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sir_C7.

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Microstructures et caractrisation mcanique de couches minces autoportantes. Mise au point et


dveloppement dessais micro-nano mcaniques.
Dterminations de comportements rels fortement dpendants de la microstructure ; observation de mcanismes de
dformation : plastification et rupture ; obtention de valeurs ralistes pour la modlisation densembles multi/mono couches.
M. Ignat
Mots cls : Couches minces, renforcement, microstructure, ductilit restreinte, limites lastique et de rupture
Objectifs
Les tudes sur chantillons autoportants, sinscrivent dans
le contexte gnral de la connaissance dune part des
proprits physiques des matriaux en films minces
dpaisseur submicronique, et dautre part des relations
entre proprits de conduction lectrique et proprits
mcaniques. Ce type dtude dfinit la fiabilit de
dispositifs MEMS (Micro Systmes Electro Mcaniques)
et microlectroniques. En effet dans ces dispositifs,
lintgration croissante de nouveaux matriaux aux
proprits encore mal connues, et la ralisation de
structures multicouches de plus en plus complexes,
soulvent des problmes de conception, de modlisation et
de comprhension des interactions entre matriaux et des
phnomnes physiques de drive des caractristiques. De
plus, il a dj t dmontr, par exemple pour le cuivre
utilis dans les interconnexions mtalliques, que le
comportement des matriaux en films minces diffre de
celui du matriau massif et dpend de la morphologie, de
la taille des grains, relies au procd de dpt.
Linnovation scientifique de ces tudes est centre sur
une caractrisation mcanique et lectrique de matriaux
en films minces, et sur linterprtation des rsultats la
lumire des donnes exprimentales, des diffrentes
analyses microstructurales (XRD, EBSD, TEM... ). Au
niveau exprimental, linnovation repose sur la mise au
point dessais de micro-traction sur films minces
autoportants dpaisseur submicronique usins sur
silicium, mono ou multicouche, aux formes et gomtries
optimises partir de simulations par lments finis.
Ltat de contrainte des films sera dtermin partir de
mesures optiques des dformations de microstructures
mobiles du type poutre bimorphe. Intrt de ce type
dtudes relies la micromcanique des films minces :
1. dun point de vue fondamental :
Ce type dtude contribue la comprhension des
mcanismes
de dformation et rupture des films minces
(mcanismes diffrents de ceux des matriaux
en
volume) ,
de fissuration, et/ou perte dadhrence aux interfaces
(dans le cas de multicouches, ou film mince sur substrat).
2.-dun point de vue technologique :
La connaissance des valeurs de paramtres propres aux
matriaux en couches minces (qui sont fonction de leurs
conditions dobtention), est indispensable pour toute
modlisation du comportement dun dispositif constitu
par un assemblage de couches minces, soumis a des
sollicitations externes (thermiques, mcaniques ou
conjointes).

Citons comme exemples : le module dYoung et le


coefficient de Poisson pour la rponse lastique ; les seuils
de plasticit et rupture comme les limites dendurance
(dans le choix de matriaux et de larchitecture dun
dispositif). Egalement leur tnacit, permet de
dterminer/prvoir leur sensibilit lendommagement
sous les sollicitations mentionnes.
Rappelons galement, que les mthodes actuelles
appliques pour la dtermination de paramtres
mcaniques de films minces, par exemple : la nano
indentation ou le bulge test, sont dpendantes du
coefficient de Poisson. Les essais micromcaniques de
traction que nous voulons raliser, saffranchissent de ce
paramtre, et de ce fait ils permettent de vrifier les
hypothses/valeurs proposes avec les autres techniques.
Des essais pralables raliss avec un dispositif ancien,
nous ont permis de dterminer des paramtres
caractristiques dun comportement mcanique, sous
sollicitation monotone uni axiale. Ceci pour des films
autoportants : de Cu (1 m dpaisseur), des multicouches
Al/Ti (0.7 m paisseur totale), des films de Kapton
(12 m dpaisseur).
A partir de simulations numriques, nous optimisons
actuellement la forme des chantillons autoportants
(collaboration LPM-INSA de Lyon), destins aux essais de
traction monotones ou cycliques, avec la nouvelle platine
de dformation. Signalons que de manire semblable aux
tudes faites antrieurement, nous pouvons prvoir de
nouvelles formes et dimensions dchantillons, permettant
des sollicitations darrachement ou cisaillement. Avec
cette platine, la frquence des sollicitations cycliques
appliques peut atteindre 6900 Hz.
Rsultats
Platine pour essais micronano mcaniques. Allongements
de 5m 100m. Cellule de charge avec prcision 15m
N. Capteur de dplacement laser. Sollicitations cycliques
jusqu 6900 Hz.
Perspectives
Dterminations de comportements rels, fortement
dpendants de la microstructure :
-Observation de mcanismes de dformation, plastification
et rupture.
-Obtention de valeurs raliste pour la modlisation
densembles multi/mono couches.
Publications significatives
M. Ignat, S. Gtin, B. Latella, C. Barb, G. Triani,
Mechanical stability of a TiO2 coating deposited on a
polycarbonate substrate, in Adhesion aspects of thin films,
K. Mittal, VSP, Utrecht & Boston, 167-176, (2006).