Monitoreo de partculas en

agua ultra pura para aplicaciones

de la microelectrnica
Ross Bryant

ULTRAPURE WATER MICRO

Austin, TX
Noviembre, 2007

Agenda
Motivacin para el monitoreo de
partculas
Fundamentos del conteo de
partculas ptico
Especificaciones de instrumentos
Estadsticas de conteo
Anlisis de datos e interpretacin

Partculas:

Parte integral de ITRS Roadmap

Agua ultra pura

Estmulos para impulsar la necesidad de contadores
de partculas de mayor rendimiento
- Obleas de 300 mm
- Muy pocas partculas en los sistemas de agua ultra pura
(UPW) ms nuevos
- <0,2 partculas/ml (o 200/litro) mayor que 0,05 micrones

- Las irregularidades con partculas de un sistema de UPW

tienen enormes consecuencias econmicas

- Mayor utilizacin

La mejor tecnologa para el UPW es el conteo

de partculas ptico con lser
- Sensibilidad
- Fiabilidad
- Sin necesidad de operador

Mtodos de clculo de tamao de

partculas

Mediciones equivalentes a esferas

dmax

dmin

dw

dvol
dsed
dsieve

dsa

do
Esfera del mismo
equivalente ptico
(ltex de poliestireno)

Contador de partculas de lquidos

Propiedad de Particle Measuring Systems

Fenmeno de la dispersin

Propiedad de Particle Measuring Systems

Campos de dispersin
Dispersin de Rayleigh
Partculas mucho ms pequeas que la longitud de onda de la luz

Dispersin de Lorenz-Mie
Tamaos de partcula comparables con la longitud de onda de la luz

Dispersin geomtrica
Partculas mucho ms grandes que la longitud de onda de la luz

Dispersin de Rayleigh

I s ~ f ( ) = =
2

d6

Intensidad de la dispersin mayormente independiente

de la forma de la partcula
Domina la refraccin
Dispersin simtrica (hacia delante=hacia atrs)

Dispersin de Lorenz-Mie

I s ~ 2 f ( ) = 2 ( 6> n > 2) =

d x<6

y<4

to

d x>2

y >0

Intensidad de la dispersin y distribucin angular mayormente

dependiente de la forma de la partcula
La intensidad y la polarizacin fluctan como una funcin del ngulo de
dispersin
Dispersin asimtrica (hacia delante >> hacia atrs)
Lbulo hacia delante principalmente por difraccin (es ms concentrado)

ndice de componente de
refraccin
La intensidad de la dispersin depende del Contraste IR
IR _ C o n tr a s t = P a r tic u la te_ IR
M e d ia _ IR

ndice de refraccin
ndices refractario de
partculas caractersticas
y distintos medios de
muestra ( = 633 nm)

Material particulado
Dixido de silicio (slice)
Silicon
Ltex de poliestireno(PSL)

ndice refractario
1,45
3,9
1,59

Acero

2,5

Cobre

0,45

Aluminio

1,9

Medios de muestra
Agua

1,33

cido fluorhdrico (50%)

1,29

Hidrxido amnico (29%)

1,33

cido clorhdrico (37%)

1,41

cido sulfrico (96%)

1,46

Consideraciones sobre
instrumentos
Porcentaje
muestra

Volumen
muestra

Sensibilidad

Conteo a
cero

Caudal

Perfil de intensidad del lser

Tamao vs. perfil de rayo lser

Propiedad de Particle Measuring Systems

Umbrales de tamao vs. perfil de

rayo lser
Propiedad de Particle Measuring Systems

El tamao de las partculas slo se calcular con la mayor exactitud

A hasta A
Las partculas grandes se pueden depositar en el primer canal
Diferencia de 4x en tamao de partcula = diferencia de 3.000X en la
seal

Volumen de muestra para

monitores no volumtricos
Similar al volumtrico,
excepto que existe una
segunda regin se
sobreconteo
El tamao de las
partculas grandes se
calcula incorrectamente
en el primer canal
El sobreconteo puede ser
significativo para los
diseos de contadores de
partculas pticos (OPC)
deficientes

Efecto del volumen de muestra

Sin medicin no hay control
- Sin datos
- Supongamos 100 partculas/litro > 0,05 m
Contador de
partculas
Ultra DI 50

HSLIS M50e

Competencia

Volumen de
muestra

Tiempo para
medir 1 litro
de lquido

3,75
ml/min.

4,4 horas

0,25
ml/min.

2,8 das

0,1 ml/min.

6,9 das

Contador de
partculas

Volumen de
muestra

Tiempo para
medir 1
partcula
(min.)

Tiempo para
medir 20
partculas
(hora)

Ultra DI 50

3,75
ml/min.

2,7

0,9

HSLIS M50e

0,25
ml/min.

40

13,3

Competencia

0,1 ml/min.

100

33,3

Estadsticas de conteo
La estadstica de Poisson se emplea cuando se
analizan eventos discretos que se consideran de
distribucin aleatoria
Las partculas son eventos discretos distribuidos
aleatoriamente en tiempo y espacio, as el
"conteo de partculas" se describe mediante la
distribucin de Poisson
Implicancias: La variacin en
Estadstica de Poisson
las mediciones del conteo de
- Media =
- Variancia =
- Desviacin normal =

partculas depende
principalmente de la
cantidad de partculas
contadas por unidad de
tiempo

Ejemplo
Supongamos tener 100 partculas por litro a > 0,05 m
Medidas con Ultra DI 50
Lmite de control en 3 S.D. por encima del promedio

Intervalo de
muestra

10
min.

20
min.

1 hr

2 hr

4 hr

Lmite de
control

250

210

160

140

130

Representacin grfica
Efecto del intervalo de muestra en el conteo (conteos/litro vs. tiempo)
450

Cambio de proceso
100 conteos/litro a 200 conteos/litro

400
350
300
250

10 min

200

1 hr
2 hr

150
100
50
0
1

12

23

34

45

56

67

78

89 100 111 122 133 144 155 166 177 188 199 210 221 232 243 254 265 276 287 298

Resumen de estadsticas
El nmero total de partculas medidas puede
ser muy bajo

- La alta variacin en los resultados ocurre cuando slo se mide un volumen

pequeo y se cuentan pocas partculas
- Los datos de baja calidad resultantes proporcionan una medida deficiente
del rendimiento del sistema

La estadstica de conteos es a menudo el limitador

del rendimiento
Cuantas ms partculas se cuentan por unidad de
tiempo:
-

Mayor es la capacidad de repeticin de la medicin

Ms ajustados son los lmites de control
Mejor comprensin de las variaciones de proceso
Se evitan las excursiones

Niveles de conteo a cero

Cuenta en ausencia de partculas
La especificacin de conteo a cero de
Ultra DI 50 es < 50 conteos/litro
Supone cero partculas
Conteo a cero en 50 por litro
- 1 conteo promedio cada 5,33 minutos
- Lmite de control 3 S.D. de 83 partculas por litro
con intervalos de muestra de 120 minutos

Conteo a cero afectado por rayos

csmicos, ruido electrnico, etc.

PSD en agua ultra pura

Distribuciones de tamao de partculas (PSD)
caractersticas en UPW
1/(dimetro de partcula)3 es caracterstica para UPW

Ms partculas pequeas que grandes

Impacto de la sensibilidad al tamao

Sistema de UPW
- Distribucin de 1/(dimetro)3
- 1 partcula/ml > 0,05 m

Cuntas partculas > 0,025 m?

- = (nmero de partculas > 0,05 m) * 1/(relacin de
dimetros)3
- 1 * 1/(0,5)3 = 8 partculas/ml > 0,025 m

Regla general
- Si el dimetro de partcula disminuye en 2x
- El nmero de partculas/ml (caudal) aumenta en 8x

Resumen
El monitoreo de partculas en una pieza clave del ITRS
Roadmap
Los contadores de partculas pticos se basan en las medidas
del equivalente ptico de la dispersin de las esferas de
ltex de poliestireno (PSL)
La sensibilidad es slo una medida del rendimiento del
instrumento
Una mtrica crtica de rendimiento es el total de partculas
contadas
El volumen de muestra mayor proporciona ms datos y
mejores estadsticas de conteo
Los sistemas de UPW que funcionan correctamente siguen una
distribucin de tamao de partcula de 1/dimetro3

Ross Bryant
Director de marketing
rbryant@pmeasuring.com
303.419.2128