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Nanotecnologa II
Introduccin
Tecnologas de pelcula delgada permiten la integracin
de circuitos electrnicos y matrices de sensores
multifuncionales fabricados en sustrato de silicio.
Funcionan como sensores mltiples por ejemplo el
sentido del tacto agrupa sensaciones de temperatura,
presin, viscosidad de lquidos, adems de disponer de
un mecanismo de retroalimentacin y de memoria.
Poseen una alta relacin seal ruido en un gran rango
dinmico, tambin presentan buena sensibilidad.
La tcnica como silicon-to-silicon y silicon-to-glass es la
que se suele emplear permitiendo la realizacin de
sensores.
Sensor
Un sensor es un "dispositivo que detecta una
determinada accin externa, temperatura,
presin, etc. Y la transmite adecuadamente".
Existen diversos tipos de sensores, los que nos
interesan son los que permiten medir
cualquier magnitud fsica del mundo real y
transformarla en una magnitud elctrica
(corriente, carga, tensin o impedancia).
Sensores de flujo
Los sensores de flujo tambin son de
caractersticas y fundamentos muy diversos, ya
que varan bastante en funcin del tipo de flujo
que se quiere medir. Un caso muy partculas son
los sensores de flujo basados en presin
diferencial, que miden presin en un orificio.
Existen sensores de flujo basados en sistemas
resonantes. As mismo algunos sensores miden
flujo turbulento, este tipo de sensores estn en
general formados por palancas.
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APLICACIONES
Conclusiones
Existen diferentes tamaos de empresas con importantes
programas para sensores MEMS. Las empresas ms
grandes se especializan en la fabricacin de componentes
de bajo costo alto volumen o paquetes de soluciones para
los mercados finales como el automotriz, biomedicina, y
electrnica.
Uno de los mayores problemas de los sensores MEMS es la
ausencia de micro fuentes de energa con alta densidad de
corriente, potencia y capacidad elctrica.