Vous êtes sur la page 1sur 18

Pizolectricit

La pizolectricit (du grec , pizein presser, ap- 1


puyer) est la proprit que possdent certains corps de
se polariser lectriquement sous laction dune contrainte
mcanique et rciproquement de se dformer lorsquon 1.1
leur applique un champ lectrique. Les deux eets
sont indissociables. Le premier est appel eet pizolectrique direct ; le second eet pizolectrique inverse. Cette proprit trouve un trs grand nombre dapplications dans lindustrie et la vie quotidienne. Une
application parmi les plus familires est lallume-gaz.
Dans un allume-gaz, la pression exerce produit une
tension lectrique qui se dcharge brutalement sous forme
dtincelles : c'est une application de leet direct. De
manire plus gnrale, leet direct peut tre mis prot dans la ralisation de capteurs (capteur de pression
etc.) tandis que leet inverse permet de raliser des
actionneurs de prcision (injecteurs commande pizolectrique en automobile, nanomanipulateur).

Aspects historiques
Travaux prcurseurs

Les matriaux pizolectriques sont trs nombreux. Le


plus connu est sans doute le quartz, toujours utilis aujourdhui dans les montres pour crer des impulsions
dhorloge. Mais ce sont des cramiques synthtiques, les
PZT qui sont le plus largement utilises aujourdhui dans
l'industrie. En 2010, le march des dispositifs pizolectriques est estim 14,8 milliards de dollars[1] .
Soulignons enn que leet pizolectrique inverse ne doit
pas tre confondu avec llectrostriction qui est un eet du Ren Just Hay
second ordre et existe dans tous les matriaux.
Au milieu du XVIIIe sicle, Carl von Linn et Franz Aepinus avaient tudi l'eet pyrolectrique, par lequel un
changement de temprature entrane une variation de la
polarisation lectrique d'un cristal. Le cristal type prsentant cet eet est alors la tourmaline : en chauant un
cristal de tourmaline, on fait apparatre sur ses deux faces
de l'lectricit. La nature de l'lectricit est dirente sur
une face et sur l'autre, vitreuse et rsineuse selon les termes
de l'poque (on parlerait aujourd'hui de charges positives
et ngatives).
En 1817, l'abb Ren Just Hay, qui a tudi en dtail
la pyrolectricit dans dirents minraux, dcrit la dcouverte de ce qu'il appelle alors l'lectricit de pression sur le spath dIslande : en comprimant un cristal entre les doigts, il est possible de faire apparatre
de l'lectricit sur les faces du cristal. Antoine Becquerel poursuit l'tude du phnomne, il identie plusieurs
autres minraux prsentant cette proprit et montrera
l'aide d'une balance de Coulomb que l'lectricit ainsi produite est dans une certaine gamme environ proportionnelle la pression exerce[2],[3] .

Illustration du comportement dune pastille pizolectrique : la


contrainte applique cre un signal lectrique.

2
Contrairement la pyrolectricit, Hay observe que c'est
le mme type d'lectricit qui est produite sur les deux
faces du cristal. Cela sut dire que le phnomne dcouvert par Hay n'est pas de la pizolectricit. Le spath
dIslande n'est d'ailleurs pas pizolectrique[4] . Quand ils
publieront leurs travaux sur le quartz, les Curie se dmarqueront des travaux de Hay, attribuant l'lectricit
de pression un eet de surface.

1 ASPECTS HISTORIQUES
l'anne suivante par Gabriel Lippmann sur la base de calculs thermodynamiques[6] , et immdiatement vrie par
les Curie[7] . C'est galement en 1881 que Wilhelm Hankel (de) suggre l'utilisation du terme pizolectricit du
grec piezin signiant presser, appuyer[8] .
La pizolectricit resta une curiosit de laboratoire pendant une trentaine d'annes ; elle donna surtout lieu des
travaux thoriques sur les structures cristallines prsentant cette proprit. Ces travaux aboutirent en 1910 la
publication par Woldemar Voigt du Lehrbuch der Kristallphysik qui donne les vingt classes cristallines pizolectriques, et dnit rigoureusement les constantes pizolectriques dans le formalisme de l'analyse tensorielle.

L'lectricit de pression de Hay aura t pendant une


cinquantaine d'annes une proprit parmi d'autres permettant de classer les minraux[5] . Mais le caractre incertain et dicilement reproductible de cet eet le fera
tomber dans l'oubli avec la dcouverte de la pizolectricit. Au dbut du XXe sicle, les manuels de minralo- D'un point de vue pratique, la pizolectricit ne fut utigie ne feront plus mention de l'lectricit de pression de lise que pour raliser quelques instruments de laboraHay.
toire. Les frres Curie feront construire ds 1885, un instrument de laboratoire utilisant ses proprits : la balance quartz pizolectrique[9] . Pierre et Marie Curie
1.2 Dcouverte de l'eet pizolectrique
l'utiliseront en 1900[10] , pour mesurer la radioactivit des
sels d'uranium, le radium et le polonium[Note 1],[11] .

1.3 Premires applications


La premire application de la pizolectricit fut le sonar
dvelopp par Paul Langevin et ses collaborateurs pendant la Premire Guerre mondiale. Ce sonar tait compos de lames de quartz colles entre deux plaques d'acier
et d'un hydrophone et permettait, par la mesure du temps
coul entre l'mission d'une onde acoustique et la rception de son cho, de calculer la distance l'objet[12] . Peu
de temps aprs, au dbut des annes 1920, le premier oscillateur quartz est mis au point par Walter Cady, ouvrant ainsi la voie au contrle de frquence[13] .
Le succs de ces projets suscita un grand intrt pour la
pizolectricit, relana les recherches et conduisit travers les annes qui suivirent au dveloppement de nouveaux dispositifs pour une large palette d'applications
dans la vie quotidienne, l'industrie et la recherche.
L'amlioration du phonographe ou le dveloppement du
rectomtre et du transducteur acoustique, largement
utilis pour les mesures de duret ou de viscosit, en sont
des exemples.
Pendant cette priode, les principaux matriaux utiliss sont le quartz, le sel de Seignette et le dihydrogne
Pierre Curie (photo) et son frre Jacques rent la premire d- phosphate de potassium KH2 PO4 . Or, sils peuvent tre
monstration exprimentale de l'eet pizolectrique.
utiliss, ces matriaux prsentent toutefois des inconvnients qui limitent la fois les applications possibles et
La premire dmonstration de l'eet pizolectrique di- l'laboration de thories de la pizolectricit.
rect est due Pierre et Jacques Curie en 1880. cette
poque, les deux frres, gs respectivement de 21 et 25
ans, sont tous deux prparateurs la facult des sciences 1.4 Dcouverte des oxydes ferrolectriques
de Paris. Combinant leurs connaissances de la pyrolectricit et de la structure cristalline, ils prdisent et vri- Au cours de la Seconde Guerre mondiale, la recherche
rent l'existence de la pizolectricit sur des cristaux de matriaux dilectriques plus performants amena difde quartz, de tourmaline, de topaze, de sucre et de sel frents groupes de recherche au Japon, aux tats-Unis et
de Rochelle. L'existence de l'eet inverse sera prdite en Russie dcouvrir les proprits pizolectriques de

2.1

Les oxydes ferrolectriques

cramiques de synthse composes d'oxydes structure


provskite : le titanate de baryum (BaTiO3 ) puis un peu
plus tard les titano-zirconate de plomb (PbZrTi-O3 ,
abrg en PZT). La mise au point de ces matriaux reprsente une tape dcisive dans le dveloppement des
dispositifs pizolectriques[14] . En eet, leurs proprits
sont globalement bien meilleures ; ils ont des coecients
pizolectriques de l'ordre de 100 fois suprieurs ceux
des cristaux naturels. Mais surtout, il est possible avec
ces cramiques synthtiques de jouer sur dirents paramtres de synthse et ainsi d'ajuster les proprits du
matriau pour une application prcise. En particulier, le
dopage par divers ions mtalliques permet de modier
considrablement leur constante dilectrique, leur duret, Maille cristalline d'un cristal de structure provskite : PbTiO
3
leur usinabilit, etc.
D'un point de vue thorique, ces matriaux constituent
galement les premiers ferrolectriques simples qui vont d'octadres lis par leurs sommets. Les anions oxygne
2permettre d'laborer et valider les modles microsco- O forment les sommets des octadres tandis que les cations B et A occupent respectivement leur centre et les
piques.
sites entre les octadres. Dans sa variante de plus haute
Un nouveau saut a t eectu au dbut des annes 1980
symtrie, la structure provskite est cubique et non pizoavec la synthse des cristaux de PZN-PT et PMN-PT qui
lectrique. Dans les variantes pizolectriques, les cations
prsentent les coecients pizolectriques les plus levs
A et B sont dcals par rapport au centre des polydres
connus ce jour.
d'oxygnes, ce qui cre un diple lectrique et confre au
crystal son caractre ferro- et pizolectrique. De nombreux ferrolectriques modles appartiennent cette fa1.5 Sujets de recherche
mille : le titanate de plomb PbTiO3 , le titanate de baryum
BaTiO3 , le niobate de potassium KNbO3 , le ferrite de
Aujourd'hui, les recherches sur les matriaux pizolecbismuth BiFeO3 .
triques portent notamment sur la comprhension prcise
de ces proprits exceptionnelles, leur optimisation, ain- C'est cette famille qu'appartient aussi le plus couramsi que sur le dveloppement de matriaux sans plomb ou ment utilis des matriaux pizolectriques, le titanode matriaux utilisables dans une plus large gamme de zirconate de plomb (Pb(ZrxTi1-x)O3 abrg en PZT).
tempratures. L'optimisation de ces matriaux est aus- Il sagit d'une solution solide dans laquelle les sites B
si un enjeu cl pour la recherche, par exemple les solu- sont occups de manire alatoire par des ions titane
tions solides entre dirents composs (GaPO4 /FePO4 et zirconium. Les proprits dilectriques et pizolecou SiO2 /GeO2 ...) permettant une croissance cristalline de triques sont maximales autour d'une concentration de titane d'environ x = 52%, une rgion du diagramme de
matriau dop sur un germe cristallin bas cot.
phases composition-temprature appele zone morphotropique qui spare les zones de stabilit de structures
cristallines direntes. Cette comptition entre deux
2 Matriaux pizolectriques
structures cristallines est un lment fondamental permettant d'expliquer les excellentes proprits du PZT, mme
Les matriaux naturels ou de synthse prsentant des pro- si les dtails des mcanismes en jeu sont encore parfois
prits pizolectriques sont trs nombreux ; il est impos- dbattus au sein de la communaut scientique.
sible d'en faire un inventaire exhaustif. On peut les classer
en grandes familles selon leur composition chimique, leur Ce schma gnral se retrouve galement dans le cas des
structure cristallographique ou leur intrt scientique ou solutions solides entre un ferrolectrique relaxeur et un
ferrolectrique classique, comme les Pb(Zn/Nb/)industriel.
xTixO3 , Pb(Mg/Nb/)-xTixO3 , Pb(Sc/Nb/)xTixO3 (abrgs en PZN-xPT, PMN-xPT et PSN-xPT
respectivement). La composition optimale varie selon
2.1 Les oxydes ferrolectriques
les cas. C'est dans des monocristaux de ce type que les
coecients pizolectriques les plus levs sont obtenus.
2.1.1 La structure provskite
Des solutions dites ternaires avec des compositions
Les matriaux ferrolectriques de structure provskite chimiques plus compliques ont galement t explores,
occupent une large place dans la palette des oxydes telles que la famille des PMN-PIN-PT.
pizolectriques. Ils ont pour formule gnrale ABO3 . Les oxydes sans plomb de structure provskite comLa structure peut tre dcrite comme un empilement prennent direntes familles de composs. Sur le modle

2 MATRIAUX PIZOLECTRIQUES

des cristaux au plomb, la famille des (Na.Bi.)TiO3 BaTiO3 , solution solide entre le ferrolectrique relaxeur
(Na.Bi.)TiO3 et le ferrolectrique classique BaTiO3 ,
est une de celles prsentant les meilleures performances.
2.1.2

La structure tungstne-bronze

rolectriques avec des tempratures de Curie de 1 210 C


et 660 C respectivement. Ils ont une structure proche de
la maille ilmnite de symtrie 3m ; ils n'en dirent que
par la suite des cations selon leur axe de polarisation (LiNb-*-Li-Nb-* contre Fe-Ti-*-Ti-Fe-* pour l'ilmnite, o
* dsigne un site vacant). Ils sont particulirement utiliss
sous forme de monocristaux dans les dispositifs ondes
acoustiques de surface[17] .

2.2 Le quartz et les oxydes non ferrolectriques


Le quartz (SiO2 ) est un matriau pizolectrique important de par son rle dans l'histoire de la pizolectricit ainsi que par ses applications. On peut lui associer dirents isotypes du quartz, GeO2 mais galement des phosphates et arsniates : (GaPO4 , GaAsO4 ,
AlPO4 , FePO4 etc.) dont la maille est double par rapport
SiO2 . Leur eet pizolectrique est li aux dformations de ttradres MO4 qui composent leur structure<ref
name=Krempl2007">(en) P.W. Krempl, Piezoelectricity in quartz analogues , J. Phys. IV France, vol. 126,
2005, p. 95-100 (DOI 10.1051/jp4:2005126020)</ref>.
Les cristaux de structure langasites (dont le langasite de
composition La3 Ga5 SiO14 ) peut galement tre class
dans la mme famille.
Structure cristalline du mtaniobate de plomb PbNb2 O6 . Gris :
Pb, vert : Nb, rouge : O. Les atomes de plomb bicolores gris/blanc
indiquent un nombre d'occupation de 0,5.

Contrairement la famille prcdente, ces composs ne


sont pas ferrolectriques. Ils ont en gnral des coefcients pizolectriques et des couplages lectromcaniques plus faibles que les oxydes ferrolectriques. Mais
La structure tungstne-bronze tire son nom du compos ils ont d'autres avantages. Le quartz notamment prsente
modle KWO3 , et se retrouve dans dirents composs une combinaison unique de proprits remarquables[18] :
de formule gnrale AB2 O6 . Comme la provskite, on
peut la dcrire comme un rseau d'octadres d'oxygnes
Il est pizolectrique.
lis par leurs sommets, mais de manire plus complexe,
de sorte que ce rseau dnit entre les octahdres trois
On peut trouver des orientations cristallographiques
types de sites cristallographiques dirents[15] .
qui minimisent la dilatation thermique.
La famille des tungstne-bronze contient notamment
les mtaniobates de plomb, dont le compos type est
Il a de trs faibles pertes mcaniques, ou en d'autres
PbNb2 O6 . Le prxe meta fait ici allusion au fait
termes un excellent facteur de qualit mcanique.
que la structure ferrolectrique de PbNb2 O6 n'est que
mtastable conditions ambiantes. La fabrication de ces
Il est trs stable (en temprature, pression etc.). Il
matriaux est donc plus complique que les matriaux
a galement une trs faible solubilit dans la pluprovskites, puisqu'elle suppose de stabiliser cette phase
part des solvants dans des conditions ordinaires,
ferrolectrique d'intrt, et non pas la phase thermodyl'exception des solvants uors.
namiquement plus stable mais non pizolectrique. En
Il est facile usiner. Le quartz est dur, mais peu cascontrepartie, les matriaux de cette famille ont en gnsant.
ral des tempratures de Curie beaucoup plus leves que
la plupart des provskites, et peuvent tre utiliss jusqu'
Il est facilement intgrable dans des dispositifs de
des tempratures proches de leur transition sans dpola[16]
micro- ou nanolectronique.
risation signicative .
2.1.3

La structure ilmnite

Le niobate de lithium LiNbO3 et le tantalate de lithium


LiTaO3 forment une famille part. Ils sont tous deux fer-

Il est naturellement abondant, et peut tre fabriqu


un cot modeste avec une trs bonne qualit. Parmi
les monocristaux de synthse, le quartz arrive second
en quantit produite (3 000 tonnes par an en 2000),
derrire le silicium.

2.5

2.3

Les sels

Les semi-conducteurs

Les proprits pizolectriques de ces polymres dpendent troitement de leur conformation. Pour stabiliser
Les semi-conducteurs des groupes III-V de structure le polymre sous une forme dsire, il est ncessaire de le
zinc-blende et II-VI de structure wurtzite sont gale- soumettre un procd de polarisation, comme dans les
ment pizolectriques[19] . Parmi les matriaux modles, cramiques.
on peut citer :
Compars aux oxydes, les coecients pizolectriques et

L'eet pizolectrique est notamment exploit dans


les ltres onde de volume sur couche mince (en)
(ltres FBAR)[20] . De plus, l'eet pizolectrique joue
un rle important dans la comprhension des diverses
proprits de ces matriaux, particulirement dans les
nanostructures[21] .

les couplages lectromcaniques de ces polymres restent modestes : 12 15 % pour le PVDF et jusqu' 30
% pour le copolymre P(VDF-TrFE). Ils prsentent de
plus des pertes dilectriques leves[23] . En revanche, ils
prsentent d'autres proprits qui les rendent trs utiles :
impdance acoustique plus faible, faible permittivit dilectrique, faible conductivit thermique. De plus, ils sont
exibles et on peut les fabriquer sur de grandes surfaces
des cots modrs. Ils sont utiliss en couche mince
de 6 25 microns pour la ralisation de transducteurs,
d'hydrophones, de dtecteurs etc.

2.4

2.5 Les sels

le nitrure d'aluminium (AlN)


l'oxyde de zinc (ZnO)

Les polymres

Les sels pizolectriques ont eu leur importance dans


l'histoire de la recherche sur la pizo- et la ferrolectricit,
surtout dans la priode qui a prcd la dcouverte des
provskites, mais leurs utilisations pratiques restent anecdotiques. Les plus signicatifs sont le sel de Rochelle, la
famille du phosphate de monopotassium KH2 PO4 (abrg en KDP) et celle du sulfate de triglycine (abrg en
TGS). Ils sont ferrolectriques, mais avec des proprits et des mcanismes trs dirents des oxydes dcrits
prcdemment[24] .

Structure du PVDF dans deux conformations direntes. Les


sphres jaunes reprsentent les atomes de uor. Dans les deux
cas, le polymre possde une polarisation lectrique ; elle est aligne avec l'axe de la molcule dans la conformation dite tg+ tg(gauche), et perpendiculaire l'axe dans la conformation alltrans (droite).

L'tude des eets pizolectriques dans des polymres


naturels d'origine biologique (cellulose, collagne etc.) remonte aux annes 1950[22] . La mise en vidence de l'eet
pizolectrique dans un polymre de synthse, le polyvinylidine diuoride (PVDF) (-CH2 -CF2 -) polaris, a t
publie en 1969 et a suscit un engouement pour ce thme
de recherche. Dans l'industrie, ce sont essentiellement le
PVDF et ses drivs qui sont couramment utiliss<ref
name=lang2006">(en) S.B. Lang and S. Muensit, Review of some lesser-known applications of piezoelectric
and pyroelectric polymers , Applied Physics A : Materials Science & Processing, vol. 85, 2006, p. 125-134 (DOI
10.1007/s00339-006-3688-8)</ref>.

Le sel de Rochelle, de formule chimique


NaKC4 H4 O6 .4H2 O, est surtout connu comme le
premier matriau dont le caractre ferrolectrique
a t dmontr exprimentalement par une courbe
d'hystresis par Valasek en 1921[25] . Il a t utilis pour
ses proprits pizolectriques dans les gramophones,
avant d'tre remplac par d'autres matriaux en raison de
sa solubilit et de sa mauvaise tenue mcanique.
Le phosphate de monopotassium KH2 PO4 (KDP) prsente une transition de phase ferrolectrique basse temprature 150C), mais sa phase paralectrique temprature ambiante est dj pizolectrique (groupe ponctuel
42m).

3 Mise en forme et procds


3.1 Cramiques
C'est sous forme de cramique que les matriaux pizolectriques sont les plus souvent fabriqus et utiliss.
On parle parfois de pizocramiques. Une cramique
est compose de grains souds entre eux par frittage. Les
grains sont orients statistiquement dans toutes les directions et leur taille peut tre contrle par les conditions

3 MISE EN FORME ET PROCDS

de fabrication. Si l'on parvient donner aux grains de la


cramique une orientation prfrentielle, on obtient alors
une cramique dite texture dont les proprits sont en gnral intermdiaires entre celles d'une cramique et celles
d'un monocristal de mme composition.

la composition chimique
l'orientation cristallographique

Dans la mesure o les grains sont orients de manire


la structure en domaines ferrolectriques
alatoire, une cramique aprs frittage n'est pas pizolectrique car les contributions individuelles des grains
se compensent. Pour obtenir un comportement pizolectrique l'chelle macroscopique, il faut passer par un procd dit de polarisation qui consiste appliquer un fort 3.3 Composites
champ lectrique, suprieur au champ coercitif du matriau, pour orienter les diples lectriques selon une direction privilgie. Porter l'chantillon hautes tempratures facilite le procd.
Parmi les cramiques pizolectriques, on distingue habituellement deux familles selon leurs proprits physiques : les pizocramiques dures et douces [26] .
Les termes sont emprunts au magntisme, o l'on classe
de la mme manire les matriaux ferromagntiques en
durs et doux. Cette classication dnit dans les grandes
lignes leurs caractristiques et les gammes d'applications
associes. Ainsi, les pizocramiques douces sont plus indiques pour les applications ncessitant de bonnes performances (grandes dformations, forts coecients de
couplage) mais en conditions ordinaires, tandis que les
pizocramiques dures, bien que prsentant des performances moindres, pourront utilises dans des conditions
de hautes tempratures, fortes puissances etc. Le tableau
ci-dessous rcapitule les proprits des deux familles.

3.2

Monocristaux

Un monocristal est un arrangement rgulier et priodique


d'atomes[27] . C'est sous cette forme que se prsentent les
matriaux pizolectriques naturels comme le quartz ou la
tourmaline, et c'est galement sous cette forme qu'ils ont
t utiliss dans les applications de premire gnration
avant la mise au point des cramiques.

Schma de pizocomposites 1-3 et 2-2.

Un composite pizolectrique (ou pizocomposite) est


form de deux constituants galement appels phases :
une phase pizolectrique (souvent une cramique de
PZT) et une phase non pizolectrique (typiquement une
rsine poxy). Un composite est dni par l'arrangement
gomtrique entre les deux phases. Les plus courants sont
composs de btonnets de pizocramique plongs dans
la rsine (composites nots 1-3) ou de couches empiles
(composites nots 2-2). Les notations 1-3 et 2-2 font rfrence la connectivit de chacune des deux phases[28] .
En jouant sur la connectivit et les fractions volumiques
des deux phases, il est ainsi possible d'ajuster de manire
quasi-continue les proprits pizolectriques et mcaniques de l'ensemble. En particulier, les composites ont
montr leur intrt par rapport aux cramiques conventionnelles dans le domaine des transducteurs acoustiques
hautes frquences pour l'imagerie : leur meilleur coefcient de couplage lectromcanique et leur impdance
acoustique plus adapte permettent d'amliorer la rsolution des images[23],[29] .

Les cristaux ferrolectriques peuvent possder une structure en domaines. On distinguera alors les monocristaux monodomaines et polydomaines selon qu'une ou plusieurs directions de polarisation coexistent dans le cristal.
3.4 Couches minces
Dans une description cristallographique, les cristaux polydomaines ne sont pas rigoureusement des monocristaux
mais des cristaux macls ; l'usage est cependant de conti- La pizolectricit est une proprit la base des
microsystmes lectromcaniques (MEMS) comme les
nuer parler de monocristal.
micromoteurs, les microvalves, les acclromtres ou les
Les coecients pizolectriques les plus levs connus membranes. Les avantages des couches minces pizolec ce jour sont obtenus pour des monocristaux polydo- triques sont notamment leur faible puissance de fonctionmaines. Dans la pratique, ils prsentent des inconvnients nement, l'importance des forces produites et les larges
qui limitent leur utilisation dans beaucoup de dispositifs : gammes de frquences d'utilisation. Les couches sont en
cot, disponibilit, etc.
gnral fabriques par un procd sol-gel et ont une paisL'optimisation des proprits d'un monocristal pizolec- seur comprise typiquement entre 0,5 et 5 microns. Le matriau le plus utilis est l aussi le PZT.
trique peut se faire en jouant sur :

Pizolectricit et symtries de la 5 Thermodynamique, coecients


et tenseurs pizolectriques
structure cristalline

L'existence de la pizolectricit dans un cristal est lie


aux symtries de la structure cristalline. En particulier,
un cristal ne peut pas tre pizolectrique si sa structure
possde un centre de symtrie (structure dite centrosymtrique).
De manire gnrale, on classe les cristaux suivant
leurs symtries en 230 groupes d'espace regroups en
32 classes cristallines. Il existe 21 classes non centrosymtriques, dont 20 sont pizolectriques. Parmi ces
classes pizolectriques, 10 possdent une polarisation
lectrique spontane et sont dites polaires. Leur polarisation spontane varie avec la temprature, ces cristaux sont
donc pyrolectriques. Parmi les cristaux pyrolectriques
enn, certains sont dits ferrolectriques et se caractrisent
par le fait qu'il est possible de renverser leur polarisation
lectrique permanente en appliquant un fort champ lectrique dans le sens oppos.

Dans ce qui suit, on utilisera les notations standard[33] . On


notera notamment :
la temprature et l'entropie,
Tij et Sij le tenseur des contraintes et le tenseur des
dformations respectivement,
Ei et Di le champ lectrique et le dplacement lectrique respectivement.
De plus, on adopte la convention de sommation
d'Einstein.

5.1 Approche thermodynamique

Dans une approche thermodynamique, la pizolectricit


est un cas particulier de phnomne de couplage
: le
couplage entre les phnomnes lastiques et dilectriques
L'absence de centre de symtrie dans une structure sex- d'un systme.
plique parfois de manire naturelle par la gomtrie. Dans
Selon les postulats de thermodynamique, on peut caracle quartz par exemple, la disposition des ions positifs
triser entirement le systme l'quilibre par la donet ngatifs conduit naturellement la cration d'un dine de variables extensives. Il sagit ici de l'entropie, de
ple lectrique lorsque la structure est dforme par une
la dformation et de la polarisation du systme. Ces trois
contrainte non hydrostatique. De mme, dans les polygrandeurs sont les variables d'un potentiel thermodynamres PVDF, la symtrie est naturellement rompue par la
mique dont les caractristiques du systme se dduisent
substitution de deux atomes d'hydrogne par deux atomes
par drivations successives. Les autres potentiels thermode uor, beaucoup plus lectrongatifs, qui attirent eux
dynamiques, fonctions de variables intensives, sont obteles charges lectroniques ngatives.
nus du premier par transformation de Legendre. Une prDans d'autres cas, notamment les ferrolectriques, la bri- sentation des dirents potentiels peut tre trouve dans
sure de symtrie met en jeu des phnomnes plus com- dirents ouvrages[34],[35] .
plexes. C'est notamment le cas des ferrolectriques moDans ce qui suit, on partira de l'nergie libre de Gibbs[36]
dles qui possdent hautes tempratures une strucqui est uniquement fonction des grandeurs intensives : la
ture cristalline centrosymtrique, non pizolectrique.
temprature , le champ lectrique Ei et les contraintes
basses tempratures, la structure de haute symtrie deTjk . Elle est donne par[37]
vient instable et le cristal bascule dans une phase de plus
basse symtrie. L'nergie d'interaction entre diples devient prpondrante et favorise le dcalage des ions en
dehors de leur position de haute symtrie, et l'apparition G(, E, T ) = U Tij Sij Ek Dk
d'un ordre ferrolectrique longue porte.
U est l'nergie interne du systme, fonction de l'entropie
Certains lments purs cristallisent galement dans des , de la dformation S et du dplacement lectrique D
structures non centrosymtriques ; c'est le cas du tellure . La prise en compte de la temprature n'est pas stricet du slnium[30] . La brisure de symtrie sexplique dans to sensu indispensable la description thermodynamique
ce cas par une distorsion de Peierls : les lectrons sont de la pizolectricit : les couplages thermiques tant
localiss en liaisons covalentes de manire dissymtrique faibles[38] , il n'est gnralement pas fait de distinction
autour des atomes.
entre les constantes pizolectriques isothermes et adiaLa symtrie peut galement tre brise en moyenne seule- batiques.
ment une chelle de longueur plus grande que celle de Les constantes pizolectriques se dduisent du potentiel
la maille cristalline. Ainsi, le silicium n'est pas pizolec- thermodynamique par drive seconde :
trique, mais un eet pizolectrique a t mis en vidence
dans le silicium poreux[31] . De mme, un eet pizolec)
(
trique peut tre provoqu par un couplage entre la polari2G
dijk =
sation et un gradient de dformation (exolectricit)[32] .
Ei Tjk

L'ordre dans lequel on eectue les deux drivations est


indirent (c'est le thorme de Schwarz). Selon l'ordre
choisi, on fait apparatre deux expressions direntes correspondant aux deux manifestations de l'eet pizolectrique :
(
dijk =

Di
Tjk

(
=

E,

Sjk
Ei

THORIES ET MODLISATIONS

dformations : puisque Sij = Sji , on a galement dkij =


dkji .
Dans le cas le plus gnral, il faut 18 coecients indpendants pour caractriser compltement les proprits
pizolectriques d'un matriau. Ce nombre est rduit si la
structure cristalline du matriau prsente des symtries
particulires : il n'en faut plus que 4 dans le quartz et 3
dans le titanate de baryum BaTiO3 .

T,

La premire expression rete la variation de polarisation induite par l'application d'une contrainte : c'est l'eet
5.3 Coecients de couplage lectromcapizolectrique direct. La seconde indique qu'un champ
nique
lectrique cre une dformation : c'est l'eet inverse. Ces
deux eets sont donc indissociables, et les coecients
associs sont gaux. Dans le systme international, on Article dtaill : Coecient de couplage lectromcales exprime en mtres par volt m/V ou en coulombs par nique.
newton C/N.
L'intgration de ces relations conduit aux quations Les coecients de couplage lectromcanique sont gnconstitutives de la pizolectricit. Avec ce choix de po- ralement nots kij . Ils sont compris en 0 et 1 et peuvent
tre vus comme une sorte de rendement : ils traduisent
tentiel thermodynamique, celles-ci scrivent :
la facult d'un matriau pizolectrique transformer
l'nergie mcanique qu'il reoit en nergie lectrique et
{
inversement[39] . Il sagit d'une caractristique essentielle
Sij = sE
T
+
d
E
kl
ijk
k
ijkl
T
d'un matriau dans la conception de dirents disposiDi = dikl Tkl + ij Ej
tifs ; il est notamment reli trs directement la bande
Une convention de notation appele notation de Voigt passante des transducteurs acoustiques.
permet de contracter les indices et de reprsenter les
proprits lectromcaniques sous forme d'une matrice
carre. Les quations constitutives scrivent alors sous
forme matricielle :
5.4 Coecients pizolectriques com-

plexes
[

S
Di

[
=

sE

di

dj
Tij

][

T
Ej

]
On utilise habituellement les nombres complexes pour
rendre compte des phnomnes de dissipation causs
par les dfauts du milieu. Ainsi, une permittivit complexe permet de reprsenter les pertes dilectriques
d'un milieu, i.e. une faible conductivit. De mme, des
constantes lastiques complexes permettent de reprsenter des pertes mcaniques responsables de l'attnuation
des ondes acoustiques.

D'autres choix de potentiels thermodynamiques (et donc


de variables indpendantes) sont possibles ; il existe donc
quatre jeux d'quations constitutives. La reprsentation
pertinente dpend en gnral des conditions aux limites
du problme considr. Les coecients pizolectriques
sont alors nots selon les cas e , g ou h . Ces direntes
formes des quations de la pizolectricit sont donnes Dans le mme esprit, des coecients pizolectriques
complexes sont parfois utiliss par certains auteurs. Dans
dans la norme ANSI/IEEE[33] .
bien des cas nanmoins, il est possible de se limiter
des coecients pizolectriques rels associs des
5.2 Tenseur pizolectrique
constantes dilectriques et lastiques complexes.
Article dtaill : Tenseur pizolectrique.
On reprsente donc la pizolectricit par un tenseur
d'ordre 3, par exemple

6 Thories et modlisations
6.1 Modles atomistiques

Sij = dkij Ek

Cette section est vide, insusamment dtaille ou


Le tenseur pizolectrique a des proprits de symtrie incomplte. Votre aide est la bienvenue !
qui dcoulent directement de la symtrie du tenseur des

6.2

Thories thermodynamiques

par la multiplicit des chelles de longueurs prendre


en compte. Sa rsolution ncessite l'adoption d'un cerCette section est vide, insusamment dtaille ou tain nombre d'hypothses simplicatrices. En mcaincomplte. Votre aide est la bienvenue !
nique, pour les matriaux purement lastiques (non pizolectrique), ce problme est du domaine de la thorie
des milieux eectifs pour laquelle plusieurs mthodes
d'homognisation ont t dveloppes. Les mthodes
6.3 Calculs ab initio
classiques (problme d'Eshelby, approximations de Voigt
et Reuss) peuvent tre tendues aux cas pizolectriques,
Les mthodes ab initio visent calculer les proprits d'un mais ne peuvent pas prendre en compte certains eets
matriau partir de la seule connaissance de sa compo- aux interfaces, notamment la mobilit des parois de dosition chimique, en rsolvant l'quation de Schrdinger maines.
au moyen d'approximations judicieusement choisies. ApLes mthodes de calcul par lments nis, utilises coupliques l'tude des matriaux fonctionnels en gnral
ramment par ailleurs dans la conception des dispositifs
et des ferro- et pizolectriques en particulier, ces mpizolectriques, peinent prendre en compte toutes les
thodes permettent d'expliquer les phnomnes l'chelle
chelles de longueurs ncessaires dans le cas de matriaux
atomique, mais aussi d'aider la conception de matriaux
htrognes dsordonns. Des mthodes par lments rpondant des spcications donnes.
nis multi-chelles ont cependant t proposes.
Dans le cas des pizolectriques, la plupart de ces calculs
On utilise galement des mthodes inspires des msont raliss dans le cadre de la thorie de la fonctionthodes utilises pour les matriaux composites. Il est ainsi
nelle de la densit (DFT) dans l'approximation de la denpossible de trouver des solutions exactes au problme des
sit locale (LDA)[40] . Ces calculs ont longtemps but sur
structures lamellaires, particulirement pertinentes dans
plusieurs dicults spciques aux matriaux ferrolecle cas des ferrolectriques[43] .
triques. En eet, les approximations classiquement utilises dans les calculs ab initio sont connues pour introduire
des biais qui peuvent fausser l'estimation des volumes.
Dans la plupart des matriaux, ces erreurs de quelques 7 Ondes acoustiques dans les mipourcents sont insigniantes, mais pas dans les ferroleclieux pizolectriques
triques, extrmement sensibles aux variations de volume
(ou aux eets de la pression)[40] .
La question de la propagation des ondes lastiques
Les premiers calculs ab initio de coecients pizolecdans les milieux pizolectriques est particulirement
triques ont t publis en 1989[41] et ont montr que ces
importante dans la mesure o un trs grand nombre
thories permettaient de prdire l'apparition de la ferrod'applications de la pizolectricit en tirent parti.
lectricit.
Dans un pizolectrique, les proprits lectriques et lastiques tant couples, il est en principe ncessaire de
6.4 Modlisation des matriaux htro- rsoudre le problme en considrant conjointement les
quations de l'lasticit et les quations de Maxwell. Le
gnes
traitement de problme complet est parfois appel piDans la pratique, les matriaux pizolectriques sont bien zolectromagntisme [44] .
souvent des matriaux htrognes (cramiques, compo- Dans la pratique, les ondes acoustiques que l'on consisites, monocristaux ferrolectriques polydomaines). La dre ont des frquences infrieures de plusieurs ordres
comprhension des proprits macroscopiques eectives de grandeurs celles des ondes lectromagntiques. On
passe par la comprhension du rle exact de ces multiples se contente donc d'une approximation quasi statique en
interfaces prsentes dans le matriau. On introduit alors compltant les quations classiques de l'lasticit par les
une distinction entre les contributions intrinsque et ex- quations de l'lectrostatique. On nglige ainsi le rle du
trinsque l'eet pizolectrique. La contribution intrin- champ magntique.
sque dsigne l'eet pizolectrique du matriau considr comme homogne ; les contributions extrinsques sont
toutes les contributions dues aux interfaces prsentes dans 7.1 Ondes de volumes
la microstructure.
Les contributions extrinsques sont particulirement im- Dans un solide pizolectrique, la propagation d'une onde
portantes pour les applications : elles sont l'origine lastique de vecteur d'onde n est rgie par une quation
de non-linarits, de dispersion, de vieillissement qui aux valeurs propres appele quation de Christoel[45] :
peuvent tre autant de problmes pour la conception et
l'utilisation de dispositifs pizolectriques[42] .
Le problme gnral est rendu particulirement ardu ik uk = V 2 ui

10

CARACTRISATIONS DES MATRIAUX PIZOLECTRIQUES

o les ui sont les composantes du dplacement, est


la masse volumique du solide et ik est la matrice de
Christoel[45]

8 Caractrisations des matriaux


pizolectriques

On entend par caractrisation d'un matriau la dtermination d'un certain nombre de ses paramtres permettant
ik
d'valuer sa qualit et son adaptation une application
donne. On caractrise un matriau pizolectrique en
An de retrouver une forme analogue au cas purement mesurant notamment ses proprits lectromcaniques,
ses coecients de couplage lectromcanique ou son faclastique, on peut l'crire :
teur de qualit mcanique selon l'application vise.
(
)
euij evkl nu nv
E
nj nl
= cijkl +
Srs nr ns

ik = cijkl nj nl

8.1 Mthode de rsonance-antirsonance

o les constantes c sont appeles constantes lastiques


durcies . Il faut toutefois prendre garde que ces Article dtaill : Mthode de rsonance-antirsonance.
[46]
constantes ne sont pas comparables de vraies constantes Cette mthode, parfois appele Mthode IRE , est la
lastiques car elles dpendent de la direction de propagation considre[45] .
La rsolution de l'quation de Christoel conduit trois
valeurs propres relles et positives correspondant aux vitesses de propagation de trois ondes. On les obtient en
rsolvant

|ik V 2 ik | = 0
Les vecteurs propres correspondants donnent la polarisation des ondes. Celle des trois ondes dont la polarisation
est la plus proche de la direction de propagation est dite
quasi longitudinale et les deux autres quasi transverse.
Dans certains cas particuliers, en gnral le long de divolution de l'impdance (module et phase) d'un rsonateur pirections de haute symtrie, on peut avoir des ondes purezolectrique au voisinage de la rsonance. Sur cet exemple, la
ment longitudinale (onde de compression) ou purement valeur de l'impdance varie sur 4 ordres de grandeurs.
transverse (onde de cisaillement).

7.2

Ondes de surfaces

Le problme des ondes de surface est pos en ajoutant


aux quations donnes prcdemment les conditions aux
limites mcaniques et lectriques caractristiques d'une
surface libre : contrainte nulle et continuit de la composante normale de l'induction lectrique. On aboutit ainsi
plusieurs types d'onde pouvant se propager en surface :

mthode standard de caractrisation des cramiques pizolectriques. En mesurant l'impdance complexe de diffrents chantillons de formes et de dimensions direntes en fonction de la frquence, on remonte aux diffrentes caractristiques du matriau : proprits lectromcaniques, coecients de couplage, facteurs de qualits
mcanique. La procdure est normalise dans la norme
de l'IEEE[33] et dcrite au moins partiellement dans les
ouvrages de rfrence[47],[48] .

En pratique, on taille plusieurs chantillons de manire


isoler un mode propre de vibration particulier, c'est- les ondes de Rayleigh
dire rejeter les autres modes propres des frquences
beaucoup plus hautes ou beaucoup plus basses. Au voi les ondes de Bleustein-Gulyaev
sinage de la frquence de ce mode propre, le spectre
les ondes de Love
d'impdance de l'chantillon prsente un minimum et un
maximum des frquences dites de rsonance et d'anti les ondes de Lamb
rsonance. Ces deux frquences permettent directement
de calculer une constante lastique et un coecient de
Dans la pratique, les ondes de surface dans les matriaux couplage lectromcanique. En mesurant indpendampizolectriques sont exploites dans les ltres dits SAW ment (en gnral basses frquences) la constante dilec(pour surface acoustic wave). Elles sont alors cres et trique des chantillons, on peut ensuite calculer un coedtectes au moyen d'lectrodes interdigites.
cient pizolectrique. En eectuant cette opration pour

8.4

Mesures sur couches minces

11

plusieurs modes propres de vibration, on peut ainsi dter- l'mission de l'onde et son cho permet de mesurer sa viminer toutes les proprits du matriau.
tesse et de l de calculer les constantes lastiques durLe tableau suivant prsente trois exemples de modes de cies . Cette mthode, comme la suivante, ncessite une
vibrations utiliss pour la dtermination de quelques co- mesure indpendante des constantes dilectriques du maecients de couplage, coecients pizolectriques et triau.
compliances lastiques d'une cramique ou d'un monocristal pizolectrique. Dans ce tableau, fM et fm dsignent les frquences o l'impdance est maximale et minimale respectivement[49] , L , e et sont la longueur,
l'paisseur et la masse volumique de l'chantillon. La
che donne la direction de polarisation de l'chantillon ;
les lectrodes sont reprsentes par les zones hachures.

La spectroscopie de rsonance acoustique consiste remonter aux proprits lectromcaniques d'un matriau
partir des frquences propres de vibration d'un objet.
C'est une mthode utilise couramment en mcanique.
Son utilisation pour les matriaux pizolectriques est
plus dlicate car le nombre de paramtres dterminer
est plus grand.

8.2

8.4 Mesures sur couches minces

Mthode de Berlincourt

Article dtaill : Mthode de Berlincourt.


La mthode de Berlincourt, nomme d'aprs le physicien Don Berlincourt, est une mesure de l'eet pizolectrique direct. L'chantillon mesurer est coinc entre
deux pices mtalliques et soumis une contrainte cyclique. Un condensateur est connect en parallle, de
sorte que le courant produit par l'eet pizolectrique
vient charger le condensateur. Une mesure de la tension
aux bornes du condensateur permet de calculer la charge
totale et de remonter au coecient pizolectrique d33
. L'amplitude de la contrainte applique est mesure selon un principe analogue, l'aide d'un lment pizolectrique connu plac en srie avec l'chantillon.
Cette mthode est rapide, facile mettre en uvre et relativement peu onreuse. Contrairement la mthode prcdente, elle permet d'obtenir le signe du coecient pizolectrique d33 . Divers appareils sont disponibles dans
le commerce. Les modles les plus labors permettent
d'tudier les non-linarits en faisant varier la frquence
ou l'amplitude de la contrainte applique.
Les limites de cette technique tiennent la dicult de
produire dans l'chantillon une contrainte parfaitement
homogne. La forme des contacts est importante : un
contact en pointe aura tendance crer des contraintes
inhomognes[50] tandis qu'un contact plat tendra crer
des contraintes latrales cause des eets de frictions et
fera baisser la valeur mesure[51] . Par ailleurs, il n'existe
pas de norme sur la procdure exacte de mesure, aussi les
rsultats peuvent-ils prsenter des variations d'un laboratoire l'autre[52] .

8.3

Les mthodes de mesures sur couches minces doivent tenir compte de la prsence du substrat sadapter aux signaux trs faibles des couches[53] . Les coecients pizolectriques mesurs sur les couches minces sont plus
faibles que ceux du matriau massif cause de l'eet du
substrat[54] .
La vibromtrie laser permet de mesurer directement un
dplacement en fonction d'un champ lectrique appliqu.
Il est possible d'en dduire un coecient pizolectrique.
Elle permet d'eectuer des mesures sur des dispositifs
pizolectriques intgrs comme les MEMS.

8.5 Autres mthodes


Il est galement possible de mesurer la vitesses des ondes
acoustiques par diusion Brillouin. La diusion Brillouin
est la diusion inlastique de la lumire par les ondes
lastiques se propageant dans le cristal. Son utilisation
pour la dtermination des constantes lastiques est classique pour les matriaux non pizolectriques[55] . Elle
peut tre tendue au cas des pizolectriques ; elle a
t notamment utilise pour la dtermination des proprits de certains pizolectriques modles (BaTiO3 [56] ,
PbTiO3 [57] , KNbO3 [58] ) mais soure de plusieurs limitations et n'est utilise qu' des ns de recherche.
La microscopie force pizolectrique (en anglais piezoresponse force microscopy - PFM) est un mode particulier d'utilisation du microscope force atomique :
l'application d'une tension entre la pointe et l'chantillon
permet de sonder la structure en domaines ferrolectriques l'chelle nanomtrique[59] .

Mthodes acoustiques
8.6 Proprits de quelques matriaux

Il existe plusieurs mthodes acoustiques permettant de


types
dterminer les caractristiques d'un matriau pizolectrique.
Les coecients rapports dans le tableau suivant reLa mthode la plus utilise consiste mettre une impul- lient l'allongement d'une barre (sans unit) au champ
sion sur une face d'un chantillon et de mesurer l'cho de lectrique appliqu entre ses deux extrmits (en V/m).
l'onde ainsi cre. La mesure de la dure coule entre L'unit du systme international pour ce coecient est

12

9 APPLICATIONS

donc le mtre par volt (m/V). Les indices (33) se rap- de raliser des rfrences de temps exploitables en lecportent la direction cristallographique correspondant tronique. Les montres quartz utilisent la rsonance d'un
la longueur de la barre.
diapason en quartz pour crer les impulsions rgulires
d'horloge.

Applications

9.1

Transducteurs acoustiques

Une caractristique principale d'un oscillateur est son


facteur de qualit qui mesure la nesse de sa rsonance
mcanique. Il est habituellement not Q . Les quartz atteignent typiquement des facteurs de qualit de l'ordre de
104 106 .
Les microbalances pizolectriques, et particulirement
les microbalances quartz, reposent galement sur ce
principe et permettent des mesures de masses trs prcises.

9.3 Capteurs de pression ou d'acclration


Article connexe : Capteur.

Microphone de contact pizolectrique sur une guitare classique.

Article connexe : Transducteur.


Les matriaux pizolectriques permettent de convertir
une onde acoustique en signal lectrique et inversement.
Ils constituent le cur des transducteurs acoustiques utiliss pour mettre ou dtecter des ondes acoustiques dans
toutes les gammes de frquences. On les retrouve dans
plusieurs domaines.

Une pression exerce sur un matriau pizolectrique


cre des charges que l'on peut mesurer lectroniquement.
Les matriaux pizolectriques sont donc des candidats
naturels pour les applications bases sur la dtection
de pressions. Des capteurs de pression pizolectriques
sont utiliss notamment pour l'automobile (pression des
pneus), l'aronautique (pression dans les tuyres), des
pse-personnes, ou la musique (batterie lectronique).
Sur le mme principe, il est possible de mesurer une
acclration. On peut ainsi raliser des capteurs inertiels (acclromtre lame vibrante, gyromtre vibrant
Coriolis) qui peuvent tre utiliss dans les centrales
inertie ou plus couramment dans des applications de plus
basse prcision : airbag (coussin gonable de scurit),
guidage, manette de console de jeu vido (Wii).

Dans les gammes de frquences audibles, on ralise 9.4 Actionneurs et moteurs pizolectriques
des microphones (et en particulier des microphones
de contact) et des haut-parleurs, notamment dans les
Les actionneurs et moteurs pizolectriques tirent prot
tlphones portables.
de l'eet pizolectrique inverse : dans ces dispositifs, un
Dans les sonars, utiliss dans la marine, mais aussi champ lectrique est utilis pour commander une dfordans l'automobile, pour la dtection d'obstacles.
mation ou un dplacement. On appelle actionneur pizolectrique des actionneurs monoblocs contrlables, uti En mdecine, on en utilise pour la ralisation lisant la dformation induite par une tension lectrique
d'chographies, qui ncessitent l'mission et la d- pour entraner le dplacement. Les moteurs pizolectection d'ondes ultrasonores, ainsi que pour cer- triques se distinguent des actionneurs en ce qu'ils ne sont
taines thrapies par ultrasons.
pas monoblocs mais composs de plusieurs parties mobiles entre elles.

9.2

Rsonateurs pizolectriques
9.4.1 Actionneurs

Article dtaill : Quartz (lectronique).


Article connexe : Actionneur.
Il est possible de raliser des rsonateurs pizolectriques
trs stables au cours du temps et avec des frquences trs Il existe principalement deux types d'actionneurs pizoprcises. La vibration pizolectrique trs stable permet lectriques :

9.5

Gnrateurs et transformateurs

13

les actionneurs directs, dans lesquels le dplace- 9.4.2 Moteurs pizolectriques


ment obtenu est gal la dformation du matriau
pizolectrique. Les actionneurs directs permettent Article dtaill : Moteur pizolectrique.
d'obtenir des courses entre 0 et 100 micromtres.
les actionneurs amplis, dans lesquels un dispositif mcanique vient amplier ce mouvement, dun
facteur de 2 20. Les actionneurs amplis ont gnralement des courses comprises entre 0,1 mm et
1 mm.
Aujourd'hui, ce sont les cramiques multicouches qui
sont traditionnellement utilises dans les actionneurs pizolectriques. L'intgration de ce type de matriau impose des prcautions spciques. On peut citer en particulier la ncessit d'assurer une prcontrainte mcanique
ou d'viter les eorts en torsion. Sous rserve d'une bonne
conception et utilisation, les actionneurs pizolectriques
sont extrmement ables et robustes.

Les moteurs pizolectriques sont utiliss dans les systmes autofocus d'appareils photographiques, dans les
mcanismes de vitre lectrique de voiture, et en gnral
dans les applications o la taille rduite de ces moteurs
rpond des contraintes volumiques[64] .

9.5 Gnrateurs et transformateurs

L'allume-gaz et le briquet lectronique sont des


exemples de la manire dont les pizolectriques permettent de produire de fortes tensions. L'eet pizolectrique direct permet de produire de trs fortes tensions,
suprieures la tension de claquage de l'air 30 kV/cm
pour un cartement de quelques millimtres. Lorsque
Un des premiers domaines d'application a t le domaine cette tension est atteinte, une tincelle de dcharge est
spatial, o leur faible chauement et leur haute densit produite et mise prot pour allumer le gaz du briquet
nergtique sont des atouts majeurs. Ils sont galement ou de la gazinire.
utiliss pour le nanopositionnement, la cration de vibrations, le contrle actif de vibrations[62] .
Aujourd'hui, outre le domaine spatial, les actionneurs pi- 9.5.1 Transformateurs pizolectriques
zolectriques sont utiliss dans plusieurs domaines :
Dans les microscopes sonde locale. Le microscope
force atomique et le microscope eet tunnel
emploient la pizolectricit pour raliser les petits
dplacements ncessaires au balayage de la surface
sonde ;
Dans le monde industriel pour de l'assistance
l'usinage par cration de vibrations ;
Le contrle de vibrations ;

Un transformateur pizolectrique est un multiplicateur


de tension alternative. Contrairement au transformateur
classique qui utilise un couplage magntique, le couplage
mis prot est acoustique. Par eet pizolectrique inverse, une tension d'excitation permet de crer ( l'aide
d'lectrodes situes sur une des deux extrmits de la
barre) une contrainte alternative dans une barre d'un matriau fortement pizolectrique (une cramique PZT par
exemple). Cette contrainte permet la mise en vibration de
la barre une frquence choisie pour correspondre une
frquence de rsonance. Par eet pizolectrique direct,
une tension est produite sur des lectrodes situes sur la
deuxime extrmit de la barre. Cette tension, qui bncie de l'amplication du mouvement d la rsonance,
peut tre 1 000 fois plus leve.

La commande de certains injecteurs en automobile est ralise grce des matriaux pizolectriques. Cette technique, introduite au dbut des annes 2000, permet notamment de gagner en rapidit d'injection et en consommation[63] . De mme,
9.5.2 Micrognrateurs
certaines imprimantes jet d'encre utilisent des lments pizolectriques pour produire les nes goutLes pizolectriques sont aussi au cur d'applications
telettes qui sont propulses sur le papier ;
plus rcentes visant rcuprer l'nergie prsente dans
notre environnement sous direntes formes ou eec Dans les applications opto-acoustiques : par
tues par des mouvements quotidiens[65] .
micro-positionnement pizolectrique de miroir,
l'ajustement de la longueur de la cavit laser peut Un exemple tudi en laboratoire est l'incorporation d'un
tre pilote pour optimiser la longueur d'onde du lm pizolectrique dans des chaussures de sport an de
produire de l'nergie grce la pression du talon penfaisceau ;
dant la marche. Les faibles puissances produites pour En optique adaptative en astronomie : des action- raient sure terme alimenter certains dispositifs lecneurs pizolectriques sont utiliss pour dformer troniques. Toutefois, la mise au point de tels dispositifs
un miroir an de corriger les eets de la turbulence pizolectriques reste dlicate et de nombreux obstacles
atmosphrique.
restent surmonter.

14

10

NOTES RFRENCES ET BIBLIOGRAPHIE

10 Notes Rfrences et Bibliographie


10.1 Notes

Tlcommande de TV sans pile, ralise par Arveni sas pour Philips en 2011

[1] Un exemplaire de la balance quartz pizolectrique, utilis par Pierre et Marie Curie, est conserv l'Universit
de Rennes 1, dans la galerie d'instruments scientiques,
cre par le physicien Dominique Bernard. Cet ancien instrument de laboratoire (1890-1893), a t restaur par le
physicien Bernard Pigelet. Le 10 novembre 2015 dans les
locaux de l'Universit de Rennes 1, et pour commmorer
l'vnement, l'exprience a t ralise de nouveau, 117
ans plus tard, par des physiciens, en prsence de Mme
Hlne Langevin-Joliot, et de Mr Pierre Joliot, les petitsenfants de Pierre et Marie Curie.

Les premiers prototypes, dits micrognrateurs, sont apparus en 2006 (cf dmonstrateur de sonnette de maison 10.2 Rfrences
sans l et sans pile de la socit franaise Arveni s.a.s.).
Ils rcuprent par exemple l'nergie mcanique fournie [1] (en)[PDF]Abstract de l'tude de march d'Acmite Market
par la pression du doigt sur un bouton. L'lectricit ainIntelligence sur le site acmite.com - consult le 30 juin
si rcupre sert alimenter un circuit radio, qui met
2012
un message vers le rcepteur. Il existe aussi des applications industrielles, comme les rseaux de capteurs sans l [2] Antoine-Csar Becquerel, Expriences sur le dveloppement de l'lectricit par la pression ; lois de ce dvelopo la source d'nergie est la vibration d'une machine par
pement , Annales de chimie et de physique, vol. XXII,
exemple. Les applications sont la maintenance prven1823, p. 5-34
tive, la surveillance de sant des structures, ou le contrle
de processus.
[3] Antoine-Csar Becquerel, De quelques phnomnes
La rcupration d'nergie par micrognrateur piezolectrique, est un domaine technique mergent. terme,
l'ide est de remplacer les piles (qui contiennent souvent
des matriaux polluants) par des microsources d'nergie
renouvelable, pour toutes les applications communicantes, o une nergie mcanique extrieure existe.

9.6

[4] Voir l'introduction aux leons de Ren Just Hay dans Leons de physique, de chimie et d'histoire naturelle, Paris,
ditions Rue d'Ulm, coll. L'cole normale de l'an III ,
2006
[5] Christine Blondel, Hay et l'lectricit : de la dmonstration spectacle la diusion d'une science newtonienne ,
1997, p. 265-282

Filtres

UEingang

Legende
Metall
Piezokristall

lectriques produits par la pression et le clivage des mtaux , Annales de chimie et de physique, vol. XXXVI,
1827, p. 265-271

UAusgang

Schma de principe d'un ltre SAW.

Il est possible d'exploiter les proprits de pizolectricit


pour raliser des ltres en lectronique. Il existe plusieurs
types de ltres pizolectriques :
ceux qui mettent prot les rsonances mcaniques des chantillons et les variations d'impdance
associes[66] .

[6] G. Lippmann, Principe de la conservation de


l'lectricit , Annales de chimie et de physique, vol. 24,
1881, p. 145 (lire en ligne)
[7] P. Curie et J. Curie, Contractions et dilatations produites par des tensions lectriques dans les cristaux hmidres faces inclines , Comptes rendus de l'Acadmie
des Sciences, vol. XCIII, sance du 26 dcembre 1881, p.
1137 (lire en ligne)
[8] (de) F. Pockels, Pyro- und piezoelektrizitt, Elektrizitt
und Magnetismus I (Handbuch der Physik vol 4), Leipzig,
Dr A Winkelmann, 1905, p. 76693
[9] Alain Bouquet - DR CNRS, Radioactivit : les pionniers , sur www.futura-sciences.com, 18 fvrier 2008
(consult le 13 novembre 2015).

les ltres ondes acoustiques de surface (ltres [10] Universit de Rennes 1, Quartz pizolectrique (Curies
SAW) qui utilisent les proprits de propagation des
piezoelectric quartz balance) , sur cst.univ-rennes1.fr
ondes la surface du matriau.
(consult le 13 novembre 2015).

10.2

Rfrences

[11] Monique Guguen - Rennes Mtropole, Radioactivit : reconstitution de lexprience de Curie , sur metropole.rennes.fr, 13 novembre 2015 (consult le 14 novembre 2015).
[12] (en) Warren P. Mason, Piezoelectricity, its history and
applications , Journal of the Acoustical Society of America, vol. 70, no 6, 1981, p. 1561
[13] (en) Arthur Ballato, Piezoelectricity : Old Eect,
New Thrusts , IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, vol. 42, 1995, p. 916

15

[31] (en) S. Vinikman-Pinasy, E.N. Ribak, Piezoelectric and


piezooptic eects in porous silicon , Applied Physics Letters, vol. 88, 2006, p. 111905
[32] (en) J. Fousek, L.E. Cross, D.B. Litvin, Possible piezoelectric composites based on exoelectric eect , Materials Letters, vol. 39, 1999, p. 259
[33] (en) ANSI/IEEE Standard on Piezoelectricity, 1996
[dtail de ldition]
[34] Ikeda 1996, chap 2

[14] Une histoire de la pizolectricit

[35] Lines & Glass, 1977

[15] Safari & Akdogan, 2008, p. 53


[16] Jae, Cook and Jae, 1971, p. 214

[36] Il n'existe pas vraiment de termes bien identis pour dsigner les potentiels thermodynamiques dans le cas des milieux dilectriques.

[17] Ikeda, 1996, p. 218-219

[37] Ikeda, p. 11

[18] Piezoelectricity (2008), p. 27

[38] Ikeda, p. 15

[19] (en) Fred S. Hickernell, The Piezoelectric Semiconductor and Acoustoelectronic Device Development in the Sixties , IEEE Transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and
frequency control, vol. 52, 2005, p. 737 (lire en ligne)
[20] William Steichen et Sylvain Ballandras, Composants
Acoustiques Utiliss Pour le Filtrage, Techniques de
l'Ingnieur (lire en ligne)
[21] (en) L. C. Lew Yan Voon et M. Willatzen, Electromechanical phenomena in semiconductor nanostructures ,
Journal of Applied Physics, vol. 109, no 3, 2011, p. 031101
(DOI 10.1063/1.3533402)
[22] (en) E. Fukada, History and recent progress in piezoelectric polymers , IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, vol. 47, 2000, p. 1277 1290 (DOI 10.1109/58.883516)
[23] (en) Shung KK, Cannata JM, Zhou QF, Piezoelectric
materials for high frequency medical imaging applications : A review , Journal of Electroceramics, vol. 19,
2007, p. 139-145
[24] Fundamentals of Piezoelectric Sensorics, 2010, p. 150151
[25] Fundamentals of Piezoelectric Sensorics, 2010, p. 150
[26] Description des proprits des cramiques dures et
douces sur le site d'American Piezo
[27] Voir Cristal pour une dnition plus rigoureuse.
[28] Uchino, 2010, p. 318-345
[29] (en) H. J. Lee, S. Zhang, Y. Bar-Cohen and S. Sherrit,
High Temperature, High Power Piezoelectric Composite Transducers , Sensors, vol. 14, 2014, p. 145326 (DOI
10.3390/s140814526, lire en ligne)
[30] (en) D. Royer and E. Dieulesaint, Elastic and piezoelectric constants of trigonal selenium and tellurium crystals ,
Journal of Applied Physics, vol. 50, 1979, p. 4042 (lire en
ligne)

[39] lments d'explications sur les coecients de couplage


lectromcanique
[40] R.E. Cohen, First-Principles Theories of Piezoelectric
Materials dans Piezoelectricity (2008)
[41] (en) R. Resta et D. Vanderbilt (dir.), Physics of Ferroelectrics - A Modern Perspective, Springer, 2007 (ISBN
978-3-540-34590-9), Theory of Polarization : A Modern Approach , p. 31-68
[42] (en) Dragan Damjanovic, Contribution to the piezoelectric eect in ferroelectric single crystals and ceramics ,
Journal of the American Ceramic Society, vol. 88, 2005, p.
2663-2676
[43] W. Kreher, Eective Medium Theories
Piezoelectricity (2008).

dans

[44] (en) Jiashi Yang, A Review of a Few Topics in Piezoelectricity , Applied Mechanics Reviews, vol. 59, 2006, p.
335-345
[45] Dieulesaint & Royer
[46] en rfrence la premire normalisation qui en fut donne
par l'IRE : (en) IRE Standards on Piezoelectric Crystals , Proceedings of the IRE, 1961, p. 1162-1169
[47] Brissaud 2007, p. 180 .
[48] Diverses prsentations sont galement disponibles en
ligne, voir par exemple : (en) Procedures for Measuring
Properties of Piezoelectric Ceramics ou Texte en accs
libre sur arXiv : 0711.2657..
[49] Travailler avec les maximum et minimum de l'impdance
|Z| n'est possible que si les pertes sont ngligeables. Dans
le cas contraire, il faut dnir plus prcisment les frquences caractristiques du systme.
[50] (en) J. Erhart and L. Burianova, What is really measured
on a d33 -meter ? , Journal of the European Ceramic
Society, vol. 21, 2001, p. 1413-1415

16

11

[51] (en) A. Barzegar, D. Damjanovic, and N. Setter, The


eect of boundary conditions and sample aspect ratio on
apparent d33 piezoelectric coecient determined by direct quasistatic method , IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, vol. 51, 2003, p.
262-270

11 Voir aussi

[52] A Round-Robin to measure the direct piezoelectric coefcient using the Berlincourt method

Ferrolectricit

[53] (en) J.-M. Liu, B. Pan, H.L.W. Chan, S.N. Zhu, Y.Y. Zhu
et Z.G. Liu, Piezoelectric coecient measurement of
piezoelectric thin lms : an overview , Materials Chemistry and Physics, vol. 75, no 1-3, avril 2002, p. 12-18 (DOI
10.1016/S0254-0584(02)00023-8)
[54] (en) N. Setter et al., Ferroelectric thin lms : Review of
materials, properties and applications , Journal of Applied Physics, vol. 100, 2006, p. 051606
[55] (en) R. Vacher et L. Boyer, Brillouin Scattering : A Tool
for the Measurement of Elastic and Photoelastic Constants , Physical Review B, vol. 6, 1972, p. 639
[56] (en) Z. Li, S. K. Chan, M. H. Grimsditch, E. S. Zouboulis,
The elastic and electromechanical properties of tetragonal BaTiO3 single crystals , Journal of Applied Phyics,
vol. 70, 1991, p. 7327
[57] (en) A. G. Kalinichev, J. D. Bass, B. N. Sun, D. A. Payne,
Elastic properties of tetragonal PbTiO3 single crystals
by Brillouin scattering , Journal of Materials Research,
vol. 12, 1997, p. 2623
[58] (en) A. G. Kalinichev, J. D. Bass, C. S. Zha, P. Han, D.
A. Payne, Elastic properties of Orthorhombic KNbO3
single crystals by Brillouin scattering , Journal of Applied
Physics, vol. 74, 1993, p. 6603
[59] (en) A. Gruverman and S. V. Kalilin, Piezoresponse
force microscopy and recent advances in nanoscale studies of ferroelectrics , Journal of Material Sciences, vol.
41, 2006, p. 107-116
[60] Piezoelectricity sur le site de Morgan Electroceramics.
[61] Ikeda 1996, p. 220
[62] Exemples de publications sur les actionneurs pizolectriques
[63] Auto-innovations : actualit moteur et transmission
[64] Moteurs pizolectriques par Bertrand Nogarede sur
Techniques de l'ingnieur.
[65] (en) S. R. Anton, H. A. Sodano, A review of power
harvesting using piezoelectric materials (2003-2006) ,
Smart Materials and Structures, vol. 16, 2007, R1-R21
[66] (en) Description de ltres base de cramiques pizolectriques

(en) Cet article est partiellement ou en totalit issu de larticle de Wikipdia en anglais intitul Piezoelectricity
(voir la liste des auteurs).

VOIR AUSSI

11.1 Articles connexes


Pyrolectricit

lectrostriction
Microbalance pizolectrique

11.2 Bibliographie
John Frederick Nye, Proprits physiques des cristaux [ Physical Properties of Crystals ], Paris, Dunod, 1961 [dtail de ldition]
E Dieulesaint, D Royer, Ondes lastiques dans
les solides - Application au traitement du signal,
Masson et Cie, 1974
Le contenu de cet ouvrage est partiellement repris
par les mmes auteurs dans Propagation et
gnration des ondes lastiques , Techniques de
l'ingnieur, 2001.
Michel Brissaud, Matriaux pizolectriques : caractrisation, modlisation et vibration, Lausanne,
Presses polytechniques et universitaires romandes,
2007 (ISBN 978-2-88074-692-6, lire en ligne)
(en) Warren P. Mason, Piezoelectric Crystals and
their Application to Ultrasonics, New York, Van
Nostrand, 1950
(en) B. Jae, W. Cook and H. Jae, Piezoelectric Ceramics, London, Academic Press Inc., 1971
(ISBN 0-12-379550-8)

(en) M.E. Lines and A.M. Glass, Principles and Applications of Ferroelectrics and Related Materials,
Oxford University Press, 1977
(en) Takuro Ikeda, Fundamentals of Piezoelectricity, Oxford University Press, 1996 (ISBN 0-19856339-6)

(en) Shaul Katzir, The Beginnings of Piezoelectricity : A Study in Mundane Physics, Springer, 2006
(ISBN 1402046693)

Cet ouvrage est issu du mmoire de doctorat de


l'auteur. Certaines parties ont t publies indpendamment dans des revues : The Discovery of
the Piezoelectric Eect , Archive for the history
of exact sciences, vol. 57, 2003, p. 61-91 (lire en ligne)
(en) Piezoelectricity, Springer, 2008 (ISBN 978-3540-68680-4)

11.3

Liens externes

(en) Jan Tich, Jir Erhart, Erwin Kittinger, Jana Prvratsk, Fundamentals of Piezoelectric Sensorics : Mechanical, Dielectric, and Thermodynamical Properties of Piezoelectric Materials, Springer,
2010 (ISBN 3540684271, lire en ligne)
(en) Ahmad Safari, E. Koray Akdogan, Piezoelectric and Acoustic Materials for Transducer Applications, Springer, 2008 (ISBN 0387765409, lire en ligne)
(en) Kenji Uchino, Advanced Piezoelectric Materials, Elsevier, 2010 (ISBN 1845699750, lire en ligne)

11.3

Liens externes

(en) Une histoire de la pizolectricit (consult


le 14 novembre 8)

(en) PiezoMat.org - on-line base de donnes pour


les matriaux pizolectriques, leurs applications et
proprits

Portail de la physique

Portail de llectricit et de llectronique

Portail de lnergie

17

18

12

12
12.1

SOURCES, CONTRIBUTEURS ET LICENCES DU TEXTE ET DE LIMAGE

Sources, contributeurs et licences du texte et de limage


Texte

Pizolectricit Source : https://fr.wikipedia.org/wiki/Pi%C3%A9zo%C3%A9lectricit%C3%A9?oldid=120505981 Contributeurs : Lionel Allorge, Looxix, Yves, Anto, Pulsar, Spooky, Alkarex, MedBot, ChrisJ, Eiku, Sam Hocevar, Phe-bot, Alveric~frwiki, Notash, Coonaan, PivWan, , Bayo, Leag, Bob08, En rouge, Sherbrooke, Gogol~frwiki, Mahlerite, Chobot, Stphane33, RobotE, David Berardan, Gzen92, Cornibus, RobotQuistnix, Cruleum, Zyzomys, EDUCA33E, StBot, MMBot, Litlok, Loveless, YoLeArno, Lucien Duval, Syntex, Dadu, Pautard, Vincz, Sequajectrof, Pierre cb, IP 84.5, Pld, Manu1400, Lamiot, Liquid-aim-bot, Stephane.lecorne, TaraO,
Beaufanamus~frwiki, JnRouvignac, A2, Tatouille, Laurent Nguyen, Kropotkine 113, Deep silence, JAnDbot, Yves-Laurent, Zedh, Chtfn,
Thesupermat, MirgolthBot, MagicalTux, Ugo14, CommonsDelinker, Verbex, Analphabot, Salebot, GabHor, Tpabot, Nklv, Isaac Sanolnacov, Maxime LIENART, FLLL, Orthomaniaque, SieBot, Ski, JLM, OKBot, Vlaam, Dhatier, Tize, LeMorvandiau, DumZiBoT, GLec,
Traleni, Alphos, DragonBot, HerculeBot, ZetudBot, Linedwell, Ggal, Bubs wikibot, Harmonia Amanda, CarsracBot, Luckas-bot, GwendalGS, GrouchoBot, ArthurBot, Ziron, Xqbot, Alex-F, MastiBot, HERMAS, RedBot, Buisson, Jean Frederic MARTIN, BotdeSki, Kilith,
Erasmus.new, WikitanvirBot, Jules78120, Yoswendil, MerlIwBot, Zebulon84, Pano38, Jfredmartin, Leluthier, Reptilien.19831209BE1,
Lebronj23, Rome2, Yezam, Addbot, GOUPILLEAU J-Y, Sagmeister Martin, Yoloswegmageule et Anonyme : 77

12.2

Images

Fichier:Crystal_energy.svg Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/1/14/Crystal_energy.svg Licence : LGPL Contributeurs : Own work conversion of Image:Crystal_128_energy.png Artiste dorigine : Dhateld
Fichier:Disambig_colour.svg Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/3/3e/Disambig_colour.svg Licence : Public domain Contributeurs : Travail personnel Artiste dorigine : Bubs
Fichier:Ferroelectric-wiki-w3.png Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/3/3f/Ferroelectric-wiki-w3.png Licence :
Public domain Contributeurs : Travail personnel Artiste dorigine : Chem538w10grp5
Fichier:Logo_physics.svg Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/c/cc/Logo_physics.svg Licence : CC BY 2.5 Contributeurs : Aucune source lisible par la machine fournie. Travail personnel suppos (tant donn la revendication de droit dauteur). Artiste
dorigine : Pas dauteur lisible par la machine identi. Guillom suppos (tant donn la revendication de droit dauteur).
Fichier:MaillePbTiO3.png Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/2/2e/MaillePbTiO3.png Licence : Public domain
Contributeurs : Travail personnel Artiste dorigine : Tize
Fichier:Nuvola_apps_ksim.png Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/8/8d/Nuvola_apps_ksim.png Licence : LGPL Contributeurs : http://icon-king.com Artiste dorigine : David Vignoni / ICON KING
Fichier:P1000332_modified_for_IDTECHEX_high_def.jpg Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/0/09/
P1000332_modified_for_IDTECHEX_high_def.jpg Licence : CC0 Contributeurs : Template:Codesign of my company Arveni with
Philips, with no restriction on publicizing Artiste dorigine : Jfredmartin
Fichier:PbNb2O6.png Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/a/a3/PbNb2O6.png Licence : CC BY-SA 4.0 Contributeurs : Travail personnel Artiste dorigine : Tize
Fichier:PierreCurie.jpg Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/9/9c/PierreCurie.jpg Licence : Public domain Contributeurs : http://nobelprize.org/nobel_prizes/physics/laureates/1903/pierre-curie-bio.html Artiste dorigine : Nobel Foundation
Fichier:PiezoResonanceMethod-15.PNG Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/c/c7/PiezoResonanceMethod-15.
PNG Licence : CC BY-SA 3.0 Contributeurs : Travail personnel Artiste dorigine : Tize
Fichier:PiezoResonanceMethod-31.PNG Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/5/5a/PiezoResonanceMethod-31.
PNG Licence : CC BY-SA 3.0 Contributeurs : Travail personnel Artiste dorigine : Tize
Fichier:PiezoResonanceMethod-33.PNG Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/7/76/PiezoResonanceMethod-33.
PNG Licence : CC BY-SA 3.0 Contributeurs : Travail personnel Artiste dorigine : Tize
Fichier:Piezocomposites.png Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/7/7f/Piezocomposites.png Licence : CC BY 3.0
Contributeurs : Sensors 2014, 14(8), 14526, URL : http://www.mdpi.com/1424-8220/14/8/14526/htm Artiste dorigine : H. J. Lee, S. Zhang,
Y. Bar-Cohen and S. Sherrit
Fichier:Piezoelectric_pickup1.jpg Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/6/62/Piezoelectric_pickup1.jpg Licence :
CC-BY-SA-3.0 Contributeurs : Travail personnel Artiste dorigine : Georg Feitscher
Fichier:Ren_Just_Hay.jpg Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/0/02/Ren%C3%A9_Just_Ha%C3%BCy.jpg
Licence : Public domain Contributeurs : ? Artiste dorigine : ?
Fichier:ResonateurPiezo-Impedance.PNG
Source
:
https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/5/57/
ResonateurPiezo-Impedance.PNG Licence : CC BY-SA 3.0 Contributeurs : Travail personnel Artiste dorigine : Tize
Fichier:SAW-Filter_(Schema).svg Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/b/b7/SAW-Filter_%28Schema%29.svg
Licence : Public domain Contributeurs : selbstgezeichnete Version einer ASCII-Zeichnung im Artikel SAW-Filter Artiste dorigine :
Cepheiden
Fichier:SchemaPiezo.gif Source : https://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/c/c4/SchemaPiezo.gif Licence : CC BY-SA 3.0
Contributeurs : Template:Ownnn Artiste dorigine : Tize

12.3

Licence du contenu

Creative Commons Attribution-Share Alike 3.0