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Micro capteur de pression

principe de mesure de la pression,


basé sur un circuit de conditionnement :
Le pont de Wheatstone
Micro capteur de pression
principe de mesure de la pression, basé sur le pont de wheatstone
Micro capteur de pression
principe de mesure de la pression, basé sur le pont de wheatstone.

A l’ équilibre du pont c.a.d Vo = 0 …….. Pas de pression sur le diaphragme

Cette condition est realisee, aussi, lorsque toutes les resistances sont
egales………………………….soit donc Ro cette valeur de resistance.
Micro capteur de pression
principe de mesure de la pression, basé sur le pont de wheatstone.

Rappel : Considerons maintenant qu’une pression P existe.


Vue en coupe Lorsqu’une pression est appliquee sur le
du diaphragme diaphragme :
ü
Il y a deflection vers le bas du diaphragme :
ü
Les resistances R1 et R3 subissent une
deformation longitudinale……….”en longueur”
ü
Les resistances R2 et R4 subissent une
deformation transversale………….”a travers”

Vue de dessus
ü
La valeur des resistances Ri va donc subir aussi
du diaphragme une variation.
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principe de mesure de la pression, basé sur le pont de wheatstone.

Notons donc cette variation ……….qui vaut aussi

Ri,avec pression = ( 1 + ) Ri,sans pression

Ri,avec pression = ( 1 + ) Ro
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principe de mesure de la pression, basé sur le pont de wheatstone.

En introduisons les expressions des resistances en fonction de leur


deformations dans le rapport Vo/Vs, en obtient :

Lors du conditionnemnt il est preferable d’avoir un rapport maximal en


sortie c.a.d |Vo/Vs|max
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principe de mesure de la pression, basé sur le pont de wheatstone.

La condition pour que |Vo/Vs| soit maximal est tel que :

Mais de signe oppose

En tenant compte de ces hypotheses, et en travaillant uniquement


avec on obtient alors :

Comme les Alors


Micro capteur de pression
principe de mesure de la pression, basé sur le pont de wheatstone.

L’equation

est utilisee pour calculer la sensibilite des capteurs de pression


piezoresistifs standards ainsi que celle des capteurs de pression a
jauges de contraintes.

Il suffit donc d’evaluer les variations des resistances en fonction de la


pression exercee sur le diaphragme pour pouvoir mesurer cette
derniere.
Micro capteur de pression
Les capteurs de pression piezoresistifs.

Le rapport
d’une resistance R fabriquee avec un materiau piezoresistif (silicium
par exemple) est exprimee par la relation :

ι symbole pour longitudinale contrainte


t symbole pour transversale contrainte
π coefficients piezoresistifs
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Les capteurs de pression piezoresistifs.
Pour des resistances disposees selon la direction (110) les coefficients
de piezoresistivite du silicium sont
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Les capteurs de pression piezoresistifs.
Lorsque une pression est exercee sur le centre du diaphragme (carre
de cote L et d’epaisseur H), la contrainte ( est aussi la deformation) est
maximale au centre des bords……selon une direction qui leur est
perpendiculaire
Soit σper cette contrainte, qui s’exprime par la relation
2
σper = 0,294.(L/H) . P
La deformation dans la direction parallele (des bords) est notee εpar :
elle est donnee par l’expresssion
εpar = ( σpar - ν. σper ) / E
Avec E module d’Young et ν coefficient de Poisson, du materiau.
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Les capteurs de pression piezoresistifs.
Or en pratique les bords du diaphragme sont fixes………………
Donc la deformation en parallele est nulle…….d’ou :

εpar = ( σpar - ν. σper ) / E = 0


Alors σpar = ν. σper
σpar = 0,064. σper
2
σpar = 0,019.(L/H) . P
Exemple d’application : L = 2 mm = 2000 μ et H = 2 μ

σper = 2940.P et σpar = 190.P ……………… σper >> σpar


Micro capteur de pression
Les capteurs de pression piezoresistifs.
Exemple d’application : L = 2 mm = 2000 μ et H = 2 μ
σper = 2940.P et σpar = 190.P ……………… σper >> σpar
Ce resultat nous permet d’orienter notre choix sur quel type de
silicium a utiliser pour fabriquer les resistances .

Les valeurs absolues des coefficents π pour le type p sont plus eleves
que pour le type n………. Ce qui implique une sensibilte elevee pour la
contrainte.
De plus leur signes sont opposes …………….. Donc bien appropriees
pour les resistances du pont de Wheatstone
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Les capteurs de pression piezoresistifs.
Cette expresssion peut donc s’ecrire pour les resistances R 1 et R3, pour
lesquelles la direction longitudinale est perpendiculaire au bord du
diaphragme, comme suit :

Exemple d’application : L = 2 mm = 2000 μ et H = 2 μ


σper = 2940.P et σpar = 190.P
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Les capteurs de pression piezoresistifs.
Par similitude, la variation des resistances R2 et R4 est evaluee par
l’inversion des transverse et longitudinale contrainte

Exemple d’application : L = 2 mm = 2000 μ et H = 2 μ


σper = 2940.P et σpar = 190.P
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Les capteurs de pression piezoresistifs.
En reconsiderant la relation

On aura

Exemple d’application : L = 2 mm = 2000 μ et H = 2 μ


σper = 2940.P et σpar = 190.P
Fin …………….