestos fenlicos, aldehdos/cetonas.
Determinacin de peso molecular de mezclas separadas

por UHPLC y analizadas por ESI
Descripcin
La ionizacin por electrospray (ESI) es una tcnica utilizada en espectrometra de
masas para inducir una ionizacin suave, especialmente a partir de
macromolculas, pues supera la propensin de estas a fragmentarse cuando se
ionizan. Por medio de la separacin cromatogrfica en UHPLC de diferentes
mezclas de compuestos de productos naturales, orgnicos, pptidos, protenas y
otros, se logran grandes beneficios, incluyendo anlisis ms rpidos, mejor
resolucin y menor costo para cada separacin. La ionizacin qumica a presin
atmosfrica (APCI) es una tcnica similar, aunque vlida para compuestos de baja
a alta polaridad; no se requiere que estn ionizados en solucin aunque deben de
presentar cierta volatilidad. Ambos mtodos de anlisis tienen una buena
sensibilidad para compuestos de polaridad y peso molecular intermedios con
caractersticas polares.
33
45
Aplicaciones
UHPLC-ESI y ACI
Anlisis de peso molecular de compuestos pequeos en forma directa o

acoplado a UHPLC.
Anlisis de protenas y pptidos en forma directa o acoplado a UHPLC.
Anlisis de polmeros en forma directa.
Anlisis de mezclas de productos naturales.
Anlisis de alimentos.
Anlisis de carbohidratos y polisacridos.
Identificacin y cuantificacin de antioxidantes naturales.
Anlisis de frmacos y sus metabolitos.
2
34
Caracterizacin de
Espectroscopa de
Fotoelectrones Inducidos
por Rayos X (XPS)
Aplicaciones
Proporcionar informacin cualitativa
y/o cuantitativa de los estados de
oxidacin de los elementos presentes
en las capas ms externas de un
slido, permitiendo as que la tcnica
pueda ser aplicada entre otras reas :
Mapeo de distribucin de especies
qumicas en superficie para Nb
Distribucin de especies qumicas para

TiO en una estructura multicapas
Descripcin
La espectroscopa de fotoelectrones
inducidos por rayos X (XPS) es una de las
tcnicas de caracterizacin de superficie
ms poderosas que existen. Esta tcnica
espectroscpica
permite
detectar
cualquier elemento, a excepcin del H y
el He, que est presente en la superficie
a una profundidad no mayor a 8 a 10
capas atmicas con una resolucin
espacial 6 mm. Los lmites mnimos de
deteccin se encuentran en el intervalo
de 0.1 a 0.5 porciento en peso
dependiendo del elemento. Cuenta con
un sistema de compensacin de carga
por flujo de argn para analizar muestras
no conductoras y una platina para
anlisis angular en el intervalo de 60
con respecto a la superficie de anlisis.
Beneficios
En trminos de la riqueza de
informacin til y la fiabilidad de los
datos, son pocas las tcnicas de
caracterizacin composicional de
superficie que puedan compararse
con XPS. Las muestras se analizan tal y
como son entregadas al laboratorio.
En caso de ser necesario, la
preparacin previa a su anlisis es
mnima por lo que la informacin
obtenida provendr exclusivamente
de los elementos presentes en la
superficie de la muestra.
Caracterizacin de pelculas
delgadas (semiconductores,
ptica, catlisis, metalurgia).
Identificacin de contaminantes
en superficies delgadas.
Estudios de corrosin en metales.
Biocompatibilidad.
Problemas de adhesin y/o
recubrimiento (interfaces
orgnicas inorgnicas).
Estudio de procesos mineralgicos
y geoqumicos.
Caracterizacin de catalizadores.
35
Arreglo y distribucin de los sistemas

de Anlisis y emisin del K-Alpha
Resultados
Este mtodo permite determinar, de
manera cualitativa y cuantitativa, los
elementos presentes en la superficie
de los materiales slidos, su estado
de
oxidacin
y/o
especies
moleculares, as como su distribucin
en superficie. Adicionalmente, es
posible realizar estudios de perfil de
composiciones y estratificacin de
pelculas delgadas 10 nm.
36
Thermo Scientific, K-ALPHA
Espectroscopa
Micro-Raman Confocal
e Infrarrojo con
Transformada de Fourier
Caracterizacin de
Descripcin
Resultados
El equipo de espectroscopa Micro-Raman cofocal acoplado con Infrarrojo por

Transformada de Fourier (FTIR) provee de una tcnica de caracterizacin no
destructiva de materiales mediante la deteccin de los modos vibracionales
moleculares originados por la dispersin inelstica de una radiacin luminosa de
excitacin (efecto Raman) y por la absorcin de energa infrarroja (FTIR), donde
las muestras pueden ser slidas (polvos, pelculas delgadas, recubrimientos) o
lquidas; orgnicas o inorgnicas. La espectroscopa Raman no ofrece anlisis
elemental y no es apropiada para metales puros ni aleaciones.
Obtencin de huella qumica espectral para anlisis cualitativo.

Anlisis de cristalinidad (estructura del material).
Identificacin de fases y polimorfismos.
Identificacin de contaminantes o dopantes.
Distribucin de componentes mediante mapeos 2D.
Anlisis FTIR mediante la tcnica de contacto de ATR o por
medio de reflectancia.
Mediciones en funcin de la
temperatura (T < 600 C)
Beneficios
Identificacin de
Equipo Micro Raman Confocal

Microscopio en operacin
Aplicaciones
Polimorfismos
Ambas tcnicas son no-destructivas y no-invasivas.
Las muestras no requieren de preparacin previa para su anlisis.
Aplicable a materiales slidos o lquidos.
Espectros tomados en tiempo real y en periodos cortos de anlisis.
Anlisis in-situ, in-vitro e in-vivo.
Mapeos 2D (distribucin de componentes).
Proporcionar informacin cualitativa para realizar una identificacin,

discriminacin de materiales y compuestos, an si estos tienen estructuras
qumicas muy similares. Es posible obtener informacin estructural del material
a partir de los espectros recabados.
Ambas tcnicas son aplicables en varios campos de la industria e investigacin:
forense, farmacutica, alimentos, arte, semiconductores, nanoestructuras de
carbono, biologa, entre otras.
37
Mapeo Raman 2D
38
Caracterizacin de
Resonancia Magntica
Nuclear 750 y 400
MHz: Lquidos y Geles
Resultados
A
Espectro de 1H del
compuesto A en D2O
A) Estructura de una protena extrada del

Protein data Bank (PDB) . B) Espectros HSQC
1H-13C y HSQC 1H-15N de la protena. C)
Estructura globular de la misma protena.
Obtencin de espectros de 1H y 13C.

Obtencin de espectros bidimensionales: COSY, HMBC, HSQC, etc.
Anlisis de polmeros orgnicos y sintticos.
Anlisis de productos naturales, de compuestos sintticos, alimentos, etc.
Anlisis de carbohidratos y polisacridos.
Anlisis de frmacos y sus metabolitos.
El equipo de 750 MHz est equipado con una criosonda para aumentar la
resolucin del anlisis de molculas principalmente de origen biolgico.
Aplicaciones
La RMN complementa otras tcnicas de

anlisis, tales como difraccin de rayos
X, cristalografa y espectrometra de
masas, para la elucidacin estructural
de diferentes compuestos. La ventaja
principal de la RMN es su capacidad
nica para permitir el estudio no
destructivo y cuantitativo de molculas
en solucin y permite el estudio de los
fluidos biolgicos.
Espectro de 1H de los
ismeros del Mentol
Descripcin
La Resonancia Magntica Nuclear (RMN) es una tcnica til para
determinar la estructura de las molculas, la interaccin de complejos
moleculares, cintica de reacciones qumicas, dinmica de
biomacromolculas y la composicin de las mezclas de las soluciones
biolgicas. El tamao de las molculas de inters puede ir desde una
pequea molcula orgnica o metabolito, a un pptido de tamao medio,
un producto natural o hasta protenas de varios kDa de peso molecular.
39
45
39
Espectrmetro de RMN
de 4000 MHz
40
Caracterizacin de
Resonancia Magntica
Nuclear 750 y 400 MHz:
Slidos
Aplicaciones
A
Espectro de RMN 13C

CPMAS del compuesto A
Espectro de RMN 13C

CPMAS de la Lisina
El desarrollo de los mtodos de la

RMN
en
estado
slido
evolucionan en pro de la
determinacin estructural de
sustancias poco solubles, como
polmeros, vidrios, cermicas,
resinas,
etc.,
siendo
una
alternativa muy interesante para
materiales de baja cristalinidad
que no pueden ser estudiados por
tcnicas de difraccin.
Resultados
Obtencin de espectros de 13C

CPMAS RMN
Obtencin de espectros de 13C
DPMAS RMN
Sonda
multinuclear
(15N-31P)
CPMAS para rotores de 4 mm, con
giro hasta 15 KHz.
Sonda multinuclear CPMAS para
rotores de 2.5 mm, con giro hasta
35 KHz.
Anlisis de sustancias insolubles o
poco solubles.
Descripcin
La Resonancia Magntica Nuclear (RMN) estudia el comportamiento de los
ncleos atmicos con spin diferente de cero bajo la influencia de un campo
magntico externo. A diferencia del estado lquido, en estado slido, la
movilidad est muy restringida y se obtienen seales anchas, resultado de la
suma de seales de todas las posibles orientaciones.
Se han desarrollado tcnicas que permitan obtener espectros de alta
resolucin en estado solido: giro con ngulo mgico (MAS, Magic Angle
Spinning), polarizacin cruzada (CP, Cross Polarization) o secuencias
multipulso especficas para slidos (CRAMPS, Combined Rotation and
Multiple Pulse Spectroscopy)
41
45
Laboratorio de Resonancia Magntica
42
Caracterizacin de
estructura
molecular y analtica
CARACTERIZACIN DE LA MICROESTRUCTURA
LABORATORIO NACIONAL
MULTIDISCIPLINARIO DE
CARACTERIZACIN DE
NANOESTRUCTURAS
Y MATERIALES
Caracterizacin de
Microscopa Confocal de
Barrido Lser (MCBL)
Descripcin
La Microscopa Confocal permite el
estudio de muestras orgnicas e
inorgnicas que por su naturaleza
fluorescen o que, en su caso, estn
marcadas con sustancias especficas
(fluorforos o cromforos) para
destacar rasgos estructurales de
inters, en base a su composicin.
Microscopio Confocal de Barrido Lser
LAM 710 NLO, Mca. Carl Zeiss.
Beneficios
La Microscopa Confocal de Barrido Lser
(MCBL) proporciona la estructura interna y
superficial de materiales orgnicos e
inorgnicos con base en su composicin, a
partir de seales de fluorescencia, para
contribuir al conocimiento de mecanismos,
fenmenos, reacciones e interacciones en el
rea mdico-biolgica y de los materiales.
Se cuenta con un Microscopio

Confocal-Multifotnico LSM 710
NLO (Carl Zeiss), que est equipado
con 7 lneas lser de trabajo
(405nm-633nm)
y
un
lser
sintonizable (690 nm a 1080 nm), 5
objetivos (5x, 10x, 20x, 40x/oil y
63x/oil), lmpara de halgeno,
lmpara de vapor de mercurio para
fluorescencia. Tambin se cuenta
con una cmara ambiental y su
sistema de incubacin para estudios
de microscopa confocal in vivo con
control de temperatura, humedad y
CO2 a temperaturas de hasta 60 C.
Resultados
43
Obtencin de imgenes 2D.

Obtencin de imgenes 3D para el estudio de la superficie y del
interior de las muestras.
Series de tiempo para realizar estudios dinmicos con control de la
temperatura, el CO2,
y la humedad.
Ciencias del mar:

Zooplancton
Entomologa:
Reconstruccin
3D de una hormiga.
Caracterizacin de
pelculas (capas)
Estudios de
mecanismos
de infeccin: clulas
Mejoramiento de
procesos de
panificacin: pan integral
Tejidos Vegetales
Caracterizacin de
biomateriales
para prtesis
Caracterizacin de
superficies
Aplicaciones
Estructuras y sustancias fotosensibles y autofluorescentes en biomateriales.

Anlisis cualitativo y cuantitativo de tejidos vegetales y animales, as como de sus
estructuras celulares.
Emulsiones de distinta complejidad y localizacin de microorganismos.
Muestras in vivo a lo largo de una secuencia temporal o para la colocacin de
distintos marcadores en una regin especfica.
Expresin y localizacin de molculas en 2 o 3 dimensiones, permitiendo
reconstrucciones tridimensionales, tanto en cultivos celulares como tejidos
histolgicos.
Morfologa, morfometra y microestructura de superficies de materiales
metlicos, polmeros, elastmeros, textiles, recubrimientos, pelculas, cermicos,
dispositivos microelectrnicos, entre otros.
Anlisis perfilomtrico y topogrfico de superficies en 2D y 3D de mltiples
44
materiales inorgnicos.
Microscopa de Campo
Inico/Electrnico
de Barrido
(FIB/MEB)
Caracterizacin de
Aplicaciones
Nano partculas de agente

antibacterial. Imagen de
alta resolucin adquirida
en modo de alto vaco.
Cabeza de mosquita de
fruta. Imagen de baja
resolucin adquirida en
modo ambiental.
Anlisis de fractura en
modo de alto vaco.
Descripcin
Nanotubos de carbn en
modo de alto vaco
Imagen de electrones retrodispersados donde se

observa contraste por nmero atmico. Las
partculas con elementos de mayor peso atmico
aparecen ms brillantes.
Se cuenta con un estacin de trabajo Dual Beam Quanta 3D FEG, Mca. FEI, capaz de
operar como un microscopio electrnico de barrido de alta resolucin (MEB) o como
un microscopio de campo inico. En la operacin como MEB, brinda imgenes que
dan informacin sobre la topografa, la microestructura y la composicin de la
superficie de una muestra. El microscopio Quanta 3D FEG (marca FEI), incluye tres
detectores de electrones secundarios (SE) optimizados para el uso en alto vaco (HV),
bajo vaco (LV) y modo ambiental (ESEM), as como un detector de electrones
retrodispersados (BSE) de estado slido.
45
45
25
Alto vaco (HV)

1.2nm a 30kV (SE)
2.5nm a 30kV (BSE)
2.9nm a 01kV (SE)
Bajo vaco (LV)

1.5nm a 30kV (SE)
2.5nm a 30kV(BSE)
2.9nm a 03kV (SE)
Modo ambiental
(ESEM)
1.5nm a 30kV (SE)
La microscopa electrnica de barrido

se utiliza en la caracterizacin de todo
tipo de materiales slidos, dispositivos
electrnicos, materiales biolgicos,
polmeros,
semiconductores,
catalizadores, alimentos e incluso
puede aplicarse en algunos casos en
materiales hmedos y materiales
lquidos (emulsiones, suspensiones). Se
aplica en metalurgia, petrologa,
botnica, biomateriales, por mencionar
algunos ejemplos.
Estudio morfolgico (tamao y forma):
En muestras geolgicas.
Aplicaciones en botnica,
biomedicina, medicina y
farmacologa.
Anlisis
y autentificacin de
objetos de arte.
Defectos en productos electrnicos.
Medicina forense.
Deteccin de productos nocivos.
Caracterizacin microestructural de
metales, cermicos, materiales
compuestos,
semiconductores,
polmeros, minerales.
Caracterizacin de tejidos orgnicos.
Estudio
de
degradacin
de
materiales
(fatiga,
corrosin,
fragilizacin).
Estudio de fatiga de materiales.
Anlisis de fractura.
Determinacin de caractersticas
texturales superficiales.
Peritajes caligrficos (estudio de
trazos).
Anlisis de control de calidad.
Seguimiento
morfolgico
para
diferencias materiales.
Beneficios
Observacin de muestras no
conductoras sin preparacin.
Combinacin de detectores.
Equipo Quanta 3DFEG FEI
46
Caracterizacin de
Microscopa Electrnica
de Barrido de
Ultra Alta Resolucin
Resultados
Microfotografas adquiridas con electrones secundarios y retrodispersos.

Microfotografas adquiridas en campo claro y obscuro, STEM.
Microfotografas compuestas (electrones secundarios y retrodisperos)
Microanlisis elemental por dispersin de energa de rayos X (EDS)
Mapeo elemental y de lnea en MEB y en STEM.
Mapeo de orientaciones cristalinas por difraccin de electrones (OIM).
Anlisis superficial con baja aceleracin (0.1 1 kV) con sistema de
desaceleracin Gentle Beam.
Adquisicin simultnea de EDS y OIM.
Beneficios
Microscopio Electrnico de Barrido de Ultra Alta Resolucin
Descripcin
Se cuenta con un microscopio electrnico de barrido (MEB) mod. JSM
7800F, Mca. JEOL, con una resolucin de 1.2 nm a 1 kV de aceleracin y
de 0.8 nm a 15 kV. Tiene instalados varios detectores:
Detector EDS con una ventana de deteccin de 30 mm2 Mca. EDAX.
Detector EBSD (Electron Backscattered Diffraction) marca EDAX.
Detector STEM (Modo Transmisin/Barrido).
Detector de electrones retrodispersos.
Tres detectores de electrones secundarios
Sistema de desaceleracin de electrones til para materiales no
conductores y sensibles al haz de electrones.
Limpiador de plasma.
47
45
La tcnica es no destructiva.
La ventana de 30 mm2 del EDS permite
realizar mapeos elementales en escala
nanomtrica en muestras delgadas en STEM.
Se analizan muestras no conductoras y
biolgicas sin recubrimiento conductor.
Figura de polos de una aleacin

Fe Ni (III), (200) y (220)
Aplicaciones
Las tcnicas analticas que se pueden realizar en
el microscopio JSM 7800F son aplicables en
diversos campos de la industria e investigacin:
farmacutica, alimentos, semiconductores,
biologa, mineraloga, micro y nanotecnologa,
metalurgia, catlisis, entre otras.
Mapa de FIP de una aleacin Fe-Ni
28
48
Microanlisis
Elemental por
Espectroscopa de
Rayos X (EDS)
Caracterizacin de
Element
Na
Ni
CK
OK
NaK
AlK
SiK
PK
NiK
Total
Wt %
At %
86.85
6.12
1.08
0.12
0.77
2.7
2.35
100
92.47
4.89
0.6
0.06
0.35
1.11
0.51
100
Beneficios
Aplicaciones
El microanlisis elemental se emplea
en la identificacin de materiales,
anlisis de falla, control de calidad en
la industria electrnica, metalurgia,
por citar algunos ejemplos pero su
uso se extiende hasta el rea
biolgica y mdica de la Distribucin
de partculas en catalizadores.
Requiere una cantidad de

material muy pequea.
El anlisis se lleva a cabo en un
par de minutos.
Proporciona
informacin
analtica semicuantitativa muy
localizada.
Se puede considerar un anlisis
no destructivo
Mapeos bidimensionales que muestran la

distribucin de concentracin de los elementos
presentes en la zona de barrido (Quanta 3D FEG-FEI
Composicin elemental
porcentual semicuantitativa.
Si
Descripcin
El espectrmetro de energa dispersiva de rayos X (EDS) se instala en la
cmara de anlisis del microscopio electrnico de barrido. Su funcin es
colectar la seal de rayos X caractersticos que se generan cuando un haz de
electrones impacta en la superficie de la muestra que es analizada. De esta
forma, es posible identificar los elementos presentes en la muestra siempre y
cuando se encuentren en una concentracin igual o superior a la del lmite de
deteccin, que est entre 0.2 y 1 % en peso, y que tengan un nmero atmico
Z > 11. Se cuenta con detectores EDS instalados en el microscopio Dual Beam
Quanta 3D FEG, Mca. FEI y en el microscopio JSM 7800F, Mca. JEOL.
49
45
Resultados
Se obtienen espectros que indican el

tipo de elementos presentes en la
muestra.
Se puede combinar con cortes
transversales en el microscopio
Quanta 3D FEG, Mca. FEI, para hacer
anlisis elemental y composicional
en capas internas de la muestra.
Anlisis de difusin de elementos en
fronteras de grano.
Identificacin de contaminantes.
Perfiles de concentracin.
JSM7800 - JEOL
50
Caracterizacin de
de Barrido en Modo
de Transmisin
Aplicaciones
Aplicable a todo tipo de materiales que puedan ser preparados en forma de

Imagen de electrones
secundarios donde se
observa la morfologa
superficial.
Imagen STEM en
campo claro.
Imagen STEM en campo

oscuro, donde se muestra
la estructura interna del
material.
Imagen de
microestructura
de una aleacin
de Cu
una muestra lo suficientemente delgada o que se encuentre en forma de
partculas a nivel sub-micromtrico.
Beneficios
Imagen STEM en
campo oscuro.
Nanotubos de carbn
depositados en una
rejilla preparada de
cobre.
Alta resolucin espacial, con la

facilidad de operacin de un
microscopio
electrnico
de
barrido.
Nanotubos de carbn
depositados en una
rejilla preparada de
cobre.
La resolucin de este tipo de

imgenes puede ser mayor a la
obtenida
con
electrones
secundarios o retrodispersos.
Descripcin
Las imgenes en modo de transmisin obtenidas en un microscopio electrnico
de barrido conocido como modo STEM, proporcionan regularmente informacin
de la microestructura interna de una muestra suficientemente delgada (espesor
menor a 100-200 nanmetros).
El microscopio Quanta 3D FEG. Mca. FEI, cuenta con un detector STEM de
estado slido de 2 segmentos para obtener imgenes de campo claro y campo
oscuro, y puede trabajar en las configuraciones de alto vaco, bajo vaco y
ambiental.
45
51
El microscopio JSM 7800F, Mca. JEOL
Equipos Quanta 3D FEG-FEI
52
Caracterizacin de
de Transmisin en Modo
Criognico
Aplicaciones
El JEM-2100 tiene una capacidad de resolucin de imagen de 0.27 nm punto a
punto, lo que permite aplicaciones en diferentes campos como el campo
mdico y biolgico donde se estudian y analizan tejidos animales y vegetales de
diversos tipos. En el rea de la nanociencia y la nanotecnologa se estudian y
caracterizan materiales nanoestructurados, pelculas delgadas, nanotubos,
nanofibras y polmeros entre otros.
Imagen en campo claro de una
nanopartcula core-shell Ti MoS2
Beneficios
Microscopio JEOL modelo JEM-2100.
Descripcin
Imagen de campo
oscuro de una
nanopartcula de oro.
Resultados
45
53
El JEM-2100 Mca. Jeol, es un microscopio de transmisin con un filamento

de LaB6 que puede ser operado a diferentes voltajes de aceleracin (80,
100, 120, 160 y 200 kV) y proporcionar una buena iluminacin en altas
amplificaciones, para la obtencin de imgenes de alta resolucin. Cuenta
con una pieza polar objetiva y un portamuestras criognico que hacen
posible la observacin de muestras a una temperatura de hasta -160 C,
que pueden ser
caracterizadas mediante tomografa. Dichas
caractersticas permiten el uso del JEM-2100 para una diversidad de
aplicaciones en el terreno mdico y biolgico, as como en el rea de
ciencia de materiales.
Observacin de muestras biolgicas

en estado criognico.
Observacin de imgenes de
microscopia de alta resolucin.
Operacin a diferentes voltajes de
aceleracin.
Anlisis de imagen por TEM: campo claro

y campo oscuro.
Imgenes de alta resolucin (HRTEM).
Difraccin y nanodifraccin
de electrones.
Haz convergente.
Imagnes en campo claro que muestra la
Ultraestructura en una levadura
Tomografa
(imgenes
en
tres
dimensiones).
54
Caracterizacin de
de Transmisin de
Resolucin Atmica
Aplicaciones
Beneficios
El JEM-ARM200CF cuenta con la capacidad

para el estudio y la caracterizacin de la
estructura cristalina y la composicin
elemental de nanopartculas de materiales
catalticos, semiconductores,
aleaciones
metlicas,
materiales
mesoporosos,
polmeros y muestras biolgicas con
resolucin atmica entre otros.
Imgenes
de
microscopia
electrnica
con
resolucin
atmica.
Menor tiempo de anlisis
qumicos.
Detectores con mejor resolucin
espectral para anlisis qumico.
Operacin a diferentes voltajes de
aceleracin.
Microscopio JEOL modelo JEM-ARM200CF.
Descripcin
El JEM-ARM200CF es un microscopio electrnico con capacidad de resolucin
atmica operando en modo TEM o STEM con voltajes de aceleracin de 80 200
kV. Cuenta con un can de electrones de ctodo fro (Cold Field Emission Gun,
CFEG) y un corrector de aberracin esfrica CEOS para el modo STEM, lo que
permite obtener imgenes con resolucin de hasta 78 pm. El microscopio cuenta
con detectores acoplados para realizar anlisis qumico mediante EDS (energydispersive x-ray spectroscopy) y EELS (electron energy-loss spectroscopy) con
resolucin espectral de 0.3eV. Lo cual complementa las tcnicas de microscopa
de imagen en campo claro y campo oscuro (BF/DF) y contraste Z (HAADF).
55
45
Imgenes de resolucin atmica en modo STEM-BF y STEM-DF

donde se observa la distancia interatmica entre tomos de silicio .
Resultados
Alta resolucin en imgenes campo claro y campo oscuro en TEM y STEM.

STEM-HAADF con resolucin de 78 pm.
Difraccin y nanodifraccin de electrones.
Haz convergente.
Anlisis qumico EDS con ventana de 100 mm2 (puntual, lineal y mapeos).
EELS (puntual y mapeos).
56
Caracterizacin de
Microscopa de
Fuerza Atmica
(AFM)
Beneficios
Bacteria
Caparazn de
escarabajo
En la mayora de las muestras

no se requiere preparacin.
Anlisis no destructivos.
Estudio de microorganismos
en vivo.
Aplicaciones
Obtencin de imgenes topogrficas.

Reconstruccin
de
superficies
magnticas detectando la interaccin
magntica.
Resistencia al desgaste de materiales
utilizando el modo de fuerza lateral
Cambios en topografa con escner
trmico.
Experimentos con celda de fluidos
(microorganismos vivos).
Anlisis de propiedades mecnicas,
resistencia de materiales y fuerza de
adhesin.
Imagen de
indentacin
Resultados
Descripcin
El microscopio opto-mecnico sirve para
obtener imgenes topogrficas es un
equipo por medio de una punta afilada
que escanea la superficie de la muestra.
57
45
Bioscope Catalyst, Bruker
VEECO di Multi Mode V
Informacin geomtrica a partir de

imgenes topogrficas (forma y
dimensiones) de depsitos como
nanopartculas, rugosidad de superficie
depositada.
58
Caracterizacin de
Nanoindentacin
Aplicaciones
Huellas de indentacin mostrando

el agrietamiento del material
Huellas de indentacin
en una aleacin
Determinacin de dureza y mdulo elstico en minerales, metales, aleaciones

y capas duras.
Obtencin de propiedades mecnicas en muestras biolgicas como huesos,
dientes y cartlagos.
Caracterizacin mecnica de membranas biodegradables y polimricas.
Obtencin de mapeos mecnicos a lo largo de capas y fases en materiales de
naturaleza biolgica y no biolgica.
Estudios de resistencia a la fractura en materiales frgiles.
Evaluacin de propiedades viscoelsticas.
Curva tpica de indentacin

(fuerza vs penetracin)
Resultados
Huellas de indentacin en cobre
Huellas de indentacin en
una capa dura
La nanoindentacin se utiliza para la

medicin de propiedades micro y
nanomecnicas de diversos tipos de
materiales y pelculas delgadas. El
principio de esta tcnica consiste en
aplicar una carga con una punta de
diamante sobre una superficie para
provocar una deformacin local.
59
45
37
Beneficios
Descripcin
Obtencin de propiedades
mecnicas en zonas especficas
o fases de la muestra.
Caracterizacin de propiedades
mecnicas
en
pelculas
delgadas y recubrimientos de
espesor nanomtrico.
Nanoindentador CSM Instruments

TTX-NHT Bercovich
Propiedades
plsticas
como:
dureza,
termofluencia
por
indentacin (creep indentation),
trabajo de deformacin plstica.
Propiedades elsticas o elsticoplsticas como: mdulo elstico,
relajacin de indentacin, trabajo
de deformacin elstico, parte de
trabajo elstico de indentacin.
Curvas de indentacin: fuerza (mN)
contra profundidad de penetracin
(nm).
Obtencin de imgenes de la huella
de indentacin.
Agrietamiento
en
materiales
frgiles.
60
Caracterizacin de
rea Superficial
y
Porosidad
Descripcin
Resultados
Se ceunta con un Analizador de Alta Velocidad de Sorcin de Gas Nitrogeno,

Mod. Nova 4200e, Mca. Quantachrome Instruments
4 estaciones para Anlisis

Isotermas de adsorcin y desorcin
Parmetros
rea Superficial desde 0.01 m2/g
Tamao de Poro desde 3.5 a > 4000
Volumen de Poro mnimo:
(lquido) 2 106 cm3/g
STP: 0.0001 cm3/g
Desgasificacin
4 puertos
Vaco (10 mTorr) y Flujo
Rango de temperatura hasta 300 C
(precisin 5 C)
Transductores de presin
(especificaciones fabricante):
Precisin (% desv.): 0.1
Resolucin de presin (mm Hg): 0.016
Resolucin de Presin relativa
/0 (2 ): 2 105
rea Superficial BET, Langmuir

Isotermas de adsorcin y desorcin
Distribucin de Tamao de Poro BJH,
Dollimore-Heal
rea de Microporo Dubinin-Radushkevich
Volumen Total de Poro a una /0 elegible
por usuario
Tamao Promedio de Poro: radio, dimetro
Densidad de la muestra
Espesor estadstico: de Boer, Halsey o
Modelos de Carbn Negro
Mtodo T: rea de microporo, de

mesoporo, volumen de microporo
Mtodos de Teora Funcional de
Densidad No Local (NLDFT): en
diferentes geometras de poro,
desde 77 a 273 K
Otros modelos de Tamao de Poro
Dimensiones Fractales
Multipunto y 1, intercepto Y, cte
C, pendiente, coef. correlacin,
formato grfico y tabular, log,
interpolacin
Aplicaciones
Beneficios
Analizador de alta velocidad de

sorcin de gas nitrgeno
45
61
Isoterma de adsorcin de
Resultados en unas cuantas horas.

Pueden efectuarse diferentes
combinaciones de anlisis de rea
superficial y tamao de poro
Distribucin de mesoporos
Mtodos estndar de
microporos
Curva de distribucin de
Tamao de Poro
28
62
Caracterizacin de
Haz de Iones
Enfocados
(FIB Focused
Ion Beam)
Beneficios
Aplicaciones
Celdas de memoria, falla en el xido de

compuerta (contraste por voltaje).
Imagen de un circuito recableado, donde se

unen dos contactos y se separan otros
Mapeo elemental en un Cross-section de una

muestra de un objeto de patrimonio cultural.
Preparacin de muestras para TEM. Etapa

de soldadura de la muestra a la rejilla
Omniprobe.
Descripcin
63
El microscopio de barrido de doble haz cuenta con 2 mdulos: SEM y FIB,

este ltimo cuenta con una columna ionica que tiene una fuente de metal
liquido de Galio y 3 sistemas de inyeccin de gas (Pt, C y SiO2) que operan
en alto vaco. Las funciones bsicas del mdulo FIB son: corte, desbaste y
pulido; depsito de materiales; generaciones de patrones; nanolitografia
ionica; formacin de imgenes con contraste topogrfico, channeling y por
voltaje. Es posible fabricar estructuras como canales, contactos y patrones
digitales sobre relieve y bajo relieve, preparar muestras para SEM, TEM,
AFM, etc;
Erosin de materiales (Corte preciso

en cross-section, pulido de
superficies, micro y nano
maquinado).
Depsito de materiales como capas
de proteccin (Pt y C) , contactos (Pt)
y capas aislantes (SiO2) escala micro y
nanomtrica .
Preparacin de muestras para TEM ,
SEM, AFM, etc.
Anlisis y modificacin de circuitos
integrados.
Desbaste de materiales en diversas
formas geomtricas a escala micro y
nano.
Modificacin de materiales por
implantacin inica de Galio.
Formacin de imgenes con iones
secundarios con contraste por voltaje
y contraste channeling.
Estudios de corrosin y oxidacin de
fronteras de grano de metales.
Monitoreo de distribucin de tamao
de grano en pelculas de Al-Cu.
Estudio de efectos de
electromigracin en metalizacin.
Micro y nano fabricacin de
prototipos y dispositivos a nivel micro
y nano.
Nano litografa y generacin de
patrones.
Control de calidad de circuitos
electrnicos y dispositivos.
Se requiere una cantidad de

material muy pequea.
Se realizan desbastes, cortes y
depsitos
con
precisin
nanomtrica.
Proporciona informacin que no
es
posible
obtener
con
imgenes de electrones.
Es posible observar in situ los
procesos de erosin.
Equipos Quanta 3D FEG-FEI
64
Caracterizacin de
Preparacin de
Muestras
Resultados
Descripcin
El rea de preparacin de muestras se encuentra dedicada para el acondicionamiento de
materiales orgnicos e inorgnicos que sern destinados a las diversas tcnicas de caracterizacin;
esta rea esta integrada por los siguientes equipos:
Centro de Inclusin de Tejidos en Parafina

Microtomo de Congelacin (Criostato)
Ultramicrotomo
Campana de Extraccin
Campana de Bioseguridad
Bao Ultrasnico
Refrigerador
Utracongelador
Secadora de Punto Crtico
Criostato
Centro de Inclusin de Tejidos

El sistema permite realizar la inclusin de tejidos vegetales,
animales o de origen biolgico de forma conveniente, rpida y
precisa en parafina. Los sistemas de temperatura y enfriamiento
son controlados por un termostato digital entre -20C y 70 C.
Centro de Inclusin de
Tejidos en Parafina
Criostato
Equipo de alto rendimiento con sistema de refrigeracin. La
temperatura de la criocmara puede llegar hasta -35C, sin
embargo el dispositivo Peltier permite la refrigeracin de las
muestras con suma rapidez a temperaturas de hasta -60C. Los
cortes pueden ser de 1 a 60 m.
Ultramicrotomo
Aplicaciones
En el servicio de preparacin de muestras

con criostato y con el centro de inclusin de
tejidos, es posible realizar cortes e inclusin
de parafina de materiales biolgicos. Es ideal
para la histologa de rutina y la patologa, en
las reas qumica, biolgica y mdica, dichos
cortes son parte de la preparacin de
muestras, que posteriormente pueden ser
observadas con las diferentes tcnicas de
microscopa.
65
El equipo tiene un cabezal estereoscpico acoplado, que

permite alinear la navaja, realizar y evaluar el corte; obtener
secciones semifinas (500 nm-1 m) seriadas, finas (80-200 nm) y
ultrafinas (30-60nm) de materiales orgnicos e inorgnicos
embebidos en un soporte, que regularmente suele ser una
resina.
Beneficios
Hacer cortes de muestras de tejidos

vegetales y algunos alimentos congelados
en grosores de 5, 15, 35 y 50 m.
Se pueden realizar cortes de 80 nm hasta 1
m de grosor, de materiales inorgnicos
embebidos en resinas.
Permitir la inclusin de tejidos vegetales
como semillas.
Apoyar a la preparacin de muestras para la
caracterizacin micro y nanoestructural de
muestras asociadas a investigaciones en el
campo de las ciencias-qumico biolgicas y
de materiales.
Ultramicrotomo
Tejido vegetal incluido

en parafina
Cortes vegetales
obtenidos con
criostato
Muestra problema
incluida en resina
66
Transferencia
Tecnolgica
Caracterizacin de
Descripcin
El rea de Transferencia Tecnolgica es la encargada del desarrollo , impulso y difusin del Centro
de Nanociencias y Micro y Nanotecnologas. En Transferencia Tecnolgica brindamos la
informacin que requieren nuestros usuarios para el desarrollo de los proyectos de investigacin
que aqu se generan; la infraestructura con la que contamos, los procesos de vinculacin con
alumnos, comunidad politcnica y empresas privadas , as como la evaluacin de los servicios que
brindamos.
Somos un Centro con nueva tecnologa de la informacin, comprometida en difundir, contactar y
colaborar entre centros de investigacin, empresas y entidades forneas. Buscamos una gestin
eficiente del proceso de transferencia de conocimiento, por lo que tambin realizamos convenios
de colaboracin con el sector productivo, instituciones educativas y sectores con intereses en el
desarrollo de la investigacin. El objetivo de las colaboraciones para transferencia tecnolgica es
el impulsar el desarrollo y crecimiento de los diversos sectores de la sociedad mediante el acceso
al conocimiento y experiencia de los grupos de investigacin, innovacin y desarrollo tecnolgico.
Servicios
67
Centro de Nanociencias y Micro y Nanotecnologas
Transferir conocimiento y habilidades a los sectores educativo, pblico y privado.

Incrementar el inters por las actividades de investigacin y formacin acadmica en el
sector productivo.
Generar actividades derivadas de la innovacin tecnolgica como cursos, talleres y
conferencias.
Crear espacios de colaboracin y licencia tecnolgica entre los diferentes sectores.
Formalizacin de convenios para proyectos de investigacin y desarrollo.
Atencin al sector productivo acadmico, de servicios de caracterizacin y servicios de
produccin de dispositivos y sensores.
Equipos e Investigadores
68
Directorio
ESPECIALISTAS DE MICRO Y NANOTECNOLOGAS
Dr. Daniel Arrieta Baez

Espectrometra de Masas MALDI-TOF, Espectrometra
de Masas UHPLC-ESI y APCI, Resonancia Magntica
Nuclear 750 y 400 MHz Lquidos y Slidos
darrieta@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57507
Dr. Norberto Hernndez Como

Fabricacin en Sistema de Mascarillas
nohernandezc@ipn.x
Tel. 57296000 ext. 57516
Dra. Alba Adriana Vallejo Cardona

Espectrometra de Masas MALDI-TOF, Espectrometra
de Masas UHPLC-ESI y APCI
avallejoc@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57517
M. en C. Francisco Javier Hernndez Cuevas

Depsito de Pelculas Delgadas en Alto Vaco
(Sputtering)
fhernandezc@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57516
Dra. Elvia Becerra Martnez

Resonancia Magntica Nuclear 750 y 400 MHz,
lquidos y slidos
elmartinezb@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57514
Dr. Hugo Martnez Gutirrez

Microscopa Electrnica de Barrido Ultra Alta Resolucin
humartinez@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57521
Dr. Israel Arzate Vzquez

Nanoindentacin y Microscopa de Fuerza Atmica
iarzate@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57506
Dra. Hayde Gonzlez Martnez

Escner de Microarreglos
hgonzalezmar@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57523
Dr. Jacobo Esteban Mungua Cervantes

Sistema de Alineacin de Mascarillas (EVG620),
Ataque por Iones Reactivos
jmunguia@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57513
69
45
43
ESPECIALISTAS DE CARACTERIZACIN
70
Directorio
Dr. Jos Alberto Andraca Adame

Difraccin de Rayos X
jandraca@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57512
ESPECIALISTAS DE NANOCIENCIAS
Dra. Mayahuel Ortega Avils

Microscopa Electrnica de Barrido (MEB), Microscopa de
Doble Haz (Dual Beam)
maortega@ipn.mx
Te. 57296000 ext. 57505
Dr. Nicols Cayetano Castro

Microscopa Electrnica de Transmisin de
Resolucin Atmica y Microscopa Electrnica
de Transmisin de Alta Resolucin de Materiales Inorgnicos
ncayetanoc@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57526
Dr. Ral Borja Urbi

rborjau@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57526
Biloga Mara Esther Snchez Espndola

sanzespindola@gmail.com
Tel. 57296000 ext. 57526
ESPECIALISTAS DE NANOCIENCIAS
71
45
Dr. Juan Vicente Mndez Mndez

Microscopa de Fuerza Atmica
jmendezm@ipn.mx
Te. 57296000 ext. 57506
Dra. Karla Elizabeth Ramrez Gualito
Resonancia Magntica Nuclear 750 y 400 MHz,
lquidos y slidos
kramirezg@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57514
Dr. Luis Lartundo Rojas
Espectroscopa de Fotoelectrones Inducidos
por Rayos X (XPS)
llartundo@ipn.mx
Te. 57296000 ext. 57518
Dra. Mara de Jess Perea Flores

Microscopa Confocal de Barrido Lser (MBLC),
Preparacin de Muestras
mpereaf@ipn.mx
Te. 57296000 ext. 57504
72
Directorio
Ing. Alberto Pea Barrientos

Preparacin de Muestras y Microscopa Confocal de Barrido
Lser
apenab@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57504
Edith Berenitze Calvillo Ramrez

Solicitudes de Servicio
ecalvillo@ipn.mx
Te. 57296000 ext. 57508
Ing. Arq. Paola Corona Morales
Vinculacin y Gestin
ecalvillo@ipn.mx
Te. 57296000 ext. 57508
M. en C. Claudia Jazmn Ramos Torres

Especialista en Elipsmetro Espectroscpio (SE)
cramos@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57520
M. en C. Luis Alberto Moreno Ruiz

Especialista en Espectroscopa Micro-Raman Confocal y FTIR
lmorenor@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57520
DEPARTAMENTO ADMINISTRATIVO
M. en A. Helga Rodrguez Gerwert

Jefa de Departamento Administrativo
herodriguez@ipn.mx
Te. 57296000 ext. 57503
C.P. Tania Snchez Osoria

Auxiliar Contable
tsanchezo@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57511
C.P. Dolores Roco Valentino Jurez

Auxiliar Contable Vespertino
drocio_2512@hotmail.com
Te. 57296000 ext. 57511
TRANSFERENCIA TECNOLGICA
73
45
M. en C. Mara de la Luz Prez Reveles

Subdirectora de Transferencia Tecnlogica
luxperez@hotmail.com
Tel. 57296000 ext. 57509
Lic. Alejandra Ramos Porras

Difusin, Convenios y Diseo Grfico
aramospo@ipn.mx
Tel. 57296000 ext. 57508
74

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Introduccin

El Centro de Nanociencias y Micro y

Dr. Heberto Balmori Ramrez

LABORATORIO NACIONAL DE MICRO Y NANOTECNOLOGAS

LABORATORIO NACIONAL MULTIDISCIPLINARIO DE

LABORATORIO NACIONAL MULTIDISCIPLINARIO DE

CARACTERIZACIN DE ESTRUCTURA MOLECULAR Y ANALTICA

Espectrmetro de Masas: UHPLC-ESI y APCI . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

LABORATORIO NACIONAL MULTIDISCIPLINARIO DE

Microscopa Confocal de Barrido Lser (MCBL) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

Cuartos Limpios clase 1000

-Lnea completa para fabricacin

A travs de la operacin de este

Las estrategias consideradas para

Oblea de Silicio procesada

Corte del edificio

Cuarto amarillo Clase 100

Cuarto blanco clase 100 de 110 m

Plano del laboratorio.

El escritor de mscaras DWL 66Fs

Permite la escritura de mscaras y/o sustratos

Fabricacin de dispositivos y circuitos de propsito especfico.

Marcas de alineacin escritas en

Transferencia de patrones a escala

Transferencia de patrones a escala

Alineacin litogrfica por ambas

Grfica tiempo vs.

Depsitos de pelculas en modo

Fabricacin de celdas solares

Obtencin de pelculas delgadas de

Software especializado para el control de los procesos y

Nanotubos de carbn, ZnO y GaN.

Crecimiento de nanoestructuras a base de grafeno y SW/MWCNT.

Cmara de carga del equipo.

Control de las propiedades elctricas, estructurales y pticas de los

Ataque por Iones

Esta tcnica es empleada para la

Gracias a la alta precisin y los rasgos

Impresin de volumenes a partir de

Interconexin de dos dados

Alambrado con hilos de oro,

Uniones tipo cua y tipo bola.

Capacidad de alambrar circuitos

Fuente medidor (2400)

Con este conjunto de equipos,

Keithley 4200 SCS

Sistema Keythley 4200SCS con 4

Su alta resolucin combinada con

El escner de microarreglos mide la

Determinacin de perfiles de expresin

Determinacin de la variacin del

Anlisis de patrones de metilacin de

Esta tcnica permite obtener el perfil

Resolucin vertical de 0.1 nm.

Dimetro mximo del sustrato de

Estacin de trabajo manual.

Con una gran superficie de absorcin

Las aplicaciones del QCM son diversas,

Mayor caracterizacin de las

Con una superficie de reaccin en

La microbalanza de cuarzo tiene la

Parte interna del Difractmetro

Reflectometra TiO (50 nm) + SiO

Intensidad de unidad adquirida