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- IUT Montpellier/Sète – Université de Montpellier -

- Département GEII -
« Parcours Systèmes Electroniques Embarqués »
 - Module   ‘’Circuits pour l’instrumentation –
Capteurs’’ -

Pr. Giani Alain



InsAtut d’Electronique et des Systèmes UMR 5214

Bât.5 – Campus Saint Priest - 1er étage

alain.giani@ies.univ-montp2.fr
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Plan du Cours

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Bibliographie

Document rédigé à partir du cours de M. Bonnet Pierre Université de Lille

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définitions de base
Les fonctions principales de la chaîne d’acquisition sont:
- Extraction de l’information (capteurs et conditionneurs) ;
- Traitement analogique du signal (amplification, filtrage) ;
- Sélection (multiplexeur) ;
- Conversion du signal sous forme numérique (EB; CAN) ;
- Coordination des opérations précédentes assurée par un calculateur
+ divers traitements sur les signaux numériques => linéarisation, correction des
défauts de l’appareillage (dérives thermiques compensées après autozéro et
autoétalonnage par exemple).
Si conditions particulières => ajout de
fonctions supplémentaires comme, par
exemple, la transmission à distance des
signaux:
- par ligne bifilaire, après conversion
tension-fréquence ou tension-courant,
-  par émission hertzienne, en général à
modulation de fréquence ou d’impulsions,
-  par fibre optique après conversion du
signal électrique en signal optique.

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Notion de mesure – Définitions de base

Exemple de chaîne
de mesure analogique:
Surveillance de
l’accélération transversale
d’un TGV

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définitions de base
- Principes physiques de transduction -
On peut distinguer six grandes classes de signaux:

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Notion de mesure – Exemples de capteurs

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Notion de mesure – Exemples de capteurs

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Notion de mesure – Exemples de capteurs

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Notion de mesure – Exemples de capteurs

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Notion de mesure – Exemples de capteurs

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Notion de mesure – Exemples de capteurs

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Notion de mesure – Exemples de capteurs

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Notion de mesure – Exemples de capteurs

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Notion de mesure – Exemples de capteurs

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Notion de mesure – Exemples de capteurs

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Notion de mesure – Exemples de capteurs

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Notion de mesure – Exemples de capteurs

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Notion de mesure – Exemples de capteurs

Arrêt C1 15-16
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Notion de mesure – Définitions de base

Types de capteurs: Capteurs passifs

Définition: les capteurs sont dits passifs lorsqu’ils travaillent par variation de leur
impédance en fonction du mesurande, ils doivent être alimentés par une source
d’énergie extérieure.

Ceux sont des impédances => R , C, L .

Dans l’expression littérale d’une impédance sont présents des termes liés :

- à sa géométrie et à ses dimensions (capteurs de position ou de déplacement),


- aux propriétés électriques des matériaux: résistivité , perméabilité
magnétique µ, constante diélectrique (capteurs de déformations, de pression et
d’accélération).

La variation d’impédance peut être due à l’action du mesurande :


- soit sur les caractéristiques géométriques ou dimensionnelles,
- soit sur les propriétés électriques du matériau,
- soit plus rarement sur les deux.

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Notion de mesure – Définitions de base

Exemple de capteurs passifs:

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Notion de mesure – Exemple de capteur passif

Effet thermorésistif

La résistivité ρ des matériaux dépend de la température T.

C'est l'effet thermorésistif qui peut être utilisé pour réaliser des capteurs
de température. Suivant la nature du matériau utilisé, il peut y avoir deux
comportements différents de la résistivité en fonction de la température.

Thermorésistance CTP (Coefficient de T° Positif):


Ce sont par exemple les métaux (Pt, RhFe, etc.). Leur résistivité en
fonction de T peut être décrite par une approximation polynomiale :

Arrêt C1 16-17

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Notion de mesure – Exemple de capteur passif

Effet photorésistif

Pour certains matériaux, la résistivité électrique ρ dépend du flux


lumineux Jγ incident sur le matériau :

C'est l'effet photorésistif qui permet de réaliser des capteurs de mesure


de flux lumineux.

Robscurité > 10 Mohm ; R(1000 lux) ≈ 100 ohm

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Notion de mesure – Exemple de capteur passif

Effet piézorésistif

Certains matériaux présentent une dépendance de leur résistivité


électrique ρ en fonction des contraintes mécaniques qui leur sont
appliquées, respectivement σl longitudinalement et transversalement σt à
la direction de circulation du courant électrique. La variation relative de
résistivité s'écrit:

avec les constantes de piézorésistivité πl et πt



Jauge de déformation piézorésistive (Strain gage): De par la
configuration géométrique du film piézorésistif, une telle jauge n'est
sensible qu'aux déformations du substrat dans la direction parallèle aux
fils minces.
La variation relative de résistance sous l'effet d'une déformation s'écrit (G
est une constante):
ΔR Δl
=G = Gε
R l

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Notion de mesure – Exemple de capteur passif

Effet capacitif - Capteur mécanique


La capacité électrique C d'un condensateur composé de
Impossible d'afficher l'image. Votre ordinateur manque peut-être de mémoire pour ouvrir l'image ou l'image est endommagée. Redémarrez l'ordinateur, puis ouvrez à nouveau le fichier. Si le x rouge est toujours affiché, vous devrez peut-être supprimer l'image avant de la réinsérer.

deux plaques de surface S distantes de e est donnée par : S


C =ε
d

où εd est la perméabilité diélectrique de la substance


€ placée entre les
plaques (électrodes).

Le déplacement longitudinal ou transversal


d'une des électrodes par rapport à l'autre
modifie la capacité du condensateur:

-  les capteurs capacitifs basés sur la mesure de d permettent des


mesures extrêmement sensibles de déplacement, si do est assez petit.
Ils sont utilisés pour la mesure de très faibles déplacements
(dynamiques), ainsi que dans les microphones à condensateurs.
- les capteurs capacitifs basés sur la mesure de S sont utilisés pour des
mesures précises de plus grands déplacements (micromètres capacitifs).

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Notion de mesure – Exemple de capteur passif

Effet capacitif/diélectrique - Capteur d’humidité

La perméabilité diélectrique εd d'une substance peut dépendre de divers


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paramètres physiques, comme la température. Un effet intéressant pour la


fabrication de capteurs est la dépendance de εd , pour certaines
céramiques, du taux hygrométrique de l'air (% d'humidité dans l'air) :

Cette dépendance permet de réaliser des capteurs capacitifs pour, par


exemple, la mesure du taux hygrométrique dans l'air.

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Notion de mesure – Exemple de capteur passif

Effet d’inductance mutuelle variable - Capteur de déplacement

L'inductance mutuelle, ou couplage magnétique, entre deux selfs peut être


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modifiée en changeant la géométrie du noyau ferromagnétique doux.


Cet effet peut être utilisé pour réaliser des capteurs différentiels de
déplacement.
Ces capteurs sont très couramment utilisés pour les
mesures de déplacement dans les gammes du µm au cm:

Capteur différentiel de déplacement


LVDT
(Linear Variable Differential Transformer)

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Notion de mesure – Définitions de base

Types de capteurs: Capteurs actifs


Définition: les capteurs sont dits actifs lorsqu’ils générent un signal électrique qui
est fonction du paramètre mesuré (mesurande).

Grandeurs générées => V , I , Q

Ils fonctionnent en générateur. Un capteur actif est généralement fondé dans son principe
sur un effet physique qui assure la conversion en énergie électrique de la forme d’énergie
propre au mesurande : énergie thermique, mécanique ou de rayonnement.
Ces capteurs acLfs ont besoin d’un circuit d'adaptaLon pour fournir un signal électrique de mesure
uLlisable.

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Notion de mesure – Exemple de capteur actif

Effet Seebeck- Thermocouple

Considérons le système suivant: un fils conducteur électrique composé de


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trois fils, de deux matières différentes, avec deux soudures placées à des
termpératures différentes.
:

Si le courant traversant ce circuit est nul (I = 0) , l'effet


Seebeck décrit précédemment permet d'écrire :

C'est le principe du thermocouple, qui est très couramment


utilisé comme capteur de température.

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Notion de mesure – Exemple de capteur actif

Effet Seebeck- Thermocouple


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Notion de mesure – Exemple de capteur actif

Effet piézoélectrique - Capteur mécanique


Certains matériaux, dits piézoélectriques, possèdent un fort couplage
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entre les champs de nature électrique E et D et les champs de nature


élastique ε et σ (champs de déformation et champs de contrainte
respectivement). Par exemple, dans la direction x d'un cristal
piézoélectrique, ce couplage se traduit par les équations
phénoménologiques suivantes:

Capteurs de force,
de pression et
d’accélération:

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Notion de mesure – Exemple de capteur actif

Effet photovoltaîque et photoconductif - Capteur optique


Lorsqu'une jonction semi-conductrice est soumise à un
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éclairement, le courant dans cette jonction s'écrit :

Il apparaît un courant Iγ proportionnel à l'intensité


lumineuse qui tombe sur la jonction.
La jonction se comporte alors comme une source de
courant : c'est une cellule photovoltaïque qui peut être
utilisé comme capteur pour la mesure de l'intensité
lumineuse.
Polarisation inverse => foncnt photoconducteur

« Polarisation directe » => foncnt photovoltaique

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Notion de mesure – Définitions de base

Corps d'épreuve

Définition: Le corps d'épreuve a pour fonction de transformer la grandeur à mesurer


(mesurande) en une grandeur physique secondaire (mesurande secondaire) plus
facile à mesurer.
Pour de nombreux capteurs, il peut y avoir plusieurs corps d'épreuve avant la mesure
électrique.

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Notion de mesure – Définitions de base

Jauge de déformation

ΔL ⎛ 1 ⎞⎛ F ⎞
= ⎜ ⎟⎜ ⎟
L ⎝ Y ⎠⎝ A ⎠
ΔR ⎛ ΔL ⎞ ΔR ⎛ K ⎞⎛ F ⎞
= K⎜ ⎟ => = ⎜ ⎟⎜ ⎟
R ⎝ L ⎠ R ⎝ Y ⎠⎝ A ⎠

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définition de base

GRANDEURS D’INFLUENCE
Le capteur peut être soumis à d’autres grandeurs physiques dont les variations sont
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susceptibles d’entraîner un changement de la grandeur électrique de sortie qu’il n’est pas


possible de distinguer de l’action du mesurande.
Par définition, ces grandeurs physiques “parasites“ auxquelles la réponse du capteur peut
être sensible, sont appelées grandeurs d’influence.

Exemples :
- Température pour une jauge de déformation (capteur mécanique)
- Vibrations pour un capteur d’accélération.

Les principales grandeurs d’influences sont :


- la température ð modification des caractéristiques électriques, mécaniques et dimensionnelles
- la pression, l’accélération, les vibrations ð déformations et contraintes
- l’humidité ð variation des constantes diélectriques, des résistivités
- la tension d’alimentation du conditionneur
- les champs magnétiques ð signaux électriques parasites dans les circuits

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Notion de mesure – Définition de base

CAPTEURS INTEGRES
Un capteur intégré est un composant réalisé par les techniques de la Microélectronique sur
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substrat de silicium.

-  L’intégration apporte de multiples avantages: miniaturisation, diminution des coûts


par la fabrication en grande série, accroissement de la fiabilité par suppression de
nombreuses connexions soudées, interchangeabilité améliorée, meilleure protection
vis-à-vis des parasites, le signal étant conditionné à sa source.

-  L’utilisation du silicium impose cependant une limitation de la plage d’emploi de :


-50°C à 150°C environ.

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Notion de mesure – Définitions de base

L’intégration permet aussi:

* l’hybridation: silicium + autre matériau plus approprié que le silicium au


mesurande => Technologie hybride

* la réalisation de corps d’épreuve:

propriétés mécaniques excellentes du silicium.

* la réalisation de micro-usinage:

- fabrication des corps d’épreuve

=> Fabrication de capteurs et de MEMS (Micro Electro Mechanical System).

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Notion de mesure – Définitions de base

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Notion de mesure – Définitions de base

-  Actuators -

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Notion de mesure – Définitions de base
Exemple de capteurs intégrés: Anémomètre – IES
 

Accéléromètre thermique – IES

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Notion de mesure – Définition de base

CAPTEURS INTELLIGENTS
Définition: On désigne par capteur intelligent l'ensemble de mesure d'une grandeur physique
constitué de deux parties :
- une chaîne de mesure pilotée par microprocesseur,
- une interface de communication bidirectionnelle.

C’est ce qui le différencie d’un capteur classique.


-  L'interface bidirectionnelle assure la liaison du
capteur à un calculateur central:
-  Soit sens calculateur vers capteur : configuration,
autoétalonnage ...
-  Soit sens capteur vers calculateur: résultats de
mesure, état de la chaîne (étendue de mesure,
dépassements de gamme ou d'une grandeur
d'influence...).
-  De plus, le capteur intelligent offre des
avantages spécifiques : configurabilité à distance ;
crédibilité accrue des mesures et aide à la
maintenance grâce aux informations d'état
fournies ; répartition des tâches, déchargeant Arrêtle C2 15-16 Arrêt C2 16-17
calculateur central.
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