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CHAPITRE 3

Capteurs de position et de
dplacement

194

Plan du chapitre 3

3.1 Notions gnrales


3.2 Capteurs potentiomtriques
3.3 Capteurs inductifs
3.4 Capteurs capacitifs
3.5 Codeurs optiques
3.6 Capteurs triangulation
3.7 Capteurs optiques
3.8 Capteurs propagation dondes
3.9 Capteurs effet Hall
3.10 Capteurs inertiels : acclromtre et gyroscopes
Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

195

3.1 Notions gnrales


La position ou le dplacement dun objet est une donne souvent
indispensable dans bon nombre de situations industriels :
- robotique (automatisation de systmes)
- contrle de dimensions
- machinerie-outils
- mesures dautres grandeurs physiques, ...
Ce type de capteurs se divise en 2 catgories :
- absolus (capteurs de position)
Rfrence

L
2

- relatifs (capteurs de dplacement)

L
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196

3.2 Capteurs potentiomtriques (1)


3.2.1 Principe
On sait que la rsistance lectrique dun matriau est directement
proportionnelle la longueur de celui-ci. On peut donc exploiter
ceci pour en faire un capteur de dplacement.
Cest le capteur potentiomtrique.
Lobjet est fix un curseur mobile :

Curseur mobile

Vs

R0

R(x)

V = Vs
V

x
D

o : - x : position du curseur
- D : longueur totale de la
rsistance

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197

3.2 Capteurs potentiomtriques (2)


3.2.2 Potentiomtre bobin
Le premier type de potentiomtre est constitu dun long fil
conducteur enroul autour dun support. Des curseurs mobiles
se dplacent contre cet enroulement et assurent un contact
lectrique avec ceux-ci.
Rsolution : Dans ce cas de figure, la variation de R nest pas
une fonction linaire de x
Position 1 Position 2
Curseur

R(x)

x
x

x : plus petite variation de x dtectable


(Valeur typique : 10 m)
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198

3.2 Capteurs potentiomtriques (3)


3.2.3 Potentiomtre piste conductrice
Une autre ralisation de ce capteur est faite avec une piste
rsistive en parallle avec une piste conductrice :
3

Piste conductrice
R est ngligeable
2

Piste rsistive
R est important

1
2

1 3

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199

3.1 Capteurs potentiomtriques (4)


3.2.4 Forme circulaire et caractristiques
Les potentiomtres existent bien videmment sous une
forme circulaire :
On mesure dans ce
cas au lieu de x

ou

1 3
2

1 3
2

Principe trs simple


cot faible modr
Amplitude du signal lectrique peut tre importante
Friction
erreurs de finesse, usure (modification des performances)
Nombre maximal de manuvre : ~106
Sensible lenvironnement : poussires, humidit, ...
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200

3.2 Capteurs potentiomtriques (5)


3.2.5 Potentiomtre sans contact
Pour rduire les problmes de friction et dusure, il existe des
potentiomtres sans contact !
Piste conductrice
R est ngligeable
La rsistance dun matriau
photoconducteur varie en
fonction de lclairement :
R si lumire

Bande photoconductrice
R trs grand sans lumire
R faible en prsence de lumire

: source de
lumire

Piste rsistive
R est important
2

1 3

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201

3.3 Capteurs inductifs (1)


3.3.1 Principe physique (I)
Regardons linductance lectrique suivante :
Dplacement de lobjet
Entrefer
air

Matriau
ferromagntique

Lignes de champ
magntique

On montre que :

L=

N2
Rm

o :

Rm =

N : Nombre de tours du conducteur


: Longueur parcourue par une ligne de flux
Grenoble INP-Esisar
: Permabilit magntique Pierre Lematre-Auger,
S : Section
du circuit magntique

202

3.3 Capteurs inductifs (2)


3.3.1 Principe physique (II)
Dans le cas prcdent, on trouve :

1 fer air

R=
+
0 ferS S

L = 0N S
2

air +

1
fer

fer

fer : Longueur moyenne du flux dans le fer


air : Longueur moyenne du flux dans lair
0 : permabilit magntique du vide
fer : permabilit relative du matriau ferromagntique (~103 104)
Cette dernire fonction dpend de lentrefer, on peut donc en
dduire le dplacement dun objet physiquement reli la partie
mobile du noyau ferromagntique !
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203

3.3 Capteurs inductifs (3)


3.3.2 Capteur entrefer variable (I)
Mise en oeuvre :
On dsire mesurer la variation de air. On fait alors en sorte que :

air >>

fer

0 N 2S

fer

air

Si, autour dune position moyenne 0, la partie mobile de linductance


se dplace de x, alors linductance se modifie de :

L + L =

0 N 2S
0

1
1 + 2 x 0

( air = 0 + 2x)

En dveloppant en srie, on trouve :

L =

2 0 N 2S
20

2 x
2

x
+...
x 1
+

0
0

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204

3.3 Capteurs inductifs (4)


3.3.2 Capteur entrefer variable (II)

On remarque que si x est petit, la relation prcdente est


quasiment linaire :
Ltendue de mesure dun tel systme est de lordre du mm
La prcision peut tre de lordre du m

Montage de type push-pull :


La rponse est :
L
L
1

4 0 N S
2 x

1
+
+
L2 L1 =

x
...

20
0

Avantages :
- Sensibilit est double
- Non-linarit est rduite au 3ime ordre
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205

3.3 Capteurs inductifs (5)


3.3.3 Capteur noyau plongeur (I)
Une autre configuration possible dun capteur dplacement
inductif est :
D

Matriau ferromagntique

Bobines

La modle lectrique de ce capteur est le suivant :


(noyau : air)

D-

(noyau : ferromagntique)

Linductance globale de ce capteur est donne par :

L Pierre
= LLematre-Auger,
2M
air + LGrenoble
fer +INP-Esisar

206

3.3 Capteurs inductifs (6)


3.3.3 Capteur noyau plongeur (II)
o :

L fer = B (D )

Lair = A
constantes

constante

M = k Lair L fer

(M : linduction mutuelle entre Lair et Lfer)


On trouve donc la relation suivante entre L et :

L = (A B) + B D + 2k AB D 2

Cette relation nest pas linaire sauf si on ne sintresse qu des petits


dplacements autour dune position 0.
On utilise cette seconde configuration comme la premire, avec une
tendue de mesure et une
comparables.
Pierre prcision
Lematre-Auger, Grenoble
INP-Esisar

207

3.3 Capteurs inductifs (7)


3.3.3 Capteur noyau plongeur (III)
Montage de type push-pull :
L1

L2

La sensibilit est encore une fois double


La non-linarit est galement diminue

Remarque : Il existe un couplage entre L1 et L2 que lon peut grandement


diminuer par un design appropri.
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208

3.4 Capteurs capacitifs (1)


3.4.1 Principe physique
La capacit dun condensateur plan est donne par :

C = 0 r
0 : permittivit du vide,

Surface

Distance entre les armatures

r permittivit relative du dilectrique

Celle dun condensateur cylindrique par :

C = 2 r 0
r
ln 1 r
2

longueur du cylindre
rayon de larmature extrieure
rayon de larmature intrieure

Les capacits dpendent des dimensions gomtriques


Candidats potentiels pour capteurs de position/dplacement
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209

3.4 Capteurs capacitifs (2)


3.4.2 Capacits surface variable (I)
On peut jouer sur la surface dune capacit :
Montage simple
Armature suprieure

0< < /2

r2
C = air 0
2d

Armature infrieure

r2
C1 = air 0
= C0
2d
r2
( max ) = C0 ( max )
C 2 = air 0
2d

Montage push-pull
max

0< < /2


Z1
C2

=
= 1
Z +Z
C + C 2 max
Pierre Lematre-Auger,1Grenoble2 INP-Esisar1

Rponse dun diviseur de


tension est linaire :

210

3.4 Capteurs capacitifs (3)


3.4.2 Capacits surface variable (II)
Pour des dplacements linaires :
Montage simple

C = 2 air 0

ln( r1 r2 )

Montage push-pull

C1 = 2 air 0
C 2 = 2 air 0

L+

ln( r1 r2 )
L

ln( r1 r2 )

Z1
C2
1

=
= 1 +
Z1 + Z 2 C1 + C 2 2 L
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211

3.4 Capteurs capacitifs (4)


3.4.3 Capacits cartement variable
On peut galement jouer sur la distance entre les 2 armatures
dun condensateur plan :
D
x
D

S
1
= C0
Dx
1 x D
S
1
= C0
C2 = air 0
D+x
1+ x D

C1 = air 0

Ltendue de mesure : ~ mm

Montage potentiomtrique :
Z1
Z1 + Z2

C2
C1 + C 2

Prcision : ~ m

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1
x
1

2
D

212

3.5 Codeurs optiques (1)


3.5.1 Principe
Les codeurs optiques mesurent un dplacement
angulaire (i.e. une rotation) ou une position
angulaire dfinie.

Disque cod

Photodiodes

Signaux numriques

Position relative
Position absolue

Sources lumineusesPierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

Mouvement linaire

OBJET

Mouvement de rotation
Poulie
Codeur optique

213

3.5 Codeurs optiques (2)


3.5.2 Codeur incrmental (I)
V

Signaux obtenus
(sont en quadrature)

A:

A avance
B de 90

B:
Temps
V

A:
B avance
A de 90

B:
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Temps

214

3.5 Codeurs optiques (3)


3.5.2 Codeur incrmental (II)
Codeur incrmental :
On peut donc connatre la dplacement de lobjet en comptant
le nombre dimpulsions du signal A.
On compare le signal A avec le signal B pour connatre le sens
du dplacement.
Selon lexemple prcdent :
Lors dune transition de A (0 1) :
-B=0
sens anti-trigo
-B=1
sens trigo

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Exemple de disque

215

3.5 Codeurs optiques (4)


3.5.3 Codeur absolu (I)
On peut galement mesurer la position absolue avec ce type de
capteur. On utilise plusieurs couples source-dtecteur, chacun
donnant linformation dun bit du signal total.
15

14

13

12

11

4
10

5
6

9
8

Valeur
dcimale
0
1
2
...
9
...
15

7
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0
0
0

0
0
0

0
0
1

0
1
0

...
1

0
...

216

3.5 Codeurs optiques (5)


3.5.3 Codeur absolu (II)
En pratique, on retrouvera un codage de type Gray plutt que le
codage binaire classique.
Code Gray :
Exemple de disque (code Gray)

1 seul bit change dtat par


changement de position
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217

3.6 Capteurs triangulation (1)


3.6.1 Principe (I)
Une autre technique de mesure de dplacement est base sur le
principe de la triangulation.
On utilise pour cela une source optique infra-rouge (0,8 m) et
un dtecteur optique linaire disposs comme suit :
Dtecteur optique
linaire

d = f(x)
LED

d
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218

3.6 Capteurs triangulation (2)


3.6.1 Principe (II)
f
x

LED

Thals :

d=

f
x

La question qui demeure est : Comment dterminer x ?.


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x
f

219

3.6 Capteurs triangulation (3)


3.6.2 Utilisation - Caractristiques
Utilisations de ce type de dtecteur :
- Fonction auto-focus des appareils photo et des camras
- Mesure prcise de dplacement,
- Mesure de la hauteur dun objet,
- Mesure de l'excentricit dun objet circulaire en rotation,
- Dtection de prsence dun objet, ...

Idal pour la mesure de petits dplacement (0,1 m) avec une bonne


prcision une distance dune dizaine de cm.

Capteur linaire
1D

Capteur linaire
2D
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220

3.6 Capteurs triangulation (4)


Culture personnelle

3.6.2 Dtecteur optique linaire (I)


Le faisceau optique va crer des paires lectrons-trous dans
un semi-conducteur :
D

iA

B
Si p

VA

R0

VA = i A R 0

iB

lectrons et trous

Si n+

Si trs rsistif

R0 est petit

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R0

VB

VB = i B R 0

221

3.6 Capteurs triangulation (5)


Culture personnelle

3.6.2 Dtecteur optique linaire (II)


Schma lectrique quivalent :

A
iA

Rsistance du silicium
dop p
B

D
iB

Photodiode

I0

RSi

Rsistance du silicium non dop


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222

3.6 Capteurs triangulation (6)


Culture personnelle

3.6.2 Dtecteur optique linaire (III)


En ce qui concerne les trous produits par le flux lumineux, ils vont
se scinder en 2 parties selon le principe dun diviseur de courant :

iA = i0

RD Rx
RD

i B = i0

Rx
RD

o : - i0 est le courant total produit par le flux lumineux


- RD est la rsistance lectrique du Si-p entre les points A et B
- RD est la rsistance lectrique du Si-p entre le point dimpact
du flux lumineux et llectrode A
Comme on a que RD D et Rx x, alors :

iA = i0

Dx
D

i B = i0

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x
D

223

3.6 Capteurs triangulation (7)


Culture personnelle

3.6.2 Dtecteur optique linaire (IV)


En ce qui concerne les trous produits par le flux lumineux, ils vont
se scinder en 2 parties selon le principe dun diviseur de tension :

iA
iB

Dx
x

D
x

x=

D
+1

On trouve donc la relation voulue en fonction des paramtres du


capteur et de la mesure du rapport de 2 courants :

d=

f
D

( + 1)

Notons que cette mesure ne dpend presque pas de lintensit lumineuse reue !
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224

3.7 Capteurs optiques (1)


3.7.1 Capteur optique interfromtrique (I)
Schma de principe :
Miroir fixe

Lref

Miroir mobile
Lame semi-rflchissante

LASER
Lx

Dtecteur optique

Lintensit optique mesure par le dtecteur sera donc :

I = I ref

+ I x + 2 I ref I x cos
2(L x L ref )
0INP-Esisar

Pierre Lematre-Auger, Grenoble

225

3.7 Capteurs optiques (2)


3.7.1 Capteur optique interfromtrique (II)
Principe (suite) :

Signal
lectrique

Il est par contre impossible de dterminer Lx :

L1

L2

L3

L1 L2 L3 ...
??

Lx

Ce type de capteur ne peut vous donner une information que sur un


dplacement de lobjet par rapport une rfrence inconnue.
Par rapport une position initiale L0, ce capteur vous donne une
information sur la quantit L :

L x = L0 + L

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226

3.7 Capteurs optiques (3)


3.7.1 Capteur optique interfromtrique (III)
Principe (suite) :

I = I ref + I x + 2 I ref I x cos (L 0 + L L ref )


0

L + 0
I = I ref + I x + 2 I ref I x cos
0

L > 0
Conduit

L < 0
L0

Signal
lectrique

Avec la mesure dun seul signal, il est impossible de connatre le sens du


dplacement :
L0

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Temps

227

3.7 Capteurs optiques (4)


3.7.1 Capteur optique interfromtrique (IV)
Principe (suite) :
Il faut ncessairement la prsence dun second signal en quadrature
avec le premier (dcal de 90) : comme dans le cas du codeur optique :
Pour mieux comprendre, regardons le cas o 0 = 0 :

=
I1 I ref

+ I x + 2 I ref I x cos
( L )

+
I 2 I ref + I x + 2 I ref I x cos
L
( )

2
0
4

=
I 2 I ref + I x 2 I ref I x sin
( L )
0

+ I x + 2 I ref I x cos
( L )

L
I2 =
I ref + I x 2 I ref I x sin

I1 = I ref

Information sur le signe de L


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228

3.7 Capteurs optiques (5)


3.7.1 Capteur optique interfromtrique (V)
Ralisations concrtes :
On peut raliser ce type de capteur en optique de volume ou
en optique intgre (guides dondes fabriqus sur un seul et
mme substrat.)
Schma de principe en optique intgre :

M Ref1

Entre

M Ref2
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229

3.7 Capteurs optiques (6)


3.7.1 Capteur optique interfromtrique (VI)
Principe (suite) :
Exemple de signaux obtenus lors dun changement de
direction de lobjet :
L > 0 lorsque le signal A prcde le signal B
L < 0 dans le cas contraire

Rsolution :
< 50 nm
Distance de mesure :
14m

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230

3.7 Capteurs optiques (7)


3.7.2 Capteur de dplacement fibre optique (I)
Principe :
Source lumineuse

Ensemble de fibres

Dtecteur

Fibres mettrices
Fibres rceptrices
Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

231

3.7 Capteurs optiques (8)


3.7.2 Capteur de dplacement fibre optique (II)
Caractristiques :
La rponse de ce type de capteur dpend de la rflectivit de
lobjet. En fonction de lobjet, on calibre lappareil en ajustant la
tension de sortie du maximum optique la tension nominale
donne par le fabriquant.
On travaille en mesurant de petits dplacement autour dune
position centrale dans le domaine prs ou lointain.
PRES
Sensibilit : 0,01 0,05 m/mV
Distance de travail : 30 m 120 m
Etendue : 20 m 80 m

LOINTAIN
Sensibilit : 0,12 3 m/mV
Distance de travail : 360 m 4,2 mm
Etendue : 200 m 5 mm Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

232

3.7 Capteurs optiques (9)


3.7.2 Capteur de dplacement fibre optique (III)
Exemples de sondes :

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

233

3.8 Capteurs propagation dondes (1)


3.8.1 Principe physique
Une autre mthode pour la mesure de distance consiste mesurer
le temps de vol dune onde entre un metteur et un dtecteur.
Configuration aller simple :
Emetteur

Objet
Rcepteur

= v onde t

Configuration aller-retour :
Emetteur

Objet

Rcepteur

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

1
v onde t
2

234

3.8 Capteurs propagation dondes (2)


3.8.2 Stratgie de mesure du temps de vol (I)
Grands dplacements :
HORLOGE

COMPTEUR
Dbut

Fin

(N x)

N impulsions

DETECTEUR

GENERATEUR

L = v ( NTH )
Vitesse de propagation
de londe

Nombre dimpulsions Priode de lhorloge


Pierre
Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar
dhorloge

235

3.8 Capteurs propagation dondes (3)


3.8.2 Stratgie de mesure du temps de vol (II)
Petits dplacements :
f
A
Amplificateur

DETECTEUR

GENERATEUR

L
f est telle que : + A = 2 m
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(m est un entier)

236

3.8 Capteurs propagation dondes (4)


3.8.2 Stratgie de mesure du temps de vol (III)
Petits dplacements : (suite)
- est le dphasage d au systme de mesure (ligne retard);
- est le dphasage d lamplificateur et toute llectronique.

= 2 f

L
v

Le systme va osciller une frquence f0 correspondant un


m particulier, m0, et une longueur particulier, L0.
2 f 0

L0
v

+ A = 2 m0

f =

v A

m
0 L
2

L0 2

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237

3.8 Capteurs propagation dondes (5)


3.8.3 Ondes lastiques (I)
Gnration / dtection :
GENERATEUR
- Effet pizolectrique
- Magntostriction, ...
Type dondes :
VOLUME
Transversale

DETECTEUR
- Effet pizolectrique
- Effet Villari
- Mesure de la dformation
mcanique du support
- Mesure du champ lectrique, ...
SURFACE

Longitudinale
Lematre-Auger,
Grenoble
INP-Esisar
La vitesse Pierre
dpend
de la
nature
de londe !

238

3.8 Capteurs propagation dondes (6)


3.8.3 Ondes lastiques (II)
Capteur magntostrictif (schma de principe) :
Impulsion
lectrique

Champ magntique longitudinal


B

Effet Wiedmann
(torsion locale du tube)

Onde mcanique de torsion


Tube
ferromagntique

Champ magntique
transversal circulaire

Dtection :
Effet Villari
Torsion du tube induit une
changement daimantation qui
induit une tension lectrique

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

239

3.8 Capteurs propagation dondes (7)


3.8.3 Ondes lastiques (III)
Capteur magntostrictif (ralisation concrte) :

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

240

3.8 Capteurs propagation dondes (8)


3.8.4 Ondes sonores
Avec un transducteur pizolectrique, on peut aisment produire
et dtecter des ondes ultrasoniques (f > 20 kHz).
Schma de principe :
Diaphragme mtallique
fr

Vibration

Elment pizolectrique

Amplitude
de vibration

On travaille prs de la rsonance

fr

Avantage :
Vson ds air 360 m/s bonne
prcision pour courte distance
Inconvnient :
Ncessite une absence totale de
vent

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

241

3.8 Capteurs propagation dondes (9)


3.8.5 Ondes lectromagntiques (I)
On peut enfin travailler avec des ondes lectromagntiques dans
le domaine :
- Radiofrquence (exemple le radar !),
- Optique (tlmtre optique).
Temps de vol:
Cette technique est bien adapte la mesure de grandes distances.
Pour de courtes distances, les temps de vol sont trs courts
Electronique prcise
Exemple :
Plus petit temps mesurable : 1 ns
Rsolution spatiale : 3 108 m/s 10-9 s = 0,3 m = 30 cm !
Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

242

3.8 Capteurs propagation dondes (10)


3.8.5 Ondes lectromagntiques (II)
Alternative possible :
Techniques de modulation de phase
Principe:
Source

P=
( t ) P0 1 + m sin ( 2 f mt )

Cible

Dtecteur

Ps ( t ) =+
P0 1 m sin ( 2 f mt 4 f m )

z
= : temps de vol
c
P(t) : puissance mise

P0 : puissance moyenne mise ( la frquence fporteuse)


Ps(t) : puissance reue
fm : frquence modulation
m : facteur de modulation, [0,1] : fraction de P0 reue
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243

3.8 Capteurs propagation dondes (11)


3.8.5 Ondes lectromagntiques (III)
Modulation de phase (suite) :

Ps ( t ) =+
P0 1 m sin ( 2 f mt 4 f m )
: dphasage
Par une lectronique adquate, on mesure . Alors :

=
z

( + 2n )

c
4 f m

Il y a une ambigit sur la phase (le multiple de 2). La plage utile est donc limite
un dphasage compris entre 0 et 2. Cela limite la distance maximale
dutilisation.
En pratique:
On utilise 2 frquences de modulation: fbasse : dtermine la porte
fhaute : dtermine la rsolution
Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

244

3.8 Capteurs propagation dondes (12)


3.8.6 Synthse
Porte / Technologie optique approprie
Note : pas vu dans le
cours

Source : Vincent DELAYE, Etude et ralisation dun tlmtre laser par temps de vol, Grenoble INP, 2000.
Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

3.9 Position par la mesure du champ 245


magntique (1)
3.9.1 Principe physique (I)
Lignes de champ
magntique

Hy

Hx
H

Aimant
permanent

H
H = Hx
Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

Hx

Hy

3.9 Position par la mesure du champ 246


magntique (2)
3.9.1 Principe physique (II)
Comme on vient de le voir, le champ magntique produit par un
aimant permanent varie en fonction de la position par rapport ce
dernier. En mesurant ce champ, on peut mesurer une position.

y
x

H
Hx

Hy
x

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

Hy : signal utilis

3.9 Position par la mesure du champ 247


magntique (3)
3.9.1 Principe physique (III)
Pour un bon fonctionnement de ce type de capteur, il ne faut pas
que laimant se dplace suivant la direction y.
Pour des dplacement linaires uniquement.

S
y1
y2
H
y1
y2
x

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

y
x

3.9 Position par la mesure du champ 248


magntique (4)
3.9.2 Exemple dapplication
Capteur de niveau dessence
Dplacement dune pice mtallique

1 mm

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

3.9 Position par la mesure du champ 249


magntique (5)
Culture personnelle

3.9.3 Mesure du champ magntique (I)


Sondes Hall :
z

- - - - - - - - - - - -

VH

vx

w
Bz

+ + + + + + + + + + + +

Force de Lorentz :


F = qv B = e v x Bz j

A lquilibre F=0 :

Force lectrique rsultante :

VH
F = eE y j = e
j
w

VH
e v x Bz j = e
j
w
Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

3.9 Position par la mesure du champ 250


magntique (6)
Culture personnelle

3.9.3 Mesure du champ magntique (II)


Sondes Hall (suite) :

VH
e v x Bz j = e
j
w
J
v x =
qn

Or :

On trouve donc :

o :

VH = v x w Bz
J : densit de courant
q : charge des porteurs
n : densit des porteurs

VH = R H J w Bz

1
en h
RH =
1
en e

pour des trous


pour des lectrons

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

251

3.10 Capteurs inertiels (1)


3.10.1 Principe
Dans certains cas, pour dterminer en temps rel la position dun
objet, il faut mesurer les vitesses angulaires et les acclrations
subies :
t

i (t ) = i dt + 0
0

i ( t )=

ai dt + ai dt + i0
0

i = x, y ou z
Cest le cas de certains systmes embarqus comme des avions, voitures (de
luxe!), bateaux
Problme majeur : la drive temporelle. Cest systmes sont donc souvent aids
par la rception du signal GPS pour corriger les mesures (filtre de Kalman).

Les capteurs ncessaires sont des gyroscopes et des acclromtres


Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

252

3.10 Capteurs inertiels (2)


Culture personnelle

3.10.2 Gyroscopes mcaniques (I)


Conservation du moment cintique :
En labsence de force
extrieure, L est
conserv :

L = I

Ici, entrane une


modification de L (variation
de son orientation), do
lapparition dun moment de
force (couple) sur la toupie :

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar


=L

253

3.10 Capteurs inertiels (3)


Culture personnelle

3.10.2 Gyroscopes mcaniques (II)

Le moment de force entrane


lapparition dune force ce
niveau-ci de la toupie :


= rF

r
F

Ressort

Par lintermdiaire dun ressort,


on mesure cette force et ainsi :


I = r F

Puisquil ny a que des angles de 90 :

I = rF

rF
I

= KF

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

K : constante

254

3.10 Capteurs inertiels (4)


Culture personnelle

3.10.2 Gyroscopes mcaniques (III)


Ordres de grandeurs :
Vitesse de rotation de la toupie : 104 tr/min
Etendue de mesure : 7 /s 360 /s
Prcision : 2 3 %

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

255

3.10 Capteurs inertiels (5)


3.10.3 Gyroscopes optiques (I)
Quelques donnes :
Etat de lart (en 2000)
Bobine de fibre

Rsonateur

Laser fibre

Rsolution
1re gnration
2ime gnration
3ime gnration

100
/h
1
/h
0,01 /h
0,001 /h

10 /h
< 0,01 /h
?

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

<0,01/h
?
?

256

3.10 Capteurs inertiels (6)


Culture personnelle

3.10.3 Gyroscopes optiques (II)

Effet Sagnac, principe : Emission de lumire au points A et B


simultanment

t=0

A
t>0

B : d AB = + = + vt 1

A : d BA = = vt 2

t1 =

t2 =

n
c

n
c

+ t

n
c

n
c

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

d AB = + v

d BA = v

nv

= 1 +

c
c

nv

= 1

c
c

257

3.10 Capteurs inertiels (7)


Culture personnelle

3.10.3 Gyroscopes optiques (III)


Effet Sagnac, principe : (suite)

Diffrence de chemin : L = d AB d BA = 2 n
Replions maintenant le trajet :

v
c

Source dmission
de lumire

1
r

v = r
= 2n

r
c

La mesure de nous informe sur !


Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

= 2r

258

3.10 Capteurs inertiels (8)


3.10.3 Gyroscopes optiques (IV)
Comment mesurer ?
1 Interfrence 2 ondes : 2 faisceaux optiques cohrents
parcourant une diffrence de chemin vont interfrer entre eux :
I = I1 + I 2 + 2 I1I 2 cos( )

o :

4 nr
0c

Puissance

Etendue de mesure

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259

3.10 Capteurs inertiels (9)


3.10.3 Gyroscopes optiques (V)
Ralisation concrte : bobine de fibre optique
LASER

50:50

Dtecteur

Aviation

I1
I2

Automobile

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: 1 km
r : 10 cm

260

3.10 Capteurs inertiels (10)


3.10.3 Gyroscopes optiques (VI)
2 Interfrence ondes multiples : rsonateur
Cavit rsonante du
50/50
type Fabry-Prot
Dtecteur 2
LASER

50/50

x/100-x
x faible (qqs %)
50/50

: 10 m
r : 10 cm

Dtecteur 1

I = I 0 1
2
1 + M sin ( 2)

4nr
c

Etendue de mesure
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261

3.10 Capteurs inertiels (11)


3.10.3 Gyroscopes optiques (VII)
3 Battement optique : cavit laser
Dans une cavit circulaire, pour quil y ait rsonance, il faut quune
onde qui rencontre son point dmission soit en phase avec londe
mise ce point, alors :

sens de la
lumire

: frquence optique

Si on imagine un laser circulaire, pour que celui-ci lase, nous avons :

= 2

nr

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2 nr
0

262

3.10 Capteurs inertiels (12)


3.10.3 Gyroscopes optiques (VIII)
Ralisation concrte : le laser en anneau
Laser fibre

Miroir
LASER

x:100-x,
x petit

Tubes gaz

Miroir

50:50

Dtecteur

Lame
semi-rflchissante
Miroir

1
2 Dtecteur

Puissance

A cause du battement entre les deux faisceaux optiques,


le dtecteur voit un signal temporel de la forme :
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Temps

263

3.10 Capteurs inertiels (13)


3.10.4 Gyroscopes MEMS (I)
Une autre catgorie de gyroscope regroupe les ralisations sur
silicium : Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS).
Intrt : trs faible taille et bas-cot.
Moins performants que ceux utilisant les technologies optiques.
Principe physique : acclration ou force de Coriolis

r = rr

dr
dr
= vr r + r
r : vecteur unitaire radial
dt
dt

d 2r
2

(
)
a
r
v
r
rr
2

r
r
2
dt
acclration radiale

acclration centripte

acclration de Coriolis
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264

3.10 Capteurs inertiels (14)


3.10.4 Gyroscopes MEMS (II)
Le capteur :

Une masse sismique est soumise un mouvement vibratoire :


y

aCoriolis =
2vr ( r )

Mouvement
de la masse

Exemple de ralisation pratique :

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265

3.10 Capteurs inertiels (13)


3.10.5 Acclromtres : principe
Lacclration (a) est la drive seconde de la position dun mobile
par rapport au temps.
On mesure directement lacclration dun corps grce la relation :

F = ma
Stratgies de mesure :
Ainsi, une masse sismique va, sous leffet dune acclration :
- se dplacer (on mesure le dplacement ou la dformation
dun corps),
- produire une force que lon mesure directement.
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266

3.10 Capteurs inertiels (14)


3.10.6 Capteur dplacement de masse sismique (I)
Principe : un corps de masse connue est physiquement reli
lobjet dont on veut mesurer
lacclration.
Contraintes

Masse sismique
(a = 0)
Masse sismique
(a = 0)

Ce lien physique va transmettre une partie de la force que subit lobjet


la masse sismique sous la forme dune force de rappel. La masse
sismique va donc se dplacer par rapport sa position dquilibre. On
peut mesurer le dplacement ou les contraintes dans le lien physique.
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267

3.10 Capteurs inertiels (15)


3.10.6 Capteur dplacement de masse sismique (II)
Rappel : Lquation reliant le dplacement x de la masse
sismique par rapport au botier lacclration est donne
la section 1.7.2
Capteur capacitif dplacement transversal :
Capteur intgr sur Si :

C1
C2

Masse
sismique
d1
d2
Electrodes

Fonctionnement en push-pull
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268

3.10 Capteurs inertiels (16)


3.10.6 Capteur dplacement de masse sismique (III)
Capteur pizorsistif dplacement longitudinal :
La masse sismique se dplace paralllement sa surface,
ce qui permet de diminuer le frottement visqueux.
Version intgre
sur Si :

Jauges de contraintes

Contraintes

Dplacement de la masse

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269

3.10 Capteurs inertiels (17)


3.10.6 Capteur dplacement de masse sismique (III)
Ralisation concrte :

1 mm

Fabriquant :
Analog Device
(ADXL)

Masses sismiques

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270

3.10 Capteurs inertiels (18)


3.10.7 Capteur pizolectrique
La deuxime stratgie de mesure est de mesurer la force que va
exerce la masse sismique sur un lment pizolectrique :
On exerce une prcontrainte sur la cramique pizo-lectrique
pour effectuer la mesure dans les deux sens : Fy = m a + F0
prcontrainte
Masse
sismique
Cramique
pizolectrique
y

En circuit ouvert :

V = Ew

m
w

V=

P
0

w=

d yy w
0 A

Fy

x
(Pizo : voir section 2.11.1)
Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

271

3.10 Capteurs inertiels (19)


3.10.8 Sensibilit transversale
Une grandeur importante pour un acclromtre est la sensibilit
transversale. Idalement, un acclromtre ne doit donner une
rponse que pour une acclration selon un seul axe :
y
Grandeur perturbatrice :

x
V=0

V = V0

En pratique, un acclromtre ragit toujours un peu dans la seconde


situation. On exprime cette sensibilit non dsire par un rapport :
r = X g / g (Exemple : 0,05 g/g).

ax = 1 g

V = V0

Pierre Lematre-Auger, Grenoble INP-Esisar

ay

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