Revista Iberoamericana de

Automtica e Informtica Industrial

Revista Iberoamericana de Automtica e Informtica industrial 14 (2017) 246255

Control no Lineal Robusto de una Mquina para Fabricacin de Pelculas Delgadas.

Hctor Huertaa*, Ren Osorioa, Nimrod Vzquezb
a Universidad de Guadalajara, Centro Universitario de los Valles, Carretera Guadalajara - Ameca Km. 45.5, C. P. 46600, Ameca, Jalisco, Mxico.
b Instituto Tecnolgico de Celaya, Departamento de Electrnica, Antonio Garca Cubas S/N, C: P: 38010, Celaya, Guanajuato, Mxico.

Resumen

En este artculo se presenta un esquema de control para una mquina utilizada para fabricacin de pelculas delgadas, con un motor de
corriente directa sin escobillas, basada en el mtodo de centrifugacin. Se incluye el modelo no lineal del motor sin escobillas, que
corresponde a una mquina sncrona trifsica, con los flujos del rotor y las corrientes en el estator, como las dinmicas elctricas, adems
de la velocidad en el rotor, como la dinmica mecnica. El objetivo de control es la regulacin de la velocidad del rotor. Se utiliz la
tcnica de control por bloques y as obtener una variedad deslizante. Se eligi la tcnica de control por modos deslizantes para garantizar
que la variedad elegida sea atractiva y obtener robustez en lazo cerrado. Para completar el esquema de control se incluye un observador
para estimar los estados no medibles, en este caso, los flujos del rotor. Se implement el esquema de control propuesto en la mquina para
fabricacin de pelculas delgadas, adems de un controlador basado en un PID con ganancias programadas, lo anterior para realizar la
comparacin de ambas tcnicas. El esquema de control por modos deslizantes propuesto presenta ventajas sobre el controlador PID, ya
que se obtiene la regulacin de la velocidad del rotor, sin error en estado estacionario, considerando variaciones paramtricas.

Palabras Clave:
Modos deslizantes, Sistema no lineal, Motor sin escobillas, Controlador PID.

1. Introduccin Se pueden requerir varias etapas de aceleracin y velocidad

Una de las principales tcnicas para la obtencin de pelculas
delgadas es el mtodo de centrifugacin o spin-coating, utilizado
para depositar soluciones en sustratos planos, en general, hechos
de vidrio. El procedimiento consta de cuatro partes: 1) depsito, 2)
aceleracin, 3) velocidad constante, y 4) evaporacin. En la etapa
de depsito, una cantidad determinada de una solucin, compuesta
de un material mezclado con solvente en una proporcin conocida,
se vierte en el centro del sustrato. De acuerdo a las necesidades del
usuario, el sustrato puede tener diferentes dimensiones; se coloca
en el centro de una base giratoria y se sujeta mediante algn
adhesivo o una bomba de vaco, siendo el segundo mtodo el ms
utilizado por su practicidad y seguridad (Tyona, 2013).
En la etapa de depsito, el sustrato puede estar en reposo o
girando con baja velocidad, tpicamente 500 RPM. En la segunda
etapa, aceleracin, se incrementa la velocidad angular del sustrato
hasta alcanzar la velocidad requerida. Una vez que se alcanza la
velocidad requerida, inicia la etapa de velocidad constante, el
usuario selecciona su duracin. La velocidad angular puede
alcanzar hasta las 10,000 RPM y debe ser controlada con alta
precisin, sin variaciones, para lograr la uniformidad y calidad
adecuada en la pelcula y garantizar repetitividad en los resultados.
* Autor en correspondencia.
Correo electrnico: hector.huerta@profesores.valles.udg.mx,
URL: www.cuvalles.udg.mx
constante. La evaporacin ocurre durante todo el proceso y se
puede utilizar tratamiento trmico para retirar el exceso de
solvente. Entonces, la mquina para spin coating, llamado spin-
coater, debe tener la flexibilidad para poder programar varias
etapas de aceleracin y velocidad constante con diferentes periodos
de tiempo en cada una de ellas y con gran precisin. Adems, se
debe tener un amplio rango de operacin en la velocidad angular,
hasta llegar a las 10,000 RPM. Finalmente, se debe poder colocar
una gran variedad de sustratos, de diferentes dimensiones, de forma
segura (Tyona, 2013).
En (Fardousi et al., 2013) se present un spin-coater de bajo
costo con un motor de CD con escobillas. Sin embargo, el uso de
este tipo de motores tiene algunas desventajas y no se pueden lograr
algunas pelculas debido al reducido rango de operacin en la
velocidad. Adems, el nmero de etapas de aceleracin y velocidad
constante se limita a uno y el controlador opera en lazo abierto. En
(Hossain y Paul, 2014), se present un controlador PID en lazo
cerrado para spin-coater pero el rango de operacin es limitado
debido al uso del motor de CD con escobillas nuevamente.
Tambin se han utilizado motores de CA, pero el rango de
velocidad es limitado, (Sevvanthi et al., 2012).
Para evitar las desventajas del motor de CD con escobillas, en
(Bianchi et al., 2006; Manikandan, 2015) se utiliz el motor de CD
sin escobillas (Brushless DC o BLDC), en una mquina spin-coater
con controladores lineales clsicos. Sin embargo, la regin de
operacin completa del BLDC es no lineal. Aunque los
controladores lineales han demostrado su eficacia, la aplicacin de

2016 CEA. Publicado por Elsevier Espaa, S.L.U. Este es un artculo Open Access bajo la licencia CC BY-NC-ND (http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/)
http://dx.doi.org/10.1016/j.riai.2017.04.002
Disponible en www.sciencedirect.com
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estos en regiones grandes pudieran dejar de garantizar estabilidad
en lazo cerrado y una operacin adecuada, debido a que el
controlador se ajusta alrededor de un punto de equilibrio especfico
(Khalil, 1996). Adems, las mquinas spin-coater con motores
BLDC presentadas hasta ahora, se limitan a una etapa de
aceleracin y una de velocidad constante, lo cual reduce la
flexibilidad de la mquina.
Aunque los controladores lineales clsicos, por ejemplo el PID,
han demostrado su efectividad en mquinas elctricas, su diseo se
limita a un punto de operacin, por lo que se pueden implementar
algunas estrategias para evitar esta desventaja (Calvini et al., 2015;
Tepljakov et al., 2016 ). Se puede dividir la regin no lineal de
operacin del BLDC en una familia de subespacios lineales. Con
esto se puede disear una familia de controladores no lineales, lo
que se conoce como ganancias programadas (gain-scheduling)
(Khalil, 1996). Esta tcnica ha demostrado su efectividad en
sistemas electromecnicos (Bjar y Ollero, 2008; Moriano y
Naranjo, 2012) y en motores de corriente directa (Matausek et al.,
1996; Kukolj et al., 1999).
Por otro lado, se sabe que la tcnica de control por modos
deslizantes ofrece robustez ante variaciones paramtricas y
perturbaciones externas. Esta metodologa se puede aplicar a
sistemas lineales y no lineales. Se puede disear una variedad
deslizante no lineal para el BLDC. Se han utilizado controladores
por modos deslizantes con desempeo satisfactorio en sistemas
mecnicos (Prieto et al., 2015), electromecnicos (Nio-Surez et
al., 2007; Moriano y Naranjo, 2012; Raygosa-Barahona et al.,
2015; Dursun y Durdu 2016; Ortigoza et al., 2016; Xia et al., 2016)
y electrnicos (Silva-Ortigoza et al., 2008; Silva-Ortigoza et al.,
2015; Snchez et al., 2016). En el caso de control de motores,
cuando se utilizan controladores por modos deslizantes, en general,
se requiere el uso de observadores de estado, para estimar los
estados no medibles (Yao et al., 2014).
En este artculo, se presenta el diseo de una mquina tipo spin-
coater para fabricacin de pelculas delgadas. Se muestra la parte
mecnica, compuesta de una base para un motor BLDC, una base
para sujetar los sustratos con tamao desde 1 hasta 5 pulgadas, una
cubierta protectora, un brazo para sujetar un dispositivo para
suministrar la solucin al sustrato y una carcasa para instalar todos
los componentes. Los sustratos se sujetan a la base mediante un
sistema con una bomba de vaco. Se incluye el convertidor de
potencia para alimentar los devanados del motor BLDC, un sistema
embebido para implementar el esquema de control propuesto y un
PID con ganancias programadas para comparar ambos
controladores, as como una interfaz electrnica para el usuario. Se
pueden seleccionar el nmero de etapas de aceleracin y velocidad
constante, as como la duracin de estas. La principal aportacin
del artculo es el desarrollo e implementacin de un algoritmo de
control no lineal robusto, utilizando la tcnica de control por modos
deslizantes. La variedad deslizante se disea tomando en cuenta el
modelo completo del motor BLDC, considerando las dinmicas del
estator y del rotor. Dado que la ley de control depende de los flujos
en el rotor, mismos que no se pueden medir, se presenta un
observador de estados, para estimarlos y complementar el esquema
de control. Con el objetivo de mostrar las ventajas del controlador
por modos deslizantes, se desarroll un controlador lineal clsico,
basado en una familia de controladores tipo Proporcional-Integral-
Derivativo (PID) parametrizados con una familia de subespacios
lineales que conforman la regin de operacin del motor BLDC,
con ganancias programadas. Ambos controladores se
implementaron en un sistema embebido basado en un
micorcontrolador de 32 bits con arquitectura ARM (Advanced
247
RISC Machine), logrando una regin de operacin desde 500 RPM
hasta 10,000 RPM, como se requiere en la fabricacin de pelculas
delgadas.
El resto del artculo est organizado como sigue. La seccin 2
muestra el desarrollo de la mquina tipo spin-coater, para
fabricacin de pelculas delgadas. En la seccin 3 se presenta el
esquema de control con un controlador PID con ganancias
programadas. En la seccin 4 se desarrolla el esquema de control
por modos deslizantes. En la seccin 5 se encuentran los resultados
experimentales del spin-coater, incluyendo una figura que muestra
una pelcula delgada. Finalmente, la seccin 6 presenta las
conclusiones.
2. Spin-coater.
La mquina para fabricacin de pelculas delgadas tipo spin-
coater propuesta consiste en la etapa mecnica, etapa electrnica y
el desarrollo e implementacin del esquema de control propuesto.
En esta seccin se describen las partes mecnica y electrnica,
mientras que en la seccin 3, se muestran un controlador tipo PID
con ganancias programadas. En la seccin 4, se incluye el esquema
de control por modos deslizantes propuesto, para despus mostrar
la comparacin de los dos controladores.
2.1. Etapa mecnica
La parte mecnica de la mquina comprende la estructura de
montaje del motor BLDC, la base rotatoria para sustratos, la
carcasa para los componentes y la tapa protectora. La base para el
motor BLDC se fabric en aluminio 6061, debido a sus
propiedades mecnicas y disponibilidad. La base para sustratos
tiene cinco ranuras con forma circular, concntricas, con dimetros
desde 1 hasta 5 pulgadas y se fabric con aluminio 6061. Se eligi
este material por su baja densidad, lo que permite reducir el par
mecnico requerido en el motor BLDC. Para lograr sujetar
sustratos con diferentes formas y tamaos se incluyeron las cinco
ranuras. El sustrato a colocar debe cubrir completamente la
circunferencia apropiada, donde se coloca un sello mecnico
circular de hule, para permitir la sujecin mediante una bomba de
vaco y evitar fugas en el proceso. En la Figura 1 se puede ver el
soporte para motor ensamblado, con la base para sustratos
colocada.
Tomando en cuenta las caractersticas mecnicas del sistema, se
seleccion el actuador rotatorio, en este caso un motor tipo BLDC.
Con base en la velocidad angular y la aceleracin angular
requeridas, as como la constante de inercia, se calcularon los
parmetros necesarios para el motor, es decir:

 
donde es el par mecnico y P es la potencia requerida a 10,000
RPM. El actuador seleccionado es un motor trifsico Maxon BLDC
449464, sus parmetros se incluyen en la Tabla 1.
2.2. Etapa electrnica
La etapa electrnica comprende la parte de potencia y la parte de
control. Para la etapa de potencia se tiene que considerar que un
motor tipo BLCD es una mquina sncrona trifsica con un rotor
de imanes permanentes. De esta manera, se tienen campos
magnticos rotatorios con magnitud fija y el control del motor se
lleva a cabo a travs de los devanados del estator (Krause et al.,
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2002). La velocidad del rotor se puede medir mediante sensores de controlador tipo PID con ganancias programadas, este ltimo para
posicin colocados en el interior del motor. El motor Maxon fines de comparacin, mismos que se muestran en las siguientes
449464 tiene tres sensores de efecto Hall y siete pares de polos, por secciones.
lo que se tienen 7 pulsos por revolucin en cada sensor. Como
resultado, se tiene una secuencia de seis estados que representa la 3. Controlador PID con ganancias programadas
posicin relativa del rotor con respecto al estator. El convertidor de
potencia est conformado por tres ramas con MOSFET de Considerando que la regin de operacin del motor BLDC
potencia, cada una suministra el voltaje con la amplitud y requerida es de 500 RPM a 10,000 RPM y que las caractersticas
frecuencia adecuada a cada fase del motor BLDC (Krause et al., del motor la convierten en una regin no lineal, se puede
2002). implementar un controlador PID con ganancias programadas, que
Tabla 1: Parmetros del motor BLDC Maxon 449464. se incluy para poder comparar su desempeo con el controlador
robusto que se mostrar en la siguiente seccin. Entonces, de
Voltaje nominal 24 V acuerdo con (Khalil, 1996), esta metodologa se puede resumir en
Velocidad sin carga 13,200 RPM los siguientes pasos:
Corriente sin carga 280 mA a) Dividir la regin de operacin en una familia de subespacios, tal
Velocidad nominal 10,200 RPM que cada subsistema se pueda reducir a un sistema lineal.
Par nominal Nm b) Disear una familia de controladores parametrizados, uno para
Corriente nominal 2.79 A cada subsistema elegido.
Par de arranque Nm c) Definir un algoritmo para seleccin de los valores
Corriente de arranque 45.8 A parametrizados tal que cada controlador estabilice el sistema
Eficiencia mxima 85% alrededor del punto de equilibrio del subsistema lineal
correspondiente, con un desempeo satisfactorio.
d) Verificar el desempeo del controlador con ganancias
programadas, en la regin de operacin completa, por medio de
simulacin y experimentacin.
Segn la metodologa establecida, se propone un controlador
tipo PID con ganancias programadas. En el caso del paso a), la
cantidad de subespacios lineales se eligi mediante
experimentacin. Para el motor BLDC utilizado, se obtuvo la
grfica de velocidad del motor con relacin al ancho de pulso
proporcionado por el convertidor de potencia. Posteriormente, se
determinaron las secciones lineales que componen la regin de
operacin completa del motor BLDC, con un mnimo de 500 RPM
y un mximo de 10,000 RPM, segn los requerimientos para
fabricacin de pelculas delgadas. De esta manera, se definieron 6
subespacios para la regin de operacin del motor BLDC, mismas
que se muestran en la Tabla 2. Considerando las regiones
propuestas, se verific su validez ajustando un controlador PID en
cada una de ellas, tomando como velocidad de referencia el valor
medio de la regin. Se observ que el desempeo de cada
controlador empezaba a disminuir cuando la velocidad del motor
se encontraba ms all de la regin definida en cada caso. Es
importante notar que la interseccin de los subespacios es nula y la
unin de los mismos resulta en la regin de operacin completa del
Figura 1: Base para motor con base para sustratos. motor.

Los pulsos de conmutacin que requieren los MOSFET del Tabla 2: Subespacios para el controlador con ganancias programadas.
convertidor de potencia se generan en la etapa de control a travs
del controlador de velocidad. Las leyes de control se Subespacio Conjunto definido
implementaron en un sistema embebido con una tarjeta basada en 
un microcontrolador Atmel de 32 bits SAM3X8E ARM Cortex -

M3 CPU. El esquema de control propuesto toma en cuenta la
estimacin de la velocidad, que es comparada con la referencia. La 
velocidad de referencia es definida por el usuario, pudiendo elegir 
hasta tres etapas de aceleracin y velocidad constante diferentes,

con diferente intervalo de tiempo cada una. Estos parmetros se
configuran a travs de la interfaz de usuario, compuesta de un 
teclado matricial y una pantalla de cristal lquido. La velocidad del
rotor se estima en el microcontrolador, considerando los pulsos Para el paso b), la familia de controladores lineales
generados por un sensor de posicin del motor BLDC. parametrizados elegidos para el motor BLDC, est basada en un
Con las caractersticas mostradas de la mquina se desarroll un controlador PID clsico y la entrada de control para el motor est
esquema de control no lineal robusto por modos deslizantes y un dada por la expresin:
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considerando el modelo de quinto orden del motor, incluyendo las

 dinmicas mecnicas y elctricas del rotor y estator. La variedad
deslizante depende del vector estados del sistema y corresponde a
donde es la entrada de control para el motor BLDC, es el un subespacio no lineal de la regin de operacin completa. Para
error de control, dado por la diferencia entre la velocidad de completar el esquema de control se presenta un observador de
referencia y la velocidad real de salida, es la ganancia estados para estimar los estados no medibles.
proporcional, , es la ganancia en modo integral, Tabla 3: Parmetros de la familia de controladores.
es la ganancia en modo derivativo y es el
Subespacio
subndice correspondiente al j-esimo subespacio. Por lo tanto, se
puede parametrizar una familia de controladores lineales tipo PID 0.90 1.80 0.22
por medio de las ganancias , y . 0.40 0.67 0.24
Continuando con el paso c), los parmetros de los controladores 2.09 4.00
10.00
en cada subespacio se ajustaron considerando el procedimiento
propuesto en (Phillips et al., 2015) basado en el lugar de las races 0.40 0.16 3.52
y el resultado se presenta en la Tabla 3. Como valor de referencia 1.10 0.32 2.82
para la velocidad, se consider el valor intermedio de la regin
0.90 1.83 4.01
correspondiente en cada controlador PID.
Finalmente, la verificacin del desempeo de la familia de
controladores en lazo cerrado, como se establece en el paso d), se En la seccin 4.1 se presenta el modelo matemtico del motor
realiz mediante experimentacin y en la seccin 5 se muestran los BLDC. El desarrollo del observador se encuentra en la seccin 4.2,
resultados. mientras que el controlador se incluye en la seccin 4.3.
En la Figura 2 se puede ver el diagrama a bloques para la
implementacin del esquema de control basado en el PID con
ganancias programadas. Para la implementacin en tiempo real, se
realiz la conmutacin de los diferentes controladores con respecto
a la variacin de la velocidad en la base para sustratos. De esta
manera, se inicia la operacin en el subespacio , con sus
respectivos parmetros. Cuando se superaban la lectura de 800
RPM, se conmutan los parmetros del controlador PID con
respecto al subespacio , como se muestra en la Tabla 3. Esta
conmutacin se realiza de forma sucesiva hasta llegar al sexto
subespacio. Una de las desventajas de la tcnica de ganancias
programadas, tal como se presenta en este trabajo, es que no se
puede garantizar estabilidad en la conmutacin de los
controladores parametrizados. Se puede mostrar estabilidad local
en cada uno de los subespacios propuestos y para demostrar
estabilidad global se puede considerar una funcin de Lyapunov
global, que sea vlida en cada uno de los subespacios y, por lo 
tanto, en la regin de operacin completa. Por otro lado, en este
Figura 2: Diagrama esquemtico del PID con ganancias programadas.
trabajo no se present el anlisis completo del controlador PID con
ganancias programadas, incluyendo el anlisis de estabilidad
global, debido a que se incluy esta tcnica de control slo para 4.1. Modelo matemtico
fines ilustrativos y de comparacin de la tcnica de control por
modos deslizantes, que se presenta en la siguiente seccin. El Cuando se utiliza la tcnica de control por modos deslizantes,
esquema de control por modos deslizante propuesto, incluyendo el se pueden excitar las dinmicas de alto orden no modeladas, por lo
observador, es el que se implement en la versin final del cual es necesario incluir estas dinmicas en el modelo matemtico
prototipo de la mquina para fabricacin de pelculas delgadas, del sistema (Utkin et al., 1999). Las dinmicas elctricas del motor
misma que se utiliza actualmente en el Laboratorio de Desarrollo y estn compuestas por los devanados del rotor y del estator. Despus
Caracterizacin de Materiales del Centro Universitario de los de la transformacin de Park, estas dinmicas se pueden
Valles, Universidad de Guadalajara. representar como (Krause et al., 2002):

4. Control por modos deslizantes



En la seccin previa, se desarroll un esquema de control para
el spin-coater, basado en el controlador PID con ganancias
programadas. Aunque el controlador es fcil de implementar,
donde     , 
requiere el ajuste de 18 parmetros, que el diseador tenga
experiencia en el ajuste de este tipo de controladores y no ofrece  , es el flujo de campo, , y son los flujos
robustez. Entonces, se propone un esquema de control, tomando en en los ejes directo y de cuadratura, respectivamente, es la
cuenta la regin no lineal completa del motor BLDC. De esta velocidad angular del rotor, e son las corrientes en el eje
manera, se presenta un esquema de control por modos deslizantes, directo y de cuadratura, respectivamente, es el voltaje de
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excitacin, y son los voltajes terminales en el eje directo y

de cuadratura, respectivamente. Las matrices
, , , y se definen en el Finalmente, la representacin matemtica para el motor BLDC se
Apndice A.
La descripcin matemtica del sistema incluye la ecuacin de
oscilacin, dada por

donde es la velocidad de sincronismo, es la constante de
inercia, es el par mecnico en el eje del rotor y es el par
elctrico, expresado en trminos de los flujos y corrientes como
sigue
 caso los flujos del rotor, , , y , se presenta un observador
con las constantes  definidas en la Tabla A.1, del
Apndice A. El par mecnico se considera una funcin con
evolucin lenta en el tiempo y acotada, es decir

Entonces, de (2) - (5) la representacin no lineal en espacio de
estado del motor BLDC se puede escribir como

puede obtener de (6) y (9):



4.2. Observador de estados
Dado que el modelo presentado en la seccin 4.1 se presenta como
un modelo no lineal y no se pueden medir todos los estados, en este
de estados para estimarlos y completar el esquema de control
propuesto en la siguiente subseccin. Entonces, con las mediciones
de la velocidad del rotor, , y de las corrientes en el estator, e
, los flujos del rotor se pueden estimar por medio del siguiente
observador:









donde , es una constante con valor pequeo, donde es la velocidad del rotor estimada, es el par mecnico

 ,   , estimado, , , y son los flujos del rotor estimados. Se
puede analizar la convergencia del observador (13) - (15) mediante
    , la dinmica de los errores de observacin, obtenida de (5), (10),
(11) y (13) - (15), representada como un sistema lineal con
, , parmetros variantes en el tiempo, que se puede expresar de la

forma
, ,




donde
, , ,
 , , ,
   , ,
, , ,


. , y


El vector
.
  
contiene las perturbaciones en el motor. El trmino de perturbacin El par
contiene las variaciones en los parmetros del motor,
que corresponde a una funcin acotada. Adems, la matriz

tiene rango pleno para todos los posibles valores de .

Con el objetivo de reducir las dinmicas rpidas del motor, en este
caso las corrientes en el estator y, considerando que la constante es observable y los valores propios de la matriz , calculados
en (7) es un trmino pequeo, se puede realizar la reduccin como
mediante la tcnica de perturbaciones singulares (Khalil, 1996).
Entonces, haciendo , (7) se puede reescribir como



La solucin para se puede calcular de (8) de la forma
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son reales y negativos. Como la matriz es Hurwitz, la solucin
del subsistema (17) es asintticamente estable. Adems, la matriz
es acotada y el subsistema (16) es entrada-estado estable, con
como entrada (Khalil, 1996). Entonces, se satisfacen las
condiciones del Lema 1, presentado en el Apndice B. Por lo tanto,
la solucin del sistema de errores (16) y (17) es asintticamente
estable.
Los flujos del rotor y el par mecnico estimados se utilizarn en
la ley de control que se presenta en la siguiente subseccin, en lugar
de las variables reales.
4.3. Control por modos deslizantes
Tomando en cuenta el modelo matemtico desarrollado en la
seccin 4.1 y el observador de la seccin 4.2, se desarrollar en esta
seccin el esquema de control por modos deslizantes. La
metodologa de control por modos deslizantes consiste en dos
partes. En la primera se elige un subespacio, llamado variedad
deslizante, en el cual el sistema en lazo cerrado tenga las
propiedades requeridas. En la segunda parte se selecciona una ley
de control, en general, como una funcin discontinua de la variedad
deslizante.
Es importante notar que el subsistema (11) tiene la forma
controlable por bloques (Loukianov, 1998), por lo que se puede
disear la variedad deslizante utilizando la tcnica de control por
bloques. Tomando en cuenta que el objetivo de control es la
regulacin de la velocidad, el error de control, , se define como

donde es la velocidad de referencia definida por el usuario.
Tomando la derivada de (18) con respecto al tiempo, a lo largo de
las trayectorias de (10) y (11), se tiene
 estado estimado, y del par mecnico estimado , la ley de
como la referencia para la velocidad es constante, (19) se puede
reescribir de la forma
 error de observacin es asinttica, por lo cual la convergencia hacia
Con
El siguiente paso es elegir la dinmica deseada para el error de
control , en este caso:
 
Entonces, la variedad deslizante se puede obtener de (20) y (21)
como
 a cero. La ecuacin (30) representa la dinmica interna, en este caso
Ahora, el flujo de campo deseado, , sobre la variedad
(22) se puede calcular de la manera
 es ltimamente acotada y el error de control tiende
La derivada con respecto al tiempo de (23) a lo largo de las
trayectorias de (10) y (11) resulta en
 convergencia asinttica hacia la variedad deslizante
siendo una funcin continua, y
el trmino de perturbacin desconocido y acotado que
se puede escribir como
la saturacin de los registros y la capacidad de procesamiento del
251
con el trmino que contiene los errores debidos a la
diferencia entre los estados reales y los estados observados, es decir
y ,
dados por (16) y (17). Como la convergencia del observador (13)
(15) en asinttica, corresponde a un trmino de
perturbacin desvaneciente (Khalil, 1996).
Finalmente, la ley de control se elige como una funcin discontinua
de la variedad deslizante (22), es decir

siendo el voltaje mximo que se puede aplicar al motor.
Para analizar la estabilidad del sistema en lazo cerrado (10), (11)
con (25), se propone la funcin candidata de Lyapunov
cuya derivada con respecto al tiempo a lo largo de las trayectorias
de (24) es
o, de forma equivalente
Entonces, cuando se cumple la condicin de estabilidad

donde

es el control equivalente calculado de , la derivada (26) es
negativa. Dado que la variedad deslizante depende del vector de
control propuesta (25) garantiza la convergencia de las trayectorias
en lazo cerrado a la variedad
en tiempo finito (Utkin et
al., 1999). Como se mostr en la seccin 4.2 la convergencia del
la variedad deslizante del sistema es asinttica tambin.
El movimiento deslizante alrededor de la superficie se
puede expresar mediante el sistema de orden reducido:


donde la dinmica mecnica linealizada (29) tiene el valor deseado
y es un trmino de perturbacin desvaneciente que
depende de los errores del observador y converge asintticamente
los flujos del rotor. La matriz es Hurwitz y el trmino de
perturbacin no desvaneciente es una funcin continua de
los estados. Por lo tanto, existe una regin donde la solucin
asintticamente a cero (Khalil, 1996).
Como se mencion anteriormente, como la convergencia del
observador es asinttica, se tiene como consecuencia la
.
Para la implementacin del esquema de control este efecto puede
disminuir eligiendo las ganancias del observador suficientemente
grandes, para obtener una velocidad de respuesta adecuada. Sin
embargo, en la eleccin de las ganancias, se debe tener en cuenta
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sistema embebido. Esto sin comprometer la velocidad de
convergencia del observador. Adems, se debe realizar un anlisis
de respuesta dinmica y error de observacin en presencia de ruido.
En la Figura 3 se muestra un diagrama a bloques para la
implementacin del controlador no lineal robusto con modos
deslizantes propuesto. Se requiere una etapa para realizar la
transformacin de Park en las corrientes del estator. Esa
informacin se enva al controlador y al observador de estados,
adems de la medicin de la velocidad. El observador de estados
realiza la estimacin de los flujos y del par mecnico para enviarlos
al controlador. Una vez que el controlador determina el voltaje de
campo, se calculan los voltajes a aplicar en las tres fases del motor,
mediante el convertidor de potencia. En esta parte se requiere
tambin una etapa para realizar la transformacin de Park inversa.
Figura 3: Diagrama a bloques del controlador por modos deslizantes propuesto.
5. Resultados experimentales
Las etapas mecnica y electrnica presentadas en la seccin 2
se ensamblaron para conformar el prototipo de la mquina para
fabricacin de pelculas delgadas tipo spin-coater. Se
implementaron los dos esquemas de control presentados en las
secciones 3 y 4, es decir, PID con ganancias programas y control
por modos deslizantes. El criterio de desempeo utilizado para el
ajuste de parmetros fue obtener el menor tiempo de estabilizacin,
preferentemente sin sobreimpulso. Este criterio est dado por la
naturaleza del proceso de fabricacin de pelculas delgadas, que
requiere la aceleracin mxima del motor y un control preciso en
la velocidad, sin sobreimpulso ni oscilaciones, de lo contrario, se
pueden tener diferencias de espesor en diferentes puntos de la
pelcula. Para el caso del controlador PID con ganancias
programadas, se ajust cada uno de los PID en el punto medio de
cada una de las regiones definidas en la Tabla 3. Por ejemplo, en el
caso del subespacio se consider
Se muestran los resultados para una prueba con un valor inicial
de 500 RPM y un valor de velocidad constante de 4,000 RPM. Se
incluyen los resultados para los dos esquemas de control
presentados, primero para el PID con ganancias programadas y
despus para el esquema de control por modos deslizantes
propuesto.
Es importante mencionar que se llevaron a cabo diversas
pruebas con diferentes condiciones iniciales, diferentes
velocidades y diferentes tiempos de velocidad constante pero no se
presentan en el documento debido a la extensin del mismo.
5.1. Comportamiento del controlador PID con ganancias
programadas
Se realizaron las pruebas correspondientes con el esquema de
control propuesto basado en el PID con ganancias programadas. La
respuesta del controlador se muestra en la Figura 4, donde se
pueden notar algunas observaciones importantes:
a) Considerando una banda del 5%, el valor en estado estable se
alcanza en 4.3 segundos. Este resultado muestra que la familia de
controladores PID parametrizados con ganancias programadas (1),
logra estabilizar al sistema alrededor del valor de referencia
elegido.
b) La respuesta del sistema en lazo cerrado corresponde a un
sistema subamortiguado, donde el mximo sobreimpulso es del
2.5%, con lo que se muestra el amortiguamiento aadido al
sistema.
c) Cuando la variable controlada alcanza su valor en estado estable,
sta tiende a oscilar, pero la amplitud decrece rpidamente, hasta
llegar a su punto de equilibrio.
d) El controlador PID con ganancias programadas es capaz de
estabilizar al sistema sin oscilaciones grandes con las ganancias
ajustadas en cada subsistema.
5.2. Comportamiento del controlador con modos deslizantes
Se implement el esquema de control no lineal robusto con
modos deslizantes. La respuesta del sistema en lazo cerrado (10),
(11) con el observador (13) - (15) y la ley de control (25) se muestra
en la Figura 4, donde se presenta la comparacin con el controlador
PID con ganancias programadas. Se pueden resaltar algunas
cuestiones importantes de la respuesta del controlador:
a) El controlador con modos deslizantes logra estabilizar al sistema
alrededor del punto de equilibrio, es este caso 4,000 RPM en 3.2 s,
considerando la misma banda del 5% que en el PID con ganancias
programadas. Esto representa una disminucin de 1.1 s, en el
tiempo de estabilizacin.
b) La respuesta corresponde a un sistema sobreamortiguado, es
decir, no tiene sobreimpulso pero, a pesar de esto, el tiempo de
estabilizacin se redujo en 1.1 s, con respecto al controlador PID
con ganancias programadas. Por otro lado, el PID con ganancias
programadas presenta una respuesta subamortiguada, con
sobreimpulso del 2.5%. Para el proceso de fabricacin de pelculas
delgadas es mejor tener una respuesta sobreamortiguada, sin
sacrificar el tiempo de estabilizacin.
c) El controlador con modos deslizantes no presenta oscilaciones
en estado estable, tal como se observan en el controlador PID con
ganancias programadas.
d) El controlador con modos deslizantes es capaz de estabilizar al
sistema en toda la regin de operacin no lineal, sin la necesidad
de utilizar diferentes controladores con subsistemas lineales, como
en el caso del PID con ganancias programadas.
e) Para verificar la robustez en presencia de variaciones
paramtricas, se redujo la resistencia de los devanados del estator
un 4% y la constante de inercia se increment en 3%. Los
resultados experimentales con estas perturbaciones se muestran en
la figura 5. Se puede ver que la respuesta del esquema de control
por modos deslizantes es la misma que se obtuvo con los
parmetros nominales. Esto muestra la robustez ante variaciones
paramtricas del sistema en lazo cerrado, con el esquema de control
por modos deslizante propuesto. Por el contrario, el controlador
 Huerta et al. / Revista Iberoamericana de Automtica e Informtica industrial 14 (2017) 246255
PID presenta un error en estado estacionario del 3%, cuando se
incluyen las perturbaciones.
 disminuir el tiempo de convergencia. Es importante notar que, a
Figura 4: Comparacin de los controladores con modos deslizantes y PID con
ganancias programadas.
Figura 5: Comparacin de los controladores con modos deslizantes y PID con
ganancias programadas, incluyendo perturbaciones.
Con el objetivo de mostrar el comportamiento de las seales de
control, se incluyen en la Figura 6, los resultados de las leyes de
control para los dos algoritmos presentados. Dado que el motor
BLDC tiene tres devanados, estos se alimentan con un convertidor
de potencia trifsico y las seales de control corresponden a seales
PWM con frecuencia constante y ancho de pulso variable. El
sistema embebido genera los pulsos que requiere el convertidor de
potencia, basado en el valor del ancho de pulso que calcula el
controlador. De esta manera, en la Figura 6, se presentan los
valores obtenidos para el ancho de pulso con los dos esquemas de
control implementados. Nuevamente, se puede observar que el
esquema de control con modos deslizantes tiene una respuesta sin
oscilaciones ni sobreimpulsos. En cambio, el controlador PID con
ganancias programadas muestra un comportamiento oscilatorio y
con sobreimpulso. Se puede notar tambin que el comportamiento
253
inicial de las dos seales es muy similar, esto se debe a que se
incluy un arranque suave para el motor, para evitar algunos
problemas relacionados con el convertidor de potencia, tales como
corrientes instantneas excesivas y corrientes inversas, factores que
pueden generar daos en los componentes electrnicos. Por otro
lado, se puede ver que ambos controladores incrementan el valor
del ancho de pulso hasta llegar a la saturacin, es decir, el 100% de
su seal de salida, para despus ajustar su valor de forma gradual.
En el caso del controlador PID el nivel de saturacin dura 1.9 s,
iniciando en 0.8 s y terminando en 2.7 s, aproximadamente. En el
caso del esquema de control por modos deslizantes, se puede ver
que la saturacin de la seal de salida dura aproximadamente 0.6 s,
en el intervalo comprendido entre 1.4 s y 2 s. De esta manera, el
tiempo de saturacin del controlador por modos deslizantes es de
aproximadamente una tercera parte del tiempo que presenta el
controlador PID. Dado que es importante para el spin-coater llegar
a la velocidad de referencia en el menor tiempo posible, se
eligieron las ganancias de ambas leyes de control para obtener la
mayor aceleracin. La saturacin presentada es la consecuencia de
la eleccin de estas ganancias, ajustadas con el objetivo de
pesar de las saturaciones presentadas, no se compromete el objetivo
de control, es decir, se logra la regulacin de la velocidad del rotor,
en el valor deseado.

Figura 6: Seales de control obtenidas con los dos esquemas de control
presentados.
5.3. Eficacia en la fabricacin de pelculas delgadas
Se verific el desempeo de la mquina para fabricacin de
pelculas delgadas con el esquema de control por modos
deslizantes. Los resultados se obtuvieron con un Microscopio de
Fuerza Atmica (Atomic Force Microscope, AFM). En la Figura 7
se puede ver una pelcula delgada compuesta de nanotubos de
carbono y porfirinas. Se suministr una gota de la solucin sobre
un sustrato de mica de moscovita, mismo que se hizo girar a una
velocidad de 2,500 RPM, durante 5 s, para generar grupos de
nanotubos de carbono. El spin-coater permite distribuir y fijar de
forma uniforme los nanotubos de carbono. El resultado del AFM
presenta los nanotubos de carbono y las porfirinas como puntos
brillantes. Es importante mencionar que la Figura 7 se incluye slo
para mostrar que el prototipo cumple con el objetivo del mismo, es
254 Huerta et al. / Revista Iberoamericana de Automtica e Informtica industrial 14 (2017) 246255
decir, realizar pelculas delgadas por el mtodo de centrifugacin y
no para fines de comparacin entre los dos esquemas de control.
 controller, since the rotor speed regulation is obtained, without
Figura 7: Pelcula delgada de nanotubos de carbono y porfirinas.
6. Conclusiones
Se desarroll un esquema de control para una mquina para
fabricacin de pelculas delgadas. El sistema utiliza un motor de
corriente directa sin escobillas como actuador. Como objetivo de
control se consider la regulacin de la velocidad en el rotor. El
modelo matemtico presentado incluye la descripcin detallada de
las dinmicas elctricas y mecnicas del motor. Para garantizar que
la base para sustrato de la mquina alcance el valor de referencia
en cualquier punto de equilibrio de la regin no lineal, se desarroll
un esquema de control por modos deslizantes. Utilizando la tcnica
de control por bloques, se obtuvo una variedad deslizante como
funcin de los estados del sistema y se eligi una funcin
discontinua de esa variedad como ley de control. Para completar el
esquema de control se consider un observador para estimar los
estados no medibles. Se llev a cabo el anlisis de estabilidad para
el observador y para el controlador, mostrando estabilidad
asinttica en ambos casos.
Para verificar su desempeo, se implement el esquema de
control propuesto en una mquina tipo spin-coater que se
desarroll en el Centro Universitario de los Valles. Adems, con el
objetivo de comparar el esquema de control por modos deslizantes,
se implement tambin un controlador PID clsico con ganancias
programadas. Los resultados experimentales muestran un buen
desempeo del esquema de control por modos deslizantes, ya que
no tiene sobreimpulso ni error en estado estacionario, adems de
tener el mejor tiempo de estabilizacin. Finalmente, se incluyeron
pruebas para mostrar la robustez del esquema de control por modos
deslizantes, introduciendo variaciones de parmetros en el sistema.
Para evitar la desventaja de convergencia asinttica hacia la
variedad deslizante, provocada por el observador, como trabajo
futuro se implementarn observadores que garanticen
convergencia en tiempo finito, basados en modos deslizantes de
orden superior.
English Summary
Nonlinear robust control of a machine to make thin films.
Abstract
This paper presents a control scheme for a machine used to
make thin films, with a brushless direct current motor, based on the
spin-coating method. The nonlinear brushless motor model is
included, which corresponds to a three-phase synchronous
machine, with rotor flux linkages and stator currents, as the electric
dynamics, and the rotor speed, as the mechanical dynamics. In
order to achieve the speed regulation, the block control technique
was used to obtain a sliding manifold. The sliding mode control
technique was applied to ensure that the chosen manifold is
attractive and to obtain robustness in the closed - loop system. To
complete the control scheme, an observer is included to estimate
the unmeasurable states, in this case, the rotor flux linkages. The
proposed control scheme was implemented in a machine to make
thin films, as well as a controller based on a gain scheduling PID,
to perform the comparison of both controllers. The proposed
sliding mode control scheme shows some advantages over the PID
steady state error, considering parameter variations.
Keywords:
Sliding modes, Nonlinear system, Brushless motor, PID
control.
Agradecimientos
Este trabajo se realiz gracias al apoyo de la Divisin de
Estudios Cientficos y Tecnolgicos, Centro Universitario de los
Valles, Universidad de Guadalajara. Los autores agradecen al Dr.
Marciano Sanchez Tizapa por su contribucin en el desarrollo de
pelculas delgadas y los resultados del AFM.
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son funciones continuas por partes en t y localmente Lipschitz en
. El conjunto es un dominio en que contiene el
Apndice A. Matrices y parmetros del modelo del motor. origen , para . Si:
x el subsistema (B.1) es localmente entrada-estado-estable, con
como entrada, y
     , , x el origen de (B.2) es uniformemente asintticamente estable,

entonces el origen del sistema interconectado (B.1) - (B.2) es
, , , uniformemente asintticamente estable.