Electrones y resolucin

A pesar de que el acrnimo correspondiente sera MEB, nosotros en adelante usaremos

el ingls SEM (Scanning Electron Microscope) por resultar el ms ampliamente utilizado.

En un sistema ptico la resolucin o el poder de resolucin PR expresa la capacidad de

discriminar dos puntos muy cercanos entre s. El PR, por lo tanto, es inversamente
proporcional al lmite de resolucin (d), que es la menor distancia que debe existir entre
dos puntos para que puedan ser distinguidos separadamente.

As, la resolucin en un sistema ptico perfecto se puede describir matemticamente a

travs de la ecuacin de Abbe:

0.612
=

donde:

d = lmite de resolucin

= longitud de onda de la radiacin que forma la imagen

n = ndice de refraccin medio

= ngulo de abertura en radianes

n sen a menudo es expresado como NA (apertura numrica) La abertura numrica es

funcin de (la mitad del ngulo del cono de luz que emerge del objeto, y que es captado
por la lente objetivo). La AN, as, se define matemticamente como la resultante de la
multiplicacin del seno de por el ndice de refraccin del medio a travs del cual pasa la
luz (n)

Este sera, como hemos dicho, el lmite de la resolucin de un sistema ptico en el caso de
que todas las aberraciones y distorsiones se eliminaran del sistema. Pero, inevitablemente,
las aberraciones y distorsiones estn siempre presentes, y determinan tambin el lmite
prctico de la resolucin.

La resolucin de un microscopio ptico se encuentra, por tanto, definitivamente limitada

por la longitud de onda de la luz, del haz de fotones utilizado para iluminar y observar la
muestra. Mientras que el microscopio electrnico, utilizando electrones altamente
acelerados, puede operar con un haz cuya longitud de onda resultante sea varios rdenes
de magnitud menor. Con respecto a otras partculas, la ventaja que tienen los electrones
es que pueden ser fcilmente acelerados mediante una diferencia de potencial. Y, as
mismo, para poder emular un sistema ptico anlogo al de un microscopio convencional,
resulta tambin posible focalizar el haz de electrones y modificar su trayectoria a travs de
campos electromagnticos.

Broglie, mediante la combinacin de algunos de los principios de la fsica clsica con la

teora cuntica, propuso que las partculas en movimiento tienen propiedades ondulatorias
y que su longitud de onda se puede calcular, en funcin de su masa y su nivel de energa.
La forma general de la ecuacin de Broglie es la siguiente:

donde:

= longitud de onda.

h = constante de Planck (6.6x10-7)

m = masa de la partcula (9.1 x 10-8)

v = velocidad de la partcula

Cuando un electrn pasa a travs de una diferencia de potencial (voltaje de aceleracin de

campo) V, su energa cintica es igual a la energa del campo, es decir eV (energa en
electrn-voltios) = V (tensin de aceleracin). Como se recordar, e = mc. Al replantear
esto para velocidades por debajo de la velocidad de la luz y partculas con masa real, la
energa de un electrn puede enunciarse de la siguiente manera:

donde:
eV = energa en electrn-voltios (e = 4.8 X 10-10)

m = masa de la partcula

v = velocidad de la partcula

Mediante el uso de algunas suposiciones acerca de la velocidad de la partcula y su masa,

es posible expresar ya sea la longitud de onda () o la velocidad (v) en trminos del voltaje
de aceleracin (V). Mediante la sustitucin de los valores de h y m de ms arriba, la
ecuacin para se reduce a lo siguiente:

Hay que advertir que a medida que la velocidad del electrn se acerca a la velocidad de
la luz, se hace necesario usar las ecuaciones de Einstein de la relatividad para una mayor
precisin, dado que la masa y cantidad de movimiento de electrones aumenta con la
velocidad

Este valor de puede ser sustituido en la ecuacin de Abbe. Dado que el ngulo es
generalmente muy pequeo, el valor se aproxima al de sen , por lo que se
sustituye.Dado que n (ndice de refraccin) es esencialmente , eliminamos, y
multiplicamos 0.612 por 1.23 para obtener 0.753. Por lo tanto, la ecuacin se reduce a la
siguiente

donde:

d = resolucin en nm

= ngulo de apertura en radianes

V = voltaje de aceleracin
4 http://www.nobelprize.org/educational/physics/microscopes/powerline/index.html Accesibl
e 27/01/2016

En ltima instancia y en trminos prcticos, la resolucin espacial del SEM depender,

como veremos ms adelante, del tamao del haz de electrones utilizado que a su vez
depender tanto de la longitud de onda de los electrones como del sistema utilizado para
producir el haz. Y, as mismo, la resolucin tambin estar condicionada por el tamao del
volumen de interaccin, el volumen de material de la muestra que interacta con el haz de
electrones.