UNIQUE FACILITIES

FOR THE BIGGEST EXPECTATIONS

Edificio I+D - Campus Río Ebro

C/ Mariano Esquillor s/n
50018 Zaragoza
Tel.: +34 976 76 29 80
Fax: +34 976 76 27 76
email: lma@unizar.es

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UNIQUE FACILITIES
FOR THE BIGGEST EXPECTATIONS

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LMA
The Advanced Microscopy
Laboratory (LMA)
represents a unique initiative nationally and internationally. Its aim is to provide the scientific
community with the most advanced existing equipment and infrastructures
in local probe and electron microscopy for the observation, characterisation,
nanopatterning and handling of materials at atomic, as well as a wide range of
scientific tools devoted to characterization, processing and handling procedures
at the nanometric scale.
Its location within the Institute of Nanoscience of Aragon (INA) guarantees an environment
of associate infrastructures and excellence scientific and technical human resources which,
together with the unique equipment of LMA, will boost research capacity in nanoscience
in Spain, as well as in the development of new associate technologies.
Among the LMA equipment, the Transmission Electron Aberration-Corrected
Microscopes, (TITAN), the most advanced microscopes currently, are worth
mentioning. With sub-angstrom resolution, these microscopes will allow significant
progress in nanotechnology applied to electronics, cathalysis and biomedicine among
others disciplines.
This equipment, together with the rest of the LMA scientific instruments, is available for
public and private research centres and for the industry in general, who will find in this
facility a unique research capacity and technological development only available in very few
research centres worldwide.
El Laboratorio de Microscopías
Avanzadas (LMA)
constituye una iniciativa singular a nivel nacional e internacional. Su objetivo: poner
a disposición de la comunidad científica las infraestructuras más avanzadas
que existen en microscopía electrónica y de sonda local para la observación,
caracterización, nanopatterning y manipulación de la materia a nivel atómico,
así como una amplia gama de instrumentación destinada a la caracterización,
procesado y manipulación a escala nanométrica.
Su ubicación, el Instituto Universitario de Nanociencia de Aragón (INA), asegura un entorno
de infraestructuras asociadas y recursos humanos científico-técnicos de excelencia que,
unidos a la singularidad de los equipos que integran el LMA, suponen un nuevo impulso
a la capacidad de investigación en nanociencia y al desarrollo de las nuevas
tecnologías asociadas.
Entre las infraestructuras que componen el LMA destacan los microscopios
con corrección de aberraciones (TITAN), los más avanzados que existen en
la actualidad. Con una resolución en el rango del sub-angstrom, estos microscopios
permitirán avances significativos en la nanotecnología aplicada a la electrónica, la catálisis
y la biomedicina, entre otras disciplinas.
Este equipamiento, junto con el resto de instrumentación del LMA, está a disposición
de centros de investigación públicos y privados, así como de empresas en general, que
encuentran en esta instalación una capacidad de investigación y desarrollo tecnológico
disponible en muy pocos centros en el mundo.
The Advanced Microscopy
Laboratory (LMA)
represents a unique initiative nationally and internationally. Its aim is to provide the scientific
community with the most advanced existing equipment and infrastructures
in local probe and electron microscopy for the observation, characterisation,
nanopatterning and handling of materials at atomic, as well as a wide range of
scientific tools devoted to characterization, processing and handling procedures
at the nanometric scale.
Its location within the Institute of Nanoscience of Aragon (INA) guarantees an environment
of associate infrastructures and excellence scientific and technical human resources which,
together with the unique equipment of LMA, will boost research capacity in nanoscience
in Spain, as well as in the development of new associate technologies.
Among the LMA equipment, the Transmission Electron Aberration-Corrected
Microscopes, (TITAN), the most advanced microscopes currently, are worth
mentioning. With sub-angstrom resolution, these microscopes will allow significant
progress in nanotechnology applied to electronics, cathalysis and biomedicine among
others disciplines.
This equipment, together with the rest of the LMA scientific instruments, is available for
public and private research centres and for the industry in general, who will find in this
facility a unique research capacity and technological development only available in very few
research centres worldwide.
El Laboratorio de Microscopías
Avanzadas (LMA)
constituye una iniciativa singular a nivel nacional e internacional. Su objetivo: poner
a disposición de la comunidad científica las infraestructuras más avanzadas
que existen en microscopía electrónica y de sonda local para la observación,
caracterización, nanopatterning y manipulación de la materia a nivel atómico,
así como una amplia gama de instrumentación destinada a la caracterización,
procesado y manipulación a escala nanométrica.
Su ubicación, el Instituto Universitario de Nanociencia de Aragón (INA), asegura un entorno
de infraestructuras asociadas y recursos humanos científico-técnicos de excelencia que,
unidos a la singularidad de los equipos que integran el LMA, suponen un nuevo impulso
a la capacidad de investigación en nanociencia y al desarrollo de las nuevas
tecnologías asociadas.
Entre las infraestructuras que componen el LMA destacan los microscopios
con corrección de aberraciones (TITAN), los más avanzados que existen en
la actualidad. Con una resolución en el rango del sub-angstrom, estos microscopios
permitirán avances significativos en la nanotecnología aplicada a la electrónica, la catálisis
y la biomedicina, entre otras disciplinas.
Este equipamiento, junto con el resto de instrumentación del LMA, está a disposición
de centros de investigación públicos y privados, así como de empresas en general, que
encuentran en esta instalación una capacidad de investigación y desarrollo tecnológico
disponible en muy pocos centros en el mundo.
Laboratorio de Caracterización
Microestructural Y Espectroscopias
Para caracterizar microestructural y espectroscó-
picamente las muestras objeto de interés, el LMA
cuenta con un difractómetro de rayos x (XRD), dos
microscopios electrónicos de barrido (SEM) y un
espectrómetro de fotoelectrones (XPS).
El difractómetro XRD utiliza la interacción de un haz
de rayos x con la muestra objeto de estudio para
determinar con gran resolución tensiones residuales,
analizar texturas y realizar estudios cristalografícos.
En particular son interesantes los estudios de
relaciones de epitaxia en láminas delgadas.
Además, mediante la configuración de reflectividad,
se puede obtener información sobre espesores e
interfases de láminas y heteroestructuras. Gracias a
la configuración de bajo ángulo se puede determinar
el tamaño de nanopartículas y mesofases porosas.
Los microscopios electrónicos de barrido SEM
realizan un barrido del haz de electrones sobre la
superficie de interés, pudiéndose detectar o bien
los electrones secundarios o retrodispersados
generados o bien los rayos x producidos. De
este modo, se obtiene información topográfica,
de composición y microestructural sobre los
materiales objeto de interés. En particular, los
modernos microscopios SEM de emisión de campo
proporcionan imágenes de alta resolución (próxima
a 1 nm) y alto contraste debido a su alto brillo y
menor dispersión energética.
Los espectrómetros de fotoelectrones XPS
utilizan fuentes monocromáticas o policromáticas
de rayos x para generar fotoelectrones de un
material. El análisis de la energía e intensidad de
los fotoelectrones permite obtener información
sobre los elementos que conforman la superficie
de un material, su estado de oxidación, su
entorno cristalino, así como la evolución de estas
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propiedades en función del espesor si se utiliza un
cañón de iones que permite pulverizar el material.
Las áreas científico-tecnológicas implicadas en el
uso de los equipos son la Física, la Química y la
Bioquímica, la Biomedicina y la Ingeniería Química.
Algunas aplicaciones desarrolladas hasta la fecha
abarcan temáticas tales como la identificación de
las causas de corrosión, oxidación u otro tipo de
degradación de un material, análisis de fallas de
adhesivos y soldaduras, estequiometría, espesor,
rugosidad y epitaxia de películas delgadas, cambio
de la composición superficial de los materiales
debidos al calentamiento, identificación de fases
superficiales de minerales, cerámicas, vidrios y
óxidos de aleaciones metálicas, problemas de
interdifusión, análisis de recubrimientos sobre
cristales, metales,
prótesis, etc..
A continuación
se ilustra con
tres ejemplos la
utilización de XRD,
SEM y XPS.
Imagen SEM de un nano-
hilo monocristalino de bismuto
Resultados obtenidos con el difrac-
tómetro de rayos x sobre las propie-
contactado por 4 puntos con dades cristalográficas de películas de
nanodepósitos de tungsteno Fe3O4 epitaxiales.
para medida de sus propie-
dades magnetoeléctricas. Análisis en función del espesor mediante
XPS del estado de oxidación del hierro
en películas ultrafinas de magnetita.
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Laboratory Of Microstructural Characterisation
And Spectroscopy

In order to characterize materials of interest, both Biochemistry, Biomedicine and Chemical

microstructurally and spectroscopically, the LMA Engineering. Some of the applications developed
has an X-Ray diffractometer (XRD), two Scanning to date are: Identification of the origin of corrosion,
Electron Microscopes (SEM) and an X-Ray oxidation or any other degradation of a material;
Photoelectron Spectrometer (XPS). analysis of defects in adhesives and soldered
joints; stoichiometry, thickness, roughness and
At the XRD diffractometer, the interaction of an X-Ray epitaxy of thin films; changes on the composition
beam with the specimen is used for high resolution of materials’ surface due to heating; identification of
determination of residual tensions, as well as to surface phases of minerals, ceramic materials, glass
analyse textures and to perform crystallographic and metallic alloy oxides; interdiffusion problems,
studies. Studies of epitaxial relation of thin films analysis of coatings on glass, metals, prostheses,
are especially interesting. Moreover, information etc.
about the thickness and the interface of films and
heterostructures can be obtained in the reflectivity Here are three examples of possible applications of
configuration. This low-angle configuration is used XRD, SEM and XPS:
for size measurement of nanoparticles and porous
mesophases.
In a SEM microscope an electron beam is scanned
over the surface of the specimen, and the generated
secondary or backscattered electrons and X-Rays
can then be detected. That way, information about
topography, composition and microstructure is
obtained. In particular, modern field-emission
SEMs yield high resolution (close to 1nm) and high
contrast images due to their high brightness and SEM image of a single XRD results on the crystallographic
lower energy dispersion. crystalline bismuth nanowire properties of Fe3O4 epitaxial thin films.
contacted by 4 points with
The XPS uses monochromatic or polychromatic tungsten nanodeposits for
magnetotransport measure-
X-Ray sources to generate photoelectrons from a ments . XPS analysis of the iron oxidation state
given material. The analysis of the photoelectron as a function of thickness in magnetite
energy and intensity gives us chemical information ultra thin films.
about the elements at the surface of the material,
their oxidation state, their environment, as well as
the evolution of these properties depending on the
thickness if an etching ion gun is used.
Scientific and technological areas involved in the
use of these equipments are: Physics, Chemistry,

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Laboratorio DUAL BEAM en sala blanca
Los equipos “dual beam” del LMA se encuentran
dentro de una Sala Blanca clase 10.000, y
combinan haces focalizados hasta a 1 nm de
electrones e iones. Las columnas tienen un punto
de coincidencia, que se posiciona sobre la muestra
objeto de interés, de tal forma que se puede
trabajar simultáneamente en un punto de la muestra
ofreciendo la funcionalidad de un haz de electrones
y de un haz de iones.
En general, el haz de electrones se utiliza para
observar y el de iones para nanofabricar. Es decir,
el haz de iones, con su alto poder de pulverización,
ejecuta el patronaje de la muestra objeto de interés,
y con el haz de electrones se realiza la supervisión
del mismo. También puede realizarse litografía
electrónica si se usa resina sensible al haz de
electrones. El equipo tiene varios detectores que
permiten obtener el tipo de contraste deseado. En
algunos casos interesa resaltar la topografía de la
muestra, en otros la diferencia en composición a lo
largo de la misma, en otros la diferente orientación
cristalográfica, etc.
Preparación de una lamela para observación TEM de Creación de nanohilos magnéticos para aplicaciones en almacenamiento y procesado de
materiales de alta resolución. información magnéticos.
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Cada dual beam tiene 5 inyectores de gases, que
permiten insertar gases de trabajo en la cámara y
que se pueden utilizar o bien para la asistencia en el
proceso de patronaje con FIB o bien en el proceso
de nanodeposición local de un material. Estos
nanodepósitos pueden tener gran funcionalidad,
como ferromagnetismo (magnetismo permanente)
o superconductividad (ausencia de resistencia al
paso de corriente eléctrica).
Una de las principales aplicaciones de los equipos
“dual beam” es la preparación sistemática de
lamelas para su observación en equipos de
microscopía electrónica de transmisión (TEM). Para
ello es necesario adelgazar con el haz de iones
FIB el material de interés a espesores inferiores a
50 nanómetros y colocarlo en una rejilla lista para
la observación TEM. Esto se puede realizar dentro
del equipo dual beam gracias a la combinación de
la columna de iones, la de electrones, y un nano-
manipulador.
Las áreas científico-tecnológicas implicadas en
el uso de los equipos son: áreas físicas, áreas
químicas y bioquímicas, áreas biomédicas, áreas
de ingeniería química.
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DUAL BEAM Laboratory in Clean Room
The “dual beam” equipments of the LMA are installed
in a Class 10.000 Clean Room and they combine
focused ion and electron beams with probe sizes
down to 1 nm. The ion and electron columns have a
common crossover, where the object to be studied
or manipulated is placed. Therefore, both electron
and ion beams can be focalized in the same area
of the sample.
In general, the electron beam is used for imaging,
whereas the ion beam is used for nanofabrication.
In other words, the ion beam has a strong milling
capacity and performs the lithography of the
object, and the electron beam is used to image the
process. Electron lithography can also be done by
using electron sensitive resins.
The instrument is equipped with multiple detectors
to achieve the desired type of image contrast; in
some cases it is interesting to highlight the sample
topography, in others the chemical composition
changes through the sample, in others the
crystallographic orientation, etc.
Preparation of a lamella for high resolution TEM
observation.
Each dual beam has 5 injectors which can be used
to fill the chamber with different gases to assist
the lithography processes or the nanodeposition
of a material. These nanodeposits can be highly
functional, i.e. they can be ferromagnetic (permanent
magnetism) or superconducting (extremely low
resistance).
One of the main applications of the “dual beam” is
the preparation of lamellas for transmission electron
microscopy (TEM) experiments. For that purpose,
it is necessary the ion beam thinning of the area of
interest of the material to thickness values below 50
nanometers and put it in a TEM observation grid.
This can be done in the dual beam thanks to the
combined used of the ion column, the electron
column and a nano-manipulator.
The scientific and technological applications of these
instruments are in the fields of Physics, Chemistry,
Biochemistry and Chemical Engineering.
Fabrication of magnetic nanowires for applications in information storage and logics.
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 Laboratorio de Preparación de Muestras
El TEM se basa en el uso de los electrones
transmitidos a través del material objeto de
estudio para formar imágenes del mismo. Sin
embargo, el electrón es una partícula cargada que
interactúa fuertemente con la materia, por lo que
las muestras de TEM deben ser extremadamente
delgadas (apenas unas decenas de nm) para ser
transparentes a los electrones.
Algunos materiales son inherentemente
transparentes a los electrones (nanopartículas,
nanotubos...), pero la mayor parte de ellos
(materiales masivos, películas delgadas,
dispositivos...) tienen dimensiones macroscópicas
y se requiere llevar a cabo un proceso de
adelgazamiento para preparar los especímenes
para su observación en TEM. El LMA se ha
equipado con el más completo Laboratorio de
Preparación de Muestras para realizar esta tarea.
Figura 1. Laboratorio de Preparación de Muestras del LMA.
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Entre los muchos procedimientos posibles, el
más utilizado se basa en un lento adelgazamiento
mecánico del material de una manera muy
controlada hasta obtener una muestra
perfectamente plana y sin defectos superficiales
de un grosor de pocas micras. Posteriormente, se
realiza un ataque iónico a ángulo bajo con iones
de baja energía de las superficies hasta obtener
zonas extremadamente delgadas, listas para el
experimento de TEM.
Hoy en día, esta tarea también puede realizarse
en muchos casos mediante haces de iones
focalizados (FIB) en los microscopios DualBeam
disponibles en el LMA, para producir grandes
zonas transparentes y planas seleccionadas con
gran precisión, lo que es ideal, por ejemplo, para la
preparación de nanodispositivos para TEM.
Figura 2. Equipo de adelgazamiento iónico que permite obtener zonas
transparentes a los electrones para su observación en TEM
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 Sample Preparation Laboratory
TEM is based in the use of transmitted electrons
to form images of the materials. However, the
electron is a strongly interacting charged particle
and TEM samples are required to be extremely thin
(tens of nm) to be electron transparent.
Some materials are inherently electron transparent
(nanoparticles, nanotubes…), but most of them
(bulk materials, thin films, devices…) have much
larger dimensions and it is frequently required to
carry out a TEM sample preparation procedure
to make them thin. The LMA has set the most
advanced Sample Preparation Laboratory
equipped with the necessary instruments to
perform this task.
Among the many procedures to produce electron
transparent specimens, the most important and
Figura 1.Sample Preparation Laboratory of the LMA.
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frequently used is based on mechanical thinning
of the materials in a highly controlled way. This
produces a flat specimen of a few microns
thickness with defect-less surfaces that afterwards
follows a low angle, low energy ion milling of the
surfaces to achieve extremely thin areas ready for
TEM observation.
Nowadays, this task can be also performed in
many cases by means of Focused Ion Beam (FIB)
techniques in the DualBeam equipments available
at the LMA providing large flat electron transparent
areas selected with high accuracy, which is ideal,
for instance, in the TEM sample preparation of
nanodevices.
Figura 2. Ion mill equipment fo obtain electron transparent areas in the
samples for the TEM observation.
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Laboratorio de Microscopía con Sonda Local
Las Microscopias de Sonda Local (SPM: Scanning
Probe Microscopy) son una familia de técnicas que
ofrecen una reconstrucción tridimensional de la
estructura de la materia a escala atómica. El LMA
cuanta con una amplia gama de métodos de análisis
que permiten resolver las propiedades electrónicas,
magnéticas y mecánicas de los materiales a escala
atómica, y en varias condiciones de temperatura y
condiciones ambientales.
Existen tres sistemas de ultra alto vacío (LT-
STM, LT-STM/AFM, JT-STM+VT–STM/AFM) que
combinan técnicas de microscopía de efecto túnel y
microscopía de fuerzas en un rango de temperaturas
desde 1K hasta más de 1000K, además de
aplicar campo magnético de hasta 3T. Estos
sistemas están específicamente diseñados para el
crecimiento y manipulación de nanoestructuras de
tamaño atómico, para la investigación de reacciones
químicas a escala molecular en superficies, y para
la investigación de fenómenos magnéticos a escala
de un solo átomo.
Un tema de especial interés es dar apoyo a medidas
de transporte electrónico en nanoestructuras
magnéticas, un campo de investigación de extrema
relevancia en el ambito de la espintrónica. Para
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ello, el LMA ofrece un sistema de microscopía
de fuerzas magnéticas y de efecto túnel (VT-
MFM/STM), funcionando a temperatura variable
(2K-300K) que incorpora revolucionario campo
magnético vectorial de gran magnitud (2-8 Tesla).
Las medidas a temperatura ambiente podrán ser
complementadas con un Microscopio de bajo
campo magnético, y a temperatura ambiente, de
uso más flexible.
Adicionalmente, los campos de apoyo científico
del LMA se expanden hacia la biología y la
electroquímica. Para ello, se dotará a esta
sección del LMA de microscopios de sonda local
funcionando en ambiente líquido, que permitirán
trabajar con muestras biológicas (L-AFM+MFM) o
medir transporte electrónico a través de membranas
moleculares (EC-STM). En estas líneas se contará
además con un moderno y robusto sistema de
microscopia (AFM) de apoyo y servicio.
LT-STM: Microscopio túnel (STM) en ultra alto vacío,
de baja temperatura (LT).
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Laboratory for Local Probe Microscopy

The family of local probe microscopes (SPM:
Scanning Probe Microscopy) offers the capability
of making a 3D reconstruction of matter structure
at the atomic scale. The LMA has a wide range
of analysis methods which allow to resolve the
magnetic, electronic and mechanic properties with
atomic resolution, under very different temperatures
and ambient conditions.
There are three ultrahigh vacuum systems (LT-STM,
LT-STM/AFM, JT-STM+VT–STM/AFM)) combining
techniques related with tunnel effect and atomic
force in a range of temperatures between 1K to
more than 1000K, and applying a magnetic field
up to 3T. These systems are specifically designed
to grow and manipulate atomic sized structures, in
order to study molecular scale chemical reactions
and single atom magnetic properties.
magnetic field. Room temperature measurements
may be supplemented with a low magnetic field
microscope which has a more flexible use.
In addition, the LMA scientific support fields expand
to Biology and Electrochemistry. To do this, this LMA
unit will be provided with local probe microscopes
working in liquid ambient, which will allow to work
with biological samples (L-AFM+MFM) or measure
electronic transport across molecular membranes
(EC-STM). These lines will also have modern and
robust microscopy system (AFM) for service and
supporting purposes

To provide support to measurements of electronic

transport of magnetic nanostructures is particularly
interesting as it is research field with high relevance in
spintronics. In this sense, the LMA offers a magnetic
force and tunnel effect system (VT-MFM/STM),
working with variable temperature (2-300K) with a
revolutionary vectorial and high magnitude (2-8T)

LT-STM: Ultrahigh-vacuum, Low-temperature (LT)

scanning tunneling microscope (STM)

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Laboratorio de Microscopía Electrónica de
Transmisión de Ultra Alta Resolución (UHRTEM)
El objetivo del laboratorio de UHRTEM del LMA
es ofrecer a la comunidad científica acceso a los
equipos y los conocimientos más avanzados para
la realización de análisis estructurales y químicos
de materiales con una resolución espacial de unos
Fig. 1: El microscopio TITAN STEM equipado con un corrector de sonda,
un GIF y un EDAX para experimentos de espectroscopía, un biprisma
electrostático para holografía y un módulo de tomografía para imagen 3D.
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pocos picómetros. Para ello, el laboratorio está
equipado con la última generación de Microscopios
Electrónicos de Transmisión (TEM).
Se han instalado dos TEM con correctores de
aberraciones (TITAN de FEI, Fig. 1) que permiten
adquirir imágenes de nanomateriales con una
resolución espacial de 80 picómetros (Fig. 2) y
realizar experimentos de espectroscopía (EELS) con
una resolución de 0.2 eV.
Una de las cualidades más interesantes de uno de
los TITAN es la capacidad de combinar imágenes
estructurales y químicas en modo STEM-HAADF
para obtener información local sobre el tipo de
átomos observados en un área específica de la
muestra (por ejemplo, cerca de una interfase como
la mostrada en la Fig. 3). Además de la última
tecnología en imagen y espectroscopía, estos dos
microscopios TITAN permiten realizar experimentos
de holografía, para detectar campos electrostáticos
y magnéticos de forma local en nanoestructuras,
y obtener imágenes en 3D de nanoestructuras
gracias al módulo de tomografía.
Fig. 2: Imagen de STEM de alta Fig. 3: Imagen de STEM de alta resolu-
resolución de un cristal de ger- ción de un interfase entre dos óxidos:
manio mostrando la estructura de SrTiO3 y Sr2CrReO6 evidenciando
dumbbells separados 80 pm fenómenos de difusión entre ellos.
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Ultra High Resolution Transmission Electron
Microscopy (UHRTEM) Laboratory
The aim of the UHRTEM laboratory of the LMA is
to offer the scientific community access to unique
instruments and expertise allowing the structural
and chemical analysis of materials at a spatial
resolution of few picometers. With that purpose, the
Fig 1: The TITAN STEM microscope equipped with a probe corrector, a
GIF energy filter and EDAX for spectroscopy experiments, an electrostatic
biprism for holography and a tomography set-up for 3D imaging.
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UHRTEM laboratory is equipped with the very last
generation of Transmission Electron Microscopes
(TEM).
Two TEM equipped with aberration correctors
(FEI TITAN, Fig. 1) have been installed allowing to
perform imaging experiments of nanomaterials with
a spatial resolution of 80 picometers (Fig. 2) and
spectroscopy experiments (EELS) with an energy
resolution of 0.2 eV.
A very interesting capability of one of the TITAN is to
combine structural and chemical imaging in the so-
called STEM-HAADF mode to get local information
about the type of atoms observed at a specific area
of the sample (for example, close to an interface as
shown in Fig. 3).
Besides these state-of-the-art capabilities in
imaging and spectroscopy, these two TITAN
microscopes allow performing electron holography,
to detect very local electrostatic and magnetic fields
in nanostructures, and 3D imaging thanks to the
electron tomography set-up.
Fig 2: High Resolution STEM ima- Fig 3: High Resolution STEM imaging
ging of germanium crystal showing of an interface between two oxides,
the dumbbells structure separated SrTiO3 and Sr2CrReO6, evidencing
by 80 pm. diffusion phenomena between them.
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 Laboratorio de Microscopía Electrónica de
Transmisión de Alta Resolución (HRTEM)

Además del laboratorio de UHRTEM, se ha imágenes de HRTEM y STEM con resoluciones

creado en el LMA un laboratorio de HRTEM más
convencional equipado con un TEM no corregido
de altas prestaciones (FEI TECNAI F30) así como
un microscopio más básico (FEI TECNAI T20).
Estos equipos estás a disposición de los usuarios
externos tras algunas sesiones de práctica.
El microscopio T20 TEM está dedicado a
experimentos rutinarios, como son el estudio de
la morfología, estructura y tamaño de partícula de
materiales.
El TECNAI F30 es un microscopio de alta resolución
con mayores capacidades. Permite realizar
espaciales de 1.9 Å y 1.38 Å, respectivamente,
que a su vez pueden combinarse con análisis
químico mediante EELS y EDX.
Es posible realizar también tomografía TEM y STEM
para realizar imágenes 3D de nanoestructuras
(Fig. 1).
Por último, este microscopio está equipado con
una peculiar lente conocida como lente de Lorentz
para realizar imágenes de materiales magnéticos.
De este modo, se pueden estudiar por ejemplo
las configuraciones de dominios magnéticos en
nanoimanes (Fig. 2).

Fig. 1: Reconstrucción 3D de nanopartículas de Au mediante tomografía Fig. 2: Microscopía Lorentz que muestra la formación de un vórtice magnetic
electrónica, lo que permite conocer perfectamente la morfología de los en un nanodepósito de Co tamaño nanométrico.
nano objetos.

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High Resolution Transmission Electron
Microscopy (HRTEM) Laboratory

In addition to the UHRTEM laboratory, a more Å, respectively, which can be combined with
standard HRTEM laboratory equipped with a high spectroscopy studies in EELS and EDX.
level uncorrected TEM (FEI TECNAI F30) and a
TEM and STEM tomography is also possible in
more basic one (FEI TECNAI T20) has been set
order to perform 3D imaging of nanostructures
at the LMA. These equipments may be used by
(Fig. 1).
external users after few sessions of practice.
Lastly, this microscope is fitted with a peculiar lens
The basic T20 TEM is devoted to conventional
setting allowing the so-called Lorentz microscopy
experiments, such as the study of morphology,
for magnetic materials. In that mode, the
structure and particle size of nanomaterials.
configuration of magnetic domains in nanomagnets
The F30 is a high resolution microscope of much can be studied (Fig. 2).
higher level. It allows imaging in HRTEM and
STEM mode with a resolution of 1.9 Å and 1.38

Fig. 1: 3D reconstruction obtained in tomography allowing the visualization Fig. 2: Lorentz microscopy showing the appearance of a magnetic vortex in
of the total shape and morphologies of nano-objects. a Co nanodeposited triangle of few nanometers size.

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