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Las alteraciones en la firma, FSM originales slo son vlidos cuando las alteraciones son acordados y firmados por todas las
partes involucradas
Copie : Cliente
: Archivo de Proyecto
TABLA DE CONTENIDO
1. INTRODUCCIN 4
1.1 ENCUESTA DE DOCUMENTOS DE REFERENCIA 4
2. PROCESO / DESCRIPCIN DEL FLUJO 6
2.1 PROCESO /DESCRIPCIN DE LA UNIDAD 6
2.2 ORGANIGRAMA DE PRODUCTO PRE-RECUBRIMIENTO / MATRIXLINE 7
3. DESCRIPCIN DEL EQUIPO 9
3.1 UNIDADES DE PROCESO 9
3.1.1 UNIDAD DE PULVERIZACIN ROTARY 9
3.1.2 LA ELIMINACIN DE GOTEO UNIDAD 11
3.1.3 SECADO UNIDAD IR Y AIR 13
3.1.4 UNIDAD DE MEDICIN DE LA TEMPERATURA 15
3.1.5 SECADO UNIDAD IR 17
3.1.6 SECADO + UNIDAD DE REFRIGERACIN 19
3.1.7 MIM 21
3.1.8 MESA DE EXPOSICIN 21
3.1.9 MEM 21
3.1.10 EL DESARROLLO DE LA UNIDAD DE PRESIN BAJA 22
3.1.11 SEAL UNIDAD DE GRABADO BORDE 24
3.1.12 SELLAR LA UNIDAD DE ENJUAGUE BORDE 26
3.1.13 HNO3 UNIDAD AGUAFUERTE 28
3.1.14 EL DESARROLLO DE LA UNIDAD DE ALTA PRESIN (INCPARED LUDING ENJUAGUE) 30
3.1.15 UNIDAD DE REMOJO 32
3.1.16 SECADO ROTARY UNIDAD DE AIRE CALIENTE 33
3.2 LAS ESTACIONES DISTRIBUIDORAS 35
3.2.1 FOTO RESISTIR FUENTE 35
3.2.2 UNIDAD DE FUENTE DE GRAFITO 38
3.2.3 UNIDAD DE ALIMENTACIN DE ALTA FRECUENCIA 41
3.2.4 FUENTE DE ACID 43
3.2.5 EL TANQUE DE AGUA 45
3.2.6 UNIDAD DE SUMINISTRO DE PVA 47
3.2.7 SERVICIO BASTIDOR LIQUID 49
3.2.8 SERVICIO BASTIDOR AIR 50
3.3 SISTEMA DE TRANSPORTE DE LA PANTALLA 51
3.3.1 FUNCIONES 52
3.3.2 PARMETROS 53
3.3.3 FUNCIONES DE SERVICIO 53
3.3.4 ENGANCHE 54
3.3.5 LA PREVENCIN DE COLISIONES 54
3.3.6 PARTICIN DE THSISTEMA DE TRANSPORTE DE CORREO 54
3.4 SISTEMA DE TRANSPORTE DE LA MSCARA 55
3.4.1 FUNCIONES 55
4. SISTEMA DE CONTROL 56
4.1 GENERAL 56
4.2 FUNCIONALIDAD DE CONTROL 57
SISTEMA DE CONTROL DE ESQUEMA 57
4.2.2 DEFINICIONES 58
9. ASPECTOS AMBIENTALES 66
El sistema de lnea de pre-recubrimiento / matriz se aplique una capa de grafito en el interior de la pantalla, que
coincide con el patrn de la mscara.
El sistema es de una construccin modular con cada paso del proceso llevado a cabo por unidades individuales
dispuestas en lnea y conectado a un haz de referencia comn. Como es decribed en el mimimom (xxxxxxxxx),
diferentes patrones de producto (siendo AA, AB o AAB) se pueden procesar. Para cambiar de un patrn a otro, es
necesaria la reconfiguracin de la lnea debido a que un nmero de unidades de proceso dependen tipo. Tienen
que ser adaptada por medio de un cambio rpido ambientada en un lapso de tiempo que se define en el MOM.
El movimiento de una pantalla entre las unidades de proceso separadas durante la produccin se lleva a cabo por
un sistema de transporte que comprende un nmero de unidades de transporte (carros) que se mueven a lo largo
de la viga de transporte situado detrs de las unidades de proceso.
Las mscaras son transportados en paralelo a la lnea matriz de recubrimiento previo por medio de un poder
horizontal y el sistema de trasporte gratuito. Antes de la exposicin, las mscaras se cargan automticamente a la
MIM (Mscara de insercin de la mquina). Despus de la exposicin, las mscaras se descargan
automticamente desde un MEM (Mscara de extraccin de la mquina). La sincronizacin entre la mscara y el
transporte de la pantalla se lleva a cabo por medio de un mdulo de software de control de encaminamiento.
Las soluciones qumicas y otros materiales utilizados en el proceso productivo son proporcionados por el servicio
de suministro de red de tuberas montado detrs de la lnea y por una serie de unidades de suministro de
derechos libres tambin ubicados en la parte posterior de la lnea.
UNIDADES DE PROCESO
Esta unidad de proceso se puede utilizar para un nmero de etapas del proceso en la capa preliminar y la matriz
de lnea:
La pantalla se acelera primero a una velocidad predeterminada y, a continuacin lquido (dependiendo de la etapa
del proceso) es pulverizada fuera del centro de la pantalla y forma un recubrimiento uniforme a travs de toda la
superficie de la pantalla debido a las fuerzas centrfugas causadas por la rotacin. La rotacin de la pantalla se
contina durante un perodo de tiempo siguiente pulverizacin para permitir que el recubrimiento se iguale.
Vhigh
Rotating
0
Spraying
Equalizing
Spraying
valve
ta td
tw ts te
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Rociar ON / OFF Slo es posible cuando la pantalla presente
Rotacin ON / OFF
Jog CW / CCW
Gire a una posicin
Ensee a la posicin cero Slo es posible en la seccin HMI
En esta posicin de las gotas de foto resisten desde el borde del sello de la pantalla se eliminar por un material
absorbente. La limpieza de esta estera (pulverizacin y desgarrador), as como el cambio ser una funcin
automtica. Hay dos posibilidades de activar la funcin automtica de la unidad: el nmero mximo de pantallas
ha pasado la unidad o sin pantallas pasado en un tiempo predefinido. Una alfombra de "fresco" (pulverizado y
arrancado) ser hmedo, pero no mojado.
Para evitar que el agua de la estera limpia desciende debido a la fuerza de la gravedad, la alfombra se arranc
una vez justo antes de que el ndice de tambor.
Nmax
Number of
screens
0
tn
Time without
screens 0
Drum
rotation
Spraying
Wrenching
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Gire el tambor un ndice Slo cuando la llave est en la posicin
Llave vez Slo cuando el tambor est en la posicin y alfombras son lo
suficientemente hmeda.
Rociar ON / OFF
Nota:
Si las esteras absorbentes han estado fuera de uso durante un perodo largo de tiempo, la puesta en marcha de la
unidad se bloquear y el operador recibir una advertencia para la inspeccin visual y la accin correctiva si es
necesario.
En esta unidad de proceso de la capa interior de la pantalla tiene que estar completamente seca. Secado por
medio de elementos de calentamiento de infrarrojos, colocados debajo de la pantalla en las zonas dependientes
de tipo que pueden ser controlados por separado y un flujo de aire filtrado en la pantalla. Este aire se introduce a
travs de un tubo abierto en el centro de la pantalla.
100 %
Duty cycle
zone 2 25%
0%
100 %
Duty cycle 80%
zone 4
0%
ON
IR Heaters OFF
zone 1
IR Heaters ON
zone 2 OFF
IR Heaters ON
zone 3 OFF
IR Heaters ON
zone 4 OFF
Blowing AIR
ton + toff
td tb
td: tiempo antes de soplar El tiempo de espera antes de que comience la 00,0 a 99,9 seg
accin de soplado real
tb: tiempo de soplar La duracin de la accin de soplado 00,0 a 99,9 seg
Ciclo de trabajo dentro de la zona de los Relacin entre ON-tiempo y una base de tiempo 00,0 a 99,9%
calentadores fijo (ON-time + en tiempo de descuento). Esta
Dzone1 = ton1 / (ton1 + toff1) * 100% relacin es una dimensin de calentador de
intensidad para el calentador de la zona 1
Ciclo de trabajo fuera de la zona de los Relacin entre ON-tiempo y una base de tiempo 00,0 a 99,9%
calentadores fijo (ON-time + en tiempo de descuento). Esta
Dzone2 = ton2 / (ton2 + toff2) * 100% relacin es una dimensin de calentador de
intensidad para el calentador de la zona 2
Ciclo de trabajo zona media de los Relacin entre ON-tiempo y una base de tiempo 00,0 a 99,9%
calentadores fijo (ON-time + en tiempo de descuento). Esta
Dzone3 = ton3 / (ton3 + toff3) * 100% relacin es una dimensin de calentador de
intensidad para el calentador de la zona 3
Ciclo de trabajo zona media de los Relacin entre ON-tiempo y una base de tiempo 00,0 a 99,9%
calentadores fijo (ON-time + en tiempo de descuento). Esta
Dzone4 = ton4 / (ton4 + toff4) * 100% relacin es una dimensin de calentador de
intensidad para el calentador de la zona 4
Patrn Calefaccin Qu zona del calentador (zone_1, zone_2, 0000-
zone_3, zone_4 est encendido 1111
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Blowing ON / OFF Slo es posible en la seccin de HM
3
4 2 1 2 4
3
CLASE. NO. ESPECIFICACIONES DE RENDIMIENTO 1 --------
Los ngeles
------------- Recubrimiento previo y matriciales de lneas Xxxx xxx xxxx
------------- 25V JUMBO GRANDES
NOMB J. VD Wouwer SUPERS. 67 SH. SH. 190 -14 10 98 A4
RE
DATOS WORD 8.0 PROG PLATF
Kan CAD VER FECHA 2000-03-22 Philips Electronics N.V.
sas
7322 055 91280 - WORD
3.4 UNIDAD DE MEDICIN DE LA TEMPERATURA
En esta unidad de la pantalla debe estar a una temperatura estable a travs de toda la superficie. La propia unidad
de proceso no tiene que corregir las desviaciones de temperatura, la temperatura medida se pondr a disposicin
para la base de datos de fbrica (CAM). Tres (3) sensores de temperatura (KT15) se montan debajo de la pantalla.
Los sensores de temperatura estarn equipados con una pantalla para leer el valor real medido por el sensor.
diagrama de la
Temperature measuring unit unidad de
medicin de
temperatura
measure
temp. spots
secuencia
temporal
Check
values
td
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Ninguno
Esta unidad de proceso se puede utilizar para dos etapas del proceso en la capa preliminar y matriz de lnea:
Foto resistir secado IR
Calentamiento de grafito (bicarbonato)
En esta unidad de proceso de la capa interior de la pantalla tiene que ser secado o al horno.
Secado por medio de elementos de calentamiento de infrarrojos, colocados debajo de la pantalla. Estos elementos
se colocan en las zonas dependientes de tipo que pueden ser controlados por separado.
Drying unit IR
100 %
Duty cycle
50%
zone 1
0%
100 %
Duty cycle
zone 2 25%
0%
100 %
Duty cycle 80%
zone 4
0%
ON
IR Heaters OFF
zone 1
IR Heaters ON
zone 2 OFF
IR Heaters
ON
zone 3 OFF
IR Heaters ON
zone 4 OFF
ton + toff
Ciclo de trabajo dentro de la zona de los Relacin entre ON-tiempo y una base de tiempo 00,0 a 99,9%
calentadores fijo (ON-time + en tiempo de descuento). Esta
Dzone1 = ton1 / (ton1 + toff1) * 100% relacin es una dimensin de calentador de
intensidad para el calentador de la zona 1
Ciclo de trabajo fuera de la zona de los Relacin entre ON-tiempo y una base de tiempo 00,0 a 99,9%
calentadores fijo (ON-time + en tiempo de descuento). Esta
Dzone2 = ton2 / (ton2 + toff2) * 100% relacin es una dimensin de calentador de
intensidad para el calentador de la zona 2
Ciclo de trabajo zona media de los Relacin entre ON-tiempo y una base de tiempo 00,0 a 99,9%
calentadores fijo (ON-time + en tiempo de descuento). Esta
Dzone3 = ton3 / (ton3 + toff3) * 100% relacin es una dimensin de calentador de
intensidad para el calentador de la zona 3
Ciclo de trabajo zona media de los Relacin entre ON-tiempo y una base de tiempo 00,0 a 99,9%
calentadores fijo (ON-time + en tiempo de descuento). Esta
Dzone4 = ton4 / (ton4 + toff4) * 100% relacin es una dimensin de calentador de
intensidad para el calentador de la zona 4
Patrn Calefaccin Cada zona se puede seleccionar por separado On / Off
y desconexin (segn el tipo de pantalla que se
procesa)
3
4 2 1 2 4
3
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
No disponible
En esta unidad de la capa tiene que ser acondicionado por aire filtrado. La funcin de esta unidad es para eliminar
el aire humidificado desde debajo de la pantalla y para enfriar la pantalla a una temperatura especfica para
permitir que un siguiente paso del proceso estable.
El enfriamiento se consigue mediante el soplado de aire seco y filtrado en el centro de la pantalla con la ayuda de
un desplazador de aire. El aire slo puede escapar a travs de una abertura por debajo del borde de sellado.
ON
Blowing AIR
OFF
td tb
td: tiempo de espera que sopla Tiempo de retardo antes de que la accin de 00,0 a 99,9 seg
soplado
tb: Tiempo de soplado La duracin de la accin de soplado 00,0 a 99,9 seg
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Blowing ON / OFF Slo es posible en la seccin de HM
3.9 MEM
Consulte la FSM MEM GRAN JUMBO 25 V (12NC 7322 980 0847)
En esta unidad de la capa de aplicacin (en funcin del rea de proceso) ser arrastrada por medio de
pulverizacin de agua desmineralizada.
Esto se obtiene con la ayuda de un brazo de rociado oscilante (en paralelo al eje este-oeste) que pulveriza agua a
travs de boquillas, ya que barre hacia atrs y adelante a travs del interior de la pantalla.
Developing unit
Sn
Number of strokes
0
Swing movement ON
OFF
Spraying Water ON
OFF
td
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Rociar ON / OFF Rociar slo es posible cuando la pantalla est presente
Movimiento del brazo spray ON / OFF Cambiar directamente dentro y fuera del motor
En esta unidad de proceso de la pared vertical de la pantalla (cubierta con recubrimiento de grafito) ser
sumergido en HF-cido con una altura predeterminada para eliminar todo el grafito a partir de esta rea. El HF-
cido se almacena en una bandeja que se puede mover hacia arriba y abajo para realizar la accin de inmersin.
Ddip
TRAY POSITION
Zero detection Dzo
Tray movement UP ON
OFF
td tp
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Mover a la bandeja de inmersin posicin
Mover a la bandeja offset de posicin Posicin de la bandeja de carga / descarga de la pantalla
cero
Bandeja de Homing Encontrar la posicin cero y pasar a la posicin cero
desplazamiento
En esta unidad de proceso, el borde de sellado y la parte inferior de la pared vertical sern desechados de
residuos de grafito aflojados. Tambin se quitar el HF de la etapa de proceso anterior. El lado interior de la
pantalla tiene que ser protegido contra salpicaduras de agua cidas (que viene de la pared vertical). Esto se
obtiene mediante la aplicacin de una pelcula de agua desmineralizada en el lado interior antes de activar el
interior pulverizacin. Centro de pulverizacin con la ayuda de una boquilla colocada en el centro de la pantalla por
encima del borde de sellado. Al menos la parte inferior de la pared vertical que se ha sumergido en el HF-cido y
el rea de 5 mm hasta se enjuagaron con agua demi. En el interior y el exterior de la pantalla estn montados
boquillas.
Centre rinsing ON
OFF
Inside rinsing ON
OFF
Outside rinsing ON
OFF
td1 tp1
td2 tp2
tp3
TD1: tiempo antes de rociar el interior El tiempo de espera antes de que se inicie la 00,0 a 99,9 seg
accin dentro de la pulverizacin. Esto para
proveer agua cida salpicado en la pantalla
interior
dv2: fuera de tiempo antes de rociar El tiempo de espera antes de que se inicie la 00,0 a 99,9 seg
accin pulverizacin exterior
tp1: Tiempo de fumigacin en el interior Duracin de la accin dentro de pulverizacin 00,0 a 99,9 seg
TP2: Tiempo de fuera de pulverizacin Duracin de la accin exterior de pulverizacin 00,0 a 99,9 seg
tp3: Tiempo del centro de pulverizacin Duracin de la accin central pulverizacin 00,0 a 99,9 seg
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Dentro de pulverizacin ON / OFF Rociar slo es posible cuando la pantalla est presente
Fuera de pulverizacin ON / OFF Rociar slo es posible cuando la pantalla est presente
Centro de pulverizacin ON / OFF Rociar slo es posible cuando la pantalla est presente
Una pantalla colocada en esta unidad se roca con cido que causa una reaccin qumica con el patrn de foto
resistente debajo del recubrimiento de grafito por lo que la foto resistente se expandir y sobresale la capa de
grafito.
Acid spraying ON
OFF
td tp
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Rociar cido ON / OFF Rociar slo es posible cuando la pantalla est
presente
En esta unidad la foto resistir reas completas con punta de grafito son arrastrados por medio de pulverizacin de
alta presin de agua desmineralizada.
Esto se obtiene con la ayuda de un brazo de rociado oscilante (en paralelo al eje este-oeste) que pulveriza agua a
travs de boquillas, ya que barre hacia atrs y adelante a travs del interior de la pantalla.
HP Developing unit
Sn
Number of strokes
0
Swing movement ON
OFF
Spraying Water HP ON
OFF
Wall rinsing ON
OFF
td
tw
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Rociar ON / OFF Se activarn Ambas acciones de pulverizacin
Movimiento del brazo spray ON / OFF Cambiar directamente dentro y fuera del motor
Esta unidad es un paso de proceso adicional para remojar la PVAL que se roca durante el proceso paso anterior.
Soaking unit
ON
Soaking OFF
tsk
Parmetros
Artculo Observaciones Alcance
Ninguno
Ninguno
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Ninguno
En esta unidad de la pantalla se seca por rotacin (centrifugacin) para un perodo predeterminado. El secado se
logra mediante soplado de caliente comprimido filtrado de aire en el centro de la pantalla con la ayuda de un
desplazador de aire. El aire slo puede escapar a travs de una abertura por debajo del borde de sellado.
Vhigh
Rotating
0
ON
Blowing centre
OFF
ta td
tr
td1 tp1
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Blowing ON / OFF
Rotacin de ON / OFF
Jog CW / CCW Slo es posible en la seccin HMI
Gire a una posicin Slo es posible en la seccin HMI
Ensee a la posicin cero Slo es posible en la seccin HMI
Funciones
General
Esta unidad de alimentacin se utiliza para alimentar la foto resistir unidades de recubrimiento (4 unidades).
Se hizo para contener una cierta cantidad de la foto resistir. Adems, la unidad de suministro ser capaz de
mantener la foto resistente en un buen estado. Esto quiere decir que la foto es resistir burbuja absolutamente aire
libre, limpia ya la temperatura correcta.
La fuente tambin debe cuidar de la foto resistir la dosificacin en la pantalla.
Contenedor
Con el fin de inspeccionar la foto resisten calidad, el tanque (recipiente) ser transparente. La cubierta tiene que
ser desmontable para limpiar el depsito fcilmente.
Filtracin
Para asegurarse de que la foto resistir es absolutamente libre de suciedad, tiene que ser filtrada continuamente. El
recipiente se divide en dos compartimentos por lo que la foto resistente puede ser bombeado (por una bomba de
circulacin) desde el compartimiento de "sucio" para el compartimiento de "limpia" a travs de un sistema de filtro.
La filtracin no debe ser detenido a menos que sea por razones de mantenimiento.
Control de la temperatura
La foto resistir espesor de la capa depende de la temperatura. Debido a que las pantallas tienen una temperatura
ms alta cuando son tratados con la foto resistir, resistir la foto se calienta ligeramente. La unidad de alimentacin
debe tener un sistema de enfriamiento para mantener la foto resistir a la temperatura adecuada.
Control de nivel
Para obtener una buena calidad de la foto resistir el nivel en el recipiente ser tan estable como sea posible. La
funcin de control de nivel de la unidad de suministro avisa al operador cuando el nivel de la foto resistir es
demasiado bajo. Llenado del recipiente ser posible forma manual y automtica (opcional).
Dosificacin
Dosificacin de la cantidad necesaria de la foto resisten tambin debe ser establecido por la unidad de
alimentacin (bomba dosificadora). La presin de pulverizacin tiene que ser ajustado de tal manera que la
pantalla estar totalmente recubierto con foto resistente.
No est permitido para vaciar la bomba dosificadora completamente durante la produccin, porque esto provoca
salpicaduras en la pantalla.
La cantidad en exceso puede fluir de nuevo en el compartimiento de "sucio" del tanque. Para cada unidad se
suministra habr una bomba de dosificacin controlable separada
Filling Extent
Proportioning pump EMPTY
Spraying Photo ON
resist (valve) OFF
Proportioning pump
filling
tf tf
MANUAL FILLING Lhigh
Level control
Llow
Lalarm
Auto filling ON
OFF
taf
Circulation pump ON
OFF
Parmetros
Artculo Observaciones Alcance
Punto de ajuste de temperatura 0 - 30 C
Presin de la bomba de circulacin 0 - 6 bar
Presin de la bomba dosificadora -1-6 Bar
Flujo de Circulacin 600-1200 l / h
tf: tiempo de llenado de la bomba Fijo 10 seg
dosificadora
Llow: Foto de bajo nivel resistir 0 - 100%
LHigh: Foto resistir alto nivel 0 - 100%
LAlarm: Foto resistir alarma de nivel Nivel por debajo del mnimo 0 - 100%
Detector de caudal mnimo 600-1200 l / h
taf: Recarga de tiempo de retardo Fijo 15 minutos
Tiempo despus del nivel mximo no est
CLASE. NO. ESPECIFICACIONES DE RENDIMIENTO 1 --------
Los ngeles
------------- Recubrimiento previo y matriciales de lneas Xxxx xxx xxxx
------------- 25V JUMBO GRANDES
NOMB J. VD Wouwer SUPERS. 67 SH. SH. 190 -36 10 98 A4
RE
DATOS WORD 8.0 PROG PLATF
Kan CAD VER FECHA 2000-03-22 Philips Electronics N.V.
sas
7322 055 91280 - WORD
activo antes de que comience el llenado
automtico
Servicio funciones
Funcin Observaciones
Bomba de circulacin ON / OFF Acoplamiento rpido
Dosificacin bomba ON / OFF Acoplamiento rpido
El flujo de retorno Para compartiment sucio o para drenar para la limpieza de las
unidades de proceso
Funciones
General
Esta unidad de alimentacin se utiliza para alimentar las unidades de revestimiento de grafito (3 unidades).
Se hizo para contener una cierta cantidad de la suspensin de grafito. Adems, la unidad de suministro ser capaz
de mantener la suspensin de grafito en un buen estado (filtrada).
La fuente tambin debe hacerse cargo de la administracin de grafito en la pantalla. La densidad y el valor del pH
no necesitan ser controlados por la unidad de suministro de s mismo (fuera de lnea de procedimiento).
Contenedor
Con el fin de inspeccionar la calidad de la suspensin de grafito, el tanque (recipiente) debe tener algunas
inspecciones tapas. La cubierta tiene que ser desmontable para limpiar el tanque.
Filtracin
Para asegurarse de que la suspensin de grafito es absolutamente libre de suciedad, tiene que tamizar
continuamente. El recipiente se divide en dos compartimentos por lo que la suspensin de grafito puede ser
bombeado (por una bomba de circulacin) desde el compartimiento de "sucio" para el compartimiento de "limpia" a
travs de un sistema de filtro. La filtracin no debe ser detenido a menos que sea por razones de mantenimiento.
Agitacin
Para asegurarse de que la suspensin de grafito es homognea que se agit continuamente y nunca debe ser
detenido a menos que sea por razones de mantenimiento.
Control de nivel
Para obtener una buena calidad de la suspensin de grafito el nivel especialmente en el compartimiento de
"limpia" del contenedor ser lo ms estable posible. La funcin de control de nivel de la unidad de suministro avisa
al operador cuando el nivel del grafito es demasiado bajo. Llenado del recipiente slo debera ser posible de forma
manual.
Dosificacin
Dosificacin de la cantidad necesaria de la suspensin de grafito tambin debe ser establecido por la unidad de
alimentacin (bomba dosificadora). La presin de pulverizacin tiene que ser ajustado de tal manera que la
pantalla estar totalmente recubierta con grafito.
La cantidad en exceso puede fluir de nuevo en el compartimiento de "sucio" del tanque.
Para cada unidad se suministra habr una bomba de dosificacin controlable separada
Refrescante
Despus de un cierto perodo de tiempo sin pantallas de procesamiento de las bombas dosificadoras tiene que ser
completamente vaciado y llenado de nuevo para evitar la sedimentacin de partculas de grafito.
Parmetros
Artculo Observaciones Alcance
Velocidad de agitacin Fijo 24 rpm
Presin de la bomba de circulacin Graphite supply unit 0 - 6 bar
Presin de la bomba Proporcin -1 A 2,5 bar
FULL
ON
Strirring
OFF
Circulation pump ON
OFF
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Bomba de circulacin ON / OFF Acoplamiento rpido
Agitacin ON / OFF Interruptor de Trabajo
Derivacin Circulacin Filtrar limpieza
Volver Flow Para compartiment sucio o para drenar para la limpieza de las
unidades de proceso
Dosificacin bomba ON / OFF Acoplamiento rpido
CLASE. NO. ESPECIFICACIONES DE RENDIMIENTO 1 --------
Los ngeles
------------- Recubrimiento previo y matriciales de lneas Xxxx xxx xxxx
------------- 25V JUMBO GRANDES
NOMB J. VD Wouwer SUPERS. 67 SH. SH. 190 -39 10 98 A4
RE
DATOS WORD 8.0 PROG PLATF
Kan CAD VER FECHA 2000-03-22 Philips Electronics N.V.
sas
7322 055 91280 - WORD
CLASE. NO. ESPECIFICACIONES DE RENDIMIENTO 1 --------
Los ngeles
------------- Recubrimiento previo y matriciales de lneas Xxxx xxx xxxx
------------- 25V JUMBO GRANDES
NOMB J. VD Wouwer SUPERS. 67 SH. SH. 190 -40 10 98 A4
RE
DATOS WORD 8.0 PROG PLATF
Kan CAD VER FECHA 2000-03-22 Philips Electronics N.V.
sas
7322 055 91280 - WORD
3.19 UNIDAD DE ALIMENTACIN DE ALTA FRECUENCIA
Funciones
General
Esta fuente se utiliza para alimentar la unidad de grabado borde Seal. (2 unidades)
Se hizo para contener una cierta cantidad de HF-cido. Adems, la unidad de suministro ser capaz de mantener
el HF-cido en un buen estado (filtrada).
La fuente tambin debe cuidar de la alimentacin HF-cido a la unidad de proceso.
Contenedor
La cubierta tiene que ser desmontable para limpiar el tanque.
Filtrado / suministro
Para asegurarse de que el HF-cido est libre de suciedad, tiene que ser filtrada continuamente y debe ser nunca
dej a menos que sea por razones de mantenimiento.
El cido se bombea mediante una bomba de circulacin desde el depsito en la bandeja dentro de la unidad de
grabado borde de sellado. Despus de pasar un desbordamiento en la unidad de proceso, que fluir de vuelta a la
unidad de suministro (flujo natural) donde entra en un sistema de filtro. Despus de pasar el sistema de filtro de la
HF-cido se almacena en el tanque.
La velocidad de flujo (capacidad de la bomba) tiene que ser ajustable de tal manera que la cantidad de HF-cido
en la unidad de proceso se est actualizando una a dos veces cada hora.
Control de nivel
La funcin de control de nivel de la unidad de suministro avisa al operador cuando el nivel de la HF-cido es
demasiado bajo. Llenado del recipiente ser posible manualmente, as como automticamente.
HF supply unit
Lhigh
Automatic filling ON
(Warning to Operator) OFF
Circulation pump ON
OFF
Parmetros
Artculo Observaciones Alcance
Caudal de la bomba de circulacin Fijo 40-200 l / h
Llow: HF bajo nivel Nivel de llenado mnimo, fijado
LHigh: HF alto nivel Nivel mximo de llenado, fijado
LAlarm: alarma de nivel HF Nivel por debajo del mnimo, fijo
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Bomba de circulacin ON / OFF Interruptor de Trabajo
Funciones
General
Se necesita esta unidad de suministro para alimentar a la unidad de grabado HNO3 (2 unidades).
Se hizo para contener una cierta cantidad de cido. Adems, la unidad de suministro ser capaz de mantener el
cido en un buen estado (filtrada).
La fuente tambin debe cuidar el aporte de cidos a la unidad de proceso.
Contenedor
La cubierta tiene que ser desmontable para limpiar el tanque.
Filtracin
Para asegurarse de que el cido est libre de suciedad, tiene que ser filtrada continuamente y se debe nunca dej
a menos que sea por razones de mantenimiento.
El cido se bombea mediante una bomba de circulacin desde el tanque a un sistema de filtro.
Despus de pasar el sistema de filtro el cido se almacena en el tanque.
Suministrar
Cuando se procesa una pantalla, una vlvula tiene que suministrar la unidad de proceso con cido durante un
periodo de tiempo controlado. Este flujo de dosificacin tiene que ser ajustable (restringido por razones de
seguridad) y ser tomada de la bomba de circulacin. El caudal de circulacin tiene que ser fijo.
La cantidad en exceso de cido (que se ha inyectado en la pantalla) fluye de nuevo a la unidad de suministro (flujo
natural). Se entra en el sistema de filtro de la unidad de suministro.
Control de nivel
La funcin de control de nivel de la unidad de suministro avisa al operador cuando el nivel del HNO3-cido es
demasiado bajo. Llenado del recipiente ser posible manualmente, as como automticamente.
Lhig h
Level
control Llow
Lalarm
Automatic
filling ON
(Warning to OFF
Operator)
Circulation ON
pump OFF
Supply acid to ON
unit OFF
Parmetros
Artculo Observaciones Alcance
Flujo de Circulacin Fijo 1000 l / h
Flujo proporcional 400-1200 l / h
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Bomba de circulacin ON / OFF Interruptor de Trabajo
Funciones
General
Se necesita esta unidad de suministro para alimentar las unidades de desarrollo de HP.
Se hizo para contener una cierta cantidad de agua desmineralizada. Adems, la unidad de alimentacin debe
controlar las bombas de alta presin y el nivel del tanque.
Contenedor
La cubierta tiene que ser desmontable para limpiar el tanque.
Habr un desbordamiento que se puede conectar a un drenaje.
Filtrado / circulacin
No hay ningn filtrado y la circulacin de la demi-agua en el tanque.
Suministrar
Cuando se procesa una pantalla, el HP-bomba correspondiente se encender. El suministro de esta bomba est
conectada al depsito de agua. La presin del agua ser ajustable.
Control de nivel
Llenado del depsito se har automticamente durante la produccin. Debido a la gran cantidad de agua
necesaria para cada ciclo del proceso, el llenado manual no es posible. En consecuencia, el tanque de agua se
conecta a un sistema de tuberas de agua central Demi. Con los medios de detectores ser controlado el nivel.
Lhigh
Level control
Llow
Automatic filling ON
OFF
tr
Supply HP- ON
developing unit OFF
ON
High Pressure pump OFF
Parmetros
Artculo Observaciones Alcance
La presin del agua Ajustable en HP-bomba, sino tambin el tipo de 1-25 bar
boquilla depende
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
No disponible
Funciones
General
Se necesita esta fuente para alimentar la unidad de pulverizacin rotativo PVA en la lnea matriz.
Se hizo para contener una cierta cantidad de suspensin de PVA. Adems, la unidad de suministro ser capaz de
mantener el lquido en buenas condiciones (filtrada).
La fuente tambin debe hacerse cargo de la oferta PVA a la unidad de proceso.
Contenedor
La cubierta tiene que ser desmontable para limpiar el tanque.
Filtracin
Para asegurarse de que la suspensin de PVA es libre de suciedad, tiene que ser filtrada continuamente y se debe
nunca dej a menos que sea por razones de mantenimiento.
El PVA se bombea mediante una bomba de circulacin desde el tanque a un sistema de filtro.
Despus de pasar el sistema de filtro del PVA se almacena en el tanque.
Suministrar
Cuando se procesa una pantalla, una vlvula tiene que suministrar la unidad de proceso con la suspensin de
PVA durante un perodo de tiempo controlado. Este flujo de dosificacin tiene que ser ajustable (restringido por
razones de seguridad) y ser tomada de la bomba de circulacin. El caudal de circulacin tiene que ser fijo.
La cantidad en exceso de la suspensin de PVA (que se ha inyectado en la pantalla) fluye de vuelta a la unidad de
suministro (flujo natural). Se entra en el sistema de filtro de la unidad de suministro.
Control de nivel
La funcin de control de nivel de la unidad de suministro avisa al operador cuando el nivel de la suspensin de
PVA es demasiado bajo. Llenado del recipiente ser posible manualmente, as como automticamente.
Lhigh
Level
control Llow
Lalarm
Automatic
filling ON
(Warning to OFF
Operator)
Circulation ON
pump OFF
Supply PVA to ON
unit OFF
Parmetros
Artculo Observaciones Alcance
Flujo de Circulacin Fijo 1000 l / h
Flujo proporcional 400-1200 l / h
Llow: PVA de bajo nivel Nivel de llenado mnimo, fijado
LHigh: PVA de alto nivel El nivel mximo de llenado. fijado
LAlarm: alarma de nivel de PVA Nivel por debajo del mnimo. fijado
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
Bomba de circulacin ON / OFF Interruptor de Trabajo
General
Un lquido bastidor servicio pertenece a una unidad de proceso. La parte de control (software) se integrar en la
unidad de proceso.
Deteccin de Flujo
Para asegurarse de que la velocidad de flujo a la posicin de proceso es suficiente habr una deteccin de flujo.
Dependiendo de la condicin de la vlvula (apertura, cierre) habr flujo a la unidad de proceso o para el retorno
despus de un tiempo especificado (retraso de la deteccin).
PARMETROS
Artculo Observaciones Alcance
Tasa de flujo de lquido a la unidad ajustable en la vlvula, dependiente de 0-200 o
Aplicacin
0-400 o
0-1000 / h /
Caudal lquido para volver ajustable en la vlvula, dependiente de
Aplicacin
Retraso de deteccin Fijo 2 segundos
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
No disponible
General
Un servicio de aire bastidor pertenece a una unidad de proceso y ser directamente (elctrico) conectado a dicha
unidad. La parte de control (software) se integrar en la unidad de proceso.
Deteccin de Flujo
Para asegurarse de que la velocidad de flujo a la posicin de proceso es suficiente habr una deteccin de flujo.
Dependiendo de la condicin de la vlvula (apertura, cierre) habr flujo a la unidad (o no) despus de un tiempo
especificado (retraso de la deteccin).
PARMETROS
Artculo Observaciones Alcance
Velocidad de flujo de aire ajustable en la vlvula 5-45 Nm3 / h
Retraso de deteccin Fijo 2 segundos
Funciones de servicio
Funcin Observaciones
No disponible
pasar de una posicin de proceso (seleccin) a una posicin siguiente proceso (lugar)
pasar de una posicin de proceso (seleccin) a varios otros (lugar)
pasar de varios cargos de proceso (seleccin) a otro (lugar)
Tr02
p01 p03 p05
p04
Tr01 Tr02
PICK
REST
Horizontal position PRE
PLACE
UP
Lift Movement
DOWN
3.26 PARMETROS
Una vez carretillas pueden entrar en las zonas de carga y descarga de la mecanizacin vecino (robots, otras reas
de la matriz), habr una deteccin cuando un carro entra en el rea comn. De esta manera se puede evitar la
colisin.
Avantages son:
- Es ms fcil para probar
- En caso de trastornos, la lnea puede ser vaciado despus de MIM
- La segunda parte de la lnea puede ir ms rpido
Una desventaja es que las dos secciones tienen que ser sincronizados.
La mscara de transporte puede dividirse fsicamente en dos partes. Las mscaras tienen que ser transportados
desde el principio de la lnea (posicin de carga) a la mquina de insercin mscara (1) y de la mscara de
extraccin de la mquina hasta el final de la lnea (posicin de descarga). La carga de la mscara a la MIM, la
descarga de la MEM y descarga de la lnea se har por un estarcido de transferencia (que consiste en un
dispositivo, dispositivo de manipulacin de la mscara de elevacin y una unidad)
3.31 FUNCIONES
* Debido a la flexibilidad limitada por las exigencias de sincronizacin del transporte de pantalla de matriz de lnea,
hay una fuerte necesidad de un sistema de transporte de la mscara de la llamada "libre de energa y '.
GENERAL
Este captulo se centra en los diferentes temas relacionados con el sistema de control.
Se considerar que la capa preliminar y sistema de control de la lnea matriz como una estacin de trabajo (WS),
dividido en secciones.
La siguiente figura muestra una descomposicin del sistema de control de la lnea de capa preliminar y matriz. La
pantalla y equipo de lavado Mask se integrarn en la lnea de capa preliminar y Matrix. Sincronizacin de todas las
piezas de equipo se llevar a cabo por la estacin de trabajo de enrutamiento y control, denominado "controlador
maestro". Manipulacin de datos no relacionados con el control de la lnea se ejecutarn por el manejo de datos
de estaciones de trabajo, denominado "ccsme".
PROCESS
TRANSPORT PROCESS TRANSPORT
Short precoat Buffer Control
Part 1 Black Matrix Part 2 Part 2
Black Matrix Part 1
PROCESS
Screen/Mask washing
TRANSPORT PROCESS TRANSPORT
Mask Part1 Exposure Mask Part2
PROCESS
Mask Extraction (MEM) 2x
PROCESS
Mask Insertion (MIM) 2x
PROCESS
Mask Extraction (MEM) 2x
PROCESS
Inspection
Decomposition diagram
Equipment overviews/
Error reports/ pareto EquipmentPerformance CAM Messages
Indicator
receipe files
CAM
Error/Event Logging & Equipment
CAM Control data
Parameter handling reporting Monitoring
WS-Level
products in line
Database
WS_Router
WS_control
AM_Parameters
AM_status
Manipulacin de datos de estaciones de trabajo: El sistema de control de nivel superior (basado en PC) que
ejecuta la funcin, tales como:
Administracin de parmetros (recetas, cambios descargar. Guardar, cargar y exportar / importar)
El registro de errores / eventos (informes, cartas, ayudan en caso de error)
El procesamiento de los datos relacionados con el producto para el sistema de base de datos de
fbrica (CAM)
Visualizacin de los equipos de estado de las clulas / seccin y unidad
Unidad de proceso: Una unidad que lleva a cabo una etapa de proceso como se indica en la especificacin del
proceso en la pantalla. Se interacta por medio de actuadores y sensores. Ambos pueden ser sencillos como
los interruptores y vlvulas, as como otras ms complejas como servo-unidades de medida y unidades.
Compacto AM: Mdulo de software independiente, que controla todas las funciones de una unidad de proceso.
Servicio bastidores conectados a una unidad de proceso ser una parte de esa unidad de proceso.
Tranva: Unidad de transporte que ejecuta la manipulacin del producto interno (pantalla): coger un producto
de una unidad de proceso y ponerlo en otro. Un carro consta de un dispositivo de elevacin y uno o ms
dispositivos de manipulacin de la pantalla. Uno o ms carros de acoplado con slo una unidad se define
como una unidad de transporte.
Control de ejecucin Transporte: Mdulo de software relacionado con una seccin de transporte (mdulo de
automatizacin), que controla todas las funciones de un carro (s).
La unidad de suministro: Una unidad, que realiza todas las manipulaciones de un lquido de proceso: como el
control de temperatura, velocidad de flujo, filtrado, control de nivel y el flujo a la unidad de proceso. Se va a
reaccionar como un esclavo de la unidad de proceso.
Conductor: mdulo de software independiente, que controla todas las funciones de una unidad de suministro u
otro dispositivo.
Para el Precaot y Matrix-line las Interfaces hombre-mquina (HMI) se pueden dividir en 4 niveles:
Nivel de lnea: Sistema de monitoreo de equipo (EMS)
Nivel de lnea: Lnea de control HMI
Nivel de seccin: Seccin de control HMI
Nivel de la unidad: Mdulo HMI
Parada de emergencia.
Power ON / OFF para cada seccin.
Inicie la funcin autoreset a nivel de lnea, el establecimiento de todas las secciones en posicin inicial (en la
condicin de que ninguna de las funciones automticas o funciones de servicio estn activos).
Inicio automtico (con la condicin de que el modo de lnea es automtica y en posicin de reposo).
Parada automtica: acabado ciclo del proceso actual, pero no iniciar uno nuevo, esperar en la posicin inicial.
Restablecer todos los errores activos actualmente. Esto significa que el estado de todos los errores activos se
restablece. Para los errores en las causas para el error persiste, se establecer de nuevo la condicin de error.
Restablecer un error. El estado de un error especfico se pone a cero.
PROCEDIMIENTOS DE FUNCIONAMIENTO
El procedimiento de encendido para la lnea ser sencillo para el operador. Todas las acciones que se realizarn
en el armario de control central (controlador Master). Los mensajes relativos a este procedimiento se muestran en
el panel de control de lnea con la ayuda de el sistema de monitoreo de equipo (EMS).
En caso de avera, un mensaje se mostrar en el sistema de los equipos de vigilancia (EMS) con un texto claro (y
figura) sobre la causa (s) de la avera.
El EMS tambin indica cmo reaccionar ante esta ruptura. En algunos casos es posible resolver los problemas de
forma inmediata mediante el establecimiento de un detector en la posicin correcta. En otros casos (problemas
graves) el software de control se apaga la alimentacin. En todos los casos, el software de control puede decidir
continuar despus de una accin del operador (reset de errores) o cuando las condiciones de error han
desaparecido (sin manejo del operador).
Reinicio despus de una avera a nivel de lnea se realizar mediante la activacin de la funcin de reposicin
automtica o la funcin automtica (segn el estado de la lnea). Procedimiento como se describe en el prrafo 6.1
UNIDAD DE TRANSPORTE
El reinicio de una unidad de transporte, tras una ruptura se har por un "error reset 'en la lnea de control de Su
Majestad y el SME. La accin de la unidad de transporte se inicia de nuevo, y si se cumplen las condiciones, la
secuencia contina. En caso de colisin entre las unidades de transporte de la energa de la parte correspondiente
se apagar. El vaciado de la lnea ser posible en esta situacin.
UNIDAD DE PROCESO
El reinicio de una unidad de proceso despus de una ruptura se har por un "error reset 'en el panel de control de
la lnea y el SME. La accin de la unidad de proceso se inicia de nuevo y si se cumplen las condiciones, la
secuencia contina. En caso de error grave (fusible roto) la unidad de proceso no puede continuar. Este caso de la
lnea se iniciar la funcin de vaciado (posicin est desactivado). Despus de la resolucin de una crisis seria y
un "error reset 'la unidad de proceso se reiniciar (funcin de reinicio automtico) y est listo para continuar en
automtico.
LA UNIDAD DE SUMINISTRO
El reinicio de una unidad de alimentacin despus de un fallo se har por un "error reset 'en el mando a HM line y
EMS. La fuente de comenzar la inicializacin (reset automtico) cuando las condiciones de error ha desaparecido.
Las funciones automticas se inician automticamente (sin intervencin del operador) despus de la finalizacin
del procedimiento de inicializacin.
6.6 DEFINICIONES
Todos los posibles errores identificados por la lnea matriz se dividen en 4 categoras de errores.
Cat error. 1: Advertencias; estos no influyen en el flujo del programa; la secuencia activa contina
Cat error. 2: Los errores de esta categora har que el programa se detenga en la posicin del prximo
definida "(estable). (Fin de ciclo automtico). El programa espera a que la condicin de error a desaparecer y
por un error-reset (por el operador).
Cat error. 3: Los errores de esta categora se detendr la secuencia inmediatamente. Esto significa que no se
pueden iniciar nuevos movimientos. El programa espera a que la condicin de error a desaparecer y por un
error-reset (por el operador).
Cat error. 4: emergencia. En general, esto significa que la potencia de los actuadores se desconecta. En
algunos casos de emergencia sin embargo requiere de diferentes acciones (una prensa se levantar en caso
de emergencia).
En cualquier caso se detendr el programa automtico, el problema debe ser resuelto y la reposicin automtica-
funcin debe ser ejecutado antes de modo automtico puede ser iniciado de nuevo.
La respuesta de estas categoras de errores ser diferente para funciones de la unidad y las funciones de nivel de
lnea. Por ejemplo: un detalle de una unidad de proceso (cat error 4) dar lugar a un error de la categora 1 de
nivel de lnea (que se ejecuta en una menor produccin o vaciado de la lnea).
Para llamar la atencin del operador para situaciones de alarma varias lmparas de advertencia (diferentes
colores) se montarn que ser claramente visible desde todos los puntos de la lnea. Tambin zumbadores en el
panel de llamarn la atencin sobre el operador para situaciones excepcionales.
Mensajes sobre el estado de la lnea (o parte de ella) sern presentados por el ccsme (coloracin dinmica del
estado) y la lnea de control HMI (texto). Alquiler de mensajes de error emplaning (con informacin de ayuda
adicional) ayudarn al operador a encontrar y resolver los problemas lo ms rpido posible.
En caso de que una unidad est apagada (cuando defecto o detenido por razones de mantenimiento) se
ejecutarn uno de los siguientes procedimientos:
Notas:
I. Una alarma en una de las unidades (proceso) puede tener consecuencias en la manipulacin del producto
II. Continuar con el proceso de salida inferior a lo normal puede hacer que el producto rechaza en la entrada
de la lnea.
III. Las advertencias no se detendrn o influir en la produccin normal. Son indicios de que la condicin de la
lnea no es ptimo y que la ayuda puede ser necesaria para evitar que la lnea de detener el tiempo.
PARADA DE EMERGENCIA
Botones de parada de emergencia y los cables a lo largo de la lnea, incluyendo MIM, MEM, el transporte y la
mscara de robots.
Todas las paradas de emergencia de la lnea debern estar conectados a un sistema, la activacin de una
parada de emergencia dar lugar a una parada de la lnea completa.
Indicacin del botn de emergencia que se activa.
En caso de una parada de emergencia:
detener todos los movimientos durante el transporte as como el proceso
el apagado de los actuadores (vlvulas en situacin segura en caso necesario)
todos los dispositivos de manejo de la pantalla a una "situacin hold'-
aire comprimido no se apaga
LOS PROFUNDOS
Para evitar situaciones peligrosas, las mecanizaciones crticos (externo) (como robots, mscara de transporte,
MIM, MEM o exposicin) ser custodiado por la barandilla de seguridad (local) y en caso de avera no se permiten
movimientos en la zona comn. Cuando sea necesario, la lnea ser vigilado con la ayuda de la deteccin
transparente.
6.11 AVERAS
Vlvulas de ir a una posicin segura o fijarn hay posicin actual. Se har una buena seleccin de pulso y
vlvulas continuas.
En caso de un corte de corriente en slo una parte de la lnea de las otras partes continuarn cuando sea
posible. Debido a esta zona de seguridad se colocan sensores.
El transporte se detuvo. Puesta en marcha est indicado por el operador.
Si hay un corte de corriente durante un perodo de tiempo ms largo las pantallas son rechazados.
En caso de no aire comprimido o vaco durante la produccin se inicia una alarma (categora de error 3).
Carros se detienen.
El modo automtico se desactiva y deshabilita.
Si es necesario, determinados puestos de proceso rechazarn pantallas.
En caso de un vaco cortar todas las pantallas se colocan hacia abajo cuando sea posible. Posiciones
rotativas se detienen. Estas precauciones se hacen para proporcionar pantallas de caerse.
En caso de avera, la unidad de esta unidad ser la posicin desactivada "para que la carga y descarga se
omite.
Generar alarma (categora de error 4).
Finalizar los productos en curso de las unidades defectuosas al final de la lnea.
MLIS
CAM System
Buffer/ reject
washing
Screen
Exp Exp
MIM A MIM B MEM A MEM B
[1-3] [4-6]
washing
Mask
R2 Mask Transport
MEM A
R1
MEM B
8. EVALUACIN DE RIESGOS
9. ASPECTOS AMBIENTALES