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CRYOPOMPAGE

&
CRYOREFRIGERATEURS
A.Ravex
Consultant
alain.ravex@absolut-system.com

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SOMMAIRE
• Cryopompage:     

Besoins / applications
Principes: condensation et adsorption
Débit / vitesse de pompage
Structures des cryopompes
Exemples de cryopompes

• Cryoréfrigérateurs:    

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Besoins / applications
Cycles thermodynamiques
Machines de type Gifford Mac Mahon et Tube Pulsé
Machines Stirling

CRYOPOMPAGE

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CRYOPOMPAGE: Quels besoins/quelles applications?

• Pompage « propre »: éliminer le risque de pollution du fait
d’une pression partielle résiduelle d’hydrocarbures (lubrifiants)
notamment pour les applications à l’électronique et au spatial.
• Obtention de vitesses de pompage élevées: notamment pour
le spatial (chambres de simulation, bancs tests moteurs à
propulsion ionique) et process semi-conducteur.
• Pompage avec confinement et possibilité de régénération
de gaz toxiques: notamment pour la fusion nucléaire.

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• Permet d’obtenir des vides poussés (<10-2 Pa).CRYOPOMPAGE: Principe • Production du vide par condensation et / ou adsorption des molécules du gaz à pomper sur des surfaces refroidies à très basses températures.3K) et Hélium (4. Hydrogène (20. propres et avec de grands débits volumiques (>1 m3/s). • Températures typiques de fonctionnement: liquide bouillant à pression atmosphérique Azote (77K).2K) ou températures intermédiaires au moyen de cryoréfrigérateurs. Page 5 .

Ts = 4.10-11 mbar 1013 mbar H2 7.2K Ts = 20K <10-15 mbar H2O Page 6 Ts = 77K N2 <10-15 mbar 1.CRYOPOMPAGE: Condensation • Vide limite déterminé par la tension de vapeur du gaz considéré à la température Ts de la cryosurface sur laquelle il se condense.10-7 mbar 1013 mbar état gazeux He 1013 mbar état gazeux .

CRYOPOMPAGE: Condensation • En ultravide (P<10-6 Pa) l’hydrogène et l’hélium ne peuvent être pompés par condensation et nécessitent la cryosorption. Courbes de tensions de vapeur saturante Page 7 .

• En pratique on choisit une température de condensation donnant une tension de vapeur inférieure de deux ordres de grandeur à la pression limite désirée. c’est la température de surface du dépôt qui va déterminer la tension de vapeur. l’épaisseur du dépôt est très faible. à des pressions inferieurs à 10-3 Pa pendant moins d’une semaine. le gaz s’accumule sous forme de givre.CRYOPOMPAGE: Condensation • La condensation s’effectuant a une température généralement inférieure au point triple. • Pour les cryopompes fonctionnant en continu. Pour les pressions plus élevées (procédés de dépôt par exemple). Le gradient thermique dans le dépôt est alors un facteur déterminant du temps d’utilisation de la cryopompe avant régénération Page 8 .

Les capacités à saturation peuvent atteindre 100 à 300 cm3 TPN de gaz par gramme d’adsorbant. • Pour pomper des quantités importantes. En règle générale. la température de la surface et la pression du gaz.CRYOPOMPAGE: Adsorption • Le phénomène d’adsorption résulte des interactions gaz/surface de type physisorption ou chimisorption. on doit utiliser des matériaux ayant de grandes surfaces spécifiques: charbon actif (600 à 1200 m2/g) ou tamis moléculaires (500 à 800 m2/g). • La quantité de gaz fixée sur la surface peut aller d’une fraction à plusieurs monocouches de gaz suivant la nature du couple gaz/surface. la température de l’adsorbant doit être de l’ordre de la température d’ébullition normale du gaz que l’on veut pomper. Page 9 .

• Les adsorbants sont de mauvais conducteurs de la chaleur: leur thermalisation est donc difficile surtout sous vide. Page 10 .CRYOPOMPAGE: Adsorption • L’adsorption peut se faire sur des givres (dépôts poreux) de gaz (tels que le CO2 ou l’Argon) pré déposés (cryosorption) ou injectés en continu (cryotrapping). • Les adsorbants doivent être soigneusement régénérés par chauffage. de préférence sous vide. Le paramêtre dimensionnant est le ratio des nombres de molécules des deux gaz (adsorbant/adsorbé) considérés. pour donner leur pleine capacité d’adsorption (pollution par H2O).

40 0.2 510 1.7 0.75 0.45 0.4 à 2.72 22 175 Granulés moléculaire 13X Page 11 Forme usuelle (dimensions commerciales) mm .5*1.2 Alumine activée 320 à 360 0.6 à 3.6 à 3.4*4.64 10 380 Granulés sphères 1.5 5 à 20 20 à 200 Granulés cylindres 0.74 à 0.2 à 1 Silicagel (type R) 750 à 800 0.3 0.CRYOPOMPAGE: Adsorbants • Caractéristiques physiques de quelques adsorbants : Matériau Surface massique m3/g Volume poreux cm3/g Masse Dimension Température volumique moyenne régénération apparente d’un pore ( 24-72 h) 3 -10 g/cm 10 m °C Charbon actif (noix de coco) 1000 à 1200 0.8 Tamis moléculaire 5A Tamis 800 0.80 22 et 44 350 Granulés sphères 0.69 5 250 à 420 Granulés sphères 1.

CRYOPOMPAGE: Isothermes d’adsorption Page 12 .

CO H2 He SM (m3.32 (SI). T: température du gaz (K). la théorie cinétique des gaz s’applique. M: masse molaire du gaz (Kg) soit pour les principaux gaz à 20°C (293K): Gaz H20 N2 . • En régime moléculaire.CRYOPOMPAGE: Débit / Vitesse de pompage • Le débit volumétrique des cryopompes aussi appelé « vitesse de pompage » dépend du régime d’écoulement considéré.s-1/m2) vaut: πM)1/2 SM = (RT/2π avec: R=8.s- 147 118 440 311 1/m2) Page 13 . Le débit théorique maximum SM (m3. cas habituel.

par contre il peut être inférieur à 0. la vitesse de pompage augmente jusqu’à une valeur limite dépendant de divers facteurs dont la puissance de réfrigération et le coefficient d’échange sur la cryosurface.s-1/m2) de la cryosurface est déterminée par le coefficient de capture du gaz au premier choc sur la surface (α) et le degré de sursaturation du gaz à pomper (PG/PS). (TG/TS)1/2) • Le coefficient de capture α est en général élevé (>0.95) en condensation.5 en adsorption.CRYOPOMPAGE: Débit / Vitesse de pompage • La « vitesse de pompage » théorique Sth (m3. • Lorsque la cryopompe quitte le régime moléculaire pour entrer dans les régimes intermédiaire puis visqueux. SM (1 – (PS/PG) . avec PS = tension de vapeur du gaz à la température TS de la cryosurface: Sth = α . Page 14 .

une cryopompe comprend une cryosurface très froide (entre 4K et 20K). • Le baffle a pour fonction de laisser passer le mieux possible les molécules de gaz (coef.40 10-1 . de transmission αP). de transmission αM) et le moins possible le rayonnement thermique (coef. αP Baffle Chevron >>>>>>>> 0.25 10-3 Baffle « louver » /////////////// 0. Coefficient Transmission Molécules. αM Page 15 Coefficient Transmission Photons.20 à 0. protégée du rayonnement thermique ambiant par des écrans et un « baffle » refroidis entre 50K et 80K.CRYOPOMPAGE: Structure des cryopompes • En général.

.). La surface plus froide assure le cryopompage des composants de l’air et en général comporte une partie adsorbante. Page 16 .. pour le pompage hydrogène et helium. protégée de la condensation directe. différents types de géométries de • Les écrans et le baffle condensent vapeur d’eau et autres gaz condensables à 50-80K (solvants.CRYOPOMPAGE: Structure des cryopompes • On peut distinguer cryopompes. hydrocarbures.

CRYOPOMPAGE: Structure des cryopompes • Exemples de schémas de réalisation de cryopompes refroidies par fluides cryogéniques bouillants: Page 17 .

CRYOPOMPAGE: Structure des cryopompes • Structure de cryopompe refroidie par cryoréfrigérateur: Page 18 .

CRYOPOMPAGE: Exemple de cryopompes • refroidies par cryoréfrigérateur: applications semiconducteurs: Page 19 .

CRYOPOMPAGE: Exemple de cryopompes • refroidies par cryoréfrigérateur: Page 20 .

CRYOPOMPAGE: Exemple de cryopompes • refroidies par cryoréfrigérateur .applications semi-conducteurs ou chambres de simulation: exemples de performances « standards » (vitesse de pompage en l/sec en fonction de la section de pompage) Diamètre pompage (inches) Vitesse pompage (l.s-1/m2) 4’’ 8’’ 10’’ 16’’ 400mm 20’’ Eau 110 4000 9000 17500 31500 Air 370 1500 3000 6000 10000 H2 370 2500 5000 12000 15000 Ar 310 1200 2500 5000 8400 Page 21 .

000l/sec Eau: 150.000l/sec H2: 60.000l/sec • refroidies par cryoréfrigérateur et circulation LN2 pour chambres de simulation spatiale.CRYOPOMPAGE: Exemple de cryopompes Diamètre 1250mmm: <10-6 mbar N2: 50. Page 22 .000l/sec Argon: 45.

5 10-5 mbar • la solution initiale: une cryopompe frontale à 3 étages:  100K (eau): LN2 bouillant pressurisé 2.PIVOINE: exemple de cryopompe « sur mesure » • PIVOINE (CNRS/Orleans): moyen d’essais moteurs spatiaux à propulsion ionique Xenon • le besoin initial: moteurs 1. 20mg/sec Xe. 85l/h  40K (Xenon): 3 cryoréfrigérateurs Cryomech AL200. 6x125W/40K Page 23 . 3x75W/40K  20K (air+sorption H2 : 1 cryoréfrigérateur Cryomech GB37 • l’évolution du besoin: moteurs 6kW.3kW.6kW. 5. 2.4mg/sec Xe.5 10-5 mbar • l’évolution: insertion d’une cryopompe annulaire à 2 étages  100K (eau): LN2 bouillant pressurisé 2kW. 2. 70l/h  40K (Xenon): 6 cryoréfrigérateurs Cryomech AL330.

PIVOINE: exemple de cryopompe « sur mesure » • shéma de la cryopompe « évolution » Page 24 .

PIVOINE: exemple de cryopompe « sur mesure » Le caisson d’essai et la cryopompe avant et après modification Page 25 .

CRYOREFRIGERATEURS Page 26 .

des effets quantiques. • Le cryopompage est aussi une application nécessitant la mise en œuvre de cryoréfrigération. tokamaks. la superfluidité de l’hélium. • Ces propriétés fondamentales génèrent parfois des applications: systèmes magnétiques supraconducteurs pour laboratoires. magnétiques et mécaniques de la matière aux températures cryogéniques . Page 27 . imagerie médicale (IRM). détecteurs divers. accélérateurs de particules..CRYOREFRIGERATION: Quels besoins? • Les physiciens étudient les propriétés thermiques. Ils ont découvert ainsi de nouvelles propriétés fondamentales telles la supraconductivité. l’ordre magnétique. électroniques. applications électrotechniques. etc.

He) • Pour des applications industrielles l’utilisation de ces fluides peut être problématique: difficultés d’approvisionnement. efficaces thermodynamiquement et d’un coût d’achat et d’entretien acceptables. perturbation durant les transferts. à condition qu’ils soient fiables.CRYOREFRIGERATEURS: Quels besoins? • En laboratoire. Ces besoins et objectifs ont conduit au développement de cryoréfrigérateurs commerciaux.… • L’utilisation de cryoréfrigérateurs mécaniques autonomes peut résoudre ces problèmes…. la réfrigération est le plus souvent assurée dans des cryostats mettant en œuvre des fluides cryogéniques (N2. Page 28 . coût d’opération.. opération dans toutes les directions ou en gravité nulle.

CRYOREFRIGERATEURS: Quel cycle? • La thermodynamique nous enseigne que pour réaliser une machine frigorifique il faut utiliser un fluide décrivant un cycle dans lequel il extrait de la chaleur à la source froide pour la rejeter à une source chaude (température ambiante) moyennant un apport d’énergie mécanique. le choix du gaz de cycle se limite à l’Hélium. • Aux températures cryogéniques. • En général le fluide de cycle est un gaz qui est comprimé à température ambiante (apport d’énergie et rejet de chaleur) et détendu à froid (effet frigorifique par détente) si possible avec récupération du travail de détente (isentropique). Le cycle de référence est le cycle de Carnot. Page 29 .

Page 30 ..CRYOREFRIGERATEURS: Cycle de CARNOT? • Le cycle de Carnot n’est pratiquement pas réalisable…. Max COP = Tf / (Tc-Tf) 1-2-3-4: Carnot (isotherme – isentrope) 1-2-3’-4’: Stirling (isotherme – isochore) 1-2-3’’-4’’: Ericsson (isotherme – isobare) • …il sera nécessaire d’intégrer aux machines un régénérateur.

Page 31 ..CRYOREFRIGERATEURS: Le Régénérateur • On lui demande des caractéristiques contraignantes: chaleur spécifique volumique>>Hélium. grande surface échange avec faible perte de charge….

TFroide) Puissance spécifique (W/W) Compression Power/Cooling Power   1/COP = (TA.364 0.0 32 .0135 W/W 2.0 74.TF) / TF Valeurs théoriques (pour TA = 300K) Page 32 TF 80K 20K 4K COP 0.75 14.CRYOREFRIGERATEURS: Performances théoriques et pratiques  Carnot Coefficient Of Performance   COP = TFroide / (TAmbiante.071 0.

CRYOREFRIGERATEURS GIFFORD MAC-MAHON  Atouts technologie mature (des centaines de milliers d’unités en opération pour le cryopompage dans l’industrie du semi conducteur et pour l’imagerie médicale: fiabilité et besoin en maintenance bien identifiés)   la tête froide peut être séparée de l’unité de compression (facilite l’ intégration)  permettent la liquéfaction et/ou recondensation N2 (jusqu’à 120 l/jour) Page 33 33 .

Carnot AL200 160W/80K 25K 5.5kW 10K AL600 500W/80K 25K 14kW 8. Rdt.5kW 8% AL230 40W/25K 15K AL300 270W/80K AL330 60W/25K 25K 7.CRYOREFRIGERATEURS GIFFORD MAC-MAHON  Exemple de cryoréfrigérateurs GM de puissance intermédiaire commercialisés par CRYOMECH (US) Performances typiques à 50Hz: Model Puissance Tmini Conso. p/r Froide Electr.6% 10% (20% puissance froide supplémentaire à 60Hz) AL600 Cold head Page 34 34 .

CRYOREFRIGERATEURS GIFFORD MAC-MAHON  Inconvénients unité de compression avec injection d’huile: nécessité d’un système de déshuilage (adsorbeur à charbon actif: maintenance. vibration)   Page 35 efficacité thermodynamique limitée 35 . risque de pollution)  doigt froid avec piston déplaceur/régénérateur et vanne rotative de distribution frottants (maintenance des joints requise.

CRYOREFRIGERATEURS A TUBE PULSE (Type GM)  Le déplaceur mécanique est remplacé par un piston gazeux dans un tube à pulsations  Pas de maintenance du doigt froid (sauf vanne de distribution)  Faibles vibrations induites  Même unité de compression que machines Gifford MacMahon CRYOMECH PT4xx De 0.2K Tansmit 0. 0.5W @ 4.2K 36 .3W à 1.5W @ 4.2W @ 4.2K Page 36 Sumitomo Heavy Ind.

CRYOREFRIGERATEURS A TUBE PULSE (Type GM) Applications des Tubes à Gaz Pulsé 4K Page 37  Cryostats secs (sans liquide cryogénique)  Recondenseurs et liquéfacteurs Hélium (quelques l/jour) 37 .

5kW four pistons single stage 4kW/80K 45kW single piston two stages 50W/20K 150W/80K 11.CRYOREFRIGERATEURS STIRLING Refrigérateurs Stirling de forte puissance cryogénique commercialisés par Stirling Cryogenics & Refrigeration Bv. (NL) Page 38 single piston single stage 1kW/80K 11.5kW four piston two stages 200W/20K 600W/80K 45kW 24% Carnot 38 .

CRYOREFRIGERATEURS STIRLING   Atouts  technologie éprouvée  bonne efficacité thermodynamique  systèmes intégrés Inconvénients piston de compresseur et détendeur de doigt froid frottant à commande par embiellage lubrifié (risque pollution) nécessitant une maintenance périodique complexe des joints de piston/déplaceur   systèmes intégrés  vibrations Page 39 39 .

) Page 40 40 .CRYOREFRIGERATEURS STIRLING  Applications des machines Stirling: Liquéfaction LN2/LOX et réfrigération en boucle fermée de composants supraconducteurs HTS (Câbles.. moteurs ou génératrices.. FCL.