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14/06/2013

PROJET DE FIN DETUDES


Anne universitaire 2012-2013

ETUDE DE LINFLUENCE DES PARAMETRES DE


NITRURATION TEXTUREE ASSISTEE PAR PLASMA DIODE PULSEE

Bruno BORGES RAMOS


PROJET N: 74

MEMOIRE DE FIN DETUDES

ENTREPRISE PARTENAIRE

Institut Jean Lamour


Equipe 201, dpartement CP2S
Parc de Saurupt - CS 50840 - F-54011 NANCY Cedex

Ecole Nationale dIngnieurs de Tarbes


47, avenue d'Azereix BP 1629 - 65016 Tarbes CEDEX

RESUMO
A utilizao de reatores diodos pulsados ainda bastante corrente a nivel industrial
para a efetuao de tratamentos termoqumicos, entre eles a nitretao plasma adquiriu o
status de tecnologia atual devido a suas vantagens em termos de tempo e de controle de
processo. Estudos recentes tentam definir as propriedades de superficies texturizadas
atravs de nitretao, ou seja superficies tratadas em um processo duplex, onde obtem-se o
endurecimento superficial acoplado estruturao da superficie. Trataremos ento da
influncia dos parametros de controle utilizados nestes tratamentos presso, tenso e
razo ciclica nos aspectos fisicos das camadas.

ABSTRACT
The use of pulsed diodes reactors stills

current at industrial level for effecting

thermochemical treatments, the plasma nitriding acquired the status of current technology
due to its advantages in terms of time and process control. Recent studies attempt to define
the properties of the textured surfaces by nitriding traitement, that means surfaces treated in
a duplex process, in which is obtained a superficial hardening coupled to the structuring of
the surface. Then, we will treat the influence of the control parameters used in these
treatments pressure, tension and cyclic reason on the physical aspects of the layers.

RESUM
L'utilisation de racteurs diodes pulses est assez courante au niveau industriel pour
effectuer des traitements thermochimiques, y compris la nitruration plasma, ayant acquis le
statut de technologie actuelle en raison de ses avantages en termes de temps et de contrle
de processus. Des tudes rcentes se proposent dexplorer les proprits de surfaces
textures obtenues par nitruration. Il sagit des surfaces traites travers un masque: elles
subissent donc un processus duplex avec le durcissement superficiel coupl une mise en
forme de contrle de motifs. Nous traiterons donc l'influence des paramtres utiliss dans
ces traitements la pression, la tension et le rapport cyclique sur les aspects physiques de
ces couches.

REMERCIEMENTS

Cette tude a t ralise au dpartement de Chimie et Physique des Solides


et des Surfaces (CP2S) lInstitut Jean Lamour. Elle sera valide comme un stage
de fin dtude par lEcole Nationale dIngnieurs de Tarbes (ENIT), cole par laquelle
jai t envoy, dans le cadre du programme BRAFITEC organis par le Conseil
national de dveloppement scientifique et technologique du Brsil (CNPQ), pour
raliser un an dtude en France.
Jexprime ici toute ma gratitude mes encadrants de lquipe ESPRITS,
messieurs Thierry CZERWIEC et Grgory MARCOS, pour leur soutien et intrt
dans cette exprience de formation, et aussi pour leur patience aux moments de
communication et leurs encouragements afin damliorer mon franais. Je suis trs
reconnaissant de leur aide et j'espre avoir combl leurs esprances en tant
qu'apprenti.
Je voudrais remercier mes collgues de travail, Mariana ZANOTTO et Thiago
AMARAL, brsiliens, qui mont rappel, tous les jours, un peu de mon pays et de ma
culture. Mais aussi tous les autres qui ont particip un peu ma formation,
principalement, Aurore ANDRIEUX, qui na jamais hsit maider.
Je tiens galement exprimer ma gratitude monsieur Loc LACROIX, mon
tuteur lENIT, qui m'a accompagn dans les deux semestres dtude que jai fait en
France, et je tiens remercier tous les autres employs de l'ENIT.
Merci, aussi, ceux qui me guident au Brsil, mesdames Ana Maria MALISKA
et Keila Christina KLEINJOHANN, jespre revenir plus capable et enthousiaste au
LCM afin de les remercier de mavoir mis en contact avec monsieur MARCOS.
Pour finir, je suis toujours fier davoir mes amis au Brsil, mes amis en
Europe, le soutien de ma mre, et le soutien de ma copine, une surprise
agradabilssima de Nancy.

SOMMAIRE

INTRODUCTION ........................................................................................... 6

ASPECTS METALLURGIQUES FER-AZOTE ............................................. 7


2.1 DIAGRAMME DE QUASI-EQUILIBRE ET PHASES DINTERET............................... 7
2.1.1

Solution Solide...................................................................................................................... 8

2.1.2

Phase ................................................................................................................................ 9

2.1.3

Phase ................................................................................................................................. 9

2.2 DAUTRES PHASES ................................................................................... 10


3

DES TECHNOLOGIES ASSISTEES PAR PLASMA ................................. 11


3.1 NITRURATION ASSISTEE PAR PLASMA DIODE ............................................... 11
3.1.1

Les systmes pulss ............................................................................................................ 14

3.2 NITRURATION PAR RCE ............................................................................ 15


4

SURFACES TEXTUREES .......................................................................... 16


4.1 PROPRIETES DE MOUILLAGE ..................................................................... 16
4.2 PROPRIETES TRIBOLOGIQUES ................................................................... 18

METHODES ET MATERIEL ....................................................................... 19


5.1 TECHNIQUES DE CARACTERISATION ........................................................... 19
5.1.1

Coupes micrographiques et images optiques .................................................................... 19

5.1.2

Rugosit et structure de surface ........................................................................................ 19

5.1.3

Analyse de angles de mouillabilit ..................................................................................... 20

5.1.4

Spectroscopie dcharge luminescente ............................................................................ 21

5.2 MATERIEL ET ECHANTILLONS .................................................................... 21


5.3 PARAMETRES DE TRAITEMENTS FIXES ........................................................ 23
5.4 VARIABLES DE LETUDE ............................................................................ 25
6

RESULTATS ............................................................................................... 28
6.1 DE LINFLUENCE SUR LA FORMATION DE COUCHES ...................................... 28
6.2 DE LINFLUENCE SUR LA TEXTURATION ...................................................... 34
6.3 ANALYSE DES ANGLES DE MOUILLABILITE .................................................. 37
6.3.1

Mouillabilit des chantillons de acier inoxydable nitrurs et carburs ............................ 37

6.3.2

Mouillabilit des chantillons de fer nitrurs ..................................................................... 42

CONCLUSION ............................................................................................ 44

REFERENCES ............................................................................................ 45

ANNEXE 1 POINTS OBTENUS POUR LA CONSTRUCTION DE LA


COURBE TENSION X PRESSION X RAPPORT CYCLIQUE ................................. 47
ANNEXE 2 ANALYSES SDL ......................................................................... 48

INTRODUCTION

Ce stage a t ralis dans la finalit dtudier des procds de nitruration par


plasma, en mettant un accent plus important sur la texturation par plasma et le
phnomne de pulvrisation rencontr lors des traitements raliss par dcharge
diode. Ce stage est une collaboration entre lquipe ESPRITS de lInstitut Jean
Lamour et le Laboratrio de Caracterizao Microestrutural, LCM, laboratoire de
lUFSC, universit dans laquelle jtudie. Tous les deux travaillent sur les
technologies assistes par plasma.
Des tudes antrieures ralises par ces laboratoires nous ont motiv
comprendre linfluence des paramtres de contrle de processus de nitruration
texture dun racteur du type diode pulse, qui est largement utilis pour des
traitements thermochimiques de limplantation ionique au niveau industriel pour avoir
une simplicit et une robustesse allies une cintique de traitement trs importante
en comparaison aux autres mthodes en tat liquide ou gazeux.

ASPECTS METALLURGIQUES FER-AZOTE

La nitruration consiste en linsertion datomes dazote sur des substrats


mtalliques; sa comprhension passe par celle des aspects mtallurgiques entre le
fer et lazote. Lazote, atome de taille proche du carbone, peut donner aux alliages de
fer les possibilits de durcir le fer avec les mmes mcanismes de durcissement :
solution solide, prcipitation des phases cramiques et transformations mtastables
d au caractre gammagenique.
La solubilit de lazote temprature ambiante est trs limite, environ 0,1%
massique, mais elle est encore plus grande que celle du carbone, 0,02%
massique. Cependant, contrairement au carbone, son utilisation pour faire des
alliages est limite cause de sa faible solubilit dans le fer liquide. Ceci empche
limplantation dazote en tat liquide; en comparaison le carbone permet la confection
dalliages prts.
De nouvelles mthodes pour augmenter la concentration dazote reposent sur
deux principes: agir sur la composition chimique en ajoutant dautres mtaux qui ont
plus daffinit avec lazote en tat liquide; changer le processus dlaboration de la
pice [1].
Les processus ltat liquide sont encore difficiles et chers lheure actuelle,
et laddition dlments dalliage forte concentration est galement coteuse. Au vu
de ces influences, laddition dazote et son tude dans les alliages de fer est encore
plus intressante pour les traitements thermochimiques travers lenrichissement de
la surface dobjets prts.

2.1

Diagramme de quasi-quilibre et phases dintrt

Le diagramme de phases Fe-N ncessite quelques commentaires, parce quil


ny a pas dquilibre pour une atmosphre standard. Il est en fait obtenu par la
nitruration gazeuse; donc, par une atmosphre de NH3+H2, dans un tat dquilibre
atmosphre standard, il est possible de dire que lazote combin dans le fer va se
dcomposer en azote gazeux, condition que le temps soit suffisant. Par contre
aucune tude na t effectue sur la cintique de cette dcomposition [2].
7

[2]

Figure 2.1 - Diagramme de phase du systme Fe-N .

2.1.1 Solution Solide

Dans un premier temps lenrichissement dazote de la surface va remplir les


vacances interstitielles du fer . A 570C le teneur dazote est de 0,08% en poids,
une telle solution solide permet une mise en prcontrainte de la surface.
Une trempe aprs la nitruration peut rsulter dans la formation de zones de
Guinier-Preston ou la prcipitation dune phase mtastable en cohrence avec le
rseau cristallin de la ferrite; par contre, le durcissement de cette solution nest pas
suffisant pour tre exploit [3].

2.1.2 Phase

Le nitrure - Fe4N est stable pour des tempratures inferieures 680C, il


comporte entre 5,5 5,9% dazote en poids et prsente une structure cubique avec
un azote situ au centre de la maille cubique faces centres constitue pour le fer.
Avec une duret leve et un faible coefficient de frottement il assure des
applications de la nitruration dans les champs de frottement et usure; par contre, le
gain de rsistance la fatigue et le gain de rsistance la corrosion dans les aciers
ferritiques ne peuvent pas tre ngligs.

Figure 2.2 - Structure du nitrure - Fe4N et Fe2N1-x

[4]

2.1.3 Phase

partir de 7,35% dazote en poids, il y a formation de la phase Fe2N1-x,


compose dune structure hexagonale avec des atomes dazote aux sites
octadriques; ce nitrure prsente un coefficient de frottement encore meilleur que .
Aprs 10% dazote le nitrure devient instable et prsente des couches plus
fragiles, ces problmes sont rsolus avec ladition de carbone sous forme
dhydrocarbures dans latmosphre nitrurante: dans ce cas, le carbone partage
loccupation des sites octadriques et augmente la tnacit de la couche et la
stabilit du nitro-carbure obtenu.
9

2.2

Dautres phases

Laddition dlments dalliage peut intervenir dans la formation des phases


fer-azote. Les lments comme le titane, le vanadium, le chrome et le molybdne
forment des nitrures trs stables. Leur prcipitation peut causer lappauvrissement de
la matrice, ainsi les traitements des alliages riches de ces lments ncessitent des
conditions bien maitrises pour viter la perte de proprits intrinsques au matriau
trait.

10

DES TECHNOLOGIES ASSISTEES PAR PLASMA

Le terme plasma dfinit un gaz totalement ou partiellement ionis. Il existe de


nombreuses configurations pour crer un plasma, depuis les racteurs sous vide
jusquaux systmes travaillant pression atmosphrique.
Le niveau dionisation du gaz est une caractristique importante du plasma,
les plasmas qui ont une mme quantit dlectrons, ions et espces neutres sont
appels plasma chauds, car les vitesses vibrationnelle et transactionnelle sont
leves.

Toutefois, il est possible davoir des plasmas avec un pourcentage dions et


dlectrons peu importants quand il est compar la quantit totale de molcules,
ces plasmas dits froids ont chaque espce une diffrente temprature (vitesse
vibrationnelle), mais cause de la grande population despces neutres la
temprature vue est trs basse [5].

3.1

Nitruration assiste par plasma diode

La nitruration en plasma diode consiste en lapplication dune diffrence de


potentiel (ddp) entre une cathode et une anode. Quand cette ddp est suffisante pour
gnrer de nombreux lectrons au gaz qui spare les diodes, le rgime de plasma
est tabli.
Un racteur diode a une configuration relativement simple comme cela est
montr la figure 3.1; il est considr comme tant un dispositif robuste, de faible
cot de confection et de maintenance

[6]

. Son fonctionnement se pratique en vide

primaire (pompe palettes).

11

Figure 3.1 Disposition dun dispositif de nitruration par dcharge luminescente anormale.

Pour les traitements de nitruration le rgime de dcharge luminescente


anormale est utilis, car il sagit dune dcharge qui couvre totalement la cathode
permettant un chauffage homogne, et par consquent un traitement uniforme.
Larchitecture gnrale est complexe. On distingue plusieurs zones de
luminosit diffrente:
lespace sombre dAston (ESA) dont lpaisseur est trs faible, la lueur
cathodique (LC) fortement lumineuse localise contre la cathode et lespace sombre
cathodique (ESC), peu lumineux, recouvrant la lueur cathodique, forment lespace
cathodique;
la lueur ngative (LN) trs lumineuse qui forme une limite trs nette avec
lespace sombre cathodique. Cette rgion est de couleur bleue dans le cas de
lazote;
lespace sombre de Faraday (ESF) plus large que la lueur ngative. La
luminosit y est trs faible;

12

la colonne positive (CP) constitue le plasma de la dcharge et stend


pratiquement jusqu lanode. Elle est rouge dans le cas de lazote. Sa limite avec
lespace prcdent est trs floue;
les espaces anodiques dont lpaisseur totale est trs faible.

[5]

Figure 3.2 - Structure dune dcharge luminescente anormale .

La chute de potentiel se concentre essentiellement le long de lespace


cathodique, par consquence le champ lectrique est galement plus intense dans
cette rgion. Aussi appele gaine cathodique, la longueur de cette rgion est donne
par lquation :
.

= 0,42

(1)

O p est la pression dans lenceinte, avec une cathode de fer et une


atmosphre dazote, et d la longueur de la gaine cathodique.
A la fin de la gaine cathodique les lectrons primaires qui ont t acclrs en
direction de lanode entrent en collision avec les molcules gazeuses, ces collisions
vont causer des transferts dnergie entre les particules, nous pouvons observer
diffrents types de transferts, qui sont, de manire rsume [7]:

Transferts de quantit de mouvement qui sont ngligeables cause de


la faible masse des lectrons ;

Transferts dnergie cintique-cintique aussi ngligeables;

13

Transferts dnergie cintique en nergie potentielle qui vont causer


lionisation ou excitation des molcules gazeuses. Ces excitations
peuvent tre de caractre vibrationnel, rotationnel, lectronique.

Ces espces vont bombarder la cathode causant limplantation des ions,


lmission des lectrons secondaires, la pulvrisation et divers transferts dnergie
entre molcules, comme il est expliqu dans la figure 3.3.

[5]

Figure 3.3 Schma simplifi des interactions entre lectrons, cathode et gaz .

3.1.1 Les systmes pulss

Les gnrateurs courant puls constituent la clef technologique des


procds de nitruration par dcharge diode pour offrir les avantages suivants [8,9]:

14

Une meilleure stabilit de la dcharge en vitant le passage accidentel


au rgime darc, qui cause une surchauffe localise pouvant
endommager la cathode ;

Permettre de changer la temprature de traitement par ajustement du


rapport cyclique (Figure 3.1) sans trop modifier les caractristiques du
fluide plasmatique ;

Permettre une meilleure pntration de la dcharge dans les alsages


de la cathode.

Ils sont capables de dlivrer des courants dont la frquence varie entre 50 et
30000 Hz et dont le rapport cyclique varie de 0,1 0,95.

3.2

Nitruration par RCE

Dans les dernires annes lintrt pour les technologies assistes par plasma
par basse pression a augment, car une atmosphre basse pression permet la
ralisation

de

dpts

squencs.

Ces

traitements

de

surface

squencs

correspondent la dposition de couches de diffrentes natures chimiques dans une


seule enceinte. Les systmes rsonance cyclotron lectronique (RCE) sont bass
sur le couplage de micro-ondes (gnralement 2,45 GHz) et dun champ
magntique qui satisfait localement la condition de rsonance des lectrons. Ils ont
comme caractristiques principales [10] :

Un plasma trs ractif cause de la haute densit et la temprature


vibrationnelle importante des lectrons;

Une bonne homognit du plasma pour de grandes surfaces;

Moins de contamination et une pulvrisation passible dtre contrle.

15

10]

Figure 3.4 Schma dun racteur RCE[ .

Surfaces textures

La structuration ou texturation de surface, lchelle micromtrique ou


nanomtrique, consiste modifier la topographie dune surface gnralement plane
afin de crer des motifs de gomtries diverses suivant les applications ou
fonctionnalits vises. Fortement dveloppe dans lindustrie de la microlectronique
qui utilise notamment la photolithographie UV (Ultra-Violet) couple des procds
de gravure par plasma, cette activit de recherche est en pleine expansion
puisquelle intresse des domaines trs varis comme le mouillage, ladhsion,
lauto-nettoyage, le stockage magntique, les performances tribologiques, les
biotechnologies, etc [11,12].

4.1

Proprits de mouillage

Une des proprits de surface qui peut avoir une grande importance dans le
rle de texturation est la mouillabilit. Cette proprit dsigne le comportement dun
16

liquide sur un solide, ses tendances avoir une affinit avec une surface de
composition diffrente, ou non. Son tude peut aider dans diffrents domaines,
comme celui de ladhsion, de la lubrification et du transport capillaire.
La mthode danalyse utilise une goutte de liquide qui est dpose sur une
surface solide. Celle-ci peut, en situations de limite, staler compltement - sur la
surface - en formant une couche fine, ou rester parfaitement sphrique. Dans la
premire situation, il sagit dun cas de mouillage total, alors que dans la deuxime, le
mouillage est nul.
Entre ces extrmes, la goutte formera une calotte sphrique avec un angle de
raccordement entre la surface du solide et la tangente la surface du liquide plus au
moins intense. Cet angle est appel angle de contact ou angle de Young.

Figure 4.1 Niveaux de mouillabilit

[13]

Au sein dun matriau (liquide ou solide), la cohsion est assure par les
forces dinteraction attractive entre les atomes. A la surface du matriau, la moiti de
ces interactions cohsives est perdue, ce qui est nergtiquement dfavorable. Si
lon veut crer une surface, il faut fournir une certaine quantit dnergie appele
nergie de surface. Exprime par unit de surface, elle porte le nom de tension
superficielle ou tension interfaciale.
On utilise la notation AB pour la tension interfaciale entre deux phases A et B
non miscibles : LV, SL et SV dsignent ainsi les tensions interfaciales liquide/vapeur,
solide/liquide et solide/vapeur [13].
17

Lquation de Young traduit la condition dquilibre des tensions interfaciales


au point de triple contact:
LV cos = SV SL

(2)

Langle de Young est un angle thorique calcul dans le cas dune surface
idale, indformable, parfaitement lisse et homogne chimiquement place dans des
conditions dquilibre thermodynamique.
Langle de contact sur une surface relle est appel angle de contact
apparent. Sur une surface rugueuse mais homogne, cest langle de Wenzel qui
traduit en termes dangle de Young la relation entre tensions interfaciales:
cos = cos
O est langle de Young et

R est

(3)

le facteur de rugosit (rapport de la surface

relle sur la surface apparente). Donc, quand la rugosit augmente, elle doit toujours
augmenter la caractristique de la surface, soit hydrophile, soit hydrophobe [14].
Pour des htrognits chimiques lquation de Cassie fait une pondration
par fraction de surface.
cos ! = cos # + (1 ) cos )

(4)

Leffet de poche dair sera nglig dans cette tude, pour ntre pas toujours
observ; en fait, sa comprhension passe par des conditions de contour de
traitement difficile [15, 16, 17,18].

4.2

Proprits tribologiques

Diverses tudes ont t faites pour analyser linfluence de la texturation dans


la performance tribologique en rgime de lubrification et de contacts secs.
Pour les surfaces nitrures la texturation a dj montr quelle pouvait induire
le rgime de lubrification hydrodynamique, un tel rgime est envisag pour avoir
moins de contact entre les deux surfaces frottes. Il a galement t observ que les
motifs de la surface structure peuvent servir comme rservoirs de lubrifiant et de
dbris pendant les cycles de frottement [19, 20, 21].

18

5.1

METHODES ET MATERIEL

Techniques de caractrisation

Les caractrisations des chantillons aprs les traitements thermochimiques


sont ralises sous forme : dobservations sur des coupes transversales par
microscopie optique, de profilomtries 3D et 2D, de diffraction des rayons X,
danalyse dangle de mouillabilit, de mesures superficielles et de profils de micro
duret Vickers et spectromtrie dcharge luminescente (SDL).

5.1.1 Coupes micrographiques et images optiques

Pour mesurer lpaisseur des couches il est ncessaire de faire une coupe en
sens transverse la surface. Les chantillons sont coups la micro trononneuse
puis enrobs chaud avec une rsine phnolique de haute duret et sont ensuite
polis miroir, jusqu une granulomtrie de 1m. Pour rvler la microstructure, une
attaque chimique au moyen dune solution de Nital est pratique.
Les images sont obtenues grce un microscope optique de marque
Olympus laide dun logiciel danalyse dimage.

5.1.2 Rugosit et structure de surface

Ltat de surface des chantillons sera analys par un profilomtre de contact


qui permet dobtenir des rsultats de topographie en 2D et 3D. Lanalyse des profils
travers du logiciel Mountains Map permet le calcul de plusieurs paramtres de
rugosit et de la mesure de la hauteur de marche entre les motifs crs. Le filtrage
utilis des donnes a comme objectif denlever la courbure et londulation des
surfaces obtenues.

19

[8]

Figure 5.1 Schma de lquipement de mesure de topographie de surfaces .

5.1.3 Analyse de angles de mouillabilit

Les mesures dangle de contact ont t faites avec un quipement Digidrop. Il


permet de dposer de faon contrle une goutte sur un substrat, dune camra et
dun logiciel dacquisition permettant lanalyse simultane du contact de la goutte
avec la surface.
Avec une goutte de volume de 20.2 l qui est dpose avec le minimum
dinfluence des forces externes, et une priode dacquisition denviron 13 secondes
et 20 photos de prises par seconde, nous pouvons observer lvolution de
lcoulement de la goutte dpose.

Figure 5.2 Schma de lquipement de mesure dangles de contact.

20

5.1.4 Spectroscopie dcharge luminescente

Cette technique permet lanalyse de profils de concentration chimique dun


chantillon travers le spectre optique mis par ce dernier.
Lchantillon analyser est plac sur lanode dune lampe de Grimm dans
laquelle est inject de largon sous une pression comprise entre 500 et 1500 Pa.
Lchantillon joue le rle de cathode du systme, il est reli un gnrateur RF.
Lapplication dune tension comprise entre 500V et 1500V entre lanode et la cathode
gnre la formation dun plasma dargon. Les ions Ar+ crs sont attirs vers la
cathode, donc vers lchantillon. Ce flux dions produit la pulvrisation de la surface
de lchantillon. Les lments chimiques jects entrent dans le plasma o ils
subissent des collisions inlastiques, ils passent donc sur des tats dnergie excits.
Lmission de photons causs par la dsexcitation radiative de ces atomes
donne un spectre discret qui est analys par lquipement optique de lappareil,
compos dun polychromateur et dun monochromateur. Des talonnages permettent
de quantifier les lments prsents.

[8]

Figure 5.3 Schma du systme de SDL .

5.2

Matriel et chantillons

Pour choisir le porte-chantillon et le type dchantillon utiliser pour ltude


des paramtres de nitruration dacier ferritique, nous devons considrer quelques
limitations qui proviennent des essais de caractrisation, comme :

21

Pour lanalyse par diffraction des rayons x, la hauteur maximale des


chantillons doit tre de 5 mm.

Pour les essais de tribologie et de mouillabilit, nous avons besoin


dune surface tendue et homogne, car une diffrence de duret ou
de stchiomtrie pourrait augmenter la dispersion des donnes.

Des chantillons compatibles avec le support dessai de spectromtrie


de dcharge luminescente qui exige un diamtre minimum de 15mm.

Un nombre minimum dlments chimiques dans les chantillons, pour


avoir un taux de pulvrisation plus facile interprter et navoir pas de
problmes avec la formation des diffrents composs.

Une cintique et une nature de composs partiellement connues.

Nous avons galement la problmatique de la fixation du dispositif de


texturation qui doit tre bien maintenu en contact avec la surface de lchantillon et
immobile pendant le procd.
Avec ces limitations, nous avons choisi comme matriau du fer pur (fer
ARMCO dont la composition est donne dans le tableau 5.1). Ceci nous permet
davoir une couche nitrure facile analyser. Les chantillons auront la forme dun
disque de 25 mm de diamtre et de 4 mm dpaisseur.

C
0,010

Mn
0,060

P
0,005

Si
0,003

Cu
0,030

Tableau 5.1. Composition du fer ARMCO en % massique.

Le couvercle du porte-chantillon, que nous avons projet et fabriqu dans


latelier mcanique de linstitut, est compos dun trou de 23 mm de diamtre, nous
permet davoir une surface de 20 mm de diamtre homogne. Une vis dans la partie
inferieure permet lajustement entre lchantillon, le pochoir et le systme de
couverture (Figure 5.4).

22

Figure 5.4 Porte-chantillon et chantillon.

Les pochoirs que nous avons utiliss sont base de nickel, manufacturs par
la socit DB Products, sont mis en forme par laser avec le mme diamtre que les
chantillons (Figure 5.5).

Figure 5.5 Image dun pochoir et dtails de sa gomtrie, les lignes (blanches) font 100 m
de largeur et les trous (gris) 200 m.

5.3

Paramtres de traitements fixs

La temprature des traitements sera, dans toutes les conditions, fixe 540C
de faon conserver un coefficient de diffusion dazote constant.
23

A partir dun dbitmtre total de 300 sccm, latmosphre sera constitue de


80% de N2 et 20% de H2, donc avec un dbitmtre de 240 sccm de N2 et 60 sccm de
H2. Des tudes antrieures ont montr que, pour des atmosphres avec une teneur
en hydrogne entre 0 et 20%, lefficacit du traitement augmente, car les collisions
entre lhydrogne et lazote entranent une augmentation de la densit totale dazote
excit.
La frquence

du

courant puls et

le temps

de prtraitement

de

nettoyage/dcapage de la surface et de traitement de la surface sont aussi fixs pour


les diffrentes conditions utilises, qui sont :

30 minutes de nettoyage/dcapage dans une atmosphre de H2 avec


un rapport cyclique de 0,8 ;

4 heures de nitruration ;

Refroidissement jusqu' 400C dans un plasma avec une tension plus


faible que 400V ;

Refroidissement jusqu 100C avec un flux H2+N2.

Figure 5.6 Courbe typique dun traitement realis.

24

5.4

Variables de ltude

Diffrentes tudes de structuration par plasma ont prsent une formation des
motifs difficiles expliquer : parfois, avec les mmes tensions, nous pouvons obtenir
des reliefs ngatifs ou positifs (Figure 5.7) dans les parties qui ne sont pas exposes
au plasma pendant le traitement de structuration de la surface (par exemple avec un
pochoir, une grille ou un tissu).
La cintique de formation de ces reliefs est fondamentalement lie la
comptition entre deux phnomnes qui ont lieu sur la surface expose : la formation
de nitrures et la pulvrisation des lments prsents en surface.
Dans le cas de la nitruration avec un racteur sans une autre source de
contrle de la temprature que le plasma, les paramtres de tension, pression et
temps dapplication de la tension ngative (ton) sont les paramtres de contrle. Pour
obtenir une mme temprature, nous pouvons avoir diffrentes combinaisons de ces
paramtres. Nanmoins, le comportement du plasma et la contribution de ces
paramtres sur les cintiques de pulvrisation et de nitruration ne sont pas encore
trs bien compris.

(a)

25

(b)
Figure 5.7 Reliefs diffrents pour des tensions proches, (a) relief positif, (b) relief ngatif.

Nous pouvons commencer une rflexion partir dun modle simple qui a t
dvelopp par Sigmund

[5]

, ce modle fait une corrlation du taux de pulvrisation en

fonction de lnergie des ions pour une dcharge luminescente.

*(+) =

, .12 10 4
./0 (123 10 ) 56

(5)

Il considre les masses des atomes impliqus dans les collisions, m1 et m2,
lnergie de liaison du matriau pulvris, V0, un coefficient adimensionnel
dpendant du rapport entre m1 et m2, et finalement lnergie cintique des espces
pulvrisantes.
Mme avec une seule variable dans lquation, linterprtation de linfluence
des paramtres est difficile car lnergie des ions et tous les tats dexcitation ne sont
pas seulement donns par la tension applique sur la diode, mais dpendent
galement de la quantit des collisions quune espce peut avoir avant des collisions
contre la cathode. Donc, la quantit de mouvement que les espces peuvent avoir
dpendra de la tension ngative dans la diode, de la pression de la chambre, et de la
largeur de la gaine, qui changera lacclration gnre par le champ lectrique. Une
quation comme la (6) peut exemplifier qualitativement le phnomne, mais
physiquement elle doit tre une courbe de distribution dnergie.

+ = 7(

5
8.9

(6)

26

A partir de ces observations structurations avec des motifs positifs et


ngatifs, faible comprhension de la distribution dnergie cintique des ions au
niveau de la surface de la cathode et aussi conditions exprimentales disponibles
au IJL, nous sommes motivs comprendre mieux les effets de la variation de ces
paramtres.
Pour avoir une notion des caractristiques de notre racteur et aussi pour
chercher des conditions qui sont stables et intressantes pour ltude nous avons
commenc par la construction dune courbe corrlationnelle entre la pression, la
tension et le rapport cyclique (Rc) (Figure 5.8).
Les conditions que nous avons prises pour les premiers essais sont
prsentes dans le tableau 5.2.

Figure 5.8 Graphique : Tension x Pression x Rapport Cyclique.

Temprature (C)

Tension (V) Pression (mbar)

Rapport Cyclique

Code

540
540
540
540

523
580
640
740

4
4
4
4

0,95
0,8
0,65
0,5

[530-4-0,95]
[580-4-0,80]
[640-4-0,65]
[740-4-0,50]

540
540
540
540

635
685
725
815

3
3
3
3

0,95
0,8
0,65
0,5

[635-3-0,95]
[685-3-0,80]
[725-3-0,65]
[815-3-0,50]

Tableau 5.2 Conditions de traitement choisies.

27

6.1

RESULTATS

De linfluence sur la formation de couches

Dans un premier temps nous avons analys les proprits des chantillons
seulement nitrurs pour prendre en considration les diffrences de microstructure
entre les diffrentes conditions. Pour les mesures dpaisseur de la couche des
composs lanalyse chimique par SDL sest montre la plus efficace car elle permet
de voir les changements de stchiomtrie. Avec le microscope optique la couche de
composs se prsente continue pour les couches minces; de plus la prparation
mtallographique peut endommager les couches; nous avons donc des limitations
avec cette technique.
Par contre la couche de diffusion, o se trouvent des prcipits de Fe4N en
forme daiguilles, est difficile caractriser avec le SDL : le signal de lazote est faible
en comparaison toute la matrice de fer pur. Dj laide de la microscopie,
lattaque chimique rvle facilement de contour des prcipits.
Le tableau 6.1 montre les valeurs dpaisseur des couches, lAnnexe 2 montre
les exemples danalyse de SDL pour chaque condition.

[635-3-0,95]
[685-3-0,80]
[725-3-0,65]
[815-3-0,50]
[530-4-0,95]
[580-4-0,80]
[640-4-0,65]
[740-4-0,50]

Couche
Epaisseur Teneur
(m)
(% At)
1,3
28
1,1
28
0,4
25
1
26
-

Couche
Epaisseur Teneur
(m)
(% At)
4,7
20
4
20
5,6
20
4,3
20
5
20
4,5
20
4,9
20

4,2

20

SDL

Couche de Diffusion
Epaisseur Teneur HV 0,5
(m)
(% At)
685
497,0
630
366,7
635
395,7
620
Prcipits 352,0
Fe4N
600
398,0
570
293,7
550
295,0
293,8

465
M.O.

Tableau 6.1 Configuration des couches pour chaque condition de traitement


thermochimique.

28

Nous pouvons voir clairement dans le tableau 6.1 que, pour toutes les
conditions une pression de 3 mbar, une couche de nitrure a t forme. Cette
observation est assure grce lanalyse de rayons X (Figure 6.2) : apparemment
une pression plus faible fournit une teneur dazote libre dans la surface plus
importante ; le rapport cyclique et la tension applique nont pas dinfluence sur la

Atome %

nature des composs forms.

100

Fe

80

60

40

20

0
0

10

15

20

25

30

35

poids %

(a)
N

100

Fe

80

60

40

20

0
0

10

15

20

25

30

35

(b)

Figure 6.1 Profil chimique obtenu par SDL dun chantillon [635-3-0,95], en pourcentage
atomique (a), pourcentage en poids (b). Nous pouvons observer deux compositions chimiques
diffrentes, la premire avec 9% en poids et la deuxime avec 5,5% en poids.

29

Figure 6.2 Rayons X pour une rfrence, et pour des chantillons un rapport cyclique de
0.95.

30

Figure 6.3 Aspects dtaills de la couche forme ; (a) couche de composs, (b) prcipits
de Fe4N, (c) noyaux de nitrures et (d) matrice de fer pur.

31

Les mesures de duret superficielle (Tableau 6.1) montrent que le nitrure


augmente encore plus la duret par rapport au nitrure , fait dj connu, mais la
dcroissance de duret en fonction de la diminution de rapport cyclique ne peut pas
tre interprt de faon simpliste car les couches sont tellement minces pour ce
temps de traitement que la mesure superficielle prend en compte la duret relle de
toute les phases prsentes, cest--dire, la duret des nitrures , et de la couche de
diffusion, qui influent dans la mesure.
Nous pouvons observer encore une diminution de profondeur des couches
pour les rapports cyclique plus faibles ; cette diminution est due au temps total
dallumage du plasma. Quand le rapport cyclique dcroit, le temps total dnergie
fournie par la source de tension dcroit aussi. Pour observer lefficience de la
nitruration par rapport au Rc nous utiliserons lquation 7, o d est la profondeur
totale de la couche de diffusion.

:=

(7)

;<

Efficience de traitement
1200
1000

Efficience

800
3 mbar
600

4 mbar

400
200
0
0,5

0,6

0,7

0,8

0,9

Rc

Figure 6.4 Courbes defficience pour les diffrentes pressions.

Les courbes prsentent apparemment une diminution defficience, mais


lnergie applique est aussi lie la tension, donc :
32

:=

Tension
635
685
725
815
530
580
640
740

[635-3-0,95]
[685-3-0,80]
[725-3-0,65]
[815-3-0,50]
[530-4-0,95]
[580-4-0,80]
[640-4-0,65]
[740-4-0,50]

(8)

;< .=

Rc
0,95
0,8
0,65
0,5
0,95
0,8
0,65
0,5

T * Rc
635
582,25
507,5
448,25
530
493
448
407

:
1,08
1,08
1,25
1,38
1,13
1,16
1,23
1,14

Tableau 6.2 Valeurs obtenues par lquation 8.

Efficience de traitement
1,6
1,4
Efficience

1,2
1

3 mbar

0,8

4 mbar

0,6
0,4
0,2
0
400

450

500

550

600

650

Rc . Tension

Figure 6.5 Courbes defficience corrige par la tension pour les diffrentes pressions.

La relation entre Rc et Tension donne lnergie par unit de cycle, qui est
diffrente de lnergie des ions. La Figure 6.5 montre que, pour les coefficients trs
levs, la nitruration est moins efficace et tend se stabiliser. La Figure ne permet
pas de prciser si, pour des valeurs plus petites, il y a un maximum ou une simple
augmentation de lefficience.

33

6.2

De linfluence sur la texturation

Pour la texturation nous avons pris quatre conditions, ces sont les conditions
maximum et minimum des paramtres, car notre but est de montrer quil est possible
de crer des motifs inverses.
Les mesures de duret superficielle pour les diffrentes rgions de la surface
sont prsentes dans le tableau 6.3 :

Text[530-4-0,95]
Text[635-3-0,95]
Text[815-3-0,50]
Text[740-4-0,50]
Rfrence
Rfrence [S.Sol]

HV 0,5
Couvert
Expos
222,7
275,0
257,0
349,3
239,0
366,0
296,0
345,0
113,5
234,5

Tableau 6.3 Valeurs de durets superficielles.

La duret des parties couvertes est lgrement plus importante que celle
dune surface nitrure compose seulement par une solution solide avec des
prcipits de . Cest--dire, un chantillon nitrur o la couche de composs a t
enleve par polissage afin davoir la duret de la matrice de fer avec des nitrures
prcipits.
Cette duret plus importante a montr que, mme dans la surface couverte,
un peu de couche des composs sest forme pendant le procd; telle formation de
couche nentraine pas un problme dans cette tude, mais changerait certainement
les proprits de surface. Elle peut tre cause soit par le mauvais ajustement entre
le pochoir et la surface, soit par le fait que la zone qui nest pas couverte est le
double de la zone couverte. Des micrographies ont montr galement que la couche
pour tous les chantillons semblait continue.

34

(a) (b)

(c) (d)

Figure 6.7 Observation mtallographique de la coupe transversale des chantillons texturs,


(a) Text[530-4-0,95], (b) Text[635-3-0,95], (c) Text[815-3-0,50] et (d) Text[740-4-0,50].

La profondeur des couches de diffusion est similaire aux traitements sans


texturation par rapport des traitements texturs mme si la zone superficielle
expose au plasma est plus petite.
Les images optiques des surfaces (Figure 6.8) montrent que pour des
conditions de tension plus importante, donc, pour des rapports cycliques plus faibles,
les surfaces sont plus fonces pour les deux pressions, et les joints de grains plus
rvls.
Nous savons que, dans le microscope optique, la rugosit augmente la
dispersion de la lumire. Cette connaissance nous permet de supposer que les
conditions qui ont donn des images plus fonces, sont celles qui ont reu un apport
despces pulvrisantes plus intense. Cependant telle supposition sera confirme
grce lanalyse de topographie.

35

(a) Text[530-4-0,95], (b) Text[635-3-0,95]

(c) Text[815-3-0,50], (d) Text[740-4-0,50]

Figure 6.8 Observation mtallographique de la surface des chantillons texturs, (a)


Text[530-4-0,95], (b) Text[635-3-0,95], (c) Text[815-3-0,50] et (d) Text[740-4-0,50].

36

6.3

Analyse des angles de mouillabilit

Les analyses de mouillabilit ont t faites avec les chantillons de fer pur et
aussi certains chantillons dacier inoxydable ; cette partie dtude t stimule
cause de la faible quantit dtudes de cette proprit pour les aciers nitrurs.
Les mesures ont donn des courbes semblables celles montres dans la
figure 6.9. Les valeurs des angles correspondent la moyenne entre les mesures de
deux gouttes dposes partir du moment o langle de contact passe un rgime
constant.

86
Angle de Contact( )

84
82
80
78
76
74
72
0

10

12

Temps(s)

Figure 6.9 Courbes dangle de contact en fonction du temps pour un mme chantillon, la
valeur moyenne pour ce cas a t calcule partir de 3 secondes.

6.3.1 Mouillabilit des chantillons de acier inoxydable nitrurs et


carburs
Nous avons tout dabord tudi des chantillons en acier inoxydable 316L
ayant t nitrurs et carburs dans le cadre de la thse de A. Andrieux. Ces
traitements ont t faits sur un racteur du type ECR. Les rsultats obtenus sont
prsents dans le tableau 6.4. Tous les chantillons ont t polis (pte diamante 1
micromtre) avant les traitements. On constate que le traitement pralable aux
traitements thermochimiques proprement dits (appel dcapage), dans un plasma
contenant un mlange 50% Ar-50% H2 pendant une demi-heure est sans effet sur la
mouillabilit de la surface. Aux erreurs de mesure prs, on trouve en effet le mme
37

angle de contact apparent sur un substrat non trait et sur un substrat ayant subi le
traitement de dcapage. Ceci peut probablement sexpliquer par le rle prpondrant
du film passif doxyde de chrome qui se forme la surface de lacier inoxydable
quand ce dernier est lair libre. Le traitement de dcapage permet de supprimer
sous vide loxyde de chrome, mais ce film se reforme lorsque lchantillon est remis
lair.

Traitement
Ref
c20
L505
L103
RN10030
RN1001
L105
C1g
L205
C1t
L206

Non Trait et poli


Dcapage H2/Ar
Nitrur
Nitrur
Nitrur et Textur
Nitrur et Textur
Nitrur et Textur
Carbur
Carbur
Carbur et textur
Carbur et textur

Temps de
traitement (h)
0
0,5
1
3
0,5
1
3
1
4
1
4

Angle ( )
67
70
104
101
76
87,7
75,6
87,6
87
76
90

Tableau 6 .4- Rsultats des tests de mouillabilit sur des chantillons en acier inoxydable
nitrurs et carburs.

Dans le cas des aciers inoxydables nitrurs, on observe une augmentation


importante de langle de contact apparent. En effet, celui-ci passe de 70 pour une
surface polie non traite 100-105 pour des chantillons nitrurs. Le temps de
traitement ne semble pas avoir dinfluence sur langle de contact apparent car celui-ci
est identique pour les deux traitements de nitruration des temps diffrents. La
figure 6.11 montre les profils de diffusion de lazote dans lacier inoxydable pour les
deux temps de nitruration considrs.
La concentration superficielle en azote est trs diffrente (< 20 at% pour 1 h.
de nitruration et de lordre de 30 at% pour 3h de nitruration). On peut donc en
conclure que, au-del de 20 at%, la concentration superficielle en azote ne semble
pas tre le paramtre qui contrle la mouillabilit de la surface.

38

110
105

Angle Young( )

100
95
90
85

Nitrur

80

Nitrur et Textur

75

Eq. Cassie

70
65
60
0

Temps de traitement (h)

Figure 6.10 Evolution de langle de contact avec le temps de traitement pour des
chantillons en acier inoxydable 316L nitrurs avec et sans texturation de surface.

Un autre paramtre pouvant influencer la mouillabilit est la rugosit de


surface. Il est maintenant bien tabli que la rugosit de surface augmente avec le
temps lors de traitements de nitruration. La figure 6.12 montre lvolution de
diffrents paramtres de rugosit en fonction de la racine carre du temps de
traitement pour des chantillons en acier inoxydable 316L nitrurs 420C dans un
mlange 90%N2-10%H2 300 Pa en plasma diode. Ces donnes, tires des
travaux de thse de T. Thiriet, montrent que la valeur maximale du Ra est de 0,2 m
aprs 8 h. de nitruration (0,015 pour la surface polie initiale). Cette rugosit est due
principalement la dformation mcanique anisotrope des grains induite par les
contraintes internes de compression gnres par lintroduction de grandes quantits
dazote. Comme on peut le voir sur la micrographie ralise en microscopie
lectronique balayage, cette rugosit se retrouve lchelle des grains
(typiquement quelques dizaines de micromtres). La consultation de la bibliographie
montre que leffet de la rugosit sur la mouillabilit de lacier inoxydable est de
diminuer langle de contact apparent suivant lamplitude de la rugosit. Ainsi pour
des chantillons en AISI 316LVM sabls, le Ra passe de 0,03 5,7 m alors que
langle de contact passe de 90 60. Pour des chantillons en AISI 316L ayant subi
un traitement de grenaillage de type SMAT, le Ra passe de 0,05 0,9 m alors que
langle de contact passe au maximum de 90 80.
39

Concentration en azote (at%)

40
35
30
25

1h nitruration
3h nitruration

20
15
10
5
0
0

10

Profondeur (micromtres)

Figure 6.11 Evolution de la concentration en azote (at%) en fonction de la distance la


surface pour des chantillons en acier inoxydable 316L nitrurs diffrents temps.

Figure 6.12 Evolution de diffrents paramtres de rugosit en fonction de la racine carre du


temps de traitement pour des chantillons en acier inoxydable 316L nitrurs 420C dans un
mlange 90%N2-10%H2 300 Pa en plasma diode et micrographie ralise en microscopie
lectronique balayage sur une surface nitrur 4h.

Notre amplitude de rugosit tant assez faible, on peut donc estimer que
celle-ci ne doit pas jouer un rle important sur la mouillabilit. Il convient toutefois de
rester prudent sur une telle interprtation du rle jou par la rugosit car dans le cas
de la nitruration des aciers inoxydable, la rugosit se traduit par une texturation de
surface non dterministe lchelle de la taille des grains. Lamplitude latrale est
ainsi de lordre de la dizaine de micromtres (chelle des grains). A cette chelle, il
nest pas impossible que ces effets de texture jouent un rle sur la mouillabilit.
40

Les rsultats obtenus sur des chantillons en acier inoxydable 316L sont
prsents en fonction du temps de traitement pour le cas de la carburation sur la
figure 6-13. On observe une augmentation de langle de contact apparent qui passe
de 70 88.

110
105

Angle Young( )

100
95
90
85

Carbur

80

Carbur et textur

75

Eq. Cassie

70
65
60
0

Temps (h)
Figure 6.13 Evolution de langle de contact avec le temps de traitement pour des
chantillons en acier inoxydable 316L carburs avec et sans texturation de surface.

Pour finir, dans la figure 6.10 et 6.13, nous avons calcul les valeurs prvues
pour lquation de Cassie, considrant, le rapport fraction de chaque phase comme
0.5 car le pochoir utilis pour ces traitements tait un pochoir avec des espacements
de 100 m par 100 m. Les courbes semblent raisonnablement en accord avec le
modle, ce que nous permet dassumer le phnomne dhtrognit comme tant
le plus important dans le rle de mouillabilit sur la texturation.
La figure 6.14 montre la tendance de la goutte en couler plus dans les zones
non exposes, car ces zones ont une nergie de surface moins importante.

41

Figure 6.14 Trait de la goutte sur la surface texture, leau sest coule plus facilement sur
les zones non exposes.

6.3.2 Mouillabilit des chantillons de fer nitrurs

Pour les chantillons de fer nitrurs les angles obtenus sont prsents dans le
tableau 6.5, les mesures ne permettent pas des considrations sur linfluence des
htrognits, car les chantillons texturs prsentent des valeurs trs proches des
chantillons seulement nitrures, qui varient entre 72 78.
Ce fait est passible car dans les analyses optiques la couche de composs se
prsente continue pour les chantillons, formant une couche de nature chimique
homogne.
Limage 6.15 prsente les traits dcoulement de la goutte qui sont aussi
moins visibles par rapport lanalyse de lacier inoxydable. En plus, ces traits
montrent que la zone couverte est moins mouillable, ce phnomne peut tre
expliqu par laugmentation de la rugosit dans la zone expose, en sachant que
laugmentation de rugosit doit amliorer le caractre hydrophobe ou hydrophile de
la surface.

42

Rfrence
[S.Sol]
[635-3-0,95]
[685-3-0,80]
[725-3-0,65]
[815-3-0,50]
[530-4-0,95]
[580-4-0,80]
[640-4-0,65]
[740-4-0,50]
Text[530-4-0,95]
Text[635-3-0,95]
Text[815-3-0,50]
Text[740-4-0,50]

Angle ( )
82,3
62
74,35
77,7
73
72,5
76,8
76,5
83,4
78,7
69,9
75,3
74,3
63,3

Ecart
0,5
1,5
0,5
0,1
0,5
0,4
0,6
0,2
0,3
0,7
0,3
0,6
0,6
0,5

Tableau 6.5 Valeurs des angles de mouillabilit pour les chantillons nitrurs

Figure 5.15 Traits de la goutte sur le fer textur, la surface couverte prsente moins de
mouillabilit, la figure suprieure est traite 3 mbar et linferieure 4 mbar.

43

CONCLUSION

Ltude prsente quelques rsultats intressants, comme la formation


diffrencie de la couche de composs en fonction de la pression, les possibilits
dobtenir une plus grande efficience par rapport nergie utilis et la connaissance
de lvolution des paramtres de contrle pour le racteur utilis. Ces informations
ont aussi nous susciter la curiosit pour une tude plus prcis au niveau de la
cintique de formation de nitrures et de la variation des aspects physiques du
plasma. Donc, ltude va continuer comme collaboration entre les deux laboratoires
dans le but de rpondre les parties qui ne sont pas trs conclusive avec la quantit
de donnes que nous avons produits.
Dans le cadre de la proprit de mouillabilit lobservation de la contribution
de la rugosit ou /et de la htrognit nont t pas totalement abord parce que
les essaies de profilometrie et surfometrie nont pas t fait cause des soucis avec
lquipement.
Le stage, mon avis, a t trs intressant au niveau

de formation

scientifique, en prenant en considration que pendant le stage des autres tudes ont
t fait et des autres techniques ont t connus.

44

REFERENCES

[1] XIONG, Xiaochuan. Elaboration et gense des microstructures dans


les aciers fer-azote. Nancy, France (2008).
[2] KUNZE, J. Nitrogen and Carbon in Iron and Steel Thermodynamics.
Akademie-Verlag, Berlin, Allemagne (1990).
[3] GALERIE, Alain. Traitements de surface en phase vapeur. Hermes
Sience, France (2002).
[4] ALVES Jr, Clodomiro. Nitretao plasma: fundamentos e aplicaes.
[5] PAVANATI, Henrique Cezar. Aspectos bsicos sobre plasmas DC
fracamente ionizados. Florianpolis, Brsil (2009).
[6] GUO, Yuanyuan. Etude des interactions entre lazote et le carbone lors
de traitements squencs de nitruration, de carburation et de nitrocarburation
basse temprature daciers inoxydables austnitiques. Application la
texturation de surface. Nancy, France (2010).
[7] MARCHAND, Jean-Luc. Contribution la modlisation du procde de
nitruration ionique. Nancy, France (1988).
[8] HE, Huan. Low temperature plasma assisted nitrinding of Inconel 690.
Comparative study between diffusion layers and coatings obtained by reactive
magnetron sputtering.. Nancy, France (2004).
[9] GUIBERTEAU, E. Modelling the pulsed glow discharge of a nitriding
reactor. Surface and Coatings Technology 97 (1997) 552-556.
[10] MUSIL, J. Recent progress in plasma nitriding. Vacuum 59 (2000) 940951.
[11] MARCOS, Grgory. Structuration de la surface daciers inoxydables
par traitements thermochimiques assists plasmas. Nantes, France (2010).
[12] BRUZZONE, A.A.G. Advances in engineered surfaces for functional
performance. CIRP Annals - Manufacturing Technology 57 (2008) 750769.
[13] ANDRIEUX, Aurore. Caractrisation de surfaces htrognes
textures et tude prliminaire aux tests de mouillabilit par le plomb. Metz,
France (2011).
[14] QUERE, David. Modulation du moillage par des microtextures. Paris,
Frances (2003).
45

[15] CHOI, Wonjae. A modified CassieBaxter relationship to explain


contact angle hysteresis and anisotropy on non-wetting textured surfaces.
Journal of Colloid and Interface Science 339 (2009) 208216.
[16] PATERSON, A. Effect of density and spatial distribuition of
wettability heterogeneities on contact angles. Journal of Petroleum Science and
Engineering 20 (1998) 127132.
[17] LI, Shasha. Wetting behavior of superhydrophobic surface in the
liquid influenced by the existing of air layer. Colloids and Surfaces A:
Physicochem. Eng. Aspects 430 (2013) 46 50.
[18] MILNE, A.J.B. The Cassie equation: How it is meant to be used.
Advances in Colloid and Interface Science 170 (2012) 4855.
[19] GUALTIERI, E. Increasing nanohardness and reducing friction of
nitride steel by laser surface texturing. Tribology International 42 (2009) 699705.
[20] BORGHI, A. Tribological effects of surface texturing on nitriding steel
for high-performance engine applications. Wear 265 (2008) 10461051.
[21] ETSION, A.A.G. Improving fuel efficiency with laser surface textured
pistion rings. Tribology International 42 (2009) 542 547.
[22] MATOS JUNIOR, Raimundo Ferreira. Analise topografica da superficie
de cilindro de motores combusto interna. Curitiba, Brsil (2009).
[23] CORENGIA, P. Microstructural and topographical studies of DCpulsed plasma nitride AISI 4140 low-alloy steel. Surface & Coatings Technology
200 (2005) 2391 2397.
[24] CZERWIEC, T. Progress in the analysis of the mechanisms of ion
nitriding. Surface and Coatings Technology 72 (1995) 103-111.
[25] CHEN, Chang-Zi. The microstructure and properties of commercial
pure iron modified by plasma nitrindg. Solid State Ionics 179 (2008) 971974.
[26] MIOLA, E. J. Systematic study on influence of the nitriding parameter
on pure iron superficial layer properties. Surface and Coatings Technology 167
(2003) 3340
[27] B. Arifvianto, G.A. Pohan, Suyitno, M. Mahardika, Procedia Engineering
50 (2012) 142 151).
[28] Arifvianto, B. Suyitno, M. Mahardika, P. Dewo, P.T. Iswanto, U.A. Salim,
Materials Chemistry and Physics 125 (2011) 418426).

46

Annexe 1 Points obtenus pour la construction de la courbe Tension x


Pression x Rapport cyclique

Temperature(C)
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403
5403

Tension(V)
78010
69510
63510
56510
52510
51810
79010
71510
66010
59010
56510
56010
91510
81010
74010
64510
64010
63010

81510
72010
72510
72510

Pression(mbar)
20.05
2,50.05
30.05
3,50.05
40.05
4,50.05
20.05
2,50.05
30.05
3,50.05
40.05
4,50.05
20.05
2,50.05
30.05
3,50.05
40.05
4,50.05
20.05
2,50.05
30.05
3,50.05
40.05
4,50.05

R.C.
0,95
0,95
0,95
0,95
0,95
0,95
0,8
0,8
0,8
0,8
0,8
0,8
0,65
0,65
0,65
0,65
0,65
0,65
0,5
0,5
0,5
0,5
0,5
0,5

Puissance(kW) Courant(A)
0,21
0,260.8
0,21
0,410.8
0,21
0,380.8
0,19
0,260.8
0,19
0,320.8
0,2
0,330.8

0,2
0,18
0,19
0,19
0,3
0,27
0,22
0,23
0,24
0,21

0,350.8
0,310.8
0,260.8
0,380.8
0,380.8
0,370.8
0,350.8
0,370.8
0,380.8
0,380.8

0,23
0,21
0,22
0,22

0,270.8
0,380.8
0,30.8
0,340.8

47

At %

Annexe 2 Analyses SDL

N
F

100

80

60

40

20

0
0

10

15

20

25

30

35

At %

[635-3-0,95]

N
F

100

80

60

40

20

0
0

10

15

20

25

30

35

[685-3-0,80]

48

At %

N
F

100

80

60

40

20

0
0

10

15

20

25

30

35

At %

[725-3-0,65]

N
F

100

80

60

40

20

0
0

10

15

20

25

30

35

At %

[815-3-0,50]

N
F

100

80

60

40

20

0
0

10

15

20

25

30

35

[530-4-0,95]

49

At %

N
F

100

80

60

40

20

0
0

10

15

20

25

30

35

At %

[580-4-0,80]

N
F

100

80

60

40

20

0
0

10

15

20

25

30

35

At %

[640-4-0,65]

N
F

100

80

60

40

20

0
0

10

15

20

25

30

35

[740-4-0,50]

50