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  • Datos Grupal de Comsol

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    TEMA DEL GRUPO: MEMS

    1. Integrantes
    Quispe Ventura Cristian 12190027
    Huamani Castaeda Jhonn Williams 12190013
    Eustaquio Capillo Rosel 12190149

    2. Ttulo del artculo (comsol): TUNABLE MEMS CAPACITOR

    3. Tutorial del artculo: THERMAL-STRUCTURE INTERACTION IN A


    MEMS ENERGY HARVESTER

    4. Versin del comsol: COMSOL 5.3

    5. Bibliografa:
    Microtecnologa: diario de un proceso: Fabricacin de un
    microacelermetro
    Escrito por: Mara Cruz Acero Leal

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