Introducción A Los Microsistemas y Sus Aplicaciones - Pptxfuerzas

Introduccin a los
Microsistemas y sus
aplicaciones
Lab on chip, Lab on PCB, aplicaciones biomdicas, PCB-MEMS
ndice
Introduccin a los microsistemas

Procesos de fabricacin: silicio
Procesos de fabricacin: SU-8
Aplicacin SU-8: Inclinmetro
Procesos de fabricacin: Hot Embossing
Pegado por Resistencia Trmica
Proceso de fabricacin: PDMS
MICRORAD
2
Grupo de microsistemas. Dpto. Ingeniera Electrnica
Introduccin
Qu son los microsistemas?

Engloba el diseo, produccin y aplicacin
de artefactos pequeos (1m-100m)
Nomenclatura:
Europa:Microsystems (MST)
USA: Micro-electro-mechanical Systems
(MEMS)
Japn: Micromechanics
3
Propiedades
Miniaturizacin (implantables)
Bajo consumo (autnomos)
Poco material (desechable, materiales escasos)
Mltiples procesos de fabricacin
Leyes de escala favorables:

Fuerzas gravitatorias e inerciales atenuadas
Fuerzas mecnicas y electroestticas con el mismo factor de
escala
4
Motivacin
Hacer con tcnicas microelectrnicas otras cosas distintas a la
microelectrnica:
Micromecnica Micromotores
Microfluidica Microanalizadores
Microsensores Microreactores
Por qu?
Frente a tcnicas convencionales
Coste de Produccin: produccin en masa
Repetitividad: propiedades semejantes
Tamao: menor energa y mayor velocidad de respuesta

5
Procesos de fabricacin (Silicio)
Tipos de sustrato : Silicio, Cristal, PCB
Deposicin del material: fisicamente, quimicamente
Eliminacin del material: fotolitografa
Las fotoresinas pueden ser:

Positiva: permanence la parte que no recibe la luz
Negativa: se elimina la parte que no recibe la luz
6
Procesos de fabricacin (Sala Blanca)
Baja presencia de contaminantes.
Ambiente controlado
Clasificacin (U.S. Federal

Standard 209b)
Class 1: 1 particle per cubic feet

Class 10: 10 particles per cubic feet
Class 100: 100 particles per cubic feet
etc.
Para partculas mayores de 0.5 m
7
Procesos de fabricacin (SU-8)
SU8
Variantes del SU8
Creado por IBM Zurich en 1989
2005, 2020, 2025, 2075, 2150, etc.
Resina fotoresistiva negativa
Cambios en la viscosidad
Adecuada como material estructural
El numero indica la altura del material
Biocompatible
a 3000 rpm(ej. 2025: 25m)
Grupo de microsistemas. Dpto. Ingeniera Electrnica 8
Aplicaciones con SU-8
Micro pilares
Bobina Generador microcapsulas
Gua fibra ptica Membrana 9

Inclinmetro capacitivo microfludico
Disear un sensor que sea capaz de
transformar los grados de inclinacin a los
que se le somete en seales elctricas.
Utilizar para ello condensadores.
Emplear la microfludica.
Emplear los procesos de fabricacin de los b
microsistemas.
a
Estudiar los principios fsicos que rigen en el
instrumento.
Capacidad de cada sensor semicircular:

ELECTRODOS CANAL

Diferencia de capacidades:

10
Proceso de fabricacin
MASK COPPER TRACKS
PHOTOLITOGRAPHY LAYER SU-8 COATING SOFT BAKE
DEVELOPING UV PHOTOLITOGRAPHY ALINEATION

CLEAN PEB
DRY

Resultados experimentales
Pruebas de inclinacin
Varios prototipos
Fuerzas interfaciales
Coneccin a AD7745/46

12
Hot Embossing
Materiales y moldes
Molde de PCB y cobre
Dos tipos de molde
Se parte de un trozo de
polmero: PMMA,
Policarbonato, etc
Molde de aluminio
13
Hot Embossing
Resultados
PROCESO:
Se le aplica temperatura ms all de su
transicin vtrea.
Se aplica presin para estampar el diseo.
Se enfra hasta por debajo de la transicin
vtrea.
Calentamiento + Presin
Duracin del proceso: unos 40 min.
El molde es reutilizable
Se pueden fabricar muchos dispositivos en
paralelo.
14
ANTECEDENTES:
Pegado de Microfludica + PCB con
cinta adhesiva doble cara o
pegamento.
Procesos de pegado con pegamento
lquido.
PROCESO:
Simulacin del modelo con COMSOL
Fabricacin de del PCB con la
resistencia por Chemical Etching.
Fabricacin del circuito
microfludico en el polmero, por
hot embossing o micromecanizado.
15
Final del proceso

La resistencia calienta la pieza
polimrica con los canales.
Se supera temperatura de
transicin vtrea del polmero
haciendo que fluya por el PCB.
Cuando se recupera la
temperatura ambiente el
polmero se encuentra pegado al
PCB
Resultado: Electrnica + Microfludica

integradas en un chip. 16
Resistor Wall/valve
12
Procesos de fabricacin (PDMS)
Ventajas:
Transparente
Biocompatible
Pegado sencillo a cristal o
PDMS
Se puede depositar con el
spinner
Deformable
Facil de depositar en moldes
Permeable a los gases
Inconvenientes
Dificultad para depositar
metales
Dificil de pegar una vez se ha
curado
Permeable a los gases 18
Aplicacin con PDMS: actuador trmico
19
MICRORAD Produccin de marcadores
para anlisis PET

MICRORAD Fase de purificacin del 18F-
21
MICRORAD Fase de sntesis del
[18F]FDG
Chip PDMS
Molde SU-8
Molde para PDMS Actuadores lineales (vlvulas) 22

MICRORAD Sistema de distribucin de
lquidos - Reactor
Scada de control (LabView) Desgasificacin de la cmara
Control de temperatura (reactor) Sistema completo 23

ndice
Los inicios en la investigacin

Detector de glucosa
Cultivos Organotpicos
Lab on Chip en biologa y medicina
Sistema de Cultivo (Lab on PCB)
Solar-mems Technologies
Multidisciplinar
Conocimientos aplicados
24
Los inicios en la investigacin
PFC, TFG, TFM
Puerto de
salida
Zona de
mezclado
t=0 s t=0.1 s
Puertos de
entrada
Micromezclador magntico
t=0.2 s; t=10 s t=10.5 s 25

Detector de glucosa
Esquema
Muestra
Mezclador/ Deteccin
Impulsin
reactivo ptica
Reactivo
26
Detector de glucosa
Fabricacin
Cobre:
Fotolitografa
Revelado
Ataque qumico
SU-8 (semilla)
Spin Coater
Fotolitografa
Grabado
SU-8 (Microfludica)
Spin Coater
Cobre
Fotolitografa
SU-8 (semilla)
Grabado
SU8 (microfludica)
Soldadura de componentes
27
Detector de glucosa
Montaje y funcionamiento
Respuesta del sensor
Deteccin mediante
colorimetra
28
Detector de glucosa
Montaje y funcionamiento
Deteccin con impulsin mediante

vlvula presurizada
29
Cultivos organotpicos
Desarrollo de dispositivos MEMS para realizar cultivos

organotpicos in vitro:
Cultivo de retinas
Cultivo de neuronas
Cultivo de clulas
Cultivo de tejidos
Estimulacin y recepcin de seales
Control de sus condiciones de vida
30
Cmo se desarrollan actualmente estos cultivos?

Cultivos in vitro en incubadoras o salas acondicionadas
Necesidad de disponer de infraestructura
Imposibilidad de realizar el experimento en el mismo lugar
Limitada integracin con otras tecnologas
Experimentos menos automatizados
31
Qu pueden aportar los MEMS al cultivo de tejidos y

clulas?
Crear las condiciones necesarias para el cultivo en el mismo
dispositivo
Toma de imgenes del experimento durante su realizacin
Control de las condiciones del cultivo a travs de un ordenador
Alta integracin con otras tecnologas
Menor desperdicio de recursos
32
Lab on Chip en biologa y medicina
Permiten replicar el funcionamiento de rganos (Organ on

a Chip):
Lung on a Chip
Kidney on a Chip
Intestine on a Chip
Qu queremos conseguir nosotros?
Eye on a Chip
Brain on a Chip
33
Sistema de cultivo
Esquema
34
Sistema de cultivo
Imagen conceptual
35
Sistema de cultivo
36
Sistema de cultivo
Imagen sistema completo
Sistema de cultivo completo:

Dispositivo de
preacondicionamiento
Circuito electrnico:
Transistor Mosfet
Divisor de tensin
Circuitos de amplificacin
Conexin mini USB para fuente
externa y conexiones para
Labview
Mdulo de cultivo
37
Sistema de cultivo
Mdulo de cultivo 20 m
35 m
Wire bonding
Microelectrode Array
(MEA)
Estructura microfludica 38
Sistema de cultivo
Setup para experimento
Montaje completo para un cultivo de retinas de ratones RD10. El objetivo es estudiar la
retinitis pigmentosa. El experimento se ha hecho en colaboracin con CABIMER
Lab on PCB de cultivo
Bomba de
Jeringa
Monitorizacin
y control del
NI DAQ sistema
6009
Microscopio
invertido
39
Sistema de cultivo
Resultados experimentales
Test de supervivencia de un cultivo
organotpico de retinas de ratn RD10 en
el sistema de cultivo
viva
st
i n ae
ret
: La
D a7 Las clulas ganglionares absorben la
fluorescencia
Da
7: L
a re
tina
est
mue
rta
Da inicial del cultivo
Las clulas ganglionares no absorben

la fluorescencia 40
Empresas Spin-off
Solar-mems technologies
Surge de la consecucin del programa CAMPUS (2009)
Sensores de radiacin luminosa y sistemas de control
Sectores: Aeroespacial, Aeronatico, Renovables e

Iluminacin
Introduccin de los MEMS y sus ventajas en estos sectores
41
Proyecto Cepheus
3U CubeSat para 4 Kg de masa total

mxima y dimensiones 10 x 10 x 34 cm3
Proyecto europeo CEPHEUS
Objetivo: Empleo de la plataforma 3U

CubeSat para demostracin tecnlogica
de cargas tiles en rbita LEO
42
Proyecto Cepheus
Fine Sun Sensor
Pila de combustible reversible

Integracin de cargas tiles
Unidad de control (ICU) Star Tracker
Software ADCS
Transceptor radio
43
Proyecto Cepheus
Ensayos medioambientales
Verificacin funcional
44
Proyecto Cepheus
Estacin terrena:
Estacin de banda UHF/VHF instalada y
operativa en el L2 de los laboratorios de la ETSI
45
Multidisciplinar
Colaboraciones con:
CABIMER (Centro Andaluz de Biologa Molecular y Medicina Regenerativa)
IBIS (Instituto de Biomedicina de Sevilla)
CNM Barcelona (Centro Nacional de Microelectrnica)
CNA (Centro Nacional de Aceleradores)
ALTER technology y Abengoa
46
Conocimientos aplicados
(Micro)Electrnica Programacin
Fabricacin y
Microfludica
materiales

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Introduccin a los microsistemas

Qu son los microsistemas?

Leyes de escala favorables:

Grupo de microsistemas. Dpto. Ingeniera Electrnica

Las fotoresinas pueden ser:

Baja presencia de contaminantes.

Clasificacin (U.S. Federal

Class 1: 1 particle per cubic feet

Bobina Generador microcapsulas

Gua fibra ptica Membrana 9

DEVELOPING UV PHOTOLITOGRAPHY ALINEATION

Grupo de microsistemas. Dpto. Ingeniera Electrnica 11

Grupo de microsistemas. Dpto. Ingeniera Electrnica

Molde de PCB y cobre

Dos tipos de molde

Final del proceso

Resultado: Electrnica + Microfludica

Grupo de microsistemas. Dpto. Ingeniera Electrnica 20

Molde para PDMS Actuadores lineales (vlvulas) 22

Scada de control (LabView) Desgasificacin de la cmara

Control de temperatura (reactor) Sistema completo 23

Los inicios en la investigacin

t=0.2 s; t=10 s t=10.5 s 25

Respuesta del sensor

Deteccin con impulsin mediante

Desarrollo de dispositivos MEMS para realizar cultivos

Cmo se desarrollan actualmente estos cultivos?

Qu pueden aportar los MEMS al cultivo de tejidos y

Permiten replicar el funcionamiento de rganos (Organ on

Sistema de cultivo completo:

Da inicial del cultivo

Las clulas ganglionares no absorben

Surge de la consecucin del programa CAMPUS (2009)

Sensores de radiacin luminosa y sistemas de control

Sectores: Aeroespacial, Aeronatico, Renovables e

Introduccin de los MEMS y sus ventajas en estos sectores

3U CubeSat para 4 Kg de masa total

Proyecto europeo CEPHEUS

Objetivo: Empleo de la plataforma 3U

Fine Sun Sensor

Pila de combustible reversible

Unidad de control (ICU) Star Tracker

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