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Dpt sous vide

3 Avantages et inconvnients

Le dpt sous vide est une technique de fabrication de


couche mince : on cherche dposer une couche de mtal
(la plupart du temps) sur une lame de substrat solide
(verre ou silicium par exemple)[1] .

Cette mthode permet de ne chauer qu' des tempratures raisonnables (millier de degrs) grce au
vide cr. Cette mthode est donc assez peu coteuse en nergie.
Le vide ambiant permet aussi d'assurer la puret du
dpt.

Principe

Elle permet d'obtenir des couches minces


d'paisseur minimale de l'ordre du nanomtre

On y utilise le principe physique qui veut que, trs basse


pression, les molcules (gnralement monoatomiques)
de vapeur d'un mtal se dplacent avec trs peu de risque
de collision avec d'autres molcules : le gaz mtallique
se trouve projet sur le substrat sans tre frein par les
phnomnes de diusion, et sans risque d'oxydation[2] .
La couche obtenue est ainsi trs pure et trs rgulire. Le
mtal est chau au-dessus de sa temprature de fusion,
mais loin de sa temprature d'bullition sous pression normale.

L'inconvnient de cette mthode est qu'elle ncessite un


matriel sophistiqu et coteux, et que les dpts de mtal
salissent les direntes pices de la machine. Par ailleurs,
cette mthode ne permet pas de dposer tous les matriaux : lorsque la tension de vapeur (aux tempratures que
l'on peut atteindre) est trop faible, il faudra avoir recours
des mthodes plus gourmandes en nergie et bien plus
complexes mettre en uvre (comme l'vaporation par
faisceau d'lectrons par exemple).

Le mtal dposer est plac dans un creuset en tungstne


(dont la temprature de fusion est extrmement leve,
3400C), lui-mme plac sous la lame de substrat solide.
Le tout est recouvert d'une cloche de verre joint tanche,
capable de rsister aux grandes dirences de pression.

4 Exemples
d'usages

de

matriaux

et

Une pompe turbomoleculaire (dite turbo) permet


d'atteindre des pressions inmes (de l'ordre du centime Parmi les matriaux pouvant tre dposs par cette mde pascal).
thode on peut citer le chrome, l'or, l'argent, le nickel,
On fait alors circuler un courant lectrique trs intense l'aluminium
dans le creuset (de l'ordre de la centaine d'ampres, variable selon la temprature dsire) ce qui a pour eet
de chauer le creuset (par eet Joule). Le mtal fond, se
vaporise, et se dpose sur la lame de substrat qui est
une temprature moins leve. Un cristal pizolectrique
(ventuellement refroidi par un courant d'eau froide) permet de mesurer l'paisseur de la couche dpose.

L'aluminisation des miroirs par cette mthode permit


d'amliorer peu de frais les images obtenues par
tlescopes, en augmentant la lumire rchie, et en
diminuant la lumire diuse, ainsi qu'en permettant
d'espacer les remtallisations, les couches d'argent utilises prcdemment ayant une dure de vie moindre. La
mtallisation par dpt d'une couche d'or sur les mauvais
conducteurs permet d'utiliser la microscopie lectronique
balayage sur ceux-ci.

5 Mesure de l'paisseur dpose

Contraintes particulires

L'obtention d'un dpt rgulier suppose une surface initiale rgulire. Les surfaces rugueuses ou accidentes sont
souvent mal recouvertes. L'adhrence du dpt sur le substrat est en gnral trs bonne, mais suppose une propret
absolue de celui-ci, et donc un minimum de prcautions
de manipulation.

Un cristal pizolectrique (ventuellement refroidi par un


courant d'eau froide) permet de mesurer l'paisseur de la
couche dpose. Ce cristal est expos de la mme manire que le substrat solide la vapeur de matriau dposer. Sa frquence de rsonance varie lorsque sa masse
varie, le dpt saccumulant sa surface. La densit du
1

matriau dpos permet alors d'obtenir l'paisseur dpose. La prcision de cette mesure diminue mesure que
le cristal est alourdi , il faut donc le remplacer rgulirement.

Exemples de dpt sous vide


Dpt chimique en phase vapeur
Dpt physique par phase vapeur

Notes et rfrences

[1] (fr) Le dpt de couche , sur www.verreonline.fr


(consult le 11 novembre 2010)
[2] (fr) Dpt sous vide , sur www.metaux.ulg.ac.be
(consult le 11 novembre 2010)

Voir aussi

8.1

Articles connexes

Ingnierie des surfaces


Technologie du vide

Portail de la physique

VOIR AUSSI

Sources, contributeurs et licences du texte et de limage

9.1

Texte

Dpt sous vide Source : https://fr.wikipedia.org/wiki/D%C3%A9p%C3%B4t_sous_vide?oldid=122054921 Contributeurs : Kelson, Rigolithe, Matpib, Saint-Loup, Cottard, Knightelf, Oxo, Olmec, Pld, Liquid-aim-bot, Gurin Nicolas, Patapiou, Sebleouf, Pamputt, Fluti,
Alecs.bot, Elgauchito, Maseracing, Ir4ubot, WikiCleanerBot, ZetudBot, Bubs wikibot, Penjo, Michel Awkal, Addbot, Utilisateur 234 et
Anonyme : 7

9.2

Images

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