Vous êtes sur la page 1sur 19

Elments de la mcanique du

milieu continu

Cours 2

Thorie de llasticit : tude des


dformations des corps solides
lastiques soumis aux forces
Hypothse commune pour les corps
solides : faibles dformations relatives
Stresse et dformation relative: les
notions de base

La mcanique des MEMS


et lments de la mcanique du
milieu continu
Dimitri Galayko
1

Sommaire

Dformations

Elments de la mcanique du milieu


continu
Poutres
Ressorts
Masse
Rsonateurs
TD

Dformation relative (strain) : modification


relative de la gomtrie du dispositif
Exemple sur le cas de 2 dimensions
y

x0

x
2

Non-dform

x
Allongement selon x

Dformations

Dformations
Dans cette formule, les angles sont
approchs par leurs tangentes.
Valable pour faibles xy = 1 ( + ) 1 x + y
2
2 y0 x0
dformations !

La dformation (allongement) relative


est alors dfinie comme :
x
x =
Dimension de lunit !
y

x0

x0

x0

y0
y
x

Non-dform

x
5

Allongement selon x

Dformations
2 x0

x0

y0

Non-dform

Allongement selon x

Lensemble des dformations dun


lments sont regroups dans une
matrice symtrique (xy=yx):
x xy
=
yx y

Les lments de cette matrice


dpendent du repre. Comment ?

y0
x

Allongement selon x

Dformations

La dformation de cisaillement :
modification des angles dun lment
1
1 x y
dans un plan xy
xy = ( + )
+
y

Non-dform

Dformations

Dformations
Illustration de la dpendance de
dformation du repre (II)
Soit un cisaillement

Illustration de la dpendance de
dformation du repre
Soit un allongement pur selon x
y

x0

x0

y0
y
x

Non-dform

x
9

Allongement selon x

Non-dform

Dformations

x0
y

Allongement selon x

x0

x
Non-dform

Allongement selon x

x
y

y0

11

En choisissant un repre diffrent, on a


un pur allongement !

Dformations

En choisissant un repre xy, on a un


cisaillement !
y

x
10

Non-dform

Allongement selon x

12

Dformations

Dformation
Le tenseur de dformation se dcompose en
somme de la composante hydrostatique
de dilatation et de cisaillement
La dilatation (modification du volume) :

Conclusion : la matrice de dformation se


transforme lorsque lon change de repre.
Or, la dformation est sense tre invariante
vis--vis du changement du repre
Cest donc un tenseur
Un tenseur : une gnralisation de vecteur
Un tenseur est caractris par les lments
de sa matrice dans un repre donn + par la
loi de transformation lors du changement de
13
repre

1
vol vol0
e = x + y + z =
3
vol0
Le dviateur (modification du forme) (I est la
matrice identit) :
1
E ' = eI
3
15

Dformation

Contraintes

Soit deux repres O et O, avec les axes i, j, k


et i, j, k, avec la matrice de transition A.
Un vecteur b dfini dans O sera dans le
repre O:

b ' = Ab
De mme, le tenseur de dformation dfini
dans le repre O sera dans le repre O :

Une contrainte (angl. stress): une grandeur


caractrisant les forces dans le volume dun
corps solide
Est galement une grandeur tensorielle
y
Fx

=A-1A
14

Fx

Contrainte axiale ou
normale :
F
x =
S
S: laire de la face
sur laquelle agit la force
16

Contraintes

Contraintes

Une contrainte (angl. stress): une grandeur


caractrisant les forces dans le volume dun
corps solide
Est galement une grandeur tensorielle
y
Fxy
Fxy
x

Cas des 3 dimensions:


z

Fz
Fzy

Contrainte de cisaillement
(nomm parfois )
F
xy =
S
S: laire de la face
sur laquelle agit la force

Fyz
Fy

Fyx

Fzx
Fxz

Fx

Le tenseur des contraintes


est une matrice 3x3
Les forces agissent sur les
surfaces dun cube
orthogonal aux axes

Fxy

Premire indice (x) : laxe normale au plan


17
Deuxime indice (y) : laxe parallle la force

19

Contraintes

Contraintes
Dmontrer quune matrice des
contraintes est un tenseur

Les deux types des contraintes forment


une matrice qui est, en fait, un tenseur
Ce tenseur est symtrique : ij=ji
Pourquoi ? ( considrer sur un cas 2
dimensions)

z
F
S

F
ij = ij
S

n
x

18

Soit un lment de volume


de forme pyramidale, avec le sommet
lorigine
Soit cet lment subit un tenseur de
contrainte
Alors, la base de la pyramide
subit une force F dont la tension
associe (la contrainte, F/S) est
gale n
Dmonstration sur le cas 2
dimensions!
20

Contraintes

Lois dlasticit
Relation entre la dformation et la contrainte
axiales ou normales ( la surface)
Exemple pour une poutre

Ainsi, le tenseur de contrainte est une


application linaire dfinie dans
lespace vectorielle (x,y,z)
Il est connue quune telle application
dpend du repre, et donc, est un
tenseur !

=E

21

23

Lois dlasticit

Lois dlasticit
Contraintes et dformation de cisaillement

Relation entre la dformation et la contrainte


axiales ou normales ( la surface)

x
y0

Sous condition de faible dformation :

= E

Ici, E est le module d lasticit, appell Module d Young


Pour Silicium monocristallin, E=168187 GPa selon la direction
Pour Silicium polycristalin (polysilicium), le module d Young
dpend du process et vaut 120175 Gpa, avec 160 GPa en
moyenne.
Donnes de confiance : celles qui ont t mesures sur VOTRE
technologie
22

yx =

x
y0

yx = G yx

Ici G est le module de rigidit ou la constante de cisaillement


Il sagit dun paramtre du matriau
24

Lois dlasticit

Lois dlasticit

Contrainte uniaxiale conduit une dformation selon


les autres axes modification du volume
x
y

x0-x

Coefficient de Poissone: traduit la


modification du volume associ une
dformation selon un axe. On peut montrer
que pour petites dformations,

V xyz(1 2 ) x

x0
Dformation : -x/x0 dans la direction x,
+y/y0 dans la direction y (z dans la direction z, pas
visible)

25

Lois dlasticit

Lois dlasticit

Modification du volume suite une contrainte


uniaxiale est caractris par le coefficient de
Poisson : le rapport entre dformation
transversale et longitudinale
=

= z
x
x

Ici x, y et z sont les dformations suite


une contrainte/dformation selon laxe x
Pour silicium : 0.150.36 mesur, 0.22 est
le plus cit

27

26

Lien entre les trois constantes


lastiques
G=

E
2(1 + )

28

Lois dlasticit

Lois dlasticit

Le cas gnral (3D), lorsque plusieurs


contraintes / dformations sont prsentes :
la loi de Hook gnralise, sous forme
tensorielle
= C ou = S
Ici C est le tenseur des coefficients de
raideur (stiffness), et S est le tenseur des
coefficients de souplesse (compliance)

En ralit, et nont que 6 lments


indpendants, car ils sont symtriques
Ainsi, le tenseur C ne possde que 21
lments indpendants dans le cas le plus
gnral (matriau anisotrope, )
En pratique des symtries prsents dans le
matriaux rduisent le nombre dlments
indpendants

29

31

Lois dlasticit
C est un tenseur du 4me rang !
Pourquoi ?
Cest une application linaire entre les 9
composants du tenseur des contraintes
et 9 composants du tenseur des
dformations: 9x9 coefficients !
La multiplication du C avec le tenseur
du 2me rang doit donner un tenseur
30
du 2me rang

Lois dlasticit
On reprsente parfois la loi de Hook
gnralis sous forme matricielle :

1 C11

2 C21
3 C31
=
23 C41
31 C51
12 C61

C12

C13

C14

C15

C22

C23 C24

C25

C32

C33

C34

C35

C42

C43 C44

C45

C52

C53 C54

C55

C62

C63 C64

C65

C16

C26
C36

C46
C56
C66

2
3

23
31
12
32

Expansion thermique des


matriaux

Loi dlasticit matricielle

Lexpansion thermique des matriaux est une


source de contraintes internes
Soit une poutre libre, de longueur x0
temprature T :

Par ex., pour le silicium cristallin il ny


en a que 3 coefficients indpendants
C11 C12 C12 0

C12 C11 C12 0


C
C12 C11 0
12
C=
0
0 C44
0
0
0
0
0

0
0
0
0

0
0
0
0
C44
0

0
0

0
0

C44

C11=166 GPa
C12=64 Gpa
C44=80 GPa

x0

Chauffe, elle affiche une dformation d, et on


introduit le coefficient dexpansion thermique :
33

Constantes des matriaux

T =

d x
dT

35

Expansion thermique

Rsum des constantes lastiques

Consquences sur le dpt de couches


minces : un dcollage du substrat
(pais)

34

36

Elments mcaniques

Poutres en flexion
Une poutre : un objet mcanique long,
section constante, gnralement
rectangulaire

Couche mince libre : contraintes (1)

Sous action des forces : les


poutres se dforment

h
37

Elments mcaniques
Couche mince libre : contraintes (1)

Chaque partie de la poutre se


dforme et subit des forces de la
part des parties voisines.
Ces phnomnes se
caractrisent par les contraintes,
les dformations et les moments
de forces.
Analyse dtaille : S. Senturia,
39
Microsystem Design

Poutres en flexion
Types de forces qui peuvent agir sur les
poutres :
Ponctuelle
Distribue (repartie sur toute ou une partie de la
surface)
Moment de force (effort de tournevis)

C. T. C. Nguyen
38

40

Poutre et lments de la
mcanique du milieu continu

Poutre et lments de la
mcanique du milieu continu

Etat des extrmits (conditions limites)

Fixe : pas de mouvement possible


Libre : tout mouvement possible
Guide (pinned on rollers ) : une libert de mouvement
Appuye (pinned)

Terminologie :
poutre encastre-encastre,
encastre-libre,
encastre-guide,
libre-libre,
etc.
41

43

Poutre et lments de la
mcanique du milieu continu

Poutre en flexion

Cependant, sous hypothses simplificatrices


et pour certains cas particuliers, on peut
analyser une poutre analytiquement
Ce qui nous intresse est le paramtre
macroscopique : la raideur, c.a.d., la
dformation d une poutre en raction une
force externe applique.

Etude de systmes mcaniques de milieu continu :


simulation 3D
Principe (calcul intgral-diffrentiel) : dcoupage en
du corps en lments de volume infinitsimaux
Application chaque lment de volume d une
hypothse des dformations linaires
Application de lois dynamiques de la mcaniques
Intgration
Calcul trs lent

42

44

Poutre en flexion

Poutre en flexion

Lorsquune poutre est en flexion, il y a une distribution des


dformation le long de la section de la poutre
Laxe neutre : non-dforme
Lanalyse simplifie : une poutre longue et fine

Une poutre est utilise pour fabriquer


un ressort : un lment mcanique qui
affiche une dformation lorsquune
force ponctuelle est applique
Le paramtre dintrt : la raideur
k=

F
x

45

47

Raideur d une poutre


section rectangulaire

Poutres en flexion
Poutre en tant quun ressort

Poutre
encastre/libre

Poutre encastre/
guide

y=

4L3
Fy
EhW 3

w3
k = Eh 3
4l
46

Poutre encastre/
encastre

y=

L3
Fy
EhW 3

w3
k = Eh 3
l

y=

L3
Fy
16EhW 3

w3
k = 16Eh 3
l

48
L est la longueur, h est la dimension normale la flexion

Poutre mcanique : nonlinarits

Poutre contrainte aux bouts

Une poutre relle : non-linaire


F=-kx pour une poutre idale
En ralit : F=-kx-k1x3- k2x5-
Lorsqu une poutre non-linaire est utilise dans un
rsonateur : rsonateur de Duffing, un effet nonlinaire (cf. plus tard)

Une contrainte axiale, la raideur de la


poutre change ! (le phnomne dune
corde tendue)
F

Une contrainte axiale compressive : une


poutre flambe
49

Poutre et lments de la
mcanique du milieu continu

51

Poutre contrainte aux bouts

Poutre encastre-encastre :

Une poutre flambe

Poutre encastre-libre
50

52

Poutre contrainte aux bouts

Ressort compos
Poutre guide:
L

x
y

z
Fx

Equivalent 4 poutres encastres-guides :


W
k x = 4Eh
L

53

Fx /4
55

Ressort compos

Ressort compos

Poutre guide II: ressorts replis

Un ressort est souvent fait avec


plusieurs poutres, c.a.d., avec plusieurs
ressorts lmentaires :

L2

Fx

Fx/4

W2

L1
W1

Fx/4

compensation des contraintes

1/keq=1/k1+1/k2

W 2 + 14 + 36 2
k x = 2Eh 2
2
2
L2 4 + 41 + 36

keq=k1+k2

54

W 8 + 8 +
k y = 2Eh 1
2
2
L1 4 + 10 + 5
2

w
= 1
w

L1
L2

56

Ressort compos : un
exemple

Masse

m Suspensions Permeate MEMS

Les rles de la masse :


-- lment constitutif pour un rsonateur de second
ordre,
-- Capteur sismique naturel

Gyroscope (Draper Labs)

Masse en tant que capteur sismique :


Soit un systme soumis une accleration
ou un champ gravitation.
La masse subit alors une force :

F = ma

Application : msure d accleration, gyroscopes,


rcupration d nergie vibratoire

57

Analog Devices]

Gyroscope [Draper Labs.]

Masse

Rsonateur micromcaniques

Exemple d une ralisation de la masse : une brique de Si


Masse volumique du Si : 2330 kgm , verre : 2500 kgm
Au : 1930 kgm , fer : 7874 kgm
ical Filter [K. Wang, Univ. of Michigan]
LecM 8

59

C. Nguyen

9/28/07

Rsonateurs paramtres localiss :

32

16

University of California
58

Il est possible de sparer la masse du ressort.


Basse frquence : acclromtres,
60
gyroscopes,

Rsonateur micromcaniques

Rsonateurs
Les modes de rsonance correspondent aux ondes stationnaires
Pour chaque mode on dfinit la frquence, la masse effective et
la rigidit effective, pour permettre une modlisation
paramtres localiss
EncastreEncastre-libre
Modle paramtres
encastre
localiss

Rsonateurs paramtres distribus :


on ne peut pas distinguer la masse du
ressort
Le rsonateur est fait avec une poutre

Frquence de
rsonance, Hz

61

1.03

w
l2

k sappelle rigidite ou constante de raideur du ressort. Le signe moins dans cette formule signifie que la force mecanique generee par
le ressort est oriente de sorte `a sopposer `a la
deformation.
2 de ressort est fixe,
Dans un cas o`
u un terminal
i.e., x2 = 0, et laxe x1 est choisi de sorte a`
ce que la position du terminal 1 soit dans lorigine pour le ressort non-deforme, on obtient une
relation bien connue :

E
w
0.161

f!ext

F = kx .
(18)
Figure 1
Ici w est la largeur (dimension
dans l axe
colinaire
63
Un amortisseur est egalement un element
mecanique
a` deux
terminaux
mecaniques qui sont reparties (par ex., une corde vibrante). Dans
au sens
de
la
flexion)
est le plus souvent considere dans un contexte
x1

ce cours, nous ne considerons que des syst`emes


unidimensionnel. Chaque terminal est donc ca- mecaniques a` param`etres localises. Une force exracterise par sa coordonnee (x1 , x2 ). Lamor- terne peut sexercer sur la masse.
tisseur gen`ere une force sur chaque terminal.
La dynamique dun resonateur mecanique se
Ces forces sont proportionnelles a` la vitesse de decrit par la seconde loi de Newton :
la deformation de lamortisseur, et de la meme
mani`ere, soppose a` la deformation dynamique :
k"x "x + f"ext = m"x
(22)

Rsonateur micromcaniques

Ici "x est la coordonnee de la masse mobile, f"ext


est la force externe qui sexerce, eventuellement,
sur la masse mobile.
Afin de mettre en evidence lequivalent
Comme pour le ressort, souvent un terminal
de lamortisseur est fixe. Dans ce cas, on peut electromecanique, il est interessant de re-ecrire
cette equation sous la forme :
noter 3 :
Fx1 = ( x2 x1 ),

(19)

Fx2 = ( x1 x2 ),

(20)

Rsonateurs
Fx1 = x 1

(21)

m
x + x + kx = fext

2.7

Equivalence
electrom
ecanique

(23)

Ici nous avons remplace les vecteurs par leurs


projections sur laxe x.
Si maintenant on applique la transformee de
Laplace `a deux parties de cette equation, nous
obtenons :

Comment dfinir les paramtres du modle


quivalent dun rsonateur ?

On parle alors de modes de vibration

Une equivalence electromecanique est basee


sur la similitude dequations mathematiques exprimant les lois dynamiques pour les syst`emes
electriques et mecaniques. Elle est resumee dans
la table 1.

m p2 X + pX + k X = Fext

(24)

R
esonateurs m
Ici les majuscules
representent les images de
On calcule ou2.8Unon
mesureecaniques
sa frquence
de rsonance
resonateur mecanique est un syst`eme com- Laplace des grandeurs correspondants.
Si maintenant on remarque que pX represente
pos
e
dune
masse,
dun
ressort
et
dun
amorf0
tisseur (fig. 1). Si ces trois elements sont dis- limage de Laplace de la vitesse V , nous pouvons
tincts, on parle dun resonateur `
a param`etres ecrire :
es, c.a.d., les trois
proprietes fondamen On calcule salocalis
raideur
k
k
(25)
mp V + V + V = F
tales (linertie, lelasticite et la dissipation) sont
p
isolees et localisees dans les elements correspon2
dants.
Dans
les
r
e
sonateurs
r
e
els,
ces
propri
e
t
e
s
Sachant
que
la
vitesse
est

e
quivalente
au
cou Avec la formule m=k/(2 f0) on trouve la masse
rant electrique, la force est equivalente `a la f.e.m.,
les coefficients devant les vitesses representent
effective
les impedances mecaniques associes aux elements
On estime exprimentalement le facteur de qualit Q
On trouve avec la formule =m(2 f0)/Q
ext

3. Pourquoi nous navons pas besoin de sp


ecifier,
comme pour le cas de ressort, le choix de la position de
lorigine de laxe x1 ?

62

64

Rsonateurs

Rsonateur

Facteur de qualit des rsonateurs


mcaniques, de type poutre encastreencastre. Epaisseur 15 m

65

Rsonateurs
Effets non-linaires dans les rsonateurs :
Lorsquun rsonateur subit une force non-linaire, c.a.d.,
dont limpdance dpend de lamplitude:
Ressort non-linaire : apparat lorsque la relation forcedformation est non-linaire :

67

Rsonateur
Rsonateur non-linaire : analyse par la
premire harmonique dveloppement
au tableau

F=-kx-k1x3- k2x5-
Ou bien, les stoppeurs : F=-kx pour petit dplacement, et les stoppeurs trs
rigides limitent le dplacement un certain niveau xmax

kx, x < x max

Fstopper =
k
(x x max ),sinon
stopper

Amortissement non-linaire : =f(v), o v est la vitesse, f() est


une fonction non-linaire

Consquence : dformation de la fonction de transfert


66
pour la premire harmonique

68

Rsonateur + transducteur

Rsonateur + transducteur

Un rsonateur MEMS est associ un transducteur lectrostatique


ou piezolectrique
Transducteur lectrostatique : comb-drive ou parallel-plate, ou les
deux

Un rsonateur MEMS est associ un transducteur lectrostatique


ou piezolectrique
Transducteur lectrostatique : comb-drive ou parallel-plate, ou les
deux

Acclromtre contre-raction
mcanique :
Ici, les Cs sont l pour mesurer le
dplacement,
Cc permettent de maintenir la masse
en position d quilibre
69

Rsonateur + transducteur

71

Bibliographie

Un rsonateur MEMS est associ un transducteur lectrostatique


ou piezolectrique
Transducteur lectrostatique : comb-drive ou parallel-plate, ou les
deux

70

Stephen D. Senturia, Microsystem Design, Springer, 2004


Carol Livermore, course materials for 6.777J / 2.372J
Design and Fabrication of Microelectromechanical
Devices, Spring 2007. MIT OpenCourseWare(http://
ocw.mit.edu/), Massachusetts Institute of Technology.
Lecture 7 "

72

Rsonateurs: rsum

Question TD

Un rsonateur paramtres localiss se dcompose


en ressorts et masse
Les constantes k et m se calculent sparement
Analyse facile, se prte bien une modlisation
VHDL-AMS
Gnralement basse frquence (<1MHz)

Connaissant toutes les paramtres, exprimez :

La rigidit totale des ressorts


La masse totale des ressorts
La valeur de la masse
A partir de quelle valeur de W peut on considrer ce rsonateur
comme tant paramtres distribu ?

Un rsonateur paramtre repartis :


Un modle paramtres localiss quivalent est construit
Paramtrisation du modle : laide dun logiciel de
modlisation par lments finis

L
73

75

Question TD

Question TD

La structure est fabrique en silicium, d paisseur h de 100 m.


La longueur des segments horizontales des poutres est l1, celle
des segments verticales est l2=L-a, la largeur des poutres est d.
Au total, il y a N segments verticaux de chaque cot (sur le dessin,
N=7)

Faites une application numrique pour :


L=300 m, W=300 m, d=2 m, N=15, l1=4 m, =10 m
En supposant que le facteur de qualit du rsonateur est de 100,
concevez un transducteur lectrostatique capable de mettre la masse
mobile en mouvement, avec amplitude de 1 m, la frquence de
rsonance. Vous devez choisir le type de transducteur
Quelle acclration externe mettra la masse en mouvement avec la
mme amplitude ?

L
74

76