Pompes transfert de gaz

Pompes cintiques
par Jean LECLERC
Ingnieur de lcole suprieure de chimie industrielle de Lyon
Docteur 3e cycle chimie minrale et structurale
Consultant

1. Dfinition normative ............................................................................... BM 4 272 - 2

2. Pompes cintiques fluide moteur .................................................... 2
2.1 Pompe vide jecteur.............................................................................. 2
2.2 Pompe diffusion........................................................................................ 2
2.2.1 Principe ................................................................................................ 2
2.2.2 Caractristiques .................................................................................. 3
2.2.3 Mise en uvre .................................................................................... 5
2.3 Pompe diffusion et jecteur (booster vapeur dhuile) ..................... 6
3. Pompes cintiques entranement mcanique .............................. 6
3.1 Dpresseurs turbine ................................................................................. 6
3.1.1 Dpresseurs flux axial ..................................................................... 7
3.1.2 Dpresseurs flux radial ................................................................... 7
3.2 Pompes molculaires .................................................................................. 8
3.3 Pompes turbomolculaires......................................................................... 9
3.3.1 Principe ................................................................................................ 9
3.3.2 Caractristiques .................................................................................. 10
3.4 Pompes turbomolculaires hybrides ......................................................... 12
3.5 Pompes turbomolculaires cryogniques................................................. 12
Pour en savoir plus ........................................................................................... Doc. BM 4273

ans larticle sur les pompes volumtriques paru dans les Techniques de
D lIngnieur, on a pu remarquer que ces pompes avaient pour principe uni-
quement la compression par variation de volume. Ce nest pas le seul principe
physique permettant dvacuer ou de transfrer des gaz ou des vapeurs dune
enceinte pour la mettre sous vide .
Le second principe utilis consiste changer le vecteur vitesse des molcules
pour les entraner dans un autre milieu. Ce changement peut tre obtenu de plu-
sieurs faons par voie mcanique, en imprimant aux molcules des composan-
tes de vitesse pour les faire circuler o bon nous semble. Ces moyens diffrent
les uns des autres du macroscopique (ailettes de turbine...) au microscopique
(chocs de molcules dun fluide sur les molcules pomper...). Cela nous don-
nera les diffrents types de pompes :
pompes fluide moteur (jecteur...) ;
pompes entranement mcanique (pompe turbomolculaire, turbine
axiale et canal latral).

Pour de plus amples renseignements sur la production du vide et les pompes volumtriques,
on se reportera aux articles [BM 4 270] et [BM 4 271] de ce trait [1] [4].

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Techniques de lIngnieur, trait Gnie mcanique BM 4272 1
POMPES TRANSFERT DE GAZ ___________________________________________________________________________________________________________
1. Dfinition normative
La norme NF X 10-501 donne la dfinition suivante dune pompe
cintique :
Pompe vide dans laquelle une quantit de mouvement est
communique au gaz ou aux molcules de faon telle que le gaz
est transfr de ladmission vers le refoulement. On distingue
les pompes cintiques fluide moteur et les pompes cintiques
entranement mcanique.
Ces deux groupes sont tudis par la suite.
2. Pompes cintiques fluide
moteur
Ce groupe comprend plusieurs types de pompes bass sur le
mme principe physique.
Nous distinguerons deux sous-groupes :
le premier, essentiellement destin au vide industriel (ou vide
grossier), couvrant le domaine des pressions depuis une atmos-
phre jusquaux environs de quelques pascals ;
le second allant de quelques pascals au vide pouss et lultra-
vide.
2.1 Pompe vide jecteur
Dfinition normative : Pompe cintique qui utilise la dpres-
sion cre par un effet Venturi et dans laquelle le gaz est
entran dans un jet grande vitesse vers le refoulement. Un
jecteur fonctionne correctement dans les conditions dun
rgime visqueux ou intermdiaire.
Pour une tude dtaille sur les jecteurs, le lecteur se reportera
larticle [B 4 250] de ce trait [5].
Suivant la nature du fluide, nous aurons trois types de pompes :
la trompe vide : jecteur qui utilise un liquide (habituelle-
ment de leau) comme fluide dentranement ;
ljecteur gaz pour le vide : jecteur qui utilise un gaz non
condensable comme fluide dentranement ;
ljecteur vapeur pour le vide : jecteur qui utilise une
vapeur (deau, de mercure ou dhuile) comme fluide dentra-
nement .
Remarque : lindustrie de la manutention a dvelopp des petits
jecteurs air comprim compacts plusieurs tages (figure 1).
Ces jecteurs peuvent aussi tre utiliss comme pompe primaire
pour amorcer des pompes molculaires et turbomolculaires hybri-
des (cf. 3.2) [1].
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BM 4272 2 Techniques de lIngnieur, trait Gnie mcanique
Air
comprim Clapet
Refoulement
Aspiration
Figure 1 jecteur (doc. PIAB)
2.2 Pompe diffusion
Dfinition normative : Pompe cintique dans laquelle une
nappe de vapeur faible pression anime dune grande vitesse
sert de fluide dentranement. Les molcules de gaz diffusent
dans cette nappe et sont entranes vers le refoulement. Le
nombre volumique de molcules de gaz est toujours faible dans
la nappe de vapeur. Une pompe diffusion fonctionne correcte-
ment en rgime molculaire .
Le terme pompe diffusion nest pas correct car le mot diffusion
na rien voir avec le mode de fonctionnement. Cest une habitude
des techniciens du vide : il faut parler de pompe jets de vapeur.
Ce sont essentiellement des pompes secondaires pour le vide
pouss et lultravide. Elles ne peuvent fonctionner que prvides
par une pompe primaire qui abaissera pralablement la pression
dans le domaine intermdiaire et molculaire o le libre parcours
moyen des molcules pomper sera suprieur quelques centim-
tres (une dizaine de pascals).
2.2.1 Principe
La figure 2 schmatise une telle pompe dun modle le plus cou-
rant.
Dans un rservoir dans lequel on fait un vide pralable, on chauffe
environ 200 C une huile de masse molaire leve (suprieure
250) dont la pression de vapeur temprature ambiante est trs fai-
ble (de lordre de 105 Pa et mme moins) et qui aura, une temp-
rature de 200 C, une pression de vapeur relativement leve (de
lordre de 100 Pa).
La vapeur dhuile monte dans les collecteurs et est envoye dans
le rservoir par des tuyres qui lui donnent une vitesse supersoni-
que. Le jet de vapeur atteint la paroi refroidie par circulation deau.
La vapeur sy condense, coule sur la paroi et, par gravit, revient
la chaudire. Lhuile en phase vapeur et liquide travaille donc en cir-
cuit ferm.
Pendant leur trajet dans le rservoir, les molcules du jet de
vapeur entrent en collision avec celles du gaz pomper.
__________________________________________________________________________________________________________ POMPES TRANSFERT DE GAZ

Aspiration Fluide Dbit-volume

(basse pression) de pompage (units arbitraires)
Molcules
de gaz
Rfrigrant H2

He
Vapeur
N2 de dcomposition
1er tage du fluide
Refoulement Ar
(haute pression)

2e tage Vapeur du fluide

Chicanes de pompage
3e tage

Retour 1013 1011 109 107 105 103 101

des vapeurs Pression (hPa)
condenses
4e tage Figure 3 Dbit-volume dune pompe diffusion
(jecteur) en fonction des gaz pomps
Bouilloire
Fluide
Chauffage de pompage qui caractrise lefficacit de la pompe. Les pompes rcentes ont un
lectrique facteur de Ho suprieur 0,5.
Exemple : une pompe de diamtre 100 mm a un dbit-volume pour
Figure 2 Pompe diffusion : mcanisme (doc. Varian)
le diazote 20 C de 2 500 dm3/s et une pompe de diamtre 600 mm
un dbit-volume de 10 000 dm3/s (on parle plutt couramment en litres
par seconde).
La quantit de mouvement de la molcule de vapeur dhuile
(masse leve, grande vitesse) est considrablement plus grande On nutilise plus gure aujourdhui de pompes diffusion de
que celle du gaz pomper ; la molcule du gaz pomper est donc grands diamtres (on a fabriqu pour certaines enceintes de simula-
renvoye principalement dans la direction du jet de vapeur. tion spatiales des pompes de 1 500 mm de diamtre). On prfre
actuellement, pour des dbits-volumes suprieurs 10 000 dm3/s,
La combinaison de laction de trois jets (parfois quatre) produit utiliser des pompes cryogniques (cf. article [B 2 382] du trait
leffet de pompage dsir. Gnie nergtique) [7].
Le gaz pomp est extrait de la partie infrieure du rservoir par Il est indispensable de prendre en compte dautres caractristi-
une canalisation munie de chicanes afin dviter lentranement ques spcifiques. Comme le montre la figure 3, le dbit-volume est
dhuile en communication avec laspiration de la pompe primaire. fonction de la nature des gaz pomps. Dans une pompe diffusion,
les gaz lgers (dihydrogne, hlium) seront plus facilement pomps
que les gaz lourds masse molaire leve (hydrocarbures) et la
2.2.2 Caractristiques pression limite sera plus mauvaise. Le dbit-volume (ou vitesse de
pompage) est inversement proportionnel la racine carre de la
masse molaire du gaz. Cela est une consquence directe du mode
Taux de compression et dbit-volume de fonctionnement.
Comme toute pompe transfert (ou dextraction), une pompe Rtrodiffusion dhuile
diffusion peut se caractriser par son taux de compression dbit
nul K0 et par son dbit-volume pour un taux de compression Bien que le jet de vapeur soit dirig par lorientation des tuyres
unit S0 . vers les parois du corps de pompe, une trs faible partie de celui-ci
est disperse dans toutes les directions et, notamment, vers
En gnral, dans la presque totalit des applications, le taux K0 , lenceinte.
fort lev, nest pas pris en considration.
Si faible soit-elle, cette rtrodiffusion de vapeur dhuile est gn-
Quant au dbit-volume S0 , il est constant dans une trs large ralement considre comme inadmissible.
gamme de pression et cest lui qui sert caractriser la pompe (cf. Toutes les pompes diffusion sont donc surmontes de disposi-
article [BM 4 270, figure 11]). Il est fonction du diamtre de la pompe tifs destins piger ces vapeurs ; ce sont en gnral des structures
et, thoriquement, proportionnel la surface dentre. chevrons (figure 4) refroidies leau, appeles baffles. Ces baffles
Le dbit-volume maximal thorique Smax est donn par (cf. article doivent tre optiquement tanches, cest--dire ne pouvoir tre tra-
[B 4 020] de ce trait) [6] : verss directement par les molcules qui, en rgime molculaire, se
propagent en ligne droite comme un rayon lumineux. Certaines
Smax = 11,6 A pompes ont cette structure directement intgre dans la pompe
elle-mme (figure 5).
avec A surface dentre (cm2), Pour abaisser encore, sil est ncessaire, la pression de vapeur
Smax exprim en dm3/s pour de lair 20 C. saturante de lhuile dans lenceinte, on interpose sur le circuit de
pompage un pige diazote liquide ou un baffle refroidi trs
On dfinit alors un facteur de Ho [12] : basse temprature par un circuit frigorifique (procd Polycold ).
Avec de telles prcautions, la rtrodiffusion dhuile peut tomber
H = S0 /Smax des niveaux trs bas, infrieurs aux valeurs mesurables (ne pas

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Exemple : une pompe de dbit-volume pour le diazote de

Assemblage des chevrons 150 dm3/s aura un dbit-volume de 60 dm3/s avec son baffle refroidi
optiquement tanche par leau et un dbit-volume de 30 dm3/s avec un pige refroidi au dia-
zote liquide. Avec un tel montage, la rtrodiffusion sera infrieure
109 mg/cm2 min.

Pression limite
Entre et sortie
d'eau Cest, en premire analyse, la pression partielle du fluide moteur
qui dterminera la pression limite quon pourra atteindre.
Entre et sortie
d'eau La pression limite est donc dpendante des systmes de pigeage
de lhuile (baffles et piges diazote liquide) que lon aura associs
la pompe elle-mme. Le dgazage des parties internes de la
pompe, des baffles et des piges cre un flux parasite qui peut, lui
aussi, se rpercuter sur la pression limite.

Lhuile, par laction conjugue de la temprature et des gaz pom-

ps, se dgrade en produisant des espces molculaires dont les
pressions partielles de vapeur seront plus ou moins leves. Ainsi,
des masses molaires comprises entre 300 et 600 peuvent exister
dans le rservoir de la pompe. La pression limite de la pompe sera
Figure 4 Baffle chevrons donne par lespce ayant la plus forte pression partielle. Aussi,
pour amoindrir ce phnomne, on a construit des pompes diffu-
sion fractionnante.

Conduite Dfinition normative. Pompe diffusion vapeur dhuile

en cuivre plusieurs tages, dans laquelle ltage la plus basse pression
Rservoir
refroidie est aliment par les lments les plus denses, basse pression
de diazote Disque
liquide de vapeur, du fluide moteur, tandis que les tages pression
refroidi
plus leve sont aliments par les lments les moins denses,
au diazote
de pression de vapeur plus leve .
liquide

Le principe consiste faire revenir lhuile dans le bouilleur par

une srie de canaux concentriques. Chaque jet est aliment par une
rgion diffrente du bouilleur. Les jets les plus prs de lextrieur
reoivent les condensats de vapeur les plus lgers et ltage central
reoit le fluide dont la tension de vapeur est la plus basse (figure 6).

Les structures avec peu de brides et des brides joints mtalli-

ques permettent datteindre de meilleures performances.

Le tableau 1 donne une ide des moyens employer pour attein-

dre le but recherch.

Pression de flux maximal

Au-dessus dune certaine pression p1 dite de flux maximal, le

dbit-volume de la pompe nest plus constant : il dcrot rapidement
et la pompe aspire alors flux constant.

La pression de flux maximal se situe aux environs de 101 Pa.

Cette pression est plus leve pour les pompes de petit diamtre
(2 3 101 Pa pour une pompe de diamtre 100 mm) que pour les
grosses pompes (5 102 Pa pour une pompe de 500 mm).

Figure 5 Pompe diffusion avec baffles intgrs
et refroidissement au diazote liquide
oublier que la contamination peut provenir du pompage primaire
(cf. article [BM 4 040]) [3].
Ces baffles et ces piges, par leur conductance, rduisent le dbit-
volume dune faon trs importante. Aussi les constructeurs don-
nent-ils dans leurs catalogues la conductance des baffles ainsi que
les valeurs de rtrodiffusion obtenues, qui dpendent dailleurs des
huiles utilises.
Pression damorage
Ce rgime flux constant cesse pour une pression dite damor-
age p2 au-dessous de laquelle la vitesse de pompage est nulle. Les
pressions damorage se situent selon les constructeurs de pompes
entre 30 et 50 Pa. Il est intressant de disposer dune pompe diffu-
sion pression damorage leve lorsque la pompe est destine
pomper des flux levs car cest elle qui conditionne le dbit-
volume de la pompe primaire associer la pompe diffusion. Cer-
tains constructeurs ajoutent dailleurs un petit jecteur entre la tubu-
lure de refoulement et le corps de pompe. Ce dispositif permet
dobtenir une pression damorage plus leve (de lordre de
100 Pa).

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Tableau 1 Mise en uvre de structures en fonction de la pression et du dgazage dsirs

Conditions oprationnelles Mise en uvre
Pression
Pression limite
Dgazage Pige azote tuvage
souhaite Huile Joints Baffles (Pa)
de lenceinte liquide (C)
(Pa)
Dgazage
moyen et faible Minrale
102 ou Perbunan eau Non Non 2 105
Dgazage faible Silicone simple
Rtrodiffusion DC 704
faible

103 Minrale Oui

Dgazage fort ou Perbunan eau double avec ou sans Non 2 105
Silicone alimentation
104 DC 704 automatique

105 Silicone Oui

Dgazage faible
DC 705 Viton eau double avec ou sans 120 3 107
ou alimentation
106 Santovac 5 automatique
Silicone Oui
107 Dgazage faible
DC 705 Mtal eau double avec ou sans 500 3 109
ou alimentation
Santovac 5 automatique

jecteurs Tableau 2 Pression damorage obtenue

avec diffrentes huiles
Pression critique Pression limite avec
Fluide damorage pige cryognique
Tubes (hPa) (hPa)
concentriques
Santovac 5 0,6 5 109
Silicone DC 702 1,2 7 106
Condenseur
Apiezon C 0,7 4 108
Silicone DC 705 0,6 7 109
Silicone DC 704 EU 0,8 6 108

jecteur
2.2.3 Mise en uvre
Rchauffeur
Une pompe diffusion est donc aujourdhui toujours quipe
dun baffle, sauf dans les structures dites intgres, ainsi que dun
pige cryognique. Cela est insuffisant pour la mise en uvre et le
cran protecteur systme exige un jeu de trois robinets (ou vannes) (figure 7) :
vanne secondaire A ;
vanne srie B ;
vanne de by-pass C.
La mise en uvre de cet ensemble est conduit de la manire
suivante : vanne A et C fermes, B ouverte, on fait, avec la pompe
primaire, le vide lintrieur de la pompe diffusion pendant que
Circulation du fluide celle-ci est mise en chauffe. Lorsque lhuile est chaude, aprs une
dans la bouilloire
priode de 15 30 min selon la dimension de la pompe, on ferme la
Figure 6 Pompe diffusion fractionnante
vanne B. On peut alors prvider lenceinte en pompant avec la
pompe primaire, vanne C ouverte. Lorsque la pression dans
lenceinte est infrieure la pression damorage de la pompe dif-
fusion (0,3 0,8 hPa), on ferme C et on ouvre A et B. La pompe
Cette pression damorage dpend de la nature de lhuile comme secondaire est alors en service.
le montre le tableau 2.
Larrt de la pompe ncessite lui aussi une certaine squence. On
Quand la pompe se dsamorce, une rtrodiffusion trs impor- ferme la vanne A et on peut faire une entre dair ou de gaz neutre
tante a lieu et contamine gravement lenceinte vacuer. sec dans lenceinte laide dun robinet.

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Manomtre Entre
secondaire
Vanne Jets annulaires
d'entre d'air (type pompe
diffusion)

Enceinte Manomtre
primaire
C Condenseur
tage
d'jecteur

Manomtre
primaire

B
Pompe
diffusion Retour d'huile

Pompe Bouilloire
primaire

Figure 7 Mise en uvre dune pompe diffusion

Chaufferette

Domaine dutilisation : pompage secondaire jusquau vide Figure 8 Pompe diffusion et jecteur (booster pump)
extrme. (doc. BOC Edwards)

Pression : 1 Pa 1010 Pa.

Dbit-volume : pour le diazote, de 12,5 dm3/s 5 104 dm3/s ;

3. Pompes cintiques
: pour le dihydrogne, de 15 dm3/s 8 104 dm3/s. entranement
mcanique
2.3 Pompe diffusion et jecteur
(booster vapeur dhuile) Ce groupe comporte divers types de pompes aux performances et
aux domaines dutilisation extrmement diffrents, puisque le vide
produit va de la dpression dune dizaine de milliers de pascals au
vide extrme (1010 Pa).
Dfinition normative : Pompe cintique plusieurs tages
dans laquelle un ou plusieurs tages ayant les caractristiques
dune pompe diffusion sont suivis par un ou plusieurs tages
ayant les caractristiques dun jecteur . 3.1 Dpresseurs turbine

La figure 8 montre un tel arrangement.
Cette pompe est constitue par une partie identique celle dune
pompe diffusion deux tages de jets annulaires suivis dun jec-
teur vapeur dhuile contenus dans une structure unique refroidie
par des serpentins deau. Une huile beaucoup moins volatile que
pour une pompe diffusion, dont la pression de vapeur 20 C est
de 104 hPa, est utilise. La pression dans le rservoir est comprise
entre 25 et 50 hPa. Cela permet dobtenir un grand dbit-volume et
un trs fort flux gazeux entre 0,5 et 104 hPa.
Domaine dutilisation : pompage secondaire.
Pression : 104 hPa.
Dbit-volume : pour le diazote, de 4 000 dm3/s 12 500 dm3/s ;
: pour le dihydrogne, de 6 000 dm3/s 15 000 dm3/s.
Dfinition normative : Pompe cintique tournante dans
laquelle le transfert de grandes quantits de gaz est obtenu
laide dun dispositif tournant grande vitesse. Ltanchit
dynamique est obtenue sans frottement. La circulation de gaz se
fait, soit selon laxe de la pompe (dpresseur flux axial), soit
perpendiculairement laxe de la pompe (dpresseur flux
radial) .
Ce sont des pompes utilises par le vide industriel qui ne nces-
site pas des pressions limites faibles. Certains les classent plutt
dans les dpresseurs mais, ds que lon est au-dessous de la pres-
sion atmosphrique, on a affaire une pompe vide . Les carac-
tristiques sont donnes de manire diffrente : on parle en
dpression de quelques dizaines quelques centaines de millibars
(50 300 hPa). Lexemple le plus rpandu est bien sr celui de laspi-
rateur mnager (vacuum cleaner aux tats-Unis) qui est quelquefois

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Aspiration
Enceinte de travail C
section circulaire

Roue Canal latral

Sortie Roue
Diffuseur

Palier Interruption
Arbre du canal
latral

Prise pour Moteur

pompe vide C
Refroidissement
Palier CC Aubes
Pompe
huile

Figure 9 Pompe flux axial (turbine centrifuge) (doc. Leybold)

utilis par les oprateurs en dtection de fuite pour vider une

enceinte souple. Enceinte
B A
Ces pompes sont aussi utilises pour faire circuler un gaz de de travail
refroidissement dans les lasers, pour la manutention...

3.1.1 Dpresseurs flux axial

Appels aussi turbines centrifuges, ils sont bass sur un systme

dynamique dans lequel le gaz est comprim et entran par la rota- B A
tion de la roue (figure 9).
Sortie Interruption Entre
Le gaz se dplace radialement vers lextrieur de la roue. Il en du canal latral
rsulte un effet daspiration au centre qui provoque un flux dair
dans lentre. Le flux est dvi par les aubes fixes au moyeu et ren-
voy vers la priphrie de la roue.
En schappant de la roue, le gaz pntre dans le carter centrifuge Entre AA Sortie BB
o sa vitesse se rduit. De ce fait, une partie de lnergie cintique
est transforme en pression. Le flux dair en surpression sort du car-
ter spiral par la tubulure de sortie. a principe du canal latral (doc. Rietschle)
Domaine dutilisation : Dpression par rapport la pression
ambiante jusqu 100 hPa.
Dbit-volume pression atmosphrique : de 600 m3/h
2 500 m3/h.

3.1.2 Dpresseurs flux radial

Appels aussi pompes canal latral, cest un systme de pompe

dans lequel le gaz est comprim par la turbine dans une enceinte de
travail annulaire dont la section est circulaire (figure 10 a ).
Lenceinte est constitue dun ct par la roue avec ses aubes et, de
lautre, par un lment fixe appel canal latral. Celui-ci possde
une interruption entre lentre et la sortie. Le gaz entrant la partie
infrieure est entran et acclr par la force centrifuge. Quand il
est expuls lextrieur des aubes, il entre dans le canal latral qui
le dvie nouveau vers lintrieur. Ainsi le processus dacclration
des molcules de gaz se rpte. Il se renouvelle dautant plus sou-
vent que le flux dair est trangl laspiration ou lchappement.
On reprsente la trajectoire des molcules de gaz lintrieur de
lenceinte annulaire comme une spirale (figure 10 b ) dont le pas b trajectoire des molcules dans un dpresseur
canal latral (doc. Siemens)
diminue avec ltranglement. Le dbit est plus faible que celui dune
turbine flux axial de mme dimension en raison de la section du
canal annulaire. Figure 10 Dpresseur canal latral

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Sortie Entre
a concept selon Gaede
Entre
Entre
Sortie
Sortie
b concept selon Holweck
c concept selon Siegbahn
Domaine dutilisation : dpression.
Dpression : de 105 Pa 2 104 Pa.
Dbit-volume : de 80 dm3/s 160 dm3/s (250 m3/h 600 m3/h).
3.2 Pompes molculaires
Dfinition normative : Pompe cintique dans laquelle une
quantit de mouvement est communique aux molcules de
gaz par leur contact avec la surface dun rotor tournant grande
vitesse, ceci ayant pour effet de diriger les molcules de gaz vers
le refoulement .
Le concept de lentranement des molcules entre un stator et un
rotor tournant grande vitesse date de 1913 (Gaede, figure 11 a ), de
1922 (Holweck, figure 11 b ) et de 1943 (Siegbahn, figure 11 c ).
Les molcules frappant une paroi ne sont pas immdiatement
renvoyes mais restent adsorbes un certain temps, appel temps
de sjour , avant de retourner dans la phase gazeuse et dtre rad-
sorbes nouveau (cf. thorie cintique des gaz). la dsorption,
elles acquirent une vitesse molculaire propre correspondant la
temprature de la paroi suivant leurs coefficients daccommodation
(cf. article [B 4 110], de ce trait) [8] et dans une direction donne par
la loi de Lambert. Si la paroi elle-mme est anime dune vitesse
propre, les molcules acquirent alors une composante de vitesse
qui sajoute leur propre vitesse. Ainsi une paroi mobile entrane les
molcules et cre un flux gazeux capable deffectuer une action de
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BM 4272 8 Techniques de lIngnieur, trait Gnie mcanique
Sortie
Figure 11 Principe de lentranement
des molcules
pompage. Ces concepts ayant entran des ralisations fort utiles
(fabrication de tubes lectroniques pour la radiodiffusion pendant la
Premire Guerre mondiale) furent repris dans les annes 1970 et,
grce aux progrs de llectrotechnique dune part et de la mcani-
que (paliers) dautre part, les constructeurs ont pu raliser de nou-
velles pompes vide vocation industrielle dites pompes
molculaires (drag pumps en anglais). Lintrt primordial de ces
pompes est de pouvoir refouler haute pression (20 30 hPa), donc
dtre amorces avec des pompes primaires sches membrane
ou piston (voire avec des jecteurs air comprim) et davoir un
dbit-volume important dans le domaine du rgime dcoulement
intermdiaire. Elles constituent dsormais, chez de nombreux
constructeurs, ltage final des pompes turbomolculaires dites
hybrides (cf. 3.3 et 3.4).
Les vitesses de rotation sont denviron 40 000 tr/min et lespace
entre les parois tournantes est infrieur un millimtre.
La figure 12 reprsente une vue en coupe dune pompe actuelle.
La figure 13 donne les caractristiques dbit-volume en fonction
de la pression pour diffrents gaz.
Domaine dutilisation : pompage en vide intermdiaire et en vide
pouss.
Pression : de 20 hPa 106 hPa.
Dbit-volume : pour le diazote, de 7,5 dm3/s 27 dm3/s ;
: pour le dihydrogne, de 3 dm3/s 15 dm3/s.
__________________________________________________________________________________________________________ POMPES TRANSFERT DE GAZ

Aspiration Aspiration

Arbre
tape
d'attaque
Rotor
Roulement
Sillons billes
du stator

Joint Moteur
dynamique
Stator
Holweck
Refoulement
Roulement
billes

Prise moteur

Refoulement

Figure 12 Pompe molculaire (principe Holweck) (doc. Alcatel-

Vacuum Technology)

Figure 14 Pompe turbomolculaire (doc. Alcatel-Vacuum Technology)

Dbit-volume S (L /s)
10

applications, elles ont supplant celles-ci pour leur facilit dexploi-

tation sauf dans les utilisations industrielles ncessitant de trs
8 N2 grands dbits-volumes.
Les efforts des constructeurs se sont ports sur celles-ci afin
6 dobtenir une grande fiabilit. La ncessit de vide propre dans le
domaine du vide pouss et extrme pour de nombreuses applica-
tions les ont rendues indispensables.
He
4
H2
3.3.1 Principe
2
Plusieurs thories ont t labores et nous retiendrons celle ta-
blie en 1960 par Krger et Shapiro du MIT [13]. On peut sen faire
0 une ide sommaire par le raisonnement suivant.
2 5 2 5 2 5 2 5 2 5 2 5
106 105 104 103 102 101 1 Considrons, vue de dessus, une roue aubes (figure 15). Elle
Pression (hPa) spare lespace en deux rgions I et II.
Figure 13 Caractristiques dbit-volume en fonction de la pression Dans un premier temps (figure 15 a ) considrons laubage arrt
pour les pompes molculaires suivant la nature du gaz et deux molcules M et M qui tombent sur les aubage perpendi-
(doc. Alcatel-Vacuum Technology) culaires la roue. M vient de lespace I, M vient de lespace II.
M peut tre renvoye :
soit vers I dans langle ;
3.3 Pompes turbomolculaires soit vers II dans langle ;
soit sur lailette dans langle ;
M peut tre renvoye :
Dfinition normative : Pompe molculaire mcanique dont soit vers II dans langle ;
le rotor comporte des disques, dans lesquels sont mnages soit vers I dans langle ;
des fentes ou des ailettes, qui tournent entre des disques analo- soit sur lailette dans langle ;
gues ports par le stator. La vitesse linaire dun point de la pri- et lon a = , = , = .
phrie du rotor est de lordre de grandeur de la vitesse des
molcules du gaz. Une pompe turbomolculaire fonctionne cor- Au total, il y a autant de molcules transmises de I vers II que de
rectement en rgime molculaire . II vers I.
Considrons maintenant (figure 15 b) les aubages anims dune
grande vitesse. Comme, sur le dessin, on ne peut pas reprsenter
Ces pompes (figure 14) sont utilises dans les mmes domaines laubage autrement que fixe, cest la reprsentation des molcules
de pression que les pompes diffusion. Dans de trs nombreuses M et M que nous allons incliner en leur transposant la composante

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Techniques de lIngnieur, trait Gnie mcanique BM 4272 9
POMPES TRANSFERT DE GAZ ___________________________________________________________________________________________________________

I I Taux de compression K
M V M
1011
V

1010 Ar

N2
' 109
'
' CH4
' 108

'
' 107
V
V
106
II M' a II v M' b

105
I, II rgions de l'espace He

104
M, M' molcules v vitesse des aubages V vitesse des molcules
H2
a principe
103

102

10

1
105 104 103 102 101 1 10
Pression p (hPa)

Figure 16 Courbe caractristique dune pompe turbomolculaire

(cours UISTAV)

Les pompes disponibles sur le march ont toutes un taux de com-

pression dbit-volume nul K0 lev (1012 pour le diazote est une
valeur courante).
Le dbit-volume des pompes est pratiquement constant sur un
trs large domaine de pression. Il est fonction du diamtre de la
pompe et sensiblement proportionnel la surface dentre (rgime
molculaire).

b aubage Exemple : 140 dm3/s pour le diazote pour une pompe de 100 mm
de diamtre ;
Figure 15 Principe du pompage dans les pompes turbomolculaires : 1 000 dm3/s pour le diazote pour une pompe de 300 mm
de diamtre.

Les caractristiques de base (figure 16), pression p et taux de

de vitesse v, de sorte que les molcules ne semblent plus tomber compression K , sont fortement dpendantes de la nature des gaz
perpendiculairement au plan de la roue, mais dans une direction pomps (cf. [figure 10 de larticle BM 4 270]).
incline.
On ne saurait sen tonner. Lefficacit de la pompe tant lie au
Dans ces conditions, si nous gardons , et et , et la mouvement mcanique de la structure, on conoit que les vitesses
mme signification que ci-dessus, on voit que : entre la structure et les molcules puissent avoir une influence.
> ; > et > En fait, une pompe turbomolculaire nest efficace que si la
vitesse mcanique des aubages est du mme ordre de grandeur que
On conoit donc quil puisse y avoir un transfert de molcules de celles des molcules.
la rgion I vers la rgion II.
Exemple : la plupart des pompes ont des vitesses daubages voi-
sines de 250 m/s, soit environ la moiti de la vitesse des molcules de
3.3.2 Caractristiques diazote temprature ambiante. Ce besoin entrane des vitesses de
rotation leves entre 15 000 et 60 000 tr/min.

La caractristique dbit-volume/pression dune pompe turbomo- On sait (cf. article [B 4 020] de ce trait [6]) que la vitesse moyenne
lculaire suit la loi gnrale valable pour les pompes transfert de des molcules est inversement proportionnelle leur masse
gaz. molaire.

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__________________________________________________________________________________________________________ POMPES TRANSFERT DE GAZ

La thorie, trs bien vrifie par lexprience, prvoit que le loga-

rithme du taux de compression K0 dune pompe turbomolculaire Vide pouss
est proportionnel la racine carre de la masse molaire du gaz
pomp.
Il rsulte immdiatement de cette loi deux consquences impor-
R
tantes pour lutilisation pratique de ces pompes :
le taux de compression pour les gaz lgers, notamment le
dihydrogne que lon rencontre principalement dans les enceintes
du type ultravide, est relativement faible ; ainsi, une pompe qui a R tages
un taux de compression lev pour le diazote (valeur courante 1012) basse
na, pour le dihydrogne, quun taux de compression de 103,2 ; pression
le taux de compression pour les gaz lourds, notamment les R
vapeurs dhuile, est trs vite considrable ; ainsi la pompe mention-
ne ci-dessus aurait pour une huile de masse molaire 250 un taux de
compression de 1036.
R
La pompe turbomolculaire offre donc un barrage trs efficace
la rtrodiffusion des vapeurs dhuile vers lenceinte [3]. Cela consti-
tue un des avantages majeurs de ce type de pompe que lon qualifie R
alors de pompe sche. tages
moyenne
Il faut noter toutefois que ce barrage nest efficace quautant que R pression
la pompe est en rotation. Des prcautions doivent tre prises,
notamment au moment des rentres de gaz dans lenceinte, pour
viter de venir polluer la structure de la pompe par un entranement R
intempestif de vapeur dhuile.
En ce qui concerne le dbit-volume S0 pour un taux de compres- R
sion unit, la thorie laisse prvoir que celui-ci est indpendant de la
nature du gaz pomp pour autant que tous les tages de la pompe R tages
aient la mme structure daubages. Ce nest jamais le cas en haute
pratique ; les pompes sont en effet constitues avec des aubages de R pression
structure variable (figure 17).
R
Les tages vers laspiration (nous sommes en rgime mol-
culaire) sont conus pour avoir de forts dbits-volumes avec de fai-
bles taux de compression, alors que cest linverse pour les tages
Vide primaire
voisins du refoulement. Il sensuit que les pompes disponibles sur le
R rotor
march ont des dbits-volumes diffrents selon la nature des gaz
pomps et cela en fonction de leur construction. Lutilisateur ne peut
rien prvoir si le constructeur ne lui fournit pas les caractristiques Figure 17 Empilement des aubages dans une pompe
dbit-volume/pression pour les gaz considrs. Nanmoins, les dif- turbomolculaire (doc. Varian)
frences sont, en gnral, faibles et le plus souvent avantagent les
gaz lgers.

Construction et aspects mcaniques

Deux configurations de pompes turbomolculaires existent : la Entre
premire double flux axial horizontal et la seconde, la plus rpan-
due actuellement, simple flux axial.
Les roulements billes lubrifies par de lhuile dans un petit
rservoir empchent dinstaller les pompes dans nimporte quelle
position. Aussi on a cherch remplacer ces roulements par des Rotor
roulements graisss puis par des billes en cramiques non grais- Stator
ses. La qualit du vide rclam par de nombreux utilisateurs (pas Roulement
de vapeurs ni de particules indsirables) a pouss les constructeurs Capteur
de scurit radial
remplacer ces roulements par des paliers magntiques et lon a
Bobine
ainsi obtenu des pompes parfaitement sches sans aucune trace radiale
dhydrocarbure ni de matriau lubrifiant et sans aucune poussire
mme submicronique.
Moteur
Selon les modles, les paliers magntiques sont contrls et pilo- Aimant
ts suivant trois ou cinq axes (figure 18). lectro-
magntique
Certains modles de pompes comportent des dispositifs de purge Sortie (bobine axiale)
dont le but est de diminuer la corrosion et/ou la formation de dpt des gaz
Aimant
et aussi, parfois, de refroidir paliers et moteur. permanent
Capteur
Domaine dapplication : pompe secondaire sche pour vide axial
pouss et extrme.
Pression : de 103 hPa 1010 hPa.
Figure 18 Pompe turbomolculaire palier magntique (doc. SEIKO
Dbit-volume (pour diazote) : de 35 dm3/s 6 000 dm3/s. SEIKI)

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Figure 20 Pompe turbomolculaire hybride (dispositif Holweck)

Sortie (doc. Balzers)

Figure 19 clat de la partie basse dune pompe turbomolculaire

hybride (principe de Gaede/Siegbahn) (doc. Varian)

3.4 Pompes turbomolculaires hybrides

La ncessit de pomper des flux levs dans le domaine de

rgime intermdiaire (entre 102 hPa et une dizaine de pascals) a
pouss les constructeurs associer les pompes molculaires avec
les pompes turbomolculaires. On a conu alors des pompes dites
hybrides. Celles-ci sont de deux types suivant le systme retenu
pour le pompage molculaire :
dispositif avec disques de Gaede ou Siegbahn (figure 19) ;
dispositif avec vis Holweck (figure 20).
Figure 21 Pompe turbomolculaire avec premier tage
Ces pompes tendent remplacer les pompes turbomolculaires cryognique et compresseur cryognique (doc. EBARA)
dans presque toutes les applications et comportent aussi, pour la
plupart, des paliers magntiques, des dispositifs de purges, des col-
liers de chauffage pour viter les dpts par condensation.
cile. Leau (M = 18) nchappe pas cette rgle. Or il est bien connu
Domaine dutilisation : pompe secondaire sche pour vide que la pression partielle de la vapeur deau est prpondrante dans
pouss et extrme. une enceinte en rgime intermdiaire. Il est aussi connu que les pi-
ges cryogniques sont trs efficaces pour le pompage de la vapeur
Pression de : 20 hPa 1010 Pa (suivant la pompe primaire). deau (cf. article [B 2 382] dans le trait Gnie nergtique) [7]. Aussi
Dbit-volume (pour le diazote) : 60 dm3/s 2 000 dm3/s. lide dassocier les deux tait vidente. La solution dutiliser un
cryognrateur a t retenue et a donn naissance de nouvelles
gnrations de pompes (figure 21).
3.5 Pompes turbomolculaires Domaine dutilisation : pompe secondaire sche pour vide
cryogniques pouss et extrme.
Pression : 100 Pa 107 Pa.
Ces pompes sont le rsultat de lassemblage dune pompe turbo-
Dbit-volume : pour le diazote, 300 800 dm3/s ;
molculaire classique avec un pige cryognique lentre. On a vu
que le pompage des molcules de masse molaire faible tait diffi- : pour la vapeur deau, 1 700 3 200 dm3/s.

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