Complments sur loptique

aux interfaces :
Coatings et filtres

Prof. S. Habraken

Coatings et filtres
Analyse matricielle des systmes
multicouches
Soit L couches dindice nj, paisseur dj
entre 2 milieux/substrats dindice nm
(incident) et ns (sortant)
Soit une onde damplitude unitaire de
lg donde et de polarisation linaire s
ou p sous une incidence
Rsolution via les qu. de Maxwell et
les conditions de continuit aux
interfaces
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Coatings et filtres
Analyse matricielle des systmes multicouches
Solution
O
Em et Hm sont les champs l et magn rsultants dans le milieu incident
M est le produit de matrices
La matrice Mj se rapporte la je couche et scrit:

et

=TM
=TE

est lpaisseur optique effective

Coatings et filtres
Analyse matricielle des systmes multicouches
Transmittance et rflectance:
Dphasage:

Matriaux non absorbants: n est rel et on vrifie toujours

Matriaux absorbants: o k est le coeff. dextinction
Labsorbance est donne par:
Dautres polarisations se dduisent des cas s et p puisquils forment
une base. Le calcul en lumire non polarise sobtient simplement par:

Coatings et filtres
Analyse matricielle des systmes multicouches

Remarques:
1.
2.
3.

Les proprits dpendront de langle dincidence et de la polarisation,

sauf lorsque = 0
Un changement de toutes les paisseurs est quivalent un shift en
longueur donde
Le systme est matriciel, donc non commutatif. Si on a une ou des
couches absorbantes, la transmittance sera identique dans les deux sens
mais pas la rflectance et labsorbance

Coatings et filtres
Types de coatings
Non absorbants:
Trs grande varit parmi les fluorures, sulfures, sc. et oxydes.
Les oxydes sont les plus durs
P.ex.:
SiO2 (quartz), Al2O3 (alumine ou saphir), ZrO2
(zirconium), TiO2
Mtalliques:
P.ex.: Ag, Al, Au, Cu, Ni, Cr
Parfois fragiles (mous, Au, p.ex.) et oxydables (Ag et Al, p.ex.)
Ils ncessitent un coating de protection contre loxydation
Ils ont parfois une mauvaise adhsion sur les substrats courants et
ncessitent un coating adhsif (Le Ni a une excellente adhsion et est
souvent utilis avant un coating dAu, p. ex.)
Le choix est avant tout dict par la bande spectrale de lapplication!
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Coatings et filtres
Coatings anti-reflet
Grande varit
selon les performances requises
et/ou les barrires technologiques
(p.ex., manque de choix certains
extrmes)
Principe: dopt = 0/4 et n=(nsnm)1/2
Difficult trouver des matriaux avec
Indice <1.4
Solution: matriaux poreux (sol-gel)
ou rseaux sub-lambda

Coatings et filtres
Coatings anti-reflet
Qq solutions classiques

Coatings et filtres
Coatings anti-reflet
Les performances

Coatings et filtres
Multicouches priodiques
Alternance de matriaux A et B sur un substrat s
Notation: [AB]N ou [HL]N (High-Low index)

Si N augmente, R + piqu:
interfrence constructive:
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Coatings et filtres
Multicouches priodiques
Si N augmente R tend asymptotiquement vers 1
La largeur spectrale du pic est max si

Elle dpend alors du rapport nA/nB

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Coatings et filtres
Multicouches priodiques
Filtres trs troits: il faut nA/nB ~1
Leffet interfrentiel est attnu, donc il faut beaucoup de couches pour
approcher R=1 la lg donde dsire
Application: filtres rjecteurs ( notch filters)
Trs bien adapt lholographie (rflecteurs de Bragg)

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Coatings et filtres
Multicouches priodiques
Rflecteurs pour XUV et RX mous: il faut toujours
mais tous les matriaux absorbent!
Donc il faut peu de priodes, donc nA/nB grand
On choisit les matriaux t.q. le absorbant ait lpaisseur la + grande
(donc lindice le + faible puisque
)
Combinaisons possibles (exemples):

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Coatings et filtres
Beam Splitters
Difficult: langle dincidence lev
provoque des comportements trs
diffrents pour s et p-pol

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Coatings et filtres
Beam Splitters
Elments multicouches
slectionnant les couleurs (RGB)

Filtres de densit neutres:

Coating mtallique dpaisseur
contrle

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Coatings et filtres
Beam Splitters polarisants

On dfinit le degr de polarisation:

En transmission:

En rflexion:

On ralise des couches de 0/4 (deff) claire sous , souvent >>

On dmontre quon peut rflchir s sans rflchir p, ou linverse
Le + utilis: cube beam splitter:
Multicouche priodique de type
entre 2 prismes dindice np suprieur aux couches
deff= 0/4 pour chaque couche sous incidence p t.q.

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(m)

(m)

Coatings et filtres : Rflexion sur un mtal

Lindice de rfraction
est complexe :

n = nR + inI

Sous incidence normale :

(nR 1) 2 + nI2
R=
(nR + 1) 2 + nI2

Si nI>>nR : R
Exemple : Au
= 5 m
= 0.3 m
= 0.01 m

1
nR = 3.75 et nI = 31.0
nR = 1.8 et nI = 1.9
nR = 0.94 et nI = 0.017

R importante
R diminue
R faible (quivalent dilectrique)

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Coatings et filtres
Amlioration des rflecteurs mtalliques par un
coating dilectrique
Coating protecteur
(contre loxydation)

Augmentation de rflectivit
On applique un multicouche
/4 sur le mtal

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