Diseo e implementacin de un

mini Sputtering
1 OBJETIVOS

Construir la base para el dispositivo de vaco.

Montar las conexiones y sellarlas para evitar fugas de cualquier magnitud.
Testear el medidor de vaco con una bomba de aire de 12V de entrada,
comprobar si esta puede darnos el vaco parcial requerido.

2 ESTADO DEL ARTE

2.1 MAGNETRN

SPUTTERING:

El Magnetrn sputtering es una forma de revestimiento PVD (Deposicin fsica

en fase vapor, por sus siglas en ingls). El revestimiento es depositado en
vaco por condensacin desde un flujo de tomos neutros o ionizados de
metales. Esta tecnologa de revestimiento encierra dos categoras: sputtering y
evaporizacin, las tcnicas ms utilizadas para recubrimientos duros son
deposicin mediante arco catdico, magnetrn sputtering, que pertenecen a
las categoras mencionadas respectivamente, y la combinacin de ambas. [1]
En el caso del magnetrn sputtering, un target (o ctodo) es bombardeado por
iones o tomos energticos neutros generados en un plasma de descarga
luminiscente, situado en frente del target. El bombardeo causa la extraccin y
dispersin (i.e. sputtering) de los tomos del target, que luego se condensan
en un substrato que forma una pelcula delgada. Electrones secundarios
tambin son emitidos por la superficie del target como resultado del
bombardeo de iones, estos juegan un importante rol en mantener el plasma.
Se puede observar un diagrama del RF magnetrn sputtering en la Figura 1.
[2]
Esta tcnica se ha conocido y usado por muchos aos; sin embargo, el proceso
es limitado por la baja tasa de deposicin, la baja eficiencia de ionizacin en el
plasma (los dos ltimos afectan al espesor de la pelcula al obtenerse una
menor energa de deposicin [1]), los efectos de calentamiento en el substrato
y la contaminacin del target (nitrgeno absorbido por el target que se reduce
N2 e incrementa su presin parcial). Estas limitaciones han sido superadas, y
se desarroll el conocido Unbalanced magnetron sputtering. En esta
mejorada versin un campo magntico es configurado paralelo a la superficie
del target y puede restringir el movimiento de los electrones secundarios,
antes mencionados, a la vecindad del target y as aumentar la probabilidad de

que ocurra una colisin electrn ionizado tomo, este incremento en la

eficiencia dar como resultado un plasma ms denso en la regin del target.
Con este plasma, el bombardeo aumentar, dando mejores tasas de
extraccin/dispersin y de deposicin en el substrato. Lo que es ms, esta
eficiencia lograda permitir mantener la descarga a bajos presiones y voltajes
de operacin (10-3 mbar comparado con 10-2 mbar y -500V comparado con -2 a
-3 kV) que es posible en el sputtering bsico. [1]

Figura 1. Diagrama esquemtico de

magnetrn planar por radio frecuencia. [1]

2.2 COMPONENTES:
Para el diseo de nuestro sistema de vaco parcial, utilizamos los siguientes
componentes usando distintas conexiones que se presentarn en el diseo:
2.2.1 Bomba de Vaco de 12V:
La AIRPO modelo D2028B usada es una bomba de vaco con membrana, o
tambin una bomba de desplazamiento positivo en seco. El principio de
operacin explicado en la Figura 2. Una biela manejada por un cigeal
mueve el diafragma que es tensionado entre el Head cover y el Housing.
El espacio entre el primero y el diafragma forma la cmara de succin. Este
tipo de bombas requieren vlvulas de entrada y salida para lograr un
desplazamiento alineado del gas. Estas vlvulas, normalmente son hechas de
un material elastomrico, porque la cmara de succin es hermticamente
sellada de la unidad por la membrana. [3]

Especificaciones:

Figura 2. Principio de operacin de una bomba con

membrana [3]

Rango de flujo:

12 15 LPM

Rango de vaco:

0 16 inHg

Rango de presin:

0 32 psi

Opciones estndar de voltaje del motor:

Potencia:

12V DC

12W

Opcin de construccin del motor:

Iron Core-Oil Bearing

Opcin de material de la membrana:

EPDM

Rango de temperatura de operacin:

32

Figura 3. Bomba de vaco de 12V[4]

2.2.2 Medidor de vaco (BluVac):

En tecnologa de vaco, ningn mtodo de medida cubre el rango entero de
presin. Es necesario entonces de usar diferentes mtodos. El criterio para
seleccionar el sensor de presin se basan en las siguientes condiciones:

El rango de presin a detectar.

La composicin del gas: Inerte o corrosivo.
Precisin requerida y repetibilidad.
Condiciones ambientales, as como la radiactividad.

En el caso de un medidor de vaco con membrana, un mtodo de medir vaco

directamente y es independiente del gas a extraer. Una presin p es
ejercida en la membrana, que tiene un rea definida "A", y desva la
membrana proporcionalmente con la presin. Un sensor mide ese
desviamiento. Sensores capacitivos o piezo-resistivos reciben la seal de
presin y lo convierten en seal elctrica.
Si el sensor es un piezo-resistivo, el diseo se muestra en la Figura 4.
Una membrana es colocada en un buen volumen evacuado, que tiene una
presin de referencia p0, en el que la medida de resistencias al expandirse
son difundidas. La medida cambia con la resistencia como resultado de la
deformacin de la membrana y sirve como un parmetro para la presin.

Figura 4. Diseo de un medidor de vaco con membrana con sensor

piezo-resistivo[3].

En el caso de un sensor capacitivo (Figura 5), la deformacin de la

membrana es medida como el cambio de capacitancia del plato capacitor que
es formado entre la membrana y una contraplaca fija en un buen espacio
evacuado de presin p0. La membrana es comprimida ya sea por una
cermica con revestimiento metalizado al vaco o por acero inoxidable. [3]

Figura 5. Diseo de un medidor de vaco con

membrana con sensor capacitivo[3].

Especificaciones:
Rango:

0 25,000 Microns (3333.1 Pa, 33.331 mBar, 25,000

mTorr, 25.000 mmHg)

Precisin de vaco:

5% de Lectura +/- 5 Microns

Resolucin de vaco:

0.1 Micron (@ 0.0 a 9999.9 Microns)

Precisin de temperatura:

0.2F (0.1C)

Resolucin de temperatura:

0.1

Tiempo de preparacin: Instantneo

Tiempo de respuesta:

Instantneo

Fuente:

9V Batera alcalina

Temperatura de operacin:

10F - 122F (-12C - 50C)

Conexin de puerto de vaco: in rosca macho nickeleado para

durabilidad con tapa integrada protectora del polvo.

Figura 6. Medidor de vaco digital

BluVac[5]

3 DISEO E IMPLEMENTACIN DEL DISPOSITIVO DE

VACO PARCIAL

3.1 CONEXIONES:
Vlvulas
Sellando las entradas con cinta de tefln, se conectaron dos vlvulas (derecha
para extraer y la de la izquierda para dejar pasar el aire) a una conexin en T
de de pulgada que va a un adaptador de 1/8 a 1/4 de pulgada, que a su vez
est conectada a otra conexin en T de 1/8 de pulgada, que tienen dos hilos
especiales, uno de esas salidas va a un tubing que ira a la cmara de vaco,
Adaptador de 1/8 a 1/4 de pulgada
mientras que en la otra estar conectada el medidor de vaco.

Conexin
en T
Tubing

Tubo
de
1/8
OD

Figura 7. Conexiones para lograr el vaco. Con rtulos que indican

los componentes de la misma.

3.2 PRIMER

PROTOTIPO

La conexin mostrada en la Figura 7, se conect el extremo del tubing a la

base de una tapa de plstico mediante un orificio hecho con calor para evitar
mayores fugas adicionalmente se utiliz cinta de tefln para evitar fugar en la
conexin.
La tapa de plstico tiene en el borde una cinta de jebe que ayuda a sellar la
cara cuando se coloca el pyrex.

Figura 8. Ensamblado del primer prototipo para probar el vaco parcial.

3.3 SEGUNDO

PROTOTIPO

La conexin mostrada en la Figura 7, se conect al medidor de vaco a travs

de la conexin dorada y el tubing a la base de la cmara, formada por una
placa de acrlico con patitas de metal recicladas, una pieza de un material

importado parecido al cuero para lograr hermeticidad, finalmente un pyrex que

encierra todo el sistema de vaco.

Figura 9. Ensamblado del segundo prototipo para probar el vaco parcial.

4 OBSERVACIONES Y DISCUSIONES

En el primer prototipo al encender la bomba de 12V se observaba una clara

deformacin de la tapa, debido a que el material no es muy resistente.
Al probar la hermeticidad del primer prototipo no dio muy buenos resultados
ya que al extraer aire de la cmara y cerrar todas las salidas de aire la
cmara se llenaba nuevamente de aire en algunos minutos, por este motivo
se descart el primer prototipo y se desarroll otro prototipo.
En el segundo prototipo al encender la bomba de 12V se no se observa
ningn tipo de deformacin adicionalmente al extraer el aire de la cmara y
cerrar todas las entradas y salidas de aire el sistema estuvo hermtico por
mucho ms tiempo que el primer prototipo.
En ambos prototipos no se logr obtener datos con el medidor digital de
vaco debido a que este medidor est diseado para trabajar a bajas
presiones (<34mBar).

5 CONCLUSIONES

Debido a la hermeticidad se descarta el primer prototipo, se continuara con el

segundo prototipo.
Las conexiones fueron ensambladas correctamente y selladas con cinta de
tefln.
La bomba de aire de 12V no fue lo suficientemente potente para lograr el
vaco parcial que buscbamos la presin que se llega es superior a lo que
puede detectar el medidor de vaco utilizado, se harn pruebas con bombas
de vaco convencionales.

6 BIBLIOGRAFA
[1]

Mubarak, A., et al. (2005). "Review of Physical Vapour Deposition (PVD)

techniques for hard coating." Jurnal Mekanikal 20: 42 - 51

[2]

Kelly, P. J. and R. D. Arnell (2000). "Magnetron sputtering: a review of recent

developments and applications." Vacuum 56: 159 - 172.

[3]

Vacuum, P. Vacuum Technology Know How. Germany, Pfeiffer Vacuum.

[4]

Airpo. D2028 Air pump technical specifications

[5]

AccuTools. Digital Vacuum Gauge Users Guide. BluVac.