SEM545 Accel

UNIVERSIDADE DE SO PAULO
ESCOLA DE ENGENHARIA DE SO CARLOS

DEPARTAMENTO DE ENGENHARIA MECNICA
Laboratrio de Dinmica
SEM 545 SISTEMAS MICROELETROMECNICOS
Acelermetros Piezeltricos
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Resp.:
Resp
.: Profs. Paulo S. Varoto
Marcelo A. Trindade
1
Motivao
Identificao / Teste:
ANLISE DE SISTEMAS DINMICOS

Instrumentao/Controle
Maquina Fotogrfica
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
EESC--USP
EESC
Telescpio
Controle de Trao
Adaptive Cruise Control
Cornering Brake Control
Suspenso Ativa
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Algumas Aplicaes
Algumas Aplicaes: (cont.)
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Monitoramento de sinais em mquinas em geral !
Aplicaes Comerciais:
(autotrnica)
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Acelermetros MEMs: comuns em air bags

5
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Alguns acelermetros MEMs

6
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
(autotrnica)
Objetivo desta aula...

Estudo da dinmica dos transdutores de fora e acelerao
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Aplicaes / Cenario
- testes de vibraao / analise modal
- monitoramento
- controle
Micro-Sensores
- Aplicaes
- Exemplos
Efeito de Escala
Introduo
O objetivo principal desta aula o de apresentar os modelos
mecnico e eltrico de sensores de acelerao bem como estudar seu
comportamento quando em uso.
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Tpicos abrangidos:
Acelerermetros
- modelo mecnico
- amplificador de carga
- sensores ICP
Micro-Acelermetros
EESC--USP
EESC
.
Sensores
10
Principios:
Existem vrios tipos de acelermetros e micro-acelermetros
Novos conceitos vm sendo propostos: Acelermetro de fibra ptica, Termoacelermetro, Acelermetro-ressonante, etc.
Cada um deve ser aplicado dependendo da aplicao, seja um senso independente
ou integrado em um micro-sistema
Neste curso vamos focar em:
Piezo-resistivo
+ geometria simples, de construo facil e a baixo custo
-calibrao: quanto a temperatura e offset
Piezeltrico
+ faixa de freqncia til aumenta com miniaturizao
- no pode medir baixa freq. ou DC
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Capacitivos
+ mede DC
- sensvel a outras fontes de capacitncia
11
Princpio de funcionamento de sensores piezeltricos
Material Piezeltrico:
Piezo => do grego, espremer
quartzo
Diferentes configuraes / grandezaz
L
e
d
a
T
r
o
,
acelerao
presso
EESC--USP
EESC
fora
sensores de:
12
Alguns modelos:
Massa
Ssmica
Cristal
piezoeltrico
Conector
Compresso
isolada
Compresso
simples
Cisalhamento
Shear
Material piezoeltrico gera altas sensibilidades e frequncias naturais para o sensor

Fontes de inrcia principais: base e massa ssmica
Fontes de elasticidade: material piezoeltrico
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Fontes de dissipao: maioria estrutural

13
Alguns modelos comerciais
Modelo OrthoShear da Bruel & Kjaer
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Extrado do Catlogo Master Bruel and Kjaer 1997
14
Modelo DeltaShear da Bruel & Kjaer
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Extrado do Catlogo Master Bruel and Kjaer 1997
15
Acelermetro Angular Kistler
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
5mm
16
Modelo Mecnico
f(t)
m - massa ssmica
mb - massa da base
fb (t) - fora aplicada base
f (t) - fora aplicada massa ssmica
k, c - rigidez e amortecimento do cristal
x, y - deslocamentos das massas
m
cristal
k
mb
x
fb(t)
Do diagrama de corpo livre da massa ssmica:
m &y& + c( y& x& ) + k ( y x) = f (t )
f(t)
Introduzindo z = y - x como o movimento relativo

entre m e mb
k ( x y)
m&z& + c z& + k z = f (t ) m&x&
c( x& y& )
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
f (t) - constante na maioria dos transdutores

m x&& - fora inercial devido ao movimento imposto base
17
Modelo Mecnico
f(t) pr-carga, portanto cte.
m&z& + c z& + k z = f (t ) m&x&

Seja a base submetida a uma entrada
deslocamento do tipo:
A resposta pode ser escrita como:
x(t ) = X o e j t
mb
z (t ) = Z o e j t
Onde a amplitude do movimento Zo

Para obter a FT entre a entrada Z0 e X0 escrevemos:
L
e
d
a
T
r
o
,
k 2 m + j c
EESC--USP
EESC
Importante:
O acelermetro
projetado para medir
k m + j c
2
m a0
Zo =
m 2 X 0
18
Modelo Mecnico
Z o = H ( )a0
H ( ) =
m
k m + j c
2
m
r=
=
n
k
m
k (1 r 2 + j 2 r )
FRF mecnica do acelermetro !
Quando a freqncia de excitao est bem abaixo da ressonncia do acelermetro,

i.e., << n,
ma0
Zo =
k
Obs: conveno de sinal
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Ou seja, se o sinal proveniente do cristal proporcional a deformao relativa

entre base e massa ssmica, basta usar o acelermetro bem abaixo de sua
ressonncia para que se tenha um sinal proporcional acelerao desejada
19
Modelo Mecnico
ma0
, << n
Zo =
k
Esta equao apresenta um erro mximo de 5 % para r < 0,2, ou seja:
Ou seja, a rigidez k domina as caractersticas dinmicas do acelermetro para
valores de de no mximo n/5 da freqncia natural do acelermetro. n/3
resulta em um erro de 10%.
A ressonncia do acelermetro (n) dada por:
*n
k
m
m
n
1 + = 1 +
m
mb
mb
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Se a base fixada rigidamente a estrutura, o valor de mb cresce e, portanto,

na n.
20
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Modelo
Eletro-Mecnico
21
O Modelo de Sensibilidade Carga
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
V(t)
22
Caractersticas Eltricas de Sensores Piezoeltricos

Circuitos Bsicos:
Capacitncia
Resistncia
q
C
I = q&
E=RI
E = L I&
E = R q&
E = L q&&
E=
Indutncia
O amplificador Operacional: (amp-op)

ganho do amp-op: G
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
EESC--USP
EESC
Eo
E2
E1
Eo = G ( E1 E2 )
23
Caractersticas Eltricas de Sensores Piezoeltricos

Seguidor de Tenses:
Eo = Ei
Eo
Ei
Amplificadores com ganho 1:
L
e
d
a
T
r
o
,
Eo
f
EESC--USP
EESC
sem inverso
Ei
P
Eo
Rf
Ri
Ei
com inverso
Rf
Ri
Ri
Rf
Eo = 1 +
Ei
Ri
Ei
Eo =
Rf
24

Carga gerada por um cristal piezoeltrico em compresso
q = Sz Z
ou cisalhamento:
Onde:
q carga (C ou pC)
q = k S z a = Sq a
Sz Sensibilidade de carga deslocamento (pC/m [Z])

Z movimento relativo do cristal
Obs: Sz funo do material piezoeltrico usado na
construo do sensor bem como das suas dimenses (A, l )
Necessidade: Relacionar q com a grandeza medida (gs ou N)
Sabe-se que z = k a onde a a acelerao. Logo:
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Sq a Sensibilidade carga do transdutor. Suas unidades

so dadas em pC/unidade (pC/g, pC/N, etc)
25

Modelo Eltrico:
Posio b
Rf
Ccal
R
Cf
Transdutor
Cc
Ct
Cabo
Ca
R1
G1
G2
E2
Eo
Amplificador de
Padronizao
Amplificador de
Carga
Equao diferencial para tenso de sada:
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
EESC--USP
EESC
Onde: C = Ct + Cc + Ca
1
Sq
E =
a&
E& +
R f Ceq
bCeq
C
C
Ceq =
+ C f = C f 1 +
G1
C f G1
26

Equao simplificada:
1
E& +
Rf Cf
Sq
E =
bC f
Sv - Sensibilidade tenso do
sistema de medida, composto pelo
acelermetro e amplificador de
carga. Suas unidades so
volts/grandeza ( volts/g, volts/N )
a&
Sv
S q 1
S v =
b C f
S q*
=
Cf
Sq* - Sensibilidade carga padronizada

(Controlada por b e Cf )
b - converte Sq em Sq* igualando-se b
sensibilidade nominal do transdutor, Sq* = 1, 10,
100 pc/Unidade para Sq = 0,1 - 1.0 ou 1.0 - 10,
ou 10 - 100.
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Cf - Capacitncia de feed-back: gama de Sv

27
FRF para o Circuito do Transdutor

Assumindo-se:
a = ao e
j t
E = Eo e
j t
Temos a seguinte soluo:
j Rf Cf
S v ao
Eo =
1 + j Rf Cf
j Rf C f
Eo
T
H( ) =
=
=
e
2
S v ao 1 + j R f C f
1 + ( T )
Onde Rf Cf a constante de tempo do circuito. Ento,

a FRF do circuito definida por:
T = Rf Cf
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
= p /2 - tan-1 (T) - ngulo de fase entre entrada e

a sada
28
Graficamente:
Mdulo de H ( )
0,707
6,0 dB / oitava
0.1
0.1
10
45 o
50
0
10
L
e
d
a
T
r
o
,
T
s
EESC--USP
EESC
0.1
Fase de H ( )
100
29
O Seguidor de Tenses (ICP)

Circuito eltrico equivalente:
C1
Transdutor
R1
E2
E1
Instrumentao
Equaes para o circuito:
E1 Sq
&
E1 +
= a& = S v a&
RC C
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
EESC--USP
EESC
E
= E& 2 = E&1
R1 C1
E& +
30
FRF para o circuito:

Temos 02 constantes de tempo:
C Eo j R1 C1 j R C
H( ) =
=
S q ao 1 + j R1 C1 1 + j R C
T = RC - Constante de Tempo Interna

T1 = R1C1 - Controlada pelo Usurio
Vantagens do circuito com seguidor de tenses:
Sensibilidade tenso fixada pelo fabricante

Capacitncia do cabo no tem qualquer efeito na sada
Sinais de sada com baixos nveis de rudo
Baixas exigncias de potncia
Conexo direta com maioria dos instrumentos de medida
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Requer pouco treinamento para uso

31
Caractersticas em Frequncia:
Magnitude de H( )
T1 = 1000 T
T1 = T
T1 = 10 T
0.1
0.1
10
150
T1 = 10 T
T1 = T
100
T1 = 1000 T
T
l
L
e
d
a
T
r
o
,
10
EESC--USP
EESC
0.1
50
Fase de H( )
200
32
A FRF Global do Acelermetro

Obtida levando-se efeitos mecnicos e eltricos em considerao de forma
simultnea:
H( ) =
H( ) =
Eo
S v ao
m
Zo
=
ao
k 1 r 2 + j 2 r
j RC
Eo
1
Ha ( ) =
=
2
S v ao 1 + j RC 1 r + j 2 r
m Sz 1
=

C k C
L
e
d
a
T
r
o
,
Sensibilidade
Global em Volts / g
Sv =
Sq
onde:
EESC--USP
EESC
1 + j Rf Cf
Temos:
j Rf Cf
33
Graficamente:
10
|Ha ( )|
1
0.1 H ( )
e
Faixa til
Hm( )
0.01
0.001
4
L
e
d
a
T
r
o
,
1.5
EESC--USP
EESC
r = / n
extensmetro
0.5
1 10
34
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Curva tpica de um sensor comercial
35
Fixao
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
como proceder com micro-sensores?

36
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
acelermetro com
elemento viga
37
Acelermetro Piezoeltrico Linear - Angular

Distribuio de cargas nas piezovigas:
y
Poste
Vigas
piezoeltricas
D
A, B, C, D
conexes eltricas
Base
L
e
d
a
T
r
(+)
az
V
Base
(+)
- - - - - -
++++++
- - - - - -
++++++
EESC--USP
EESC
ay
- - - - - -
Base
++++++
- - - - - -
++++++
angular
linear
38
Circuito eltrico:
A
C1
transdutor
k1 a y k2 z
E1 =
=
= S1 a y S 2 z
C1
C1
q B / D k1 a y + k2 z
E2 =
=
= S3 a y + S 4 z
C2
C2
l
L
e
d
a
T
r
o
,
q A/ C
EESC--USP
EESC
unidade de carga
Tenses de sada:
cabo
Ea= Ss az
C2
E a= S s a y
E2
+-
E1
39
Circuito eltrico:
A
B
D
C2
C1
+-
E1
transdutor
Tenses de sada:
E2
cabo
E a= S s a y
Ea= Ss az
unidade de carga
Ea = E1 + E2 = ( S1 + S 3 ) a y + ( S 4 S 2 ) z Sa a y
E = E2 E1 = ( S 3 S1 ) a y + ( S2 + S4 ) z S z
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Sa = 1000 mV / g S = 0,5, 5, 50 mV / rad / s2

40
Principios:
Piezo-Resistivo
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Capacitivo
41
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Acelermetros MEMs com base em extensmetros.
42
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Acelermetros MEMs com base em extensmetros.

(cont.)
43
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Montagem: (Assembly / Packaging)
44
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Acelermetro MEMS com material piezeltrico
45
EESC--USP
EESC
.
Capacitivo:
46
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Modelo de rigidez baseado na viga cantilever
47
EESC--USP
EESC
.
cont. ...
48
EESC--USP
EESC
.
cont. ...
49
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
O pioneiro: Analog Devices
50
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Princpio construtivo:
51
EESC--USP
EESC
52
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
O Micro Acelermetro Tri-Dimensional
53
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Dispositivos pequenos => frequncias naturais elevadas !
54
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
o preo e
os benefcios da
miniaturizao
55
Efeitos de escala em sensores:

Propriedades mecnicas:
m = l3 L3
F
k
x=
k
1
=
m L
Fl
3EI
, k=
L
3
3EI
l
Propriedades eltricas:
L
e
d
a
T
r
o
,
Caso d no possa ser miniaturizado

(por motivos tecnolgicos)
EESC--USP
EESC
Caso d tambm seja miniaturizado
L
C=
2
d
L
n2 A
1
,
L
L=
Re =
56

Acelermetros capacitivos:
- Capacitncia L (se o gap tbm diminui)
+ C pode aumentar com sistemas combo
- sistemas combo so relativamente grandes
- Capacitncias parasitas passam a ser um problema maior
os amplificadores devem estar o mais proximo possvel do sensor, por isso o ideal ter o
sistema todo integrado no chip.
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Analog Devices
ADXL-50
57
4,00
4,00
[mm]
L
e
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Analog Devices ADXL-330

acelermetro triaxial
condicionador de sinal
300 mV/g
3g ( 29.5 m/s2).
0,5 ~ 1600 Hz
58

Acelermetros piezo-resistivos:
+ Resistncia (e sua variao) aumenta com L3 (ou L2 caso haja limites tecnolgicas para
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
miniaturizar esta dimenso)

+ em geral as dimenses, forma e condutividade do resistor podem ser especificadas com um
certa flexibilidade, sendo assim, estes sensores podem ser otimizados para diferentes
aplicaes.
59

Acelermetros piezeltricos:
+ em princpio a sensibilidade no se altera
Q l3 L3
S 1
F =l gL
3
- mas a fora mxima admissvel diminui com
L
e
d
a
T
r
o
,
EESC--USP
EESC
k
=
L
m
+ a banda til de freqncia do sensor

aumenta com L
Fmax = max A L2
L2, portanto, na prtica, S L2
60

Acelermetros e Inclinmetros (tilt sensor) e Acelermetros Angulares:
F
k
m = l3 L3
3EI
k= 3 L
l
xg = L2
o ideal seria:
xg = L
- a sensibilidade diminui com L

- outra desvantagem, com a diminuio da sensibilidade, a limitao no uso
esttico ou em baixas freqncias
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
k
=
L
m
+ a banda til de freqncia do sensor aumenta com L
61
UNIVERSIDADE DE SO PAULO
ESCOLA DE ENGENHARIA DE SO CARLOS
DEPARTAMENTO DE ENGENHARIA MECNICA
Laboratrio de Dinmica
SEM 545 SISTEMAS MICROELETROMECNICOS
L
e
d
a
T
r
o
,
P
r
f
.
EESC--USP
EESC
Resp.:
Resp
.: Prof. Leopoldo P.R. de Olivera
62

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UNIVERSIDADE DE SO PAULO

ESCOLA DE ENGENHARIA DE SO CARLOS

ANLISE DE SISTEMAS DINMICOS

Algumas Aplicaes: (cont.)

Monitoramento de sinais em mquinas em geral !

Acelermetros MEMs: comuns em air bags

Alguns acelermetros MEMs

Objetivo desta aula...

Princpio de funcionamento de sensores piezeltricos

Material piezoeltrico gera altas sensibilidades e frequncias naturais para o sensor

Fontes de dissipao: maioria estrutural

Extrado do Catlogo Master Bruel and Kjaer 1997

Extrado do Catlogo Master Bruel and Kjaer 1997

Acelermetro Angular Kistler

Do diagrama de corpo livre da massa ssmica:

m &y& + c( y& x& ) + k ( y x) = f (t )

Introduzindo z = y - x como o movimento relativo

m&z& + c z& + k z = f (t ) m&x&

f (t) - constante na maioria dos transdutores

m&z& + c z& + k z = f (t ) m&x&

Onde a amplitude do movimento Zo

FRF mecnica do acelermetro !

Quando a freqncia de excitao est bem abaixo da ressonncia do acelermetro,

Obs: conveno de sinal

Ou seja, se o sinal proveniente do cristal proporcional a deformao relativa

A ressonncia do acelermetro (n) dada por:

Se a base fixada rigidamente a estrutura, o valor de mb cresce e, portanto,

O Modelo de Sensibilidade Carga

Caractersticas Eltricas de Sensores Piezoeltricos

O amplificador Operacional: (amp-op)

Caractersticas Eltricas de Sensores Piezoeltricos

O Modelo de Sensibilidade Carga

Sz Sensibilidade de carga deslocamento (pC/m [Z])

Sq a Sensibilidade carga do transdutor. Suas unidades

O Modelo de Sensibilidade Carga

Equao diferencial para tenso de sada:

O Modelo de Sensibilidade Carga

Sq* - Sensibilidade carga padronizada

Cf - Capacitncia de feed-back: gama de Sv

FRF para o Circuito do Transdutor

Temos a seguinte soluo:

Onde Rf Cf a constante de tempo do circuito. Ento,

= p /2 - tan-1 (T) - ngulo de fase entre entrada e

O Seguidor de Tenses (ICP)

Equaes para o circuito:

FRF para o circuito:

T = RC - Constante de Tempo Interna

Sensibilidade tenso fixada pelo fabricante

Requer pouco treinamento para uso

A FRF Global do Acelermetro

Curva tpica de um sensor comercial

como proceder com micro-sensores?

Acelermetro Piezoeltrico Linear - Angular

Sa = 1000 mV / g S = 0,5, 5, 50 mV / rad / s2

Acelermetros MEMs com base em extensmetros.

Acelermetros MEMs com base em extensmetros.

Montagem: (Assembly / Packaging)

Acelermetro MEMS com material piezeltrico

Modelo de rigidez baseado na viga cantilever

O pioneiro: Analog Devices

O Micro Acelermetro Tri-Dimensional

Dispositivos pequenos => frequncias naturais elevadas !

Efeitos de escala em sensores: