SENSOR DE FOLGA E MTODO DE MEDIO

DE FOLGA

CAMPO TCNICO
5 A presente inveno refere-se a um sensor de folga e a
um mtodo de medio de folga para detectar uma folga, em
particular, folgas distribudas pela superfcie entre as
superfcies de membros que se defrontam um com o outro.

10 TCNICA ANTERIOR
Na tecnologia de construo de navios, aeronaves, entre
outros, a fixao de um painel externo a uma parte interna
requer o alinhamento das posies relativas. Por exemplo,
uma asa principal de uma aeronave possui uma estrutura de
caixa incluindo vigas e nervuras. Uma parte de extremidade de
base da asa principal possui uma estrutura de armao que
ser unida a uma fuselagem. A fuselagem possui uma parte de
fixao (suporte) substancialmente incluindo uma estrutura
cilndrica para receber a parte de extremidade de base da asa
principal. A parte de extremidade de base da asa principal
inserida na parte de fixao e unida mesma para formar uma
estrutura do tipo "caixa de ch. A parte de fixao da
fuselagem construda para possuir dois membros de placa que
retm entre os mesmos um membro de placa constituindo a parte
de extremidade de base da asa principal. A superfcie do
membro de placa da parte de extremidade de base defronta-se
com os membros de placa da parte de fixao com uma folga de
aproximadamente vrios milmetros entre eles. Cada um dos
membros de placa feito de um material condutor, tal como
liga de alumnio e fibra de carbono. No trabalho de unio da
fuselagem e da asa principal, elas so alinhadas e ajustadas
uma outra para estabelecer uma relao de posio
predeterminada. Em seguida, um espaador ajustado forma da
folga inserido na folga e unido aos membros adjacentes.

November 23, 2017 -1

 O mesmo realizado quando se fabrica uma fuselagem com a
preparao separada de uma fuselagem frontal, uma fuselagem
central e uma fuselagem traseira, unindo-as em um nico
corpo. As tcnicas relacionadas incluem, por exemplo, a
Publicao de Patente JP No 4832512 e a Publicao do Pedido
de Patente JP No-Examinado N o 2015-79979.

SUMRIO DA INVENO
Problema a serem Solucionados pela
Inveno
Aps serem alinhados um com o outro, o membro de placa da parte
de extremidade de base da asa principal e os membros de placa da
parte de fixao da fuselagem definem folgas em posies unidas.
As folgas so medidas em mltiplos pontos com um sensor de folga
(um medidor de folga, um medidor de espessura) para obter dados
tridimensionais sobre a forma de um espao de folga para
determinar a forma do espaador.
Um sensor de folga eletrnico empregando um sensor de
capacitncia inclui uma sonda que geralmente possui uma
estrutura alongada e dispe, em seu lado de extremidade
frontal, de eletrodos de deteco planos. Quando os
eletrodos so dispostos em cada face da sonda, cada face de
cada camada de eletrodo dever ser coberta com um padro de
guarda. A saber, seis camadas condutoras no total devero
ser preparadas. Isto restringe o desgaste da sonda. Nos
ltimos anos, o processamento de material em chapa em press
die para navios, aeronaves, carros, entre outros, requer uma
medio tridimensional das folgas para ajustar uma folga
(abertura) entre uma matriz e um puno. H, portanto, o
requisito de medio de folgas menores.
Somente aps a asa principal e a fuselagem serem unidas, as
rodas podem ser instaladas nas mesmas, e, portanto, a medio
de folga dever ser realizada de forma gil e correta para
tornar a fuselagem e a asa principal mveis com as rodas. O
mesmo problema existe no processamento de material em chapa em
press die para navios, aeronaves, carros, entre outros, uma vez
que o ajuste de uma folga (abertura) entre uma matriz e um
puno requer uma medio tridimensional das folgas.
Geralmente, o sensor de folga eletrnico empregando um sensor
de capacitncia aplica um sinal predeterminado, tal como uma
onda retangular, aos eletrodos, e protege ativamente os padres
November 23, 2017 -2
de guarda com uma tenso do eletrodo atravs de um circuito
isolador. Um exemplo de uma sonda ilustrado na Fig. 1(a) inclui
eletrodos de deteco De aos quais um sinal de sonda
aplicado e padres de guarda G1 e G2 que definem o potencial da
periferia e face posterior de cada eletrodo igual a um
potencial do eletrodo. O sinal da sonda aplicado aos
padres de eletrodo E1 e E2 contendo os eletrodos De e
correntes correspondendo s capacitncias dos objetos de
medio so detectados. Um potencial detectado de cada
eletrodo De usado para proteger ativamente o padro de
guarda correspondente G1 ou G2 atravs do circuito isolador,
para tornar o potencial das periferias do eletrodo igual ao
potencial do eletrodo. Esta proteo ativa suprime outros
campos eltricos que no os campos eltricos criados entre os
eletrodos e os objetos de medio, dessa forma melhorando a
preciso de uma medio de capacitncia.
Uma vez que o potencial do eletrodo de medio De'
definido como um potencial de guarda para o padro de
guarda G1 ou G2, impossvel medir simultaneamente uma
pluralidade de eletrodos circundados pelos mesmos
padres de guarda. Isto se deve ao fato de que os
sinais do eletrodo diferem um do outro, e, portanto, os
sinais de guarda correspondentes diferem um do outro
dependendo dos eletrodos.
Meios para Resolver os Problemas.
Em considerao aos problemas mencionados acima, a
presente inveno proporciona um sensor de folga eletrnico e
um mtodo de medio de folga para obter dados de folga que
envolvem erros de medio minimizados e melhor
reprodutibilidade.
De acordo com um aspecto tcnico da presente inveno,
o sensor de folga para detectar, com base em uma tcnica de
medio de capacitncia, folgas entre uma superfcie de um
primeiro membro condutor e uma superfcie de um segundo
membro condutor que se defronta com o primeiro membro inclui
uma sonda estendendo-se na direo de um eixo principal e um
corpo principal.
A sonda possui uma parte de extremidade de base conectada ao
corpo principal e um lado de extremidade frontal provido de
uma pluralidade de eletrodos. A sonda possui uma estrutura de
substrato multicamada na qual uma primeira camada condutora,
uma segunda camada condutora, e uma terceira camada condutora
so laminadas uma sobre a outra. A primeira camada
condutora define uma primeira face da sonda e forma um

November 23, 2017 -3

primeiro grupo de eletrodos em arranjo e uma primeira camada
de guarda eletricamente desconectada do primeiro grupo de
eletrodos. A terceira camada condutora define uma segunda
face da sonda e forma um segundo grupo de eletrodos em
arranjo em uma posio correspondendo ao primeiro grupo de
eletrodos e uma segunda camada de guarda eletricamente
desconectada do segundo grupo de eletrodos. A segunda
camada condutora disposta entre a primeira camada condutora
e a terceira camada condutora e forma um eletrodo de guarda
em uma posio correspondendo ao primeiro e segundo grupo de
eletrodos e padres de linha de sinal eletricamente
desconectados do eletrodo de guarda, os padres de linha de
sinal sendo eletricamente conectados aos eletrodos do
primeiro e segundo grupos de eletrodos, respectivamente. O
corpo principal inclui uma unidade de controle que aplica um
sinal de sonda primeira camada de guarda, ao eletrodo de
guarda e segunda camada de guarda, voltage-clamps, pelo
sinal de sonda atravs dos padres de linha de sinal, aos
eletrodos do primeiro e segundo padres de linha de sinal,
aos eletrodos do primeiro e segundo grupos de eletrodos, e
detecta as correntes de clamp devido voltage clamp, desse
modo medindo as folgas nas posies dos eletrodos.
De acordo com outro aspecto tcnico da presente inveno, o
mtodo de medio de folga para medir, baseado em uma tcnica
de medio de capacitncia, as folgas entre uma superfcie de
um primeiro membro condutor e uma superfcie de um segundo
membro condutor que se defronta com o primeiro membro com o
uso de uma sonda possuindo duas faces nas quais uma
pluralidade de pares de eletrodos e camadas de guarda so
formados em posies correspondentes inclui gerar um sinal de
sonda, aplicar o sinal de sonda s camadas de guarda,
separadamente voltage-clamp os eletrodos da pluralidade de
pares de eletrodos pelo sinal de sonda, medir as correntes de
clamp dos eletrodo e, dessa forma, medir as capacitncias nas
respectivas posies dos eletrodos, e de acordo com as
capacitncias, medindo as folgas nas respectivas posies do

November 23, 2017 -4

eletrodo.

November 23, 2017 -5

20 BREVE DESCRIO DOS DESENHOS
A Figura 1(a) uma vista esquemtica ilustrando as
camadas condutoras em uma parte de eletrodo de acordo com uma
tcnica relacionada e a Fig. 1(b) uma vista esquemtica
ilustrando camadas condutoras em uma parte do eletrodo de
acordo com a presente inveno.

A Figura 2 uma vista superior ilustrando um sensor de

folga de acordo com uma concretizao da presente inveno.
A Figura 3 uma vista esquemtica ilustrando uma
estrutura seccionada de uma parte de eletrodo de uma
sonda de acordo com a concretizao.
A Figura 4 uma vista esquemtica ilustrando um
circuito de controle de uma unidade de controle.
A Figura 5 uma vista esquemtica ilustrando um
princpio de medio de folga pelo sensor de folga.
A Figura 6 uma vista esquemtica ilustrando a
medio de folga pelo sensor de folga.
A Figura 7 uma vista esquemtica ilustrando eletrodos de uma
sonda de acordo com outra concretizao da presente inveno.
A Figura 8 uma vista inferior ilustrando um corpo
principal do sensor de acordo com a concretizao.
MODO DE IMPLEMENTAO DA
INVENO
As concretizaes da presente inveno sero
explicadas com referncia aos desenhos.
A figura 2 uma vista superior ilustrando um sensor de
folga de acordo com uma concretizao da presente
inveno. O sensor de folga 1 possui uma sonda 2 na
qual so dispostos eletrodos para detectar folgas e um
corpo principal 21 que conectado atravs de um
conector 20 que serve de suporte de sonda para a sonda
2. O corpo principal 21 inclui uma parte de control 10
que aplica uma tenso aos eletrodos de deteco da sonda
2 e mede as correntes de deslocamento. A sonda 2
possui uma forma alongada estendendo-se na direo de um
eixo principal (Xc) em um plano XY e inserida em um
espao de folga G para medir as folgas, o espao de
folga G sendo formado entre as superfcies opostas S1 e
S2 dos membros condutores, tais como works. A sonda 2
possui uma placa impressa flexvel 5 provida de uma
parte de eletrodo 3 que inclui um arranjo de pares de
eletrodo 4. O circuito impresso flexvel (FPB) 5 na Fig.
November 23, 2017 -6
 1 possui uma forma alongada estendendo-se na direo do
eixo principal x e uma estrutura de trs camadas. O FPB
5 aplica um potencial predeterminado entre os eletrodos
4 e as superfcies S1 e S2 dos membros condutores a
serem medidos, mede as correntes de resposta, e, de
acordo com as capacitncias obtidas, encontra folgas nas
posies dos eletrodos. As superfcies da sonda 2
incluindo a parte do eletrodo 3 so cobertas com uma
pelcula de enchimento a ser atrada por um m.

<Eletrodo de
Sonda>
As estruturas das faces condutoras na parte de eletrodo
3 da sonda 2 so ilustradas esquematicamente nas Figs. 1(b) e
3. A placa impressa flexvel (FPB) 5 possui um padro de
guarda G1 (uma primeira camada condutora C1) que define uma
face superior (uma primeira face) P1, um padro de guarda G2
(uma terceira camada condutora C3) que define uma face
inferior (uma segunda face) P2, e um padro de sinal Es (uma
segunda camada condutora C2) que retido entre os dois
padres de guarda. O padro de sinal Es um agregado dos
padres de sinal Esi que so conectados eletricamente
separadamente aos eletrodos Ei. Entre as camadas condutoras,
so dispostas camadas de isolamento (no ilustradas). Na
Fig. 1(b), os eletrodos Ei so ilustrados na forma circular
por convenincia. Eles podem ter uma forma opcional, tal
como oval e elipse.

Referindo-se Fig. 3, a parte de eletrodo 3 inclui um

padro de eletrodo E1 que formado na primeira camada
condutora C1 e circundada pelo padro de guarda G1. Entre
o padro de eletrodo E1 e o padro de guarda G1, uma folga
anular gp1 formada para servir de isolador, e, portanto, o
padro de eletrodo E1 e o padro de guarda G1 no so
conectados eletricamente um ao outro. Um padro de eletrodo
E2 formado na terceira camada condutora C3 e circundado
pelo padro de guarda G2. Entre o padro de eletrodo E2 e o
padro de guarda G2, uma folga anular gp2 formada, e,
portanto, o padro de eletrodo E2 e o padro de guarda G2 no
so conectados eletricamente um ao outro.

November 23, 2017 -7

Os padres de eletrodo E1 e E2 so formados na mesma posio
no plano XY e constituem um par de eletrodos.
Na segunda camada condutora C2, um padro de guarda Ge
formado em uma posio correspondendo ao par de eletrodos e
conectado eletricamente por meio dos furos Gb1 e Gb2 aos
padres de guarda G1 e G2, respectivamente. Por outro lado,
o padro de eletrodo E1 conectado atravs de um furo
passante Eb1 a um padro de sinal correspondente Es1 da
segunda camada condutora C2 e o padro de eletrodo E2
conectado atravs de um furo passante Eb2 a um padro de
sinal correspondente Es2. Na segunda camada condutora C2,
folgas so formadas entre os furos passantes Eb1 e Eb2 e o
padro de guarda Ge. Uma pluralidade de pares de eletrodos
so formados na parte de eletrodo 3 e os eletrodos E1 so
conectados atravs dos padres de sinal Es1 aos
amplificadores de clamp de tenso correspondentes VCAi,
respectivamente.

Os padres de guarda G1, Ge e G2 so comuns a todos os

eletrodos (Ei: i = 1, 2, ..., n) (n sendo o nmero dos
eletrodos 4). Por conseguinte, como ser explicado
posteriormente, todos os eletrodos Ei so voltage-clamped de
forma separada e independente pelo mesmo sinal de sonda Vp, e
ao mesmo tempo, os padres de guarda G1, Ge e G2 so
acionados pelo sinal de sonda Vp, de modo que todos os
eletrodos sempre estejam no mesmo potencial. Todos os
eletrodos Ei e os padres de guarda so eletricamente
independentes uns dos outros, e, portanto, esto em um estado
curto-circuitado virtual, mas no so de fato curto-
circuitados. Devido a isto, a estrutura de trs camadas
capaz de medir precisamente as capacitncias. Os eletrodos
Ei so separadamente voltage-clamped, e, portanto, possvel
medir simultaneamente suas correntes de clamp e
simultaneamente obter as capacitncias. A concretizao
ilustrada na Fig. 2 ser explicada partindo do pressuposto de
November 23, 2017 -8
 que ela possui seis pares de eletrodos, isto , o nmero de
eletrodos doze (n = 12).

<Controle de Acionamento
Equipotencial>
A Figura 4 uma vista esquemtica ilustrando um circuito de
controle da unidade de controle 10. O controle do potencial
de guarda e dos eletrodos de acordo com a presente inveno
utiliza uma tcnica de acionamento equipotencial original.
Um gerador de sinal de sonda SG gera uma onda sinusoidal como
um sinal de sonda de referncia Sp.A amplitude do mesmo
controlada por um microcontrolador MC. O sinal de sonda Sp
transmitido atravs de um acionador AMP e aplicado como um
sinal de guarda Vp aos padres de guarda G1, Ge e G2.
Os amplificadores de clamp de tenso (circuitos de clamp
de tenso) VCA1 a VCA12 so conectados atravs dos
padres de sinal Es1 a Es2 aos 12 eletrodos E1 a E12,
respectivamente. Cada amplificador de clamp de tenso
VCAi recebe a sada Vp do acionador AMP como uma tenso
de sonda para voltage-clamp o eletrodo Ei na tenso Vp.
A tenso de sonda Vp uma onda sinusoidal, e, portanto,
o amplificador de clamp de tenso VCAi uma fonte de
tenso varivel.
O amplificador de clamp de tenso VCAi inclui um
amplificador de clamp principal OPia, isto , um amplificador
diferencial (amplificador operacional). Ao receber a tenso
de sonda Vp em um terminal de entrada no-invertido (+), o
amplificador de clamp principal OPia realiza o controle de
realimentao negativo para sempre equalizar uma tenso de
sada de clamp Vfia conectada a um terminal de entrada
invertida (-) com a tenso de sonda Vp. Entre um terminal do
amplificador de clamp principal OPia e o terminal de entrada
invertida do mesmo, um resistor (resistor de deteco de
corrente de clamp) Rsia conectado para detectar uma
corrente de clamp Isi. Uma tenso de terminal do resistor
Rsia capaz de fornecer uma corrente de clamp (corrente de
deslocamento) no momento da voltage-clamping do eletrodo Ei.
A tenso terminal V do resistor Rsia detectada atravs de

November 23, 2017 -9

chaves seletoras SW1 e SW2 e amplificada por um
amplificador diferencial INA para fornecer a corrente de
clamp Iei = V / Rsia.

O amplificador de clamp principal OPia amplificador

diferencial que ligeiramente envolve uma capacitncia de
entrada, uma corrente de polarizao, entre outros, bem como
caractersticas de temperatura e variaes caractersticas. A
capacitncia de um objeto de medio geralmente de
aproximadamente pF ou inferior, e, portanto, as variaes
caractersticas do amplificador diferencial podem causar
grandes erros de medio. Para lidar com isto, um
amplificador diferencial de caractersticas iguais
empregado como um amplificador de clamp de referncia OPib
para compensar outros elementos de erro que no a corrente de
sonda.
Mais precisamente, o amplificador de clamp de tenso
VCAi inclui, alm do amplificador de clamp principal OPia, o
amplificador de clamp de referncia OPib. O amplificador
de clamp de referncia OPib possui um circuito externo que
igual ao do amplificador de clamp principal OPia. Recebendo
a tenso de sonda Vp em um terminal de entrada no-invertida
(+), o amplificador de clamp de referncia OPib realiza o
controle de realimentao negativa para sempre equalizar uma
tenso de sada de clamp VFib com a tenso de sonda Vp. A
tenso de sada de clamp Vfib no possui elemento de carga,
uma vez que no conectada ao eletrodo Ei. Esta a nica
diferena em relao ao amplificador de clamp principal OPia.
Entre um terminal de sada do amplificador de clamp de
referncia OPia e um terminal de entrada invertida do
mesmo, um resistor (resistor de deteco de corrente de
referncia) Rsia conectado para detectar uma corrente
de clamp Iri para a condio sem carga. Uma tenso de
terminal do resistor Rsib capaz de fornecer uma
corrente de clamp de referncia Iri no momento da
voltage-clamping sob a condio sem carga. A corrente
de clamp de referncia Iri reflete outros componentes de
corrente que no uma corrente passando atravs da carga,
isto , o eletrodo. Por outro lado, as tenses de sada
de clamp Vfia e Vfib dos dois amplificadores
operacionais so substancialmente iguais tenso de
November 23, 2017 -10
 sonda Vp no momento da voltage clamping. Por
conseguinte, uma tenso de sonda Voia detgectada pelo
amplificador de clamp principal OPia entendida como
envovlendo a corrente de polarizao Iri relacionando-se
ao amplificador diferencial alm da corrente de clamp
lquida Isi. Por conseguinte, um clculo diferencial
entre as tenses de sada Voia e Voib dos amplificadores
de clamp principa e de referncia OPia e OPib capaz de
fornecer uma corrente de clamp lquida Iei.
The two differential amplifiers OPia and OPib
that form the voltage clamp amplifier VCAi are preferably
operational amplifiers having equal characteristics and
packed in one package to form a dual-type
operational amplifier. To protect inputs to the
differential amplifiers, a resistor may be inserted between
each non-inverting input terminal and each of the clamp
output terminals Vfia and Vfib.

De acordo com a concretizao da Fig. 4, o

microcontrolador MC controla as chaves seletoras (chaves
analgicas) SW1 e SW2 para selecionar sequencialmente um
eletrodo de medio dentre os eletrodos Ei, e o
amplificador diferencial (amplificador instrumentado)
INA realiza um clculo diferencial entre as tenses de
sada Voia e Voib, dessa forma detectando precisamente
uma corrente de clamp para funcionar como um circuito de
deteco de corrente.
As present invention employs the equipotential
driving technique to separately drive electric elements
by the same potential, and therefore, is capable of, in
principle, simultaneously measuring clamp currents of a
plurality of electrodes. The present embodiment
combines one differential amplifier INA
with selector switches to measure
electrode capacitances in time division. Employing one
processing system commonly for all electrodes may
realize stabilized processing and compactness of the
main body 21. According to the present embodiment,
the probe 2 has twelve electrodes in
six pairs. It is possible
to employ a larger number of electrodes.

<Feedback Control of Adaptive Probe Signal and Charge Clamp

Technique>
15 The electrode Ei is a flat electrode and forms a
virtual capacitor (capacitance C) with respect to an

November 23, 2017 -11

 opposing surface to be measured. By measuring the
capacitance, a distance d between the electrode and the
surface can be found as will be explained later.
20 When a potential difference v occurs between the
electrode Ei and the conductive surface S1 or S2, the
surface causes a charge q = Cv. If the potential
difference is of an alternating current, a displacement
current i = C v / t passes through the electrode. The
25 conductive surface in the same area as the electrode shows a
charge of the opposite polarity, and therefore, there is a
relationship of C = S / d where d is the distance between
the electrode and the conductive surface and is a
permittivity of a gap space. Accordingly, measuring the
30 displacement current and finding therefrom the capacitance
of the virtual capacitor results in obtaining the distance d
= S/C. According to the present embodiment, the potential

November 23, 2017 -12

 difference v is controlled by voltage clamp as mentioned
above so that it correctly agrees with the probe signal Vp
which is expressed as Vp(t) = Asin(2 ft).
The amplitude of a clamp current created by an applied
5 probe signal becomes smaller as the capacitance C of a
measuring object becomes smaller, to lower a detection
accuracy. To deal with this, the present embodiment
maintains the amplitude of a clamp current at around a
predetermined level by making the microcontroller MC
10 adaptively control the amplitude A of a probe signal,
thereby improving the measurement accuracy. Keeping the
amplitude of a current constant corresponds to keeping an
accumulated charge as an integral value of displacement
current constant irrespective of variations in the capacitor
15 capacitance. More precisely, if the amplitude of a clamp
current becomes smaller, the microcontroller MC increases
the amplitude of the probe signal Vp serving as a common
potential for the equipotential driving, and if the
amplitude of the clamp current becomes larger, decreases the
20 amplitude of the probe signal Vp.
It is more preferable to feedback-control the prove
signal voltage Vp in such a way as to keep constant the
amplitude of a clamp current that is proportional to a
voltage amplitude coefficient A, so that a capacitance is
25 obtained from an amplitude A of the adaptive probe signal Vp.
This is to feedback-control the magnitude of the probe
signal Vp in such a way as to charge the virtual capacitor
constituted by the measuring object and electrode to a
predetermined capacitance. This is an original charge clamp
30 technique of the present invention based on the electrode
voltage clamp control and equipotential driving control.
According to the charge clamp technique of the present

November 23, 2017 -13

 invention, when the probe signal voltage Vp has an amplitude
A0 with respect to a known corrected reference capacitance
C0 and when the adaptive probe signal voltage Vp has an
amplitude A with respect to an optional capacitance C, there
5 is established a relationship of C/C0 = A/A0. Information
about the amplitude A is directly obtainable by rectifying
and smoothing (integrating) the probe signal Vp.
Accordingly, only by measuring the amplitude A of the
adaptive probe signal voltage Vp under feedback control, the
10 capacitance C can be measured.
According to the present embodiment, the probe signal
Vp is a sinusoidal wave. This does not limit the present
invention. Any waveform is adoptable. Even in such a case,
a capacitance can be obtained from a magnitude of the probe
15 signal voltage Vp needed to charge a predetermined
capacitance.
The configuration of the electrode part of the probe
and the voltage clamp control, equipotential driving control,
and charge clamp control according to the present invention
20 always drive the guard electrodes and all electrodes with a
voltage equal to the probe signal Vp. During the voltage
clamp operation, the potential of an electrode whose clamp
current is being detected is fixed to the probe signal, and
therefore, it is possible to highly stably and precisely
25 measure a gap. A plurality of differential amplifiers INA
may be arranged to simultaneously obtain clamp currents from
a plurality of electrodes.

<Gap Measurement>
30 A gap measuring method employing the gap sensor
according to the present invention will be explained.
Electrodes Ei of each pair in the electrode pair array

November 23, 2017 -14

 4 of the probe 2 are arranged on the top face P1 and bottom
face P2, respectively, at the same position on the substrate
5 and are separately connected through the signal lines Es
to the control unit 10 incorporated in the main body 21.
5 As illustrated in Fig. 5, the probe 2 is inserted into
the gap G and each electrode pair detects capacitances at
the position, to obtain a capacitance between the upper
electrode E1 and the surface S1, and then, a capacitance
between the lower electrode E2, which is at the same
10 position as the upper electrode E1, and the surface S2.
Based on the capacitance data, a distance d1 between the
upper electrode E1 and the surface S1 and a distance d2
between the lower electrode E2 and the surface S2 are
obtained. It is then possible to find a gap d between the
15 opposing surfaces S1 and S2. For each of the electrode
pairs, a similar measurement is successively carried out to
obtain a two-dimensional distribution of gaps d over the
electrode part. The gap data obtained by the gap sensor 1
is transmitted through a communication unit 31 to a
20 controller 30 that processes the data.
The electrode pairs 4 are discretely arranged on the
probe 2. Since a plurality of electrode pairs are arranged,
positions of the electrode pairs and gap data are usable to
compute data relating to an optional position among adjacent
25 electrode pairs. For example, gap data of adjacent three
electrode pairs 4 may be complemented each other to obtain
gap data of an optional position in an area surrounded by
the electrode pairs in question. As a result, the
embodiment reduces the size of the gap sensor and is able to
30 continuously measure a wide gap space and three-
dimensionally displaying the gap space. The probe 2 is
provided with a scale 28 in the direction of the main axis

November 23, 2017 -15

 Xc, and therefore, it is easy to confirm the position
(depth) r of a measuring electrode Ei.
It is assumed that a measuring object whose gap is
measured is made of conductive material such as aluminum
5 alloy and carbon fiber. Even if it is made of nonconductive
material, a gap measurement is possible if the surfaces
thereof are coated or covered with conductive material.
When measuring gaps, it is preferable that electrode
surfaces are in parallel with the measuring surfaces S1 and
10 S2. As illustrated in Fig. 6(a), a magnet 25 may be used to
attract the probe 2 to the measuring surface S1. The
surface of the probe 2 is provided with a magnetic filler
film, and therefore, arranging the magnet 25 to attract the
probe 2 toward the measuring surface S1 realizes a more
15 stable gap measurement.
The present invention employs the original electrode
structure and measures capacitances with the use of the
equipotential driving technique and charge clamp control,
thereby improving the correctness and reproducibility of a
20 measurement of gaps. The equipotential driving technique
according to the present invention uses a probe signal as a
common potential, and therefore, is effective not only to
the three-layer substrate structure of the embodiment but
also to any other structure involving a plurality of
25 electrodes and guard patterns driven by a common potential.
When conducting a gap measurement, the gap sensor 1
must be calibrated. For the calibration, a reference sample
made of aluminum flat plate and having predetermined gaps d0
is used. The predetermined gaps are, for example, 0.5 mm, 1
30 mm, 2 mm, and 3 mm. The metal flat plate and gap sensor 1
are commonly grounded. Into a gap G of the reference sample,
the probe 2 is inserted to measure and correct the gaps d0.

November 23, 2017 -16

 The correction includes correcting the above-mentioned
reference amplitude A0 and the like.

<Other Embodiments>
5 Figures 7 and 8 illustrate a probe 2 according to
another embodiment. The structure of an electrode part
thereof is the same as that of the probe 2 of the embodiment
illustrated in Fig. 2. However, electrode pairs 4a to 4h
are arranged along a main axis Xc of the probe 2 in two
10 zigzag lines and include 16 circular electrodes. The probe
2 is fixed to a main body 21 through a probe support unit
(including a connector) 20 that has a rotary shaft turnable
around an axis Y. If an upper member such as a work is a
plate member, the main body 21 is set on a top surface of
15 the plate member and the probe 2 is folded toward a bottom
face 21B and inserted into a gap G. The probe support unit
20 is vertically movable depending on the thickness of the
plate member. As illustrated in Fig. 6(b), the bottom of
the main body 21 incorporates a magnet 25 to attract the
20 probe 2 to a surface S1 due to magnetism of a filler film of
the probe 2.
A gap measurement is carried out as explained above by
conducting the charge clamp control that applies a probe
signal Vp to equalize a guard potential and the potential of
25 every electrode and measures capacitances between upper and
lower electrodes of each electrode pair 4 to obtain data
about a gap d. The gap measurement is successively carried
out on all of the electrode pairs 4.
Arranged on the bottom face 21B are a rotary encoder
30 23 serving as a position detecting sensor to measure a
moving distance (a relative position) in the direction Y and
a reference position detecting sensor 24 to confirm a

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 reference position in the direction Y. Arranged at regular
intervals in the direction Y on the top surface of the plate
member are barcode markers that are detected by the
reference position sensor 24. The reference position
5 detecting sensor 24 reads reflected light from the markers
and detects a reference position. According to this
embodiment, the probe 2 is turned to be in parallel with the
bottom face 21B of the main body 21. For a gap extending in,
for example, a YZ-plane, the probe 2 may be turned to be in
10 parallel with an axis Z to enable a gap measurement.
According to the present invention, the probe has a
three-layer structure and the electrodes are provided with
common guards, to realize a thin configuration to measure
narrow gaps. The guards are set to a common potential to
15 reduce the number of wires and increase the number of
electrodes to be arranged on a probe. The equipotential
driving control drives all electrodes and guards to an equal
potential to realize a stable and reproducible measurement.
The charge clamp technique enables a capacitance to be
20 measured from the magnitude of a probe signal.

(United States Designation)

In connection with United States designation, this
international patent application claims the benefit of
25 priority under 35 U.S.C. 119(a) to Japanese Patent
Application No. 2017-104083 filed on May 26, 2017 whose
disclosed contents are incorporated herein by reference.

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 CLAIMS

1. A gap sensor for detecting gaps between a surface of a

conductive first member and a surface of a conductive
5 second member facing the first member by use of a
capacitance measuring technique, comprising a probe
extending in the direction of a main axis and a main body,
wherein:
the probe has a base end part connected to the main
10 body and a front end side provided with a plurality of
electrodes;
the probe has a multilayer substrate structure in
which a first conductive layer, a second conductive layer,
and a third conductive layer are laminated one on another,
15 the first conductive layer defining a first face
of the probe and forming an arrayed first electrode group
and a first guard layer electrically disconnected from the
first electrode group,
the third conductive layer defining a second
20 face of the probe and forming an arrayed second electrode
group at a position corresponding to the first electrode
group and a second guard layer electrically disconnected
from the second electrode group,
the second conductive layer being arranged
25 between the first conductive layer and the third conductive
layer and forming a guard electrode at a position
corresponding to the first and second electrode groups and
signal patterns electrically disconnected from the guard
electrode, and the signal patterns being electrically
30 connected to electrodes of the first and second electrode
groups, respectively; and
the main body includes a control part that:

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 applies a probe signal to the first guard layer,
guard electrode, and second guard layer;
voltage clamps the electrodes of the first and
second electrode groups through the signal patterns
5 according to the probe signal; and
detects clamp currents due to the voltage clamp,
thereby measuring gaps at the positions of the electrodes.

2. The gap sensor according to claim 1, wherein

10 the control part includes:
a probe signal generator;
a drive circuit that applies a voltage of the probe
signal to the first guard layer, guard electrode, and second
guard layer;
15 a voltage clamp circuit that separately drives the
electrodes of the first and second electrode groups and
clamps the electrodes to the voltage of the probe signal;
and
a current detecting circuit that detects clamp
20 currents of the electrodes,
the detected currents being used to compute
capacitances and measure gaps.

3. The gap sensor according to claim 1, wherein:

25 a voltage clamp circuit feeds back an error between the
probe signal and the voltage of each electrode, thereby
clamp-controlling the electrode; and
a clamp current detecting resistor connected between a
driving output of the voltage clamp circuit and each
30 electrode supplies a current detected as a clamp current.

4. The gap sensor according to claim 2, wherein:

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 the voltage clamp circuit includes:
a clamp amplifier that conducts the voltage
clamp control according to the probe signal and a clamp
current detecting resistor connected between a driving
5 output and negative feedback input of the clamp amplifier,
an end of the clamp current detecting resistor on the
negative feedback input side being connected to a
corresponding electrode; and
a reference clamp amplifier that is not
10 connected to the corresponding electrode and conducts the
voltage clamp control according to the probe signal and a
reference current detecting resistor connected between a
driving output and negative feedback input of the reference
clamp amplifier; and
15 the current detecting circuit includes a differential
amplifier that computes a difference between the driving
output of the clamp amplifier and the driving output of the
reference clamp amplifier.

20 5. The gap sensor according to any one of claims 1 to 4,

wherein the magnitude of the probe signal is feedback
controlled in such a way as to keep the magnitude of a
detected clamp current constant and computing a
capacitance according to the magnitude of the probe
25 signal.

6. The gap sensor according to claim 4, wherein

the clamp amplifier and reference clamp amplifier related
to each electrode of the first and second electrode groups
30 are contained in one package.

7. A gap measuring method of measuring, by use of a

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 capacitance measuring technique, gaps between a surface
of a conductive first member and a surface of a
conductive second member that faces the first member with
the use of a prove having two faces on which a plurality
5 of electrode pairs and guard layers are formed at
corresponding positions, comprising:
generating a probe signal;
applying the probe signal to the guard layers;
separately voltage-clamp electrodes of the plurality
10 of electrode pairs by the probe signal;
measuring clamp currents of the electrodes and thereby
measuring capacitances at respective positions of the
electrodes; and
according to the capacitances, measuring gaps at the
15 respective electrode positions.

8. The gap measuring method according to claim 7, wherein

the probe signal is a sinusoidal wave whose amplitude is
varied according to the magnitude of the clamp current.
20
9. The gap measuring method according to claim 7, wherein
the amplitude of the probe signal is feedback controlled
in such a way as to keep the magnitude of the clamp
current constant and finding a capacitance according to
25 the amplitude of the feedback-controlled probe signal.

10. The gap measuring method according to claim 8 or 9,

wherein complementing a gap at an optional in-between
position among the electrodes according to the gap
30 distances and electrode-to-electrode distances of
adjacent ones of the electrode pairs.

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 ABSTRACT

A probe (2) is a three-layer substrate having two

faces on which paired electrodes (E1, E2) are formed at
5 corresponding positions and guard patterns (Ge) are formed
around the electrodes. The guard patterns and all
electrodes are driven by a common probe signal (Vp) to an
equal potential, thereby commonly guarding the electrodes.
Based on a clamp current of each electrode, a capacitance is
10 found to obtain gap data.

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