microsonda electrónica

Un microsonda electrónica (EMP), también conocido como un microanalizador de sonda

de electrones (EPMA) o un analizador de micro sonda de electrones (EMPA), es una
herramienta analítica utilizada para determinar de forma no destructiva la composición
química de pequeños volúmenes de materiales sólidos. Funciona de manera similar a
unamicroscópio electrónico escaneando: La muestra se bombardea con unrayo de
electrones, Siendo analizados emisores de rayos X en longitudes de onda características
de los elementos. Esto permite que las abundancias de los elementos presentes dentro de
volúmenes de muestra pequeños (típicamente 10-30 cúbicomicrómetroso menos) a
determinar.[1]Las concentraciones de elementos deberilioaplutoniose puede medir a niveles
tan bajos como 100partes por millón(Ppm). Los modelos recientes de EPMAs pueden
medir con precisión las concentraciones elementales de aproximadamente 10 ppm.

Historia[editar]
En 1944, MIT construyó una microsonda electrónica, la combinación de un microscopio
electrónico y un espectrómetro de pérdida de energía.[cita requerida]espectroscopia de pérdida
de energía de electroneses muy bueno para el análisis de elementos de luz y obtuvieron
espectros de C-Ka, N-Ka y la radiación O-Ka. En 1947, Hiller patentó la idea de usar un
haz de electrones para producir rayos X analíticos, pero nunca construyó un modelo de
trabajo. Su diseño propuso utilizardifracción de Bragga partir de un cristal plano para
seleccionar longitudes de onda de rayos X específicas y una placa fotográfica como un
detector.
En 1948-1950,Raymond Castaing, supervisado porAndré Guinier, Construyó el primer
electrón “électronique microsonde” (microsonda electrónica) aONERA. Este microsonda
produjo un diámetro de haz de electrones de 1-3 micras con una corriente de haz de ~ 10
nanoamperios (nA) y se utiliza un contador Geiger para detectar los rayos X producidos a
partir de la muestra. Sin embargo, el contador Geiger no pudo distinguir los rayos X
producidos a partir de los elementos específicos y en 1950, Castaing añadió
unacuarzocristal entre la muestra y el detector para permitir la discriminación de longitud
de onda. También añadió un microscopio óptico para ver el punto de impacto del haz. La
microsonda resultante se describió en 1951 la tesis doctoral de Castaing,[2]en el que sentó
las bases de la teoría y aplicación de análisis cuantitativo por microsonda electrónica,
estableciendo el marco teórico para las correcciones de matriz de los efectos de absorción
y de fluorescencia. Castaing (1921-1999) se considera el "padre" del análisis de
microsonda electrónica.
CAMECA(Francia) produjo la primera microsonda comercial, el “MS85”, en 1956.[cita
requerida]
Ésta fue seguida por muchos microsondas de otras compañías; Sin embargo, todas
las empresas, exceptoCAMECA,JEOLyShimadzu Corporationestán ahora fuera del
negocio. Además, muchos investigadores construyen microsondas de electrones en sus
laboratorios. mejoras posteriores significativos y modificaciones a microsondas incluyen
explorar el haz de electrones para hacer mapas de rayos X (1960), la adición de los
detectores de estado sólido EDS (1968) y el desarrollo de multicapa sintética de difracción
de cristales para el análisis de elementos ligeros (1984). Luego,CAMECATambién se
convirtió en el pionero en la fabricación de una versión blindada de la microsonda
electrónica paranuclearaplicaciones. Varios de los nuevos avances
enCAMECAinstrumentos en las últimas décadas les permitió ampliar su gama de
aplicaciones enmetalurgia,electrónica,geología,mineralogía,plantas
nucleares,oligoelementos,odontología, Etc.

Trabajando[editar]
Un haz de electrones se cuece a una muestra. El haz hace que cada elemento en la
muestra para emitirRayos Xa una frecuencia característica; los rayos X pueden entonces
ser detectados por la microsonda de electrones.[3]El tamaño y la densidad de corriente del
haz de electrones determina el equilibrio entre la resolución y el tiempo de exploración y / o
el tiempo de análisis.[4]
Descripción detallada[editar]
electrones de baja energía se producen a partir de unatungstenofilamento, unahexaboruro
de lantanocátodo de cristal o unaemisión de campo fuente de electrones y acelerado por
un sesgada positivamente ánodoplaca para 3-30000electrón-voltios(KeV). La placa de
ánodo tiene abertura central y los electrones que pasan a través de él son colimada y
enfocada por una serie de lentes magnéticas y aberturas. El haz de electrones resultante
(aproximadamente 5 nm a 10 m de diámetro) se puede con trama a través de la muestra o
se utiliza en el modo de punto para producir la excitación de varios efectos en la muestra.
Entre estos efectos son:fononesexcitación (calor),cátodoluminiscencia(Fluorescencia de
luz visible), la radiación continuum X-ray (bremsstrahlung), característica de radiación de
rayos X, electrones secundarios (plasmonesde producción), la producción de electrones
retrodispersados, yelectrones Augerproducción.
Cuando los electrones del haz (y electrones dispersados desde la muestra) interactúan
con electrones ligados en las capas de electrones más interiores de los átomos de los
diversos elementos en la muestra, que pueden dispersar los electrones unido de la capa
de electrones produciendo una vacante en ese shell (ionización del átomo). Esta oferta de
es inestable y debe ser llenado por un electrón de cualquiera de una cáscara superior
unido de energía en el átomo (produciendo otra vacante que es a su vez llenado por
electrones de aún mayores conchas unido de energía) o por los electrones no unidos de
baja energía. La diferencia en la energía de unión entre la capa de electrones en la que se
produjo la vacante y la cáscara de la cual el electrón viene a llenar la vacante se emite
como un fotón. La energía del fotón es en la región de rayos X de laespectro
electromagnético. Como la estructura de electrones de cada elemento es único, las
energías de línea de rayos X serie producida por vacantes en las conchas más internas es
característico de ese elemento, aunque las líneas de diferentes elementos pueden
superponerse. Como las conchas más interiores están implicados, las energías de línea de
rayos X generalmente no se ven afectados por los efectos químicos producidos por la
unión entre elementos en compuestos excepto en bajo número atómico (Z) elementos (B,
C, N, O y F para Kalfa y Al a Cl para Kbeta) Donde las energías de línea pueden ser
desplazadas como resultado de la participación de la capa de electrones desde el que las
vacantes se llenan en el enlace químico.
Los rayos X característicos se utilizan para el análisis químico. longitudes de onda o
energías de rayos X específicos se seleccionan y se contaron, ya sea porlongitud de onda
espectroscopia de dispersión de rayos X(WDS) oespectroscopia de rayos X de energía
dispersiva(EDS). WDS utilizadifracción de Bragga partir de cristales para seleccionar
longitudes de onda de rayos X de interés y dirigirlos a de flujo de gas o detectores
proporcionales sellados. En contraste, EDS utiliza un estado sólidodetector
semiconductorpara acumular los rayos X de todas las longitudes de onda producidas a
partir de la muestra. Mientras EDS da más información y requiere típicamente un tiempo
de recuento mucho más corto, WDS es generalmente una técnica más precisa con los
límites inferiores de detección debido a que su resolución de los picos de rayos X superior
y mayor pico de relación de fondo.
Composición química se determina mediante la comparación de las intensidades de rayos
X característicos del material de la muestra con las intensidades de composición conocida
(estándares). Conteos de la muestra deben corregirse para tenerefectos de
matriz(Profundidad de la producción de los rayos X,[5][6]absorcióny
secundariafluorescencia[7][8]) Para producir composiciones químicas cuantitativos. La
información química resultante se recoge en el contexto de textura. Las variaciones en la
composición química dentro de un material (zonificación), tales como un grano mineral o
metal, se pueden determinar fácilmente.
Volumen desde el que se recopila información química (volumen de rayos X generación)
es de 0,3 - 3 micrómetros cúbicos.
limitaciones[editar]

 WDS es útil para números atómicos altos, por lo tanto WDS no puede determinar
elementos por debajo número 5 (boro). Esta limitación se establece restricciones a la
hora de analizar los elementos WDS geológicamente importantes, tales como H, Li y
Be.[9]
 A pesar de la mejora de la resolución espectral de los picos elementales, algunos
picos presentan solapamientos significativos que resultan en desafíos analíticos (por
ejemplo, VKα y TiKβ). análisis WDS no son capaces de distinguir entre los estados de
valencia de los elementos (por ejemplo, Fe2+Fe vs.3+) De modo que esta información
debe ser obtenida por otras técnicas (por ejemplo,espectroscopía
Mössbaueroespectroscopia de pérdida de energía de electrones).[10]
 Las múltiples masas de un elemento (es decir, isótopos) no pueden ser determinadas
por WDS, sino más bien son los más comúnmente obtienen con unaespectrómetro de
masas.[11]
La técnica se utiliza comúnmente para el análisis de la composición química de metales,
aleaciones, cerámicas y vidrios. Es particularmente útil para evaluar la composición de las
partículas o granos individuales y los cambios químicos en la escala de unos pocos
micrómetros a milímetros. La microsonda electrónica es ampliamente utilizado para la
investigación, control de calidad, y el análisis de fallos.
Mineralogía y petrología[editar]
Esta técnica se utiliza con mayor frecuencia por los mineralogistas y petrólogos. La
mayoría de las rocas son agregados de pequeños granos minerales. Estos granos pueden
preservar la información química adoptada durante su formación y la posterior alteración.
Esta información puede iluminar procesos geológicos, tales como cristalización, litificacion,
vulcanismo, metamorfismo, eventos orogénicos (edificio de montaña), tectónica de placas.
Esta técnica también se utiliza para el estudio de las rocas extraterrestres (es decir,
meteoritos), y proporciona datos química que es vital para entender la evolución de los
planetas, asteroides y cometas.
El cambio en la composición elemental del centro (también conocido como núcleo) hasta el
borde (o borde) de un mineral puede proporcionar información sobre la historia de la
formación del cristal, incluyendo la temperatura, la presión, y la química del medio
circundante. Los cristales de cuarzo, por ejemplo, incorporan una pequeña, pero
mensurable cantidad de titanio en su estructura como una función de la temperatura, la
presión y la cantidad de titanio disponibles en su entorno. Los cambios en estos
parámetros son registrados por titanio como el cristal crece.
Paleontología[editar]
En fósiles excepcionalmente conservados, como los de laesquisto de Burgess, Partes
blandas de organismos pueden ser preservados. Dado que estos fósiles se comprimen en
una película en 2D, puede ser difícil deducir qué características eran lo: un ejemplo famoso
es el de extensiones triangulares enOpabinia, Que fueron interpretados como cualquiera
de las piernas o extensiones de la tripa. mapeo elemental mostró que tenían una
composición similar a la del intestino, favoreciendo la segunda interpretación.[12]Debido a la
naturaleza delgada de las películas de carbono, solamente tensiones bajas (5-15 kV)
pueden ser utilizados en dichos especímenes.[13]
El análisis de meteoritos[editar]
La composición química de meteoritos puede ser analizado con bastante precisión
mediante la técnica de EPMA. Esto puede revelar una gran cantidad de información acerca
de las condiciones que existían en nuestro Sistema Solar, hace muchos años
espectroscopia de rayos X de longitud de onda de dispersión de(WDXS o WDS) es
un método utilizado para contar el número deRayos Xde una específicalongitud de
ondadifractadapor un cristal. La longitud de onda de la que incide de rayos X y
espaciamientos de red del cristal están relacionados porla ley de Braggy producir
interferencia constructiva si se ajustan a los criterios de la ley de Bragg. A diferencia de la
técnica relacionada deespectroscopia de rayos X de energía dispersiva(EDS), WDS lee o
cuenta sólo los rayos X de una sola longitud de onda a la vez, no producir un amplio
espectro de longitudes de onda o energías simultáneamente. WDS se utiliza
principalmente en el análisis químico, en unafluorescencia de rayos Xespectrómetro, En
unamicrosonda electrónica, Y también puede ser utilizado en unamicroscópio electrónico
escaneando.

Explicación[editar]
Los rayos X emitidos por la muestra que se analiza se colima mediante cuchillas de cobre
paralelos (llamadoscolimadoro Soller rajas), e irradiar una única conocidacristalen un
ángulo preciso. El cristal únicodifractalos fotones (la ley de Bragg), Que son recogidos por
un detector, por lo general unacontador de centelleoo unacontador proporcional.
El cristal único, la muestra y el detector están montados con precisión en
unagoniómetrocon la distancia desde la fuente de rayos X (la muestra) y el cristal igual a la
distancia del cristal al detector. Por lo general, se opera bajo vacío para reducir la
absorción de radiación suave (fotones de baja energía) por el aire y por lo tanto aumentar
la sensibilidad para la detección y cuantificación de elementos ligeros (entreboroyoxígeno).
Los sistemas modernos contienen una pequeña cantidad de cristales de propiedades
conocidas pero distintas, con el cambio automatizado del cristal en función de la energía
que está siendo analizado, lo que permite elementos de toda la tabla periódica a analizar,
con la excepción de hidrógeno,helioylitio, Ya que su número atómico, y por extensión
sección transversal de rayos x, es demasiado baja para analizar a través de métodos de
rayos x.
Es un método conveniente y sensible para la determinación de los componentes químicos
y la composición de las fases en la microescala.
espectroscopia de rayos X de energía dispersiva(EDS, EDX, EDXS o XEDS), a veces
llamados análisis de energía dispersiva de rayos X (EDXA) o de dispersión de energía
microanálisis de rayos X (EDXMA), es una técnica analítica utilizada para laanálisis
elementalocaracterización químicade una muestra. Se basa en una interacción de
algunosfuentederadiografíade excitación y unamuestra. Sus capacidades de
caracterización se deben en gran parte al principio fundamental de que cada elemento
tiene un únicoestructura atomicapermitiendo que un único conjunto de picos en su
electromagnéticoespectro de emisión[2](Que es el principio fundamental deespectroscopia).
Para estimular la emisión de rayos X característicos de un espécimen, un haz de alta
energía de partículas cargadas, tales comoelectronesoprotones(verPIXE), O un haz de
rayos X, se centra en la muestra en estudio. En reposo, un átomo dentro de la muestra
contieneestado fundamental(o no excitado) electrones en niveles discretos de energía
ocapas de electronesunido al núcleo. El haz incidente puede excitar un electrón en una
carcasa interior, expulsándola de la cáscara, mientras que la creación de unaelectrón-
huecodonde el electrón era. Un electrón de una cáscara, mayor energía exterior a
continuación llena el agujero, y la diferencia de energía entre la cubierta de alta energía y
la cáscara de energía más bajo puede ser liberado en forma de una placa de rayos X. El
número y la energía de los rayos X emitidos desde una muestra se pueden medir mediante
un espectrómetro de energía dispersiva. Como las energías de los rayos X son
característicos de la diferencia de energía entre las dos conchas y de la estructura atómica
del elemento emisor, EDS permite que la composición elemental de la muestra a medir.[3]

Equipo[editar]
Cuatro componentes principales de la instalación son EDS
 1. la fuente de excitación (haz de electrones o haz de rayos X)
2. ladetector de rayos X
3. el procesador de impulsos
4. el analizador.[cita requerida]
Electrón de excitación del haz se utiliza enmicroscopios electrónicos,microscopios
electrónicos de barrido(SEM) ymicroscopios electrónicos de transmisión de
barrido(VÁSTAGO). De rayos X de excitación del haz se utiliza enfluorescencia de rayos
X(XRF) espectrómetros. Un detector se utiliza para convertir la energía de rayos X
envoltajeseñales; esta información se envía a un procesador de impulsos, que mide las
señales y los pasa a un analizador para la visualización y análisis de datos.[cita requerida]El
detector más común usado para serSi (Li) detectorse enfría a temperaturas criogénicas
con nitrógeno líquido. Ahora, los nuevos sistemas a menudo están equipados
condetectores de deriva de silicio(SDD) conenfriamiento PeltierLos sistemas.

variantes tecnológicas[editar]

Principio de EDS

El exceso de energía del electrón que migra a una carcasa interior para llenar el agujero
recién creado puede hacer más que emitir una radiografía.[clarifique]A menudo, en lugar de la
emisión de rayos X, el exceso de energía se transfiere a un tercer electrón de una capa
exterior adicional, lo que provocó su expulsión. Esta especie se denomina
eyectadaselectrones Auger, Y el método para su análisis es conocido comoespectroscopia
de electrones Auger(AES).[cita requerida]
espectroscopía de fotoelectrones de rayos X(XPS) es otro pariente cercano de EDS,
utilizando expulsado electrones de una manera similar a la de AES. La información sobre
la cantidad yenergía cinéticade electrones expulsados se utiliza para determinar laenergía
de uniónde estos electrones ahora liberados-, que es específico del elemento y permite la
caracterización química de una muestra.[cita requerida]
EDS es a menudo contrasta con su contraparte espectroscópica, WDS (longitud de onda
espectroscopia de dispersión de rayos X). WDS difiere de EDS, ya que utiliza
eldifracciónde los rayos X sobre cristales especiales para separar sus datos en bruto en
los componentes espectrales (longitudes de onda). WDS tiene una resolución espectral
mucho más fino que EDS. WDS también evita los problemas asociados con los artefactos
en EDS (falsos picos, el ruido de los amplificadores, ymicrofonía).

Exactitud de EDS[editar]
EDS se puede utilizar para determinar qué elementos químicos están presentes en una
muestra, y se puede utilizar para estimar su abundancia relativa. EDS también ayuda a
medir el espesor de revestimiento de múltiples capas de recubrimientos metálicos y
análisis de las diversas aleaciones. La precisión de este análisis cuantitativo de
composición de la muestra se ve afectado por varios factores. Muchos elementos habrán
superposición de picos de emisión de rayos X (por ejemplo, Ti Kβy VKα, Mn Kβy Fe Kα). La
exactitud de la composición medido también se ve afectada por la naturaleza de la
muestra. Los rayos X son generados por cualquier átomo en la muestra que se excita de
manera suficiente por el haz entrante. Estos rayos X son emitidos en todas las direcciones
(isótropa), y así puede que no todos escapar de la muestra. La probabilidad de que una
placa de rayos X escapar de la muestra, y por lo tanto estar disponibles para detectar y
medir, depende de la energía de los rayos X y la composición, cantidad y densidad del
material que tiene que pasar a través para alcanzar el detector. Debido a este efecto de
absorción de rayos X y efectos similares, la estimación precisa de la composición de la
muestra del espectro de emisión de rayos X medido requiere la aplicación de
procedimientos de corrección cuantitativos, que a veces se hace referencia como
correcciones de matriz.[4]

Tecnología emergente[editar]
Hay una tendencia hacia un detector EDS más nuevo, llamado detector de deriva de
silicio(SDD). El SDD consiste en un chip de silicio de alta resistividad donde los electrones
son conducidos a un pequeño ánodo de recogida. La ventaja radica en la extremadamente
baja capacitancia de este ánodo, utilizando así los tiempos de procesamiento más cortos y
permitiendo un rendimiento muy alto. Beneficios de la SDD incluyen:[cita requerida]

1. tasas de recuento altos y procesamiento,

2. Mejor resolución que los detectores tradicionales Si (Li) a altas tasas de recuento,
3. Menor tiempo muerto (tiempo empleado en caso de rayos X de procesamiento),
4. Faster capacidades analíticas y mapas más precisos de rayos X o los datos de
partículas recogidas en segundos,
5. Capacidad para ser almacenada y funcionar a temperaturas relativamente altas,
eliminando la necesidad denitrógeno líquidoenfriamiento.
Debido a que la capacitancia del chip SDD es independiente del área activa del detector,
chips de SDD mucho más grandes pueden ser utilizados (40 mm2o más). Esto permite
incluso una mayor recaudación de la tasa de conteo. Otras ventajas de chips más grandes
de interés incluyen:[cita requerida]

1. Reducción al mínimo de la corriente de haz SEM lo que permite la optimización de

la formación de imágenes en condiciones de análisis,
2. Redujo el daño de la muestra y
3. interacción del haz más pequeño y una mejor resolución espacial para los mapas
de alta velocidad.
Cuando las energías de rayos X de interés son más de ~ 30 keV, las tecnologías
tradicionales basadas en silicio sufren de una pobre eficiencia cuántica debido a una
reducción en el detector potencia de frenado. Detectores producidos a partir de
semiconductores de alta densidad tales comotelururo de cadmio (CdTe)yteluro de cadmio
zinc (CdZnTe)han mejorado la eficiencia en energías de rayos X más altos y son capaces
de operación de la temperatura ambiente. sistemas de elementos individuales, y
detectores de imagen más recientemente pixelados como laHEXITEC sistema, son
capaces de lograr resoluciones de energía del orden de 1% a 100 keV.
En los últimos años, un tipo diferente de detector EDS, basado en un superconductor
microcalorımetro, También se ha convertido en disponible en el mercado. Esta nueva
tecnología combina las capacidades de detección simultáneos de EDS con la alta
resolución espectral de WDS. El EDS microcalorímetro consta de dos componentes: un
absorbedor, y un superconductorsensor transición de flanco(TES)termómetro. El primero
absorbe los rayos X emitidos desde la muestra y convierte esta energía en calor; las
últimas medidas el cambio subsiguiente en la temperatura debido a la afluencia de calor.
El microcalorımetro EDS ha sufrido históricamente de una serie de inconvenientes,
incluyendo bajas tasas de recuento y pequeñas áreas del detector. La tasa de recuento se
ve obstaculizada por su dependencia de latiempo constantedel circuito eléctrico del
calorímetro. El área del detector debe ser pequeña con el fin de mantener elcapacidad
caloríficapequeña y maximizar la sensibilidad térmica (resolución). Sin embargo, la tasa de
recuento y el área del detector se han mejorado mediante la aplicación de matrices de
cientos de superconductores microcalorímetros EDS, y la importancia de esta tecnología
es cada vez mayor.