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Santiago Liivisaca
Chuquiguanga
Christian Montaleza
Docente:
Ing. Jonatan Pozo
Materia:
Diseo Mecnico
Tema:
Trabajo de investigacin
Fecha de entrega:
07/01/2015
Ciclo lectivo:
Septiembre - Febrero
Objetivos:
Objetivo principal:
MEMS
Investigar sobre los sistemas micro electromecnicos (MEMS).
Objetivos especficos:
Conocer que son y para qu sirven los sistemas micro
electromecnicos.
Comprender como es el proceso de diseo y manufactura de los
MEMS.
Explicar cuatro ejemplos de aplicacin de los MEMS.
Investigar si en Latinoamrica se realizan estos tipos de sistemas.
Introduccin:
Los Sistemas Micro-Electro-Mecnicos conocidos comnmente por las siglas
MEMS son definidos como dispositivos de pequeas dimensiones
compuestos por elementos activos y pasivos microfabricados y que realizan
diferentes funciones como percepcin, proceso de datos, comunicacin y
actuacin sobre el entorno. Los tipos de dispositivos MEMS pueden variar
desde estructuras relativamente simples que no tienen ninguna parte mvil,
hasta sistemas electromecnicos muy complejos en la que mltiples
elementos se mueven bajo el control de la electrnica integrada.
Desarrollo:
Sistemas Micro-Electro-Mecnicos (MEMS)
Qu son?
Micro-Electro-Mechanical Systems, o MEMS, es una tecnologa que en su
forma ms general se puede definir como elementos miniaturizados
mecnicos y electromecnicos (es decir, los dispositivos y estructuras) que
se realizan con las tcnicas de microfabricacin. Las dimensiones fsicas
crticas de dispositivos MEMS pueden variar desde muy por debajo de una
micra en el extremo inferior del espectro dimensional, todo el camino hasta
varios milmetros. Del mismo modo, los tipos de dispositivos MEMS pueden
variar de estructuras relativamente simples que no tienen elementos
mviles, sistemas electromecnicos a extremadamente complejas con
mltiples elementos en movimiento bajo el control de la microelectrnica
integrados. (1)
Los MEMS en general varan en tamao desde un micrmetro (una
millonsima parte de un metro) a un milmetro (una milsima parte de un
metro). En este nivel de escala de tamao, las construcciones de la fsica
clsica no son siempre ciertas. Debido a la gran superficie en relacin al
volumen de los MEMS, los efectos de superficie como electroesttica y
viscosidad dominan a los efectos de volumen tales como la inercia o la
masa trmica.
MEMS
MEMS
MEMS
Consumo de energa pequeo.
Alta precisin y biocompatibilidad.
Partes mecnicas especficamente diseadas, las cuales sern ms
rpidas y eficientes.
Materiales con propiedades que les permiten ser ms fuertes y
ligeros.
Desarrollo de componentes electrnicos ms rpidos.
Sistemas mecnicos y pticos ms rpidos y complejos.
Nuevos dispositivos opto-electrnicos.
Procesos MEMS
Procesos de Deposicin:
Uno de los elementos bsicos en el procesamiento de MEMS es la
capacidad de depsito de pelculas delgadas de materiales. En este texto
asumimos que una fina pelcula puede tener un espesor de entre unos
pocos nanmetros a unos 100 micrmetros. Los procesos de deposicin
de uso comn son: Electroenchapado (Electroplating), Deposicin
pulverizada (Sputter deposition), la deposicin fsica de vapor (PVD) y
deposicin qumica de vapor (CVD).
Fotolitografa:
Litografa en el contexto MEMS es, por lo general la transferencia de un
patrn a un material fotosensible por exposicin selectiva a una fuente
de radiacin, como la luz. Un material fotosensible es un material que
experimenta un cambio en sus propiedades fsicas cuando es expuesto a
una fuente de radiacin. Si nosotros exponemos selectivamente un
material fotosensible a la radiacin (por ejemplo, mediante el
enmascaramiento de algo de la radiacin) el patrn de la radiacin sobre
el material es transferido al material expuesto, resultando en que las
propiedades de las regiones expuestas y no expuestas difieren. Esta
regin expuesta puede luego ser eliminada o tratada proveyendo una
mscara para el sustrato subyacente. La Fotolitografa es tpicamente
usada con metal u otra deposicin de pelcula delgada, en procesos de
grabado secos o mojados.
Procesos de grabado:
Hay dos categoras bsicas de procesos de grabado: grabado mojado y
seco. En el primer caso, el material se disuelve cuando se sumerge en
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MEMS
una solucin qumica. En el ltimo, el material se pulveriza o disuelve
utilizando vapor iones reactivos o un grabado de fase vapor.
Grabado hmedo o mojado:
El grabado por mojado qumico consiste en una eliminacin selectiva
de material por inmersin de un sustrato dentro de una solucin que
la pueda disolver. La naturaleza qumica de este proceso proporciona
una buena selectividad, lo cual significa que la tasa de grabado del
material a grabar es considerablemente ms alta que la del material
de la mscara si se selecciona cuidadosamente.
Grabado por iones reactivos (RIE)
En el grabado por iones reactivos (RIE), el sustrato se coloca
dentro de un reactor en el que se introducen varios gases. El
plasma es pulsado en la mezcla de gases utilizando una fuente
de energa de RF, rompiendo las molculas del gas en iones.
Los iones son acelerados y reaccionan con la superficie del
material siendo grabado, formando otro material gaseoso. Esto
se conoce como la parte qumica del grabado por iones
reactivos. Tambin hay una parte fsica que es de naturaleza
similar al proceso de deposicin por pulverizacin. Si los iones
poseen energa suficientemente alta, pueden impactar a los
tomos fuera del material a ser grabado sin una reaccin
qumica.
MEMS
plasma", es puramente qumico y espontneo y a menudo es
operado en modo pulsado.
Aplicacin:
Impresoras de inyeccin de tinta, que utilizan piezoelctricos o
burbuja trmica de eyeccin para depositar la tinta sobre el papel.
Acelermetros en los automviles modernos para un gran nmero de
finalidades, entre ellas el despliegue de colchn de aire (airbag) en
las colisiones.
Los sensores de presin MEMS en el monitoreo respiratorio se utilizan
en los ventiladores para monitorizar la respiracin del paciente.
Giroscopios MEMS modernos utilizados en automviles y otras
aplicaciones de orientacin para detectar, por ejemplo, un rolido y
desplegar una cortina air-bag ms o activar el control dinmico de
estabilidad.
Conclusiones:
Los MEMS son como dispositivos microscpicos diseados, fabricados
y utilizados para interactuar o producir cambios dentro de un
ambiente controlado, estos pequeos y sofisticados dispositivos que
piensan, actan, miden y se comunican, estn reemplazando a los
dispositivos actuales tradicionales en muchas aplicaciones.
Los MEMS son un sistema bsicamente conformado por
microestructuras,
microsensores,
microelectrnica,
y
microactuadores.
El uso de microsistemas ofrece un menor consumo de potencia, alto
desempeo, peso reducido y un costo ms bajo que los dispositivos
utilizados actualmente.
Bibliografa
1. (s.f.). MEMS y nanotechnology Exchange. Obtenido de https://www.memsexchange.org/MEMS/applications.html.
2. (s.f.). bibing.us.es. Obtenido de
http://bibing.us.es/proyectos/abreproy/4966/fichero/e.
+Tecnologia+MEMS.pdf.
Mrquez David, C. O. (2006). Estado del arte de los sistemas
microelectromecnicos. Ciencia e Ingenieria.
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MEMS