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Traitements superficiels par faisceaux

haute densit dnergie


par

Dimitris PANTELIS
Ingnieur de lcole Polytechnique dAthnes
Docteur Ingnieur de lcole Centrale de Paris
Responsable de lquipe Laser du Laboratoire Matriaux de lcole Centrale de Paris

1.
1.1

1.2

1.3

Faisceau dlectrons ...............................................................................


Production des faisceaux dlectrons ........................................................
Interaction faisceau dlectrons-matire ...................................................
Utilisation des faisceaux dlectrons .........................................................

9
9
9
9

3.
3.1
3.2

Effets thermiques, mtallurgiques et mcaniques ........................


Effets thermiques.........................................................................................
Effets mtallurgiques et mcaniques.........................................................

10
10
11

4.
4.1

Applications ..............................................................................................
Traitements superficiels en phase solide ..................................................
4.1.1 Sans apport de matire......................................................................
4.1.2 Avec apport de matire ......................................................................
Traitements superficiels en phase liquide .................................................
4.2.1 Gnralits ..........................................................................................
4.2.2 Refusion simple (surface melting )....................................................
4.2.3 Refusion avec apport de matire (surface cladding and alloying )
4.2.4 Amorphisation ou glaage (surface glazing ) ...................................
Traitements superficiels en phase vapeur .................................................
4.3.1 Laser Chemical Vapor Deposition LCVD ...........................................
4.3.2 Durcissement par choc laser (laser shock hardening ) ....................

11
11
12
14
14
14
15
17
18
18
18
20

Comparaisons et conclusions ..............................................................


Comparaison des diffrents types de lasers .............................................
Comparaison des procds par laser et par faisceau dlectrons...........
Applications industrielles des traitements superficiels par laser ............

20
20
20
21

4.3

7 - 1993

M 1 240 - 2

2.
2.1
2.2
2.3

4.2

M 1 240

Lasers de puissance ................................................................................


Gnralits ...................................................................................................
1.1.1 Principe de fonctionnement...............................................................
1.1.2 Caractristiques des faisceaux ..........................................................
1.1.3 Types de laser utiliss pour les traitements superficiels.................
Interaction faisceau laser-matire ..............................................................
1.2.1 Interaction thermique.........................................................................
1.2.2 Interaction photolectronique ...........................................................
1.2.3 Interaction mcanique........................................................................
Traitement et utilisation du faisceau laser.................................................
1.3.1 Systmes optiques .............................................................................
1.3.2 Moyens dapport superficiel de matire...........................................
1.3.3 Atmosphres de traitement ...............................................................

5.
5.1
5.2
5.3

Pour en savoir plus...........................................................................................

Doc. M 1 240

ans lvolution des matriaux modernes, les multimatriaux tiennent une


place privilgie car ils permettent de concilier des proprits incompatibles
dans un matriau unique. Ils sont aussi maintes fois la source de substantielles
conomies. Or, cest frquemment par les traitements localiss ou superficiels
que lon peut raliser des multimatriaux performants.

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TRAITEMENTS SUPERFICIELS PAR FAISCEAUX HAUTE DENSIT DNERGIE ______________________________________________________________________

Dans lensemble des traitements thermiques des aciers, la part des traitements
thermiques superficiels ne cesse daugmenter au fil des annes par rapport
celle des traitements dans la masse (40 % prvu en 2000 contre 10 % estim en
1975).
Les densits de puissance (ou intensits laser) disponibles par les sources
utilises pour les traitements superficiels des matriaux sont les suivantes :
Chalumeau : ..................................................................... 1,5 10 3 W/cm 2
Induction : ......................................................................... 2,5 10 4 W/cm 2
Fusion larc : ......................................................... 5 10 4 10 6 W/cm 2
Plasma : ................................................................... 5 10 4 10 8 W/cm 2
Faisceau laser et faisceau dlectrons : ....................... 10 8 10 10 W/cm 2
Parmi les techniques utilises pour les traitements thermiques superficiels, la
plus rcente met en uvre des faisceaux haute densit dnergie FHDE
(faisceaux laser et faisceau dlectrons).
Les possibilits dutilisation de ces sources foisonnent car leur utilisation
rduit les risques de dformations et permet une bonne productivit et une
grande flexibilit, notamment pour le laser, o la conduite du faisceau par des
systmes optiques appropris rend possible le traitement de zones difficilement accessibles par dautres procds.
La brivet des cycles thermiques, grce lextrme puissance mise en jeu,
permet lobtention de structures originales et nouvelles, difficiles ou impossibles
obtenir par dautres moyens.
Cependant, si beaucoup de travaux de recherche sont entrepris, les applications industrielles sont plus rares ( 5.3).

1. Lasers de puissance
Nota : pour plus de renseignements, le lecteur se reportera, dans le trait Sciences
fondamentales, larticle Laser de puissance. Traitement et utilisation [A 1 095].

1.1 Gnralits
1.1.1 Principe de fonctionnement

Si lon considre un atome pourvu des tats quantifis 1 et 2 qui


correspondent respectivement aux niveaux dnergie E 1 et E 2
(E1 < E 2) et si lon suppose quil reoit lnergie dun rayonnement
qui interagit avec lui, alors lnergie de latome passe de E1 au niveau
plus lev E 2 . Ce processus sappelle labsorption ; il est rversible
et saccompagne alors dmission de lumire.
On sait que, seul, ltat fondamental est le plus stable. Cela signifie
quaprs un certain temps, latome excit finit par retomber spontanment ltat fondamental. Il restitue alors lnergie E 2 E1 sous
forme dun photon de frquence telle que h = E 2 E1 . Ce phnomne sappelle lmission spontane.

Le mot LASER a t form par les initiales de Light Amplification


by Stimulated Emission of Radiation, cest--dire Amplification de
la Lumire par mission Stimule du Rayonnement.
Le laser est essentiellement constitu de trois lments
principaux :
un milieu actif ou milieu amplificateur ;
une source de pompage ;
un rsonateur optique ou cavit optique.
La figure 1 reprsente le schma gnral dun laser.
1.1.1.1 Milieu actif
Atomes et lumire peuvent interagir mutuellement. Quand un
atome est expos une radiation lectromagntique, sa distribution de charge lectrique est affecte priodiquement par lnergie
des photons de la radiation. Par consquent, un transfert dnergie
a lieu entre les photons et latome. Trois processus dinteraction
peuvent tre envisags.

Figure 1 Schma des lments essentiels dun laser

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De plus, si latome excit est frapp par un photon provenant de


lextrieur et ayant exactement la mme nergie que celle du photon
due lmission de E 2 et E1 , il met un second photon. Le photon
mis et le photon incident ont exactement les mmes caractristiques (direction, frquence, phase, polarisation). Ce processus
sappelle mission induite ou stimule. On russit lmission laser
grce lmission stimule.
Le constituant sur lequel on peut russir lmission laser est
appel milieu actif du laser, et il peut tre ltat solide, liquide ou
gazeux.
1.1.1.2 Source de pompage
Selon la thorie des tats dnergie, linversion de population, qui
est indispensable pour obtenir lmission laser, exige lexcitation des
atomes au niveau dnergie suprieur. Elle peut tre obtenue par
lintermdiaire dune source extrieure dnergie : cest le pompage.
Il y a actuellement de nombreuses mthodes de pompage (optique,
lectronique, thermique, chimique, par particules lourdes, par rayonnement ionisant).

TRAITEMENTS SUPERFICIELS PAR FAISCEAUX HAUTE DENSIT DNERGIE

En ce qui concerne le laser CO2 ( 1.1.3.1), pour les faibles


puissances, le mode obtenu est en gnral le TEM00 qui est une
rpartition gaussienne de lnergie. Lorsque la puissance augmente,
les rpartitions nergtiques sont plus complexes et peuvent
prsenter des modifications dans le temps.
1.1.2.4 Densit de puissance.
Modes de fonctionnement des lasers
Lintensit du faisceau laser peut tre trs grande car la puissance
dlivre est focalise sur une trs petite surface.
Le laser peut fonctionner en continu ou en impulsionnel. Pour le
mode impulsionnel, lnergie est dlivre par une seule ou par une
srie dimpulsions rptitives. tant donn que la dure dune
impulsion peut tre trs courte (109 s), la puissance crte est trs
grande (1 MW) mme si lnergie totale dlivre est trs faible
(103 J).

1.1.3 Types de laser utiliss pour les traitements


superficiels

1.1.1.3 Rsonateur optique


Lamplification de la lumire peut tre obtenue non seulement
grce la puissance de la source dexcitation extrieure, mais aussi
en augmentant la longueur du milieu actif. Le milieu actif ayant
videmment une longueur limite, il faut trouver un procd qui
permette dexploiter plusieurs traverses du rayonnement stimul
travers ce milieu amplificateur. Cela se produit en utilisant une
cavit rsonnante constitue de deux miroirs (figure 1), dont lun
semi-rflchissant laisse chapper une partie de lmission laser tout
en renvoyant lautre partie dans le milieu dont les atomes excits
produisent de nouveau lmission stimule. Cette cavit sappelle
rsonateur optique, puisque lon travaille principalement dans le
domaine des frquences des rayonnements infrarouge, visible ou
ultra-violet.

1.1.2 Caractristiques des faisceaux


1.1.2.1 Cohrence
Il sagit de la caractristique la plus importante du faisceau laser,
qui est elle-mme la rsultante des autres caractristiques.
Le rayonnement est dit cohrent dans le temps et dans lespace,
si lon peut calculer la phase de londe et son amplitude, chaque
moment et chaque endroit partir des valeurs connues auparavant.
On distingue la cohrence temporelle et la cohrence spatiale.
1.1.2.2 Divergence
Les sources lumineuses conventionnelles mettent dans toutes les
directions. Par consquent, lintensit dcrot avec la racine carre
de la distance. Dans le cas des lasers, cause des proprits du
rsonateur, il y a mission de la lumire uniquement trs prs et
paralllement laxe optique de la cavit.
1.1.2.3 Distribution nergtique dans lespace.
Mode de champ
La rpartition de lnergie dans la section dun faisceau laser
dtermine sa distribution dnergie. La forme de la distribution de
lnergie est dtermine par la configuration du rsonateur (forme
des miroirs, diamtre du tube, ouverture, etc.). Diffrentes formes
sont possibles sous le nom Mode Transversal lectromagntique
ou TEMxy (Transverse Electromagnetic Mode ). Les indices x et y
entiers positifs dnombrent les zones dintensit le long des deux
axes x et y perpendiculaires la direction de projection z (ou z axe
du faisceau). Ces indices transversaux reprsentent les modes
transversaux du laser.

On donne dans ce paragraphe les caractristiques principales


des lasers les plus utiliss dans lindustrie qui sont par ailleurs
rsumes dans le tableau 1.
(0)

Tableau 1 Caractristiques des principaux lasers


de puissance
Lasers
Caractristique
CO2

YAG-Nd3+

Excimres

longueur
donde ...... (m)

10,6
IR lointain

1,06
proche IR

0,193 0,351
proche UV

milieu actif ........

gaz : CO2

solide : Nd-YAG gaz : dimres

continu
mode ................. (impulsionnel)
puissance
moyenne.... (W)

100 25 000

IR : infra-rouge

impulsionnel
(continu)

Impulsionnel

10 1 200

30 750

UV : ultra-violet

1.1.3.1 Laser CO2


Les longueurs donde dmission des lasers CO2 sont 10,6 m
(et ventuellement 9,6 m), cest--dire linfrarouge lointain.
Le laser CO2 peut fournir un faisceau laser dune puissance de
quelques watts jusqu 25 kW et mme plus. Cest le laser le plus
utilis dans lindustrie. De plus, le laser CO2 a un rendement
nergtique plus lev que celui des autres lasers (15 % en plus),
ce qui prsente aussi un avantage conomique.
Le milieu actif dun laser CO2 est un mlange de CO2 (6 % en
volume), de N2 (12 % en volume) et de He (82 % en volume).
Nanmoins, le rendement de ce type de laser peut tre optimis en
choisissant convenablement la composition du mlange gazeux.
Comme dans la plupart des lasers gaz, lexcitation se fait par
une dcharge lectrique. Cette dcharge excite les molcules de N2
qui vont transfrer leur nergie aux atomes de CO2 (figure 2).
Ce type de laser peut aussi fonctionner en mode impulsionnel
[impulsions par hachage du faisceau ou impulsions cres par
dcharge (mode superpuls)], en dlivrant la puissance disponible
avec une frquence de lordre de 1 kHz.

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TRAITEMENTS SUPERFICIELS PAR FAISCEAUX HAUTE DENSIT DNERGIE ______________________________________________________________________

1.1.3.2 Laser YAG-Nd 3+

1.1.3.3 Lasers excimres

La longueur donde dmission des lasers YAG-Nd 3+ est 1,06 m


cest--dire que ce laser met dans linfrarouge proche.

Des lasers vocation purement scientifique, les lasers excimres,


entrent aujourdhui dans le domaine des applications industrielles.
Le mot excimres est une contraction des mots anglo-saxons
excited dimer qui sexplique par lutilisation dans la cavit
rsonnante du laser, dun mlange dun gaz rare et dun halogne,
excit lectroniquement.

Le nodyme Nd est un lanthanide trivalent. Lion Nd 3+ est utilis


comme dopant dans un cristal dont le plus connu est un grenat
dyttrium et daluminium (Y3 Al5 O 12), en abrg YAG (Yttrium
Aluminium Garnet). La concentration atomique de Nd est gnralement comprise entre 0,6 et 1,2 %. Le rendement nergtique de
ce laser, qui peut atteindre 3 %, est le plus lev des lasers
solides.
Le diagramme appropri des niveaux dnergie est prsent sur
la figure 3.
Les lasers YAG-Nd 3+ peuvent fonctionner en mode continu et en
mode impulsionnel (relax ou dclench).
En fonctionnement continu, les lasers YAG-Nd 3+ dlivrent des
puissances comprises entre 1 et 20 W en mode fondamental TEM00
et 10 1 200 W lorsque plusieurs modes transversaux sont prsents.
En fonctionnement impulsionnel, les lasers YAG-Nd 3+ dlivrent :
en rgime dclench (Q-switched ou giant pulse ), des impulsions dune puissance crte trs leve (de lordre du GW) et dont
la dure est de 15 700 ns ;
en rgime relax (non-Q-switched ou long pulse ou pulsed
laser ), des impulsions de quelques joules une frquence variant
de 1 200 Hz avec des dures comprises entre 0,1 20 ms, soit
une puissance moyenne de 400 W.

De telles molcules, qui dans leur tat fondamental lectronique


ne sont pas lies ou sont faiblement lies, vont ragir ensemble lors
dune dcharge UV haute tension prionise et pulse. La cintique
de la raction est complexe (figure 4).
La dure de vie de la molcule excite AB* nest pas plus longue
que 10 ns.
Aprs relaxation, les molcules excimres se dissocient
immdiatement.
Les longueurs donde dmissions dans lUV, qui sont dtermines
en fonction de la composition du mlange gazeux, sont :
XeCl : 308 nm

XeF : 351 nm

KrF : 248 nm

ArF : 193 nm

Les lasers excimres fonctionnent uniquement en mode


impulsionnel.
Lvolution de la puissance moyenne au cours des dernires
annes est trs rapide. Les caractristiques principales dune source
commerciale de ce type de laser sont les suivantes :
nergie par impulsion :
0,1 4 J ;
puissance moyenne :
30 750 W ;
frquence dimpulsions :
20 500 Hz ;
dure dimpulsion :
10 50 ns.

1.2 Interaction faisceau laser-matire


1.2.1 Interaction thermique
Dans le cas de lutilisation de lasers mettant dans lIR (lasers
CO2 et YAG-Nd3+) et dans des gammes de puissances modres
(< 104 W/cm2), les effets induits par linteraction sont essentiellement thermiques.

Figure 2 Premiers niveaux vibrationnels dnergie de CO2 et N2


et dure de vie des transitions (daprs A. Orsfag et G. Hepner)

Figure 3 Niveaux de transition dnergie de Nd dans le YAG


(daprs A.E. Siegman)

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Figure 4 Schma des nergies potentielles dune molcule excimre


(daprs A. Orsfag et G. Hepner)

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Labsorption joue un rle trs important dans le traitement de


surface par laser, car elle dtermine, pour une puissance donne
du faisceau, le flux de chaleur absorb par la pice traite.
Labsorption est fonction des paramtres qui sont lis (figure 5) :
au faisceau laser ;
lenvironnement ;
au matriau.
1.2.1.1 Paramtres lis au faisceau laser
Ce sont :
les facteurs nergtiques avec la rpartition nergtique, la
dimension du spot et lintensit du faisceau ;
la longueur donde ;
langle dincidence ;
la vitesse de balayage du faisceau.
Facteurs nergtiques : au-dessous dune intensit critique, spcifique du matriau et de latmosphre, le coefficient dabsorption par
des surfaces mtalliques polies se situe entre 2 et 20 % (absorption
normale au faisceau). Par exemple, dans le cas dun acier de
construction, la valeur du coefficient 1 900 K est de 14 % environ
dans lair.
Dans des gaz tels que lazote ou largon, la densit de puissance
critique ncessaire la cration dun plasma (vapeur du matriau
+ gaz ionis) se situe vers 109 W/cm2. Tant que ce plasma est en
contact avec la surface, on observe un coefficient dabsorption de
prs de 100 % (absorption anormale). Si la densit de puissance
est plus leve, on constate un dcollement du nuage de plasma
et labsorption diminue nouveau.

TRAITEMENTS SUPERFICIELS PAR FAISCEAUX HAUTE DENSIT DNERGIE

Vitesse de balayage du faisceau : diffrents auteurs ont montr


quil y a une relation entre les valeurs du coefficient dabsorption et
la vitesse de balayage du faisceau (figure 8). La temprature atteinte
varie en sens inverse de la vitesse de balayage.
1.2.1.2 Paramtres lis lenvironnement
Selon les applications, le milieu environnant peut tre le vide, un
gaz spcifique (par exemple, gaz de protection, 1.3.3) ou de lair,
de la vapeur deau ou de la vapeur du mtal, un liquide tel que
leau ou le mtal fondu, ou encore un solide, en particulier un
dpt ou un film protecteur ou absorbant. Ce milieu peut intervenir
par sa temprature, sa pression, son activit chimique, sa nature
optique, sa nature ionique.
1.2.1.3 Paramtres lis au matriau
tat de surface (rugosit) : labsorption dpend de ltat de surface, notamment de la rugosit et de la prsence des impurets
(cres gnralement par les phnomnes doxydation). titre
dexemple, dans le tableau 2 sont prsentes les valeurs de coefficient dabsorption en fonction de quelques prparations de surface
utilises pour les traitements superficiels.

Longueur donde du faisceau laser : labsorption de lnergie


dune onde lectromagntique par un mtal est fonction de sa
longueur donde. La figure 6 reprsente lvolution de labsorption
pour un mtal (cuivre) et pour un matriau isolant (saphir). Lnergie
du faisceau laser CO2 est mal absorbe par les mtaux, mais elle
est par contre bien absorbe par les cramiques (ou le saphir,
figure 6). Pour la plupart des matriaux mtalliques, labsorption est
trs grande pour les longueurs donde de lasers excimres, savoir
de lordre de 80 % au lieu de 5 % dans le domaine de lIR.
Angle dincidence : labsorption de lnergie du faisceau laser par
une surface mtallique polie varie suivant langle dincidence du
faisceau (figure 7). Pour un certain angle (angle de Brewster),
labsorption du rayonnement dans la direction parallle au plan
dincidence R p est maximale et celle dans la direction perpendiculaire au plan dincidence R s est nulle (effet Brewster). Dans les
traitements superficiels par laser, il faut tenir compte de cet effet.

Figure 6 Coefficient dabsorption


en fonction de la longueur donde des faisceaux lasers
(daprs R. Dekumbis)

Figure 7 Coefficient dabsorption en fonction de langle dincidence


du faisceau laser pour une surface mtallique polie (daprs R. Dekumbis)
Figure 5 Schma de linteraction thermique faisceau laser-matire
(daprs J.P. et C. Girardeau-Montaut)

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TRAITEMENTS SUPERFICIELS PAR FAISCEAUX HAUTE DENSIT DNERGIE ______________________________________________________________________

Tableau 2 Coefficient dabsorption pour diffrents tats


de surface
Prparation de surface
usinage fin : Ra = 1 m

Coefficient dabsorption
0,085

usinage grossier : Ra = 25 m

0,18

sablage

0,35

Ra : rugosit arithmtique

Couches absorbantes : le rle des couches absorbantes est


damliorer le pouvoir absorbant de la surface dune part, et
dassurer la stabilit du couplage faisceau laser-matire, dautre part.
Ces dpts sont choisis de manire prsenter une excellente
absorption vis--vis de la longueur donde du laser et ils sont en
gnral de couleur noire ou grise. De nombreux revtements
absorbants ont t utiliss : peinture noire, poudre doxydes mtalliques, graphite collodal, phosphate de zinc et de manganse, etc...
Le sablage de la surface traiter est aussi une mthode trs efficace

1.2.2 Interaction photolectronique


Lnergie dun photon 248 nm (laser KrF) est 40 fois plus leve
que celle dun photon du laser CO2 (10 600 nm) et 4 fois plus leve
que celle dun photon du laser YAG-Nd3+ (1 064 nm). Ce fait favorise
un mcanisme dinteraction matire-irradiation UV plus direct que
celui de lirradiation IR.
Les lasers mettant dans lIR se caractrisent par une interaction
principalement thermique avec le matriau, do un chauffement
du matriau en profondeur mais aussi latralement, ce qui provoque
une transformation du matriau avec dformation (figure 10a).
Par contre, les photons fortement nergtiques mis par les
lasers excimres interagissent avec les niveaux dexcitation lectronique de la couche adsorbe de tous les types de matriau, ce
qui peut provoquer une ionisation directe du matriau, une rupture
des liaisons ou une excitation lectronique, en mme temps quun
chauffement ultra-rapide du matriau et une transformation sans
dformation (figure 10b ).

Proprits thermiques : une fois le couplage faisceau-matire


assur, la transmission volumique de lnergie absorbe dpend des
caractristiques intrinsques (conductivit thermique, capacit
thermique, etc.) du matriau considr.
Structure et composition chimique : dans un solide, il y a de
nombreuses discontinuits (lacunes, dislocations, joints de grains)
qui font diminuer la rflexion du matriau et influencent donc le
processus dabsorption par leur prsence et leur volution au cours
des traitements par laser. De mme, la composition chimique dtermine le nombre dlectrons de valence et les ractions chimiques
possibles en surface.
Temprature : le coefficient dabsorption dun mtal peur varier
considrablement avec la temprature ; il passe dun facteur 2 5
dans lintervalle de temprature usuel pour des traitements de surface par laser (figure 9). Nanmoins, linfluence de la temprature
est variable suivant le matriau, la nature de la couche absorbante
et le type de laser utilis.
Figure 9 Coefficient dabsorption en fonction de la temprature
pour un acier inoxydable (daprs J.P. et C. Girardeau-Montaut)

Figure 8 Coefficient dabsorption en fonction de la vitesse


de balayage du faisceau laser pour un acier moyen carbone
(daprs J.H.P.C. Megaw et A.S. Kaye) ( 1.2.1.3)

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Figure 10 Interaction photolectronique faisceau-surface


mtallique (daprs H.W. Bergmann et E. Schubert)

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1.2.3 Interaction mcanique


Dans le cas de lutilisation de lasers impulsionnels (lasers CO2
et YAG-Nd 3+ ) et dans des gammes de densit de puissance leves
(> 108 W/cm2) et de temps dinteraction trs courts (< 1 s), les
effets prdominants induits par linteraction sont mcaniques.
Dans ce type dinteraction, le principal intervenant est le plasma
qui se forme par vaporisation dune partie de la surface du matriau
irradi et qui, lors de sa dtente, engendre un faisceau dondes de
compression lintrieur du matriau, ondes qui se transforment
rapidement en une onde de choc pouvant modifier la microstructure
et susceptible de gnrer des contraintes rsiduelles dans le
matriau ( 4.3.2).

1.3 Traitement et utilisation


du faisceau laser

TRAITEMENTS SUPERFICIELS PAR FAISCEAUX HAUTE DENSIT DNERGIE

Des profils dnergie rectangulaires selon les deux directions de


la surface du matriau peuvent tre raliss laide dautres types
de montages. La figure 12a reprsente un systme qui possde
deux miroirs oscillants une frquence leve dans deux directions orthogonales, ce qui permet un traitement par balayage de la
surface traiter. Grce ce systme, on peut raliser un traitement
uniforme sur une large surface. La figure 12b montre un miroir
possdant un grand nombre de facettes, dit miroir facettes, qui
dcompose le faisceau en un certain nombre de faisceaux partiels
qui, par recomposition sur la surface traiter, fournissent un profil
dnergie plus ou moins homogne.
Dautres systmes optiques spcifiques ont galement t dvelopps pour traiter des surfaces complexes. Deux exemples sont
reprsents sur la figure 13 dans le cas du traitement des surfaces
cylindriques intrieure et extrieure en utilisant des miroirs toriques.
Dautres techniques permettent dobtenir plus efficacement des
clairements homognes, notamment lutilisation dun kaldoscope
qui est fonde sur le principe dhomognisation par segmentationrecomposition.

1.3.1 Systmes optiques


1.3.1.1 Nature des constituants du guidage du faisceau
en fonction de la source
La nature des constituants du guidage du faisceau est fonction
de la source utilise (longueur donde).
Dans le cas des lasers CO2 , le guidage du faisceau se fait par
systmes optiques qui sont constitus par des miroirs et des lentilles.
Les miroirs sont soit mtalliques (Mo, Cu trait, NiCu), soit en silicium
trait ou en slniure de zinc (ZnSe). Les matriaux les plus utiliss
pour les lentilles sont le ZnSe (le plus courant), Si, Ge, GaAs ou NaCl.
Dans le cas des lasers excimres, les constituants optiques
(lentilles, miroirs) sont en quartz.
Enfin, dans le cas des lasers YAG-Nd3+, le guidage du faisceau se
fait habituellement par des fibres optiques (par exemple silice,
oxyde de germanium ou de phosphore).
1.3.1.2 Systmes optiques permettant lobtention
dune rpartition nergtique homogne
dans le faisceau
Afin de russir les traitements par laser, le faisceau doit videmment tre guid jusqu lendroit prcis traiter et il faut si ncessaire modifier sa rpartition nergtique initiale. Pour obtenir un
traitement parfaitement rgulier sur toute la zone traite, il faut une
densit dnergie rgulire dans toute la largeur de la zone traite.
Divers systmes optiques, plus ou moins sophistiqus, sont mis en
uvre pour traiter et guider le faisceau laser.
La figure 11 reprsente un systme de miroirs qui permet
lobtention dun faisceau de distribution nergtique de forme
rectangulaire, par dcomposition et recomposition du faisceau de
rpartition nergtique initiale gaussienne ( 1.1.2.3).

Figure 12 Faisceau modul pour avoir une rpartition nergtique


rectangulaire dans deux directions
(daprs D.N.H. Trafford, T. Bell, J.H.P.C. Megaw et A.S. Bransden)
Figure 11 Faisceau modul pour avoir une rpartition nergtique
rectangulaire (daprs M. Inagaki, R. Jimbou et S. Shiono)
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1.3.2 Moyens dapport superficiel de matire


Dans le cas de traitement de surface avec apport de matire ( 4.1.2
et 4.2.3), la matire dposer peut tre apporte sous diffrentes
formes.
Apport par dpts pralables : les lments apporter sont
dposs sur la surface par voie lectrolytique (cas du chrome, nickel,
fer, molybdne, aluminium, etc.), par mtallisation thermique (cas
des alliages complexes), par spray (cas du nitrure de bore et du
graphite collodal), par projection plasma (cas des poudres mtalliques ou poudres dalliages complexes) ou par application directe
sur la surface de feuilles, de ptes ou de poudres. Le faisceau laser
va permettre la ralisation de diffrents types de traitement ( 4.2.2,
4.2.3 et 4.2.4).

Le flux gazeux peut tre amen la surface traiter suivant


plusieurs mthodes :
par un ou plusieurs tuyaux (figure 15) qui sont relis la buse
du laser et par consquent au mouvement du faisceau laser ou qui
sont dcoupls de la buse mais monts sur dispositif exprimental
de faon que la surface irradie soit toujours couverte par un flux
gazeux ;
par une enceinte de traitement (par exemple en graphite) qui
porte sa surface suprieure une fente troite, mais dune largeur
suffisante pour que le faisceau puisse pntrer lintrieur ; les
parois latrales sont munies de deux trous permettant le passage
des tuyaux damene du gaz de protection qui est introduit lintrieur de lenceinte avec un dbit suffisant pour crer une atmosphre
inerte.

Apport par fil ou baguette : les lments dalliage introduire en


surface peuvent tre aussi dposs par fil ou par baguette. Le
faisceau laser et focalis sur la baguette et par consquent, le taux
de dissolution du matriau dapport dans le matriau traiter est
faible. Lintrt de cette technique est de pouvoir raliser des dpts
trs localiss avec un rendement trs lev.
Apport par injection sous forme pulvrulente : le rechargement
consiste injecter une poudre de particules dures dans le bain de
mtal pralablement fondu en surface, laide dun faisceau laser de
puissance. La poudre est achemine dans la buse par un gaz porteur
avec un dbit constant, grce un distributeur de poudre classiquement utilis en gnral en projection plasma (article Revtements par
projection thermique [M 1 645] dans le prsent trait). Cet appareil
doit tre calibr avant les essais de rechargement, pour chaque type
de poudre utilise. Il existe deux systmes principaux de rechargement par laser avec injection de poudres, comportant plusieurs solutions technologiques. Ceux deux systmes sont schmatiss sur la
figure 14. Les techniques pour lesquelles la poudre est dlivre
coaxialement au faisceau laser prsentent deux avantages : la
tendance des particules de la poudre sloigner de la zone de traitement est rduite et les particules sont pralablement chauffes par
le faisceau.

Figure 14 Dispositifs exprimentaux pour le rechargement par laser


(daprs ltablissement Technique Central de lArmement)

1.3.3 Atmosphres de traitement


Pendant les traitements de surface par laser, la zone superficielle
de traitement est couverte par un flux gazeux qui est utilis dans
deux buts :
pour protger la surface contre loxydation et en mme temps
amliorer la qualit du traitement (aspect de surface, profondeur
de traitement, tendue du champ thermique) ;
pour raliser les traitements ractifs (carburation, nitruration),
comme on le verra plus loin ( 4.1.2).

Figure 13 Exemples de traitements de surfaces cylindriques


(daprs O.A. Sandven, A.B. Vannes et Y. Guan)

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Figure 15 Diffrentes techniques dapport gazeux


(daprs W.M. Steen)

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Les gaz employs sont principalement : N2 , Ar et He. Nanmoins,


suivant le matriau, le type de traitement et le rsultat exig, on
utilise dautres gaz comme par exemple : Ar ou N2 hydrogn, CO2 ,
etc.
Enfin, des traitements superficiels par laser peuvent tre raliss
sous vide (partiel ou complet), ou dans des enceintes fermes, mais
pour des applications trs spciales (LCVD, 4.3.1, ou ablation par
laser excimres) et limites (traitements lchelle de laboratoire
uniquement).

2. Faisceau dlectrons
Le traitement superficiel par faisceau dlectrons est une technologie parmi les plus avances pour lamlioration des proprits
superficielles des matriaux mtalliques.
laide de cette technique, on peut raliser presque toute la
gamme des traitements superficiels, cest--dire aussi bien les traitements en phase solide (durcissement, revenu, trempe, traitements
ractifs) quen phase liquide (refusion, densification des matriaux
poreux, revtements et alliages de surface, glaage, traitements
ractifs).
Les rsultats positifs des recherches de base et des applications
industrielles ont considrablement contribu au dveloppement
ultrieur de cette technique, dj confirme par le nombre trs
important des travaux sy rapportant.
Ces travaux concernent :
le dveloppement du procd ;
llaboration des mthodes spcifiques pour la manipulation
du faisceau ;
loptimisation des paramtres du procd du point de vue
technique et conomique, en relation avec des applications
nouvelles ;
lutilisation des diffrents traitements physiques et chimiques
et leurs effets sur les matriaux traits.

2.1 Production des faisceaux dlectrons


Les canons lectrons habituellement utiliss peuvent dlivrer
une puissance maximale de plusieurs kilowatts (50 kW ou plus), en
travaillant sous un voltage dacclration de plusieurs dizaines de
kilovolts (jusqu 150 kV).
Lnergie des lectrons est de lordre de 30 keV et la densit de
puissance dlivre est suprieure 107 W/cm2.
La technique du faisceau dlectrons a besoin ncessairement dun
vide, habituellement de 10 4 torr (102 Pa), parce que les lectrons
peuvent tre ralentis et absorbs par lair.
Les caractristiques typiques dune installation faisceau
dlectrons sont :
la modulation et le contrle trs prcis de la puissance et de
lintensit du faisceau ;
la faible inertie et les faibles pertes lors de la dviation et de
la modification de la forme du faisceau, laide de moyens
lectriques et de frquences suprieures 100 Hz ;
la stabilit temporaire et la reproductibilit leve de la distribution nergtique dans le faisceau ;
labsorption nergtique indpendante des proprits optiques
de la surface traiter ;
lutilisation du vide (secondaire ou lev) ;
lunique consommation dlectricit et deau de refroidissement.

TRAITEMENTS SUPERFICIELS PAR FAISCEAUX HAUTE DENSIT DNERGIE

Le volume des enceintes de traitements est trs variable et dpend


des dimensions des pices traiter. Nanmoins, la technique ne
permet pas de traiter des pices trs volumineuses.
Enfin, le rendement nergtique de linstallation peut atteindre
90 %.

2.2 Interaction faisceau dlectrons-matire


Les lectrons du faisceau transmettent leur nergie cintique la
surface du matriau mtallique traiter, do une ionisation des
atomes et une projection de particules de la matire.
Il y a un meilleur couplage faisceau-matire dans le cas du traitement par faisceau dlectrons que dans celui par faisceau laser. La
figure 16 montre le profil dabsorption de lnergie par les deux
types de faisceaux travers le matriau trait.
En effet, daprs cette figure, on constate que lnergie des
lectrons est absorbe par une couche dune paisseur beaucoup
plus grande que pour lnergie photonique. Une surface mtallique
(acier) absorbe 75 % environ de lnergie incidente du faisceau
dlectrons, les pertes dues principalement la rtrodiffusion des
lectrons.
Un dpt nest donc pas ncessaire pour amliorer le coefficient
dabsorption et assurer la ralisation du traitement par faisceau
dlectrons, ce qui est le cas pour les traitements par laser et surtout
pour les traitements ltat solide.
Nanmoins, par la suite, le transfert dnergie seffectue sous
forme thermique et les consquences mtallurgiques, et donc
mcaniques, sont presque identiques celles du laser. Cependant,
dans le cas du traitement par laser, la morphologie de la surface
ainsi que sa composition sont beaucoup plus importantes que
dans le cas du traitement par faisceau dlectrons.

2.3 Utilisation des faisceaux dlectrons


Le faisceau, pilot automatiquement par un mini-calculateur,
balaie la surface traiter soit de manire continue en courbes de
Lissajous, soit de manire ponctuelle par impulsions dnergie. Cette
dernire mthode est prfre cause de la souplesse donne au
traitement.

Figure 16 Allure du profil dabsorption dnergie


fournie par faisceau laser et faisceau dlectrons

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Ainsi, on peut programmer des formes compliques et faire


varier la profondeur de traitement sur une mme pice en jouant
sur la densit dnergie. Pour un canon lectrons type, on peut
traiter en une fois une surface de 10 20 cm2 et plus, si lon
dplace la pice par rapport au canon. Lpaisseur traite peut
atteindre 0,1 2,5 mm.
Le fait que le traitement se ralise sous vide conduit lobtention
de surfaces traites exemptes doxydation. De plus, malgr lexistence du vide, le procd se prte un chargement automatis des
pices traiter.
La focalisation du faisceau, son dplacement et sa puissance sont
continuellement contrls laide dune commande numrique, ce
qui permet, par consquent, de vrifier les cycles thermiques
dvelopps et les modifications produites.

3. Effets thermiques,
mtallurgiques
et mcaniques

Le canon lectrons permet la programmation de la dviation


du faisceau en deux directions avec :
un balayage ponctuel (figure 17a ) de frquence moyenne ;
un balayage linaire (figure 17b) de frquence leve, de
lordre de 1 100 kHz, technique la plus courante appele high speed
scan technique HSS ;
un balayage surfacique de frquence trs leve, technique
appele high speed scan field technique HSSF.
Lobtention dun balayage surfacique (jusqu 50 50 mm2) de
forme rectangulaire, ou dautres figures de dimensions varies, est
facile grce la frquence de balayage trs leve du faisceau
suivant les deux axes X et Y. On peut galement ajouter un pr ou
post-chauffage de la surface traite.
Les paramtres du traitement sont donc : la densit nergtique,
la frquence du faisceau et la vitesse de dplacement de la pice
traiter.
Enfin, il faut noter que les traitements par injection de poudre sont
impossibles pour le procd des faisceaux dlectrons, parce que
les particules de la poudre injecte sont lectrises par le faisceau
dlectrons et se repoussent mutuellement.

Dans la plupart des travaux existant dans la littrature, on soccupe


modliser uniquement le changement de phase par effet de
temprature et les contraintes induites par ce changement de phase,
les autres tant la fois ngligeables et difficiles prendre en
compte.

La figure 18 prsente le diagramme coupl des effets induits lors


des traitements superficiels par faisceaux haute densit
dnergie FHDE (faisceau laser ou faisceau dlectrons). Cette figure
illustre linteraction, sous forme de triangle, entre ltat thermique
(temprature), ltat mtallurgique (transformations mtallurgiques
ou changements de phases) et ltat mcanique (contraintes et
dformations).

3.1 Effets thermiques


Il sagit dtablir un modle permettant de calculer les tempratures, den dduire les transformations mtallurgiques et de valider
ce modle par des mesures exprimentales. La prdiction des cycles
thermiques dans une pice pendant le traitement par faisceau laser
ou faisceau dlectrons peut aider prvoir la microstructure et la
distribution de la microduret dans celle-ci, par la connaissance des
courbes T T T (Temprature-Temps-Taux de transformation),
TTA (Temprature-Temps-Austnisation) et TRCS (Transformation
en Refroidissement Continu lors du Soudage) (article Transformations dans les aciers [M 1 115] de ce trait).
Aprs irradiation par FHDE, le transfert thermique se fait par
conduction de la chaleur vers lintrieur du matriau et par
convection et rayonnement aux surfaces limites extrieures. En
effet, le refroidissement qui suit le chauffage est impos par le
volume du mtal non affect par la chaleur, qui joue le rle de puits
dvacuation de calories (phnomne dautotrempe de la couche
traite).

Figure 18 Effet de temprature changement de phase contrainte


lors dun traitement superficiel par FHDE
Figure 17 Principes de traitement superficiel
par faisceau dlectrons (daprs P.R. Strutt)

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Certains modles ont t labors dans le but de dterminer les


cintiques de chauffage et de refroidissement et donc les profondeurs susceptibles dtre durcies en fonction des conditions du traitement par FHDE. Il existe des modles analytiques et numriques en
une, deux et trois dimensions. Les gradients thermiques lintrieur
de la pice traite provenant uniquement de la conduction, tout
modle doit avoir pour base une solution approprie de lquation
de conduction de la chaleur.
La profondeur durcie est un paramtre trs important pour le
traitement superficiel par laser, car elle est lie la microduret,
aux contraintes rsiduelles induites, la tenue la fatigue et la
rsistance lusure. Lestimation de cette profondeur passe par
lutilisation des formules empiriques. Nanmoins, il est trs difficile
de trouver un modle gnral.
Pour le traitement superficiel par laser de lacier, diffrents
chercheurs ont propos la relation suivante :

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Puisquon peut focaliser un faisceau haute densit dnergie


FHDE par des lments optiques selon une tache dun diamtre
variable, on peut obtenir des densits de puissance diffrentes. Un
autre paramtre important est le temps dinteraction faisceaumatriau. En faisant varier ces deux paramtres, on peut aboutir
des applications diffrentes. La figure 19 donne le domaine des
diffrentes applications industrielles des lasers en fonction de la
densit de puissance et du temps dinteraction utiliss.
Dans le tableau 3 sont reprsents les diffrents types de traitements superficiels par FHDE, suivant le faisceau prfrentiellement
utilis et les profondeurs affectes par le traitement. Les principaux
types de traitements seront dtaills dans ce paragraphe.

4.1 Traitements superficiels


en phase solide

1/2

e = AP /v b + B
avec

A, B

constantes dfinies exprimentalement et dpendant


des proprits thermiques du matriau trait,
P
puissance laser,
e
profondeur durcie,
vitesse de balayage.
vb
Cette fonction saccorde trs bien avec les rsultats
exprimentaux.
Par contre, dans le cas du traitement superficiel par laser de la
fonte, la profondeur durcie varie linairement avec la vitesse de
dplacement du laser.

3.2 Effets mtallurgiques et mcaniques


La trs grande densit dnergie que procurent le faisceau laser
et le faisceau dlectrons engendre des vitesses de chauffage trs
importantes et, par consquent, les temps dinteraction faisceaumatire sont trs courts. Lhtrognit des phases mtallurgiques
aprs transformation associe au gradient de temprature cre un
champ de contraintes rsiduelles.
Par rapport dautres traitements thermiques, le traitement superficiel par FHDE concerne des plages des diagrammes de transformation au chauffage comme au refroidissement, peu exploites.
On sait que linfluence des transformations mtallurgiques sur le
comportement mcanique est primordiale dans un tel problme, en
raison notamment des phnomnes de plasticit.
Lexistence dun champ de contraintes rsiduelles convenables,
induites par le traitement superficiel par FHDE, peut amliorer la
rsistance la fatigue, la corrosion et lusure-frottement de la
surface traite. Les contraintes rsiduelles sajoutent aux contraintes
appliques de lextrieur et font varier le comportement mcanique
du matriau.

Dans ce cas, il sagit de chauffer par un faisceau haute densit


dnergie une couche superficielle du matriau traiter, sans
atteindre la fusion en surface. Ce chauffage et le refroidissement
rapide qui le suit conduisent crer des transformations telles que
la transformation martensitique dans le cas des alliages ferreux et
des alliages de titane, le durcissement structural superficiel (suivi
dun revenu) dans le cas des alliages lgers, la restauration et le
recuit. La diffusion des lments constituant le matriau, pendant
la phase de chauffage est responsable de ces traitements.
Le traitement en phase solide est utilis principalement dans le
cas des alliages ferreux (aciers et fontes) qui subissent la transformation martensitique permettant dobtenir une duret trs leve
en surface. Dans ce cas de traitement, il sagit dune trempe superficielle. Avec lapport et la diffusion dun lment extrieur (carbone
ou azote), ce traitement est appliqu aux aciers et surtout aux alliages
de titane.
Par contre, dans le cas des alliages lgers, la diffusion des lments
constituants tant plus lente que celle du carbone des alliages ferreux
(transformations diffusionnelles trs limites), les traitements par
FHDE ltat solide sont peu intressants.
Le durcissement par transformation de phases peut tre effectu
avec les trois types de laser et le faisceau dlectrons. La diffrence
des profondeurs traites que lon observe est due aux diffrents
ordres de grandeurs du temps dinteraction faisceau-matire et de
la densit dnergie utiliss.

4. Applications
Ds que le laser a t cr, la perspective de son impact industriel
est apparue rapidement. Aprs presque 30 ans de dveloppement,
le laser a trouv beaucoup dapplications industrielles, comme le
dcoupage, le perage, le soudage et les traitements superficiels.
Actuellement, le laser est la seule source de chaleur disponible, permettant dobtenir des densits de puissance dans lair trs leves
(de lordre de 108 W/cm2). Par consquent, les procds par faisceau
laser et ceux par faisceau dlectrons, qui sont moins rcents, sont
souvent meilleurs que toutes les autres mthodes lorsque lon
recherche des gradients importants de temprature.

Figure 19 Applications industrielles des faisceaux lasers


(daprs R. Streiff)

(0)
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Tableau 3 Traitements de surface par FHDE


FHDE prfrentiellement utilis
Type de procd

En phase solide
Sans apport de matire
Restauration. Adoucissement .............
Recuit ....................................................
Durcissement........................................
Avec apport de matire
Traitements ractifs .............................
En phase liquide
Refusion sans apport de la matire
Refusion simple....................................
Refusion avec apport de la matire
Refusion de revtements.....................
Alliages de surface...............................
Amorphisation...............................................
En phase gazeuse
Laser Chemical Vapor Deposition................
Durcissement par choc laser ........................

Profondeur
traite

Laser
CO2

Laser
YAG-Nd3+

0,1 3 mm

1 7 mm
0,1 m 2 mm
1 50 m

Laser
excimres

Faisceau
dlectrons

0,1 2 mm
0,1 3 mm
0,2 3 mm
1 30 m

0,1 20 m
0,1 3 m

Les avantages de ce type de traitement par rapport aux autres


traitements employs sont la faible distorsion, les faibles contraintes
thermiques induites dans le substrat, la dfinition exacte de la zone
traiter, une grande flexibilit et une bonne reproductibilit.
Les inconvnients de ce traitement sont la prparation de la surface traiter et la chute de la duret dans les zones de recouvrement
de passes successives du faisceau.

4.1.1 Sans apport de matire


4.1.1.1 Alliages ferreux
Le durcissement superficiel par FHDE est largement tudi pour
diffrentes familles daciers (non allis, allis, inoxydables, outils)
et des fontes ( graphite lamellaire ou graphite sphrodal GS).
Les couches superficielles traites peuvent atteindre 0,2 3 mm
dpaisseur et prsentent une duret considrablement augmente.
Leur comportement en corrosion, fatigue et usure peut tre nettement amlior.
4.1.1.1.1 Mcanismes des transformations produites
Lorsque le faisceau nergtique interagit avec la surface du
matriau, une partie de son nergie est absorbe par celle-ci. Alors,
pour un cas, dcole, la temprature au voisinage de la surface
augmente rapidement et porte une fine couche de la matire ltat
austnitique, sans affecter le reste de la masse du matriau. Puis,
une fois le faisceau pass, la surface se refroidit rapidement par
conduction de la chaleur dans le volume de la pice traite. Et la
couche mince en surface devient de la martensite, qui est dure.
Dans la zone superficielle traite par FHDE, on obtient des
martensites claire et sombre, dont la microduret varie comme sur
la figure 20. Laugmentation de la duret de la martensite claire est
due laccroissement de la richesse en carbone provenant de la
diffusion limite du carbone partir de lancienne perlite vers le
centre des plages de ferrite pauvre en carbone. On peut expliquer
dune manire analogue la dcroissance rgulire de la duret de
la martensite sombre qui sappauvrit en carbone quand on sloigne
de la surface. La chute de duret de la martensite claire provient de
son htrognit et de rgions localement forte teneur en
carbone, ce qui peut provoquer la prsence daustnite rsiduelle
aprs refroidissement.

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Figure 20 volution de la microduret des martensites claire


et sombre (daprs A. Mulot et J.P. Badeau)

Comme pour les traitements thermiques classiques, la trempabilit par laser dun mtal est en particulier fonction de sa teneur en
carbone.
Les matriaux ferreux pouvant subir une trempe par des traitements classiques sont de bons candidats pour subir une transformation superficielle par FHDE. Ainsi donc, si lon veut utiliser une
fonte pour effectuer un traitement de durcissement superficiel par
FHDE, ce doit tre une fonte matrice perlitique. En effet, la fonte
matrice ferritique ne peut pas tre durcie aprs traitement de transformation par laser, car la teneur en carbone de la matrice de cette

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fonte tant trs faible, il faut un temps dinteraction trs long pour
que la diffusion du carbone provenant du graphite libre puisse avoir
lieu, ce qui est impossible en raison du temps de maintien trs bref
dans le domaine austnitique.
Comme dans le cas de la refusion superficielle des fontes par FHDE
( 4.2.2.2), aprs un traitement par transformation sans fusion superficielle, la surface traite est fortement durcie. La microduret de la
couche traite peut atteindre 900 1 000 HV. La profondeur durcie
est fonction des paramtres du traitement.
4.1.1.1.2 Contraintes rsiduelles
Le plus souvent, la rsistance la fatigue est amliore grce
des contraintes rsiduelles de compression dans la couche traite.
Dans le cas du traitement par FHDE de lacier de teneur moyenne
en carbone, des contraintes de compression existent dans la couche
traite et conduisent une amlioration de la rsistance la fatigue.
Il semble quune densit de puissance moins importante et un temps
dinteraction plus long soient ncessaires pour produire des
contraintes rsiduelles de compression dans lacier XC 45 de plus
forte teneur en carbone.
En ce qui concerne le traitement superficiel par FHDE des fontes,
un modle intressant pour analyser lapparition des contraintes
rsiduelles dans la couche traite est propos (figure 21a, b et c ).
Dans ce modle, la section de la pice traite par laser est divise
en trois parties (figure 21a ) : la zone durcie par laser (zone A), la
zone non durcie (zone B) et la zone non affecte (zone C). Le cycle
du traitement est divis en cinq domaines (figure 21b ). La
figure 21c dcrit lorigine des contraintes correspondant chaque
domaine. La figure 21d reprsente les contraintes rsiduelles dans
la couche traite par laser dune fonte GS qui confirme la description
du modle mentionn.
4.1.1.1.3 Comportement en fatigue
Dans lindustrie automobile, on utilise le traitement superficiel par
laser des fontes perlitiques afin de traiter des arbres cames, des
vilebrequins, des engrenages et dautres pices qui demandent une
haute rsistance la fatigue. Malheureusement, il y a peu de publications en ce domaine. Selon des tudes concernant la rsistance
la fatigue des fontes GS et des fontes grises traites par laser de
puissance, bien que des contraintes rsiduelles de compression se
dveloppent dans la couche traite par laser, ces fontes ne prsentent
pas damlioration de leur rsistance la fatigue. La figure 22 reprsente les rsultats de la limite dendurance pour la fonte GS traite
par laser et pour celle non traite. Il a t trouv que la profondeur
durcie influe trs peu sur les proprits en fatigue. Il a t constat
aussi que la diminution de la limite dendurance, suite au traitement
laser de la fonte GS, est infrieure celle de la fonte grise ; ceci est
d la diffrence de la concentration des contraintes dans les deux
fontes (la fonte GS est ductile alors que la fonte grise graphite
lamellaire ne lest pas).
Dans lessai de fatigue, si la contrainte impose est assez importante, la fonte traite par laser a la mme endurance que celle non
traite.
Le traitement de la trempe superficielle par laser des aciers allis
(35 CD 4, 35 CDV 13, 35 NCD 16) cre des couches traites mises en
compression (jusqu 400 MPa) et dont le comportement en fatigue
(flexion rotative) est amlior denviron 15 %. En outre, le mme
traitement appliqu aux aciers XC 42 et 42 CD 4 conduit un
comportement en fatigue tout fait comparable celui de la carbonitruration des mmes aciers.

Figure 21 tude de contraintes rsiduelles aprs traitement


par laser (daprs P.A. Molian)

4.1.1.2 Alliages de titane


4.1.1.1.4 Comportement en usure-frottement
De nombreux travaux montrent que lamlioration de la tenue en
usure des aciers et des fontes, aprs trempe superficielle par FHDE,
est remarquable (figure 23). En effet, elle est bien suprieure
celle obtenue aprs traitement classique de trempe et deux fois
plus grande que celle obtenue aprs traitement de durcissement
par induction.

Lalliage de titane le plus tudi est le TA 6 V, de structure + .


Cet alliage aprs trempe superficielle par laser donne une structure
martensitique aciculaire du type .
Aprs traitement par laser, la rsistance en usure-rosion est
suprieure celle du matriau non trait (effets combins de la
couche et du substrat) bien que, contrairement aux aciers, sa tenue
en fatigue ne se soit pas amliore.

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Remarque : nous traiterons plus loin ( 4.2.2.4) de la trempe


en phase solide des alliages fritts car pour ces alliages, ce traitement prsente les mmes caractristiques que la refusion simple en phase liquide.

4.1.2 Avec apport de matire


Lintrt dun traitement superficiel par laser de lalliage de
titane TA 6 V consiste au traitement avec apport dun gaz (mthane,
azote) ou dun lment (C, N, B) sous forme de spray pralablement
dpos sur la surface traiter, afin de former des carbures, des
nitrures et borures de titane en surface, par diffusion des lments
daddition dans la microstructure du substrat (carburation, nitruration et boronitruration).
En utilisant la technique de lapport par voie gazeuse, pour des
densits de puissance relativement faibles (5 103 W/cm2) et pour
des temps dinteraction assez longs (quelques secondes), des
couches superficielles traites ont t obtenues dune paisseur de
1 2 m. Pour augmenter lpaisseur de la couche traite, plusieurs
passages du faisceau peuvent tre effectus au mme endroit et on
obtient des couches traites dune duret trs leve, de lordre
de 2 000 HV.
En utilisant la technique de lapport par spray, les couches
obtenues peuvent atteindre plusieurs micromtres dpaisseur (10
30 m), avec un seul passage du faisceau, mais leur duret est
moins leve (1 400 HV).
Des essais drosion pas trop svres, raliss sur les couches
nitrures et boronitrures par laser, montrent que ce type de traitement est intressant.

4.2 Traitements superficiels en phase liquide


4.2.1 Gnralits
Du fait de leur nature, les faisceaux haute densit nergtique
sont plus appropris une fusion rapide qu un durcissement par
trempe superficielle ( 4.1). Cest pourquoi, ds les annes soixante,
on a commenc tudier leffet dun traitement de refusion superficielle avec ces sources, sur diffrents matriaux.
Les alliages mtalliques fondus et rapidement solidifis scartent
compltement de ltat dquilibre du point de vue constitution et
morphologie et sont trs finement cristalliss ou amorphes (verres
mtalliques).

Figure 22 Courbes de Whler pour une fonte GS (daprs P.A. Molian)

Lobtention de couches superficielles dures et rsistantes lusure,


lies au substrat par fusion, relativement paisses et exemptes de
pores et de fissures, prsentant des rsistances dynamiques
considrablement amliores, est possible.
Les mcanismes intervenant dans les procds du traitement
superficiel en phase liquide sont lis principalement trois phnomnes : la diffusion des lments, les mouvements de convection
dans le bain fondu et le principe de la solidification rapide de la zone
refondue.
4.2.1.1 Mouvements de convection dans le bain fondu
Dans le bain superficiel fondu par FHDE, un gradient de temprature existe entre la zone axiale et la priphrie de celui-ci. cause
de ce gradient thermique, des forces de tension superficielle, de
viscosit et de gravit se dveloppent (figure 24), ce qui conduit
lapparition des mouvements de convection dans ce bain fondu.

Figure 23 Taux dusure et coefficient de frottement


en fonction du temps (daprs L.N. Obishchenko et al )

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Figure 24 Forces dans le bain fondu par FHDE

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TRAITEMENTS SUPERFICIELS PAR FAISCEAUX HAUTE DENSIT DNERGIE

Dans le cas gnral, lors du traitement de fusion superficielle, les


forces de tension superficielle tirent le liquide vers la priphrie de
la tache dimpact alors que les forces de gravit le ramne vers le
centre par les couches profondes du bain. Le mouvement rsultant
est contrecarr par les forces de viscosit. Les forces de tension
superficielle sont responsables de la rugosit de la surface
resolidifie obtenue (par exemple, la prsence des rides, qui correspondent au matriau gel en surface lors du traitement).
cause des phnomnes dcrits ci-avant, la forme du bain fondu
peut changer en fonction des paramtres opratoires du traitement
(densit de puissance, temps dinteraction), de lefficacit du brassage dans le bain liquide et des courants de convection pour lhomognisation de lalliage form.
Pour des vitesses de balayage v b faibles, le bain a une forme
hmisphrique. Pour des vitesses leves, le bain prend la forme
dune larme (figure 25).
4.2.1.2 Principe de la solidification rapide de la zone refondue
Lors du passage ltat liquide, la viscosit du mtal fondu
devient trs faible et des phnomnes de tensions superficielles
apparaissent, ce qui pourrait conduire des phnomnes dfavorables, comme par exemple une dgradation de ltat de surface.
Le processus de la solidification est caractris par trois paramtres importants :
la vitesse de refroidissement v r = dT/dt (T temprature et
t temps) ;
la vitesse de solidification v s = dx/dt (x dplacement du front
de solidification) ;
le gradient de temprature G = dT/dx linterface
liquide/solide.

Figure 25 Forme du bain fondu pendant la fusion superficielle


par FHDE pour des vitesses de balayage v b leves (daprs B.L. Mordike)

La relation entre ces trois paramtres est reprsente par la


formule suivante :
vr = vs G
En fonction des valeurs prises par ces paramtres, on obtient des
microstructures diffrentes lors de la solidification. La figure 26
reprsente la relation entre les morphologies de solidification, le
gradient de temprature G et la vitesse de refroidissement v r .
La vitesse de refroidissement v r est importante pour dterminer
lchelle microstructurale (finesse) de la structure dune mme
morphologie. Par contre, cest le rapport du gradient de
temprature G avec la vitesse de solidification v s qui dtermine le
type de la morphologie de la structure de solidification (avec ou sans
sgrgation des lments extrieurs et des impurets). Laccroissement de ce rapport cause un changement progressif du type de solidification, dans lordre suivant : plane, dendritique, cellulaire. Le
domaine de la stabilit absolue correspond au cas o v s est trop
importante pour que la diffusion de diffrents lments de lalliage
dans le mtal fondu ait le temps davoir lieu.
Par ailleurs, pour calculer la vitesse de refroidissement, plusieurs
chercheurs ont propos des formules empiriques appliques la
refusion par FHDE des diffrents matriaux, pratiquement quivalentes, donnant des valeurs : v r = 104 106 oC/s pour : d = 0,1 4 m
(d tant lespace interdendritique ou le diamtre des cellules,
figure 26).

4.2.2 Refusion simple (surface melting )


4.2.2.1 Gnralits
Lnergie absorbe par la surface du matriau traiter entrane
la fusion de la couche superficielle dont le refroidissement rapide
conduit des structures de solidification diverses (solutions
sursatures, phases mtastables, structures cristaux extrmement
fins ou amorphes, dispersion homogne de fins prcipits

Figure 26 Relation entre les morphologies de solidification,


la vitesse de solidification v s , le gradient de temprature G
et la vitesse de refroidissement v r

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et des composs intermtalliques, raffinement dune structure


dendritique, etc.). La formation de phases mtastables conduit
lamlioration des proprits tribologiques de la surface et limite en
mme temps le problme classique de leur adhrence. En outre, la
porosit en surface des pices moules peut tre limine laide
de ce traitement.
Les couches superficielles ainsi traites peuvent prsenter une
trs grande duret et une excellente rsistance la corrosion et
lusure.
Contrairement au cas de la trempe superficielle ( 4.1), labsorption est suffisamment leve en raison des tempratures moyennes
atteintes (parfois, en surface, proches de la temprature dvaporation), ce qui fait que lapplication dune couche dabsorption la
surface traiter dans le cas du faisceau laser nest pas forcment
ncessaire. En outre, tant donn les tempratures atteintes lors de
ce traitement, il faut bien choisir la prparation de surface raliser,
pour ne pas introduire dans la structure du substrat des lments
qui joueront un rle nfaste la tenue mcanique du matriau ainsi
trait (par exemple, bore sur la fonte).
Latmosphre environnante est importante, car des ractions
chimiques peuvent se produire. Les paramtres du traitement
( 1.2.1) imposent la gomtrie et lhomognit du bain de fusion.
Ce traitement noccasionne pratiquement ni dformation ni chauffage du matriau de base. Enfin, il ne ncessite presque pas de
reprises dusinage des surfaces traites.
Les mtaux qui prsentent une rflectivit leve, comme le
molybdne, le cuivre et le tungstne, ainsi que les mtaux nobles,
comme largent et lor, sont des substrats critiques vis--vis de
lirradiation infrarouge. Avec le laser excimres, qui met dans lUV
et est caractris par des valeurs dnergie par impulsion suffisamment leves, et le faisceau dlectrons, on peut refondre pratiquement tous les substrats mtalliques.
On donne, par la suite, quelques exemples concrets de traitements par FHDE, tirs de la littrature disponible actuellement
dans ce domaine.
4.2.2.2 Fontes
La fonte est un matriau qui peut subir une refusion superficielle
par FHDE. Il est alors possible de produire conomiquement des
pices en fonte avec une surface dure et prsentant une bonne
rsistance lusure ou au frottement.
En gnral, aprs refusion des fontes par FHDE, on trouve deux
zones de microstructures diffrentes dans la couche superficielle
traite : la zone compltement fondue (ZF) et la zone affecte thermiquement (ZAT). Entre ces deux zones, il se trouve une zone trs
mince o coexistent des microstructures provenant des deux zones
adjacentes.
La densit dnergie du faisceau nergtique influe sur la sensibilit de la surface la fissuration. Enfin, lutilisation dun prchauffage (400-450 oC) peut diminuer la probabilit de fissuration. Quant
la porosit, elle est influence par la dimension du bain de
fusion, le temps dinteraction, la forme du graphite, etc.
Microduret de la zone traite : la refusion des fontes par laser
produit une couche durcie. La figure 27 reprsente la distribution de
la microduret dune fonte GS refondue par laser avec diffrents gaz
de protection. La profondeur de la couche durcie est fonction des
paramtres du traitement ( 1.2.1). La vitesse de dplacement du
faisceau laser influe fortement sur la microduret. Par ailleurs, il a t
dmontr que la teneur en carbone de la fonte joue aussi un rle
important sur la trempabilit aprs fusion superficielle par laser de
puissance.
Contraintes rsiduelles et comportement en fatigue : pour
la fonte graphite lamellaire de matrice perlitique, il y a des
contraintes de compression dans la couche superficielle traite par
laser. Mais ces contraintes sont quilibres par des contraintes de
traction une certaine profondeur. Selon lpaisseur durcie, le signe

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Figure 27 Microduret de la zone superficielle


dune fonte refondue par laser avec diffrents gaz de protection
(daprs I. Hawkes, L. Lundberg, A.M. Walker, W.M. Steen et D.R.F. West)

des contraintes change soit dans la couche superficielle traite, soit


au-dessous. Pour la fonte GS, on trouve galement des contraintes
de compression dans la couche refondue par laser.
Malgr les contraintes de compression qui existent dans la couche
refondue par laser, les fontes ainsi traites prsentent une rsistance
la fatigue plus faible que les fontes non traites. De plus, les proprits en fatigue dpendent du gaz de protection : lhlium est le
gaz de protection qui permet dobtenir les meilleures proprits de
rsistance la fatigue. Nanmoins, il na pas t donn dexplications
concernant lexistence des contraintes de compression, ni du
mauvais comportement en fatigue.
Comportement en usure : lexcellente rsistance lusure de la
fonte GS et de la fonte grise, aprs refusion par laser, a t dmontre
par plusieurs chercheurs. Par ailleurs, le rsultat est meilleur si le
traitement par laser seffectue sous protection gazeuse dhlium.
4.2.2.3 Aciers
La refusion de diffrents types daciers a t tudie avec les
mmes objectifs que les fontes ( 4.2.2.2). Nanmoins, le tableau 4
donne quelques exemples de traitements de refusion des aciers
par lasers excimres impulsionnels, qui prsentent un intrt
nouveau.
(0)

Tableau 4 Refusion superficielle des aciers


par laser excimres
Type dacier
tudi

105 C 4

Z5 CND 17

Z6 CNM Ti 17

25 CN 20

Proprit
amliore

Duret
Usure

Corrosion
par piqres

Corrosion
par piqres

Corrosion

4.2.2.4 Alliages fritts


Nota : dans ce paragraphe, nous traitons galement de la trempe (traitements en phase
solide, 4.1), difficilement dissociable de la refusion simple en phase liquide pour ces
alliages.

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Le traitement superficiel par laser est particulirement intressant


lorsque la gomtrie de la pice traiter est complexe, ce qui se
passe pour la plupart des pices mtalliques produites par la mtallurgie des poudres.
Daprs une synthse des tudes portant sur le traitement superficiel par laser des alliages fritts, nous pouvons aboutir aux
conclusions suivantes.
Lhtrognit de la microstructure et de la composition
chimique dun acier fritt influe sur son aptitude au durcissement
superficiel en phase solide et donc sur sa trempabilit par laser. Le
taux daccroissement de la microduret dans la zone traite dpend
donc de la composition du matriau fritt mais galement des paramtres du traitement ( 1.2.1). Les rsultats exprimentaux montrent
que le traitement superficiel par laser des alliages fritts augmente
la duret de la surface affecte.
Les alliages les plus aptes aux traitements superficiels par
laser sont ceux qui contiennent une quantit suffisante de carbone
sous la forme de carbures ou de graphite (fontes, aciers, hypereutectodes). Lacier fritt doit avoir une teneur en carbone suprieure celle du matriau massif afin dobtenir les mmes rsultats
aprs traitement.
Les aciers fritts ont une conductivit thermique plus faible que
celle des aciers massifs de mme composition chimique cause de
la porosit interne, mais la mme trempabilit aprs traitement
superficiel par laser. Leur rsilience et leur rsistance la corrosion
augmentent avec la diminution de la porosit aprs traitement.
Le durcissement superficiel en phase liquide et en phase
solide par laser des aciers fritts semble amliorer leur rsistance
lusure.
Leur tenue en fatigue dpend du traitement superficiel (trempe
ou refusion simple) dans la mesure o elle dpend de la rugosit
de la surface. Nanmoins, les aciers fritts aprs trempe superficielle
par laser prsentent des caractristiques assez contradictoires.
Le traitement de refusion superficielle par laser amliore nettement (20 %) la dure de vie en fatigue des aciers fritts, du fait de
la baisse de leur porosit superficielle.

TRAITEMENTS SUPERFICIELS PAR FAISCEAUX HAUTE DENSIT DNERGIE

Lutilisation ultrieure dun traitement par FHDE peut amliorer la


qualit du revtement obtenu uniquement par des techniques de prdposition (principalement par projection plasma), en diminuant les
dfauts structuraux, en modifiant les microstructures et en ralisant
une liaison saine entre le revtement et le substrat. Cela est obtenu
par la refusion complte de la couche projete par plasma et du
substrat adjacent sur une faible paisseur, et par sa solidification
rapide lors du refroidissement. La profondeur de pntration de la
fusion dans le dpt et la dilution du substrat dans la couche fondue
sont contrles par la matrise des paramtres du traitement
( 1.2.1). De mme, un taux de recouvrement optimal de la surface
par le faisceau lors de ses diffrentes passes permet dobtenir une
refusion complte de la couche projete par plasma, sur toute la
surface de la pice traiter indpendamment de sa gomtrie.
Une autre possibilit consiste, au moyen dune installation de
transport, amener lalliage sous forme de poudre directement sur
la surface du composant traiter et fondre par laser. La mouillabilit du matriau de base par lalliage de revtement joue alors un
rle important.
Par ces procds, on peut revtir tous les corps ne se sublimant
pas, ou combiner dans le revtement des corps chimiquement
diffrents. De plus, on peut revtir des matriaux de temprature
de fusion leve avec dautres matriaux prsentant une basse
temprature de fusion. Les vitesses de solidification atteintes sont
moyennes leves et donc conduisent de faibles retraits de
solidification, le matriau de base tant peu affect.
La ralisation de couches successives de revtements, avec
plusieurs passages du faisceau, offre la possibilit de changer la
structure en surface de faon continue du substrat vers la dernire
couche de revtement, en utilisant des dpts de composition
diffrente pour chaque couche. Ainsi, on rduit les contraintes
rsiduelles dans lensemble du dpt.
Le traitement peut tre localis et ne ncessite pas de reprises.
Il nest pas limit en paisseur. On peut atteindre des paisseurs de
dpt de lordre de 7 mm, en fonction des matriaux utiliss et de
la puissance des sources.

La refusion par FHDE des alliages daluminium permet une amlioration considrable des proprits superficielles, grce laffinement de la microstructure, lhomognit microstructurale et le
durcissement sans fragilisation pour de nombreux alliages.

Le revtement prsente une liaison mtallurgique avec le substrat.


Dans certains cas, afin dviter lapparition des fissures lors du
traitement, un prchauffage des pices traiter est exig.
Le nombre des travaux existant dans la littrature internationale
tant trs important, on donne dans le tableau 5 les diffrentes
combinaisons des matriaux tudis pendant ces cinq dernires
annes (liste non exhaustive).
(0)

La refusion superficielle a t tudie surtout partir des alliages


Al-Si (le plus tudi), Al-In et Al-Si-Cu.

4.2.3.2 Alliages de surface (surface alloying )

4.2.2.5 Alliages daluminium

4.2.2.6 Alliages de cuivre


Parmi le nombre trs restreint des travaux concernant le traitement
de ces matriaux, on rappelle ltude de la refusion superficielle par
faisceau dlectrons de lalliage Cu-Al 12 % (12 % en masse dAl),
qui conduit une rsistance lusure lgrement suprieure celle
du matriau aprs traitement thermique normalis.
Les traitements de ce genre de matriau (trs rflchissant
vis-a-vis du rayonnement IR) devraient se dvelopper grce lessor
des lasers excimres.

4.2.3 Refusion avec apport de matire


(surface cladding and alloying )
4.2.3.1 Revtements de surface (surface cladding )
Ce procd consiste fondre au FHDE une couche prdpose,
le matriau de base ntant fondu que jusqu lapparition dune
liaison mtallurgique avec la couche prdpose. La dilution du
revtement avec le substrat doit tre donc trs limite (entre 5 et
10 %), voire presque nulle dans le cas des traitements multipasses.

Lalliage de surface est en principe identique au revtement de


surface. La seule diffrence rside dans le fait que lon souhaite un
mlange entre les lments dalliage dapport et le matriau de base.
Il en rsulte une couche dure qui laisse prsager dexcellentes
proprits de surface. Dans ce cas, la conduction thermique joue un
rle important (qualit du mlange).
Les lments dalliage introduire en surface sont apports soit
pralablement au traitement par FHDE par dpts obtenus par galvanisation, mtallisation thermique, application de feuilles, de ptes,
de peintures ou de poudres, soit par injection sous forme pulvrulente, par fil ou par baguette, soit par apport dun gaz ractif
(carburation, nitruration, oxydation, etc.).
Le concept de la formation dun alliage de surface par FHDE est
schmatis moyennant des coupes transversales squentielles
comme reprsentes sur la figure 28.
Le substrat B, recouvert dune couche mince de mtal A, reoit
le rayonnement FHDE (figure 28a). Une fraction de lnergie
incidente est absorbe par la surface irradie instantanment (dure
de 1012 s) et transfre au rseau cristallin. La rgion avoisinante
atteint trs rapidement la temprature de fusion et linterface
liquide/solide commence se dplacer (flches pleines) lintrieur
de la couche (figure 28b). Linterface liquide/solide passe travers

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Tableau 5 Quelques combinaisons substrat-revtement


dernirement tudies pour le traitement superficiel
par laser
Substrat

Revtement

acier doux
acier inoxydable 316

acier inoxydable 316


acier doux

acier inoxydable

aluminium

acier 0,7 % C

stellite + WC

acier Z10 CDV 12-2


(acier 0,4 % C et 0,6 % Mn)

alliage base cobalt

acier Z10 CDV 12-2


(acier 0,4 % C et 0,6 % Mn)

alliage base nickel

acier ASTM A387


(acier alli non inoxydable)

alliage base cobalt (Tribaloy )


stellite

acier AISI 1018


(acier spcial pour traitement
thermique)

WC + Fe

alliage daluminium AS

alliage base fer

alliage daluminium

Cr, Mn, Fe, Ni, Ti, Zr, Si

alliage daluminium AA 390

silicium

alliage daluminium 2219

alumine

bronze

acier doux

nickel

acier doux

alliage de nickel

WC

alliage de cobalt

WC

chrome

titane

stellite SF6

laiton

stellite SF6

acier doux
acier X12 CrNiMo 12

Les pourcentages indiqus sont des pourcentages massiques.

linterface initiale dpt/substrat. Linterdiffusion (flches vides) des


lments du dpt (cercles pleins) et du substrat (cercles vides)
commence (figure 28c). Lirradiation laser est presque termine et
la temprature en surface reste au-dessous de celle dvaporation.
La profondeur maximale de fusion est atteinte (figure 28d ). Linterdiffusion continue. La vitesse de linterface de la resolidification est
momentanment nulle et augmente aprs rapidement. Linterface de
la resolidification sest dplace (figure 28e) de la moiti de la profondeur maximale du bain fondu la surface. Linterdiffusion dans
le liquide continue mais le mtal resolidifi derrire linterface
liquide/solide se refroidit tellement vite que la diffusion ltat solide
peut tre ngligeable. Sur la figure 28f, le matriau est compltement resolidifi et un alliage de surface de A dans le B est obtenu.
La diffusion des lments daddition a lieu uniquement dans la
zone fondue. La composition de lalliage dtermine la microstructure
obtenue, et les paramtres du traitement ( 1.2.1) gouvernent le
raffinement de la microstructure et les dimensions de la zone allie.
La reproductibilit des rsultats dpend normment de la
technique de lapport de la matire, qui doit tre au maximum
automatise.
Le traitement par laser excimres avec apport dlments
conduit lamlioration de la rsistance la corrosion, en usurerosion et en usure-frottement et loxydation haute temprature du matriau trait. Les densits dnergie ncessaires sont
assez leves (figure 19).
Les compilations bibliographiques de 1964 1984 montrent
lintrt de la mthode mais en mme temps, la difficult de lindustrialisation du procd, cause de problmes de fiabilit et de reproductibilit des surfaces traites. Depuis, dautres travaux sont
apparus, que lon prsente dans le tableau 6.

4.2.4 Amorphisation ou glaage (surface glazing )


La possibilit de la ralisation de ces traitements rsulte des proprits spcifiques du traitement thermique en mode impulsionnel.
Lexistence dune couche amorphe en surface a pour effet lamlioration de ses proprits tribologiques, ainsi que de sa rsistance
la corrosion et en usure-rosion. Ce comportement est attribu
lhomognisation chimique qui en rsulte, ainsi qu llimination
des joints de grains et des dfauts structuraux.
cause des grandes densits dnergie offertes par FHDE, pour
certains matriaux, on peut obtenir une fusion superficielle en un
temps tel que la conduction thermique de la surface vers le substrat
est ngligeable. La vitesse de solidification tant extrmement rapide
(108 K/s), on aboutit des microstructures nouvelles ultrafines
(couches vitreuses ou amorphes). Cest lamorphisation superficielle
ou le glaage (surface glazing ).
Lamorphisation se produit partir des alliages mtalliques
contenant jusqu 85 % en masse dun mtal de transition (Fe, Ni,
Co, Pd, etc.) et un mtallode (Si, B, P, C, etc.) qui peut tre soit prsent
dans la composition chimique initiale de lalliage traiter, soit
apport par des techniques comme celles du paragraphe 4.3. Cette
teneur leve en mtal fait que lon parle le plus souvent, leur sujet,
de verres mtalliques (tableau 7).

4.3 Traitements superficiels en phase vapeur


4.3.1 Laser Chemical Vapor Deposition LCVD

Figure 28 tapes introduites lors de la formation dun alliage


de surface par laser (daprs C.W. Draper et J.M. Poate)

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Avec cette technique, la surface est place dans une atmosphre


gazeuse. Lirradiation par laser (dhabitude, laser excimres)
permet la dissociation du gaz qui facilite son absorption par la surface
irradie. La densit dnergie transmise la pice est facilement
contrlable par la distance de focalisation du faisceau et le temps
dinteraction. Cette technique sapplique surtout dans le domaine de
la micro-lectronique (semi-conducteurs et supraconducteurs). (0)

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Tableau 6 Quelques combinaisons substrat-matriau dapport tudies pour la formation dalliages


de surface par laser
Substrat

Proprit
concerne

Matriaux dapport

Alliages ferreux
B, N, C

usure
corrosion

Cr3C2 , Cr3C2 + NiCr, WC + Co, Mo, B, Ni, Cr, Ni + P,


stellite + SiC

usure
corrosion

aciers outils

TiC, Si3N4 , Al2O3 , ZrO2 , Si, B, SiC, WC, TiB2 ,


diamant artificiel

usure
corrosion

aciers rapides

WC + Co, SiC

usure
corrosion

W, Cr, Cr + C, stellite, Cr + C + Mn, Cr + C + Mn + Al,


alliage base Fe, alliage base Ni

usure
corrosion

Si, C, Cr

usure
corrosion

fer pur
aciers doux

aciers inoxydables
fontes
Alliages daluminium
alliages AS
Al, alliages AS et alliage 5086
Al, alliages AS, 2024, 5052 et 6061

Ni, Fe, Si, Cu, SiC, stellite

usure

Cu

usure

Si, C, N, TiC, WC + VC, TiN, B4C, SiC

usure

Alliages de titane
alliage TA 6 V
titane
Ti et alliage TA 6 V

TiC + Ni

fatigue

Fe, Co, Mo, C + B, C + Si

fatigue

CH4 ou graphite (carburation), N2 (nitruration)

fatigue

Autres alliages
alliages de cuivre

corrosion
marine

Fe, Ni, Cr

alliage Ni70Cr30
alliage base nickel Nimonic 80A

C, Cr

usure

Cr7C3 , Cr23C6 , stellite, B4C

usure

Le terme usure caractrise lusure au frottement et lrosion.

Tableau 7 Quelques matriaux tudis pour lamorphisation superficielle par FHDE


Substrat
alliage Fe 80P13C7

Type de source utilise


faisceau dlectrons

Substrat
alliage Pd-Si-Cu

Type de source utilise


laser CO2

alliage Fe 83(Bx Cy )17

laser CO2

alliage base nickel

alliage Fe-40Ni-14P-6B

laser CO2

alliage nickel-bronze daluminium

laser excimres

alliage Fe 80B16Si4

laser CO2

alliages Fe-B et Fe-Zr

laser excimres

alliage Fe-Cr-P-C-Si

laser CO2

acier + dpt de tellure

laser excimres

laser CO2

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Elle est utilise pour dposer du chrome, du bore et de laluminium, provenant des gaz Cr(CO)6 , BCl3 et Al(CH3)3 , respectivement
sur des alliages base Al et base Ni. Le chrome et laluminium, en
se combinant avec dautres lments, peuvent amliorer la rsistance la corrosion et en usure-rosion. Le bore amliore les proprits tribologiques et la rsistance la corrosion.
En outre, la technique du couplage de deux faisceaux a t utilise
pour optimiser lefficacit du procd LCVD. Dans ce cas, le premier
faisceau permet la dissociation du gaz, tandis que le second permet
le traitement de la surface avant, pendant et aprs le dpt, ce qui
conduit lamlioration de la qualit du dpt obtenu et laugmentation de la vitesse de dposition.

4.3.2 Durcissement par choc laser


(laser shock hardening )
Le principe de traitement est le mme que pour le glaage avec
une densit de puissance plus leve (de lordre de 109 W/cm2) et
un temps dinteraction plus court (< 1 000 ns), disponibles actuellement uniquement partir des lasers pulss. Cela provoque une
vaporisation superficielle rapide, sans que le matriau de base soit
affect thermiquement, qui conduit la cration dun plasma.
Selon ltat de surface du matriau, le comportement de ce plasma
peut avoir des consquences opposes :
si la surface est nue, on aboutit lablation du matriau (effet
thermique prpondrant), ce qui provoque lapparition des
contraintes de traction dans la surface traite ;
si la surface est recouverte dun liquide ou dune plaque de
verre dilectrique transparents au rayonnement laser, le plasma est
confin et lnergie est absorbe par la pice. Le temps dapplication
de la pression quexerce le plasma sur la surface est multipli par
2 et la valeur de la pression du plasma confin est multiplie par
5 par rapport au plasma non confin.
Lorsque, en plus dun milieu transparent, il a t appliqu un
revtement absorbant la surface irradie (figure 29), on aboutit
lapparition des contraintes rsiduelles de compression dans la surface traite (effet mcanique prpondrant). En effet, la propagation
de londe de choc dans le matriau produit une dformation
plastique sur quelques micromtres dpaisseur, ce qui a pour effet
une forte augmentation de la densit des dislocations (crouissage)
et la cration des contraintes rsiduelles de compression la surface
du matriau trait (de lordre de 400 700 MPa) et par consquent,
lamlioration de la duret et de la rsistance en fatigue du matriau
ainsi trait ( 1.2.3).
Le durcissement par choc a t tudi pour les alliages daluminium (7075, 7475, 6061 et 2024), pour lacier inoxydable 316, pour
lalliage monocristallin CMSX 2 et pour quelques mtaux purs
(Fe, Al, Cu, Sn, Zn, Bi). La dure de vie en fatigue de ces alliages
est amliore, cause de la prsence des contraintes de compression
dans la couche traite, induites par ce traitement.

5. Comparaisons
et conclusions
Les faisceaux haute densit dnergie fournissent des densits
de puissance trs leves pendant des temps trs courts et sur des
zones bien localises, ne donnant pas naissance des distorsions
importantes des pices ainsi traites.
Les proprits des surfaces traites sont souvent impossibles
obtenir partir des techniques conventionnelles.

5.1 Comparaison des diffrents types


de lasers
Les courtes longueurs donde des missions des lasers
excimres, compares celles des lasers IR, permettent une
meilleure focalisation du faisceau. Le diamtre minimal de la tache
focale du faisceau est de lordre du micromtre, cest--dire un ordre
de grandeur plus petit que celui des autres lasers. Ce fait conduit
un traitement plus localis que celui obtenu par les autres types
de lasers. On peut aussi obtenir, en utilisant un faisceau trs
dfocalis, une trs bonne juxtaposition de zones traites.
Le coefficient dabsorption des surfaces mtalliques dans lUV
tant trs lev (de lordre de 80 %), le traitement par laser excimres peut tre effectu sur toutes les surfaces mtalliques, sans
utiliser aucune prparation pralable.
cause des faibles pntrations aux petites dures dimpulsion
de ce type de laser, on peut obtenir facilement des couches
amorphes, puisque les vitesses de solidification peuvent y atteindre
des valeurs de lordre de 107 1010 K/s. En outre, lchauffement
rapide dune couche mince ne provoque pas de dformation du reste
du matriau, ce qui nest pas le cas avec les lasers IR.
tant donn que les profondeurs traites sont de lordre du micromtre, les lasers excimres sont utiliss surtout dans des applications o lon cherche amliorer la rsistance la corrosion ou
les proprits tribologiques des surfaces, ainsi que dans le cas de
micro-usinage, sans variations dimensionnelles des pices traites.
Le procd par laser prsente :
une grande flexibilit avec la possibilit de raliser certains
types de traitement sur certaines pices (ou endroits) impossible
avec dautres techniques ;
une grande productivit cause des vitesses leves
accessibles ;
de la qualit et une bonne reproductibilit ;
la possibilit de miniaturiser (localiser le traitement), ce qui
conduit lconomie de la matire premire et de lnergie ;
de moindres reprises de la matire traite ;
lincorporation facile dans une ligne de production ;
le contrle complet de qualit du procd ;
la rduction des cots de production.

5.2 Comparaison des procds par laser


et par faisceau dlectrons

Figure 29 Schma de lexprience de durcissement par choc laser


(daprs G. Barreau, P. Ballard et J. Fournier)

M 1 240 20

Lun des intrts majeurs des traitements superficiels rapides par


faisceaux haute densit nergtique est de pouvoir sintgrer
dans les lignes de fabrication de forte cadence.
Lavantage commun de ces deux procds (par laser et par
faisceau dlectrons) est la parfaite localisation du traitement et la
haute densit dnergie, difficilement accessible par dautres
techniques (par exemple, trempe par induction).

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Techniques de lIngnieur, trait Matriaux mtalliques

_____________________________________________________________________

La plupart des mtaux sont de bons rflecteurs de la lumire.


Daprs la littrature, seulement 5 10 % de lnergie photonique
incidente serait absorbe par les mtaux la temprature ambiante.
Un dpt est donc ncessaire pour amliorer le pouvoir absorbant
des surfaces traiter et assurer la ralisation du traitement par laser
(surtout pour les traitements en phase solide), ce qui nest pas le
cas pour le faisceau dlectrons.
Ces deux procds donnent une surface traite dexcellente qualit
avec des profils de duret comparables mais de dimensions plus
faibles dans le cas du faisceau dlectrons. Des travaux existant
montrent que, pour la trempe superficielle, les deux procds
mettent en jeu les mmes processus de germination et de croissance
de laustnite. De plus, ces deux procds nengendrent que de
faibles distorsions des pices traites.
Au niveau de lquipement, la technique du faisceau dlectrons
a besoin ncessairement dun vide parce que les lectrons peuvent
tre ralentis et absorbs dans lair. Par ailleurs, les traitements par
injection de poudre sont impossibles avec le procd par faisceau
dlectrons parce que les particules de la poudre injecte sont
lectrises et se repoussent mutuellement.
Le transport du faisceau par fibres optiques, qui savre tre trs
commode, nest possible que pour les lasers YAG-Nd3+. Par contre,
le guidage du faisceau par systmes optiques (lentilles) est plus
ais dans le cas du faisceau dlectrons, cause des distances
focales plus grandes des lentilles qui y sont employes.
Enfin, en ce qui concerne le rendement nergtique des installations, il est lev pour le faisceau dlectrons (jusqu 90 %) et trs
faible pour le faisceau laser (infrieur 10 %).

TRAITEMENTS SUPERFICIELS PAR FAISCEAUX HAUTE DENSIT DNERGIE

5.3 Applications industrielles


des traitements superficiels par laser
Malgr le nombre considrable des travaux de recherche dans le
domaine des traitements superficiels par laser, les applications
industrielles, actuellement mises en uvre, de ces procds, sont
trs limites.
Dans lindustrie automobile, on lutilise pour :
la trempe superficielle des cylindres de moteur ;
la refusion superficielle, avec ou sans matriau dapport
(Cr-Mo), des arbres cames, des vilebrequins, des engrenages, des
soupapes et dautres pices qui demandent une haute rsistance
la fatigue et lusure ;
le dpt superficiel sur bloc moteur (Toyota, 1992).
Dans lindustrie aronautique, depuis peu, on utilise le rechargement par laser pour la rparation des extrmits des aubes de
turbines de moteurs davions.
Avec une croissance de 15 % par an, lindustrie mondiale du laser
peut tre considre comme saine, dautant que les technologies
sont loin dtre figes et que de nouvelles applications apparaissent
chaque anne.
Avec un accroissement de la fiabilit et une amlioration des
performances de loutil laser, il est raisonnable de penser que les
taux de croissance devraient crotre dans les annes venir.

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M 1 240 21

Traitements superficiels par faisceaux


haute densit dnergie

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par

Dimitris PANTELIS
Ingnieur de lcole Polytechnique dAthnes
Docteur Ingnieur de lcole Centrale de Paris
Responsable de lquipe Laser du Laboratoire Matriaux de lcole Centrale de Paris

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Doc. M 1 240

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Doc. M 1 240 1

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_____________________________________________________________________

TRAITEMENTS SUPERFICIELS PAR FAISCEAUX HAUTE DENSIT DNERGIE

Fabricants. Constructeurs. Distributeurs


(0)

ADRON SOURCES

AMONO

ARIES
AUTEC EUROPE

Cellules flexibles Tlerie

Intgrateur de sources

Robot polyarticul

AMADA PROMECAM

AGIE (CH)

AMADA (J)

LASERWORK (CH)
LPO-Aerotech (USA)

AWEA/(ROC)

ALLTEC-BAASEL-WB (D)

CHEVAL FRRES

DUFOUR ET CIE

Coherent General (USA)

ELAS-HACO

EMCO FRANCE

FERRANTI INTERNAT.

GEAT (D)

GE FANUC AUTOMATION

BERRENS (D)

LASER COSSE (GB)

UNITED TECHNO. (USA)


FANUC (J)

GENERAL SCANNING FR

General Scanning (USA)

GMF ROBOTIQUE

HAAS LASER FRANCE

Gaz dassistance coupe (F)

LABEL (Laser Appl. Belg.)


LASER INGENIERIE

LASERTECHNIK (A)

LASER TECHNIQUES

LASITRON (D)

LEADER CNC

YAG continu 2 kW NEC (J)

Techno compacte HELD (F)

LOT-ORIEL

E : Espagne
F : France

Fibres optiques (F)

L. TEC. FRANCE
CH : Suisse
D : Allemagne

Machines spciales (F)

(ROC)

LKS LASERCOM (D)

A : Autriche
B : Belgique

HAHN ET KOLB (GB)


IAR LASER (CH)

LAIR LIQUIDE

ROBOT L 100
Laser YAG continu 2 kW

HAHN ET KOLB FRANCE


IAR LASER EUROPE (CH)

HACO (B) Dcoupe bois


EMCO-MAIER (A)

EMT

LISA

Robot Laser SMART (I)

CORREA (E)

FL : Finlande
GB : Grande-Bretagne

I : Italie
J : Japon

L. TEC (USA)

S
: Sude
USA : tats-Unis

Toute reproduction sans autorisation du Centre franais dexploitation du droit de copie


est strictement interdite. Techniques de lIngnieur, trait Matriaux mtalliques

E
N
S
A
V
O
I
R

Intgrateur Valfivre (I)

galement sous-traitant (F)

CONTEC (D)

Robot Laser YAG

BYSTRONIC LASER (CH)

COMAU FRANCE

Chemins optiques (F)

BULLERI MACCHINE (I)


BYSTRONIC FRANCE

STRIPPIT (USA)
BIHLER (D)

BKLT LASERSYSTEM (D)


BM INDUSTRIES

MAUSER (D)

BEYELER-SAGITA-PERROT
BIHLER FRANCE

Firmes reprsentes
ou
observations

Banc Composite

AGIE FRANCE EM

BAASEL LASERTECH

Robot portique

ABVEMO

Centre usinage

Robot laser

Poinonneuses-Grignot

Table dcoupe XY

Soudage et C. usinage YAG

Marquage YAG-CO2

Machines
Composants opto/Divers

Sources YAG-Nd3+

Fournisseurs

Excimres

Sources CO2

Sources laser

P
O
U
R

Doc. M 1 240 3

P
L
U
S

TRAITEMENTS SUPERFICIELS PAR FAISCEAUX HAUTE DENSIT DNERGIE ______________________________________________________________________

JK-US Laserdyne (USA)

LVD (B)

MAHO (D) LASERCAV

MAZAK (J)
Intgrateur Adron-R-S (F)

MAZAK NISSHO IWAI

MECAMATIC

MELLES GRIOT

Sources scelles 250 W (F)

PHOTON SCIENCE INST.

SYNRAD-LEE LASER

Lamda Physik Control Laser (D)

PULLMAX FRANCE

QUANTEL

AMCHEM NEWALL (GB)

PRIMA INDUSTRIE FR.

QUANTA SYSTEM (I)

YAG 1,2 kW (F)

RHODES PIERCE (GB)

R-S (D) CO2 DE 13 kW

SAFMATIC

Rouch Laser/Limoges Prc. (F)

Machines Soudage

MLI LASER (Isral)

Robot de soudage (F)

ADIGE (I)

SCIAKY INDUSTRIES

SCITEC
SEROPTIC

SESO

KUGLER (D)
Mesure qualit faisceau

SPLS-WELCOR

SOPS

SOPRA

ROBOMATIX (USA)

FINN POWER (FL)

KWU (D) WMR (USA)

STOKVIS

SULZER (CH)
TRUMPF FRANCE

VALFIVRE (I)

WIEDEMANN (USA)

Machine Trait. Therm. (CH)

Techno. comp. Turbo TLF (D)


Sources 8 kW (I)

W.A. WHITNEY ITALIA


CH : Suisse
D : Allemagne

Portiques Laser (F)

ROUCHAUD INDUSTRIE

RASKIN (CH) BALLIU (B)


LASAG (CH)

RENAULT AUTOMATION

Doc. M 1 240 4

PULLMAX (S)
Li Valfivre (I)

RASKIN FRANCE

A : Autriche
B : Belgique

Prima (I) Optimo-Rapido (I)

RENAUD

SALZGITTER (D)

QUANTUM LASER ENG (GB)

ROFIN-SINAR FRANCE

DORRIES SCHARMANN
Filiale CH-USA

OMNITECHNIQUE

LASERLAB-EMCO (A)
ELECTROX (GB)

OERLIKON MACHINES
OERLIKON-PRC (CH)

MESSER GRIESHEIM (D)


Techno SLAB-MLS (D)

MONDE MACHINES-CMA
MYA LASER

MESSER GRIESHEIM
MLS FRANCE

Firmes reprsentes
ou
observations

MAHO FRANCE

Intgrateur de sources

Cellules flexibles Tlerie

Robot polyarticul

Robot portique

Centre usinage

Robot laser

Poinonneuses-Grignot

LVD-SPIERTZ

OPTILAS

P
L
U
S

Table dcoupe XY

Soudage et C. usinage YAG

Marquage YAG-CO2

LUMONICS FRANCE

Machines
Composants opto/Divers

Excimres

Fournisseurs

E
N
S
A
V
O
I
R

Sources YAG-Nd3+

Sources laser

Sources CO2

P
O
U
R

E : Espagne
F : France

FL : Finlande
GB : Grande-Bretagne

I : Italie
J : Japon

S
: Sude
USA : tats-Unis

Toute reproduction sans autorisation du Centre franais dexploitation du droit de copie


est strictement interdite. Techniques de lIngnieur, trait Matriaux mtalliques

WHITNEY (USA-I)

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TRAITEMENTS SUPERFICIELS PAR FAISCEAUX HAUTE DENSIT DNERGIE

Organismes
Club laser de puissance Association pour la promotion des applications des
lasers de puissance.
Auprs de cet organisme, on trouve :
les centres de recherche et les laboratoires qui travaillent dans ce
domaine ;
les normes et les rglementations diverses ;
les utilisateurs des systmes laser ;
les donnes du march des lasers industriels ;
une documentation varie.

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Doc. M 1 240 5