Instituto Politcnico Nacional

Unidad Profesional Interdisciplinaria en Ingeniera

y Tecnologas Avanzadas
Tpicos avanzados de sensores
Practica 1: Diseo y simulacin de un
acelermetro de un eje.
Profesora: Abarca Jimnez Griselda Stephany
Integrantes:
-Blanco Corona Eduardo
-Evia Urban Erick Alfredo
-Galindo Fuentes Alejandro
Grupo: 3MM4

Introduccin
El acelermetro es un dispositivo capaz de medir aceleraciones, existen diferentes tipos de
acelermetros en funcin del tipo de tecnologa que utilicen para medir esa magnitud: mecnicos,
piezoelctricos, de condensador, etc.
Para esta prctica se diseara un acelermetro mecnico, en este tipo de acelermetros se sita una masa
dentro de un armazn, la cual est suspendida mediante resortes de manera que pueden tener variaciones
de posicin al aplicarle una fuerza, as que en el sistema se tendrn presentes tanto la ley de Hooke como
la segunda ley de Newton.
La ley de Hooke nos dice que el alargamiento que se presenta en un resorte es directamente proporcional
a la fuerza que se aplica. Esto se expresa mediante la siguiente formula:
F=kx
En donde F es la fuerza aplicada, k es la constante de elasticidad del resorte y x es el desplazamiento
resultante al aplicar la fuerza.
La segunda ley de Newton dice que la aceleracin de un cuerpo es directamente proporcional a la
fuerza neta que acta sobre l e inversamente proporcional a su masa. Su ecuacin es:
F=ma

En donde F es la fuerza aplicada, m es la masa del sistema y a es la aceleracin que se presenta al aplicar
la fuerza.
Con esta informacin se necesita disear un acelermetro que tenga una estructura similar a la siguiente:

Figura 1. Acelermetro propuesto

Desarrollo
Para el diseo se propone usar una masa de forma cuadrada de 300 m por lado, con el espesor dado de
1.75 m.
El volumen de la masa propuesta
V =157500 1018 m3

El volumen del sistema, donde se consideran los resortes

18

V =162600 10

A partir de los datos

=2330

kg
m3
10

m= V =3.77232 10
a=4 g=39.24

kg

m
s2

F=m a
F=k x m a=k x k =

ma
x

x=1 m

k eq =0.014802

N
m

El sistema conforma un arreglo de cuatro resortes en paralelo, los cuatro con la misma k
k eq =k 1+ k 2 +k 3 +k 4=4 k res
k res =

k eq
4

k res =0.003705

Se calcula la k x

N
m

de una estructura Crab Leg, para determinar la cantidad de estructuras conectadas en

serie para encontrar el equivalente de la

k res . Los datos de las longitudes propuestas se obtienen

despus de una serie de iteraciones, buscando que el nmero de estructuras sea un nmero entero.

E=160 109

t=1.75 m

w b=0.9 m

N
m

Mdulo de Young del material (Poli-Si)

Espesor de los brazos del resorte

Ancho de los brazos del resorte

w a=0.9 m

La=261.3 m
Lb=10.2 m

Largo de los brazos del resorte

E t wb
k x=
4 Lb

( )(

k y=

4 Lb + La
L b + La

E t wa
4 La

w
= b
wa

( )(

4 La +Lb
La + Lb

( )

Figura 2. Crab Leg

k x =0.0111187

N
m

k y =53.50642

N
m

Mayor rigidez en el eje y provoca menor deformacin en este, haciendo que el desplazamiento
principal sea en el eje x.

Las estructuras Crab Leg conectadas en serie forman el resorte, la

k res es igual a la inversa de la suma

de las inversas, y considerando que k x es igual en cada uno de los elementos

k res =

kx
N estructuras

N estructuras=

N estructuras =3.004 3

k res
kx

Resultados
En base a los datos obtenidos se procedi a disear el modelo en el software COMSOL para poder
aplicar las pruebas necesarias y saber si cumple con los parmetros esperados.
El resultado final al realizar el modelo en COMSOL fue el siguiente:

Figura 3. Modelo realizado en COMSOL

Desplazamiento en x
Para el desplazamiento en x se obtuvo la siguiente grfica:

Figura 4. Desplazamiento en x al aplicar fuerzas de -4G a 4G

En esta grafica se muestra la relacin entre el desplazamiento con respecto a la fuerza aplicada. La
fuerza va de -4G hasta 4G. El valor de desplazamiento mximo fue 1.0578 tal como se puede ver en la
siguiente grafica para un valor de 4G:

Figura 5. Desplazamiento en x al aplicar una fuerza de 4G

En la figura 5 se puede ver que se cumple la ley de Hooke, ya que la variacin de los valores se
mantiene lineal a lo largo del proceso. Dado que se quera un desplazamiento de 1um el porcentaje de
error con respecto al valor obtenido fue de 5.78%.

Deflexin en z
Se obtuvo la siguiente grfica:

Figura 6. Desplazamiento en z al aplicar fuerzas de -4G a 4G

En este caso tambin se muestra la relacin entre el desplazamiento con respecto a la fuerza aplicada,
como se ve el cambio en el desplazamiento es muy pequeo, alcanzando un valor mximo de 0.0833
um. Esto es debido a que la nica fuerza que afecta a este desplazamiento es la de la gravedad sobre la
masa del propio cuerpo. Con el valor de 0.0833 sabemos que se tiene un 8.33% de deflexin.
Conclusiones
Blanco Corona Eduardo
Evia Urban Erick Alfredo
En la prctica pude darme cuenta de cmo es que se construyen los acelermetros dentro de los sensores
digitales. Comenzando con las restricciones propias del proceso de fabricacin, como lo fue el material,

o las dimensiones mnimas que se pueden fabricar. Otro punto importante que se consider durante el
diseo fue la deformacin sobre el eje X y la deflexin existente en el eje Z, ya que esta es la que va a
influir directamente en el posterior proceso de los capacitores.
Finalmente cabe mencionar que si se desea que este acelermetro funcione sobre slo un eje, hay que
considerar durante el proceso de diseo que la rigidez sobre el eje Y sea mucho mayor. Para todo el
proceso de diseo resulto muy til la herramienta de software COMSOL Multiphysics, ya que con ella
se puede hacer fcilmente un anlisis considerando los diferentes elementos.
Galindo Fuentes David Alejandro
Al finalizar la practica puedo afirmar que los parmetros ms importantes en el diseo de acelermetros
a escala de MEMS, son la rigidez de los elementos de soporte para la masa mvil que se asocia a ciertos
parmetros restrictivos de diseo como el espesor del material, dimensiones minimas e incrementos y, a
su vez el largo y ancho de los soportes que dieron la pauta para calcular el coeficiente de restitucin en
base al tipo de material empleado.
Tambin concluy que es necesario un diseo con gran exactitud en el desplazamiento sobre el eje
deseado donde no influya la sensitividad cruzada de otro eje y minimizar el error de medicin, logrando
esto mediante el clculo de los soportes y empleando una masa acorde al modelo. El software de anlisis
y diseo COMSOL fue eficiente en la simulacin de comportamiento del modelo logrando tener una
tolerancia en el diseo bastante aceptable