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P / N 305-27036-01C
Microscópio Eletrônico de Varredura
SUPERSCAN série SS / SSX
Guia de Observação
COMPLETAMENTE LEIA ESTE MANUAL DE INSTRUÇÕES para a operação adequada.
Guarde o manual com cuidado para que possa utilizá-lo sempre que necessário
ANALÍTICO & INSTRUMENTOS DE MEDIÇÃO DIVISÃO
KYOTO, JAPÃO
Nota
• O uso, a transmissão ou a cópia deste guia de observação em parte ou na totalidade, sem a permissão
expressa da Shimadzu Corporation é proibido por lei.
• As telas e os seus conteúdos mostrados neste manual são baseadas no SS-550 Software V2.02.
• Versões e opções mostradas no manual pode ser diferente do instrumento utilizado pelo cliente. A disposição dos
ícones no ícone da barra de ferramentas barra de ferramentas menu e controle editável também pode ser
diferente.
• Os ecrãs apresentados neste manual foram suprimidas e podem aparecer ligeiramente diferentes das telas
de software reais.
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Eu
Conteúdo
1 Introdução ................................................. .................................................. ................... 2
1.1 Esboço ................................................ .................................................. ..................... 2
1.2 Pontos importantes ............................................... .................................................. ....... 3
2 Preparação de Observação ............................................... ............................................. 4
2.1 Carregando o Specimen .............................................. ................................................. 4
2.2 Ventilação ................................................ .................................................. ..................... 4
2.3 Fixação do Specimen Stage ............................................. ........................................... 4
2.4 Bomba (Evacuação) ............................................. .................................................. ..... 4
2.5 O campo de visão de pré-posicionamento ......................................... ........................................... 5
3 Observações ................................................. .................................................. .................. 6
3.1 Observação inicial ............................................... .................................................. ... 6
3.1.1 feixe sobre ............................................. .................................................. ............... 6
3.1.2 Brilho Grosseiro Ajuste ............................................ ............................... 6
3.1.3 Alterar a Ampliação ............................................ ................................... 6
3.1.4 foco aproximado ............................................. .................................................. ... 6
3.1.5 Definir a Velocidade de Digitalização ........................................... ..................................... 6
3.2 posicionamento do campo de visão ........................................... ................................................ 7
3.2.1 Grosso Posicionamento ............................................. ................................................. 7
3.2.2 Modos de operação de campo-de-view ........................................ ................................... 8
3.3 Otimização de imagem ............................................... .................................................. 10
3.3.1 configuração de ampliação e Probe Tamanho .......................................... .................... 10
3.3.2 Focalizando .............................................. .................................................. ............. 11
3.3.3 Correção astigmatismo ............................................. ....................................... 12
3.3.4 Ajustando o contraste e brilho ........................................... ....................... 14
3.4 Salvando Imagens ............................................... .................................................. ......... 15
3.4.1 Imagem Congelar ............................................. .................................................. ...... 15
3.4.2 salvar e abrir Imagens ........................................... .................................. 15
4 -Alta ampliação Observações .............................................. .................................... 16
4.1 Configuração da Sonda Tamanho ............................................. ................................................ 16
4.2 Definir a distância de trabalho (WD) .......................................... .............................. 16
4.3 Definir a tensão de aceleração ............................................. ................................ 17
4.4 Definir o Espécime de inclinação (se necessário) ......................................... ..................... 17
4.5 Alterar a Abertura Objetivo (casos especiais em 10000x ou maior ampliação) ....................................
.................................................. .......................... 17
ii
4.6 Definir Congelar Imagem (se necessário) .......................................... ................................ 17
5 Isoladores de observação (Baixo-aceleração) Observações .......................................... ...... 18
5.1 Efeito de carregamento ............................................... .................................................. ....... 18
5.2 Definir a tensão de aceleração ............................................. ................................ 18
5.3 Configurar a Sonda Tamanho ............................................. ................................................ 19
5.4 Definir a distância de trabalho (WD) e Specimen Inclinação ................................... 19
5.5 Definir a Velocidade de Digitalização ............................................. ....................................... 19
5.6 Imagens de congelamento ............................................... .................................................. ...... 20
6 Observações no Ponto Eucentric ............................................. ................................ 21
6.1 Eucentric Stage ............................................... .................................................. ....... 21
6.2 Ajuste fino do ponto Eucentric ........................................... ...................... 21
7 Backscattered Electron (BSE) Observações (Opcional) ......................................... ...... 22
7.1 Instalar o Detector Backscatterd Electron ............................................ ........... 22
7.2 Definir a Velocidade de Digitalização ............................................. ....................................... 22
7.3 Definir a Aceleração Tamanho Tensão e Probe .......................................... ......... 22
7.4 Definir a distância de trabalho (WD) e Specimen Inclinação ................................... 22
7.5 Ajuste do Sinal, Modo e Faixa ......................................... ............................ 23
Apêndice 1 SEM Glossário de Termos .............................................. ................................ 24
Apêndice 2 Gráfico de Dados da Fase Inclinação Faixa .......................................... .................. 30
Apêndice 3 Lista de suportes de amostra ............................................ .................................. 31
Apêndice 4 Procedimentos de ajuste para Electron Beam Ponto de saturação e Alinhamento Axial
...................................... .................................................. .................................. 32
1. Quando são os Electron Beam Ponto de saturação e ajustes de alinhamento axial necessária?
.................................................. .................................................. ................... 33
2. Electron Beam Ponto de saturação e Axial Ajuste de Alinhamento fluxogramas .... 33
3. Procedimentos de Ajuste .............................................. ............................................... 34
3-1 Filamento Envelhecimento ............................................. .................................................. ...... 34
3-2 Definir Filament atual usando a função Saturação Automático ............... 35
3-3 Ajuste das correntes de emissão .......................................... ....................... 36
3-4 Ajuste fino das correntes filamentos usando padrões de emissão ............... 36
3-5 ajuste de inclinação padrões, utilizando a emissão .......................................... ................ 39
3-6 Trans Ajustamento usando o teste padrão Trans ......................................... ............... 41
7/3 Ajuste fino da abertura móvel Objectivo usando o Wobbler .......... 43
3-8 Ajustamento da abertura móvel Objectivo quando ocorre o deslocamento axial .....................................
.................................................. .................................. 45
4. Substituir o filamento ............................................. ................................................ 46
Bibliografia ................................................. .................................................. ................... 47
Conteúdo de Figuras ............................................... .................................................. .......... 47
Índices ................................................. .................................................. ............................ 49
iii
iv
Microscópio Eletrônico de Varredura
SUPERSCAN SS-550
1
1 Introdução
1.1 Esboço
Este manual fornece diretrizes para usar de forma mais eficaz as funções de observação SUPERSCAN SS / SSX Series
Microscópio Eletrônico de Varredura.
Além disso, consulte o Manual de Instruções SS / SSX Series e os manuais de instrução para qualquer equipamento
opcional.
A Fig. 1 SEM Janela Principal
2
1,2 Pontos importantes
Geral
- As explicações neste manual referem-se ao padrão 15 mm espécime suporte (15 mm dia., 11 mm de altura).
- As explicações referem-se ao uso de um 40 μ m abertura objectivo ( quatro marcadores brancas visíveis). De acordo
com o ambiente de operação, o ajuste de abertura inicial de instrumento do cliente pode mudar para 70 μ m (três
marcadores brancas visíveis), 150
μ m (dois marcadores branco visível), ou 1 mm (um marcador branco visível). corrente de irradiação torna-se
grande, de modo a amplia abertura objectivo com 40 μ m 70 μ m, 150
μ m, e 1 milímetro. Normalmente, 40 μ m é usado. 70 μ m e 150 μ m utilizada para o mapeamento com o Série SSX ou
produtos de outros fabricantes de acordo com a corrente de irradiação. Um milímetro usado para baixo vácuo opcional
SEM.
Ampliação e Pixcels
- o Exibição ampliação de imagens mostrado neste manual observação é a mesma

como a ampliação do original.
- A ampliação exibido em [Controle de Vídeo] e [Parâmetro Toolbar] é a 85x108 mm filme instantâneo tamanho da
imagem. Esta ampliação é de aproximadamente 0,8 vezes a ampliação para a 4 "x5" (101x131 mm) de
tamanho fotografia.
- A ampliação de exibição para o monitor CRT de 640x480 pixels é 2 vezes a ampliação exibido em [Controle de
Vídeo] e [Parâmetro Toolbar].
- Imagens para operações de tela e economia são tomadas em 1280x960 pixels. Quando convertido para o tamanho
4 "x5" fotografia normal utilizado para SEM, este número de pixels resulta em um tamanho de pixel de
aproximadamente 0,1 mm, o que alcança uma resolução satisfatória aproximação para a resolução normal do
olho nu e a resolução das imagens impressas por comercialmente impressoras disponíveis. Os dados para
imagens digitais tratados exclusivamente no visor pode ser a resolução de 640x480 pixels.
Operação
- As imagens devem ser salvos no disco rígido. Para gravar as imagens para computadores CD-R ou de rede, primeiro salvar as
imagens para o disco rígido, e transferir posteriormente os arquivos.
- Conduzir clique do mouse ou as operações de arrastar com o botão esquerdo, como normal. Realizar operações de
foco com o botão direito.
- O Ícone histerese Correction está localizado na [Barra de Ferramentas de Controle]. Ele é usado para
definir com precisão o ponto eucentric, de acordo com a secção 6.2 O ajuste fino do ponto Eucentric. Além disso, é
recomendado que você clique no ícone e
em seguida, ajustar o foco para definir a ampliação correcta para observações depois da tensão de aceleração, o
tamanho da sonda (de corrente), eixo de foco, ou fase Z é alterada ,. correção de histerese é uma correção de
sistema óptico que permite se concentrar em condições idênticas para limitar erros de ampliação.
- WD representa a distância de trabalho da superfície da amostra no foco de observação à superfície inferior da lente
objetiva. O valor WD está permanentemente exibido no [Parâmetro Toolbar]. O valor WD muda quando o foco
muda; ajustar o foco antes de ler o valor WD.
3
2 Preparação de Observação
2.1 Carregando o Specimen
Ficar firmemente a amostra no centro do suporte 15 mm (acessório padrão) usando fita adesiva de dupla face (fita
carbono STR-9144 (acessório padrão)).
Realizar revestimento, deposição em vácuo, ou outra forma de preparação, se necessário. Consulte o manual de instruções do
equipamento de revestimento para mais informações sobre o método de revestimento.
Nota
Um outro suporte da amostra (32 mm, por exemplo) ou um adesivo diferente (massa condutora) também pode ser
usado.
2.2 ventilação
Quando o feixe está fora, clique em [Painel de Controle] → [ Ambiente separador]
(Fig. 2) → VENT para iniciar ventilação a especificidade câmara de homens. Se o feixe
estiver ligado, abeto st cli ck BEAM ON para desligar o feixe, e depois clique VENT .
Após ventilação é completada em cerca de 2 minutos, puxar a porta do
espécime-câmara na sua direcção.
Nota
- Para iniciar o instrumento quando estiver totalmente parado,
clique em [Co Painel ntrol] → [ Posicionamento separador] (Fig. 3) →
Inicializar .
- Se a fase se inicializado, ele é mais fácil apertar os parafusos nos
procedimentos descritos na secção 2.3 Fixação do Specimen Stage.
Isto reduz o
possibilidade da amostra tocando os instrumentos dentro da câmara de
amostra.
- Você pode economizar tempo através da realização de inicialização durante a ventilação.
A Fig. 2 Tab Ambiente
2.3 Fixação do Specimen Stage

Inserir o suporte de 15 milímetros no buraco no centro da mesa rotativa. Gire os parafusos na face lateral com a
chave de fenda fornecida para fixar o suporte no lugar. Verifique que o espécime não está tocando os instrumentos
dentro da câmara de amostra. (E se
a amostra está em contacto, diminuir o eixo fase Z espécime.) Fechar a porta
espécime-câmara.
Nota
O movimento de vista pode ser limitada durante as observações utilizando o suporte de vários espécime opcional. Vejo Apêndice
2 Gráfico de Dados da Fase Inclinação Faixa
2.4 Bomba (Evacuação)

Clique em [Painel de Controle] → [ Ambiente separador] (Fig. 2) → BOMBA . Demora cerca de 2
minutos para alcançar o status operacional (quando a imagem aparece).
4
2,5 O campo de visão pré-posicionamento
É mais fácil de se obter o campo de destino da vista se o campo de visão de pré-posicionamento é realizado antes
de ligar o feixe.
Clique em [Painel de Controle] →
[Visão] separador (Fig. 3) →

Tabela posição para exibir a Tabela
posição, similar ao mostrado na Fig. 4
(exemplo utilizando a base de suporte
multi-amostra opcional). Depois de
inicialização, a
fase X, Y, Z, R, T coordenadas
aparecem como -63,
- 20, 0, 0, 0.
Fig.3 Positioning Tab Fig.4 Tabela Posição
Para observação em ampliação de 50x, ou maior , Introduzir as coordenadas 0, 0, Z, 0, 0 na Tabela posição (fig. 4)
e clicar sobre Mover . Para observar a superfície do suporte 15 mm, introduza um valor de eixo Z de
aproximadamente 30. À medida que a amostra real é montado sobre o suporte de amostras, o valor introduzido Z
deve ser corrigido para a altura da amostra.
(Por exemplo, se a altura da amostra é de 5 mm, introduzir um Z valor de
25 milímetros. Calcule o Z valor como 30 - espécime altura H.)
Se o espécime a observar não é no centro do suporte da amostra, introduzir o X e aproximada coordenadas Y.
Para obter uma imagem aproximadamente focado, ajustar o foco, como descrito na seção
3.3.2 Focalizando, até que o valor WD no [Parâmetro barra de ferramentas] é apresentado como "17." (Fig. 5)
Para observação em menos de ampliação de 50x , A relação em muito da mesma maneira como WD = 47-ZH existe
entre a distância a partir da amostra a lente objectiva (WD), o valor de fase de amostra Z (Z), e o valor da altura da
amostra (H). (O valor 47 difere ligeiramente de instrumento para instrumento.) Se a altura da amostra é 3 m m,
introduzir as coordenadas 0, 0, 0, 0, 0 na Tabela posição (fig. 4) e clicar sobre Mover para obter uma imagem
focalizada em aproximadamente WD = 44 mm (Fig. 6). A ampliação mínima disponível é 16x, utilizando-se um outro
suporte de amostra na WD = 52 mm.
A Fig. 5 Observação em 40x A Fig. 6 Observação em 18x
5
3 observações
3.1 Observação inicial
3.1.1 feixe On
Enquanto "OPERAR" é exibida na [Barra de Estado], clique em [Painel de

Controle] → [ Ambiente separador] (Fig. 7) → definir o acc elerating valor de tensão
de 15,0 kV → Clique em BEAM ON . Uma imagem de aproximadamente
focalizada é obtido se as operações na secção 2.5 acima foram conduzidos.
Para observar materiais isolantes, ver secção 5. Isoladores de observação.
3.1.2 Brilho Grosseiro Ajuste
O brilho e o contraste podem ser facilmente ajustada através da alteração

do contraste e do brilho valores no [Controle de vídeo] (Fig. 8).
Aumentar o contraste e
valores de brilho para iluminar a imagem global escuro. Por outro lado, diminuir
os valores de contraste e brilho, se a imagem está muito clara. Para mais
A Fig. 7 viga sobre
detalhes, consulte a secção 3.3.4 Ajustar contraste e brilho.
3.1.3 Alterar a Ampliação
Arrastar o “Ampliação” barra de deslocamento no [Controle de vídeo] (Fig.

A Fig. 8 Controle de vídeo
8) com o rato para ajustar a ampliação. Alternativamente, ampliações definidas
podem ser selecionados a partir do menu suspenso.
3.1.4 foco aproximado
Arraste o botão direito do mouse na janela de imagem para ajustar o foco.

Arraste o mouse para a direita para mover o foco para o fundo da amostra
(distância da tela); ou mover o rato para a esquerda para mover o foco para o
topo da amostra (no sentido da tela). Para mais detalhes, consulte a secção 3.3.2
Com foco.
3.1.5 Definir a Velocidade de Digitalização
Clique em [Painel de Controle] → [ Ver tab] ( A Fig. 9) e, em seguida, seleccionar a velocidade de
digitalização de controle quanto televisão (Ou clique no
ícone na [Barra de Ferramentas de Controle]). Nesse momento,

selecionar automaticamente recursiva 4 no filtro, e pode-se observar imagens
estáticas (imagens de TV) lisas.
A Fig. 9 Velocidade de digitalização
6
Se nenhuma imagem é visível
O posicionamento correcto para a posição de observação alvo? → Reajustar a posição de fase.
Observação em baixa ampliação? → Defina a ampliação para o mínimo (esquerda).
luminosidade adequada? → Ajustar os valores de brilho e contraste. Ver 3.3.4.
Filamento queimado? → O filamento é soprado se a emissão Curr. é 0 μ Um para controlo de feixe
no separador [Configuração]. Substituir o filamento.
configurações do detector correto? → Clique em [Painel de Controle] → [ Ver tab] → seleccionar a Digitalização
Detector controle como SE → ligar 10 kV. (Fig. 9)
3.2 O campo de visão posicionamento
3.2.1 Posicionamento Grosso
A Fig. 10 Posicionamento Tab Fig. 11 Mapa (exemplo com a Fig. 12 Posição Tabela opcional
multi-amostra de base do porta-)
Clique em [Painel de Controle] → [ Posicionamento separador] (Fig. 10) → Mapa (Ou clique no ícone
no [Barra de Controlo]) para apresentar um ecrã semelhante ao da Fig. 11. O ponto preto piscando neste ecrã
indica a actual X, Y posição e a caixa de verde indica a extensão da imagem exibida na janela de imagem. (O
exemplo na Fig. 11 tem coordenadas 0, 0, 0, 0, 0, WD52 e 16x de ampliação.) Duplo clique com o botão na área
em branco com uma amostra no ecrã do Mapa (gama de X, o movimento Y do estágio) a mover-se a fase; a caixa
verde move simultaneamente.
Alternativamente, a etapa pode ser movido inserindo coordenadas apropriadas para os cinco eixos, como descrito
para o campo de visão pré-posicionamento. (A Fig. 12 mostra a fase
posição de inicialização).
Cuidado
Certifique-se de que a amostra não faz contato com qualquer coisa dentro da câmara de amostra quando as
coordenadas Z e T são de entrada.
Com uma altura de suporte 15 mm, sem contacto irá ocorrer a uma configuração de Z = 40 mm. No entanto, se uma amostra de 5 milímetros é
montada sobre o suporte, a configuração deve ser diminuído de 5 mm para Z = 35 mm ou menos.
Com uma altura de suporte 15 mm e uma posição Z dando WD = 17, sem contacto irá ocorrer para valores de entrada na gama a
t = -30 até +60. No entanto, o contato pode ocorrer por valores fora desta faixa e devem ser consideradas as restrições sobre o
ângulo de inclinação. Vejo Apêndice 2 Gráfico de Dados da Fase Inclinação Range.
7
3.2.2 Modos de Operação do campo de visão
A composição da imagem a ser observada pode ser facilmente obtida usando os modos na guia [Posicionamento]
(Fig. 10).
CENTRO : Basta clicar sobre a posição central desejado para mover automaticamente a posição selecionada para
o centro da imagem.
A Fig. 13 Antes de centragem A Fig. 14 Depois de centragem
MÃO : Arrastar o objecto a ser visualizado no ecrã com o rato a posição final. Normalmente utilizado com, pelo
menos, 10.000 de ampliação como a amplitude de movimento é ± 5 μ m.
A Fig. 15 antes de mover com a mão A Fig. 16 após mover com a mão
MOVER : Arraste o rato sobre a tela para mover

para desenhar uma linha verde a partir do centro da tela
na direcção do ponto de arrastar e mover o campo de
visão a partir do ponto de arrasto na direcção do centro. A
direcção do movimento fase é determinada pela direcção
da linha entre o ponto de arrasto e do centro, e a
velocidade de movimento do campo de vista do outro lado
da tela é determinado pela distância entre o ponto de
arrasto e o centro (quanto menor o distância, mais lenta é
a velocidade). O sentimento das operações de tela não
difere de acordo com a ampliação.
Figura 17 Imagem em Movimento Modo
8
AREAZOOM : Arraste o mouse sobre a tela para definir uma área retangular. Solte o mouse para ampliar
automaticamente no retângulo designado.
A Fig. 18 Definir a área do zoom Retângulo Fig. 19, após a área de zoom
LINHA : Arraste o mouse em uma tela de baixa ampliação para designar uma linha a ser definida horizontal e, em
seguida, solte o botão do mouse. A fase XYR é accionado automaticamente para definir a linha horizontal.
Nota
Para certas relações posicionais do espécime na fase XYR, a linha designada não pode ser ajustada na horizontal. Se a
tela não é uma tela de baixa ampliação, a linha designada não pode ser exibida.
A Fig. 20 designando a Linha A Fig. 21 Após a operação de linha
XYZ Stage Modo movimento Contínuo
Manter clicando no botão do mouse no X ,Y , Ou Z No vídeo
Controlo] para mover continuamente o eixo fase correspondente.
A Fig. 22 de controlo de vídeo
9
Otimização 3,3 Imagem
3.3.1 configuração de ampliação e Probe Tamanho
◆ Alterar o tamanho da sonda (de corrente) de acordo com a ampliação (Fig. 23)
para se obter imagens nítidas. Reduzir o tamanho da sonda para
observações de elevada ampliação (inferior corrente irradiação) ou aumentar
o tamanho da sonda para observações de menor ampliação superior
(corrente de irradiação). A orientação é mostrada na Tabela 1.
Ampliação Probe Tamanho
100 x 5.00 ( 4,00-6,50 )

500 x 5.00 ( 4,00-6,50 )
1000 x 5.00 ( 4,00-6,00 )
3000 x 4.00 ( 3,00-5,00 )
5000 x 3.00 ( 2,00-4,00 )
10000 x 2,00 ( 1,00-3,00 )
Tabela 1 Recomendado Valores para Ampliação

e Probe Tamanho
A Fig. 23 Sonda Tamanho
A Fig. 24 Sonda 2 Tamanho A Fig. 25 Sonda 3 Tamanho
A Fig. 26 Sonda 4 Tamanho A Fig. 27 Sonda 5 Tamanho
Como se mostra acima, é mais difícil obter uma imagem nítida com um grande tamanho da sonda (corrente mais elevada
irradiação) a alta ampliação. Por outro lado, é difícil obter uma imagem mais suave com um tamanho pequeno de sonda a
baixa ampliação, devido à baixa intensidade de sinal. Consequentemente, o tamanho da sonda deve ser alterado para se
adequar a ampliação.
10
3.3.2 Focalizando
Pressione o botão direito do mouse na janela de imagem para

mudar o cursor para , Como
mostrado na Figura 28. arrastar o rato para a direita para

aumentar WD e mover o foco para a parte inferior da amostra
(distância a partir do ecrã).; ou arrastar o rato para a esquerda
para mover o foco para o topo da amostra (no sentido da tela).
Para focalizar a imagem, arraste o mouse lentamente para a
esquerda ou para a direita e parar quando uma imagem nítida
é exibida.
A Fig. 28 Focalização
Para alcançar uma focagem precisa, aumentar a ampliação de um factor de 2 ou 3 (Figs.

29, 30).
Definir velocidade de digitalização para (Liga automaticamente o filtro recursivo EM)
durante a focagem. Se for difícil focar na TV velocidade, ajuste a velocidade de digitalização para
, ou 3. Clique em [Painel de Controle] → [ Ver] guia (Fig. 9, 48) e, em seguida, selecionar a velocidade no menu
suspenso Velocidade do Controle de Digitalização, ou selecione
de
[Barra de Controlo]. Selecione o tipo de filtro e número no campo do Filtro Configuração no separador [Ver]. Clique
no ícone na [Barra de ferramentas de controle] para ligar o filtro ou
fora.
Depois de se ajustar o foco em alta ampliação, reverter para a ampliação original, como mostrado na Fig. 32.
Fig. Janela 29 Imagem Fig. 30 imagem ampliada
A Fig. 31 Depois de focagem de A Fig. 32 Depois de focagem de
11
Correção 3.3.3 astigmatismo
O astigmatismo pode ocorrer em um microscópio electrónico de
varrimento, em que o eixo do feixe de electrões está desalinhado com a
posição objectiva de focagem da objectiva XY. Os materiais de lentes e de
usinagem, a amostra não-uniformidade, ou contaminação no percurso
óptico pode causar astigmatismo.
Astigmatismo
resulta num feixe de electrões não circular que impede imagens nítidas a
ser obtida. O ajustamento para astigmatismo é chamado de correção de
astigmatismo, ou "stigmation."
Para realizar a correção do astigmatismo , Clique em [Con Painel trol] → [ Ver

separador] (Fig. 33) → Stigmation , Ou clique no
ícone na [Barra de Ferramentas de Controle]). o
cursor muda para quando o rato é movido
na janela de imagem. O cursor, em seguida, muda
para quando o botão esquerdo do mouse é pressionado na janela de
imagem. Mova este cursor para cima, baixo, esquerda ou direita com o
botão esquerdo pressionado para ajustar o astigmatismo, de um modo
semelhante ao ajustar o foco, como descrito na seção 3.3.2 Com foco.
A Fig. 33 Stigmation
Cerca de focalizar a imagem conforme descrito na seção 3.3.2
Focalizando ( por exemplo, 2500X de ampliação na Fig. 34). Em seguida,
aumentar a ampliação da imagem.
A Fig. 34 Focalização
Mover o foco numa direcção no visor ampliada na janela de imagem (por exemplo, 5000x ampliação nas Figs. 35,
36, 37) e vá para a distorção da imagem devido ao astigmatismo. Em seguida, deslocar o foco na direção oposta
para distorcer a imagem no sentido oposto. Figura 35 exibe distorção no 4'o'clock - direcção 10'o'clock.; e A figura
37 exibe distorção no 1'o'clock -. 7'o'clock direcção. Quando existe o astigmatismo, a distorção é deslocado 90 ° em
cada lado do foco correto. A orientação efectiva pode variar de instrumento para instrumento. Ajustar o foco de tal
modo que não existe distorção em qualquer direcção (focagem correcta), como mostrado na Fig. 36.
A Fig. 35 Distorção A Fig. 36 sem distorção, mas borrada Fig. 37 Distorção

no Direção na direção
12
Correção e Focando
depois de clicar Stigmation ou o ícone, movimento
o mouse sobre a imagem sem distorção, mas turva na janela de

imagem para mudar o cursor para
. O cursor muda para quando o botão esquerdo do mouse
é pressionado na janela de imagem. Mova este cursor para cima,
baixo, esquerda ou direita com o botão esquerdo pressionado para
corrigir o astigmatismo até uma imagem clara é obtida, de um modo
semelhante ao ajustar o foco, como descrito na seção 3.3.2 Com
A Fig. 38 Antes de astigmatismo foco.
Correção
Realizar uma focagem precisa se nenhuma distorção da imagem
ocorre quando o foco é deslocado. No entanto, se a imagem fica
distorcida quando o foco é deslocado, repetir a correção do
astigmatismo na imagem sem distorções, mas turva até que uma
imagem clara é obtida. Realizar uma focagem precisa se nenhuma
distorção da imagem ocorre quando o foco é deslocado. A Fig. 39
mostra a imagem depois de correcção de astigmatismo e de
focagem. Definir velocidade de digitalização para
durante o astigmatismo
A Fig. 39 Depois de astigmatismo correção, no mesmo era como para focagem. Se a correção de
Correção astigmatismo é difícil na TV velocidade, ajuste a velocidade de
digitalização para , Ou 3.
E após a correcção de astigmatismo e de focagem são completa em
maior ampliação, definir a ampliação necessária para a imagiologia
real (por exemplo, 2500X de ampliação na Fig. 40). Repita esta
correção, como imagens nítidas só pode ser obtido se o
astigmatismo é ajustado corretamente.
Fig.40 Após astigmatismo
Se o astigmatismo é grande, a cruz verde no monitor Stigmation XY

é significativamente deslocada do centro, como na Fig. 33.
Depois de
correcção de astigmatismo, a cruz verde aparece na parte central do

ecrã, como mostrado na Fig. 41. Se a cruz verde permanece
significativamente deslocada do centro do monitor após a correcção
de astigmatismo ou se correcção de astigmatismo não pode ser
completada,
a óptica sistema pode ser
contaminada. Substituição do objectivo
abertura ou limpeza do sistema óptico é necessário.
A Fig. 41 Stigmation
Nota
Consulte o seu representante Shimadzu se for necessária a substituição da abertura objetivo ou limpeza do sistema
óptico.
13
3.3.4 Ajustando o contraste e brilho
O contraste e brilho são facilmente ajustadas por alteração do contraste e os valores de brilho no [Controle de
vídeo] (Fig. 42).
Clique no ícone. Empurrando um botão esquerdo do mouse na tela de observação, o
contraste é aumentada e diminuída pela direita e esquerda movimento, o brilho é aumentado e diminuiu o
movimento superior e inferior, o contraste e o brilho mudança simultaneamente por movimento inclinado. Outro
método é o seguinte,
1. Para o ajuste grosseiro, mantenha pressionado o botão esquerdo do mouse sobre o controle deslizante e mova o controle deslizante para a esquerda ou direita.
(Área azul na Fig. 42.)

2. Para o ajuste fino, clique ao lado do controle deslizante. (Área rosa na Fig. 42.)
3. Ou o contraste ou o brilho pode ser alterado, utilizando o teclado juntos. (Mantendo pressionada a “C” (ou “B”) do teclado, o
botão esquerdo do rato é movido para a direita e para a esquerda (superior e inferior)).
A Fig. 42 Ajustar contraste e do brilho
Aumentando o valor de contraste produz uma imagem de disco, modulado com um bom contraste e contornos
distintos (Fig. 46). A redução do valor de contraste produz uma imagem com uma sensação suave (Fig. 44).
Aumentando o valor de brilho obtém uma imagem global mais brilhante (Fig. 43) e reduzir os alcança valor de
brilho e imagem escura (Fig. 47).
A Fig. 43 Alto Brilho
A Fig. 44 Baixo contraste Fug. 45 Boa Imagem A Fig. 46 alto contraste
A Fig. 47 Baixo Brilho
14
3.4 Salvando Imagens
3.4.1 Imagem Congelar
Programe as condições imagem congelar. Clique na velocidade de digitalização
na [Bar Menu]. Definir a linha de tempo de 65,5 e Verificação de linha de 960
para a foto (P) nas configurações de velocidade de exploração (Fig. 48). Defina
o controle de velocidade de digitalização para FOTO e iniciar a análise (Fig. 49).
Clique no
A Fig. 48 exploração
ícone (Fig. 50), automaticamente congelar
Ajustes de velocidade
exploração no f rame final (Fig. 51). Clique em VIVER para
retornar a imagem ao vivo.
A Fig. 49 Definições velocidade de
digitalização A Fig. 50 Y Fim Congelar Fig. Congelar Imagem 51 End
3.4.2 salvar e abrir Imagens
Após congelamento imagem estiver concluída, selecione F ile → Salve •
UMA s no [Bar Menu] ou clique no ícone no
[Barra de Ferramentas Menu] para exibir a caixa de diálogo Salvar como
(Fig. 52). Digite o nome desejado como o Arquivo
n ame, selecione Arquivo SEM Dados (* .sdf) para Salvar como
t ipo, e depois salvar a imagem para o disco rígido. selecionar F ile → O caneta
de imagem na [Bar Menu] ou clique no

Fig. 52 Salvando um Arquivo de Imagem
ícone no [Toolbar Menu] para
exibir a imagem aberta a caixa de diálogo (Fig. 53). Selecione a
imagem a ser aberta na árvore de pastas ou no visor de imagem
reduzido. Uma imagem aberta pode ser re-salvos em um formato de
arquivo diferente (bmp, tif, jpg, txt).
A imagem pode ser a saída para um dispositivo de saída opcional.

Fig. 53 Abrindo um Arquivo de Imagem
15
4 -Alta ampliação Observações
4.1 Configuração da Sonda Tamanho
O tamanho da sonda é reduzido para observações de elevada ampliação. consulte a seção 3.3.1 configuração de
ampliação e Probe Size.
A Fig. 54 15kV Probe2.0 x 5000 WD11 A Fig. 55 15kV Probe5.0 x 5000 WD11
4.2 Definir a distância de trabalho (WD)

Definir um valor WD menor aumenta o poder de resolução. Para
observações de alta ampliação, definir o valor do eixo Z altura espécime e fase para atingir um valor WD entre 8 e
12 mm.
Aumentando o valor WD diminui o poder de resolução, mas atinge imagens com boa profundidade de foco (a faixa
sobre a qual a imagem está focada através da profundidade da amostra), de modo que um valor inferior WD é usado
para imagens de baixa ampliação. consulte a seção 2.5 O campo de visão de pré-posicionamento.
16
4.3 Definir a tensão de aceleração
Uma voltagem de aceleração superior atinge maior poder de resolução e obtém imagens claras. No entanto, um
transmissoras espécime que é difícil de ver, como um pó, pode ser observada usando uma voltagem de
aceleração adequadas. Normalmente, a tensão de aceleração é ajustado para entre 15 kV e 25 kV para
observações de condutores em ampliação elevada (cerca de 10000x).
4.4 Definir o Espécime de inclinação (se necessário)

Observação de um espécime inclinado na fase aumenta a intensidade do sinal e consegue imagens com uma
sensação tridimensional. No entanto, o ângulo de inclinação é limitada pela distância curta de trabalho (WD) de
apenas 8 a 12 mm e a possibilidade de contacto entre a amostra e o interior do instrumento.
(Vejo
Apêndice 2.) Inclinando-se a 30 ° é possível com o suporte de 15 milímetros. Quando a amostra é inclinado, a tela
inteira pode ser focada usando Foco Dinâmico (Veja o manual de instruções.)
4.5 Alterar a Abertura Objetivo (casos especiais em 10000x ou maior ampliação)
Para melhorar o poder de resolução e obter imagens mais nítidas, substitua a 70 μ m, 150 μ m, abertura objectivo um
milímetro com o padrão 40 μ m abertura objectivo (quatro marcadores brancos), e realizar ajuste Wobbler.
(Veja o manual de instruções.)
4.6 Definição de imagem Freeze (se necessário)

A intensidade do sinal cai sob condições de elevada ampliação. Assim sendo,
mudar a Linha do Tempo da velocidade de digitalização de 65,5 a 131 ms para obter qualidade de imagem suave, com
congelamento de imagem.
15kV Probe3.0 x 10000
WD10 40 Abertura μ m
Linha Tempo 131ms
pixels: 1280 x 960
Fig.62 Velocidade de digitalização Fig. 63 Exemplo de um

Configuração De grande ampliação Imagem
17
5 Isoladores de observação (Baixo-aceleração) Observações
5.1 Efeito de carregamento
a distorção da imagem (tais como linhas horizontais brancas) ou anormal de contraste (tal como halo branco na Fig. 67)
durante a observação imagem é devido ao "efeito de carregamento".
Observação de materiais isolantes

Se os materiais de isolamento são observadas utilizando uma voltagem de aceleração de alta, como descrito
anteriormente, a taxa de emissão secundária δ ( número de elétrons secundários / número de elétrons incidentes)
torna-se δ < 1, de modo que se acumulam electrões incidente na amostra, resultando num efeito de carga que provoca a
distorção da imagem e contraste anormal. A redução da tensão de aceleração para cerca de 1 kV alcança uma taxa de
emissão secundária δ > 1. O aumento de electrões secundário resultados das emissões de electrões insuficientes no
espécime, criando uma superfície carregada positivamente. No entanto, a neutralização instantânea por electrões na
atmosfera alcança um equilíbrio eléctrico, de tal modo que o material isolante pode ser observada.
5.2 Definir a tensão de aceleração

Defina a tensão de aceleração de 1 kV e clique BEAM ON . Olhe para a imagem. Se nenhum efeito de carregamento é
aparente, para o clique direito do deslizante tensão de aceleração (ver Fig. 7) para aumentar gradualmente a tensão de
aceleração (que pode ser definido em incrementos de 10 V). A voltagem de aceleração fazendo com que o efeito de
carregamento difere de um material para outro, mas é tipicamente inferior a 3 kV. Reduzir a tensão de aceleração
quando o efeito de carregamento ocorre.
Isoladores deve ser observada usando o mais alto possível voltagem de aceleração faz com que qualquer efeito
de carga. A Fig. 64 (1,03 kV) mostra uma imagem sem efeito de carregamento; A Fig. 65 (1,31 kV) é observável
apesar efeito de carga ligeira. A Fig. 66 (1,70 kV) e a Fig. 67 (2,00 kV) não pode ser observado, devido ao
contraste anormal resultante do efeito de carga.
Fig. Voltagem de aceleração de 64 kV 1,03 Fig. Voltagem de aceleração de 65 kV 1,31
Fig. Voltagem de aceleração de 66 kV 1,70 Fig. Voltagem de aceleração de 67 kV 2,00
18
5.3 Configurar a Sonda Tamanho
Se algum efeito de carga permanece depois de ajustar a tensão de aceleração, que pode ser reduzido diminuindo
o tamanho da sonda (de 5 para 4, por exemplo; ver Fig. 23) e reduzir a corrente de irradiação.
5.4 Definir a distância de trabalho (WD) e Specimen Inclinação

Como observações com baixas voltagens de aceleração de atingir o poder de resolução inferior ao voltagens de
aceleração elevadas, definir o valor do eixo Z altura espécime e fase para dar um valor WD entre 8 e 12 mm.
Inclinando a amostra aumenta a emissão de electrões secundária, de tal modo que a carga eléctrica é mais
facilmente equilibrado. consulte a seção 4.4 Definir o Espécime de inclinação.
5.5 Definir a Velocidade de Digitalização

O efeito de carregamento durante observações baixo aceleração tensão de isoladores ocorre mais facilmente a velocidades
de varrimento lentas. Por conseguinte, estas observações devem ser feitas a velocidades de varrimento mais elevados (ou
seja, tempos mais curtos de linha). Imagens com efeito de carregamento pode ser obtido usando uma varredura lenta, com
uma configuração de SLOW1 e um cenário Linha do Tempo de aproximadamente 0,512, 1,02, ou 2,05 ms nas
configurações de velocidade de varredura (ver Fig. 49, 62). Nenhum efeito de carregamento é aparente na Fig. 68 (0,512 ms
linha do tempo) ou Fig. 69 (1,02 ms linha do tempo). Um efeito de carga ligeira começa na Fig. 70 (2,05 ms Linha Tempo) e
nenhuma imagem natural é observável na Fig. 71 (65,5 ms Linha de tempo recomendado), devido ao efeito de carga. Se o
efeito de carregamento é aparente em 0,512 vez linha ms, defina a velocidade de digitalização para um valor ainda maior.
A Fig. 68 0,512 ms Linha Tempo A Fig. 69 1,02 ms Linha Tempo
Fig. 70 2.05 ms Linha do Tempo A Fig. 71 65,5 ms Linha Tempo
19
5.6 Imagens de congelamento
Fig. 72 Velocidade de digitalização Configuração Fig. 73 Definição do filtro
maus resultados de qualidade de imagem após o congelamento uma imagem com integrante 1 em uma alta velocidade de
digitalização, como descrito na seção 3.4.1 Imagem Congelar. Consequentemente, a elevadas velocidades de digitalização sem
alterar efeito, integrais de várias imagens são usadas para melhorar a qualidade da imagem.
Leia o valor de tempo / frame na tela de velocidade de digitalização de ajuste (ver Fig. 72). Definir o número de
integrais para atingir um tempo entre cerca de 30 e 120 s (cerca de 60 s recomendado) quando multiplicado com o
valor do tempo / quadro. Por exemplo, as configurações da Fig. 72 são lentos-2, 1,02 ms de tempo de linha, 960 linhas
de varrimento, e 1,044 s tempo / quadro, de modo que a fixação integral a 64 dá um tempo de imagem congelamento
de 64 x 1,044 s = aproximadamente 67 segundos .
A deriva pode ocorrer devido a uma variedade de causas, como espécime segurando precisão e o ambiente
operacional do instrumento. Se ocorre deriva durante integrante
imagem congelamento, espere um pouco antes de congelar a imagem ou reduzir a definição para reduzir os efeitos da deriva
o tempo integral.
Fig.74 1s quadro x Integ. 1 Fig.75 1s Quadro x Integ. 16 Fig.76 1s Quadro x Integ. 64
Figos. 77 e 78 mostram imagens de isoladores feita usando uma tensão de aceleração baixa.
1,02 kV, Sonda de 4,0 x 1000, 1,07 kV, Sonda de 4,0 x 750,
WD12, 1 sx Integral 64 WD10, 1 sx Integral 64
A Fig. 77 Arrefecimento de componentes do sistema A Fig. 78 de fibra óptica de quartzo
20
6 Observações no Ponto Eucentric
6.1 Eucentric Stage
A fase de amostra incorpora uma unidade de motor de 5 eixos para os eixos de rotação X, YZ, e R e o eixo t de
inclinação. Além disso, o uso da fase de eucentric goniómetro permite unidade independente 5-eixo.
O eixo basculante intersecta o eixo do feixe de electrões a 17 mm de distância de trabalho (DT). Esta altura é
conhecida como a "Eucentric Point." Definindo o espécime a esta altura permite a inclinação da amostra no plano
eucentric. Inclinando o espécime a esta altura permite a observação com quase sem alteração no campo de visão
(Fig. 80). Se a amostra é em outras alturas, o campo de visão se move para cima e para baixo (Figs. 80,
81).
A Fig. 79 0 ° ângulo de inclinação Fig.80 ângulo de inclinação de 50 ° Fig.81 ângulo de inclinação de 50 °,

em Eucentric Ponto não em Eucentric Ponto
6.2 Ajuste fino do ponto Eucentric

(1) Observar um espécime a 50x de ampliação 1000x com nenhuma
inclinação (t = 0 °) e ajustar correctamente a fo cus. Clique em [Contr Painel ol] → [ Ver
separador] (Fig. 82) → Eucentric Ponto para mover automaticamente o palco do eixo
Z.
Cuidado
O le objetivo ns pode ser atingido pela amostra, etc. se
Eucentric Ponto é clicado antes de ajustar o foco. (2) re-ajustar o foco e
aumentar a inclinação a partir de 0 ° a 10 ° ou

20 °. O ponto eucentric está definido corretamente (WD17) se a imagem não se move para
cima ou para baixo.
(3) Se a imagem de deslocamento faz com que o objecto de se tornar
invisível, clique no ícone Correção histerese no
[Barra de Controlo], e th en ajustar o fo cus como descrito acima em (1) e clicar
sobre Eucentric Ponto .
A Fig. 82 Eucentric Ponto
(4) re-ajustar o foco, como descrito acima em (2). O ponto eucentric está ajustado correctamente quando
a imagem não se move para cima ou para baixo quando as mudanças de ângulo de inclinação. (5) Se o deslocamento é grande, de
retorno para o passo (3). Se a deslocação é pequena, proceder
para o passo (6).
(6) Se o deslocamento é suficientemente pequeno para ser contido dentro do campo de visão, a inclinar
espécime. Se a imagem desloca para baixo, clique em Z na [Control Video]

(Figs. 22, 42) para elevar ligeiramente o palco. Se a imagem desloca para cima, clique em Z no [Control Video]
para reduzir ligeiramente o palco.
(7) Repetir o passo (4). Se ocorre o deslocamento, repetir o passo (6). Repetir os passos (4) e (6) para
concluir a definição.
21
7 Backscattered Electron (BSE) Observações (Opcional)
7.1 Instalar o Detector Electron Backscatterd
Quando o feixe está desligado, clique em [Painel de Controle] → [ Guia configuração] → VENT para ventilar a câmara de
amostras e puxar a porta espécime-câmara na sua direcção. o
semicondutor-electrónica dispersa invertida (BSE) detector é armazenado na parte superior da câmara de amostra (Fig.
83). Usar luvas e inserir manualmente o detector sob a lente objectiva (Fig. 84). Para conduzir energia dispersiva de
espectroscopia de raios X (EDS), montar o detector a um ângulo (de tal modo que a direcção longitudinal do detector
BSE está alinhado com a direcção do detector EDS), como mostrado na Fig. 85. As Figs. 83 a 85 mostram a câmara de
espécimes visto da porta da câmara.
A Fig. 83 BSE Detector Fig. 84 BSE Detector Localização Fig. 85 BSE Detector
Local de armazenamento Posição durante a Análise
7.2 Definir a Velocidade de Digitalização

Devido à velocidade de processamento do sinal de resposta, uma velocidade de varrimento lenta deve ser definido para observações
BSE usando o detector semicondutor BSE. Limpar observação não é possível neste TV velocidade com configurações de 0,128 ms
linha do tempo, 960 linhas de varredura e 131 ms Tempo / Frame. Selecione um Time Line que atinge uma configuração de tempo /
Frame mais lenta (ver Fig.
72).
7.3 Definir a Aceleração Tamanho Tensão e Probe

O sinal de BSE
Uma tensão mais elevada aceleração ou tamanho maior sonda (irradiação corrente) aumenta o sinal BSE. A voltagem de
aceleração de 15 kV normal para observações pode ser alterada para 10 kV ou 25 kV, se necessário. As observações são
possíveis com o mesmo tamanho da sonda (irradiação corrente) condições como para imagens de electrões secundária, mas
imagens superiores são alcançados por ajuste de um tamanho ligeiramente maior de sonda (aproximadamente 1 ou 2). Por
exemplo, se observar imagens de electrões secundário na ampliação de 3000X com o tamanho da sonda
3, definir o tamanho da sonda de 3, 4, ou 5.
7.4 Definir a distância de trabalho (WD) e Specimen Inclinação

O detector semicondutor BSE é posicionado imediatamente sob a lente da objectiva, acima do espécime.
Consequentemente, o detector está mais próximo do espécime em distâncias mais curtas de trabalho (DT), alcançando
uma maior intensidade de sinal e melhores imagens. No entanto, o sinal se torna mais fraco como o espécime é inclinado
em larga escala porque os aumentos retroespalhadas componentes em instruções de distância a partir do detector.
Cuidado
Se um espécime é inclinado com uma distância curta de trabalho (WD), tomar cuidado para garantir que o palco e espécime não
entre em contato com o detector de semicondutores BSE.
22
7.5 Ajuste do Sinal, Mode, e Gama
Clique [Control panela el] → [ Ver tab] e selecione o controle Scanning
<D etector> como SBSE para mudar o sinal exibido na janela da imagem. selecionar
SE para observar as imagens de electrões secundário. Selecione os signa BSE l displa Modo y no controle Scanning
<Mode>. Fou r disp modos de leigos estão disponíveis: COMPO para exibir ac omp imagem osite (CH1 + CH2); TOPO para
displ ay uma imagem topográfica (CH1 - CH2); CH1 para exibir t ele CH1 apenas o sinal; ou
CH2 para mostrar o sinal CH2 única. Normalmente, selecione COMPO para exibir uma imagem composta.
Dependendo da forma como uma imagem topográfica é visto, as protuberâncias podem aparecer como
depressões, como mostrado na Fig. 88. Se isto ocorrer, inverter a imagem e as saliências e depressões aparece
correctamente.
A Fig. 86 Imagem SE A Fig. 87 EEB (COPMO) Imagem Fig. 88 EEB (TOPO) -Image
Alterar o intervalo de sensibilidade do detector SBSE no Controle de Digitalização <R ange>.

No 5 rang e ty PE (inc reasing na ordem 1, 2, 3, 4, 5), seleccionar Range3 no início,
selecionar Range4 ou Range5 para um tamanho pequeno de sonda (um sinal fraco), e seleccione Range2
ou Range1 para um grande tamanho da sonda (um sinal forte). No tipo 3 gama (i aumentando n a ou der 1, 2, 3), selecionar Range3
para um tamanho pequeno de sonda (um sinal fraco), e seleccione Range2 ou Range1 para um grande tamanho da sonda (um
sinal forte.
Ajustar o brilho, contraste, foco e stigmation antes de observar imagens. imagens de BSE estão nos observado ing varredura
lenta. Se a focagem e correcção de astigmatismo são difíceis, definir Detector de SE , Definir a velocidade de
digitalização para TV velocidade, e aplicar
o filtro recursivo com F ILTER antes de se concentrar, tal como descrito na secção 3.3.2. Posteriormente, definir
Detector de SBSE .
congelamento de imagem e economia são idênticas às imagens-elétron secundário. Figos. 89 e 90
são espécime imagens de BSE.
15kV, Probe 4.0 x 500, WD17 COMPO 15.0kV, Probe 4.0 x 3000, WD10 COMPO
A Fig. 89 não-ferrosos fundição Escória A Fig. 90 SKD
23
Apêndice 1 SEM Glossário de Termos
UMA elétron absorvidos

elétrons incidentes que perdem energia e são absorvidos na amostra. imagens de elétrons
absorvidos reverteram contraste de imagens de elétrons backscatterd.
elétrons incidentes são regidos pela expressão:
electrões incidentes = electrões retroespalhadas = absorvida electrões.
A voltagem de aceleração de energia cinética transmitida para os electrões irradiando a amostra,
convertido para um valor de tensão. Definir como uma tensão de aceleração para os elétrons incidentes.
A sonda de electrões pode ser mais finamente condensado a voltagens de aceleração superiores e a
valores de corrente mais baixos. Um alto
acelerando tensão e baixa corrente deve ser definida para imagens de alta ampliação.
análise SEM Um microscópio de electrões permite apenas observações, mas a adição de um instrumento EDS
permite a detecção dos raios X característicos emitidas pela amostra para análise elementar
(análise qualitativa), análise quantitativa, análise de linha, ou mapeamento de cor. Tal análise é
chamado de análise SEM.
Angstrom (Å) Uma unidade de comprimento. 10 A = 1 nm; 1 A = 10- 7 milímetros. unidades nanómetro (nm) são usados no sistema de
unidade de MKSA.
anódio Eléctrodo posicionado no lado oposto do emissor para acelerar os electrões a partir do emissor
(filamento) ou para puxar electrões a partir do emissor.
Abertura As aberturas que controlam o ângulo da sonda de electrões abertura: abertura lente condensadora
e a abertura da lente objectiva são utilizados.
correção de Quando ocorre o astigmatismo, a sonda de electrões que atinge a amostra é elíptica, não redonda. Este
astigmatismo fenômeno pode causar ofuscamento. Normalmente, uma sonda de electrões não redonda é corrigida
(Stigmation) para uma forma quase circular com uma lente de correcção.
Auto contraste e Um recurso que ajusta automaticamente o contraste eo brilho.

brilho (ACB)
Auto-foco Uma característica que muda continuamente a lente objetiva para manter automaticamente o foco.
viés Autogun Uma característica que permite que uma tensão de polarização para ser ajustado para manter automaticamente o
canhão de electrões no estado óptimo (brilho), independentemente de flutuações da tensão de aceleração.
B electrónica dispersa invertida

Os electrões dispersos que se espalham para a parte traseira da amostra com alta energia. EEB tem
(BSE) uma energia cinética equivalente aos elétrons na sonda de elétrons. Eles são normalmente emitido a
partir de uma região de duas vezes tão profunda como a região onde electrões secundários são emitidos
(várias μ m).
detector de electrões com Um detector posicionado por baixo da lente objectiva para detectar electrões retro-espalhados a
retroespalhamento partir da amostra; pode ser um detector BSE anular ou detector de Robinson da BSE. O detector
semicondutor EEB (detector anelar) é dividido de modo a gerar sinais que podem ser processados
para criar uma imagem composta ou imagem topográfica. Em um detector BSE Robinson, os
electrões de BSE são convertidos à luz por um cintilador, o qual é introduzido um tubo
fotomultiplicador por um guia de luz.
imagem de elétrons retroespalhadosComposição informação pode ser obtida a partir dos electrões retro-espalhados, usando efeitos número
atómico (números atómicos médios mais elevados parecem ser relativamente mais branco). Os
cálculos semicondutores detector BSE autorizações para exibir a informação a BSE como uma imagem
compósita ou imagem topográfica.
alinhamento do feixe O alinhamento do eixo óptico da sonda de electrões emitida pelo filamento
com o eixo do sistema óptico de electrões. O alinhamento do feixe pode ser
24
conduzido mecanicamente através do posicionamento do filamento (de montagem do filamento no Wehnelt) ou
electricamente por flexão da viga para alinhá-lo (ajuste de inclinação nas condições de pistola ou ajuste trans).
C Cátodo luminescência (CL)

A radiação electromagnética gerado no comprimento de onda UV, visível e IV varia quando a
sonda de electrões irradia um espécime.
efeito de carregamento Elétrons incidentes sobre o espécime perder energia, que é absorvida pela amostra. Para um
material isolante, no entanto, os electrões absorvidos pode não fluir para a terra, provocando a
distorção da imagem (tais como linhas horizontais brancas) ou anormal de contraste (tal como halo
branco) quando se observa o espécime.
Revestimento espécimes de isolamento devem ser tratados com um condutor para evitar o efeito de carga durante a
observação. De um modo geral, um revestimento metálico é aplicado sobre a superfície. Os revestimentos de
metal são, por vezes, também aplicado a amostras de condutores para melhorar a eficiência de geração de
electrões secundário. O método de revestimento deve ser seleccionado com a devida consideração das
condições de observação SEM e a granulação do material de revestimento. De um modo geral, um revestimento
(Au) de ouro é aplicada para observações SEM ou um revestimento de carbono (C) para análise EDS. A
espessura do revestimento varia de vários nm a várias dezenas de nm. Ambos Au e C revestimentos podem ser
aplicados a amostras carregadas facilmente.
O tamanho Au grão é grande (<15nm), de modo que Au revestimentos são utilizados em ampliações
até vários 10000x.
O tamanho de grão é pequeno Pt (2-4 nm), de modo que os revestimentos de Pt são utilizados com ampliações
até 100000x.
O tamanho de grão C é muito pequena (0,5 nm), mas a eficiência de geração de electrões
secundário é pobre.
equipamentos de revestimento O equipamento que aplica os revestimentos condutores na superfície dos espécimes para evitar o efeito de
carregamento durante observações SEM. Ion revestidor: Utiliza descarga de plasma para a produção de
revestimentos de respingos de Au ou Pt,
etc.
revestidor de carbono: Realiza deposição de vácuo com uma vareta de carbono, etc evaporador de vácuo:
aquece e depósitos de metais, tais como Au, Pt, C num elevado
vácuo.
CVD de plasma: Uso de descarga de plasma, numa atmosfera de gás para criar Os04
Os (ósmio) iões que impacto e depósito de ósmio de metal na amostra no cátodo.
imagem composta Uma imagem de contraste correspondentes aos números atómicos médios dos espécime obtidos com o
(imagem COMPO) detector BSE. Geralmente, as áreas de número atômico média alta parecem mais brilhantes do que as
áreas de número atômico média baixa.
Lentes de condensação Usado para finamente condensar a sonda elétron do canhão de elétrons e mudar a atual irradiação.
Normalmente, uma estrutura de lente magnético 2-fase é usado. A abertura utilizado tem um furo
circular. O brilho de irradiação podem ser alterados enquanto se mantém constante a intensidade
da lente, alterando o diâmetro do furo da abertura.
pasta condutora Usada para colar amostras no palco espécime, da mesma forma como a fita condutora. pasta de
carbono e colar de prata são comumente usados.
fita condutora Usada para colar os espécimes na fase de amostra, da mesma forma como pasta condutora. fita de
carbono é o mais vulgarmente utilizado, mas a fita de alumínio de dupla face e fita de cobre estão
também disponíveis.
Contaminação moléculas de hidrocarbonetos residuais no vácuo numa coluna óptico do microscópio electrónico
são adsorvidos sobre o espécime e acumular o carbono devido à acção da sonda de electrões.
Isso torna difícil para ver a estrutura de superfície fina, ou faz com que a estrutura fina aparecem
dupla quando visto em grandes ampliações.
Isso pode resultar em escurecimento da
anteriormente observado posições quando a ampliação é reduzida.
secagem ponto crítico Um método de secagem que retém a forma original das células e estrutura
25
método de espécimes, sem distorção devido ao encolhimento. Problemas durante a secagem resultado das
forças de tensão superficial em líquidos. Os espécimes são definidas no estado crítico (nem
líquidos nem de gás, onde a tensão superficial se torna zero a uma temperatura crítica e pressão)
por desidratação, de substituição com uma solução intermédia, a substituição por CO líquida 2, aquecimento
e pressurização. Ao reduzir gradualmente a pressão, o gás escapa sem a formação de um limite de
gás-líquido e a amostra seca, sem deformação.
D Desidratação
Um processo que substitui a água em uma amostra com um outro líquido.
Profundidade de foco O intervalo no qual a focagem da imagem é mantida quando o espécime é movido verticalmente. Devido à
sonda de electrões extremamente fino usado em uma SEM, a profundidade de foco é significativamente
maior do que um microscópio óptico, permitindo quase perfeito concentrando-se em superfícies de
espécimes severamente irregulares.
Deriva movimento gradual de uma imagem observada devido a amostra que prendem precisão, ambiente de
instalação, do espécime de deformação, e efeitos de aquecimento de sonda de electrões.
Tingimento As áreas específicas do espécime são tingidos com tetróxido de ósmio (OsO 4) ou tetróxido de
ruténio (RuO 4). A imagem SEM geralmente observa
diferenças de composição no contraste de imagem de BSE um composto (COMPO).
enfoque dinâmico O foco muda quando um espécime inclinado é movida para cima e para baixo na janela da imagem. Ao
definir o ângulo de inclinação, o recurso de foco dinâmico garante automaticamente que toda a imagem
é focalizada como os scans da sonda de elétrons a partir do topo para a parte inferior da janela.
E Canhão de elétrons
Sistema que gera a sonda de electrões.
sonda Electron O feixe de electrões, que irradia a amostra. Formado por condensação os electrões primários
emitidos a partir do canhão de electrões para um feixe com um diâmetro de várias μ m para menos de
10 nm, por uma lente electromagnética.
padrão de emissão Exprime a distribuição angular na direcção de emissão de electrões da fonte de electrões.
Energia dispersivo Separa e detecta as energias individuais de raios X incidente no detector semicondutor. Os dados
Raio X espectroscopia para vários elementos podem ser recolhidas ao mesmo tempo que todos os raios X são detectados
(EDS ou EDX) simultaneamente. Esta técnica permite o mapeamento dos elementos principais sob condições de
SEM como análise de correntes hora é possível.
A energia (comprimento de onda) poder de resolução é
picos pobres e frequentemente se sobrepõem. O detector está facilmente saturado como todos os raios X
atingem o detector, sem separação espectral. Consequentemente, não é adequado para a análise de
oligoelementos.
gravura a água forte Um processo levado a cabo para proporcionar um contraste da estrutura amostra a ser observada. Ambos
ataque químico com reagentes e decapagem por feixe de iões são utilizados.
estrutura Eucentric O objecto existe o campo de visão se uma fase normal é usada para inclinar um espécime
por observação SEM. Um mecanismo com uma estrutura eucentric alinha os eixos e eixo de observação
para espécimes de inclinação, de modo a que a amostra não se sair do campo de visão quando inclinado.
F Filamento
Um termo geral para um arame fino. Um filamento de tungsténio é usado no
Canhão de elétrons.
Fixação Um processo que quimicamente e fisicamente mantém a forma e estrutura de um espécime.
método de liofilização inclui métodos para secar espécimes biológicos directamente por congelação e
métodos para secar a amostra através da substituição da água com um solvente orgânico. A
amostra é seca por meio de sublimação da água ou solvente orgânico.
26
Histerese Um recurso que mantém uma corrente de excitação constante em uma posição sobre o espécime
após a aplicação de uma intensidade constante de campo magnético para a lente objetiva e definir
a corrente de excitação alvo. Como os materiais magnéticos usados nas lentes objetivas têm
propriedades de histerese, a lente corrente de excitação objetivo depende significativamente da
história dos campos magnéticos aplicados anteriormente à lente objetiva. Ou seja, mesmo que o
feixe de elétrons é focalizado na mesma posição na amostra, o valor final corrente de excitação
difere consoante os ajustes grandes ou pequenos são feitos à corrente de excitação lente objetiva.
Este recurso ajuda a suprimir este erro.
Eu bomba de íons
Uma bomba de evacuação que ioniza e acelera os gases residuais em um campo eléctrico para a
parede da bomba, onde os iões são fixos. Amplamente utilizado para atingir alto vácuo da ordem
de 10 8 Pa.
eu Baixa-acelerando-Volta ge
Durante a observação SEM de uma amostra não condutores sem evaporação, imagens de
SEM (LVSEM) electrões secundários a partir de sofrer o efeito de carregamento (espécime parece branca na
janela de imagem e impreciso irradiação da amostra pela sonda de electrões ocorre). O efeito de
carregamento pode ser eliminado através da redução da voltagem de aceleração, de tal modo que
o número de electrões incidente é igual ao número de electrões emitidos.
Baixa-vácuo SEM O canhão de electrões e câmara de amostra inteira deve ser mantida a um alto vácuo (10-5 a 10-1
(Controlo ambiental SEM) Pa) para observações SEM normais. No entanto, de baixo vácuo SEM opera a uma 'forma de
vácuo' (10- 1 a 10 2 Pa) ou de 'baixo vácuo' (10 2 a 10 5 Pa), conforme prescrito por JIS. No entanto,
SEM operando a 'baixo vácuo' (10 2 a 10 5 Pa),
é muitas vezes chamado de "controle ambiental SEM"
para diferenciá-lo de baixo vácuo normais SEM. Em alto vácuo normal de SEM, uma combinação de
cintilador e PMT (tubo fotomultiplicador) detecta os electrões secundários para obter uma imagem
ampliada (imagem SE). No entanto, em baixo vácuo SEM operando a um 'vácuo médio,' os
electrões retroespalhadas são detectados para criar a imagem ampliada (imagem de BSE).
No controlo ambiental SEM operando a uma

'Baixo vácuo', um detector de imediatamente acima do espécime detecta a avalanche ionização devido aos
elétrons secundários para criar uma imagem SE. EDS pode ser montado em qualquer SEM para permitir a
análise de raios-X. No entanto, o gás residual dispersa o feixe de electrões incidente, de tal modo que os sinais
de raios-X são frequentemente detectada a partir de uma área irradiada mais amplo do que o esperado, e deve
ser tomado cuidado na interpretação destes resultados da análise.
M Ampliação
relação de ampliação relacionado com as dimensões efectivas da imagem obtida.
método de Monte Carlo elétrons primários e elétrons espalhados são repetidamente espalhados como eles
mover-se no interior da amostra. Sua energia está perdendo cada vez que a direção das mudanças
de movimento. Este método utiliza números aleatórios para determinar estatisticamente parâmetros,
incluindo o espalhamento elástico estatística e dispersão não-elástica, o ângulo de espalhamento θ, ângulo
de azimute φ,
caminho livre λ, e perda de energia ∠ E e para calcular as órbitas de electrões, com base nas
expressões teóricas que regem as órbitas de electrões individuais durante o movimento dos
electrões dentro do espécime. Ele indica a profundidade
onde ocorre a dispersão, a profundidade de penetração até os electrões primários perdem a sua
energia, a distribuição angular de saída de electrões emitidos, e o espalhamento espacial na posição
de geração de sinal.
O objectivo abertura
A abertura que controla o ângulo da sonda electrão que passa através da lente objectiva de
abertura. A abertura objectivo Série SS pode ser movido entre 40 μ m, 70 μ m, 150 μ m, e 1 mm. Uma
abertura mais pequena objectivo atinge maior poder de resolução, mas diminuição da corrente da
irradiação.
Lentes objetivas lente eletromagnética que foca a imagem.
27
bomba de difusão de óleo (DP) O óleo é aquecido para formar um jacto, que é usada como uma bomba de evacuação. Amplamente utilizado
devido à construção simples e capacidade de atingir facilmente vácuos de 10- 4 Pa.
bomba de óleo rotativa (RP) Uma bomba de evacuação que as bombas de gás com um rotor rotativo. Devido a sua alta
taxa de bombeamento, que é frequentemente utilizado como uma bomba auxiliar para uma bomba turbomolecular ou bomba de
difusão.
P calibre penning
Um manómetro de vácuo para a medição de altas vácuos na gama de 0,1 Pa a 10- 4 Pa.
medidor Pirani Um manómetro de vácuo para medir baixos vácuos na gama desde a pressão atmosférica a 0,1 Pa.
Pixel Um elemento de uma imagem digital que é dividido em uma grade de elementos. Quanto maior o
número de pixels, maior a resolução da imagem.
Polimento (moagem) Moagem (espelho de polimento) é necessário para fazer secções de observar o
Sistema de estrutura e camada em estruturas metalográficas, minerais e outros espécimes. polimento
húmido ou a seco deve ser seleccionada para se adequar ao espécime.
sistema Precentered Um método que precenters do filamento quando é montado no Wehnelt.

nível de vácuo pressão Numericamente mostra a pressão (vácuo) na câmara de amostra e
unidade de electrões arma. As unidades são Pascais (Pa) e Torr. Unidades de Pascais (Pa) são usados no
sistema de unidade de MKSA. 1 torr = 133 Pa (1Pa = 0,0075 Torr) Atmophere: 1,013 x 10 5 Pa a 760 Torr
elétron primário Elétrons do emissor que irradiar a amostra. electrões primários são transmitidos, disperso, e
absorvida na amostra.
R moldagem de resina
Pré-tratamento de película fina ou amostras de pó por moldagem em resina de fenol, epoxi (misto-líquido) de
resina, ou resina acrílica, uma vez que estas amostras são difíceis de polonês para observações seccionais.
Poder de resolução O termo "poder de resolução" geralmente refere-se ao poder de resolução espacial, que é a
distância mínima entre dois pontos, quando vistos separadamente.
Actualmente, poder de resolução é medida medindo
vácuo depositados grãos de ouro.
S digitalização
de deslocamento bidimensional da superfície da amostra pela sonda de electrões. tipos de verificação incluem
varredura TV e digitalização lenta.
O tempo de digitalização O tempo necessário para deslocamento bidimensional da sonda de electrões sobre a superfície do
espécime.
electrónica de dispersão Os electrões irradiam a amostra do canhão de electrões que são dispersos na frente ou por trás da
amostra. (Veja "detector de elétrons Backscattered.")
Os electrões de electrões secundários com baixa energia cinética emitidos a partir de uma amostra irradiada por
a sonda de electrões. elétrons secundários geralmente têm uma energia cinética de 10 eV, ou menos. Eles
são geralmente emitida a partir de uma região a partir de vários nm a 10 nm vários abaixo da superfície do
espécime.
Secundário elétron Um detector para detectar os electrões secundários emitidos a partir do espécime. De um modo
detetor geral, compreende um cintilador e PMT (tubo fotomultiplicador). Os electrões secundários com uma
baixa energia não superior a 10 eV são recolhidos e convertidos à luz por um cintilador com uma alta
tensão de 10 kV. Uma luz-guia apresenta esta luz para dentro do tubo fotomultiplicador, onde é
multiplicado electrões e transmitido como o sinal de electrões secundária para formar a imagem.
Secundário elétron O contraste da imagem secundária de electrões é obtida a partir das irregularidades, forma e
imagem materiais constituintes da superfície da amostra. Consequentemente, tais imagens fornecer uma
representação natural da topografia da superfície da amostra.
Secundário emissão A proporção de electrões secundários emitidos para o número de incidente
28
proporção ( δ) elétrons primários. Expressa como o número de electrões secundários de cada electrão primário.
Seção secções de amostra são obtidos por corte com uma lâmina de barbear, uma faca, ou micrótomo, ou
por quebra ou moagem do espécime.
espécime O material a ser observado ou analisado.
preparação de amostras Pré-tratamento de amostras para observação ao microscópio ou análise. Espécime ângulo de inclinação
Este é o ângulo entre um plano perpendicular com a sonda de electrões e
superfície da amostra. Um valor de 0 indica que a amostra é horizontal. A amostra é, muitas vezes
inclinado para observação SEM.
microscopia Stereo O espécime é fotografada duas vezes em diferentes ângulos de inclinação e estas imagens são apresentadas
para os olhos esquerdo e direito por um estereoscópio para criar uma imagem estereoscópica composto.
Stereoscopes incluem os vidros do tipo e do tipo anaglifo que usa um filtro de vermelho e verde.
T imagem topográfica
A imagem obtida com o detector BSE semicondutor que mostra uma representação sombreada da
(imagem TOPO) superfície da amostra. Ele é derivado a partir da diferença entre os dois sinais a partir do detector
de divisão.
padrão trans Mostra o deslocamento da fonte de electrões a partir do eixo óptico de electrões.
Os electrões electrões transmitidos a irradiação da amostra que são transmitidas através do

espécime.
Turbo bomba molecular Uma bomba molecular que compreende um rotor e estator com a turbina de fluxo axial
lâminas. A velocidade extremamente elevada do rotor de vários dez mil rpm proporciona
evacuação. Atinge um aspirador de pó de bombas de difusão.
W raios-X de comprimento de onda
analisador espectroscópico que utiliza um comprimento de onda dispersivo espectroscópio
espectroscopia incorporando uma análise de cristal para separar os raios X gerados pelo espécime.
dispersivos
(ERMA, WDS, ou
WDX)
Wehnelt Eléctrodo que condensa o feixe de electrões emitido a partir do filamento. Também chamado de
"grid".
excêntrico Mecanismo que alinha a abertura da lente objectiva com o eixo óptico da lente objectiva.
Trabalhando distância A distância da superfície da amostra para a face do pólo magnético da lente objetiva.
(WD) Na prática, isto é a distância entre o espécime
superfície para observar e a superfície inferior da lente objetiva.
29
Apêndice 2 Gráfico de Dados da Fase Inclinação Faixa
As regiões delimitada por linhas a cheio nas Figs. 91 a 95 indicam
a fase de inclinação varia de acordo com as seguintes condições:
60
50
- Observações do centro do suporte de 15 mm ou a base plana.
ジ傾斜角 [(grau)
deg.]
40
deーinclinação
Observações do centro do suporte de 1 polegada ou suporte 32 milímetros 30
alinhada com a superfície do espécime. 20

- Na base de multi-amostra: observações do centro de detentores 15 mm 10
montados, o portador seleccionado por rotação topo.
ステ
- 10 0
Fase ângulo
- 20
A gama de inclinação é ligeiramente reduzida, devido ao
- 30
tamanho da amostra quando se observa para longe do centro
da amostra. 0 10 20 30 40 50
WD　[ milímetros]
A Fig. 91 detentor 15 milímetros (15 milímetros φ, 11mmH)
(grau) Stage
60 60
50 50
角 [ deg.]
傾斜角 [ deg.]
40 40
ジ inclinação
(grau)
30 30
テージ傾斜
20 20
ângulo deスinclinação
ー de
10 10
ステ fase
- 10 0 - 10 0
ângulo de
- 20 - 20
- 30 - 30
0 10 20 30 40 50 0 10 20 30 40 50
WD　[ milímetros] WD　[ milímetros]
A Fig. 92 suporte 1 polegadas Fig. 93 o suporte 32 milímetros

(grau) Stage
60 60
50 50
角 [ deg.]
角 [ deg.]
40 40
inclinação
(grau)
30 30
テージ傾斜
ジ傾斜
20 20
ângulo deスinclinação
ー de
10 10
ステ fase
- 10 0 - 10 0
ângulo de
- 20 - 20
- 30 - 30
0 10 20 30 40 50 0 10 20 30 40 50
WD　[ milímetros] WD　[ milímetros]
A Fig. 94 base de suporte multi espécime A Fig. 95 Base plana
30
Apêndice 3 Lista de suportes de amostra (* indica opção)
Fig. 96 o suporte 15 milímetros Fig. 97 o suporte 10 milímetros * Fig. 98 o suporte inclinado
A Fig. 99 32 milímetros de base do espécime A Fig. 100 detentor 32 milímetros Fig. 101 suporte ajustável *
A Fig. 102 uma base de amostra polegadas * A Fig. 1 o suporte 103 polegadas * A Fig. 104 Espécime copo *
A Fig. 105 titular Geral espécime * A Fig. 106 suporte de amostra montada-topo *
Fig. Base de suporte 107 multi espécime * A Fig. 108 Base plana *
31
Apêndice 4 Procedimentos de ajuste para Electron Beam Ponto de
saturação e Alinhamento Axial
Como um suplemento para o Manual de Instruções, esta secção descreve os procedimentos actuais para os feixes de
electrões ajustes do ponto de saturação e ajustes de alinhamento axial necessária para usar os instrumentos SS / SSX
série.
CONTEÚDO
1. Quando são os Electron Beam Ponto de saturação e ajustes de alinhamento axial necessária?
2. Electron Beam Ponto de saturação e Axial Ajuste de Alinhamento fluxogramas
3. Procedimentos de Ajuste 3-1
Filament Aging
3-2 Definir Filament atual usando o Saturação Automático Função 3-3 Ajuste das correntes de
emissões
3-4 Ajuste fino das correntes de filamentos usando padrões de emissão 3-5 ajuste de inclinação
usando padrões de emissão 3-6 Trans Ajustamento usando o teste padrão Trans
7/3 Ajuste fino da abertura móvel Objectivo utilizando o ajuste Wobbler 3-8 da abertura móvel
Objectivo axial quando
deslocamento Ocorre
4. Substituir o filamento
32
1. Quando são os Electron Beam Ponto de saturação e ajustes de alinhamento axial
necessária?
Os procedimentos de ajustamento descritos nesta secção deverá ser conduzida nas seguintes circunstâncias:
uma. após a substituição de filamentos;
b. cerca de 10-30 minutos, tem passe ao estado de feixe sobre depois de cima (a)
c. a cada 2-4 horas, e quando o equipamento é iniciado (primeira operação em qualquer dia)
d. depois de alterar a voltagem de aceleração, trabalhando a uma distância (WD), ou abertura objectivo (por
exemplo:. tensão de aceleração (Acc V) 15 kV a 10 kV, WD 17 mm a 11 mm (Z: 30 mm a 36 mm), a abertura
objectivo 40 μ m 70 μ m).
2. Electron Beam Ponto de saturação e Axial Ajuste de Alinhamento fluxogramas
uma. depois de fila substituição ment (Ponto de saturação e o alinhamento axial)

1. 3-1 Filamento Envelhecimento
2. 3-2 Definir Filament atual usando a função Saturação Automático
3. 3-3 Ajuste das correntes de emissões
4. 3-4 Ajuste fino das correntes filamentos usando padrões de emissões
5. 3-5 ajuste de inclinação padrões, utilizando a emissão
* 6. 3-6 Trans Ajustamento usando o teste padrão Trans
7. 7/3 Ajuste fino da abertura móvel Objectivo usando o Wobbler

* Esta série de procedimentos normalmente é completada por um ajustamento.
b. cerca de 10-30 minutos, ter (ponto de saturação e o alinhamento axial) Ajuste as 2,4,5,6,7
procedimentos de (a) acima.
c. cada 2-4 horas, e primeira operação (ponto de saturação e o alinhamento axial) Ajuste as 2,4,5,6,7
procedimentos de (a) acima.
d. Depois de alterar a voltagem de aceleração, a distância de trabalho (DT), ou abertura objectivo
3-8 Ajustamento da objectiva, móvel

Abertura quando Axial Deslocamento Ocorre
3-5 ajuste de inclinação padrões de emissão usando 3-6 Trans
Ajustamento usando o teste padrão Trans

*
7/3 Ajuste fino da abertura móvel Objectivo usando o Wobbler
33
3. Procedimentos de ajuste
Usar um espécime com irregularidades superficiais mínimas (por exemplo, uma posição na qual nenhuma amostra é
observada no suporte da amostra), quando conduzindo os ajustes descritos nesta secção. Se um ajuste deve ser
realizado respeitando um espécime, escolha uma posição plana na amostra, não a área de observação. Desligue o
filtro (recursiva, Integral.)
3-1 Filamento Envelhecimento
A operação de envelhecimento calor trata de um novo filamento após a substituição filamento. vida do filamento é estendido de
20% a 30% por gradualmente aquecendo-se o filamento para envelhecer ele. Defina as condições de tensão de aceleração ACC.
V = 15 kV, e sonda de tamanho 5 (configuração padrão).
Fig 109 arma Ambiente Fig 110 arma Janela de Configuração Fig 111 Envelhecimento
(1) Clique em [Painel de Controle] → [ Ambiente separador] (Fig. 109) → gun Configuração para abrir o
Gun Janela de Configuração.
(2) Se o limite Memorize é apresentado na cor amarela no separador [filamento], o clique
botão para repô-la (Fig. 110). (3) Clique em [Painel de Controle] → [ Guia
configuração] → BEAM ON
(4) Clique na guia [Filament] no Gun Janela de Configuração → Envelhecimento (Fig. 111). (5) definir automaticamente o filamento
1.0A corrente durante cerca de 1 minuto, para próximo 1.5A
cerca de 1 minuto, e no próximo 2.0A por cerca de 1 minuto.
(6) O envelhecimento é completa, Filamento corrente é realizada em 2A, de modo a reverter Filamento
configuração atual para 0 A.
34
3-2 Definir Filament atual usando a função Saturação Automático
Fig 112 Auto arma polarização Fig 113 Auto Saturação Agora Limite Memorize 114 fig
(1) Com BEAM ON , Clique em [Painel de Controle] → [ Ambiente separador] (Fig. 109) → arma de fogo
Configuração para abrir a Janela de Configuração Gun.
(2) Click separador [arma polarização] e confirmar que o Auto arma de polarização é ligado (Fig. 112). em apenas
após a substituição do filamento, ajustar o cursor a corrente de emissão [std] (Fig.
112).
(3) Clique [Filament] guia e confirmar a baixo atual caixa de seleção está marcada.
Em seguida, clique Auto Saturação Agora (Fig. 113). A corrente de filamento
aumenta automaticamente. O valor atual de emissão é exibido graficamente e o valor apropriado definido.
Quando o filamento atual não é um valor razoável, Gun Polarização (e emissão C deslizante ACTUAL) é alterada
automaticamente e repete uma Auto Saturação Agora o processamento até que o filamento actual é um valor
razoável (para o máximo de cinco vezes). Por favor espere um momento. (4) Se a repetição B EAM ON / OFF i na
curto espaço de tempo por um tempo,
Clique em memorize limite (Fig. 114).
Limite de função de memória: memoriza o atual conjunto de filamento.
Quando [Definição] → BEAM ON é clicado, o conjunto

voltagem de aceleração é aplicada e a corrente de filamento memorizado
simultaneamente definido.
Nota
o Auto Saturação Agora função define um valor atual filamento um pouco mais baixa que dá prioridade à vida
filamento. Vá para o ajuste fino da Emisson atual e Filament atual, conforme descrito na secção 3-3, 3-4
sucessivamente.
35
Nota
baixo atual caixa do abov verifique e (3) é usado para exten vida filamento d . quando executar Auto Saturação
Agora sem verificar baixo atual caixa de seleção e usá-lo por um longo tempo, há um caso de encurtar a vida de
um filamento. Geralmente verificar-lo.
Nota
Não mantenha o memorize limite botão ON por um longo tempo.
A corrente de filamento apropriado após a substituição do filamento é de aproximadamente
2,40 a 2.45A (em Acc.V = 15 kV). No entanto, a corrente de filamento óptima diminui à medida que o tempo
decorre a operação de filamentos. Para prolongar a vida útil do filamento, reajuste da corrente de filamento é
recomendada entre 10 e 30 minutos após a substituição filamento. Da mesma forma, outros ajustes a cada 2 a 4
horas pode prolongar a vida do filamento.
3-3 Ajuste das correntes de emissões
Este ajuste é normalmente concluída uma vez após a substituição filamento. Mas quando o Emissão deslizante
atual é alterado propositalmente, é necessário reajustar os seguintes.
(1) confirmar o valor actual de emissão no separador [arma polarização]. (2) Ajustar a emissão deslizante valor
actual (fig. 112) a 50 ± 5 μ A. Se ele já está dentro de 50 ± 5 μ Um, não é necessário ajustar e ir para a próxima
3-4.
Nota
Em caso de observasion mais brilhante ou corrente mais elevada irradiação, pode aumentar a corrente de
emissão para alterar o Emissão deslizante atual ( Fig.112) para o lado superior. Mas neste caso, o atual
Filamento do estado de saturação razoável é alterado superior, e necessário reajustar o filamento atual. Ir para a
próxima 3-4. Para prolongar a vida útil do filamento, recomendamos ajustar o Emissão deslizante atual a 50 ± 5 μ UMA.
Nota
Quando o valor de tensão de aceleração é mais do que 25 kV, Emissão atual não se tornam a 50 ± 5 μ UMA; É
uma característica de um dispositivo, e não indica um problema. Por favor ajuste Emissão deslizante atual ( Fig.112)
para o mínimo de emissão atuais.
3-4 Ajuste fino das correntes filamentos usando padrões de emissões
(1) Com BEAM ON Clique no separador [Alinhamento] na Janela de Configuração de arma e

selecionar o padrão de exibição como Padrão de emissões (Fig. 115).
(2) A velocidade de varrimento muda automaticamente e um padrão elíptico aparece em
janela da imagem. Ajustar o contraste e o brilho para os valores adequados (Fig.
116).
36
Fig 115 Padrão de exibição Padrão figura 116 de emissão antes de ajustar
O filamento atual
(3) de lançamento memorize limite (Fig. 114).

(4) Utilizar a barra de filamento corrente corrediça (Fig. 117) para aumentar gradualmente o filamento
atual. Um valor atual filamento apropriado é definido quando a grande área escura desaparece do padrão de
emissão ou quando se aumenta a corrente não afeta mais o padrão. A corrente de filamentos deve estar dentro ± 0.15
A da configuração atual saturação automática. A atual alta no filamento irá reduzir drasticamente a vida do
filamento.
(5) Se repetir BEAM ON / OFF em um curto espaço de tempo por um tempo, clique em Limitar Memorize a
salvar o valor atual filamento.
Fig 117 Ajustar o filamento actual Padrão Fig 118 Emissão Depois de ajustar
O filamento atual
37
Nota
Um padrão aparecendo no centro do padrão de emissão indica o estado de radiação de electrões a partir do filamento;
não indica um problema com o filamento. Normalmente, esse padrão é desapareceu para elevar o Filament atual. Mas
se for muito maior para ajustar o Filament atual, é o excesso de saturação e diminuiu a vida do filamento. A corrente de
filamento adequado para um novo filamento é de aproximadamente
2,40-2,50 A.
Nota
O tamanho do padrão de emissão varia ligeiramente
devido ao instrumento e filamento. O tamanho do padrão
também altera ligeiramente quando os valores de
contraste e brilho são alteradas.
Figura 119 exemplo de uma emissão Grande
Nota
Quando um padrão de emissão é apresentada em um espécime observados (por exemplo, Fig.
20), a imagem aparece amostra como mostrado na Fig. 121. Para ajustar a corrente de filamento com o padrão de
emissão em tal caso, mover o campo de visão para uma parte do palco sem irregularidades.
Fig 120 Posição Observação

Padrão figura 121 de emissão a um
Posição inadequada
38
3-5 ajuste de inclinação padrões, utilizando a emissão
(1) Com BEAM ON , Clique no [Ali gnment] guia em t ele Gun Janela de Configuração e
selecionar o padrão de exibição como Padrão de emissões (Fig. 122). O padrão de emissão aparece na
janela da imagem. Ajustar o contraste e o brilho para suita v ble alores. (2) Clique em Inclinar para mover
automaticamente o cursor para a janela de imagem (Fig. 123).
Fig 122 Inclinação Tela Fig 123 ajuste de inclinação
(3) Guarda-clique no rato através da parte mais brilhante do padrão de emissão (fig. 124)
para alterar o cursor para uma cruz . Arraste o cursor para trazer o ao
centro da tela e de libertação (Fig. 125).
Figura 124 Antes de ajuste de inclinação Fig 125 Depois de ajuste de inclinação
(4) Para indicar claramente o centro da
tela, clique inicialmente no ícone no [Toolbar Menu]
(ou selecione View → Linha transversal no [barra de
menu]) para exibir as linhas transversais através do
centro da tela (fig. 126). (5) reverter t ele Indicação
Ajuste de Padrão
Normal na Janela da arma Ambiente (Fig. 122).
Linha Cruz Fig 126 Visor
39
Nota
O padrão de emissão exibida pode aparecer como mostrado
na Fig. 127. A parte brilhante do padrão de emissão é a
imagem real eo padrão de emissão escuro é uma imagem
virtual. Os resultados de imagem virtual a partir de
centragem desalinhamento entre o filamento e Wehnelt.
Esta exibição padrão de emissão pode ser usado ajustando
a parte mais brilhante do padrão de emissões com o centro
da tela. No entanto, uma situação melhor pode ser
conseguida pelo re-definir o filamento e Wehnelt.
Padrão Fig 127 Emission Imagem Virtual
Nota
Durante o ajuste de inclinação com o padrão de emissão, pode não ser possível arrastar completamente a parte
mais brilhante do padrão de emissão para o centro da tela com o cursor. Por exemplo, como mostrado na Figura
128, o ajustamento na direcção Y é completa, mas o padrão não pode ser movido para o centro da tela no sentido
X: o valor X Inclinação atingiu o seu limite máximo no separador [Alinhamento] (Fig. 129). Não é possível mover
(ajustar) o padrão de emissão para o centro da tela, se o valor X ou Y de inclinação atingir o seu valor limite. Neste
caso, re-centro da ponta do filamento e Wehnelt ou substituir o filamento.
Fig 128 de inclinação na direcção X Ajustamento
no limite
Figura 129 Inclinação X e Y Valores
40
3-6 Trans Ajustamento usando o teste padrão Trans
(1) Com BEAM ON , Clique no [A lignment] separador na Janela de Configuração de arma e

selecionar o padrão de exibição como Padrão trans (Fig. 130). A velocidade de varrimento muda
automaticamente e o padrão de trans aparece na janela de imagem (Fig. 131). Ajustar o contraste e o brilho
para os valores adequados (Fig. 116). (2) Clique em trans para mover o cursor automaticamente para a janela
de imagem e
alterar o cursor para uma cruz .
Figura 130 Trans Tela Fig 131 Trans Ajustamento
(3) Guarda-clique no rato através da parte mais brilhante do padrão de emissão (fig. 132)
para mudar o cursor para . Arraste o cursor para trazer o para o centro da
tela e libertação (Fig. 133).
Fig 132 Antes Trans Ajustamento Fig 133 Trans Após Ajuste
(4) Para indicar claramente o centro da tela, clique no ícone no [Menu

Toolbar] (ou selecione Exibir → Linha Cruz no [Bar Menu]) para exibir linhas cruzadas através do centro da
tela. (5) Reverter o padrão do visor configuração para Normal na arma Janela de Configuração (Fig.
130).
41
O detector fica saturado, se o contraste é demasiado elevada, resultando em uma cauda no padrão de trans (Fig.
134). Isto não indica um problema. Reduzir o contraste para criar um padrão de trans circular (Figura 135).
Fig 134 excessiva Trans Fig 135 normal Trans

Contraste padrão Contraste padrão
Nota
O tamanho do padrão trans varia ligeiramente em
função do instrumento e do filamento (Fig. 136).
Figura 136 exemplo de uma grande

Padrão trans
Nota
Sombreamento do padrão trans, como mostrado na Fig.
137, resulta da contaminação do sistema óptico. A
substituição da abertura peça polar ou limpeza do sistema
óptico é necessário. Consulte o seu representante
Shimadzu.
Fig 137 Contaminação do

Sistema óptico
42 Nota
7/3 Ajuste fino da abertura móvel Objectivo usando o Wobbler
(1) Com BEAM ON , Mover um espécime facilmente observadas para o centro da janela de imagem.
(2) Ajuste a ampliação para 1000x e ajustar o contraste, brilho, foco e

stigmation. (3) Clique na guia [Configuração] → Correção histerese ou clique no Correção histerese
Ícone no [Barra de Controlo] (Fig. 138).

(4) re-ajustar o foco e stigm ção.
(5) Selecione o padrão do visor como excêntrico na Janela da arma Ambiente (Fig. 139).
Fig 138 Histerese Correcção Fig 139 Wobbler
(6) Ajuste a velocidade de digitalização de TV e

virar O FF (reset) Filtro .
(7) Click wobbler Configuração (Fig. 139).
Conjunto a Ganhar a 10% com o cursor e clique Está bem (Fig.
140).
Fig 140 Wobbler Ambiente
(8) O poder lente objetiva muda automaticamente pouco de cada vez para permitir
observação do estado de focagem.
(9) Se o feixe não passa através do centro da abertura da objectiva (objectivo
lente), o Wobbler move a imagem observada em torno de (círculos não-concêntricas). Se o movimento da
imagem é tão pequeno como se mostra na Fig. 144, não completar o ajustamento em ampliação 1000x, mas
salta para os ajustes na ampliação 5000x a partir do passo (12), abaixo.
(10) Ajuste fino da abertura móvel objectivo é realizado com os botões

na coluna óptica eletrônico (Fig. 141).
43
(11) Rodar o botão de controlo X ligeiramente para a esquerda ou para a direita para minimizar o movimento da imagem
na direcção X (Fig. 142). Em seguida, ajustar o botão de comando Y para minimizar o movimento de imagem
na direcção de Y (Fig. 143). Se o padrão de diluição das
círculos concêntricos não permanece, repetidamente re-ajustar com o X e Y botões de controlo até que apenas as
mudanças em foco são observados (círculos concêntricos) (Fig. 144).
Fig 141 X e Y Botões de controle para a Fig 142 Antes Wobbler Grosseiro Ajustamento
Ajuste de abertura móvel
Fig 143 Durante Wobbler Grosseiro Fig 144 Depois Wobbler Grosseiro Ajustamento
Ajustamento
(12) Definir th e ampliação para 5000x e ajustar o foco e stigmation. (13) Click wobbler Configuração e
ajustar o ganho de 5%.
(14) Tal como descrito nos passos (10) e (11), virar o X e Y botões de controlo para realizar
ajuste fino para eliminar o movimento da imagem observada tais que apenas mudanças no foco podem ser
observados (círculos concêntricos).
Fig 145 Antes Wobbler fino Fig 146 Wobbler Após Ajuste fino
Ajustamento
44
Nota
alterações mínimas na posição óptima da abertura de
objectiva, móvel ocorrer quando o canhão de electrões
tensão de aceleração ou de amostras de altura alterações.
Após estas condições são alteradas, observar a uma
ampliação maior (10000x a 30000x), definir o ajuste de
ganho Wobbler a 3% e re-ajustar a abertura objectivo
móvel.
Fig 147 Depois Wobbler Ajustamento

em grandes ampliações
(15) Selecione o padrão do visor como Padrão de emissões

(16) Ajustar o padrão de emissão na janela de imagem para um brilho adequado. (17) Assegurar que a parte mais
brilhante do padrão de emissões está no centro do
tela. Se não, re-ajustar a inclinação. (18) Selecione o padrão do
visor como Padrão trans . (19) Ajustar o padrão trans para um brilho
adequado.
(20) Verificar que o centro do padrão de trans está alinhado com o centro do
tela. Repita o ajuste trans se o padrão trans é deslocado do centro da tela. (21) re-ajustar o objecto móvel ive
macaco rture com o Wobbler. (21) Selecione o padrão do visor como Normal .
3-8 Ajustamento da abertura objectiva, móvel em deslocamento axial quando

ocorre
(1) Realizar os ajustes abaixo se o móvel axial abertura objectivo

deslocamento é tão grave que os ajustes descritos em 3-6 não é possível.
(2) Define a ampliação de 100x e ajustar o contraste, brilho, e de focagem (Fig.

148).
(3) maximizar o brilho da imagem, ajustando os botões de controlo para X e Y

ajuste de abertura objectivo móvel (Fig. 149).
Fig 148 axial Deslocamento Fig 149 Depois de deslocamento axial Ajustamento
45
4. Substituir o filamento
(1) Consulte o Manual de Instrução SS Série quando se reduz o filamento a partir do

Canhão de elétrons.
(2) As fotografias do Wehnelt e filamento soprado são mostrados nas Figs. 150 e 151.
Fig 150 Wehnelt e Filamento soprado Fig 151 Blown Filamento
(3) A contaminação do Wehnelt (Fig. 152)

Polonês com o metal polonês fornecido com o instrumento e enxaguamento (Fig. 153).
Fig 152 Wehnelt antes de limpar Fig 153 Wehnelt Após Lavagem
(4) A série SS é um sistema precentered, concebido para alinhar a ponta do filamento

com o centro da ponta do Wehnelt. Verifique com um lupe que o filamento está correctamente centrada.
Remontar ou substituir o filamento se ele é deslocado a partir do centro por mais do que um filamento de largura.
Fig 154 Filamento deslocado do centro 155 fig Após ajuste
46
Bibliografia
- Sociedade Japonesa de Microscopia Eletrônica, Região de Kanto: Scanning Electron microscópios, Kyouritsu
Publishing (2000)
- Shigeo Horiuchi, Sadahiko Hirotsu e Kentaro Asakura: Microscópio Eletrônico de Q & A, Agne Shofusha (1996)
- Takayoshi Fukushima: electron-beam Microanálise, Nikkan Kogyo Shimbun (1987)
- Hatsujiro Hashimoto e Kazuo Ogawa: Electron Microscopy Dictionary, Asakura Shoten (1986)
- Standard Association japonês: Scanning Electron Métodos e Convenções Microscópio (1997)
Conteúdo de Figuras
A Fig. 1 SEM janela principal .. ................................................................................. 2 Fig. 2 Ajuste Tab .........
.................................................. .................................................. ...... 4
Fig.3 guia de posicionamento Fig.4 Tabela Posição ............................................. .... 5
A Fig. 5 Observação em 50x A Fig. 6 Observação em 23x ....................................... 5
A Fig. 7 viga sobre ............................................. .................................................. ..................... 6
A Fig. 8 Controle de vídeo ............................................. .................................................. ................ 6
A Fig. 9 Velocidade de digitalização ............................................. .................................................. .............. 6
A Fig. 10 Posicionamento Tab Fig. 11 Mapa (exemplo com a Fig. 12 Posição Tabela opcional
multi-amostra de base do porta-) ............................................ .................................................. .7
A Fig. 13 Antes de centragem A Fig. 14 Depois de centragem 8 ......................................
A Fig. 15 antes de mover a mão com a Fig. 16, após mover com a mão 8 ..................
Figura 17 Imagem em Movimento Modo ............................................ .................................................. .... 8
A Fig. 18 Definir a área do zoom Retângulo Fig. 19, após a área de zoom ............................ 9
A Fig. 20 designando a Linha A Fig. 21 Após a operação Linha 9 .......................
A Fig. 22 de controlo de vídeo ............................................. .................................................. .............. 9
A Fig. 23 Sonda Tamanho ............................................. .................................................. .................. 10
A Fig. 24 Sonda 2 Tamanho A Fig. 25 Sonda Tamanho 3 ......................................... 10
A Fig. 26 Sonda 4 Tamanho A Fig. 27 Sonda Tamanho 5 ......................................... 10
A Fig. 28 Focalização .............................................. .................................................. ................... 11
Fig. Janela 29 Imagem Fig. 30 imagem ampliada ............................................. . 11
A Fig. 31 Depois de focagem de A Fig. 32 Depois de focagem de 11 ..........................................
A Fig. 33 Stigmation .............................................. .................................................. ................ 12
A Fig. 34 Focalização .............................................. .................................................. ................... 12
A Fig. 35 Distorção A Fig. 36 sem distorção, mas borrada figura 37. Distorção ........ 12
A Fig. 38 antes da correcção do astigmatismo ............................................ ................................... 13
A Fig. 39 após a correcção de astigmatismo ............................................ ..................................... 13
A Fig. 40 após a correcção de astigmatismo e Focando .......................................... ................ 13
A Fig. 41 Stigmation .............................................. .................................................. ................ 13
A Fig. 42 Ajustar contraste e do brilho ........................................... ............................. 14
A Fig. 43 Alto Brilho ............................................. .................................................. ........ 14
A Fig. 44 Baixo contraste Fug. 45 Boa Imagem A Fig. 46 alto contraste ............ 14
A Fig. 47 Baixo Brilho ............................................. .................................................. ......... 14
A Fig. 48 Scanning Configurações velocidade ............................................ ............................................. 15
A Fig. 49 Velocidade de digitalização ............................................. .................................................. ........... 15
A Fig. 50 Y Fim Congelar A Fig. 51 Imagem Fim Congelar ...................................... 15
Fig. 52 Salvando um Arquivo de Imagem ........................................... .................................................. ..15
Fig. 53 Abrindo um Arquivo de Imagem ........................................... ................................................. 15
47
A Fig. 54 15kV Probe2.0 x 5000 WD11 A Fig. 55 15kV Probe5.0 x 5000 WD11 .............. 16
A Fig. 56 5kV Probe3.0 x 3000 WD9 A Fig. 57 5kV Probe3.0 x 3000 WD17 ................ 16
A Fig. 58 5kV Probe3.0 x 3000 WD25 A Fig. 59 5kV Probe3.0 x 3000 WD34 ............... 16
A Fig. 60 20kV Probe2.0 x 5000 WD11 A Fig. 61 5kV Probe2.0 x 5000 WD11 ................ 17
A Fig. 62 Velocidade de digitalização Fig. 63 Exemplo de um ...................................... 17
Fig. Voltagem de aceleração de 64 kV 1,03 A Fig. 65 1,31 kV tensão de aceleração ............. 18
Fig. Voltagem de aceleração de 66 kV 1,70 A Fig. 67 2,00 kV tensão de aceleração ............. 18
A Fig. 68 0,512 ms Linha Tempo A Fig. 69 1,02 ms Linha Tempo ............................. 19
Fig. 70 2.05 ms Linha do Tempo A Fig. 71 65,5 ms Linha Tempo ............................. 19
Fig. 72 Velocidade de digitalização Configuração Fig. 73 Definição do filtro ..................................... 20
A Fig. 74 1s Quadro x Integ. 1 Fig.75 1s Quadro x Integ. 16 Fig.76 1s Quadro x Integ. 64 ..20 Fig. 77 Arrefecimento de
componentes do sistema A Fig. 78 da fibra óptica de quartzo ........................... 20
A Fig. 79 0 ° ângulo de inclinação Fig.80 ângulo de inclinação de 50 ° em Eucentric Ponto Fig.81 Inclinação
ângulo 50 °, não em Eucentric Ponto ....................................... 21
A Fig. 82 Eucentric Ponto ............................................. .................................................. ......... 21
A Fig. 83 BSE Detector Fig. 84 BSE Detector Localização Fig. 85 BSE Detector ....... 22
A Fig. 86 Imagem SE A Fig. 87 EEB (COPMO) Imagem Fig. 88 EEB (TOPO) -Image ..... 23
A Fig. 89 não-ferrosos fundição Escória A Fig. 90 SKD .............................................. ..... 23
A Fig. 91 detentor 15 milímetros (15 milímetros φ, 11mmH) ................................................ .............................. 30
A Fig. 92 suporte 1 polegadas A Fig. 93 detentor 32 milímetros ...................................... 30
A Fig. 94 base de suporte multi espécime A Fig. 95 base plana ............................................. 30
Fig. 96 o suporte 15 milímetros Fig. 97 o suporte 10 milímetros * Fig. 98 o suporte inclinado 31 ............
A Fig. 99 32 milímetros de base do espécime A Fig. 100 detentor 32 milímetros Fig. 101 suporte ajustável * .. 31 A Fig. 102 uma base de
amostra polegadas * A Fig. 1 o suporte 103 polegadas * A Fig. 104 Espécime copo *
.......................................................................................................................................... 31
A Fig. 105 titular Geral espécime * A Fig. 106 Topo-montado suporte de amostra * ..31
Fig. Base de suporte 107 multi espécime * A Fig. 108 Base plana * ....................................... 31
Fig 109 arma Ambiente Fig 110 arma Janela de Configuração Fig 111 Envelhecimento ..................... 34
Fig 112 Auto arma polarização Fig 113 Auto Saturação Agora Figura 114 Memorize limite ..35 Fig Padrão 115 Visor
Padrão figura 116 de emissão antes de ajustar ............ 37
Fig 117 Ajustar o filamento actual 118 fig de Emissão Padrão Depois de ajustar o
Filament atual ................................................ .................................................. .......... 37
Figura 119 exemplo de uma grande Emissão Fig 120 Posição Observação figura 121
Padrão de emissões em uma posição inadequada ............................................ ................. 37
Fig 122 Inclinação Tela Fig 123 ajuste de inclinação .................... 39
Figura 124 Antes de ajuste de inclinação Fig 125 Depois de ajuste de inclinação 39 ........................
Visualiza Fig linha transversal 126 ............................................. .................................................. ... 39
Fig 127 de emissão padrão de imagem virtual Fig 128 ajuste de inclinação na direcção X no limite
Figura 129 Inclinação X e Y Valores ........................................... ........................................... 39
Figura 130 Trans Tela Fig 131 Trans Ajustamento ........................................ 41
Fig 132 Antes Trans Ajustamento Fig 133 Trans Após Ajuste ..................... 41
Figura 134 excessiva Trans Padrão Contraste Fig 135 normal Trans Padrão Contraste
Figura 136 exemplo de uma grande Padrão Trans figura 137 a contaminação do sistema óptico ...................................
.................................................. ........................................ 41
Fig 138 Histerese Correcção Fig 139 Wobbler .......................................... 43
Fig 140 Wobbler Ambiente .............................................. .................................................. ...... 43
Fig 141 X e Y Botões de controle para a Fig 142 Antes Wobbler Grosseiro Ajustamento ........ 44
Fig 143 Durante Wobbler Grosseiro Fig 144 Depois Wobbler Grosseiro Ajustamento ........ 44
Fig 145 Antes Wobbler fino Fig 146 Wobbler Após Ajuste fino ........ 44
Fig 148 axial Deslocamento Fig 149 Depois de deslocamento axial 45 Ajustamento ............
Fig 150 Wehnelt e Filamento soprado Fig 151 Blown Filamento .................. 46
Fig 152 Wehnelt antes de limpar Fig 153 Wehnelt Após Lavagem .............. 46
Fig 154 Filamento deslocado do centro Fug 155 após o ajuste ........... 46
48
índices
1 E
detentor 15 milímetros ..................... 4, 5, 7, 17, 30 de suporte de 1 eficiência de electrões secundário

polegada ............. ........................ 30, 31 geração ........................................ 25
difusão elástica .................................. 27
3
electrões arma ...... 24, 25, 26, 27, 28, 44, 45 sonda de
detentor 32 milímetros .................................. 30, 31 electrões ......... 24, 25, 26, 27, 28, 29 ..... padrão de
emissão .............................. 26
A
emissor ........................................... 24, 28 energia
absorvida electrões .................................. 24 dispersiva X espectroscopia de raios- 22 decapagem
voltagem de aceleração ... 3, 6, 17, 18, 19, 20, ............................................. ..... 26
22, 24, 27, 33, 34, 35 eucentric ........................................ 21, 26
anaglyph ............................................... 29
F
A análise em MEV ........................................ 24
angstrom ............................................... 24 filamento. 7, 24, 26, 28, 29, 33, 34, 35, 36,
ânodo ................................................. ... 24 37, 45
aperture13, 17, 24, 25, 27, 29, 32, 33, 42, fixação ................................................. ... 4
43, 44 ........................................... base plana 30, 31 focus3, 5,
AREAZOOM ......................................... 9 6, 11, 12, 13, 16, 17, 21, 23, 24,
astigmatismo ........................ 12, 13, 23, 24 26, 27, 42, 43, 44
astigmatismo correção ................ ......... 24 método de secagem por congelamento 26 ............................
efeito número atômico ............................ 24 imagem congelamento ..................................... 20
foco automático .............................................. 24
G
viés autogun ......................................... 24
grade................................................. 28, 29
B
H
electrónica dispersa invertida ........................ 22
detector de electrões 24 de retrodifusão ............ MÃO .................................................. ..8
imagem electrónica dispersa invertida ................ 24 ampliação elevada ............ 10, 11, 17, 25 de alta
brilho ... 6, 7, 14, 23, 24, 25, 36, 37, ampliação ...... 10, 16, 17, 24, 35 histerese correcção
38, 40, 42, 44 ......... ........ 3, 21, 42
C Eu
revestidor de carbono ........................................ 25 imagem congelamento ........................................ 23

pasta de carbono .......................................... 25 incidente de electrões ....................... 18, 24, 27
fita de carbono 4 ........................................... inicialização ................... ............... 4, 5, 7 ião revestidor
cátodo l uminescence ........................... 25 ............................ .................. 25
CENTRO ............................................... 8 bomba de iões .............................................. 27
charg efeito ing ................................... 18
L
clique BEAM ON .................................. 18
Revestimento ................................................. .25 LINHA .................................................. ... 9
imagem COMPO ...................................... 25 linha de t ime ........................................ 17, 19
imagem composta ................................... 25 VIVER .................................................. ..15
lente condensadora ...................................... 24 baixa tensão de aceleração-SEM .............. 27
pasta condutora ............................... 4, 25 fita condutiva observações baixo aceleração ............. 18
............ ......................... 25 de baixo vácuo SEM ................................. 27
contaminação ................................. 25, 45 .... contraste
M
6, 7, 14, 18, 23, 24, 25, 26, 28,
36, 38, 40, 41, 42, 44 mag nification ....................... 6, 10, 16, 27
método do ponto crítico de secagem .................. 25 Mapa .................................................. ..... 7
significam os números atómicos 24, 25 ....................
D
Monte método Carlo ............................. 27
desidratação .......................................... 25 MOVER .................................................. ..8
profundidade de foco ....................................... 26 de multi base de suporte de amostra .......... 30, 31
DP ................................................. ........ 28
N
deriva ................................................ 20 , 26 tingimento
............................................... .... 26 não elástico espalhamento ........................... 27
enfoque dinâmico ....................................... 26
49
O 23, 28, 42, 46, 47
velocidade de digitalização ...... 19, 20, 22, 23, 36, 40 o tempo de
abertura objectivo ................................. 27
verificação ............................. .......... 28
lente objetiva ........................................ 27
electrónica de dispersão ..................... 24, 27, 28 de
difusão de óleo da bomba ................................. 28
electrões secundários .. 18, 19, 24, 25, 27, 28 de secção ......
A bomba rotativa de óleo ..................................... 28
............................................ 29
P imagem Serviço ...................................... 23
espécime ângulo de inclinação de 29 ..........................
calibre escrevendo ...................................... 28
imagem estereoscópica ................................ 29
FOTO ................................................ 15
stigmation ......................... 12, 23, 42, 43
calibre pirani .......................................... 28
pixcel ................................................. .... 3 T
plasma CVD .......................................... 25
a amostra condutoras ....................... 25
polimento (moagem) .............................. 28
imagem TOPO ......................................... 29
tabela posição ..................................... 5, 7 precentered
imagem topográfica ................................ 29
sistema ...... ....................... 45
padrão trans ........................................ 29
nível de vácuo pressão .......................... 28
electrões transmitida ............................. 29
electrão primário ............................. 27, 28, o tamanho da
bomba turbomolecular .......................... 28
sonda ..... II, III, 10, 16, 19 , 22, 34, 46
sonda tamanho 10 ............................................. V
BOMBA .................................................. . 4
vacuu m evaporador ............................... 25
R VENT .............................................. 4, 22
Alcance ................................................. ..23 W

filtro recursivo ..................................... 23
comprimento de onda de raios-X espectroscopia dispersiva
substituição .......................................... 25
.......................................................... 29
de moldagem de resina ........................................ 28
WD ... 5, 7, 11, 16, 17, 19, 20, 21, 22, 23,
poder ...... 16, 17, 19, 26, 27 de resoluo, 28 detector de
29, 33
Robinson BSE ......................... 24
Wehnelt ........................ 24, 28, 29, 37, 45 Wobbler
S ............ 17, 29 , 32, 33, 42, 43, 44 distância de trabalho
29 ..................................
digitalizar ... 2, 6, 7, 11, 13, 15, 17, 19, 20, 22,
50

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P / N 305-27036-01C

Microscópio Eletrônico de Varredura

SUPERSCAN série SS / SSX

COMPLETAMENTE LEIA ESTE MANUAL DE INSTRUÇÕES para a operação adequada.

ANALÍTICO & INSTRUMENTOS DE MEDIÇÃO DIVISÃO

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• O manual de conteúdo ou software versão pode mudar sem aviso prévio.

direito autoral © 2002-2005 Shimadzu Corporation Todos os direitos reservados.

1 Introdução ................................................. .................................................. ................... 2

1.1 Esboço ................................................ .................................................. ..................... 2

1.2 Pontos importantes ............................................... .................................................. ....... 3

2 Preparação de Observação ............................................... ............................................. 4

2.1 Carregando o Specimen .............................................. ................................................. 4

2.2 Ventilação ................................................ .................................................. ..................... 4

2.3 Fixação do Specimen Stage ............................................. ........................................... 4

2.4 Bomba (Evacuação) ............................................. .................................................. ..... 4

2.5 O campo de visão de pré-posicionamento ......................................... ........................................... 5

3 Observações ................................................. .................................................. .................. 6

3.1 Observação inicial ............................................... .................................................. ... 6

3.1.1 feixe sobre ............................................. .................................................. ............... 6

3.1.2 Brilho Grosseiro Ajuste ............................................ ............................... 6

3.1.3 Alterar a Ampliação ............................................ ................................... 6

3.1.4 foco aproximado ............................................. .................................................. ... 6

3.1.5 Definir a Velocidade de Digitalização ........................................... ..................................... 6

3.2 posicionamento do campo de visão ........................................... ................................................ 7

3.2.1 Grosso Posicionamento ............................................. ................................................. 7

3.2.2 Modos de operação de campo-de-view ........................................ ................................... 8

3.3 Otimização de imagem ............................................... .................................................. 10

3.3.1 configuração de ampliação e Probe Tamanho .......................................... .................... 10

3.3.2 Focalizando .............................................. .................................................. ............. 11

3.3.3 Correção astigmatismo ............................................. ....................................... 12

3.3.4 Ajustando o contraste e brilho ........................................... ....................... 14

3.4 Salvando Imagens ............................................... .................................................. ......... 15

3.4.1 Imagem Congelar ............................................. .................................................. ...... 15

3.4.2 salvar e abrir Imagens ........................................... .................................. 15

4 -Alta ampliação Observações .............................................. .................................... 16

4.1 Configuração da Sonda Tamanho ............................................. ................................................ 16

4.2 Definir a distância de trabalho (WD) .......................................... .............................. 16

4.3 Definir a tensão de aceleração ............................................. ................................ 17

4.4 Definir o Espécime de inclinação (se necessário) ......................................... ..................... 17

5 Isoladores de observação (Baixo-aceleração) Observações .......................................... ...... 18

5.1 Efeito de carregamento ............................................... .................................................. ....... 18

5.2 Definir a tensão de aceleração ............................................. ................................ 18

5.3 Configurar a Sonda Tamanho ............................................. ................................................ 19

5.4 Definir a distância de trabalho (WD) e Specimen Inclinação ................................... 19

5.5 Definir a Velocidade de Digitalização ............................................. ....................................... 19

5.6 Imagens de congelamento ............................................... .................................................. ...... 20

6 Observações no Ponto Eucentric ............................................. ................................ 21

6.1 Eucentric Stage ............................................... .................................................. ....... 21

6.2 Ajuste fino do ponto Eucentric ........................................... ...................... 21

7 Backscattered Electron (BSE) Observações (Opcional) ......................................... ...... 22

7.1 Instalar o Detector Backscatterd Electron ............................................ ........... 22

7.2 Definir a Velocidade de Digitalização ............................................. ....................................... 22

7.3 Definir a Aceleração Tamanho Tensão e Probe .......................................... ......... 22

7.4 Definir a distância de trabalho (WD) e Specimen Inclinação ................................... 22

7.5 Ajuste do Sinal, Modo e Faixa ......................................... ............................ 23

Apêndice 1 SEM Glossário de Termos .............................................. ................................ 24

Apêndice 2 Gráfico de Dados da Fase Inclinação Faixa .......................................... .................. 30

Apêndice 3 Lista de suportes de amostra ............................................ .................................. 31

...................................... .................................................. .................................. 32

.................................................. .................................................. ................... 33

2. Electron Beam Ponto de saturação e Axial Ajuste de Alinhamento fluxogramas .... 33

3. Procedimentos de Ajuste .............................................. ............................................... 34