LMINAS DELGADAS Y RECUBRIMIENTOS:

PREPARACIN, PROPIEDADES y APLICACIONES

NDICE de MATERIAS

I. GENERALIDADES
INTRODUCCIN: CIENCIA Y TECNOLOGA DE CAPAS DELGADAS
(J. M. Albella)
1. QU SE ENTIENDE POR CAPA DELGADA.......................................................................... 25
2. LA TECNOLOGA DE LOS RECUBRIMIENTOS Y CAPAS DELGADAS EN LOS
MODERNOS PROCESOS DE FABRICACIN.......................................................................... 27
2.1 Aplicaciones de los recubrimientos ..................................................................................... 27
2.2 Requerimientos exigidos en el sistema recubrimiento/substrato ........................................ 29
3. TCNICAS DE PREPARACIN Y CARACTERIZACIN DE CAPAS DELGADAS ............ 32
3.1 Deposicin de recubrimientos y capas delgadas.................................................................. 32
3.2 Criterios de seleccin de las tcnicas de deposicin............................................................ 35
3.3 Caracterizacin estructural de las capas delgadas................................................................ 37
4. OBJETIVOS Y ORGANIZACIN DEL LIBRO ......................................................................... 40
BIBLIOGRAFA................................................................................................................................. 41

1. TECNOLOGA DE VACO (J. L. De Segovia)

1. INTRODUCCIN ......................................................................................................................... 43
2. COMPORTAMIENTO DE LOS GASES A PRESIN REDUCIDA .......................................... 44
2.1 Rgimen de la circulacin o de movimiento de los gases.................................................... 44
2.2 Flujo de gas.......................................................................................................................... 45
2.3 Conductancia ....................................................................................................................... 46
2.4 Nmero de molculas incidentes sobre una superficie: Tasas de adsorcin y
desorcin de molculas ........................................................................................................ 47
2.5 Clasificacin de los sistemas de vaco. ................................................................................ 48
3. DINMICA Y COMPONENTES BSICOS DEL SISTEMA DE VACO ................................ 48
3.1 Evacuacin de un sistema de vaco...................................................................................... 50
4. BOMBAS DE VACO................................................................................................................... 53
4.1 Bombas de desplazamiento positivo.................................................................................... 53
4.2 Bombas de captura............................................................................................................... 59

10
5. MEDIDA DEL VACO ................................................................................................................. 62
5.1 Manmetro de capacitancia ................................................................................................. 63
5.2 Manmetros de conductividad trmica................................................................................ 64
5.3 Manmetros de ionizacin................................................................................................... 66
5.4 Analizador de gas residual. Espectrmetro de masas .......................................................... 68
6. DETECCIN DE FUGAS ............................................................................................................ 70
BIBLIOGRAFA ................................................................................................................................ 71

2. DESCARGAS ELCTRICAS EN GASES: PLASMAS

(F. J. Gordillo Vzquez y J. M. Albella)
1. DESCARGAS ELCTRICAS EN GASES: CONCEPTOS BSICOS ....................................... 73
1.1 Definicin de plasma y algunas de sus caractersticas ....................................................... 74
1.2 Utilidad de los plasmas en el procesado de materiales........................................................ 79
2. DESCARGAS EN CORRIENTE CONTINUA ............................................................................ 80
2.1 Plasmas producidos en descargas de corriente continua ..................................................... 81
2.2 Zonas luminosas en las descargas de corriente continua entre dos electrodos .................... 83
2.3 Ley de Paschen .................................................................................................................... 85
2.4 Descargas en arco ................................................................................................................ 86
3. PLASMAS PRODUCIDOS EN DESCARGAS DE CORRIENTE ALTERNA .......................... 87
3.1 Plasmas producidos entre dos electrodos: descargas capacitivas ........................................ 87
3.2 Plasmas producidos por induccin: descargas inductivas de RF......................................... 89
3.3 Plasmas producidos por microondas ................................................................................... 90
4. TCNICAS DE DIAGNOSIS DEL PLASMA: SONDA DE LANGMUIR ................................ 91
5. APLICACIN DE LOS PLASMAS AL PROCESADO DE MATERIALES ............................. 94
5.1 Depsito en fase vapor asistido por plasma......................................................................... 95
5.2 Ataque por plasma (plasma etching)................................................................................ 96
5.3 Concepto de plasmatrn en corriente continua y alterna. Usos industriales .................... 97
6. RESUMEN Y CONCLUSIONES ................................................................................................. 97
BIBLIOGRAFA ................................................................................................................................ 98

3. MECANISMOS DE NUCLEACIN Y CRECIMIENTO DE CAPAS

DELGADAS (J. M. Albella)
1.
2.
3.
4.
5.

INTRODUCCIN: ETAPAS EN EL CRECIMIENTO DE CAPAS DELGADAS................... 101

LLEGADA Y ACOMODACIN DE TOMOS SOBRE LA SUPERFICIE............................ 103
ADSORCIN/ DESORCIN SOBRE LA SUPERFICIE DEL SUBSTRATO......................... 105
DIFUSIN SUPERFICIAL (HASTA LA INCORPORACIN) .............................................. 107
NUCLEACIN Y PRIMEROS ESTADIOS DEL CRECIMIENTO DE LA PELCULA ........ 110
5.1 Mecanismo de nucleacin de Volmer-Weber (formacin de islas).................................. 112
5.2 Mecanismo de Frank-van der Merwe (monocapas) .......................................................... 118
6. CRECIMIENTO DE CAPAS CONTINUAS: INFLUENCIA DE LAS VARIABLES DEL
PROCESO ................................................................................................................................... 119
6.1 Evolucin de la microestructura de las capas depositadas (segn el modelo MD) ........... 120
BIBLIOGRAFA .............................................................................................................................. 123

11

II. PREPARACIN DE CAPAS DELGADAS

4. EVAPORACIN TRMICA Y OTRAS TCNICAS DE EVAPORACIN
(J. M. Albella)
1. EVAPORACIN TRMICA EN VACO: FUNDAMENTOS................................................. 127
1.1 Modelo de Hertz-Knundsen para la evaporacin en vaco ................................................ 128
1.2 Clculo del espesor depositado: Efecto de la direccionalidad. .......................................... 131
2. MTODOS DE EVAPORACIN TRMICA ........................................................................... 133
2.1 Calentamiento resistivo...................................................................................................... 133
2.2 Evaporacin mediante bombardeo de electrones............................................................... 134
3. EVAPORACIN DE ALEACIONES, MEZCLAS Y COMPUESTOS..................................... 136
3.1 Evaporacin directa ........................................................................................................... 136
3.2 Evaporacin reactiva.......................................................................................................... 137
4. OTROS MTODOS DE EVAPORACIN ................................................................................ 139
4.1 Plateado inico (ion plating) ........................................................................................... 139
4.2 Evaporacin por arco catdico .......................................................................................... 140
4.3 Proyeccin trmica (Thermal spraying)........................................................................ 142
BIBLIOGRAFA............................................................................................................................... 146

5. DEPOSICIN MEDIANTE PULVERIZACIN CATDICA

('SPUTTERING') (J. M. Albella)
1. INTRODUCCIN: FUNDAMENTOS DE LA TCNICA DE PULVERIZACIN
CATDICA O SPUTTERING ................................................................................................. 147
2. MECANISMOS BSICOS DE 'SPUTTERING' ........................................................................ 150
2.1 Modelo de colisin entre dos partculas............................................................................. 150
2.2 Consideraciones energticas .............................................................................................. 152
2.3 Rendimiento de sputtering ................................................................................................. 153
3. SPUTTERING DE ALEACIONES Y COMPUESTOS.............................................................. 155
4. TCNICAS DE SPUTTERING EN CORRIENTE CONTINUA ............................................... 156
4.1 Diodo planar ...................................................................................................................... 156
4.2 Sputtering magnetrn: diferentes configuraciones.......................................................... 157
4.3 Sputtering magnetrn no-balanceado.............................................................................. 160
5. SPUTTERING EN CORRIENTE ALTERNA (RF) ................................................................... 162
6. SPUTTERING REACTIVO ........................................................................................................ 163
7. RESUMEN Y CONCLUSIONES ............................................................................................... 167
BIBLIOGRAFA............................................................................................................................... 168

6. DEPSITO Y MODIFICACIN DE CAPAS MEDIANTE HACES DE

IONES (I. Jimnez y R. Gago)
1. INTRODUCCIN ....................................................................................................................... 169
2. INTERACCIN IN-SLIDO .................................................................................................. 170
2.1 Procesos inducidos por el bombardeo inico en superficies.............................................. 170
2.2 Efectos del bombardeo inico sobre las propiedades de las capas .................................... 173

12

3. INSTRUMENTACIN ............................................................................................................... 174

3.1 Fuentes de iones ................................................................................................................ 174
3.2 Diagnstico del haz de iones ............................................................................................. 178
4. TCNICAS DE MODIFICACIN Y DEPOSICIN ................................................................ 179
4.1 Limpieza de muestras y ataque por iones .......................................................................... 180
4.2 Deposicin directa ............................................................................................................. 181
4.3 Pulverizacin por haz de iones .......................................................................................... 181
4.4 Deposicin asistida con iones (IBAD) .............................................................................. 182
4.5 Implantacin de iones......................................................................................................... 185
BIBLIOGRAFA .............................................................................................................................. 188

7. EPITAXIA POR HACES MOLECULARES (MOLECULAR BEAM

EPITAXY), MBE (A. Ruiz y L. Gonzlez)
1. INTRODUCCIN: CRECIMIENTO EPITAXIAL.................................................................... 189
2. DESCRIPCIN DE LA TCNICA ............................................................................................ 192
2.1 Definicin y fundamentos ................................................................................................. 192
2.2 Configuracin general y caractersticas bsicas de un equipo MBE ................................. 195
2.3 Condiciones de UHV......................................................................................................... 197
2.4 Elementos de evaporacin ................................................................................................. 198
2.5 Manipulador y sistemas de transferencia........................................................................... 200
2.6 Tcnicas de caracterizacin ms usuales........................................................................... 201
3. PROCESO DE CRECIMIENTO................................................................................................. 203
4. MODIFICACIONES AL PROCESO DE CRECIMIENTO MBE.............................................. 207
4.1 Atomic layer MBE (ALMBE), migration enhanced epitaxy (MEE)................................. 207
4.2 Gas-source MBE (GSMBE), metalorganic MBE (MOMBE), chemical beam
epitaxy (CBE), plasma-assisted MBE (PA-MBE)......................................................... 209
5. CONCLUSIONES ....................................................................................................................... 211
BIBLIOGRAFA .............................................................................................................................. 213

8. DEPSITO POR LSER PULSADO (PLD) (C. N. Afonso y J. Gonzalo)

1. INTRODUCCIN ....................................................................................................................... 215
1.1 Caractersticas de la tcnica de PLD ................................................................................. 216
2. ASPECTOS BSICOS DE LA TCNICA DE PLD.................................................................. 220
2.1 Interaccin lser-blanco..................................................................................................... 220
2.2 Interaccin lser-material eyectado ................................................................................... 224
2.3 Expansin del plasma ........................................................................................................ 225
2.4 Sntesis de lminas delgadas.............................................................................................. 232
3. EJEMPLOS DE MATERIALES PRODUCIDOS POR PLD ..................................................... 234
BIBLIOGRAFA .............................................................................................................................. 236

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9. PREPARACIN DE RECUBRIMIENTOS MEDIANTE DEPOSICIN

QUMICA EN FASE VAPOR (CVD) C. Gmez-Aleixandre y S. I. Castaeda)
1. INTRODUCCIN ....................................................................................................................... 239
2. FUNDAMENTO DE LOS PROCESOS DE CVD ...................................................................... 241
2.1 Tipos de reaccin de CVD................................................................................................. 242
2.2 Reacciones qumicas en CVD............................................................................................ 242
2.3 Cintica de las reacciones de CVD.................................................................................... 243
3. CLASIFICACIN DE LAS TCNICAS DE CVD .................................................................... 249
3.1 Activacin trmica............................................................................................................. 250
3.2 Activacin por plasma ....................................................................................................... 251
3.3 Activacin por fotones....................................................................................................... 253
4. EQUIPOS DE PRODUCCIN MEDIANTE LA TCNICA DE CVD ..................................... 254
5. ALGUNOS EJEMPLOS DE PROCESOS DE CVD................................................................... 256
5.1 Recubrimientos basados en xido y nitruro de silicio ....................................................... 256
5.2 Recubrimientos de nitruro de boro (BN) y compuestos ternarios relacionados (Si-BN y C-B-N) ........................................................................................................................ 258
6. RESUMEN Y CONCLUSIONES ............................................................................................... 259
BIBLIOGRAFA .............................................................................................................................. 260

10. TCNICAS DE CVD ASISTIDAS POR PLASMA (PECVD) Y LSER

(F. J. Gordillo Vzquez y O. Snchez Garrido)
1. INTRODUCCIN: ASPECTOS GENERALES ......................................................................... 263
2. MECANISMOS DE ACTIVACIN DEL PLASMA ................................................................. 265
2.1 Procesos de ruptura elctrica: transformacin de un gas en un plasma ............................. 265
2.2 Procesos de colisiones en plasmas: colisiones elsticas e inelsticas ................................ 265
2.3 Procesos radiativos ............................................................................................................ 269
3. PLASMAS PRODUCIDOS EN DESCARGAS DE CORRIENTE ALTERNA ........................ 270
3.1 Fenmenos producidos en descargas de corriente alterna ................................................. 270
4. TCNICAS DE CVD ASISTIDAS POR PLASMA (PECVD) .................................................. 275
4.1 Etapas principales en el proceso de depsito mediante tcnicas de PECVD..................... 275
4.2 Equipos de CVD asistido por plasma ................................................................................ 278
4.3 Reactores de PECVD en corriente alterna ......................................................................... 279
5. TCNICAS DE DEPSITO ASISTIDAS POR LSER (FOTO-CVD o LSER-CVD).......... 282
5.1 Modos de activacin .......................................................................................................... 282
5.2 Fuentes pticas................................................................................................................... 284
6. ALGUNOS EJEMPLOS DE PROCESOS PECVD .................................................................... 285
6.1 Pelculas delgadas de oxinitruros de silicio ...................................................................... 285
6.2 Recubrimiento de diamante policristalino ......................................................................... 286
6.3 Ejemplos de materiales crecidos por foto-CVD ................................................................ 287
BIBLIOGRAFA............................................................................................................................... 289

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11. PREPARACIN DE RECUBRIMIENTOS MEDIANTE DEPOSICIN

QUMICA EN FASE LQUIDA (I. Montero Herrero)
1. INTRODUCCIN. Crecimiento de pelculas inorgnicas a partir de la fase lquida ................. 291
2. PROCESOS ELECTROQUMICOS .......................................................................................... 292
2.1 Celdas o reactores qumicos .............................................................................................. 292
2.2 Teora de la doble capa. Escala absoluta de potenciales .................................................. 295
2.3 Cintica de electrodo ......................................................................................................... 299
2.4 Mtodos experimentales de estudio de los procesos electroqumicos............................... 300
3. MTODOS QUMICOS Y ELECTROQUMICOS DE DEPSITO ........................................ 303
3.1 Depsito por reaccin qumica .......................................................................................... 303
3.2 Electrodeposicin de metales, aleaciones y semiconductores ........................................... 304
3.3 Comparacin de los mtodos qumicos y electroqumicos de deposicin de
recubrimientos ................................................................................................................... 305
4. TRATAMIENTOS SUPERFICIALES ....................................................................................... 306
4.1 Pulido electroqumico y qumico....................................................................................... 306
4.2 Recubrimientos de conversin........................................................................................... 307
4.3 Procesos de oxidacin de metales y semiconductores....................................................... 307
4.4 Procesos termoqumicos de cementacin, nitruracin y carbonitruracin del acero......... 311
4.5 La hidruracin ................................................................................................................... 314
4.6 Tratamientos por ataque qumico. Silicio poroso .............................................................. 314
5. SIMULACIN DE PROCESOS SUPERFICIALES. DINMICA MOLECULAR Y
MTODOS DE MONTECARLO ............................................................................................... 315
BIBLIOGRAFA .............................................................................................................................. 317

12. PREPARACIN DE RECUBRIMIENTOS POR SOL-GEL

(M. Zayat y D. Levy)
1. INTRODUCCIN ....................................................................................................................... 319
1.1 El proceso Sol-Gel ......................................................................................................... 320
1.2 Etapas del proceso Sol-Gel................................................................................................ 321
1.3 Cermicas modificadas orgnicamente (ormocers)........................................................... 324
1.4 Matrices Sol-Gel dopadas.................................................................................................. 325
1.5 Ventajas fundamentales del proceso Sol-Gel .................................................................... 326
1.6 Preparacin tpica de materiales va Sol-Gel..................................................................... 326
2. PREPARACIN DE PELCULAS DELGADAS POR SOL-GEL ............................................ 327
2.1 Recubrimientos Sol-Gel .................................................................................................... 327
2.2 Las tcnicas de inmersin Dip-Coating (DC) y centrifugado Spin-Coating (SC).......... 328
2.3 Otros Parmetros que Afectan a las Tcnicas de Deposicin............................................ 331
3. APLICACIONES Y EJEMPLOS MS REPRESENTATIVOS ................................................ 331
4. RESUMEN Y CONCLUSIONES ............................................................................................... 334
BIBLIOGRAFA .............................................................................................................................. 334

15

III. CARACTERIZACIN DE CAPAS DELGADAS

13. MEDIDA DEL ESPESOR Y ANLISIS DE LA RUGOSIDAD (L. Vzquez)
1. INTRODUCCIN ....................................................................................................................... 337
2. MTODOS DE MEDIDA DE ESPESORES .............................................................................. 338
2.1 Mtodos de pesada............................................................................................................. 338
2.2 Resonador de cuarzo.......................................................................................................... 338
2.3 Mtodos elctricos ............................................................................................................. 340
2.4 Mtodos pticos................................................................................................................. 341
3. MTODOS DE MEDIDA Y ANLISIS DE LA RUGOSIDAD ............................................... 347
3.1 Parmetros que describen una superficie........................................................................... 348
3.2 Medida de la rugosidad...................................................................................................... 353
3.3 Comparacin de las distintas tcnicas................................................................................ 360
4. APNDICE: TEORA DEL ESCALADO DINMICO............................................................. 361
BIBLIOGRAFA............................................................................................................................... 363

14. MTODOS PTICOS (F. Agull-Rueda y R. Serna)

1. INTRODUCCIN ....................................................................................................................... 365
1.1 La luz y el espectro electromagntico................................................................................ 366
2. INTERACCIN DE LA LUZ CON LOS MATERIALES ......................................................... 368
2.1 Coeficientes pticos........................................................................................................... 369
2.2 Dispersin .......................................................................................................................... 370
2.3 Reflexin y refraccin en una intercara plana ................................................................... 370
2.4 Absorcin........................................................................................................................... 372
2.5 Luminiscencia.................................................................................................................... 373
2.6 Interferencia ....................................................................................................................... 373
2.7 Esparcimiento o dispersin ................................................................................................ 374
2.8 El color de los materiales................................................................................................... 374
3. TCNICAS DE CARACTERIZACIN PTICA...................................................................... 375
3.1 Reflectancia y transmitancia (infrarrojo, visible y ultravioleta) ........................................ 375
3.2 Elipsometra ....................................................................................................................... 377
3.3 Espectroscopa de fluorescencia ........................................................................................ 381
3.4 Espectroscopa vibracional: infrarrojo y Raman................................................................ 383
BIBLIOGRAFA............................................................................................................................... 388

15. TCNICAS DE DIFRACCIN DE RAYOS X (C. Prieto y A. de Andrs)

1. INTRODUCCIN: ESTRUCTURA MICROSCPICA Y PROPIEDADES DE UN
MATERIAL ................................................................................................................................. 389
1.1 Slidos cristalinos y amorfos............................................................................................. 390
1.2 Cristales: Redes de Bravais. Vectores de red. Celda unidad. Red recproca ..................... 392
2. DIFRACCIN DE RAYOS X (ALTO NGULO)................................................................. 394
2.1 Difraccin de rayos X por una red peridica. Ley de Bragg ............................................. 395

16
2.2
2.3
2.4
2.5

Factor electrnico, factor de forma atmico y factor de estructura ................................... 397

Geometra Bragg-Brentano: Sistemas experimentales para lminas delgadas .................. 398
Geometra de incidencia rasante........................................................................................ 400
Identificacin de fases cristalogrficas. Grado de cristalinidad. Orientacin
preferencial. Anlisis de texturas....................................................................................... 401
3. REFLECTIVIDAD DE RAYOS X (BAJO ANGULO) .......................................................... 405
3.1 Introduccin....................................................................................................................... 405
3.2 Geometra especular de reflexin de rayos X. Determinacin del grosor de una
pelcula delgada ................................................................................................................. 406
3.3 Geometra no-especular de reflexin de rayos X .............................................................. 408
3.4 Aplicacin en sistemas multicapa. Determinacin de la periodicidad y de la calidad
de las interfases.................................................................................................................. 411
3.5 Anlisis de los datos de sistemas multicapa ...................................................................... 413
BIBLIOGRAFA ............................................................................................................................. 415

16. ESPECTROSCOPAS ELECTRNICAS (Auger y XPS) (M. Fernndez)

1. INTRODUCCIN ....................................................................................................................... 417
2. ESPECTROSCOPAS DE SUPERFICIE. INSTRUMENTACIN ........................................... 418
2.1 Procesos electrnicos bsicos............................................................................................ 418
2.2 Instrumentacin: Fuentes de excitacin. Analizador......................................................... 420
3. INFORMACIN ESPECTRAL.................................................................................................. 425
3.1 El espectro de electrones secundarios ............................................................................... 426
3.2 El espectro de fotoelectrones de rayos x. Estructura primaria........................................... 429
4. CUANTIFICACIN DE ESPECTROS EN AES Y XPS........................................................... 432
4.1 Clculo de la intensidad. Formalismo bsico .................................................................... 432
4.2 Perfiles de concentracin................................................................................................... 434
5. APLICACIONES ........................................................................................................................ 436
BIBLIOGRAFA .............................................................................................................................. 440

17. ANLISIS CON HACES DE IONES: RBS, ERDA, PIXE, NRA Y SIMS
(I. Montero Herrero y R. Gago)
1. CONCEPTOS GENERALES DE LAS TCNICAS DE ANLISIS CON HACES DE
IONES.......................................................................................................................................... 441
2. INSTRUMENTACIN PARA EL ANLISIS CON HACES DE IONES................................ 443
2.1 Aceleradores lineales del haz de iones ................................................................................ 444
3. ESPECTROSCOPA DE RETRODISPERSIN RUTHERFORD (RBS) ................................. 445
3.1 Conceptos generales de la tcnica RBS............................................................................. 445
3.2 Principios bsicos. Expresiones analticas......................................................................... 446
3.3 Interpretacin de espectros de RBS. Ejemplos de anlisis de pelculas delgadas ............. 449
3.4 Efecto de canalizacin o channeling. Ordenamiento atmico en el slido. ................... 451
4. RETROCESO ELSTICO DE IONES (ERDA) ........................................................................ 452
4.1 Conceptos generales de la tcnica ERDA ......................................................................... 452
4.2 Expresiones analticas: Factor cinemtico y seccin eficaz del proceso ........................... 452
4.3 Distintas configuraciones experimentales ......................................................................... 453

17
5. EMISIN DE RAYOS-X INDUCIDA POR EL BOMBARDEO DE PARTCULAS
ENERGTICAS (PIXE).............................................................................................................. 456
5.1 Conceptos generales de la tcnica PIXE............................................................................ 456
5.2 Microanlisis PIXE............................................................................................................ 457
5.3 Cuantificacin de los espectros PIXE. Utilizacin de muestras de referencia .................. 459
6. ANLISIS MEDIANTE REACCIONES NUCLEARES (NRA) ............................................... 459
6.1 Reacciones nucleares. Resolucin de la interaccin nuclear ............................................. 459
6.2 Ejemplos de reacciones nucleares...................................................................................... 461
6.3 Tipos de anlisis NRA. Perfiles de concentracin............................................................. 461
7. ESPECTROMETRA DE MASAS DE IONES SECUNDARIOS (SIMS) ................................ 463
7.1 Introduccin a la tcnica SIMS.......................................................................................... 463
7.2 SIMS esttico y dinmico .................................................................................................. 464
7.3 Equipo de anlisis: analizadores magnticos y cuadrupolos ............................................. 465
BIBLIOGRAFA............................................................................................................................... 466

18. TCNICAS DE CARACTERIZACIN CON RADIACIN SINCROTRN

(I. Jimnez)
1. INTRODUCCIN ....................................................................................................................... 467
1.1 La radiacin sincrotrn ...................................................................................................... 467
1.2 Caractersticas de la radiacin sincrotrn .......................................................................... 468
2. INSTALACIONES Y EQUIPAMIENTO ................................................................................... 470
2.1 Aceleradores de partculas ................................................................................................. 470
2.2 Dispositivos de insercin: osciladores y onduladores. ...................................................... 472
2.3 Lneas de luz ...................................................................................................................... 473
3. ASPECTOS DE LA INTERACIN RADIACIN-MATERIA................................................. 474
3.1 Interaccin inelstica fotn-materia: absorcin y emisin ................................................ 475
3.2 Aspectos de la interaccin elstica radiacin-materia: difraccin ..................................... 476
4. INTERACCIN INELSTICA: TCNICAS ESPECTROSCPICAS .................................... 477
4.1 Absorcin de rayos X ........................................................................................................ 477
4.2 Fotoemisin ....................................................................................................................... 484
4.3 Fluorescencia o emisin de rayos X .................................................................................. 486
4.4 Dicrosmo magntico......................................................................................................... 488
4.5 Tcnicas con imagen: espectro-microscopas .................................................................... 488
5. INTERACCIN ELSTICA: TCNICAS DE DIFRACCIN ................................................. 490
5.1 Tcnicas basadas en el alto flujo de fotones ...................................................................... 490
5.2 Tcnicas basadas en la seleccin de la energa del fotn.................................................. 491
5.3 Tcnicas basadas en la estructura de tiempos del haz de rayos X ..................................... 492
5.4 Tcnicas basadas en la polarizacin de la luz .................................................................... 492
BIBLIOGRAFA............................................................................................................................... 492

19. LA MICROSCOPA PARA EL ESTUDIO DE MATERIALES Y LMINAS

DELGADAS ( J.A. Martn Gago)
1. INTRODUCCIN A LA MICROSCOPA DE MATERIALES ................................................ 495
2. EL MICROSCOPIO PTICO ..................................................................................................... 498

18

3. MICROSCOPIOS ELECTRNICOS ......................................................................................... 500

3.1 El Microscopio electrnico de barrido (SEM)................................................................... 501
3.2 Anlisis cuantitativo de Rayos X....................................................................................... 505
3.3 Microscopio de transmisin electrnico (TEM)................................................................ 505
3.4 Microscopas con resolucin qumica: Microscopa Auger y de rayos X ......................... 506
4. MICROSCOPIOS DE CAMPO CERCANO: STM Y AFM ...................................................... 507
BIBLIOGRAFA .............................................................................................................................. 513

20. CARACTERIZACIN MECNICA DE LOS RECUBRIMIENTOS

(J. M. Albella)
1. INTRODUCCIN ....................................................................................................................... 515
2. PROPIEDADES MECNICAS DE LOS MATERIALES......................................................... 516
2.1 Propiedades elsticas ......................................................................................................... 516
2.2 Otras magnitudes elsticas................................................................................................. 519
3. PROPIEDADES TRIBOLGICAS Y OTRAS MAGNITUDES MECNICAS
ASOCIADAS A CAPAS DELGADAS ...................................................................................... 520
3.1 Friccin rozamiento........................................................................................................ 521
3.2 Desgaste............................................................................................................................. 523
3.3 Tensiones residuales .......................................................................................................... 525
3.4 Adherencia......................................................................................................................... 527
4. MEDIDA DE LAS PROPIEDADES MECNICAS DE RECUBRIMIENTOS........................ 530
4.1 Modulo elstico y dureza: Tcnica de indentacin............................................................ 530
4.2 Coeficiente de desgaste y de friccin: Tcnica de Punta sobre Disco ............................ 534
4.3 Adhesin y rayado............................................................................................................. 535
4.4 Tensiones residuales .......................................................................................................... 537
5. RESUMEN Y CONCLUSIONES ............................................................................................... 539
BIBLIOGRAFA .............................................................................................................................. 540

IV. PROPIEDADES Y APLICACIONES

21. APLICACIONES MECNICAS DE LOS RECUBRIMIENTOS
( J. M. Albella)
1. INTRODUCCIN ....................................................................................................................... 543
2. SELECCIN DE MATERIALES............................................................................................... 545
2.1 Recubrimientos duros........................................................................................................ 547
2.2 Recubrimientos blandos .................................................................................................... 555
3. ESTRUCTURA DE LOS RECUBRIMIENTOS ........................................................................ 557
4. TCNICAS DE DEPOSICIN DE RECUBRIMIENTOS PARA APLICACIONES
MECNICAS.............................................................................................................................. 561
5. APLICACIONES TRIBOLGICAS DE LOS RECUBRIMIENTOS ....................................... 565
5.1 Herramientas de corte........................................................................................................ 565

19
5.2 Prtesis biomdicas............................................................................................................ 567
BIBLIOGRAFA............................................................................................................................... 569

22. APLICACIONES QUMICAS DE LOS RECUBRIMIENTOS:

PROTECCIN CONTRA LA CORROSIN (J. J de Damborenea)
1. ASPECTOS GENERALES: Importancia de la corrosin y de los mtodos de proteccin......... 571
2. FUNDAMENTOS BSICOS DE CORROSIN ....................................................................... 572
2.1 Nociones de corrosin a alta temperatura.......................................................................... 572
2.2 Nociones de corrosin electroqumica............................................................................... 576
2.3 Formas de corrosin electroqumica y mtodos de proteccin.......................................... 579
3. MTODOS DE PROTECCIN FRENTE A LA CORROSIN MEDIANTE CAPAS
DELGADAS ................................................................................................................................ 581
4. IMPLANTACIN INICA ........................................................................................................ 584
5. TRATAMIENTOS CON LSER................................................................................................ 590
6. CONCLUSIONES Y LNEAS DE FUTURO ............................................................................. 594
BIBLIOGRAFA............................................................................................................................... 596

23. APLICACIONES EN MICROELECTRNICA Y FOTNICA

(F. Agull-Rueda y J. M. Albella)
1. INTRODUCCIN ....................................................................................................................... 597
2. PROPIEDADES GENERALES DE LOS SEMICONDUCTORES ........................................... 598
2.1 Fenmenos de conduccin y modelo de bandas de energa............................................... 599
2.2 Absorcin de luz y luminiscencia ...................................................................................... 600
2.3 Semiconductores dopados.................................................................................................. 601
2.4 Diodos de unin ................................................................................................................. 601
2.5 Nanoestructuras ................................................................................................................. 603
3. EJEMPLOS DE MATERIALES USADOS EN MICRO- Y OPTO- ELECTRNICA ............. 604
3.1 Semiconductores................................................................................................................ 604
3.2 Capas aislantes y conductoras............................................................................................ 605
4. APLICACIONES EN MICROELECTRNICA......................................................................... 607
4.1 Tecnologa planar .............................................................................................................. 607
4.2 Fotolitografa ..................................................................................................................... 608
5. APLICACIONES OPTOELECTRNICAS ............................................................................... 611
5.1 Diodo emisor de luz (LED) ............................................................................................... 611
5.2 Diodos lser ....................................................................................................................... 612
5.3 Paneles electroluminiscentes ............................................................................................. 614
5.4 Fotodetectores.................................................................................................................... 615
5.5 Clulas solares ................................................................................................................... 617
BIBLIOGRAFA............................................................................................................................... 619

24. PROPIEDADES PTICAS DE CAPAS DELGADAS. APLICACIONES

(R. Serna y F. Agull-Rueda)
1. INTRODUCCIN ....................................................................................................................... 621
1.1 Por qu usamos recubrimientos pticos en capa delgada?............................................... 621

20
1.2 Materiales para recubrimientos pticos: caractersticas .................................................... 623
2. PROPIEDADES PTICAS DE CAPAS DELGADAS HOMOGNEAS Y DE
MULTICAPAS............................................................................................................................ 624
2.1 Propiedades pticas de multicapas. Diseo ....................................................................... 624
3. APLICACIONES EN COMPONENTES PTICOS .................................................................. 626
3.1 Recubrimientos antirreflectantes ....................................................................................... 626
3.2 Espejos (reflectores) y divisores de haz ............................................................................ 627
3.3 Atenuadores, partidores de haz y polarizadores ................................................................ 629
3.4 Filtros pticos .................................................................................................................... 629
3.5 Aplicaciones en telecomunicaciones y redes locales......................................................... 635
3.6 Aplicaciones relacionadas con la conservacin de energa, y en elementos de
arquitectura y automocin ................................................................................................. 636
3.7 Efectos medioambientales ................................................................................................. 637
4. RECUBRIMIENTOS PTICOS ACTIVOS .............................................................................. 638
4.1 Recubrimientos termocrmicos, fotocrmicos y electrocrmicos .................................... 639
4.2 Los recubrimientos electrocrmicos como modelo de recubrimientos activos.
Ejemplo de dispositivo ...................................................................................................... 640
4.3 Aplicaciones. Pantallas electrocrmicas y ventanas inteligentes.................................... 641
BIBLIOGRAFA .............................................................................................................................. 642

25. APLICACIONES DE LAS LMINAS DELGADAS EN PTICA

INTEGRADA (C. N. Afonso y J. Sols)
1. INTRODUCCIN ....................................................................................................................... 643
2. LA GUA DIELCTRICA.......................................................................................................... 644
3. GUAS ACANALADAS............................................................................................................. 648
3.1 El acoplador en Y .............................................................................................................. 649
3.2 El acoplador direccional .................................................................................................... 650
4. SISTEMAS ACTIVADOS POR MTODOS NO-PTICOS .................................................... 650
4.1 Moduladores acusto-pticos .............................................................................................. 651
4.2 Moduladores electro-pticos ............................................................................................. 652
4.3 Moduladores en gua de onda............................................................................................ 653
5. SISTEMAS ACTIVADOS PTICAMENTE............................................................................. 654
5.1 Sistemas pticos no lineales .............................................................................................. 655
5.2 Sistemas de ganancia ......................................................................................................... 657
6. SISTEMAS MIXTOS.................................................................................................................. 659
BIBLIOGRAFA ............................................................................................................................ 660

26. PROPIEDADES Y APLICACIONES MAGNTICAS (J. M. Gonzlez)

1. INTRODUCCIN: DEL MOMENTO MAGNTICO A LA HISTRESIS ............................. 661
1.1 Momentos magnticos....................................................................................................... 662
1.2 El orden magntico............................................................................................................ 663
1.3 Anisotropas magnticas.................................................................................................... 664
1.4 La histresis ....................................................................................................................... 665
1.5 Temperaturas finitas y propiedades magnticas ................................................................ 666

21
2. PROPIEDADES MAGNTICAS DE SUPERFICIES E INTERCARAS SENSIBLES AL
TAMAO .................................................................................................................................... 667
2.1 Super-paramagnetismo ...................................................................................................... 667
2.2 Momentos magnticos, temperaturas de orden y anisotropas de superficie e intercara ... 668
3. FENOMENOLOGA MAGNTICA EN PELCULAS DELGADAS DE INTERS PARA
LA TECNOLOGA...................................................................................................................... 669
4. APLICACIONES DE LAS PELCULAS DELGADAS MAGNTICAS.................................. 671
4.1 Transformadores ................................................................................................................ 672
4.2 Sensores y actuadores ........................................................................................................ 672
4.3 Dispositivos micro-electromecnicos ................................................................................ 674
4.4 Registro magntico ............................................................................................................ 676
4.5 Magneto-electrnica .......................................................................................................... 678
5. BIBLIOGRAFA ......................................................................................................................... 680

NDICE DE MATERIAS--------------------------------------------------------------------------------- 685