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Las películas delgadas son una clase de na- El método de rotación inicia al colocar un ex-
nomateriales en los cuales dos de sus dimensio- ceso del material a depositar sobre el substrato.
nes caen dentro de la escala nanométrica (1 nm El substrato puede estar en reposo o girando a
= 10-9 m). Para ser consideradas dentro de esta baja velocidad (menor a 500 rpm). El material se
categoría, deben de presentar un espesor en el coloca en el centro del substrato de manera ma-
rango de 1 a 100 nm. Estos materiales han sido nual o automática (dependiendo de las carac-
utilizados en la fabricación de numerosos disposi- terísticas del spin-coater). Se utiliza un exceso de
tivos con diversas funciones (celdas solares, tran- material para asegurar la uniformidad de la pe-
sistores, foto-catalizadores, etc.). El óptimo funcio- lícula y evitar problemas de evaporación antes
namiento de estos dispositivos depende, en gran de alcanzar el espesor deseado. Posteriormente,
medida, de las propiedades de las películas (es- el substrato gira (spin up) de una manera unifor-
tructura, tamaño, morfología, composición, nivel memente acelerada hasta alcanzar la velocidad
de defectos, etc.), las cuales están directamente deseada. Es en esta fase del proceso en la que
relacionadas con el método empleado para su el substrato queda totalmente cubierto por el
depósito. (Serp, P., 2002). material a depositar. La velocidad de rotación
propicia que el exceso de material se desplace a
Las metodologías empleadas para la fabrica- las orillas del substrato; dicho exceso será poste-
ción de películas delgadas han evolucionado riormente eliminado por la fuerza centrífuga.
ampliamente, permitiendo un depósito contro-
lado de numerosos materiales. Existen diferentes La fase de spin-off inicia una vez que la velo-
criterios para clasificar las técnicas de depósito: cidad de rotación deseada ha sido alcanzada.
depósito a partir de vapores (depósito físico de El aparato gira a dicha velocidad por un tiem-
vapores, depósito químico de vapores), depósito po determinado (el cual es programado por el
mediado por láseres y depósito a partir de solu- operador), logrando con esto el adelgazamiento
ción (depósito por el método de rotación, dip- y uniformidad de la película. El tiempo de rota-
coating, etc.) (O´Neil, S.A., 2003). ción puede variar dependiendo de la densidad
del material empleado y del espesor deseado de
A pesar de las numerosas estrategias diseña- la película. El depósito por rotación finaliza con
das para el depósito de películas delgadas, mu- la evaporación del solvente. Como se mencionó
chas de ellas requieren de equipo especializado anteriormente, el proceso de evaporación ocu-
costoso, hecho que limita su uso como herramien- rre durante todo el proceso de formación de la
ta experimental en laboratorios académicos. La película, debido a la evaporación del solvente
técnica de rotación ha sido ampliamente utiliza- ocasionada por las altas velocidades de rota-
da para el depósito de materiales semiconduc- ción del spin-coater. No obstante, la evapora-
tores, empleando un aparato simple
conocido como spin-coater y una
solución del material a depositar.
Esta técnica consiste en depositar
un exceso del material de interés so-
bre el substrato; posteriormente, éste
se hace girar a altas velocidades,
para lograr la distribución uniforme
del material sobre el mismo, gracias
a la acción de la fuerza centrífuga.
El método de rotación se ilustra en la
figura 1. Dicho procedimiento involu-
cra cuatro pasos, de los cuales, los
tres primeros (depósito, spin up y spin
off) ocurren en orden secuencial,
mientras que el cuarto (evapora-
ción) ocurre durante todo el proceso
de preparación y es el principal me-
canismo de adelgazamiento de la
película al final del proceso (Kama-
lasanan, M.N., 1996).
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ción final de la película generalmente se lleva a nico. El módulo mecánico incluye el motor, el sis-
cabo mediante tratamiento térmico. La película tema de poleas, la superficie giratoria y una ban-
se puede calentar en una mufla o en el mismo deja para evitar derrames. El módulo electrónico
aparato, dependiendo de las características del consta de la fuente de poder, un microcontrola-
mismo. El objetivo principal de la evaporación es dor, manejadores de potencia para el motor, un
retirar el exceso de solvente. exhibidor de cuarzo y botones para la interfase
con el usuario. Para diseñar el equipo se propu-
Un gran número de materiales han sido de- sieron las siguientes especificaciones:
positados empleando el método de rotación. El
grosor de la película es fácilmente manipulado 1. Que la máquina gire a más de 6,000 rpm.
ya que éste es inversamente proporcional a la
raíz cuadrada de la velocidad de giro. El grosor 2. Que tenga una interfase de usuario para
de la película también se puede ajustar median- elegir las revoluciones y el tiempo que gira-
te repetidas aplicaciones del material en el subs- rá la máquina.
trato. Una de las principales ventajas del depó-
3. Que acelere de 0 a 400 rpm en 30 segun-
sito por rotación es la sencillez del proceso, cos-
dos y permanezca en esta velocidad du-
to y manipulación del aparato. Las principales
rante un minuto
desventajas inherentes a esta técnica son el uso
ineficiente de material a depositar y tamaño del 4. Que tenga rampas de aceleración y des-
substrato (actualmente, sólo se pueden deposi- aceleración controladas.
tar películas de tamaño pequeño; tanto nuestro
equipo como equipos comerciales, emplean sus- 5. Que vibre lo menos posible.
tratos de forma rectangular y dimensiones de 25.4
x 76.2 mm). Durante el proceso del depósito por
el método de rotación, solamente una pequeña Construcción:
porción (del 2 al 5%) del material colocado sobre
el substrato es requerido para la fabricación de la A) Módulo de mecánica
película, el resto del material es eliminado al girar Está formado por un motor y un rotor montado en
el substrato. Este problema se agudiza si el costo baleros. Ambos son conectados usando una ban-
y toxicidad del material es elevado (Schubert, D. da y poleas de nylamid con relación 1:6. La cuan-
W., 2003). Recientemente se ha explorado una tificación de las vibraciones del prototipo implica
nueva técnica basada en el método de rota- un sistema especializado para la medición de vi-
ción, conocida como extrusión coating, la cual braciones. No se cuenta con el equipo necesario
permite optimizar el uso del material de recu- para realizar un análisis de vibración, sin embargo,
brimiento. Esta técnica requiere de un accesorio se ha tratado de minimizar las vibraciones mecáni-
adicional, el cual de manera automática coloca cas mediante un balanceo del disco principal y la
pequeñas cantidades de material a lo largo del implementación de soportes de goma que amor-
substrato, contribuyendo con esto a la optimiza- tiguan dichas vibraciones. Además, el prototipo
ción del proceso (Han, S., 2001). cuenta con una base de acero que le proporcio-
na el peso necesario para evitar vibraciones ex-
El objetivo principal de este trabajo fue el dise- cesivas. El motor es de marca Buhler de corriente
ño y construcción de un aparato doméstico para directa de 24 volts, 50 watts y 1800 rpm. El rotor
el depósito de películas delgadas por el método posee la polea en un extremo, y en otro, la plata-
de rotación, el cual será posteriormente utilizado forma donde se colocará el vidrio que gira hasta
para el depósito de películas delgadas de mate- 10800 rpm, debido a que acopla con una polea
riales semiconductores (dióxido de titanio, calco- seis veces menor en su diámetro que la polea di-
genuros de zinc). rectamente acoplada a la flecha. (Ver figura 2).
RESULTADOS
Figura 4. Diagrama esquemático del sistema de potencia. Figura 6. Tarjeta electrónica del prototipo.
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Figura 7. Vista frontal del instrumento. Figura 8. Vista superior. Se observa la platina de vidrio y los
seguros para sujetarla.
Las figuras 7 y 8 muestran la parte exterior del de películas delgadas por el método de rotación.
instrumento. Observe que la platina de vidrio se El funcionamiento del dispositivo fue evaluado y se
encuentra rodeada de una vasija para evitar de- encontró que éste permite un control preciso de
rrames. la velocidad, la cual se mantiene estable durante
el tiempo programado por el operador, tal como
Se realizaron varias pruebas para optimizar las se ilustra en la figura 9. El proceso giratorio de dos
diferentes variables de funcionamiento del equi- etapas permite depositar a bajas velocidades (400
po. Se estandarizaron las rampas de aceleración rpm x 1 min.) y homogeneizar el recubrimiento a
y desaceleración. Se realizaron pruebas para alta velocidad (velocidad y tiempo programados
asegurar la estabilidad en la velocidad de fun- por el operador).
cionamiento. Se empleó un tacómetro B&K para
evaluar la respuesta tiempo vs velocidad. Estas Se propuso usar el microcontrolador ATMe-
lecturas se validaron empleando un osciloscopio ga8535 (Atmel 2004) por su gran facilidad de uso y
tecktronics. La siguiente gráfica muestra las ram- porque su módulo PWM es de 16 bits y nos permite
pas de aceleración y estabilidad en la velocidad tener un alto porcentaje de precisión al calcular
programada, para una corrida a 6000 rpm por la velocidad deseada ya que se utilizó un control
120 segundos. proporcional (Hongfu Zhou 2008) en lazo abier-
to sin retroalimentación y se ajustó la velocidad
DISCUSIÓN del motor a un modelo lineal de la respuesta de
éste, usando una tabla de respuestas previamen-
Se diseñó y construyó un aparato para el depósito te guardada en la memoria del microcontrolador,
utilizando el método de coeficientes inde-
terminados para obtener la función de
respuesta voltaje vs velocidad.
Con respecto a la fuente, se ha diseñado para en el mismo, hacen esta opción una alternativa
suministrar la suficiente potencia al motor para más atractiva dentro de un laboratorio de inves-
mantener su torque a cualquier velocidad. La tigación.
fuente es una Buck DC-DC (Mohan, 1995) la cual
nos permite tener un voltaje de salida propor- Se depositaron películas delgadas de dióxi-
cional al ciclo de trabajo de la señal PWM (Hon- do de titanio. Los materiales obtenidos muestran
gfu, Z., 2008). buena adherencia al substrato y uniformidad.
Las propiedades de las películas fueron anali-
El voltaje promedio de salida en las terminales zadas por espectroscopía Raman y se encontró
del motor es: que son apropiadas. El proceso de depósito es
τ altamente reproducible.
Vo = V
T , donde Vo es el voltaje de salida y
V es el voltaje fijo de entrada, la velocidad del CONCLUSIONES
motor es directamente proporcional al voltaje en
las terminales del motor. A pesar de que en la actualidad existe una gran
variedad de equipos comerciales de tipo “spin
A diferencia de los equipos comerciales, coater”, su costo y mantenimiento son elevados.
éste se puede adecuar en un futuro para tener Con este proyecto se logró construir un equipo
rampas de aceleración y desaceleración varia- doméstico que reúne características similares
bles, implementación de sensores de presión y a las de los equipos comerciales. Debido a su
de temperatura para, de esta manera, tener un construcción en casa, el mantenimiento y costo
mayor control en el depósito de la película. Las del equipo son bajos, además de que existe la
características de este equipo son similares a las posibilidad de ampliar las capacidades del mis-
del equipo comercial Chemat precisión spin- mo, dependiendo de las necesidades del usua-
coater. A diferencia de éste, tanto el costo [Che- rio. Las principales ventajas de este dispositivo son
mat, $81,000.00 pesos, equipo casero, $5,000.00] su costo, facilidad de operación, diseño robusto,
como la posibilidad de adaptar otras funciones sin vibraciones y portátil.
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